CN115832861A - 一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，包括元器件装料组件、元器件夹持耦合组件、激光器壳体定位组件、点胶固化组件以及光源组件；其中光源组件包括激光平行光源以及直角分光棱镜，直角分光棱镜用于将激光平行光源分开为相互垂直的两束激光，第一束激光用于偏振分光棱镜的耦合，第二束激光用于反射棱镜的耦合，使偏振分光棱镜、反射棱镜耦合封装时的控制更加简化，且无需再准备其它设备、其它激光等多次耦合，结构布置也进一步简化，同时耦合精度以及耦合效率均有明显提升。

Description

一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备

技术领域

本发明涉及半导体激光器技术领域，特别涉及一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备。

背景技术

半导体激光器又称激光二极管，具有输出功率高、体积小、重量轻、工作寿命长、光电转换效率高等特点，目前在各个领域得到了广泛应用。单管大功率半导体激光器的出光功率目前已经可以达到10W量级以上，为进一步提高半导体激光器的输出功率，应用于更多的场合，通常选择将多个发光芯片组合排列在一起形成线阵、面阵或者叠阵的结构，然后通过对各个发光芯片输出的光进行空间组合的方式，聚焦耦合进光纤，从而实现较高光束质量的大功率输出。该类半导体激光器包括激光器壳体，激光器壳体上开设有安装光纤的出光口，激光器壳体内布设阵列分布的发光芯片，各个发光芯片的光束最终合束并耦合进入光纤作为半导体激光器的输出。其中，各光束通过偏振分光棱镜(PBS)完成合束，即其中一部分为P偏光、另一部分为S偏光，在偏振分光棱镜处完成合束。为使激光器壳体内的布置更加紧凑，通常在S偏光自身的合束路径上设置反射棱镜，将S偏光反射后相对于P偏光90度地射入偏振分光棱镜，从而完成偏振合束。

因此，偏振分光棱镜以及反射棱镜的耦合精度很大程度上决定了半导体激光器的封装质量，当耦合精度不合格时半导体激光器的输出功率会显著减小。现有技术中通过自动化设备，改变了先前依靠人工操作的方式耦合。然而，由于偏振分光棱镜以及反射棱镜均需要耦合，采用现有技术中的自动化设备效率仍不高，且通常偏振分光棱镜、反射棱镜等元器件要先于发光芯片耦合，因此耦合精度的检测也不是很方便、准确，需要进一步改进。

发明内容

本发明的目的是：针对上述背景技术中存在的不足，提供一种耦合效率显著提高、操作便捷、且耦合精度有保证的半导体激光器耦合封装设备。

为了达到上述目的，本发明提供了一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，包括元器件装料组件、元器件夹持耦合组件、激光器壳体定位组件、点胶固化组件以及光源组件；所述元器件装料组件用于偏振分光棱镜以及反射棱镜的装料；所述元器件夹持耦合组件用于偏振分光棱镜以及反射棱镜的取料、移动以及耦合；所述激光器壳体定位组件用于激光器壳体的定位；所述点胶固化组件用于点胶固化；所述光源组件包括激光平行光源以及直角分光棱镜，所述直角分光棱镜用于将所述激光平行光源分开为相互垂直的两束激光，第一束激光用于偏振分光棱镜的耦合，第二束激光用于反射棱镜的耦合，所述光源组件位于第一位置，以使第一束激光射入偏振分光棱镜后反射检测耦合精度，再移动所述光源组件至第二位置，以使第二束激光射入反射棱镜，由反射棱镜反射至偏振分光棱镜并进一步反射后检测耦合精度。

进一步地，所述光源组件包括光源运动平台，所述光源运动平台具有多个运动自由度，所述激光平行光源以及所述直角分光棱镜布设在所述光源运动平台的执行端，所述激光平行光源的出射光通过通光件射入所述直角分光棱镜。

进一步地，所述通光件为潜望镜。

进一步地，所述光源运动平台包括第一光源支架，所述第一光源支架的第一端与第二光源支架连接，所述第二光源支架的末端安装所述直角分光棱镜、所述激光平行光源、所述潜望镜均与所述第一光源支架固定，所述潜望镜的两端分别对准所述激光平行光源以及所述直角分光棱镜；

所述第一光源支架的第二端与光源角度调整平台连接，所述光源角度调整平台与光源Z轴调整滑台连接，所述光源Z轴调整滑台与光源Y轴调整滑台连接，以使光源具有一个旋转自由度以及两个平移自由度。

进一步地，还包括相机检测组件，所述相机检测组件用于检测所述激光器壳体的出射光确认耦合精度。

进一步地，所述相机检测组件包括检测反射镜以及检测相机，所述检测相机与相机检测滑台连接，所述检测反射镜将所述激光器壳体的出射光反射为与所述相机检测滑台平行，所述检测相机沿所述相机检测滑台滑动至不同位置时检测确认耦合精度。

进一步地，所述元器件装料组件包括偏振分光棱镜装料盘以及反射棱镜装料盘，所述偏振分光棱镜装料盘、所述反射棱镜装料盘内均形成有对应形状的卡槽，以使元器件稳定放置。

进一步地，所述偏振分光棱镜装料盘、所述反射棱镜装料盘相互固定，且均与料盘升降模组连接，以调整高度位置；所述偏振分光棱镜装料盘、所述反射棱镜装料盘的一侧还布设有抛料盘以及滴胶板，所述抛料盘用于放置所述元器件夹持耦合组件定位或耦合失败的元器件，所述滴胶板用于所述点胶固化组件的试点胶。

进一步地，所述元器件夹持耦合组件包括元器件吸头，所述元器件吸头与吸头运动平台连接，所述吸头运动平台具有多个运动自由度，所述元器件吸头通过负压作用吸附元器件。

进一步地，所述点胶固化组件包括点胶机构与UV固化机构，所述点胶机构、所述UV固化机构均与所述吸头运动平台连接。

本发明的上述方案有如下的有益效果：

本发明提供的半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，依靠光源组件产生的平行激光以及直角分光棱镜的分光，使偏振分光棱镜、反射棱镜耦合封装时的控制更加简化，且无需再准备其它设备、其它激光等多次耦合，结构布置也进一步简化，同时耦合精度以及耦合效率均有明显提升；

本发明的其它有益效果将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的激光器壳体定位组件示意图；

图3为本发明的元器件装料组件示意图；

图4为本发明的元器件夹持耦合组件示意图；

图5为本发明的光源组件示意图；

图6为本发明的光源组件光路示意图；

图7为本发明的相机检测组件示意图。

【附图标记说明】

100-元器件装料组件；101-偏振分光棱镜装料盘；102-反射棱镜装料盘；103-料盘升降模组；104-抛料盘；105-滴胶板；200-元器件夹持耦合组件；201-元器件吸头；202-吸头X轴滑台；203-吸头Y轴滑台；204-吸头Z轴滑台；205-旋转安装座；206-Z轴旋转平台；207-水平旋转平台；300-激光器壳体定位组件；301-激光器壳体移动滑台；302-激光器壳体定位座；400-点胶固化组件；401-点胶机构；402-UV固化机构；500-光源组件；501-激光平行光源；502-直角分光棱镜；503-潜望镜；504-第一光源支架；505-第二光源支架；506-光源角度调整平台；507-光源Z轴调整滑台；508-光源Y轴调整滑台；600-半导体激光器；601-激光器壳体；602-出光口；603-偏振分光棱镜；604-反射棱镜；700-相机检测组件；701-检测反射镜；702-检测相机；703-相机检测滑台。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是锁定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1所示，本发明的实施例提供了一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，包括元器件装料组件100、元器件夹持耦合组件200、激光器壳体定位组件300、点胶固化组件400以及光源组件500。同时如图2所示，半导体激光器600包括激光器壳体601，激光器壳体601上开设有安装光纤的出光口602，激光器壳体601内布设阵列分布的发光芯片等，各个发光芯片的光束最终合束并耦合进入光纤作为半导体激光器600的输出。其中，各光束通过偏振分光棱镜603(PBS)完成合束，即其中一部分为P偏光、另一部分为S偏光，在偏振分光棱镜603处完成合束。为使激光器壳体601内的布置更加紧凑，通常在S偏光自身的合束路径上设置反射棱镜604，将S偏光反射后相对于P偏光90度地射入偏振分光棱镜603，从而完成偏振合束。

同时如图3所示，在本实施例中，元器件装料组件100用于偏振分光棱镜603以及反射棱镜604的装料。具体地，元器件装料组件100包括偏振分光棱镜装料盘101以及反射棱镜装料盘102，偏振分光棱镜装料盘101、反射棱镜装料盘102内均形成有对应形状的卡槽，因此，偏振分光棱镜603以及反射棱镜604均能够有序地放置在对应装料盘中，且姿态稳定，便于元器件夹持耦合组件200取料时的初步定位，而保证后续耦合时的可行性。

同时如图4所示，在本实施例中，元器件夹持耦合组件200用于偏振分光棱镜603以及反射棱镜604的取料、移动以及耦合。具体地，元器件夹持耦合组件200包括元器件吸头201，元器件吸头201与吸头运动平台连接，吸头运动平台具有多个运动自由度，以使元器件吸头201能够准确吸附对应装料盘上的元器件，转移至耦合位置，调整耦合。

需要说明的是，本实施例中元器件吸头201通过负压作用吸附元器件，元器件吸头201的底面为吸附面，其与偏振分光棱镜603或反射棱镜604的上表面接触，由于偏振分光棱镜603、反射棱镜604的上表面均为平整面，因此元器件吸头201可以稳定地将偏振分光棱镜603以及反射棱镜604吸附。当偏振分光棱镜603或反射棱镜604在耦合位置完成耦合、并点胶固化后，元器件吸头201断开负压作用，再移动至对应装料盘上准备进行下一个元器件的耦合固化。

请再次参阅图2，在本实施例中，激光器壳体定位组件300用于激光器壳体601的定位，使激光器壳体601的位置确认并稳定，从而元器件夹持耦合组件200只需将待耦合的偏振分光棱镜603、反射棱镜604从装料盘移动至预设位置即可，无需再改变元器件的耦合位置、元器件吸头201的运动路径等，以简化控制并提升耦合精度。

请再次参阅图4，点胶固化组件400用于偏振分光棱镜603、反射棱镜604等元器件的点胶固化，使完成耦合的偏振分光棱镜603、反射棱镜604固定在预设的位置，完成半导体激光器600中偏振分光棱镜603、反射棱镜604的耦合封装。

同时如图5、图6所示，由于偏振分光棱镜603、反射棱镜604需要先于发光芯片耦合，因此偏振分光棱镜603、反射棱镜604耦合时需要添加光源，而检测通过偏振分光棱镜603、反射棱镜604作用后的光束确认耦合精度。因此本实施例中还设置光源组件500，其包括激光平行光源501以及直角分光棱镜502。其中，直角分光棱镜502用于将激光平行光源501分开为相互垂直的两束激光，第一束激光A用于偏振分光棱镜603的耦合，第二束激光B用于反射棱镜604的耦合，即该光源组件能够直接提供所需的两束激光。

需要说明的是，本实施例中直角分光棱镜502与偏振分光棱镜不同，其分出的两束激光均为S偏光，因此进行偏振分光棱镜603的耦合时从偏振分光棱镜603的左侧垂直射入，使第一束激光A90度反射后进入激光器壳体601的出光口并出射，再检测出射光确认耦合精度即可。

在本实施例中，光源组件500包括光源运动平台，光源运动平台具有多个运动自由度，激光平行光源501以及直角分光棱镜502布设在光源运动平台的执行端，激光平行光源501的出射光通过通光件射入直角分光棱镜502，而分离为相互垂直的第一束激光A以及第二束激光B。

直角分光棱镜502通过光源运动平台驱动而运动，在进行偏振分光棱镜603的耦合时，直角分光棱镜502位于第一位置，以使第一束激光A射入偏振分光棱镜603后反射检测耦合精度。当偏振分光棱镜603耦合精度达标以及点胶固化后，再通过光源运动平台移动直角分光棱镜502至第二位置，以使第二束激光B射入反射棱镜604，由反射棱镜604反射至偏振分光棱镜603并进一步偏振反射后检测耦合精度。

作为优选的实施方式，前述的第一位置为反射棱镜604的耦合位置，即直角分光棱镜502先位于反射棱镜604的耦合位置，因此当偏振分光棱镜603完成耦合封装后，直角分光棱镜502只需要朝第二束激光B所在的方向后退一定距离即可，此时第一束激光A离开偏振分光棱镜603的位置，第二束激光B向前射入反射棱镜604后90度反射至偏振分光棱镜603，因此最终检测第二束激光B确认反射棱镜604的耦合精度。

采用该耦合方式，使得直角分光棱镜502只需要在第一位置与第二位置之间来回切换即可，相比于需要多个方向的移动控制来说明显简化了步骤控制难度，提升了作业效率，同时直角分光棱镜502在第一位置与第二位置之间切换的精度也明显能够更佳地保证。

需要说明的是。本实施例中通光件为潜望镜503，其主要由多个反射镜组成，采用高低布局的形式，使得直角分光棱镜502位于激光器壳体601内部作业时，激光平行光源501等无需进入直角分光棱镜502内，避免了移动控制时的干扰碰撞风险等。

在本实施例中，光源运动平台包括第一光源支架504，第一光源支架504的第一端与第二光源支架505连接，第二光源支架505的末端安装直角分光棱镜502，且其位置最低。激光平行光源501、潜望镜503均与第一光源支架504固定，潜望镜503的两端分别对准激光平行光源501以及直角分光棱镜502，以将高处激光平行光源501的水平出射光引导至低处且同样水平。

第一光源支架504的第二端与光源角度调整平台506连接，光源角度调整平台506与光源Z轴调整滑台507连接，光源Z轴调整滑台507与光源Y轴调整滑台508连接，以使光源具有一个旋转自由度以及两个平移自由度，依靠Z轴自由度以及Y轴自由度的调整，能够使直角分光棱镜502升降至预设高度位置，且前后移动完成在第一位置与第二位置之间的切换，依靠旋转自由度预先调整好角度，使直角分光棱镜502保持水平。

需要说明的是，偏振分光棱镜603、反射棱镜604等元器件是先于聚焦透镜耦合封装的，因此其出光并未通过聚焦透镜汇集，仍是激光平行光源501出射的平行光束。本实施例采用光斑检测的方式，依靠相机检测组件700检测激光器壳体601的出射光确认耦合精度。

同时如图7所示，相机检测组件700包括检测反射镜701以及检测相机702，检测相机702与相机检测滑台703连接，检测反射镜701设置在合适位置，与激光器壳体601的出光口602对准，将激光器壳体601的出射光反射为与相机检测滑台703平行，从而直射镜头，检测相机702沿相机检测滑台703滑动至不同位置时检测确认耦合精度。

其中，将检测相机702移动至近场，读取接收光束产生的近场光斑直径和中心位置，再将检测相机702切换至远场，读取接收光束远场光斑直径和中心位置。通过远场、近场光斑直径差和中心位置偏差，计算出点精度和发散角，判定激光器壳体601的出射光是否符合要求，从而判断偏振分光棱镜603、反射棱镜604等的耦合精度。

需要说明的是，由于激光器壳体定位组件300能够一次性固定多个激光器壳体601，因此对不同的激光器壳体601进行耦合封装时，检测反射镜701与各个激光器壳体601的相对位置要调整，以使检测反射镜701对准各个激光器壳体601的出光口。可采用检测反射镜701移动或激光器壳体601移动的方式，本实施例中优选采用检测反射镜701固定设置、激光器壳体601移动的方式，即设置激光器壳体移动滑台301，激光器壳体移动滑台301上滑动设置激光器壳体定位座302，激光器壳体定位座302上开设有多个定位槽，以同时定位多个激光器壳体601。

对某个激光器壳体601耦合封装时，只需要将其移动至封装位置，使激光器壳体601的出光口对准检测反射镜701即可。能够确保元器件夹持耦合组件200、光源组件500等无需再针对每个激光器壳体601切换工位，而进一步提升耦合精度。

同时，将检测反射镜701固定设置、即检测反射镜701与相机检测滑台703相对位置固定，能够保证检测相机702在进行光斑检测时有足够的行程，从而保证检测准确性。

需要说明的是，本实施例中激光器壳体移动滑台301与相机检测滑台703是平行设置的，当激光器壳体601切换时，其出射光均能够由检测反射镜701反射为与相机检测滑台703平行的光束。

请再次参阅图3，在本实施例中，偏振分光棱镜装料盘101、反射棱镜装料盘102相互固定，且均与料盘升降模组103连接，以调整高度位置，适宜元器件夹持耦合组件200的取料。作为进一步改进，偏振分光棱镜装料盘101、反射棱镜装料盘102的一侧还布设有抛料盘104以及滴胶板105，其中抛料盘104用于放置元器件夹持耦合组件200定位或耦合失败的元器件，滴胶板105用于点胶固化组件400的试点胶。

具体来说，当元器件夹持耦合组件200微调偏振分光棱镜603、反射棱镜604等元器件的耦合位置仍无法使耦合精度达标时，元器件夹持耦合组件200取消这次耦合，将元器件直接移动至抛料盘104上方并抛放，使作废的元器件直接落入抛料盘104中收集。需要说明的是，抛料盘104位于元器件夹持耦合组件200取料的路径上，因此元器件夹持耦合组件200抛料是在下一次取料的过程中直接完成的，进一步简化了控制，提升了作业效率。

由于胶液在出胶口的位置可能会凝固等，影响元器件封装位置的点胶量，因此在点胶之前先进行一次试点胶过程，使出胶口的流通顺畅，试点胶喷出的胶液落入滴胶板105上。

请再次参阅图4，在本实施例中，吸头运动平台包括吸头X轴滑台202、与吸头X轴滑台202连接的吸头Y轴滑台203、与吸头Y轴滑台203连接的吸头Z轴滑台204、以及与吸头Z轴滑台204连接的旋转安装座205，旋转安装座205上布设Z轴旋转平台206、以及与Z轴旋转平台206连接的水平旋转平台207，元器件吸头201的顶端与Z轴旋转平台206相连，因此，元器件吸头201具有三个方向的平移自由度以及两个方向的旋转自由度，能够满足取料、转移以及耦合需求。其中，吸头X轴滑台202、吸头Y轴滑台203、吸头Z轴滑台204、Z轴旋转平台206、水平旋转平台207等均采用精密运动平台，而保证元器件的耦合精度。

在本实施例中，点胶固化组件400包括点胶机构401与UV固化机构402，点胶机构401、UV固化机构402均与吸头运动平台、例如旋转安装座205连接。具体地，点胶机构401布设在元器件吸头201的后方，因此在元器件吸头201移动至激光器壳体601内耦合时，点胶机构401正好位于滴胶板105的上方，可以在耦合后直接完成试点胶，后续点胶作业时整体平移即可。

UV固化机构402包括两个UV固化头，其相对于元器件吸头201对称分布于两侧，且倾斜设置，通过UV安装支架固定，对点胶位置两侧进行UV固化，保证加热均匀等。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，包括元器件装料组件、元器件夹持耦合组件、激光器壳体定位组件、点胶固化组件以及光源组件；所述元器件装料组件用于偏振分光棱镜以及反射棱镜的装料；所述元器件夹持耦合组件用于偏振分光棱镜以及反射棱镜的取料、移动以及耦合；所述激光器壳体定位组件用于激光器壳体的定位；所述点胶固化组件用于点胶固化；所述光源组件包括激光平行光源以及直角分光棱镜，所述直角分光棱镜用于将所述激光平行光源分开为相互垂直的两束激光，第一束激光用于偏振分光棱镜的耦合，第二束激光用于反射棱镜的耦合，所述光源组件位于第一位置，以使第一束激光射入偏振分光棱镜后反射检测耦合精度，再移动所述光源组件至第二位置，以使第二束激光射入反射棱镜，由反射棱镜反射至偏振分光棱镜并进一步反射后检测耦合精度。

2.根据权利要求1所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述光源组件包括光源运动平台，所述光源运动平台具有多个运动自由度，所述激光平行光源以及所述直角分光棱镜布设在所述光源运动平台的执行端，所述激光平行光源的出射光通过通光件射入所述直角分光棱镜。

3.根据权利要求2所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述通光件为潜望镜。

4.根据权利要求3所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述光源运动平台包括第一光源支架，所述第一光源支架的第一端与第二光源支架连接，所述第二光源支架的末端安装所述直角分光棱镜、所述激光平行光源、所述潜望镜均与所述第一光源支架固定，所述潜望镜的两端分别对准所述激光平行光源以及所述直角分光棱镜；

所述第一光源支架的第二端与光源角度调整平台连接，所述光源角度调整平台与光源Z轴调整滑台连接，所述光源Z轴调整滑台与光源Y轴调整滑台连接，以使光源具有一个旋转自由度以及两个平移自由度。

5.根据权利要求1所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，还包括相机检测组件，所述相机检测组件用于检测所述激光器壳体的出射光确认耦合精度。

6.根据权利要求5所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述相机检测组件包括检测反射镜以及检测相机，所述检测相机与相机检测滑台连接，所述检测反射镜将所述激光器壳体的出射光反射为与所述相机检测滑台平行，所述检测相机沿所述相机检测滑台滑动至不同位置时检测确认耦合精度。

7.根据权利要求6所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述元器件装料组件包括偏振分光棱镜装料盘以及反射棱镜装料盘，所述偏振分光棱镜装料盘、所述反射棱镜装料盘内均形成有对应形状的卡槽，以使元器件稳定放置。

8.根据权利要求7所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述偏振分光棱镜装料盘、所述反射棱镜装料盘相互固定，且均与料盘升降模组连接，以调整高度位置；所述偏振分光棱镜装料盘、所述反射棱镜装料盘的一侧还布设有抛料盘以及滴胶板，所述抛料盘用于放置所述元器件夹持耦合组件定位或耦合失败的元器件，所述滴胶板用于所述点胶固化组件的试点胶。

9.根据权利要求1所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述元器件夹持耦合组件包括元器件吸头，所述元器件吸头与吸头运动平台连接，所述吸头运动平台具有多个运动自由度，所述元器件吸头通过负压作用吸附元器件。

10.根据权利要求9所述的一种半导体激光器偏振分光棱镜及反射棱镜耦合封装设备，其特征在于，所述点胶固化组件包括点胶机构与UV固化机构，所述点胶机构、所述UV固化机构均与所述吸头运动平台连接。

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