CN111377218A - 载板翻转装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供的载板翻转装置,用于翻转载板,其包括翻转机构和用于承载翻转机构的支架:翻转机构包括翻转框架、旋转轴及翻转驱动结构,其中,翻转框架用于支撑载板,旋转轴水平设置并分别与翻转框架和支架连接,翻转驱动机构用于驱动翻转框架围绕旋转轴旋转,以使载板在其承载面为水平放置的第一位置翻转至其承载面为竖直放置的第二位置。通过设置翻转机构,能够将载板自水平放置的第一位置翻转至竖直放置的第二位置,从而一次性翻转设置在载板上的全部太阳能结构,相较现有技术中,通过机械手每次翻转一片太阳能结构的方式而言,大大提高了翻转效率,进而提高产能,节约成本。
Description
技术领域
本发明属于太阳能电池领域,具体涉及一种载板翻转装置。
背景技术
镀膜设备主要分为立式镀膜产线设备和卧式镀膜产线设备两种。由于立式产线设备的占地面积相对于卧式产线设备要减少很多,而且在镀膜过程中对颗粒的控制能力较好,因而目前比较普遍采用的为立式产线设备。
在立式镀膜设备中,要求承载太阳能结构的载板必须以竖直状态进入镀膜腔体,因此,如何将载板翻转90°成了主要问题,同时也是提高产能的关键问题。现有技术中,主要采用的方式为机械手抓取载板放置于垂直位置,固定后再传送至镀膜腔体。但是,该方法效率较低,对镀膜速率影响较大,降低了太阳能电池的产能。因此,有必要提供一种载板翻转装置,用于载板的翻转,从而加快镀膜速率,提高产能,节约成本。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种载板翻转装置。
为解决上述问题,本发明提供了一种载板翻转装置,用于翻转载板,包括翻转机构和用于承载所述翻转机构的支架;
所述翻转机构包括翻转框架、旋转轴及翻转驱动结构,其中,所述翻转框架用于支撑所述载板,所述旋转轴水平设置并分别与所述翻转框架和所述支架连接,所述翻转驱动机构用于驱动所述翻转框架围绕所述旋转轴旋转,以使所述载板自其承载面为水平放置的第一位置翻转至其承载面为竖直放置的第二位置。
进一步地,还包括:
第一驱动机构,设置在所述翻转框架上,用于将所述载板移动至所述第一位置;和/或,
第二驱动机构,设置在所述翻转框架上,用于使所述载板自第二位置继续移动至目标位置。
进一步地,所述第一驱动机构包括第一传动轴和第一驱动结构;其中,
所述第一传动轴的数量为多个,多个所述第一传动轴沿移动方向间隔设置,并且,每个所述第一传动轴的轴线平行于所述载板的承载面且垂直于所述移动方向,多个所述第一传动轴用于承载所述载板;
所述第一驱动结构用于,驱动多个所述第一传动轴中的至少一个沿其轴线旋转,以带动所述载板沿所述移动方向移动;
其中,所述移动方向垂直于所述旋转轴并沿水平方向延伸。
进一步地,所述第二驱动机构包括第二传动轴和第二驱动结构;其中,
所述第二传动轴的数量为多个,多个所述第二传动轴沿移动方向间隔设置,并且,每个所述第二传动轴的轴线垂直于所述载板的承载面且垂直于所述移动方向,多个所述第二传动轴用于承载所述载板;
所述第二驱动结构用于,驱动多个所述第二传动轴中的至少一个沿其轴线旋转,以带动所述载板沿所述移动方向移动;
其中,所述移动方向垂直于所述旋转轴并沿水平方向延伸。
进一步地,各所述第二传动轴上均设置有一个第二传动轮,所述第二传动轮与所述第二传动轴同步转动。
进一步地,所述载板靠近所述第二传动轴的一侧壁上固定有传动杆,所述传动杆的长度方向与所述载板的移动方向一致,所述传动杆与所述第二传动轮接触。
进一步地,还包括导向机构,用于当所述载板自所述第二位置沿移动方向继续移动时限定所述载板的移动方向。
进一步地,所述导向机构包括磁导轨、磁导配合件以及导轨驱动结构;其中,
所述磁导配合件设置在所述载板上远离所述第二传动轴的一侧,所述磁导配合件沿所述载板的移动方向延伸;
所述磁导轨设置在所述翻转框架上,且所述磁导轨沿所述移动方向延伸;
所述导轨驱动结构用于,当所述载板到达所述第一位置时,驱动所述磁导轨移动至与所述磁导配合件相配合的位置,以在所述载板自所述第二位置沿移动方向继续移动时限定所述载板的移动方向。
进一步地,所述磁导轨可转动设置于所述翻转框架上,所述导轨驱动结构连接所述磁导轨,所述磁导轨为沿所述载板的移动方向延伸的F形板,所述F形板的两处弯折之间形成导轨槽,所述磁导配合件为沿所述载板的移动方向延伸的L形板,所述L形板的弯折部置于所述导轨槽内形成与所述磁导轨相配合的配合部。
进一步地,所述载板旋转装置还包括限位机构,所述限位机构包括限位槽、限位销和限位驱动结构;其中,所述限位槽与所述限位销相互配合,
所述限位槽设置在所述载板的与所述载板移动方向相垂直的一侧壁上;
所述限位销设置在所述翻转框架上;
所述限位驱动结构用于当所述载板到达所述第一位置时,驱动所述限位销移动至所述限位槽。
进一步地,所述限位机构还包括限位旋转轴,所述限位旋转轴可转动的设置在所述翻转框架上与所述限位槽相对应的位置;
所述限位销设置在所述限位旋转轴上并与所述限位旋转轴同步;
所述限位驱动结构连接至所述限位旋转轴,以驱动所述限位旋转轴相对所述翻转框架转动。
本发明具有以下有益效果:
本发明提供的载板翻转装置,用于翻转载板,其包括翻转机构和用于承载翻转机构的支架:翻转机构包括翻转框架、旋转轴及翻转驱动结构,其中,翻转框架用于支撑载板,旋转轴水平设置并分别与翻转框架和支架连接,翻转驱动机构用于驱动翻转框架围绕旋转轴旋转,以使载板在其承载面为水平放置的第一位置翻转至其承载面为竖直放置的第二位置。通过设置翻转机构,能够将载板自水平放置的第一位置翻转至竖直放置的第二位置,从而一次性翻转设置在载板上的全部太阳能结构,相较现有技术中,通过机械手每次翻转一片太阳能结构的方式而言,大大提高了翻转效率,进而提高产能,节约成本。
附图说明
图1为本发明实施例提供的载板翻转装置在载板位于第一位置时的俯视结构示意图;
图2为本发明实施例提供的载板翻转装置在载板位于第一位置时的主视结构示意图;
图3为本发明实施例提供的载板翻转装置在载板位于第一位置时的左视结构示意图;
图4为图2中A区域的放大图;
图5为图2中B区域的放大图。
其中:
1-支架;2-载板;201-凹槽;202-磁导配合件;203-传动杆;204-限位槽;3-翻转框架;301-第一安装筋板;302-第一安装孔;303-限位凹槽;304-磁导轨安装座;305-第二安装筋板;306-第二安装孔;307-旋转轴;4-第一驱动机构;401-第一传动轴;402-轴承;403-第一传动轮;404-第一驱动结构;405-第一传动皮带;5-第二驱动机构;501-第二传动轴;502-第二传动轮;503-第二驱动结构;504-第二传动皮带;6-限位机构;601-限位旋转轴;602-限位销;7-限位压块;8-导向机构;801-磁导轨旋转轴;802-磁导轨;9-磁导向压块;10-导轨驱动结构;11-限位驱动结构;12-翻转驱动结构;13-框架压块。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图来对本发明提供的载板翻转装置进行详细描述。
图1为本发明实施例提供的载板翻转装置在载板位于第一位置时的俯视结构示意图。图2为本发明实施例提供的载板翻转装置在载板位于第一位置时的主视结构示意图。
如图1至图2所示,本发明实施例提供了一种载板翻转装置,用于翻转载板2,其包括翻转机构和用于承载翻转机构的支架1。具体地,翻转机构包括翻转框架3、旋转轴307及翻转驱动结构12,其中,翻转框架3用于支撑载板2,旋转轴307水平设置并分别与翻转框架3和支架1连接,翻转驱动机构12用于驱动翻转框架3围绕旋转轴307旋转,以使载板2自其承载面为水平放置的第一位置翻转至其承载面为竖直放置的第二位置。
其中,翻转驱动结构12包括旋转气缸。
其中,翻转框架3可以通过紧固件固定在支架1上,例如,框架压块13,在框架压块13上具有半圆形凹槽,支架1上也具有半圆形凹槽,框架压块13与支架1对接以形成通孔,翻转框架3的旋转轴307穿过通孔,从而通过框架1对翻转框架3进行支撑,并通过框架1和框架压块13对翻转框架3进行限位。
通过设置翻转机构,能够将载板自水平放置的第一位置翻转至竖直放置的第二位置,从而一次性翻转设置在载板上的全部太阳能结构,相较现有技术中,通过机械手每次翻转一片太阳能结构的方式而言,大大提高了翻转效率,进而提高产能,节约成本。
其中,如图1所示,载板2上包括多个凹槽201,用于承载太阳能结构。优选地,多个凹槽201在载板2上均匀分部。
在本实施例中,载板翻转装置还包括第一驱动机构4。第一驱动机构4设置在翻转框架3上,用于将载板2移动至第一位置。
其中,第一位置指的是载板2在翻转之前,载板2所处的位置。
借助第一驱动机构4,可以使载板2在翻转之前先从初始位置传送至待翻转的第一位置。
在本实施例中,载板翻转装置还包括第二驱动机构5,其设置在翻转框架3上,用于使载板2自第二位置继续移动至目标位置。
其中,第二位置指的是载板2翻转之后,载板2所处的位置。
其中,目标位置指的是载板2的最终位置,可以是镀膜设备或者腔室中。
下面结合附图对本实施例中第一驱动机构的具体结构进行详细描述。
图3为本发明实施例提供的载板翻转装置在载板位于第一位置时的左视结构示意图。图5为图2中B区域的放大图。请一并参照图2、图3和图5,第一驱动机构4包括第一传动轴401和第一水平驱动结构404。其中,第一传动轴401的数量为多个,多个第一传动轴401沿移动方向X间隔设置,并且,每个第一传动轴401的轴线平行于载板2的承载面且垂直于移动方向X,多个第一传动轴401用于承载载板2。第一水平驱动结构404用于,驱动多个第一传动轴401中的至少一个沿其轴线旋转,以带动载板2沿移动方向X移动。
其中,移动方向X垂直于旋转轴307并沿水平方向延伸。
本发明并不限定第一驱动结构404的具体形式,在图2、图3和图5所示的实施例中,第一驱动结构404为旋转电机,此时,还包括第一传动皮带405,第一驱动结构404通过第一传动皮带405带动第一传动轴401旋转。当然,也可以使第一传动轴401直接与旋转电机的输出端连接,只要能够驱动第一传动轴401旋转即可。
在本实施例中,第一传动轴401设置在翻转框架3上,其中,翻转框架3的侧面包括框架主体和第一安装筋板301,第一安装筋板301竖直设置的在框架主体的侧面第一安装筋板301,在第一安装筋板301上设置有多个第一安装孔302,各第一传动轴401分别穿过一个第一安装孔302。
进一步地,第一驱动机构还包括轴承402,各第一安装孔302内分别设置一轴承402,各第一传动轴401分别穿过一个第一安装孔302内的轴承402,以减小第一传动轴401与第一安装孔302之间的摩擦。
进一步地,第一驱动机构还包括第一传动轮403,每个第一传动轴401上套设至少两个第一传动轮403,此时,载板2由多个第一传动轮403承载,第一传动轮403随第一传动轴401的转动而转动,以驱动载板2沿移动方向X移动。
下面结合附图对本实施例中第二驱动机构的具体结构进行详细描述。
图4为图2中A区域的放大图。请一并参见图2和图4,在本实施例中,第二驱动机构5包括多个第二传动轴501和第二驱动结构503。其中,第二传动轴501的数量为多个,多个第二传动轴501沿移动方向X间隔设置,并且,当载板2竖直设置时,每个第二传动轴501的轴线沿水平设置垂直于载板2的承载面且垂直于移动方向X,各第二传动轴轴线垂直于移动方向,并且各第二传动轴所在平面与载板所在平面垂直,多个第二传动轴501用于承载驱动载板2。第二驱动结构503用于,驱动多个第二传动轴中的至少一个沿其轴线旋转,以带动载板沿移动方向X移动。
其中,移动方向X垂直于旋转轴307并水平设置。
本发明并不限定第二驱动结构503的具体形式,在图2、图3和图4所述的实施例中,第二驱动结构503为旋转电机,此时,还包括第二传动皮带504,第二驱动结构503通过第二传动皮带504带动第二传动轴501旋转。当然,也可以使第二传动轴501直接与旋转电机的输出端连接,只要能够驱动第二传动轴501旋转即可。
在本实施例中,第二传动轴501设置在翻转框架3上,其中,翻转框架3的侧面包括第二安装筋板305,在第二安装筋板305上设置有多个第二安装孔306,第二传动轴501一一穿过多个第二安装孔306。其中,第二安装筋板305为L型,即一部分竖直设置,另一部份水平设置,多个第二安装孔306设置在第二安装筋板305上水平设置的部分上。
进一步地,第二驱动机构还包括第二传动轮502,每个第二传动轴501上套设有一个第二传动轮502,此时,当载板2旋转至第二位置时,载板2的侧壁由多个第二传动轮502承载,第二传动轮502随第二传动轴501的转动而转动,以驱动载板2沿移动方向X移动。
在本实施例中,第二传动轴501还用于,在载板2移动至第一位置的过程中,第二传动轴501抵靠在载板2的侧壁,以限定载板2的移动方向。
进一步地,在载板2的侧壁上还可以设置传动杆203,传动杆203的数量为一个,传动杆203固定设置在载板2的靠近第二传动轴501的一侧,且其长度方向与移动方向X一致,在载板2移动至第一位置的过程中,以及在载板2自第二位置向目标位置移动的过程中,由传动杆203替代载板2的侧壁与第二传动轴501接触,从而避免对载板2的侧壁的磨损。
在本实施例中,还包括导向机构8,用于当载板2自第二位置沿移动方向X继续移动时,限定载板2的移动方向。
下面结合附图对本发明中的导向机构的具体结构进行详细说明。
图5为图2中B区域的放大图。如图5所示,导向机构8包括磁导轨802、磁导配合件202以及导轨驱动结构10。其中,磁导配合件202设置在载板2上远离第二传动轴501的一侧,磁导配合件202为沿载板的移动方向X延伸的L形板,L形板的弯折部为与磁导轨802相配合的配合部。磁导轨802设置在翻转框架3上,且磁导轨802沿移动方向X延伸。导轨驱动结构10用于,当载板2到达第一位置时,驱动磁导轨802移动至与磁导配合件202相配合的位置,以在载板2自第二位置沿移动方向X继续移动时,限定载板2的移动方向。
其中,磁导轨802由磁体制成。如图5所示,磁导轨802为沿载板的移动方向延伸的F形板,在F形板的两处弯折之间形成导轨槽,其中,两个弯折部分的极性相同。其中,磁导配合件202由导磁材料制成。当磁导配合件202的配合部伸入磁导轨802的导轨槽内时,在磁力作用下,磁导配合件202被限定在两个分部之中,从而限定载板2的移动方向。
本发明并不限定导轨驱动结构10的具体形式,在如图5所示的实施例中,导轨驱动结构10为旋转气缸,磁导轨802上还设置有磁导轨旋转轴801,磁导轨旋转轴801与旋转气缸的输出轴连接,在旋转气缸的驱动下带动磁导轨802旋转,以在与磁导配合件202相配合的位置和远离磁导配合件202的位置间切换。
其中,在翻转框架3上设置有磁导轨安装座304,磁导轨旋转轴801安装在磁导轨安装座304上,并通过磁导向压块9压住,以使磁导轨802与翻转框架3之间可旋转的连接。具体地,在磁导向压块9上具有半圆形凹槽,磁导轨安装座304上也具有半圆形凹槽,磁导向压块9与磁导轨安装座304对接以形成通孔,导轨旋转轴801穿过该通孔,从而通过磁导轨安装座304对导轨旋转轴801进行支撑,并通过磁导轨安装座304和磁导向压块9对导轨旋转轴801进行限位
当然,导轨驱动结构10还可以采用其它方式,只要能够使磁导轨802在与磁导配合件202相配合的位置和远离磁导配合件202的位置间切换即可。
在本实施例中,如图2所示,载板旋转装置还包括限位机构6,限位机构6包括限位槽204、限位销602和限位驱动结构11。其中,限位槽204与限位销602相互配合,限位槽204设置在载板2的与载板2移动方向X相垂直的侧壁上,限位销602设置在翻转框架3上,限位驱动结构11用于当载板2到达第一位置时,驱动限位销602移动至限位槽204,以防止载板2在翻转至第二位置的过程中自翻转框架3上脱落。
具体地,限位机构6还包括限位旋转轴601,限位旋转轴601与翻转框架3可旋转的连接,限位销602设置在限位旋转轴601上并和限位旋转轴601同步,限位旋转轴601可转动连接于翻转框架上与限位槽204相对应的位置,限位驱动结构11带动限位旋转轴601转动,以带动限位销602跟随限位旋转轴601同步转动,使限位销602插入限位槽204中,完成限位。
其中,翻转框架3的两端的侧壁上还设置有限位凹槽303,限位旋转轴601依次穿过两个限位凹槽303并安装在限位凹槽303中,通过限位压块7压住,以使限位旋转轴601在限位凹槽303中旋转。
其中,限位驱动结构11为旋转气缸。
另外,限位驱动结构11还用于,当载板2翻转至第二位置后,驱动限位销602移出限位槽204,以使得载板2可以在第二驱动机构5的驱动下继续沿移动方向X移动。
其中,本发明实施例提供的载板翻转装置可用于翻转任意结构,特别是,可应用于太阳能结构的承载和翻转。
下面对使用本发明提供的载板翻转装置进行翻转的具体方法进行介绍。
首先,载板2置于第一驱动机构4的第一传动轮403上,通过第一驱动结构404带动将载板2转送到第一位置后,限位装置6的限位销602在限位限位驱动结构11的带动下旋转至限位槽204中将载板2固定住。之后,磁导轨802在导轨驱动结构10的带动下旋转至磁导轨802与置于载板2上端的磁导配合件202相配合的位置,此时通过翻转驱动结构12将整个载板2翻转90°,让载板2反转至竖直放置的第二位置。而后,限位驱动结构11驱动限位销602远离限位槽204,以解除对载板2的限位,载板2下部的传动杆203与第二驱动机构5的第二传动轮502接触,上端通过导向机构8进行导向,在第二驱动结构503的带动下,第二传动轮502转动从而带动载板2继续沿移动方向运动,进入工艺腔进行镀膜。
此流程大大减少了现有技术对载板翻转所用的时间,从而加快生产节拍,提高产能。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (11)
1.一种载板翻转装置,用于翻转载板,其特征在于,包括翻转机构和用于承载所述翻转机构的支架;
所述翻转机构包括翻转框架、旋转轴及翻转驱动结构,其中,所述翻转框架用于支撑所述载板,所述旋转轴水平设置并分别与所述翻转框架和所述支架连接,所述翻转驱动机构用于驱动所述翻转框架围绕所述旋转轴旋转,以使所述载板自其承载面为水平放置的第一位置翻转至其承载面为竖直放置的第二位置。
2.根据权利要求1所述的载板翻转装置,其特征在于,还包括:
第一驱动机构,设置在所述翻转框架上,用于将所述载板移动至所述第一位置;和/或,
第二驱动机构,设置在所述翻转框架上,用于使所述载板自第二位置继续移动至目标位置。
3.根据权利要求2所述的载板翻转装置,其特征在于,所述第一驱动机构包括第一传动轴和第一驱动结构;其中,
所述第一传动轴的数量为多个,多个所述第一传动轴沿移动方向间隔设置,并且,每个所述第一传动轴的轴线平行于所述载板的承载面且垂直于所述移动方向,多个所述第一传动轴用于承载所述载板;
所述第一驱动结构用于,驱动多个所述第一传动轴中的至少一个沿其轴线旋转,以带动所述载板沿所述移动方向移动;
其中,所述移动方向垂直于所述旋转轴并沿水平方向延伸。
4.根据权利要求2所述的载板翻转装置,其特征在于,所述第二驱动机构包括第二传动轴和第二驱动结构;其中,
所述第二传动轴的数量为多个,多个所述第二传动轴沿移动方向间隔设置,并且,每个所述第二传动轴的轴线垂直于所述载板的承载面且垂直于所述移动方向,多个所述第二传动轴用于承载所述载板;
所述第二驱动结构用于,驱动多个所述第二传动轴中的至少一个沿其轴线旋转,以带动所述载板沿所述移动方向移动;
其中,所述移动方向垂直于所述旋转轴并沿水平方向延伸。
5.根据权利要求4所述的载板翻转装置,其特征在于,各所述第二传动轴上均设置有一个第二传动轮,所述第二传动轮与所述第二传动轴同步转动。
6.根据权利要求5所述的载板翻转装置,其特征在于,所述载板靠近所述第二传动轴的一侧壁上固定有传动杆,所述传动杆的长度方向与所述载板的移动方向一致,所述传动杆与所述第二传动轮接触。
7.根据权利要求4所述的载板翻转装置,其特征在于,还包括导向机构,用于当所述载板自所述第二位置沿移动方向继续移动时限定所述载板的移动方向。
8.根据权利要求7所述的载板翻转装置,其特征在于,所述导向机构包括磁导轨、磁导配合件以及导轨驱动结构;其中,
所述磁导配合件设置在所述载板上远离所述第二传动轴的一侧,所述磁导配合件沿所述载板的移动方向延伸;
所述磁导轨设置在所述翻转框架上,且所述磁导轨沿所述移动方向延伸;
所述导轨驱动结构用于,当所述载板到达所述第一位置时,驱动所述磁导轨移动至与所述磁导配合件相配合的位置,以在所述载板自所述第二位置沿移动方向继续移动时限定所述载板的移动方向。
9.根据权利要求8所述的载板翻转装置,其特征在于,所述磁导轨可转动设置于所述翻转框架上,所述导轨驱动结构连接所述磁导轨,所述磁导轨为沿所述载板的移动方向延伸的F形板,所述F形板的两处弯折之间形成导轨槽,所述磁导配合件为沿所述载板的移动方向延伸的L形板,所述L形板的弯折部置于所述导轨槽内形成与所述磁导轨相配合的配合部。
10.根据权利要求1中所述的载板翻转装置,其特征在于,所述载板旋转装置还包括限位机构,所述限位机构包括限位槽、限位销和限位驱动结构;其中,所述限位槽与所述限位销相互配合,
所述限位槽设置在所述载板的与所述载板移动方向相垂直的一侧壁上;
所述限位销设置在所述翻转框架上;
所述限位驱动结构用于当所述载板到达所述第一位置时,驱动所述限位销移动至所述限位槽。
11.根据权利要求10所述的载板翻转装置,其特征在于,所述限位机构还包括限位旋转轴,所述限位旋转轴可转动的设置在所述翻转框架上与所述限位槽相对应的位置;
所述限位销设置在所述限位旋转轴上并与所述限位旋转轴同步;
所述限位驱动结构连接至所述限位旋转轴,以驱动所述限位旋转轴相对所述翻转框架转动。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112344722A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-02-09 | 迈克医疗电子有限公司 | 玻片翻转干燥装置、血液分析仪及玻片的翻转干燥方法 |
CN115875418A (zh) * | 2023-01-06 | 2023-03-31 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种半导体测试设备 |
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2018
- 2018-12-28 CN CN201811623193.0A patent/CN111377218A/zh active Pending
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CN112344722A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-02-09 | 迈克医疗电子有限公司 | 玻片翻转干燥装置、血液分析仪及玻片的翻转干燥方法 |
CN115875418A (zh) * | 2023-01-06 | 2023-03-31 | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 | 一种半导体测试设备 |
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