CN115902113B - 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 - Google Patents
一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115902113B CN115902113B CN202211517567.7A CN202211517567A CN115902113B CN 115902113 B CN115902113 B CN 115902113B CN 202211517567 A CN202211517567 A CN 202211517567A CN 115902113 B CN115902113 B CN 115902113B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- pipeline
- disc
- block
- electromagnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title claims abstract description 41
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 17
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 17
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 59
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 129
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本发明涉及氟气制备技术领域，且公开了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，包括管道，所述管道一端设置有输送器，所述管道同一水平面上设置有抽样检测组件、气体转移组件，随着圆盘的转动，抽样柱腔体会间接被连接杆向外扩仓内腔的方向拉动，直至长口完全位于外扩仓内腔中，此时抽样柱腔体位于管道内腔的一端因没有长口的存在，气体便不会再次进入到抽样柱腔体内腔中，此时外扩仓中设置的气体检测设备便会对由抽样柱腔体转移到外扩仓中的气体进行检测，以此确定被输送器输送的气体中是否存在杂质，这种将检测气体转移到外扩仓中，进行稳定检测的方式区别于现有的气体在管道输送中流速相对较快不能稳定检测的情况。
Description
技术领域
本发明涉及氟气制备技术领域，具体为一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置。
背景技术
氟气可以通过将含有氟化氢的电解液进行电解来合成，即电解合成。
现有技术中，在氟气制造过程中是较为复杂的，一般是将原料氟化氢进行电解，电解时会产生氢气和氟气，但电解所得的气体的纯度无法到达使用要求，需要后续提纯工序进行进一步的提纯工作，提纯过后的气体一般需要检测合格后才能最终投入后续使用，但气体在管道输送中流速相对较快，现有的检测设备在这一方面无法有效做到较为精确的检测，略有不足；再者，现有设备即使检测到气体中存在杂质，也不能及时阻止位于输送管中的气体被继续转移，那些含有杂质的气体一般还是会被输送出所在检测位置的管道，在一定程度上影响所需气体的纯度。
故而我们提出了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，来解决以上的问题。
发明内容
（一）解决的技术问题
有鉴于此，针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
（二）技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，包括管道，所述管道一端设置有输送器，所述管道同一水平面上设置有抽样检测组件、气体转移组件，所述抽样检测组件一侧设置有控制器；所述抽样检测组件包括有外扩仓，外扩仓内腔中固定连接有支撑架，所述支撑架上转动连接有转轴，所述转轴上设置有圆盘。
作为优选的，所述圆盘上固定连接有柱块，所述圆盘一侧设置有竖槽体，所述竖槽体一侧固定连接有连接杆。
作为优选的，所述连接杆远离竖槽体的一端固定连接有抽样柱腔体，所述抽样柱腔体上开设有长口。
作为优选的，所述外扩仓内腔中设置有气体检测设备。
作为优选的，所述管道外表面上方设置有第一驱动螺杆，所述第一驱动螺杆下方且位于管道上固定连接有滑动轨道，所述第一驱动螺杆上螺纹连接有电磁铁A。
作为优选的，所述管道内腔中滑动连接有辅助盘，所述辅助盘上开设有贯通的通气方口，所述通气方口上方且位于辅助盘上挖设有工作槽口。
作为优选的，所述工作槽口内设置有弹簧，所述弹簧底端固定连接有第一封堵块，所述第一封堵块上表面设置有磁石。
作为优选的，所述管道外表面下方设置有第二驱动螺杆，所述第二驱动螺杆上螺纹连接有电磁铁B。
作为优选的，所述第一封堵块下方且位于辅助盘中固定连接有第二封堵块。
作为优选的，所述管道靠近输送器一端的侧面固定连接有临时转移仓，所述管道上且位于临时转移仓同一水平面上设置有通孔。
（三）有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，具备以下有益效果：
1、本发明随着圆盘的转动，抽样柱腔体会间接被连接杆向外扩仓内腔的方向拉动，直至长口完全位于外扩仓内腔中，此时抽样柱腔体位于管道内腔的一端因没有长口的存在，气体便不会再次进入到抽样柱腔体内腔中，此时外扩仓中设置的气体检测设备便会对由抽样柱腔体转移到外扩仓中的气体进行检测，以此确定被输送器输送的气体中是否存在杂质，这种将检测气体转移到外扩仓中，进行稳定检测的方式区别于现有的气体在管道输送中流速相对较快不能稳定检测的情况；
2、本发明通过移动中的辅助盘会将含有杂质的气体逐渐向左推动，被推动的气体会从管道上开设的通孔进入到临时转移仓中，即此时含有杂质的气体被转移出管道，这种检测出气体中含有杂质，停止输送并封堵后进行返回转移的方式区别于现有设备即使检测到气体中存在杂质，也不能及时阻止位于管道中的气体被继续转移，那些含有杂质的气体一般还是会被输送出所在检测位置的管道的情况，通过气体转移组件的设置在一定程度上可提高所转移气体的纯度；
3、本发明通过辅助盘的设置，可在管道中气体流动时在一定程度上减缓气体的流速，这样的设置可以使较多的气体通过长口进入到抽样柱腔体中，然后抽样柱腔体会将较多的气体转移到外扩仓中，以此提高检测的精确度。
附图说明
图1为本发明主体结构左视图；
图2为本发明主体结构右视图；
图3为本发明中管道、外扩仓剖切时相关结构位置分布图；
图4为本发明抽样检测组件主体结构图；
图5为本发明中管道、抽样柱腔体、长口等相关结构位置分布图；
图6为本发明抽样检测组件工作时相关结构图；
图7为本发明气体转移组件主体结构图；
图8为本发明图7中A区域结构放大图；
图9为本发明主体结构侧视图；
图10为本发明中电磁铁A、第一封堵块、磁石等相关结构位置分布图。
图中：
1、管道；
2、输送器；
3、抽样检测组件；301、外扩仓；302、支撑架；303、转轴；304、圆盘；305、柱块；306、竖槽体；307、连接杆；308、抽样柱腔体；309、长口；310、气体检测设备；
4、控制器；
5、气体转移组件；501、第一驱动螺杆；502、滑动轨道；503、电磁铁A；504、辅助盘；505、通气方口；506、工作槽口；507、弹簧；508、第一封堵块；509、磁石；510、第二驱动螺杆；511、电磁铁B；512、第二封堵块；513、临时转移仓；514、通孔。
实施例
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
实施例一
请参照图3至图6所示：
为解决技术方案中所提到的问题，该实施例涉及的零件有：
301、外扩仓；302、支撑架；303、转轴；304、圆盘；305、柱块；306、竖槽体；307、连接杆；308、抽样柱腔体；309、长口；310、气体检测设备。
抽样检测组件3包括有外扩仓301，外扩仓301固定连接在管道1外表面，外扩仓301内腔中固定连接有支撑架302，支撑架302上转动连接有转轴303，转轴303由驱动电机驱动，转轴303上设置有圆盘304，圆盘304上固定连接有柱块305，柱块305设置在圆盘304偏轴心位置，圆盘304一侧设置有竖槽体306，竖槽体306主要和柱块305配合使用，柱块305滑动连接在竖槽体306中，竖槽体306一侧固定连接有连接杆307，连接杆307远离竖槽体306的一端固定连接有抽样柱腔体308，抽样柱腔体308可在管道1上滑动，抽样柱腔体308上开设有长口309，长口309开设在抽样柱腔体308中间部位，抽样柱腔体308两端均有余留，并未完全被长口309贯通，外扩仓301内腔中设置有气体检测设备310，气体检测设备310主要用于检测从管道1中输送的气体是否含有不必要的杂质，当气体检测设备310检测到从管道1中通过的气体还有不需要的气体杂质，控制器4会关闭输送器2，使输送器2停止向管道1中输送气体。
实施例二
请参照图2、图4、图7至图10所示：
为解决技术方案中所提到的问题，该实施例涉及的零件有：501、第一驱动螺杆；502、滑动轨道；503、电磁铁A；504、辅助盘；505、通气方口；506、工作槽口；507、弹簧；508、第一封堵块；509、磁石；510、第二驱动螺杆；511、电磁铁B；512、第二封堵块；513、临时转移仓；514、通孔。
管道1外表面上方设置有第一驱动螺杆501，第一驱动螺杆501下方且位于管道1上固定连接有滑动轨道502，第一驱动螺杆501上螺纹连接有电磁铁A503，电磁铁A503可在滑动轨道502上滑动，管道1内腔中滑动连接有辅助盘504，辅助盘504上开设有贯通的通气方口505，通气方口505上方且位于辅助盘504上挖设有工作槽口506，工作槽口506内设置有弹簧507，弹簧507底端固定连接有第一封堵块508，第一封堵块508可在工作槽口506中进行上下滑动，第一封堵块508上表面设置有磁石509，磁石509可与通电的电磁铁A503相吸附，管道1外表面下方设置有第二驱动螺杆510，当第二驱动螺杆510通过通电的电磁铁B511对第二封堵块512吸附时，移动的电磁铁B511会通过第二封堵块512带着辅助盘504在管道1中移动，第二驱动螺杆510上螺纹连接有电磁铁B511，电磁铁B511也有类似于滑动轨道502的导向辅助轨道，第二封堵块512可与通电的电磁铁B511相互吸附，第一封堵块508下方且位于辅助盘504中固定连接有第二封堵块512，管道1靠近输送器2一端的侧面固定连接有临时转移仓513，临时转移仓513上设置有转移气体时用到的堵块，当转移含有杂质的气体时将该堵块打开即可进行后续工作，管道1上且位于临时转移仓513同一水平面上设置有通孔514。
实施例三
请参照图1至图10所示：
管道1一端设置有输送器2，输送器2主要用于辅助气体输送，管道1同一水平面上设置有抽样检测组件3、气体转移组件5，抽样检测组件3一侧设置有控制器4；
抽样检测组件3包括有外扩仓301，外扩仓301固定连接在管道1外表面，外扩仓301内腔中固定连接有支撑架302，支撑架302上转动连接有转轴303，转轴303由驱动电机驱动，转轴303上设置有圆盘304，圆盘304上固定连接有柱块305，柱块305设置在圆盘304偏轴心位置，圆盘304一侧设置有竖槽体306，竖槽体306主要和柱块305配合使用，柱块305滑动连接在竖槽体306中，竖槽体306一侧固定连接有连接杆307，连接杆307远离竖槽体306的一端固定连接有抽样柱腔体308，抽样柱腔体308可在管道1上滑动，抽样柱腔体308上开设有长口309，长口309开设在抽样柱腔体308中间部位，抽样柱腔体308两端均有余留，并未完全被长口309贯通，外扩仓301内腔中设置有气体检测设备310，气体检测设备310主要用于检测从管道1中输送的气体是否含有不必要的杂质，当气体检测设备310检测到从管道1中通过的气体还有不需要的气体杂质，控制器4会关闭输送器2，使输送器2停止向管道1中输送气体；
管道1外表面上方设置有第一驱动螺杆501，第一驱动螺杆501下方且位于管道1上固定连接有滑动轨道502，第一驱动螺杆501上螺纹连接有电磁铁A503，电磁铁A503可在滑动轨道502上滑动，管道1内腔中滑动连接有辅助盘504，辅助盘504上开设有贯通的通气方口505，通气方口505上方且位于辅助盘504上挖设有工作槽口506，工作槽口506内设置有弹簧507，弹簧507底端固定连接有第一封堵块508，第一封堵块508可在工作槽口506中进行上下滑动，第一封堵块508上表面设置有磁石509，磁石509可与通电的电磁铁A503相吸附，管道1外表面下方设置有第二驱动螺杆510，当第二驱动螺杆510通过通电的电磁铁B511对第二封堵块512吸附时，移动的电磁铁B511会通过第二封堵块512带着辅助盘504在管道1中移动，第二驱动螺杆510上螺纹连接有电磁铁B511，电磁铁B511也有类似于滑动轨道502的导向辅助轨道，第二封堵块512可与通电的电磁铁B511相互吸附，第一封堵块508下方且位于辅助盘504中固定连接有第二封堵块512，管道1靠近输送器2一端的侧面固定连接有临时转移仓513，临时转移仓513上设置有转移气体时用到的堵块，当转移含有杂质的气体时将该堵块打开即可进行后续工作，管道1上且位于临时转移仓513同一水平面上设置有通孔514。
工作原理：
初始状态下：抽样柱腔体308一端位于管道1内腔，通气方口505未被第一封堵块508所封堵，电磁铁A503通电与磁石509相吸附，此时弹簧507被压缩，电磁铁B511未通电，第二封堵块512未与电磁铁B511相吸附。
分过程：
以下为抽样检测组件3的工作过程：
当输送器2将气体从外端向管道1中输送时，位于外扩仓301内的、设置在支撑架302上的转轴303会在电机的带动下带着圆盘304进行逆时针转动，已知柱块305固定连接在圆盘304的偏轴心处，柱块305滑动连接在竖槽体306中，外扩仓301与管道1上均开设有用于抽样柱腔体308移动的槽口，所以在圆盘304逆时针的转动下，圆盘304上的柱块305会通过竖槽体306在连接杆307与外扩仓301及管道1上开设有用于抽样柱腔体308移动的槽口的帮助下推着抽样柱腔体308向1控制器4中继续深入，此时从管道1中流过的气体会通过抽样柱腔体308上开设的长口309进入到抽样柱腔体308中，进一步的，在圆盘304的继续转动，抽样柱腔体308会间接被连接杆307向外扩仓301内腔的方向拉动，直至长口309完全位于外扩仓301内腔中，此时抽样柱腔体308位于管道1内腔的一端因没有长口309的存在，气体便不会再次进入到抽样柱腔体308内腔中，此时外扩仓301中设置的气体检测设备310便会对由抽样柱腔体308转移到外扩仓301中的气体进行检测，以此确定被输送器2输送的气体中是否存在杂质，进一步的，在圆盘304的转动中可将上述工作过程不断重复，同时在抽样柱腔体308再次向管道1内腔移动时，原先被转移到外扩仓301中的气体也会在管道1中气体流动的带动下部分回到管道1中，然后再次通过抽样柱腔体308向外扩仓301内腔移动，这种将检测气体转移到外扩仓301中，进行稳定检测的方式区别于现有的气体在管道1输送中流速相对较快不能稳定检测的情况；
上述工作过程请参考图3至图6。
以下为气体转移组件5的工作过程：
更进一步的，若是气体没问题，抽样检测组件3会通过抽样柱腔体308的移动一直对管道1中的气体进行检测，若是气体中检测出杂质，气体检测设备310便会给控制器4发送信号，此时控制器4会使输送器2停止输送气体，会将原先通电的电磁铁A503断电，将原先未通电的电磁铁B511通电，此时位于磁石509上方的电磁铁A503不再对其吸附，原先因电磁铁A503与磁石509吸附被压缩的弹簧507会从压缩状态中逐渐恢复，此时弹簧507会带着底端的第一封堵块508向固定在辅助盘504上的第二封堵块512靠近，直至第一封堵块508与第二封堵块512将原先未被封堵的通气方口505封住，此时含有气体杂质的气体会被隔挡在辅助盘504左边，此时位于管道1底端的电磁铁B511会在第二驱动螺杆510的转动中向左移动，即向临时转移仓513的方向移动，由于通电的电磁铁B511会和辅助盘504上设置的第二封堵块512相吸附，所以在电磁铁B511的左移中会通过第二封堵块512带着辅助盘504在管道1内腔中向左移动，移动中的辅助盘504会将含有杂质的气体逐渐向左推动，被推动的气体会从管道1上开设的通孔514进入到临时转移仓513中，即此时含有杂质的气体被转移出管道1，这种检测出气体中含有杂质，停止输送并封堵后进行返回转移的方式区别于现有设备即使检测到气体中存在杂质，也不能及时阻止位于管道1中的气体被继续转移，那些含有杂质的气体一般还是会被输送出所在检测位置的管道1的情况，通过气体转移组件5的设置在一定程度上可提高所转移气体的纯度；
更进一步的，通过辅助盘504的设置，可在管道1中气体流动时在一定程度上减缓气体的流速，这样的设置可以使较多的气体通过长口309进入到抽样柱腔体308中，然后抽样柱腔体308会将较多的气体转移到外扩仓301中，以此提高检测的精确度。
上述工作过程请参考图2、图4、图7至图10。
总述：
通过抽样检测组件3的设置可对管道1中通过的气体进行不间断的抽样检测，可在最大程度上保证从管道1中输送的气体为工艺所需的不含杂质的气体，若是当气体检测设备310检测到气体杂质以后，会启动气体转移组件5，被启动的气体转移组件5会将还存在于管道1中带有杂质的气体进行转移，在一定程度上可保证所输送出管道1气体的纯度。
综上所述：
该一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，随着圆盘304的转动，抽样柱腔体308会间接被连接杆307向外扩仓301的方向拉动，直至长口309完全位于外扩仓301内腔中，此时抽样柱腔体308位于管道1内腔的一端因没有长口309的存在，气体便不会再次进入到抽样柱腔体308内腔中，此时外扩仓301中设置的气体检测设备310便会对由抽样柱腔体308转移到外扩仓301中的气体进行检测，以此确定被输送器2输送的气体中是否存在杂质，这种将检测气体转移到外扩仓301中，进行稳定检测的方式区别于现有的气体在管道1输送中流速相对较快不能稳定检测的情况；
该一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，通过移动中的辅助盘504会将含有杂质的气体逐渐向左推动，被推动的气体会从管道1上开设的通孔514进入到临时转移仓513中，即此时含有杂质的气体被转移出管道1，这种检测出气体中含有杂质，停止输送并封堵后进行返回转移的方式区别于现有设备即使检测到气体中存在杂质，也不能及时阻止位于管道1中的气体被继续转移，那些含有杂质的气体一般还是会被输送出所在检测位置的管道1的情况，通过气体转移组件5的设置在一定程度上可提高所转移气体的纯度；
该一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，通过辅助盘504的设置，可在管道1中气体流动时在一定程度上减缓气体的流速，这样的设置可以使较多的气体通过长口309进入到抽样柱腔体308中，然后抽样柱腔体308会将较多的气体转移到外扩仓301中，以此提高检测的精确度。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (1)
1.一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置，其特征在于：包括管道（1），所述管道（1）一端设置有输送器（2），管道（1）同一水平面上设置有抽样检测组件（3）、气体转移组件（5），抽样检测组件（3）一侧设置有控制器（4）；
其中，抽样检测组件（3）包括有外扩仓（301），外扩仓（301）固定连接在管道（1）外表面，外扩仓（301）内腔中固定连接有支撑架（302），支撑架（302）上转动连接有转轴（303），转轴（303）由驱动电机驱动，转轴（303）上设置有圆盘（304），圆盘（304）上固定连接有柱块（305），柱块（305）设置在圆盘（304）偏轴心位置，圆盘（304）一侧设置有竖槽体（306），竖槽体（306）和柱块（305）配合使用，柱块（305）滑动连接在竖槽体（306）中，竖槽体（306）一侧固定连接有连接杆（307），连接杆（307）远离竖槽体（306）的一端固定连接有抽样柱腔体（308），抽样柱腔体（308）能在管道（1）上滑动，抽样柱腔体（308）上开设有长口（309），长口（309）开设在抽样柱腔体（308）中间部位，抽样柱腔体（308）两端均有余留，并未完全被长口（309）贯通，外扩仓（301）内腔中设置有气体检测设备（310）；
管道（1）外表面上方设置有第一驱动螺杆（501），第一驱动螺杆（501）下方且位于管道（1）上固定连接有滑动轨道（502），第一驱动螺杆（501）上螺纹连接有电磁铁A（503），电磁铁A（503）能在滑动轨道502上滑动，管道（1）内腔中滑动连接有辅助盘（504），辅助盘（504）上开设有贯通的通气方口（505），通气方口（505）上方且位于辅助盘（504）上挖设有工作槽口（506），工作槽口（506）内设置有弹簧（507），弹簧（507）底端固定连接有第一封堵块（508），第一封堵块（508）能在工作槽口（506）中进行上下滑动，第一封堵块（508）下方且位于辅助盘（504）中固定连接有第二封堵块（512）；第一封堵块（508）上表面设置有磁石（509），磁石（509）能与通电的电磁铁A（503）相吸附，管道（1）外表面下方设置有第二驱动螺杆（510），当第二驱动螺杆（510）通过通电的电磁铁B（511）对第二封堵块（512）吸附时，移动的电磁铁B（511）会通过第二封堵块（512）带着辅助盘（504）在管道（1）中移动，第二驱动螺杆（510）上螺纹连接有电磁铁B（511），电磁铁B（511）上设置有导向辅助轨道，第二封堵块（512）能与通电的电磁铁B（511）相互吸附，管道（1）靠近输送器（2）一端的侧面固定连接有临时转移仓（513），临时转移仓（513）上设置有转移气体时用到的堵块，当转移含有杂质的气体时将该堵块打开即可进行后续工作，管道（1）上且位于临时转移仓（513）同一水平面上设置有通孔（514）。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211517567.7A CN115902113B (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 |
| PCT/CN2023/086989 WO2024113600A1 (zh) | 2022-11-30 | 2023-04-07 | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211517567.7A CN115902113B (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115902113A CN115902113A (zh) | 2023-04-04 |
| CN115902113B true CN115902113B (zh) | 2023-07-14 |
Family
ID=86493452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211517567.7A Active CN115902113B (zh) | 2022-11-30 | 2022-11-30 | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115902113B (zh) |
| WO (1) | WO2024113600A1 (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115902113B (zh) * | 2022-11-30 | 2023-07-14 | 福建省巨颖高能新材料有限公司 | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 |
| CN117347775B (zh) * | 2023-08-25 | 2024-04-30 | 国网安徽省电力有限公司涡阳县供电公司 | 一种配电网故障预警装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH445218A (de) * | 1965-10-05 | 1967-10-15 | Sulzer Ag | Verfahren zur Ortung eines Lecks in einem Wärmeübertrager sowie Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens |
| WO2021143149A1 (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-22 | 中山大洋电机股份有限公司 | 燃料电池尾排氢气浓度检测及混合稀释装置及燃料电池 |
| CN111604330B (zh) * | 2020-05-27 | 2021-06-01 | 浙江中烟工业有限责任公司 | 一种便于清理的可调节式实验装置 |
| CN113230813B (zh) * | 2021-04-22 | 2022-11-25 | 昆明市中医医院 | 麻醉废气排放处理装置 |
| CN113358818B (zh) * | 2021-04-29 | 2023-04-28 | 浙江丰合检测技术股份有限公司 | 一种工业废气检测方法 |
| CN113218710B (zh) * | 2021-05-13 | 2021-11-12 | 安徽省中环检测有限公司 | 一种水利水质检测水源抽样设备 |
| CN113375922A (zh) * | 2021-06-18 | 2021-09-10 | 武汉巨梦众维科技有限公司 | 一种数据线生产性能测试系统及测试方法 |
| CN113466410A (zh) * | 2021-06-25 | 2021-10-01 | 新昌县梅维斯环保有限公司 | 一种化工产品输送管道抽检仪器及抽检方法 |
| CN216160602U (zh) * | 2021-08-05 | 2022-04-01 | 中山市鑫轩电子科技有限公司 | 一种用于环保治污排污设备的电气智能化分析监测设备 |
| CN113757094B (zh) * | 2021-11-09 | 2022-01-28 | 杭州谦泰五金机械制造有限公司 | 一种新能源汽车电子真空泵性能检测装置 |
| CN216645719U (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-31 | 李光耀 | 一种煤矿管道防泄漏检测装置 |
| CN115126912A (zh) * | 2022-06-20 | 2022-09-30 | 曾晨晨 | 一种家用智能燃气安全阀 |
| CN217738779U (zh) * | 2022-07-27 | 2022-11-04 | 河北比诺油气管道设备技术服务有限公司 | 一种具有取样装置的天然气管道 |
| CN115902113B (zh) * | 2022-11-30 | 2023-07-14 | 福建省巨颖高能新材料有限公司 | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 |
-
2022
- 2022-11-30 CN CN202211517567.7A patent/CN115902113B/zh active Active
-
2023
- 2023-04-07 WO PCT/CN2023/086989 patent/WO2024113600A1/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115902113A (zh) | 2023-04-04 |
| WO2024113600A1 (zh) | 2024-06-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN115902113B (zh) | 一种用于电子级氟气制备的气体杂质的检测装置 | |
| CN206788224U (zh) | 一种电能表安装架 | |
| CN101746605B (zh) | 保管及供给基板的系统 | |
| CN220063447U (zh) | 一种岩土勘查钻探取样装置 | |
| CN208090079U (zh) | 一种可调节高度的石油化工用输送管支架 | |
| CN113048395B (zh) | 特种电子气体罐装系统的空钢瓶智能输送装置及使用方法 | |
| CN209665374U (zh) | 一种龙门式机械手 | |
| CN200967836Y (zh) | 碳化硅软着陆装载机构 | |
| CN208812133U (zh) | 一种环形工件加工进料机械手 | |
| CN112557116A (zh) | 一种石油分离检测用的取样装置 | |
| CN116080704A (zh) | 地铁轨道沉降检测装置 | |
| CN209621342U (zh) | 一种地铁施工移动式隧道管片支撑架 | |
| CN217641269U (zh) | 一种半导体生产抽样检测抓取机构 | |
| CN208437953U (zh) | 电力安装件专用钻孔器 | |
| CN110018380B (zh) | 一种配电终端检测提取机 | |
| CN208671663U (zh) | 扩散炉 | |
| CN211732698U (zh) | 一种具有限位保护轨道架 | |
| CN112796686B (zh) | 一种油田修井作业用自动排管装置 | |
| CN216714329U (zh) | 一种石油修井排管装置 | |
| CN220955457U (zh) | 一种钻机水平找正装置 | |
| CN220960965U (zh) | 一种用于桥梁荷载试验检测的辅助装置 | |
| CN216979329U (zh) | 可安装于石油钻采机械上的石油探测仪 | |
| CN214814957U (zh) | 一种钻孔装置 | |
| CN217951815U (zh) | 一种便于安装的矿井巷道二氧化碳浓度检测设备 | |
| CN117419864B (zh) | 一种可调节的氦气检测水道气密性的工装夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |