CN217641269U - 一种半导体生产抽样检测抓取机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及抓取装置技术领域，公开了一种半导体生产抽样检测抓取机构，包括支撑架，支撑架的顶部固定连接有竖板，竖板的中部转动连接有转轴，转轴的一端固定连接有旋转气缸，转轴的一侧固定连接有转板，转板的一侧转动连接有活动杆，利用旋转气缸带动活动杆实现上下左右移动，从而实现抓取操作，活动杆的外壁滑动连接有导向块，导向块的后侧壁固定连接有滑块，滑块上滑动连接有滑轨，导向块和滑轨可对活动杆移动起到导向作用，活动杆的底部通过螺栓固定连接有固定板，固定板上设置有四个吸盘，吸盘可吸住晶圆，此结构抓取装置结构简单，制造成本低，后期损坏点少，这样可减少后期维护成本。

Description

一种半导体生产抽样检测抓取机构

技术领域

本实用新型属于抓取装置技术领域，具体为一种半导体生产抽样检测抓取机构。

背景技术

半导体行业隶属电子信息产业，属于硬件产业，以半导体为基础而发展起来的一个产业，在半导体行业中会使用到超薄晶圆，当晶圆加工后，需要对晶圆进行抽样抓取检测。

现有的抓取装置一般结构复杂，整体成本高，且结构复杂，损坏风险大，导致后期设备维护成本高，为了解决上述提出的问题，提出一种半导体生产抽样检测抓取机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种半导体生产抽样检测抓取机构。

本实用新型采用的技术方案如下：一种半导体生产抽样检测抓取机构，包括支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有竖板，所述竖板的中部转动连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有旋转气缸，所述旋转气缸的固定连接在所述支撑架的顶面，所述转轴的一侧固定连接有转板，所述转板的一侧转动连接有活动杆，所述活动杆的外壁滑动连接有导向块，所述导向块的后侧壁固定连接有滑块，所述滑块上滑动连接有滑轨，所述滑轨固定连接在所述支撑架的侧壁上，所述活动杆的底部通过螺栓固定连接有固定板，所述固定板上设置有四个吸盘。

在一优选的实施方式中，所述导向块上开设有方形滑槽，所述活动杆贯穿所述方形滑槽。

在一优选的实施方式中，所述滑块上开设有T型滑槽，所述滑轨滑动连接在所述T型滑槽内。

在一优选的实施方式中，所述固定板上开设有四个条形通孔，所述吸盘的顶部固定连接有通气管，所述通气管贯穿所述条形通孔，所述固定板上下两侧所述通气管上螺纹均螺纹连接有锁紧螺母。

在一优选的实施方式中，所述通气管的一端通过气管连通有真空发生器，真空发生器与主气源管道连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过旋转气缸来回180往复带动转轴转动，从而带动转板转动，转板带动活动板在导向块和滑轨的导向下，进而可带动吸盘对晶圆进行抓取移栽，可快速对晶圆进行抓取抽样，此结构整体机构简单，成本低，稳定性好，且损坏风险点少，从而减少后期维护成本。

2、本实用新型中，此结构中通气管可在条形通孔内移动位置，然后通过锁紧螺栓锁住位置，进而可通过调整四个吸盘的位置来适配不同的晶圆尺寸，通用性好。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意简图；

图2为本实用新型的侧视结构示意简图；

图3为本实用新型中条形通孔的结构示意简图；

图4为本实用新型中滑块和导向块的立体结构示意简图。

图中标记：1-支撑架、2-竖板、3-转轴、4-旋转气缸、5-转板、6-活动杆、7-导向块、8-滑块、9-滑轨、10-固定板、11-吸盘、12-方形滑槽、13-T型滑槽、14-条形通孔、15-通气管、16-锁紧螺母

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面将结合图1-图4对本实用新型实施例的一种半导体生产抽样检测抓取机构进行详细的说明。

实施例：

本实用新型实施例提供的一种半导体生产抽样检测抓取机构，参考图1和图2所示，包括支撑架1，支撑架1的顶部固定连接有竖板2，竖板2的中部转动连接有转轴3，转轴3的一端固定连接有旋转气缸4，旋转气缸4的固定连接在支撑架1的顶面，转轴3的一侧固定连接有转板5，转板5的一侧转动连接有活动杆6，活动杆6的底部通过螺栓固定连接有固定板10，固定板10上设置有四个吸盘11，利用吸盘11吸附晶圆进行吸附抓取，此结构中通过旋动气缸4来回180度转动，从而带动转轴3转动，转轴3会带动转板5转动，转板5带动活动杆6上下左右移动，进而带动固定板10上吸盘11移动，从而实现对晶圆的抓取移栽。

参考图1、图2和图4所示，活动杆6的外壁滑动连接有导向块7，导向块7上开设有方形滑槽12，活动杆6贯穿方形滑槽12，此结构通过导向块7对活动杆6的上下移动起到导向作用。

参考图1、图2和图4所示，导向块7的后侧壁固定连接有滑块8，滑块8上滑动连接有滑轨9，滑轨9固定连接在支撑架1的侧壁上，滑块8上开设有T型滑槽13，滑轨9滑动连接在T型滑槽13内，此结构滑块8与滑轨9对活动杆6的左右移动起到导向作用。

参考图1和图3所示，固定板10上开设有四个条形通孔14，吸盘11的顶部固定连接有通气管15，通气管15贯穿条形通孔14，固定板10上下两侧通气管15上螺纹均螺纹连接有锁紧螺母16，此结构中可调整通气管15在条形通孔14的位置来调整吸盘11的位置，且位置确定好后可通过锁紧螺栓16锁住位置，可调的设计便于适配大小不同的晶圆，通用性好。

参考图1所示，通气管15的一端通过气管连通有真空发生器，真空发生器与主气源管道连接，利用通气管15配合真空发生器从而使吸盘与晶圆之间形成真空，从而吸附晶圆，且后期通过主气源通气可将晶圆吹下，从而实现下料。

本申请实施例的一种半导体生产抽样检测抓取机构的实施原理为：使用时，先根据晶圆的大小调整通气管15在条形通孔14的位置来调整吸盘11的位置，且位置确定好后可通过锁紧螺栓16锁住位置，然后给旋转气缸4通气，此时旋转气缸4会带动转轴3先顺势针转动180度，转轴3会带动转板5转动，转板5带动活动杆6在导向块7和滑轨9的导向下上下左右移动，进而带动固定板10上吸盘11移动到抓取位，当吸盘11接触需要检测的晶圆，然后启动真空发生器，使吸盘11吸住晶圆，然后反向启动旋转气缸4，带动吸盘11上的晶圆移动下料位，此时主气源通气可将晶圆吹下，从而将晶圆移栽到输送装置，利用输送装置将晶圆输送到检测位。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种半导体生产抽样检测抓取机构，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的顶部固定连接有竖板(2)，所述竖板(2)的中部转动连接有转轴(3)，所述转轴(3)的一端固定连接有旋转气缸(4)，所述旋转气缸(4)的固定连接在所述支撑架(1)的顶面，所述转轴(3)的一侧固定连接有转板(5)，所述转板(5)的一侧转动连接有活动杆(6)，所述活动杆(6)的外壁滑动连接有导向块(7)，所述导向块(7)的后侧壁固定连接有滑块(8)，所述滑块(8)上滑动连接有滑轨(9)，所述滑轨(9)固定连接在所述支撑架(1)的侧壁上，所述活动杆(6)的底部通过螺栓固定连接有固定板(10)，所述固定板(10)上设置有四个吸盘(11)。

2.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述导向块(7)上开设有方形滑槽(12)，所述活动杆(6)贯穿所述方形滑槽(12)。

3.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述滑块(8)上开设有T型滑槽(13)，所述滑轨(9)滑动连接在所述T型滑槽(13)内。

4.如权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述固定板(10)上开设有四个条形通孔(14)，所述吸盘(11)的顶部固定连接有通气管(15)，所述通气管(15)贯穿所述条形通孔(14)，所述固定板(10)上下两侧所述通气管(15)上螺纹均螺纹连接有锁紧螺母(16)。

5.如权利要求4所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述通气管(15)的一端通过气管连通有真空发生器，真空发生器与主气源管道连接。

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