CN116544162A - 一种半导体器件生产抽样检测抓取机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，本发明涉及半导体器件生产技术领域。该半导体器件生产抽样检测抓取机构，包括输送组件、检验台，所述输送组件的一侧外壁上安装有安装柱，所述安装柱的顶部安装有放置台，所述检验台的一侧外壁上安装有控制板，所述放置台的内部设置有稳固组件，所述放置台的上方设置有抓取组件，所述抓取组件用于对待检测的晶圆进行抓取；所述抓取组件包括固定板二、吸盘、气管、气泵、挤压杆，所述吸盘的顶部通过支撑杆二安装在固定板二的底部，有效的提升了半导体晶圆的抓取稳定性，防止半导体晶圆抓取时掉落造成损坏，同时能够有效的保证晶圆在输送过程中的稳定性，不会从放置台上掉落。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件生产技术领域，具体为一种半导体器件生产抽样检测抓取机构。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；半导体导电性可控，范围从绝缘体到导体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
在生产加工的过程中需要对晶圆进行抓取抽样并检测，传统的晶圆抽样抓取机构多数使用吸盘进行单点抓取，对晶圆的抓取稳定性较差，晶圆抓取时容易掉落导致晶圆损坏，因此提出一种半导体器件生产抽样检测抓取机构。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，解决了传统的晶圆抽样抓取机构多数使用吸盘进行单点抓取，对晶圆的抓取稳定性较差，晶圆抓取时容易掉落导致晶圆损坏的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，包括输送组件、检验台，所述输送组件的一侧外壁上安装有安装柱，所述安装柱的顶部安装有放置台，所述检验台的一侧外壁上安装有控制板，所述放置台的内部设置有稳固组件，所述放置台的上方设置有抓取组件，所述输送组件用于对晶圆进行输送，所述稳固组件用于对输送中的晶圆进行固定，所述抓取组件用于对待检测的晶圆进行抓取；
所述抓取组件包括固定板二、吸盘、气管、气泵、挤压杆，所述吸盘的顶部通过支撑杆二安装在固定板二的底部，所述吸盘的一侧外壁与气管的一端连接，所述气管的另一端安装在气泵的一个输出端上，所述气泵的一侧外壁安装在固定板二的顶部，所述挤压杆的一端安装在固定板二的底部。
优选的，所述抓取组件还包括电磁铁一、磁铁、电磁铁二、定位杆二，所述电磁铁一的一侧外壁安装在支撑杆二的一侧外壁上，所述电磁铁二的一侧外壁安装在支撑杆二的一侧外壁上，所述磁铁的内壁与定位杆二的外壁连接，所述定位杆二的一侧外壁安装在吸盘的顶部，所述定位杆二的一端依次贯穿电磁铁二、磁铁设置。
优选的，所述抓取组件还包括滑动绳三、拖杆、定位杆三、位移传感器，所述位移传感器的一侧外壁安装在固定板二的底部，所述滑动绳三的一端安装在磁铁的一侧外壁上，所述滑动绳三的外壁与定位杆三的内壁连接，所述滑动绳三的一端贯穿定位杆三设置，所述滑动绳三的另一端安装在拖杆的一侧外壁上，所述拖杆的内壁与定位杆三的外壁连接，所述定位杆三的一端贯穿拖杆设置。
优选的，所述稳固组件包括夹板、活动杆一、支架、拉绳一、固定板一，所述夹板的一侧外壁安装有橡胶垫，所述夹板的内壁与活动杆一的外壁连接，所述活动杆一的一端安装在支架的一侧外壁上，所述支架的外壁与放置台的内壁连接，所述支架的一端贯穿放置台设置，所述夹板的一侧外壁与拉绳一的一端连接，所述拉绳一的另一端安装在固定板一的一侧外壁上，所述固定板一的外壁与安装柱的内壁连接，所述固定板一的一端贯穿安装柱设置。
优选的，所述稳固组件中还包括弹簧一、定位杆一、拉绳二、滑动板、推板、活动杆二，所述弹簧一的一端安装在安装柱的内壁上，所述弹簧一的另一端安装在固定板一的内壁上，所述定位杆一的一端安装在放置台的一侧外壁上，所述定位杆一的外壁与固定板一的内壁连接，所述定位杆一的一端贯穿固定板一设置。
优选的，所述拉绳二的一端安装在支架的一侧外壁上，所述拉绳二的外壁与固定板一外壁连接，所述拉绳二的另一端安装在滑动板的一侧外壁上，所述滑动板的一侧内壁通过活动杆二安装在放置台的内壁上，所述推板的外壁与滑动板的外壁连接，所述推板的外壁与放置台的内壁连接。
优选的，所述稳固组件中还包括滑动绳一、滑动绳二、收卷轮、螺纹杆，所述滑动绳一的一端安装在支架的一侧外壁上，所述滑动绳一的外壁与放置台、安装柱、固定板一的内壁均连接，所述滑动绳一的另一端安装在收卷轮的一侧外壁上，所述收卷轮的内壁与螺纹杆的外壁连接，所述螺纹杆的一侧外壁安装在固定板一的一侧内壁上。
优选的，所述抓取组件还包括支撑杆一、电动推杆一、滑动杆、电动推杆二，所述支撑杆一的外壁安装在固定板二的一侧内壁上，所述支撑杆一的一端贯穿固定板二设置，所述支撑杆一的外壁与滑动杆的一端连接，所述支撑杆一的底部与电动推杆二的一端连接，所述电动推杆二的底部安装有固定板三，所述支撑杆一的顶部安装有固定板四，所述固定板四的一侧外壁与电动推杆一的一端连接，所述电动推杆一的另一端安装有固定板五。
有益效果
本发明提供了一种半导体器件生产抽样检测抓取机构。与现有技术相比具备以下有益效果：
(1)、该半导体器件生产抽样检测抓取机构，通过设置输送组件、检验台、控制板、安装柱、放置台、夹板、支架、拉绳一、固定板一、弹簧一、定位杆一、拉绳二、滑动板、推板、吸盘、气管、气泵、挤压杆、电磁铁一、磁铁、电磁铁二、定位杆二、滑动绳三、拖杆、定位杆三，通过输送组件对生产好的晶圆进行输送，有效的提升了半导体晶圆的抓取稳定性，防止半导体晶圆抓取时掉落造成损坏，同时能够有效的保证晶圆在输送过程中的稳定性，不会从放置台上掉落。
(2)、该半导体器件生产抽样检测抓取机构，通过设置滑动绳一、滑动绳二、收卷轮、螺纹杆，通过转动螺纹杆，使得滑动绳二缩短，从而带动支架沿着滑槽向放置台的中心处移动，从而适应对不同尺寸的半导体晶圆进行固定、夹取。
(3)、该半导体器件生产抽样检测抓取机构，通过设置支撑杆一、电动推杆一、滑动杆、电动推杆二，通过电动杆一、电动杆二相互配合，辅助对晶圆进行抓取然后运送至检验台处再放下，进一步提高自动化程度。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明气管的结构图；
图3为本发明放置台的结构图；
图4为本发明安装柱的结构图；
图5为本发明推板的结构图；
图6为本发明弹簧一的结构图；
图7为本发明夹板的部分结构图；
图8为本发明吸盘的侧俯视结构图；
图9为本发明吸盘的侧仰视结构图；
图10为本发明A的放大图；
图11为本发明B的放大图。
图中：1、输送组件；2、检验台；21、控制板；3、安装柱；31、放置台；32、夹板；33、支架；34、拉绳一；35、固定板一；36、弹簧一；37、定位杆一；38、拉绳二；39、滑动板；310、推板；4、滑动绳一；41、滑动绳二；42、收卷轮；43、螺纹杆；5、吸盘；51、气管；52、气泵；53、挤压杆；54、电磁铁一；55、磁铁；56、电磁铁二；57、定位杆二；58、滑动绳三；59、拖杆；510、定位杆三；511、位移传感器；6、支撑杆一、61、电动推杆一；62、滑动杆；63、电动推杆二。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-11，本发明提供两种技术方案：
实施例一
一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，包括输送组件1、检验台2，输送组件1的一侧外壁与安装柱3的一端固定连接，安装柱3的顶部与放置台31的底部固定连接，检验台2的一侧外壁与控制板21的一侧外壁固定连接，放置台31的内部设置有稳固组件，放置台31的上方设置有抓取组件，输送组件1用于对晶圆进行输送，稳固组件用于对输送中的晶圆进行固定，抓取组件用于对待检测的晶圆进行抓取；
抓取组件包括固定板二、吸盘5、气管51、气泵52、挤压杆53，吸盘5的顶部通过支撑杆二固定安装在固定板二的底部，吸盘5的一侧外壁与气管51的一端固定连接，气缸51与吸盘5之间连通设置，气管51的另一端固定安装在气泵52的一个输出端上，气泵52的一侧外壁固定安装在固定板二的顶部，挤压杆53的一端固定安装在固定板二的底部，挤压杆53与固定板一35的位置相适配，抓取组件还包括电磁铁一54、磁铁55、电磁铁二56、定位杆二57，电磁铁一54的一侧外壁固定安装在支撑杆二的一侧外壁上，电磁铁二56的一侧外壁固定安装在支撑杆二的一侧外壁上，磁铁55的内壁与定位杆二57的外壁滑动连接，定位杆二57的一侧外壁固定安装在吸盘5的顶部，定位杆二57的一端依次贯穿电磁铁二56的外壁、磁铁55的外壁延伸至磁铁55的外部，抓取组件还包括滑动绳三58、拖杆59、定位杆三510、位移传感器511，位移传感器511的一侧外壁固定安装在固定板二的底部，滑动绳三58的一端固定安装在磁铁55的一侧外壁上，滑动绳三58的外壁与定位杆三510的内壁滑动连接，滑动绳三58的一端贯穿定位杆三510的外壁延伸至定位杆三510的外部，滑动绳三58的另一端固定安装在拖杆59的一侧外壁上，拖杆59的内壁与定位杆三510的外壁滑动连接，定位杆三510的一端贯穿拖杆59的外壁延伸至拖杆59的外部；
稳固组件包括夹板32、活动杆一、支架33、拉绳一34、固定板一35，夹板32的一侧外壁与橡胶垫的一侧外壁固定连接，夹板32的内壁与活动杆一的外壁通过轴承一活动连接，活动杆一的一端通过蜗簧铰接安装在支架33的一侧外壁上，支架33的外壁与放置台31的内壁滑动连接，支架33的一端贯穿放置台31的内壁延伸至放置台31的内部，夹板32的一侧外壁与拉绳一34的一端固定连接，拉绳一34的另一端固定安装在固定板一35的一侧外壁上，固定板一35的外壁与安装柱3的内壁滑动连接，固定板一35的一端贯穿安装柱3的外壁延伸至安装柱3的内部，稳固组件中还包括弹簧一36、定位杆一37、拉绳二38、滑动板39、推板310、活动杆二，弹簧一36的一端固定安装在安装柱3的内壁上，弹簧一36的另一端固定安装在固定板一35的内壁上，定位杆一37的一端固定安装在放置台31的一侧外壁上，定位杆一37的外壁与固定板一35的内壁滑动连接，定位杆一37的一端贯穿固定板一35的外壁延伸至固定板一35的外部，拉绳二38的一端固定安装在支架33的一侧外壁上，拉绳二38的外壁与固定板一35外壁固定连接，拉绳二38的另一端固定安装在滑动板39的一侧外壁上，滑动板39的一侧内壁通过活动杆二活动安装在放置台31的内壁上，推板310的外壁与滑动板39的外壁通过合页铰接，推板310的外壁与放置台31的内壁滑动连接。
使用时，通过输送组件1对生产好的晶圆进行输送，将晶圆放置在放置台31上，通过控制板21对检测间隔进行设定(如50个抽一个或100个抽一个或其他)，当达到检测间隔之后，通过固定板二带动吸盘5、挤压杆53同步向下移动，挤压杆53会先挤动固定板一35，在定位杆一37、限位杆一的作用下使得固定板一35向下移动，固定板一35带动拉绳一34移动，使得拉绳一34带动夹板32以活动杆一为轴心转动，从放置台31一侧向外翻转，从而松开对晶圆的夹持，固定板一35同步带动拉绳二38移动，拉绳二38带动滑动板39以活动杆二为轴心翻转，使得滑动板39挤动推板310，使得推板310将晶圆向上顶起一段距离，使得晶圆与吸盘5接触，通过位移传感器511对固定板二到输送组件1的距离进行测量，当晶圆与吸盘接触时传出控制信号，使得气泵52、电磁铁一54、电磁铁二56启动，通过气泵52、气管51将吸盘5与晶圆之间的空气抽出，从而将晶圆吸附在吸盘5上，同时电磁铁一54通电后与磁铁55的磁吸相吸设置，电磁铁二56通电后与磁铁55的磁吸互斥设置，使得磁铁55在斥力与吸力的共同作用下向靠近电磁铁一54所在的一侧移动，通过定位杆二57对磁铁55进行限位，使得磁铁55仅会沿着定位杆二57做直线运动，磁铁55会带动滑动绳三58移动，使得定位杆三510对滑动绳三58、拖杆59进行限位，使得拖杆59在滑动绳三58的拉力作用下向靠近吸盘5一侧移动，使得拖杆59从放置台31表面开设的滑动孔中穿过，移至晶圆的下方，防止在检测取样的过程中，由于吸力消失或减弱导致晶圆掉落的情况出现，在将晶圆吸紧之后，将晶圆移至检验台2处，控制气泵52向吸盘5一侧打气，从而将晶圆放下，由检验人员对晶圆进行检验。
实施例二
本实施例区别于实施例一的技术方案包括：稳固组件中还包括滑动绳一4、滑动绳二41、收卷轮42、螺纹杆43，滑动绳一4的一端固定安装在支架33的一侧外壁上，滑动绳一4的外壁与放置台31的内壁、安装柱3的内壁、固定板一35的内壁均滑动连接，滑动绳一4的另一端固定安装在收卷轮42的一侧外壁上，收卷轮42的内壁与螺纹杆43的外壁固定连接，螺纹杆43的一侧外壁螺纹安装在固定板一35的一侧内壁上，螺纹杆43的一端贯穿固定板一35的外壁延伸至固定板一35的外部，抓取组件还包括支撑杆一6、电动推杆一61、滑动杆62、电动推杆二63，支撑杆一6的外壁滑动安装在固定板二的一侧内壁上，支撑杆一6的一端贯穿固定板二的外壁延伸至固定板二的内部，支撑杆一6的外壁与滑动杆62的一端固定连接，滑动杆62的外壁与固定板三的内壁滑动连接，滑动杆62的一端贯穿固定板三的外壁延伸至固定板三的内部，支撑杆一6的底部与电动推杆二63的一端固定连接，电动推杆二63的底部固定安装在固定板三的一侧外壁上，支撑杆一6的顶部与固定板四的一侧外壁固定连接，固定板四的一侧外壁与电动推杆一6的一端固定连接，电动推杆一6的另一端固定安装在固定板五的一侧外壁上，固定板五的一侧外壁安装在支撑杆一6的顶部，固定板四的一侧外壁安装在固定板二的顶部。
还可以在支架33的的一侧外壁上固定安装弹簧二，弹簧二的另一端安装在滑槽的内壁上，在拖杆59的一侧外壁上固定安装弹簧三，弹簧三的另一端固定安装在定位杆三510的一侧外壁上，使得在失去外力作用下时，支架33、拖杆59能够复位。
使用时，通过转动螺纹杆43，使得螺纹杆43沿着固定板一35移动，螺纹杆43带动收卷轮42转动，收卷轮42带动滑动绳二41移动，使得滑动绳二41绕卷在收卷轮42上，滑动绳二41缩短，从而带动支架33沿着滑槽向放置台31的中心处移动，支撑杆一6对固定板二进行限位，通过启动电动推杆一61带动固定板四移动，从而带动固定板二移动，使得固定板二能够沿着支撑杆一6做直线移动，通过滑动杆62对支撑杆一6进行限位，固定板三对滑动杆62进行限位，启动电动推杆二63从而带动支撑杆一6移动，通过电动杆一61、电动杆二63相互配合，辅助对晶圆进行抓取然后运送至检验台2处再放下。
同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，包括输送组件(1)、检验台(2)，其特征在于：所述输送组件(1)的一侧外壁上安装有安装柱(3)，所述安装柱(3)的顶部安装有放置台(31)，所述检验台(2)的一侧外壁上安装有控制板(21)，所述放置台(31)的内部设置有稳固组件，所述放置台(31)的上方设置有抓取组件，所述输送组件(1)用于对晶圆进行输送，所述稳固组件用于对输送中的晶圆进行固定，所述抓取组件用于对待检测的晶圆进行抓取；
所述抓取组件包括固定板二、吸盘(5)、气管(51)、气泵(52)、挤压杆(53)，所述吸盘(5)的顶部通过支撑杆二安装在固定板二的底部，所述吸盘(5)的一侧外壁与气管(51)的一端连接，所述气管(51)的另一端安装在气泵(52)的一个输出端上，所述气泵(52)的一侧外壁安装在固定板二的顶部，所述挤压杆(53)的一端安装在固定板二的底部。
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述抓取组件还包括电磁铁一(54)、磁铁(55)、电磁铁二(56)、定位杆二(57)，所述电磁铁一(54)的一侧外壁安装在支撑杆二的一侧外壁上，所述电磁铁二(56)的一侧外壁安装在支撑杆二的一侧外壁上，所述磁铁(55)的内壁与定位杆二(57)的外壁连接，所述定位杆二(57)的一侧外壁安装在吸盘(5)的顶部，所述定位杆二(57)的一端依次贯穿电磁铁二(56)、磁铁(55)设置。
3.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述抓取组件还包括滑动绳三(58)、拖杆(59)、定位杆三(510)、位移传感器(511)，所述位移传感器(511)的一侧外壁安装在固定板二的底部，所述滑动绳三(58)的一端安装在磁铁(55)的一侧外壁上，所述滑动绳三(58)的外壁与定位杆三(510)的内壁连接，所述滑动绳三(58)的一端贯穿定位杆三(510)设置，所述滑动绳三(58)的另一端安装在拖杆(59)的一侧外壁上，所述拖杆(59)的内壁与定位杆三(510)的外壁连接，所述定位杆三(510)的一端贯穿拖杆(59)设置。
4.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述稳固组件包括夹板(32)、活动杆一、支架(33)、拉绳一(34)、固定板一(35)，所述夹板(32)的一侧外壁安装有橡胶垫，所述夹板(32)的内壁与活动杆一的外壁连接，所述活动杆一的一端安装在支架(33)的一侧外壁上，所述支架(33)的外壁与放置台(31)的内壁连接，所述支架(33)的一端贯穿放置台(31)设置，所述夹板(32)的一侧外壁与拉绳一(34)的一端连接，所述拉绳一(34)的另一端安装在固定板一(35)的一侧外壁上，所述固定板一(35)的外壁与安装柱(3)的内壁连接，所述固定板一(35)的一端贯穿安装柱(3)设置。
5.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述稳固组件中还包括弹簧一(36)、定位杆一(37)、拉绳二(38)、滑动板(39)、推板(310)、活动杆二，所述弹簧一(36)的一端安装在安装柱(3)的内壁上，所述弹簧一(36)的另一端安装在固定板一(35)的内壁上，所述定位杆一(37)的一端安装在放置台(31)的一侧外壁上，所述定位杆一(37)的外壁与固定板一(35)的内壁连接，所述定位杆一(37)的一端贯穿固定板一(35)设置。
6.根据权利要求5所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述拉绳二(38)的一端安装在支架(33)的一侧外壁上，所述拉绳二(38)的外壁与固定板一(35)外壁连接，所述拉绳二(38)的另一端安装在滑动板(39)的一侧外壁上，所述滑动板(39)的一侧内壁通过活动杆二安装在放置台(31)的内壁上，所述推板(310)的外壁与滑动板(39)的外壁连接，所述推板(310)的外壁与放置台(31)的内壁连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述稳固组件中还包括滑动绳一(4)、滑动绳二(41)、收卷轮(42)、螺纹杆(43)，所述滑动绳一(4)的一端安装在支架(33)的一侧外壁上，所述滑动绳一(4)的外壁与放置台(31)、安装柱(3)、固定板一(35)的内壁均连接，所述滑动绳一(4)的另一端安装在收卷轮(42)的一侧外壁上，所述收卷轮(42)的内壁与螺纹杆(43)的外壁连接，所述螺纹杆(43)的一侧外壁安装在固定板一(35)的一侧内壁上。
8.根据权利要求1所述的一种半导体器件生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述抓取组件还包括支撑杆一(6)、电动推杆一(61)、滑动杆(62)、电动推杆二(63)，所述支撑杆一(6)的外壁安装在固定板二的一侧内壁上，所述支撑杆一(6)的一端贯穿固定板二设置，所述支撑杆一(6)的外壁与滑动杆(62)的一端连接，所述支撑杆一(6)的底部与电动推杆二(63)的一端连接，所述电动推杆二(63)的底部安装有固定板三，所述支撑杆一(6)的顶部安装有固定板四，所述固定板四的一侧外壁与电动推杆一(6)的一端连接，所述电动推杆一(6)的另一端安装有固定板五。
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