CN115875418A - 一种半导体测试设备 - Google Patents

Abstract

本公开涉及半导体设备技术领域，本公开提供了一种半导体测试设备，包括：载置板，用于安装探针板卡；框架板，与载置板连接，且与载置板垂直设置；间歇运动组件，与载置板和框架板连接，使得载置板可间歇翻转，以可翻转到多个指定位置；翻转动力装置，与间歇运动组件连接，为间歇运动组件提供动力使间歇运动组件带动载置板进行翻转运动；其中，间歇运动组件包括：框架，具有收容空间；间歇运动件，配置为可在收容空间内间歇运动以形成至少两条运动路径；往复运动件，其与间歇运动件枢转连接，往复运动件可在框架内作往复运动以带动间歇运动件作间歇运动；动力装置，其与往复运动件连接，配置为给往复运动件作运动提供动力。

Description

一种半导体测试设备

技术领域

本公开涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种半导体测试设备。

背景技术

对于半导体被动元器件-晶片电阻调阻加工，目前的成熟产线加工方法一般是采用激光修调，通过激光的高能量，是电阻颗粒去电一部分，从而达到电阻颗粒截面积变小，阻值升高到一个高精度范围。在线检测阻值是其中的核心环节。探针作为检测工具，通长要按照不同电阻尺寸和阻值规格进行定制。现有翻转机构通常处于折叠状态，该翻转机构用于翻转上托板（安装探针板卡），翻转机构、翻转动力机构、控制阀等与主机独立设置。所述翻转机构主要用于将探针板卡载置于上托板时，使探针板卡的重力方向与提供动力的翻转动力机构对上托板在探针板卡的重心位置所产生的力的方向一致。但是，现有翻转机构仍无法保证探针板卡放置在上托板时因探针板卡的重力导致机构上托板翻转所导致的针卡损坏，甚至因动力不足在放置探针板卡后因探针板卡的重力大于所提供的动力而导致翻转时损坏针卡。

此外，目前间歇运动组件的技术方案通常用作支撑构件，与滑撑的功能大致相同，通常均为单点卡住，即只有单个锁定点，而且运动轨迹单一，用作斜撑构件；应用受限制。在一相关技术中，使用棘轮机构实现推拉再定点锁住，再次推拉解锁的功能。但是只能实现单点锁定，只能实现单一运动轨迹。此外，在间歇运动组件的结构优化、增多定位点、运动轨迹优化等多方面仍存在很大改进空间。

发明内容

本公开的目的在于提供一种半导体测试设备，能够解决上述提到的至少一个技术问题。具体方案如下：

本公开实施例提供一种半导体测试设备，包括：

载置板，用于安装探针板卡；

框架板，与所述载置板连接，且与所述载置板垂直设置；

间歇运动组件，与所述载置板和所述框架板连接，使得所述载置板可间歇翻转，以可翻转到多个指定位置；

翻转动力装置，与所述间歇运动组件连接，为所述间歇运动组件提供动力使所述间歇运动组件带动载置板进行翻转运动；

其中，所述间歇运动组件包括：

框架，具有收容空间；

间歇运动件，配置为可在所述收容空间内间歇运动以形成至少两条运动路径；

往复运动件，其与所述间歇运动件枢转连接，所述往复运动件可在所述框架内作往复运动以带动所述间歇运动件作间歇运动；

动力装置，其与所述往复运动件连接，配置为给所述往复运动件作运动提供动力。

在一些实施例中，所述框架还包括：

限位部，其包括具有第一形状的端部，所述限位部内置于所述框架内，并与所述框架形成第一限位点和第二限位点；

间歇限定部，其包括至少一个缺口部，所述缺口部的底部用作间歇点。

在一些实施例中，所述间歇限定部包括第一缺口部和第二缺口部，所述第一缺口部和所述第二缺口部的底部均用作间歇点；

所述第一缺口部的第一端与所述限位部的第二端形成第一运动区间，所述第二缺口部的第一端与所述限位部的第二端形成第二运动区间。

在一些实施例中，所述间歇运动件包括：

主体部，其具有第二形状；

摆臂部，其与所述主体部连接，所述摆臂部包括与所述缺口部形成干预配合的凸出部，以使得所述间歇运动件卡合于所述缺口部的底部以形成间歇状态。

在一些实施例中，所述框架还包括：

导向部，包括倾斜壁，所述倾斜壁用于导向；

所述导向部固定于所述框架的内部，所述导向部的上端面比所述框架的上端面低。

在一些实施例中，基于调整所述往复运动件在第一运动区间的运动速度，并根据所述间歇运动件相对于水平方向的转动角度，以形成第一运动路径。

在一些实施例中，基于调整所述间歇运动件在第二运动区间内的运动速度，并根据所述间歇运动件相对于水平方向的转动角度，使得所述间歇运动件卡合于第一间歇点，依次经过第二限位点、导向部返回到初始位置，以形成第二运动路径。

在一些实施例中，基于所述间歇运动件在第二运动区间内的运动速度，并根据所述间歇运动件相对于水平方向的转动角度，使得所述间歇运动件卡合于第二间歇点，依次经过第二限位点、导向部返回到初始位置，以形成第三运动路径。

在一些实施例中，通过调整所述往复运动件带动所述间歇运动件在第一运动区间的运动速度，使得所述间歇运动件不接触所述限位部地运动，直接经由导向部返回到初始位置，以形成第四运动路径。

在一些实施例中，所述框架为自上向下凹进的凹槽部；所述限位部与所述框架的凹槽部形成初始点；

所述限位部的上端面、所述导向部的上端面和所述框架的凹槽部的内壁面形成第一运动平面，所述往复运动件在所述第一运动平面上沿第一方向运动时带动所述间歇运动件从所述初始位置向限位部运动。

本公开实施例的上述方案与现有技术相比，至少具有以下有益效果：

本公开实施例提供一种半导体测试设备包括的间歇运动组件，间歇运动组件通过在框架内设置至少两个缺口部的间歇限定部，并配合限位部的第一限位点和第二限位点，使得所述间歇运动件在收容空间内间歇运动以形成四条以上的运动路径，能够在优化间歇运动组件的结构的同时，能够实现四条以上的运动路径，能够在至少两个间歇点暂时停止运动，即能够实现至少两个指定点的暂时停止运动的间歇运动，还能够提高在将间歇运动组件用作斜撑或其他支撑构件时的应用广泛性。

附图说明

结合附图并参考以下具体实施方式，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。贯穿附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素。应当理解附图是示意性的，元件和元素不一定按照比例绘制。在附图中：

图1示出了根据本公开实施例的间歇运动组件的一示例的立体结构示意图；

图2示出了图1的间歇运动组件的立体结构爆炸示意图；

图3示出了图1的间歇运动组件的往复运动件运动到终点位置的平面结构示意图。

图4为图3的去除了往复运动件的间歇运动组件的平面结构示意图；

图5为根据本公开实施例的间歇运动组件的另一示例的立体结构爆炸示意图；

图6为根据本公开实施例的半导体测试设备的一示例的结构示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的实施例。虽然附图中显示了本公开的某些实施例，然而应当理解的是，本公开可以通过各种形式来实现，而且不应该被解释为限于这里阐述的实施例，相反提供这些实施例是为了更加透彻和完整地理解本公开。应当理解的是，本公开的附图及实施例仅用于示例性作用，并非用于限制本公开的保护范围。

应当理解，本公开的方法实施方式中记载的各个步骤可以按照不同的顺序执行，和/或并行执行。此外，方法实施方式可以包括附加的步骤和/或省略执行示出的步骤。本公开的范围在此方面不受限制。

为了进一步优化间歇运动组件的结构，在优化结构的同时，并能够实现多个间歇点以及多条间歇运动路径。本公开提供一种间歇运动组件，所述间歇运动组件包括：框架，具有收容空间；间歇运动件，配置为可在所述收容空间内间歇运动以形成至少两条运动路径；往复运动件，其与所述间歇运动件枢转连接，所述往复运动件可在所述框架内作往复运动以带动所述间歇运动件作间歇运动；动力装置，其与所述往复运动件连接，配置为给所述往复运动件作运动提供动力。

本公开的间歇运动组件利用平面凸轮原理实现，通过将间歇限定部设置至少两个缺口部来用作间歇点，以使得间歇运动件进行与间歇点相应的运动路线来实现，其中，间歇点可无限增加。本公开的间歇运动组件通过在框架内设置至少两个缺口部的间歇限定部，并配合限位部的第一限位点和第二限位点，使得所述间歇运动件在收容空间内间歇运动以形成四条以上的运动路径，能够在优化间歇运动组件的结构的同时，能够实现四条以上的运动路径，能够在至少两个间歇点暂时停止运动，即能够实现至少两个指定点的暂时停止运动的间歇运动，还能够提高在将间歇运动组件用作斜撑或其他支撑构件时的应用广泛性。

需要说明的是，在本公开中，以附图页面的左侧为第一端，以附图页面的右侧为第二端。以附图页面的上侧为上侧，以附图页面的下侧为下侧。以附图页面中箭头指向的方向为第一方向F，而以与第一方向相反的方向为第二方向。以附图页面的上下方向为竖直方向，以附图页面的左右方向为水平方向。

下面结合附图详细说明本公开的可选实施例。

图1示出了根据本公开实施例的（往复运动件和间歇运动件处于运动初始位置时）间歇运动组件的一示例的立体结构示意图。图2示出了图1的间歇运动组件的立体结构爆炸示意图。

参照图1和图2，本公开的间歇运动组件100包括框架10、间歇运动件20、

以及与间歇运动件20枢转连接的往复运动件70。

如图2所示，所述框架10具有收容空间11，所述间歇运动件20配置为可在所述收容空间11内间歇运动。

具体地，往复运动件70与所述间歇运动件20枢转连接，所述往复运动件70可在所述框架10内作往复运动以带动所述间歇运动件20作间歇运动。

在一实施方式中，往复运动件70与所述间歇运动件20通过卷簧7枢转连接，所述卷簧7用于给所述间歇运动组件20提供一扭转力（例如以枢转中心为中心沿顺时针枢转的力），所述间歇运动件20在其第一端配置有阻尼件8。

进一步地，动力装置40与所述往复运动件70连接，配置为给所述往复运动件70作运动提供动力。所述动力装置40例如为气缸、电机等。

具体地，当所述往复运动件70作直线往复运动时带动所述间歇运动件20在所述收容空间内作间歇运动。

可选地，所述间歇运动件20配置为可在所述收容空间11内间歇运动以形成至少两条运动路径。

在图2的示例中，往复运动件70沿从运动起点（初始位置A）到运动终点（最终位置B）的指定运动路径进行直线往复运动，以带动间歇运动件20在框架10的收容空间内作间歇运动，以形成四条运动路径。

图3示出了图1的间歇运动组件的往复运动件运动到终点位置的平面结构示意图。图4为图3的去除了往复运动件的间歇运动组件的平面结构示意图。

下面将参照图3和图4并结合间歇运动件20在所述收容空间11内的运动路径，具体说明本公开的框架10内的结构。

如图4所示，所述间歇运动组件100还包括限位部30和间歇限定部40，限位部30包括具有第一形状的端部，所述限位部30内置于所述框架10内并与所述框架10形成第一限位点x1（也称为第一边界点）和第二限位点x2（也称为第二边界点）；间歇限定部40位于所述框架1内，所述间歇限定部40包括第一缺口部41和第二缺口部43。

在该示例中，框架10为自上向下凹进的凹槽部，限位部30与框架10的凹槽部形成初始点，即往复运动件70开始往复运动的初始点（即初始位置）。

具体地，所述限位部30的上端面、所述导向部50的上端面和所述框架10的凹槽部的内壁面形成第一运动平面，所述往复运动件70在所述第一运动平面上沿第一方向运动时带动所述间歇运动件20从所述初始位置向限位部运动，直至运动到终点位置，并在从初始位置到终点位置的运动路线上作往复运动。

通过在框架内设置具有两个缺口部（两个以上缺口部）的间歇限定部，并配合第一限位点x1和第二限位点x2，使得所述间歇运动件20在所述收容空间11内间歇运动以形成四条运动路径（四条以上的运动路径）。

从图2和图4中可知，间歇运动件20包括主体部21及与主体部21连接的摆臂部23，其中，所述主体部21具有第二形状，所述第二形状例如为圆柱状，所述摆臂部23例如为杆状，圆柱状等。

具体地，所述摆臂部23包括与间歇限定部40的缺口部（具体包括第一缺口部41和第二缺口部43）形成干预配合的凸出部231，以使得所述间歇运动件20卡合于第一缺口部41和第二缺口部43的底部以形成间歇状态。

更具体地，所述凸出部231例如与圆柱状，所述凸出部231在框架10的收容空间的运动路径槽内（限位部30、运动间歇限定部40、导向部50、挡板60相配合与框架10的内壁面形成运动路径槽）运动，并在第一缺口部41和第二缺口部43的底部卡合。

进一步地，限位部30的端部31为第一形状，所述第一形状例如为三角形。具体地，所述端部31的在与水平面平行的截面形状为三角形。

需要说明的是，在本实施方式中，第一形状的上述截面形状为三角形，该限位部的端部31与框架10的内壁面形成限位槽，所述限位槽呈V字型，也即形成两个限位点或两个边界点（x1和x2）。但是在其他实施方式中，还可以为具有尖端的四边形或者其他形状，只要满足具有尖端且使所述尖端与框架的内壁面形成两个边界点（或边界限定点）即可。上述仅作为示例进行说明，不能理解成对本公开的限制。

可选地，所述间歇限定部40包括至少一个缺口部，所述缺口部的底部或者底部的角点或指定点用作间歇点。

如图4所示，所述间歇限定部40包括第一缺口部41和第二缺口部43两个缺口部，其中，第一缺口部41和第二缺口部43均包括底部，所述底部或底部中的角点或指定点用作间歇点，如第一缺口部41内的第一间歇点G1，第二缺口部43内的第二间歇点G2，即间歇运动件20在运动到间歇点时会停止运动以形成间歇状态。从间歇状态到运动状态时，需要与原来方向相反的力拉动再从间歇点开始继续运动，以形成包含间歇状态的运动路径。

具体地，所述第一缺口部41的第一端（即靠近限位部的一端）与所述限位部30的第二端（即靠近第一缺口部的一端）形成第一运动区间S1，所述第二缺口部43的第一端（即靠近限位部的一端）与所述限位部30的第二端（即靠近第二缺口部的一端）形成第二运动区间S2，具体可参见图4。

更具体地，所述第一缺口部41包括第一底部，所述第二缺口部43包括第二底部，所述第一缺口部41和所述第二缺口部43之间形成有三个侧壁，在本实施例中，所述三个侧壁为间隔分布的第一尖端部42、第二尖端部44和第三尖端部45。第一缺口部41和第二缺口部43均为沿第二方向（即自左向右）凹进的缺口部。

需要说明的是，在本实施方式中，所述间歇限定部40包括第一缺口部41和第二缺口部43两个缺口部，但是不限于此，在其他示例中，还可以设置三个、四个、五个或更多个缺口部，以对应实现三个以上间歇点的需求，可以根据运动间歇组件在实际设备中的具体应用来确定，上述仅作为可选示例进行说明，不能理解成对本公开的限制。

在可选实施方式中，所述第一尖端部42在第一端的外边缘与第三尖端部45在第一端的外边缘在竖直方向上齐平，所述第一尖端部42在第一端的外边缘比第二尖端部44在第一端的外边缘靠近限位部30。

在该示例中，所述框架10还包括导向部50，导向部50包括倾斜壁51，所述倾斜壁用于导向，具体将往复运动件70沿倾斜壁51运动到初始位置A。

具体地，所述导向部50固定于所述框架10的内部，所述导向部的上端面比所述框架10的上端面低。

在一些实施例中，所述框架10 还包括挡板60，该挡板60的第一端固定于间歇限定部40且与所述框架10的内壁面间隔一定距离（在该示例中，该距离大致等于或略大于往复运动件的凸出部的圆形截面的直径），使得所述挡板60与所述框架10的内壁面形成一段运动路径槽，间歇运动件20的摆臂部23的凸出部231与该段运动路径槽形成干预配合，沿着该段运动路径槽运动，接着进入第一运动区间S1。挡板60的第二端与所述导向部50接触，以使得当往复运动件70沿导向部50的倾斜壁51运动时推开挡板以运动到初始位置A。

下面将结合运动原理对间歇运动件20在框架10内进行间歇运动的运动路径进行说明。

基于调整所述往复运动件70在第一运动区间S1的运动速度，并根据所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度，以形成第一运动路径。

对于第一运动路径的形成，在所述往复运动件70沿第一方向运动做直线运动的情况下，在所述往复运动件70在第一运动区间S1的运动速度小于第一速度，且所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度大于第一角度时，所述间歇运动件20运动到第二限位点，进一步通过导向部50回到初始位置，以形成第一运动路径。

基于调整所述间歇运动件20在第二运动区间内的运动速度，并根据所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度，使得所述间歇运动件20卡合于第一间歇点，依次经过第二限位点、导向部50返回到初始位置，以形成第二运动路径。

对于第二运动路径的形成，在所述往复运动件70沿第一方向运动做直线运动的情况下，在所述往复运动件70（即间歇运动件20）在第一运动区间S1的运动速度大于第一速度，且所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度小于第一角度时，所述间歇运动件20从初始位置开始运动，经过第一运动区间S1先运动到第一限位点x1，进一步在第二运动区间S2内的运动，其中，在第二运动区间S2内的运动速度大于第二速度，且所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度小于第二角度时，所述间歇运动件20卡合于第一间歇点G1，依次经过第二限位点x2、导向部50返回到原始位置，以形成第二运动路径。

基于所述间歇运动件20在第二运动区间内的运动速度，并根据所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度，使得所述间歇运动件20卡合于第二间歇点，依次经过第二限位点、导向部50返回到初始位置，以形成第三运动路径。

对于第三运动路径的形成，在所述往复运动件沿第一方向运动做直线运动的情况下，所述往复运动件70带动所述间歇运动件20从初始位置开始运动，通过调整在往复运动件70（即所述间歇运动件20）在第一运动区间S1内的运动速度，在第一运动区间S1内的运动速度大于第一速度，且所述间歇运动件20相对于水平方向的转动角度小于第一角度时，先运动到所述第一限位点x1，进一步在第二运动区间S2内运动，依次卡合于所述第二间歇点G2、第二限位点x2，再经由导向快返回到初始位置，以形成第三运动路径。

通过调整所述往复运动件70带动所述间歇运动件20在第一运动区间的运动速度，使得所述间歇运动件20不接触所述限位部地运动，直接经由导向部50返回到初始位置，以形成第四运动路径。

对于第四运动路径的形成，在所述往复运动件70沿第一方向运动做直线运动的情况下，所述往复运动件70带动所述间歇运动件20从初始位置开始运动，经过第一运动区间S1，接着不接触所述限位部30地运动，直接经由导向部50返回到初始位置，以形成第四运动路径。

需要说明的是，上述仅作为可选示例进行说明，不能理解成对本公开的限制。

通过在框架内设置具有两个缺口部（两个以上缺口部）的间歇限定部，并配合第一限位点x1和第二限位点x2，使得所述间歇运动件20在所述收容空间11内间歇运动以形成四条运动路径（四条以上的运动路径），能够在优化间歇运动组件的结构的同时，能够实现四条以上的运动路径，能够在至少两个间歇点暂时停止运动，即能够实现至少两个指定点的暂时停止运动的间歇运动，还能够提高在将间歇运动组件用作斜撑或其他支撑构件时的应用广泛性。

图5示出了根据本公开实施例的间歇运动组件的另一示例的结构示意图。

在图5的示例中的间歇运动组件100’与图2的间歇运动组件100的区别在于，所述限位部30’与图2中的限位部30不同，间歇限定部40’与图2中的限位部30不同。

具体地，所述限位部30为具有第三形状的尖端，该尖端的与水平面平行的截面形状为五边形，或者由三角形和四边形组合形成的五边形。

需要说明的是，在本实施方式中，该限位部的尖端与框架10的内壁面形成形成两个限位点或两个边界点（图5中的x1’和x2’）。但是在其他实施方式中，限位部还可以为具有尖端的梯形或其他形状，只要满足具有尖端且使所述尖端与框架的内壁面形成两个边界点（或边界限定点）即可。上述仅作为示例进行说明，不能理解成对本公开的限制。

在图5的示例中，间歇限定部40’包括一个缺口部41’，该缺口部41’的底部用作间歇点G1’，使得能够至少形成一条具有间歇点G1’的运动路径。

通过在框架内设置具有一个缺口部的间歇限定部，并配合限位部的第一限位点和第二限位点，使得所述间歇运动件在所述收容空间11内间歇运动以形成两条运动路径。

需要说明的是，在图5的示例中的间歇运动组件、运动路径形成原理与图2的间歇运动组件中的其他组件的结构、运动路径形成原理大致相同，因此，省略了相同部分的说明。

本公开的间歇运动组件通过在框架内设置至少两个缺口部的间歇限定部，并配合限位部的第一限位点和第二限位点，使得所述间歇运动件在收容空间内间歇运动以形成四条以上的运动路径，能够在优化间歇运动组件的结构的同时，能够实现四条以上的运动路径，能够在至少两个间歇点暂时停止运动，即能够实现至少两个指定点的暂时停止运动的间歇运动，还能够提高在将间歇运动组件用作斜撑或其他支撑构件时的应用广泛性。

参照图6，本公开还提供了与上述实施例承接的另一实施例，本公开实施例还提供一种半导体测试设备600，其包括：载置板610，用于安装探针板卡；

框架板620，与所述载置板610连接，且与所述载置板610垂直设置；本公开前述实施例的间歇运动组件100，与所述载置板610和所述框架板620连接，使得所述载置板610可间歇翻转，以可翻转到多个指定位置；翻转动力装置630，与所述间歇运动组件100连接，并为所述间歇运动组件100提供动力，使间歇运动组件100’带动载置板610进行翻转运动。

在该示例中，所述间歇运动组件100包括第一连接件200和第二连接件300，所述第一连接件200和第二连接件300分别位于所述间歇运动组件100的长度方向的两端侧，所述第一连接件200和第二连接件300分别与所述载置板610和所述框架板620连接。

具体地，所述多个指定位置包括与第一间歇点G1、第二间歇点G2相对应的指定位置，所述载置板610可在该指定位置处停止翻转运动。

在一实施方式中，只有拉动间歇运动组件100时，间歇运动组件100卡在第一间歇点G1或第二间歇点G2，并使载置板610稳定地处于水平状态，这时才可安装探针板卡，能够保证探针板卡安装的安全性。

可选地，翻转动力装置630例如为翻转气缸，其与所述间歇运动组件100相配合，为所述间歇运动组件100提供动力，使所述间歇运动组件100带动所述载置板610进行翻转运动，例如相对于所述框架板620沿图中F方向作运动。

通过使用间歇运动组件使载置板610作相对于所述框架板620沿图中F方向作翻转运动，能够保证探针板卡载置于载置板时，探针板卡的重力方向与提供动力的翻转动力装置对载置板在探针板卡的重心位置所产生的力的方向一致。在放置探针板卡前通过翻转动力装置的推动对载置板的受力能力远大于探针板的重力，能够有效保证载置有探针板卡的载置板不会因探针板卡的重力使载置板在翻转运动时导致损坏探针板卡，能够及时发现翻转动力装置的气路故障问题进而保证探针板卡安装的安全性，还能够为后续托起、升降运动等操作提供安全性验证。

需要说明的是，对于间歇运动组件，基于相同的名称含义的解释与如上实施例相同，具有与如上实施例相同的技术效果，此处不再赘述。

尽管已经采用特定于结构特征和/或方法逻辑动作的语言描述了本主题，但是应当理解所附权利要求书中所限定的主题未必局限于上面描述的特定特征或动作。相反，上面所描述的特定特征和动作仅仅是实现权利要求书的示例形式。

Claims (10)

1.一种半导体测试设备，其特征在于，包括：

载置板，用于安装探针板卡；

框架板，与所述载置板连接，且与所述载置板垂直设置；

间歇运动组件，与所述载置板和所述框架板连接，使得所述载置板可间歇翻转，以可翻转到多个指定位置；

翻转动力装置，与所述间歇运动组件连接，为所述间歇运动组件提供动力使所述间歇运动组件带动载置板进行翻转运动；

其中，所述间歇运动组件包括：

框架，具有收容空间；

间歇运动件，配置为可在所述收容空间内间歇运动以形成至少两条运动路径；

往复运动件，其与所述间歇运动件枢转连接，所述往复运动件可在所述框架内作往复运动以带动所述间歇运动件作间歇运动；

动力装置，其与所述往复运动件连接，配置为给所述往复运动件作运动提供动力。

2.根据权利要求1所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述框架还包括：

限位部，其包括具有第一形状的端部，所述限位部内置于所述框架内，并与所述框架形成第一限位点和第二限位点；

间歇限定部，其包括至少一个缺口部，所述缺口部的底部用作间歇点。

3.根据权利要求2所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述间歇限定部包括第一缺口部和第二缺口部，所述第一缺口部和所述第二缺口部的底部均用作间歇点；

所述第一缺口部的第一端与所述限位部的第二端形成第一运动区间，所述第二缺口部的第一端与所述限位部的第二端形成第二运动区间。

4.根据权利要求2或3所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述间歇运动件还包括：

主体部，其具有第二形状；

摆臂部，其与所述主体部连接，所述摆臂部包括与所述缺口部形成干预配合的凸出部，以使得所述间歇运动件卡合于所述缺口部的底部以形成间歇状态。

5.根据权利要求2或3所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述框架还包括：

导向部，包括倾斜壁，所述倾斜壁用于导向；

所述导向部固定于所述框架的内部，所述导向部的上端面比所述框架的上端面低。

6.根据权利要求5所述的半导体测试设备，其特征在于，

基于调整所述往复运动件在第一运动区间的运动速度，并根据所述间歇运动件相对于水平方向的转动角度，以形成第一运动路径。

7.根据权利要求5所述的半导体测试设备，其特征在于，

基于调整所述间歇运动件在第二运动区间内的运动速度，并根据所述间歇运动件相对于水平方向的转动角度，使得所述间歇运动件卡合于第一间歇点，依次经过第二限位点、导向部返回到初始位置，以形成第二运动路径。

8.根据权利要求6所述的半导体测试设备，其特征在于，

基于所述间歇运动件在第二运动区间内的运动速度，并根据所述间歇运动件相对于水平方向的转动角度，使得所述间歇运动件卡合于第二间歇点，依次经过第二限位点、导向部返回到初始位置，以形成第三运动路径。

9.根据权利要求5所述的半导体测试设备，其特征在于，

通过调整所述往复运动件带动所述间歇运动件在第一运动区间的运动速度，使得所述间歇运动件不接触所述限位部地运动，直接经由导向部返回到初始位置，以形成第四运动路径。

10.根据权利要求9所述的半导体测试设备，其特征在于，

所述框架为自上向下凹进的凹槽部；所述限位部与所述框架的凹槽部形成初始点；

所述限位部的上端面、所述导向部的上端面和所述框架的凹槽部的内壁面形成第一运动平面，所述往复运动件在所述第一运动平面上沿第一方向运动时带动所述间歇运动件从所述初始位置向限位部运动。

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