CN115808321A - 一种分子泵辅助测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及操纵分子泵测试技术领域，具体涉及一种分子泵辅助测试装置，包括：机架内安装分子泵；第二快换盘设置于机架侧面；升降机构带动第四连接板升降；第四动力结构设置在第四连接板上，且带动第二连接板移动；第三动力结构设置在第二连接板上，且带动承载板旋转；第三快换盘设置在承载板上，且与第二快换盘进行连接和拆卸；本申请通过升降机构带动第四连接板升降，第二快换盘对准第三快换盘；第四动力结构将第二快换盘靠近第三快换盘连接；在升降机构带动安装分子泵的机架上升后，第三动力结构带动安装分子泵的机架进行旋转，以方便对分子泵进行角度调整，节省人力，降低劳动强度，实现测试过程自动化，提高升降温测试效率。

Description

一种分子泵辅助测试装置

技术领域

本发明涉及操纵分子泵测试技术领域，具体涉及一种分子泵辅助测试装置。

背景技术

针对磁悬浮分子泵的六角度升降温测试过程，是保证磁悬浮分子泵产品合格的重要环节之一，同时也是保证磁悬浮分子泵安全运行的关键工艺。磁悬浮分子泵作为真空获得设备，在镀膜和半导体领域均得到广泛应用。由于现场安装磁悬浮分子泵的设备各有不同，要求磁悬浮分子泵能够满足任意角度安装，进而要求磁悬浮分子泵在任意角度状态下均可正常悬浮。六角度升降温测试是模拟磁悬浮分子泵在六个角度安装条件下，面对恶劣工况，确认磁悬浮分子泵是否能够正常运转的测试。

针对磁悬浮分子泵六角度升降温测试过程，需要依靠四名测试人员，对磁悬浮分子泵进行翻转调整，获得不同的测试角度，整个测试过程需要耗时3个工作日。磁悬浮分子泵在测试过程中，需要将磁悬浮分子泵安装在测试台架上进行测试；测试台架与磁悬浮分子泵的总重量约100Kg，这给测试人员带来较大负担，在对磁悬浮分子泵进行翻转调整时，极其费力，严重影响对磁悬浮分子泵进行测试的效率。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服在磁悬浮分子泵六角度升降温测试的过程中，需要测试人员较多，调整角度费力，进而导致测试效率低的缺陷，基于以上情况，开发一种调整磁悬浮分子泵角度省力，提高磁悬浮分子泵六角度升降温测试效率的分子泵辅助测试装置十分必要。

为了实现上述目的，本发明提供一种分子泵辅助测试装置，包括：

机架，内部适于安装分子泵；

第二快换盘，设置于机架的侧面；

升降机构，设有第四连接板，所述升降机构适于带动第四连接板上下移动；

第四动力结构，设置在第四连接板上，且在第四动力结构上设有第二连接板，所述第四动力结构适于带动第二连接板在水平面内进行直线往复移动；

第三动力结构，设置在第二连接板上，且在第三动力结构上设有承载板，所述第三动力结构适于带动所述承载板在竖直平面上旋转；

第三快换盘，设置在承载板上，所述第三快换盘适于与第二快换盘进行快速连接和拆卸。

可选地，所述升降机构包括：

四根直线导轨，竖直平行设置；

第五连接板，设置于所述四根直线导轨的顶端；

第二动力结构，设置于所述第五连接板上；

两个主动链轮，分别位于所述第二动力结构的两侧，且两个主动链轮分别与所述第二动力结构两端的动力输出连接；

两个从动链轮，分别通过两根链条与所述两个主动链轮连接，且所述两根链条竖直设置，所述第四连接板的两端分别与两根链条连接。

可选地，所述升降机构还包括：

第一主轴，作为第二动力结构两端的动力输出，在靠近两端的位置分别与两个主动链轮连接，且第一主轴的两端通过第一轴承座安装在第五连接板上；

从轴，靠近两端的位置分别与两个从动链轮连接，且从轴的两端通过第三轴承座分别安装在两根直线导轨上。

可选地，所述第四动力结构通过滑块滑动连接于所述直线导轨上。

可选地，还包括：

两个第二支撑板，设置于所述第四连接板上，且分别位于所述第四动力结构的两侧；

两根导向杆，分别通过第二轴承座安装于两个第二支撑板上，两根导向杆的端部均与第二连接板连接，两根导向杆适于直线往复移动，且两根导向杆的移动方向与所述第二连接板的直线往复移动的方向相同。

可选地，还包括：

旋转组件，所述机架放置于所述旋转组件上，且所述旋转组件适于带动所述机架在水平面内进行旋转。

可选地，还包括：

第一快换盘，设置于机架的顶面，且在所述第三动力结构通过第三快换盘与第二快换盘，将所述机架进行90°翻转，再由旋转组件带动所述机架旋转90°后，所述第一快换盘适于与第三快换盘进行快速连接和拆卸。

可选地，所述旋转组件包括：

承载件，适于放置所述机架；

第二齿轮，齿面与所述承载件连接；

第一齿轮，与所述第二齿轮啮合；

第一动力结构，与所述第一齿轮连接，所述第一动力结构适于带动所述第一齿轮转动。

可选地，所述第二动力结构为连接设置的第一电机和第一减速器；所述第三动力结构为连接设置的第二电机和第二减速器；在所述第二减速器的输出端设有第二主轴，所述第二主轴与所述承载板连接。

可选地，所述第四动力结构为气缸。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1.本发明提供的分子泵辅助测试装置，包括：机架，内部适于安装分子泵；第二快换盘，设置于机架的侧面；升降机构，设有第四连接板，所述升降机构适于带动第四连接板上下移动；第四动力结构，设置在第四连接板上，且在第四动力结构上设有第二连接板，所述第四动力结构适于带动第二连接板在水平面内进行直线往复移动；第三动力结构，设置在第二连接板上，且在第三动力结构上设有承载板，所述第三动力结构适于带动所述承载板在竖直平面上旋转；第三快换盘，设置在承载板上，所述第三快换盘适于与第二快换盘进行快速连接和拆卸；本申请采用上述技术方案，通过升降机构带动第四连接板上下移动，第二快换盘对准第三快换盘；第四动力结构通过第二连接板，将第二快换盘靠近第三快换盘，进行连接；在升降机构带动安装分子泵的机架上升后，第三动力结构通过承载板，带动安装分子泵的机架进行旋转或翻转，以方便地对分子泵进行角度调整，节省人力，降低劳动强度，实现测试过程自动化，提高升降温测试效率。

2.本发明所述升降机构包括：四根直线导轨，竖直平行设置；第五连接板，设置于所述四根直线导轨的顶端；第二动力结构，设置于所述第五连接板上；两个主动链轮，分别位于所述第二动力结构的两侧，且两个主动链轮分别与所述第二动力结构两端的动力输出连接；两个从动链轮，分别通过两根链条与所述两个主动链轮连接，且所述两根链条竖直设置，所述第四连接板的两端分别与两根链条连接；本申请采用上述技术方案，具体限定升降机构的结构，通过竖直设置的链条传动，带动第四连接板上下移动，方便第二快换盘与第三快换盘的对准，以及方便带动安装分子泵的机架进行上下移动。

3.本发明所述升降机构还包括：第一主轴，作为第二动力结构两端的动力输出，在靠近两端的位置分别与两个主动链轮连接，且第一主轴的两端通过第一轴承座安装在第五连接板上；从轴，靠近两端的位置分别与两个从动链轮连接，且从轴的两端通过第三轴承座分别安装在两根直线导轨上；本申请采用上述技术方案，通过第一主轴带动两个主动链轮同步转动，通过从轴带动两个从动链轮同步转动，确保链条传动的平稳性，进而保证安装分子泵的机架上下移动的平稳性。

4.本发明所述第四动力结构通过滑块滑动连接于所述直线导轨上；本申请采用上述技术方案，通过滑动连接，进一步保证安装分子泵的机架上下移动的平稳性。

5.本发明提供的分子泵辅助测试装置，还包括：两个第二支撑板，设置于所述第四连接板上，且分别位于所述第四动力结构的两侧；两根导向杆，分别通过第二轴承座安装于两个第二支撑板上，两根导向杆的端部均与第二连接板连接，两根导向杆适于直线往复移动，且两根导向杆的移动方向与所述第二连接板的直线往复移动的方向相同；本申请采用上述技术方案，通过两根导向杆导向，提高第二连接板带动第三动力结构以及第三快换盘在进行直线往复移动时的导向性和平稳性。

6.本发明提供的分子泵辅助测试装置，还包括：旋转组件，所述机架放置于所述旋转组件上，且所述旋转组件适于带动所述机架在水平面内进行旋转；本申请采用上述技术方案，方便对安装分子泵的机架在水平面内进行旋转。

7.本发明提供的分子泵辅助测试装置，还包括：第一快换盘，设置于机架的顶面，且在所述第三动力结构通过第三快换盘与第二快换盘，将所述机架进行90°翻转，再由旋转组件带动所述机架旋转90°后，所述第一快换盘适于与第三快换盘进行快速连接和拆卸；本申请采用上述技术方案，在通过旋转组件带动所述机架旋转90°后，方便第一快换盘与第三快换盘进行快速连接，进而在升降机构带动安装分子泵的机架上升后，第三动力结构通过承载板，带动安装分子泵的机架进行旋转或翻转，以方便地对分子泵进行其他角度调整，节省人力，降低劳动强度，实现测试过程自动化，提高升降温测试效率。

8.本发明所述旋转组件包括：承载件，适于放置所述机架；第二齿轮，齿面与所述承载件连接；第一齿轮，与所述第二齿轮啮合；第一动力结构，与所述第一齿轮连接，所述第一动力结构适于带动所述第一齿轮转动；本申请采用上述技术方案，具体限定旋转组件的结构，通过第一动力结构带动第一齿轮转动，进而通过第二齿轮带动承载件转动，使得安装分子泵的机架也进行相应的转动。

9.本发明所述第二动力结构为连接设置的第一电机和第一减速器；所述第三动力结构为连接设置的第二电机和第二减速器；在所述第二减速器的输出端设有第二主轴，所述第二主轴与所述承载板连接；本申请采用上述技术方案，具体限定第二动力结构，方便对安装分子泵的机架进行升降位置的控制和确定；具体限定第三动力结构，方便对安装分子泵的机架进行旋转角度或翻转的控制和确定。

10.本发明所述第四动力结构为气缸；本申请采用上述技术方案，具体限定第四动力结构，方便第三快换盘的直线移动，靠近或远离与第三快换盘配合的部件，以进行快速连接和拆卸。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施方式中提供的旋转组件的局部剖视结构示意图；

图2为本发明实施方式中提供的分子泵辅助测试装置的立体结构示意图。

附图标记说明：

1、旋转组件；2、测试架；3、升降翻转机构；4、底座；5、第一支撑板；6、第一动力结构；7、第一齿轮；8、第二齿轮；9、承载件；10、第一快换盘；11、第一连接板；12、测试盖板；13、机架；14、第二快换盘；15、分子泵；16、第一主轴；17、第一轴承座；18、主动链轮；19、第二动力结构；20、第二主轴；21、第三动力结构；22、第二连接板；23、第四动力结构；24、直线导轨；25、滑块；26、第三连接板；27、导向杆；28、第二轴承座；29、第二支撑板；30、从动链轮；31、第三轴承座；32、第四连接板；33、第三快换盘；34、承载板；35、第五连接板；36、从轴；37、第六连接板。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1至图2所示的分子泵辅助测试装置的一种具体实施方式，适于对分子泵15进行调整角度，以进行升降温测试，所述分子泵辅助测试装置包括：位于下部的旋转组件1、放置于旋转组件1上方的测试架2、以及对测试架2进行升降和翻转的升降翻转机构3；所述分子泵15安装在测试架2上，具体的，所述分子泵15为磁悬浮分子泵。

如图1所示，所述旋转组件1适于带动所述测试架2在水平面内进行旋转。具体的，所述旋转组件1包括：放置所述测试架2的承载件9、与所述承载件9连接的第二齿轮8、与所述第二齿轮8啮合的第一齿轮7、与所述第一齿轮7连接的第一动力结构6、以及安装所述第二齿轮8和第一动力结构6的底座4。所述第二齿轮8的上齿面与所述承载件9连接，且第二齿轮8转动连接于底座4上；所述第一动力结构6带动所述第一齿轮7转动，且所述第一动力结构6通过第一支撑板5安装在底座4上，具体的，所述第一动力结构6为电机，更具体的，所述电机为伺服电机。进一步的，通过外壳将第二齿轮8、第一齿轮7和第一动力结构6等封闭在内部，以防止运动部件碰撞测试人员。

如图2所示，所述测试架2包括：机架13、设置于机架13侧面的第二快换盘14、以及设置于机架13顶面的第一快换盘10。在所述机架13的内部设有测试盖板12，所述分子泵15通过螺钉安装在测试盖板12上；所述第一快换盘10通过第一连接板11连接在机架13上；所述第二快换盘14通过第六连接板37连接在机架13上。

所述升降翻转机构3包括：升降机构、与升降结构连接的第四动力结构23、与第四动力结构23连接的第三动力结构21、以及与第三动力结构21连接的第三快换盘33。所述升降机构设有第四连接板32，所述升降机构带动第四连接板32上下移动；所述第四动力结构23设置在第四连接板32上，且在第四动力结构23上设有第二连接板22，所述第四动力结构23带动第二连接板22在水平面内进行直线往复移动；所述第三动力结构21设置在第二连接板22上，且在第三动力结构21上设有承载板34，所述第三动力结构21带动所述承载板34在竖直平面上旋转；所述第三快换盘33设置在承载板34上，所述第三快换盘33适于与第二快换盘14进行快速连接和拆卸；具体的，所述第三动力结构21为连接设置的第二电机和第二减速器，所述第二电机为伺服电机；在所述第二减速器的输出端设有第二主轴20，所述第二主轴20与所述承载板34连接；所述第四动力结构23为气缸。

所述升降机构包括：竖直平行设置的四根直线导轨24、设置于所述四根直线导轨24顶端的第五连接板35、设置于所述第五连接板35上的第二动力结构19、分别位于所述第二动力结构19两侧的两个主动链轮18、分别通过两根链条与所述两个主动链轮18连接的两个从动链轮30、与两个主动链轮18连接的第一主轴16、以及与两个从动链轮30连接的从轴36。两个主动链轮18分别与所述第二动力结构19两端的动力输出连接；所述两根链条竖直设置，所述第四连接板32的两端分别与两根链条连接；所述第一主轴16作为第二动力结构19两端的动力输出，在靠近两端的位置分别与两个主动链轮18连接，且第一主轴16的两端通过第一轴承座17安装在第五连接板35上；所述从轴36在靠近两端的位置分别与两个从动链轮30连接，且从轴36的两端通过第三轴承座31分别安装在两根直线导轨24上。进一步的，所述第四动力结构23的尾端设有第三连接板26，所述第三连接板26的两端分别通过滑块25滑动连接于另外两根直线导轨24上；在所述第四连接板32上设置两个第二支撑板29，且两个第二支撑板29分别位于所述第四动力结构23的两侧；在两个第二支撑板29上通过第二轴承座28分别安装两根导向杆27，两根导向杆27的端部均与第二连接板22连接，两根导向杆27适于直线往复移动，且两根导向杆27的移动方向与所述第二连接板22的直线往复移动的方向相同。具体的，所述第二动力结构19为连接设置的第一电机和第一减速器。所述第一电机为伺服电机。

本申请所述分子泵辅助测试装置的工作过程简述如下：

S1、测试人员先将待测试的所有分子泵15分别安装于不同的测试架2上；然后取一个安装分子泵15的测试架2放置于承载件9上；此时，默认为初始竖直状态，对分子泵15开始进行第一个角度的升降温测试。

S2、第一个角度的升降温测试完成后，启动第一电机，第一电机带动第一主轴16转动，进而带动主动链轮18旋转，主动链轮18通过链条驱动从动链轮30旋转，进而带动第四连接板32移动到指定位置，使得第三快换盘33与第二快换盘14对正；停止第一电机，启动气缸，推动承载板34，使得第三快换盘33靠近第二快换盘14，并快速连接，停止气缸。再次启动第一电机，带动第四连接板32上升，进而带动安装分子泵15的机架13上升，到达脱离承载件9的安全高度后，停止第一电机，启动第二电机，带动第二主轴20旋转，进而带动第三快换盘33旋转180°，即将安装分子泵15的机架13进行翻转；停止第二电机，启动第一电机，使安装分子泵15的机架13下落到承载件9上，停止第一电机，快速拆卸第三快换盘33与第二快换盘14，启动气缸38，第三快换盘33远离第二快换盘14，停止气缸。此时，分子泵15为倒置状态，对分子泵15开始进行第二个角度的升降温测试。

S3、第二个角度的升降温测试完成后，启动气缸，第三快换盘33与第二快换盘14连接，停止气缸；启动第一电机，安装分子泵15的机架13上升；停止第一电机，启动第二电机，将安装分子泵15的机架13旋转90°；停止第二电机，启动第一电机，将将安装分子泵15的机架13下落至承载件9上；停止第一电机，将第三快换盘33与第二快换盘14拆卸，启动气缸，第三快换盘33远离第二快换盘14，停止气缸。启动第一动力结构6，带动第一齿轮7旋转，第二齿轮8旋转，进而带动承载件9上的安装分子泵15的机架13顺时针水平旋转90°，使得第一快换盘10对正第三快换盘33，停止第一动力结构6。此时，分子泵15为水平0°状态，对分子泵15开始进行第三个角度的升降温测试。

S4、第三个角度的升降温测试完成后，启动气缸，第三快换盘33靠近第一快换盘10，第三快换盘33与第一快换盘10连接，停止气缸；启动第一电机，安装分子泵15的机架13上升；停止第一电机，启动第二电机，将安装分子泵15的机架13顺时针旋转90°；停止第二电机，启动第一电机，将安装分子泵15的机架13下落至承载件9上；停止第一电机，拆卸第三快换盘33和第一快换盘10，启动气缸，第三快换盘33远离第一快换盘10，停止气缸。此时，分子泵15为水平90°状态，对分子泵15开始进行第四个角度的升降温测试。

S5、第四个角度的升降温测试完成后，重复步骤S4，只是将安装分子泵15的机架13再顺时针旋转90°；最后，分子泵15为水平180°状态，对分子泵15开始进行第五个角度的升降温测试。

S5、第五个角度的升降温测试完成后，重复步骤S4，只是将安装分子泵15的机架13再顺时针旋转90°；最后，分子泵15为水平270°状态，对分子泵15开始进行第六个角度的升降温测试。

S7、第六个角度的升降温测试完成后，测试人员更换测试架2，进行下一个分子泵15的六角度升降温测试。

作为替代的实施方式，将待测试的所有分子泵15分别安装于不同的测试架2上，替换为在测试架2上安装一个分子泵15，待测试完成后，拆下分子泵15，在测试架2上安装另一个分子泵15，依次测试。

作为替代的实施方式，将电机、第一电机或第二电机替换为旋转马达。

作为替代的实施方式，将气缸替换为往复直线电机。

作为替代的实施方式，将气缸替换为液压缸。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种分子泵辅助测试装置，其特征在于，包括：

机架(13)，内部适于安装分子泵(15)；

第二快换盘(14)，设置于机架(13)的侧面；

升降机构，设有第四连接板(32)，所述升降机构适于带动第四连接板(32)上下移动；

第四动力结构(23)，设置在第四连接板(32)上，且在第四动力结构(23)上设有第二连接板(22)，所述第四动力结构(23)适于带动第二连接板(22)在水平面内进行直线往复移动；

第三动力结构(21)，设置在第二连接板(22)上，且在第三动力结构(21)上设有承载板(34)，所述第三动力结构(21)适于带动所述承载板(34)在竖直平面上旋转；

第三快换盘(33)，设置在承载板(34)上，所述第三快换盘(33)适于与第二快换盘(14)进行快速连接和拆卸。

2.根据权利要求1所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述升降机构包括：

四根直线导轨(24)，竖直平行设置；

第五连接板(35)，设置于所述四根直线导轨(24)的顶端；

第二动力结构(19)，设置于所述第五连接板(35)上；

两个主动链轮(18)，分别位于所述第二动力结构(19)的两侧，且两个主动链轮(18)分别与所述第二动力结构(19)两端的动力输出连接；

两个从动链轮(30)，分别通过两根链条与所述两个主动链轮(18)连接，且所述两根链条竖直设置，所述第四连接板(32)的两端分别与两根链条连接。

3.根据权利要求2所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述升降机构还包括：

第一主轴(16)，作为第二动力结构(19)两端的动力输出，在靠近两端的位置分别与两个主动链轮(18)连接，且第一主轴(16)的两端通过第一轴承座(17)安装在第五连接板(35)上；

从轴(36)，靠近两端的位置分别与两个从动链轮(30)连接，且从轴(36)的两端通过第三轴承座(31)分别安装在两根直线导轨(24)上。

4.根据权利要求2所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述第四动力结构(23)通过滑块(25)滑动连接于所述直线导轨(24)上。

5.根据权利要求1－4任一项所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，还包括：

两个第二支撑板(29)，设置于所述第四连接板(32)上，且分别位于所述第四动力结构(23)的两侧；

两根导向杆(27)，分别通过第二轴承座(28)安装于两个第二支撑板(29)上，两根导向杆(27)的端部均与第二连接板(22)连接，两根导向杆(27)适于直线往复移动，且两根导向杆(27)的移动方向与所述第二连接板(22)的直线往复移动的方向相同。

6.根据权利要求1－4任一项所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，还包括：

旋转组件(1)，所述机架(13)放置于所述旋转组件(1)上，且所述旋转组件(1)适于带动所述机架(13)在水平面内进行旋转。

7.根据权利要求6所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，还包括：

第一快换盘(10)，设置于机架(13)的顶面，且在所述第三动力结构(21)通过第三快换盘(33)与第二快换盘(14)，将所述机架(13)进行90°翻转，再由旋转组件(1)带动所述机架(13)旋转90°后，所述第一快换盘(10)适于与第三快换盘(33)进行快速连接和拆卸。

8.根据权利要求6所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述旋转组件(1)包括：

承载件(9)，适于放置所述机架(13)；

第二齿轮(8)，齿面与所述承载件(9)连接；

第一齿轮(7)，与所述第二齿轮(8)啮合；

第一动力结构(6)，与所述第一齿轮(7)连接，所述第一动力结构(6)适于带动所述第一齿轮(7)转动。

9.根据权利要求2－4任一项所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述第二动力结构(19)为连接设置的第一电机和第一减速器；所述第三动力结构(21)为连接设置的第二电机和第二减速器；在所述第二减速器的输出端设有第二主轴(20)，所述第二主轴(20)与所述承载板(34)连接。

10.根据权利要求1－4任一项所述的分子泵辅助测试装置，其特征在于，所述第四动力结构(23)为气缸。

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