CN115741760A - 交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，交换版机械手的调整方法包括：逐一调整所述吸取部的水平度；调整多个所述吸取部之间的相对位置；将所述旋转组件调整至初始位置。根据本申请提供的交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，通过调整每个吸取部的水平度、调整多个吸取部之间的相对位置并调整旋转组件至初始位置，有效地提高了交换版机械手在使用前的吸取部的初始位置的参数的精度，进而避免了在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手损伤掩模版的现象发生。

Description

交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法。

背景技术

在掩模版生产过程中，通常需要面对掩模版在多个工位之间传递的场景，现今通常在多个工位之间设置交换版机械手，以实现掩模版在多个工位之间传递。

交换版机械手通常包括多个能够独立升降的吸取部，且多个吸取部能够绕着同一轴线进行旋转，以实现多个吸取部在多个工位之间切换取放掩模版。

然而，现今的交换版机械手在使用前对吸取部的初始位置参数(例如吸取部的水平度、旋转零度位置等)调整精度不足，这使得在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手时常出现损伤掩模版的现象发生。例如，旋转零度位置精度不足，极大影响了吸取部旋转到位精度，使得吸取部未旋转到指定工位便执行拾取/放置掩模版的动作，若执行拾取动作时，极易导致吸取部吸取掩模版的位置发生偏移，在吸取部吸取的过程掩模版发生掉落导致损坏；若执行放置动作时，极易导致吸取部未旋转放置掩模版的位置，便执行释放掩模版的动作，而导致掩模版掉落损伤。又如，吸取部的水平度的精度不足，极容易影响吸取部吸取掩模版的稳定性，使得掩模版容易自吸取部上滑落。

发明内容

本申请的目的在于提供一种交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，以在一定程度上解决现有技术中存在的现今的交换版机械手在使用前对吸取部的初始位置参数(例如吸取部的水平度、旋转零度位置等)调整精度不足，这使得在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手时常出现损伤掩模版的现象发生的技术问题。

根据本申请的第一方面提供一种交换版机械手的调整方法，

所述交换版机械手包括旋转组件、安置部和多个吸取部，每个所述吸取部包括连接平面和多个吸盘，多个所述吸盘均设置于所述连接平面上；

所述安置部包括沿第一方向贯通所述安置部的安置孔，所述旋转组件沿所述第一方向贯穿所述安置孔，多个所述吸取部均设置于所述旋转组件的一端；

所述交换版机械手的调整方法包括以下步骤：

逐一调整所述吸取部的水平度，将具有水平仪的调平工装与所述连接平面贴合，通过所述水平仪的读数，调整所述连接平面的水平度，使得所述连接平面的水平度达到预定水平度范围；

调整多个所述吸取部之间的相对位置，在每个所述连接平面设置中心标记孔组，将调位工装分别与所述多个吸取部的所述中心标记孔组连接；

将所述旋转组件调整至初始位置，在所述旋转组件的所述吸取部所在的端面设置第一初始定位部，在所述安置部的所述吸取部所在侧面设置第二初始定位部，使得调零工装分别与所述第一初始定位部和所述第二初始定位部连接。

优选地，在所述逐一调整所述吸取部的水平度的步骤之前还包括调平所述安置部，修磨所述交换版机械手，使所述安置部的水平度达到所述预定水平度范围；

所述预定水平度范围为小于或者等于100μrad。

优选地，所述调平工装包括贴合凸部，所述贴合凸部包括贴合表面，所述调平工装经由所述贴合表面与所述连接平面贴合；所述水平仪平行于所述贴合表面设置。

优选地，所述调平工装还包括：

连接部，设置于所述贴合表面，所述连接部与所述中心标记孔组相适配，且相对于所述贴合表面凸出；

标记平台，平行于所述贴合表面设置，所述贴合凸部和所述水平仪均设置于所述标记平台。

优选地，所述吸取部包括：

调平板，

连接部分，与所述调平板在所述第一方向上相对设置，所述连接平面为所述连接部分的背对所述调平板的侧面；

卡接罩，罩设于所述连接部分，所述旋转组件沿所述第一方向贯穿所述卡接罩与所述调平板连接，所述调平板设置于所述卡接罩与所述连接部分之间；

多个调平螺柱，设置于所述卡接罩的所述旋转组件所述在的一端，所述调平螺柱沿第一方向贯穿所述卡接罩与所述调平板抵接。

优选地，所述中心标记孔组包括多个沿所述第一方向延伸的定位孔，多个所述定位孔设置于同一个定位圆上，所述定位圆的圆心为所述连接平面的中心点。

优选地，所述调位工装包括连接板部和多个限位部，所述限位部的数量与所述吸取部的数量相等，多个所述限位部按照所述多个吸取部的预设的相对位置分布于所述连接板部的同一侧；

每一所述限位部均能够与所述中心标记孔组配合，当使用所述调位工装时，多个所述限位部分别与所述吸取部的中心标记孔组一一对应。

优选地，所述连接板部包括连杆和连接平台，所述连杆的数量和所述连接平台的数量均等于所述限位部的数量，多个所述连杆的第一端连接于同一处，所述连杆的第二端与所述连接平台连接；

所述限位部一一对应地设置于所述连接平台的同一侧，以使得多个所述限位部共面。

优选地，所述第一初始定位部的数量为多个，多个所述第一初始定位部沿所述旋转组件的端面的径向方向间隔设置；

所述调零工装包括彼此连接的直径标记部和夹持部，所述直径标记部沿预定方向延伸，所述直径标记部的一侧设置多个定位凸起，所述定位凸起沿预定方向间隔设置；

所述夹持部设置于所述直径标记部的在所述预定方向上的一端；当所述调零工装使用时，所述夹持部能够夹持所述第二初始定位部，旋转所述旋转组件使得所述定位凸起与所述第一初始定位部配合连接，以使得所述第一初始定位部和第二初始定位部共线。

根据本申请的第二方面提供一种交换版机械手的使用方法，包括上述任一技术方案所述的交换版机械手的调整方法，以将多个所述吸取部全部调整至初始工位。因而，具有该交换版机械手的调整方法的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

优选地，所述旋转组件包括旋转部和多个沿所述第一方向延伸的升降部，所述升降部沿第一方向贯穿所述旋转部，所述旋转部设置于所述安置孔内，多个所述吸取部一一对应地设置于多个所述升降部，以使得每个所述吸取部能够在对应地所述升降部的驱动下相对所述安置部升降；

所述交换版机械手还包括控制部，所述控制部分别与所述旋转部和每个所述升降部通信连接；

所述交换版机械手的使用方法，还包括步骤：

标定步骤，对多个所述吸取部逐一标记第一减速工位和第二减速工位；

使用步骤，调节所述控制部的参数，使得所述吸取部运动至第一减速工位时，所述吸取部的下落速度为第一运行速度，并使得所述吸取部运动至第二检测工位时，所述吸取部的下落速度为第二运行速度。

优选地，每个所述吸取部包括多个力传感器，所述力传感器用于检测所述连接平面的受力点情况；

所述控制部分别与每个所述力传感器通信连接；

相对每个所述吸取部，所述标定步骤还包括：

标记预定交接工位，驱动所述吸取部以第一标记速度下落，直至所述多个力传感器中的一者被触发，所述控制部控制所述吸取部停止运动，并标记此时所述吸取部的位置为预定交接工位；

标记交接工位，驱动所述吸取部自所述预定交接工位上升至第一标定位置，使得所述吸取部自所述第一标定位置以第二标记速度下落，直至所述多个力传感器中的两者被触发，所述控制部标记此时所述吸取部的位置为交接工位；

标记所述第一减速工位和所述第二减速工位，以所述交接工位为基准，将位于所述交接工位上方的与所述交接工位相距第一减速距离的位置标记为所述第一减速工位，将位于所述交接工位上方的与所述交接工位相距第二减速距离的位置标记为所述第二减速工位。

优选地，所述第一标记速度、所述第二标记速度和所述第二运行速度的最大值均为0.1mm/s，所述第一运行速度大于所述第二运行速度；

所述第一标定位置与所述预定交接工位之间的距离为1mm；

所述第一减速距离为7mm；

所述第二减速距离为0～0.8mm，或者所述第二减速距离为0.5mm。

与现有技术相比，本申请的有益效果为：

本申请提供的交换版机械手的调整方法，通过调整每个吸取部的水平度、调整多个吸取部之间的相对位置并调整旋转组件至初始位置，有效地提高了交换版机械手在使用前的吸取部的初始位置的参数的精度，进而避免了在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手损伤掩模版的现象发生。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的交换版机械手的轴测结构示意图；

图2为本申请实施例提供的交换版机械手沿第一方向和第二方向两者所确定的平面剖切获得的剖切结构示意图；

图3为本申请实施例提供的交换版机械手的仰视结构示意图；

图4为本申请实施例提供的吸取部的轴测结构示意图；

图5为本申请实施例提供的调平工装的轴测结构示意图；

图6为本申请实施例提供的吸取部和调平工装的装配结构的沿第一方向和第三方向所确定的平面剖切获得剖切结构示意图；

图7为本申请实施例提供的调位工装的轴测结构示意图；

图8为本申请实施例提供的交换版机械手经由调位工装调位前的仰视结构示意图；

图9为本申请实施例提供的交换版机械手与调位工装装配结构示意图；

图10为本申请实施例提供的调零工装的轴测结构示意图；

图11为本申请实施例提供的交换版机械手与调零工装装配结构示意图；

图12为本申请实施例提供的交换版机械手的标定步骤所标记的工位示意图；

图13为本申请实施例提供的交换版机械手的调整方法的流程示意图；

图14为本申请实施例提供的交换版机械手的使用方法的流程示意图。

附图标记：

110-安置部；111-安置孔；112-第二初始定位部；121-旋转部；1211-旋转转盘；1212-扭矩电机；122-升降部；123-第一初始定位部；130-吸取部；131-连接部分；1311-连接平面；132-中心标记孔组；1321-定位螺纹孔；1322-定位销孔；133-吸盘；134-调平板；135-卡接罩；136-调平螺柱；137-力传感器；

200-调平工装；210-贴合凸部；220-标记平台；230-连接部；241-Y向水平仪；242-X向水平仪；

300-调位工装；310-限位部；321-连接平台；322-连杆；

400-调零工装；410-直径标记部；411-定位凸起；420-夹持部；

01-初始工位；02-第一减速工位；03-第二减速工位；04-交接工位；

F1-第一方向；F2-第二方向；F3-第三方向。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。

基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面参照图1至图14描述根据本申请一些实施例所述的交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法。

参见图1至图13所示，本申请第一方面的实施例提供了一种交换版机械手的调整方法，该交换版机械手的调整方法用于下述交换版机械手。具体地，该交换版机械手的调整方法包括以下步骤：

S200逐一调整下述吸取部130的水平度，将下述具有水平仪的调平工装200与下述连接平面1311贴合，通过该水平仪的读数，调整连接平面1311的水平度，使得连接平面1311的水平度达到预定水平度范围。

S300调整多个下述吸取部130之间的相对位置，在每个连接平面1311设置中心标记孔组132，将下述调位工装300分别与多个吸取部130的中心标记孔组132连接。

S400将下述旋转组件调整至初始位置，在旋转组件的吸取部130所在的端面设置第一初始定位部123，在下述安置部110的吸取部130侧面设置第二初始定位部112，使得调零工装400分别与第一初始定位部123和第二初始定位部112连接。

根据上述技术特征，该交换版机械手的调整方法通过调整每个吸取部130的水平度、调整多个吸取部130之间的相对位置并调整旋转组件至初始位置，有效地提高了交换版机械手在使用前的吸取部130的初始位置的参数的精度，进而避免了在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手损伤掩模版的现象发生。

参见图1至图12，图中F1示出的方向可以为第一方向F1的一种示例，图中F2示出的方向可以为第二方向F2的一种示例，图中F3示出的方向可以为第三方向F3的一种示例。优选地，第一方向F1、第二方向F2以及第三方向F3三者中的任意两者垂直，其中，第一方向F1可以是重力方向，第二方向F2可以是下述Y向，第三方向F3可以是下述X向。

优选地，如图13所示。在上述S200步骤逐一调整所述吸取部130的水平度的步骤之前还可以包括S100调平所述安置部110，修磨交换版机械手，使所述安置部110的水平度达到所述预定水平度范围，如此，为S200步骤调整吸取部130的水平度提供参照。

优选地，图中未示出，上述交换版机械手可以包括支撑框架，上述安置部110可以设置于该支撑框架，S100步骤所述的修磨交换版机械手可以包括修磨该安置部110和支撑框架两者的连接处，以保证上述安置部110的水平度能够处于预定水平度范围内。

可选地，上述交换版机械手还可以包括垫片，该垫片可以设置于上述支撑框架和安置部110之间，上S100步骤所述的修磨交换版机械手还可以包括修磨垫片和调整垫片，以进一步以保证上述安置部110的水平度能够处于预定水平度范围内。

优选地，上述预定水平度可以小于或者等于100μrad，以使得交换版机械手能够适应拾取掩模版的水平度要求。

优选地，上述预定水平度可以包括X向水平度(即下述X向水平仪242检测的第三方向F3水平度)和Y向水平度(即下述Y向水平仪241检测的第二方向F2水平度)，其中，X向水平度可以小于或者等于100μrad，Y向水平度也可以小于或者等于100μrad。

在实施例中，参见图4至图6，上述调平工装200可以包括贴合凸部210，以图5和图6示出的方位为例，该贴合凸部210的上表面可以是贴合表面，该调平工装200经由此贴合表面与上述连接平面1311贴合。

优选地，如图4至图6所示，上述调平工装200还可以包括连接部230，该连接部230设置于上述贴合表面，该连接部230与上述中心标记孔组132相适配，且相对于所述贴合表面凸出，当调平工装200使用时，可以通过该连接部230伸入上述中心标记孔组132，实现调平工装200与吸取部130的连接，以保证贴合表面和上述连接表面的贴合稳定性，进而保证调平工装200的调平可靠性。

优选地，如图4至图6所示，上述调平工装200还可以标记平台220，该标记平台220平行于所述贴合表面设置，所述贴合凸部210和所述水平仪均设置于所述标记平台220，如此，当调平工装200使用时，水平仪检测的标记平台220的水平度便可以间接反映出上述连接平面1311的水平度。

优选地，如图4和图6所示，上述水平仪的数量可以为两个，两个水平仪中的第一者可以沿第二方向F2延伸，该第一者则为Y向水平仪241。类似地，两个水平仪中的第二者可以沿第三方向F3延伸，该第二者则为X向水平仪242。如此，保证了调平工装200能够同时检测连接平面1311在第二方向F2和第三方向F3两个方向上的水平度，进一步保证了调平工装200的调平可靠性。

优选地，上述中心标记孔组132可以包括多个沿第一方向F1延伸的定位孔，多个定位孔设置于同一个定位圆上，所述定位圆的圆心为所述连接平面1311的中心点，如此以便于定位连接平面1311的中心点。

如图3和图8示出了中心标记孔组132的定位孔数量为4个的一种示例，优选地，如图3和图8示，定位孔可以包括定位螺纹孔1321和定位销孔1322，定位螺纹孔1321和定位销孔1322间隔设置，如此保证了与中心标记孔组132相配合的连接部230和下述限位部310与连接平面1311的连接稳定性的同时，便于调平工装200和调位工装300的装卸。

对应地，上的连接部230可以包括两个沿第一方向F1延伸的螺柱和两个沿第一方向F1延伸的销柱，该螺柱能够与上述定位螺纹孔1321配合；该销柱能够与上述定位销孔1322配合。两个螺柱和两个销柱间隔设置。

类似地，下述限位部310的结构与该连接部230的结构类似，不再赘述。

在实施例中，调位工装300可以包括连接板部和多个限位部310，该限位部310的数量与下述吸取部130的数量相等，多个限位部310按照多个吸取部130的预设的相对位置分布于连接板部的同一侧，如此，如图8和图9示出了吸取部130经由调位工装300前后的对比图，限位部310逐一与吸取部130的中心标记孔组132连接，以调整每个吸取部130的朝向和多个吸取部130之间的相对位置，以保证吸取部130的初始位置的设置精度。

优选地，如图9所示，每一限位部310均能够与上述中心标记孔组132配合，当使用调位工装300时，多个限位部310分别与吸取部130的中心标记孔组132一一对应。该限位部310的设置结构和方式与上述连接部230类似，不再赘述。

优选地，如图7所示，上述连接板部可以包括连杆322和连接平台321，该连杆322的数量和连接平台321的数量可以均等于上述限位部310的数量，多个连杆322的第一端连接于同一处，连杆322的第二端与连接平台321连接，如此以节省调位工装300的材料成本。

优选地，限位部310一一对应地设置于所述连接平台321的同一侧，以使得多个述限位部310共面，如此，在上述S300步骤中使用调位工装300调整多个吸取部130之间的相对位置的过程中，能够将多个吸取部130调整至同一高度位置。

如图7和图9示出了吸取部130的数量为两个，且两个吸取部130的预设的相对位置共线的示例。对应地，上述连杆322数量为两个，且两个连杆322的延伸方向相同。为了便于区分连杆322的数量，故在图7中以虚线标记出两个连杆322的连接位置。

在实施例中，如图3、图8和图9所示，上述第一初始定位部123可以为多个销孔，该多个销孔可以沿所述旋转组件的端面的径向方向间隔设置。该如图3、图8和图9所示，该径向方向可以垂直于下述两个旋转部121的分布的方向。

对应地，上述第二初始定位部112可以是沿第一方向F1延伸的销柱。

优选地，如图10和图11所示，所述调零工装400可以包括彼此连接的直径标记部410和夹持部420，该直径标记部410沿预定方向延伸，该直径标记部410的一侧设置多个定位凸起411，该定位凸起411沿预定方向间隔设置，如此，当调零工装400处于使用状态时，该定位凸起411能够对应地插入上述第一初始定位部123。

优选地，如图10和图11所示，夹持部420设置于直径标记部410的在所述预定方向上的一端。以使得夹持部420的夹持中心与多个定位凸起411共线，如此，当所述调零工装400使用时，夹持部420能够夹持第二初始定位部112，旋转旋转组件使得定位凸起411与第一初始定位部123配合连接，以使得所述第一初始定位部123和第二初始定位部112共线，进而实现将旋转组件调整至初始位置。

具体地，在实施例中，上述交换版机械手可以包括旋转组件、安置部110和多个吸取部130，每个吸取部130包括连接平面1311和多个吸盘133，多个吸盘133均设置于所述连接平面1311上。安置部110包括沿第一方向F1贯通所述安置部110的安置孔111，旋转组件沿第一方向F1贯穿安置孔111，多个吸取部130均设置于旋转组件的一端。如图1至图3、图4、图6示出了吸取部130的数量为两个的交换版机械手的示例。

优选地，如图4和图6，吸取部130可以包括调平板134、连接部分131、卡接罩135和多个调平螺柱136。具体地，连接部分131与调平板134在第一方向F1上相对设置。连接平面1311为连接部分131的背对调平板134的侧面。

优选地，如图4所示，卡接罩135可以罩设于连接部分131，以使得卡接罩135与连接部分131之间形成一调节空间，上述调平板134可以设置于该调节空间内，旋转组件沿第一方向F1贯穿卡接罩135与所述调平板134连接，如此，在吸取掩模版和/或放置掩模版时，有效地保证了吸取部130与旋转组件的柔性连接，当吸取部130吸取倾斜放置的掩模版时，吸取部130能够在与掩模版的接触过程与旋转组件发生相对倾斜，使得吸取部130能够对倾斜状态下的掩模版形成良好的接触性和贴合性。

优选地，如图4和图6所示，上述多个调平螺柱136可以设置于卡接罩135的旋转组件在的一端，调平螺柱136沿第一方向F1贯穿所述卡接罩135与所述调平板134抵接，如此可以通过分别旋钮调平螺柱136实现对连接平面1311的水平度的调整。

可选地，调平螺柱136的数量可以是3个，然而不限于此，调平螺柱136的数量可以是还可以是两个、4个、5个或者更多个。

优选地，如图1至图3所示，上述旋转组件可以包括旋转部121和多个沿所述第一方向F1延伸的升降部122，升降部122沿第一方向F1贯穿旋转部121，旋转部121设置于安置孔111内，多个吸取部130一一对应地设置于多个升降部122的下端，以使得每个吸取部130能够在对应地升降部122的驱动下相对安置部110升降，以实现吸取部130的拾取/放置掩模版的动作。

优选地，上述升降部122可以是沿第一方向F1延伸的直线驱动设备，例如，气缸、直线电机或者相互配合的丝杆螺母和旋转电机的组合等。

优选地，如图2所示，上述旋转部121可以包括旋转转盘1211和扭矩电机1212，该扭矩电机1212和旋转转盘1211可以均设置于上述安置孔111内，上述升降部122沿第一方向F1贯穿旋转转盘1211，如此，实现扭矩电机1212驱动旋转转盘1211旋转，进而带动升降部122旋转。

优选地，图中未示出，上述交换版机械手还可以包括控制部，控制部分别与上述扭矩电机1212和每个升降部122通信连接，以控制交换机械手执行旋转和升降动作。

优选地，每个吸取部130可以包括多个力传感器137，所述力传感器137用于检测所述连接平面1311的受力点情况。以上述吸取部130为例，该力传感器137可以是电感式接近开关，如图4所示，该力传感器137可以设置于上述卡接罩135的上端，通过检测卡接罩135与调平板134之间的距离变化，进而反应连接平面1311的受力情况。在吸取部130与倾斜放置的掩模版接触的过程中，在吸取部130与掩模版刚接触时，靠近接触点的一侧的连接平面1311会发生倾斜，使得卡接罩135与调平板134的在该侧的距离先减小，位于该侧的力传感器137被触发；在吸取部130继续向掩模版移动的过程中，连接平面1311和掩模版逐渐平行，使得其他的力传感器137被触发，进而，能够依据力传感器137被触发的数量来判断连接平面1311的受力点，进而判断吸取部130吸取掩模版的状态。

可选地，上述力传感器137的数量可以为3个、4个、5个或者更多个。

优选地，上述控制部分别与每个力传感器137通信连接，以便于通过力传感器137的触发情况，使得控制部获取吸取部130吸取掩模版的状态信息。

参见图1至图14，本申请第二方面的实施例还提供一种交换版机械手的使用方法，包括上述任一实施例所述的交换版机械手的调整方法，以将多个所述吸取部130全部调整至初始工位01。该交换版机械手的使用方法具有交换版机械手的调整方法的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

所述交换版机械手的使用方法，还可以包括步骤：

S020标定步骤，对多个所述吸取部130逐一标记第一减速工位02和第二减速工位03。

S030使用步骤，调节所述控制部的参数，使得所述吸取部130运动至第一减速工位02时，所述吸取部130的下落速度为第一运行速度，并使得所述吸取部130运动至第二检测工位时，所述吸取部130的下落速度为第二运行速度。

根据以上技术特征，使得吸取部130在下落拾取掩模版的过程中经过两次减速，在保证吸取部130的执行拾取动作的工作效率的同时，有效降低了吸取部130在下落接触掩模版的过程中对掩模版的冲击力度，进而进一步避免了吸取部130在拾取掩模版的过程中损坏掩模版。

优选地，第一运行速度大于第二运行速度，以保证吸取部130的执行拾取动作的工作效率。

优选地，相对每个所述吸取部130，S020标定步骤还可以包括：

S021标记预定交接工位04，驱动吸取部130以第一标记速度下落，直至所述多个力传感器137中的一者被触发，所述控制部控制所述吸取部130停止运动，并标记此时所述吸取部130的位置为预定交接工位04，如此，将吸取部130刚接触到掩模版的位置设定为预定交接工位04，降低了在标定工位的过程中损伤掩模版的几率。

优选地，该第一标记速度可以为0.1mm/s，以保证在标记预定交接工位04的过程中，吸取部130能够缓慢下落，防止在标记过程中吸取部130冲击掩模版。

S022标记交接工位04，驱动所述吸取部130自所述预定交接工位04上升至第一标定位置，使得所述吸取部130自所述第一标定位置以第二标记速度下落，直至所述多个力传感器137中的两者被触发，所述控制部标记此时所述吸取部130的位置为交接工位04。

优选地，所述第一标定位置与所述预定交接工位04之间的距离可以为1mm，所述第二标记速度可以为0.1mm/s，以保证控制器能够精准地捕捉到交接工位04的位置，并保证吸取部130与掩模版的接触安全性。

S023标记所述第一减速工位02和所述第二减速工位03，以所述交接工位04为基准，将位于所述交接工位04上方的与所述交接工位04相距第一减速距离的位置标记为所述第一减速工位02，将位于所述交接工位04上方的与所述交接工位04相距第二减速距离的位置标记为所述第二减速工位03。

优选地，上述第一减速距离可以为7mm，以保证第一减速工位02到交接工位04之间具有足够的减少距离，进一步保证了吸取部130的拾取安全性。

优选地，所述第二运行速度可以小于或者等于0.1mm/s。

优选地，所述第二减速距离可以为0～0.8mm。

优选地，所述第二减速距离可以为0.5mm。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (12)

1.一种交换版机械手的调整方法，其特征在于，

所述交换版机械手包括旋转组件、安置部和多个吸取部，每个所述吸取部包括连接平面和多个吸盘，多个所述吸盘均设置于所述连接平面上；

所述安置部包括沿第一方向贯通所述安置部的安置孔，所述旋转组件沿所述第一方向贯穿所述安置孔，多个所述吸取部均设置于所述旋转组件的一端；

所述交换版机械手的调整方法包括以下步骤：

逐一调整所述吸取部的水平度，将具有水平仪的调平工装与所述连接平面贴合，通过所述水平仪的读数，调整所述连接平面的水平度，使得所述连接平面的水平度达到预定水平度范围；

调整多个所述吸取部之间的相对位置，在每个所述连接平面设置中心标记孔组，将调位工装分别与所述多个吸取部的所述中心标记孔组连接；

将所述旋转组件调整至初始位置，在所述旋转组件的所述吸取部所在的端面设置第一初始定位部，在所述安置部的所述吸取部所在侧面设置第二初始定位部，使得调零工装分别与所述第一初始定位部和所述第二初始定位部连接。

2.根据权利要求1所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，在所述逐一调整所述吸取部的水平度的步骤之前还包括调平所述安置部，修磨所述交换版机械手，使所述安置部的水平度达到所述预定水平度范围；

所述预定水平度范围为小于或者等于100μrad。

3.根据权利要求1所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，所述调平工装包括贴合凸部，所述贴合凸部包括贴合表面，所述调平工装经由所述贴合表面与所述连接平面贴合；所述水平仪平行于所述贴合表面设置。

4.根据权利要求3所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，

所述调平工装还包括：

连接部，设置于所述贴合表面，所述连接部与所述中心标记孔组相适配，且相对于所述贴合表面凸出；

标记平台，平行于所述贴合表面设置，所述贴合凸部和所述水平仪均设置于所述标记平台。

5.根据权利要求1所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，所述吸取部包括：

调平板，

连接部分，与所述调平板在所述第一方向上相对设置，所述连接平面为所述连接部分的背对所述调平板的侧面；

卡接罩，罩设于所述连接部分，所述旋转组件沿所述第一方向贯穿所述卡接罩与所述调平板连接，所述调平板设置于所述卡接罩与所述连接部分之间；

多个调平螺柱，设置于所述卡接罩的所述旋转组件所述在的一端，所述调平螺柱沿第一方向贯穿所述卡接罩与所述调平板抵接。

6.根据权利要求1所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，所述中心标记孔组包括多个沿所述第一方向延伸的定位孔，多个所述定位孔设置于同一个定位圆上，所述定位圆的圆心为所述连接平面的中心点。

7.根据权利要求1所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，所述调位工装包括连接板部和多个限位部，所述限位部的数量与所述吸取部的数量相等，多个所述限位部按照所述多个吸取部的预设的相对位置分布于所述连接板部的同一侧；

每一所述限位部均能够与所述中心标记孔组配合，当使用所述调位工装时，多个所述限位部分别与所述吸取部的中心标记孔组一一对应。

8.根据权利要求7所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，

所述连接板部包括连杆和连接平台，所述连杆的数量和所述连接平台的数量均等于所述限位部的数量，多个所述连杆的第一端连接于同一处，所述连杆的第二端与所述连接平台连接；

所述限位部一一对应地设置于所述连接平台的同一侧，以使得多个所述限位部共面。

9.根据权利要求1所述的交换版机械手的调整方法，其特征在于，

所述第一初始定位部的数量为多个，多个所述第一初始定位部沿所述旋转组件的端面的径向方向间隔设置；

所述调零工装包括彼此连接的直径标记部和夹持部，所述直径标记部沿预定方向延伸，所述直径标记部的一侧设置多个定位凸起，所述定位凸起沿预定方向间隔设置；

所述夹持部设置于所述直径标记部的在所述预定方向上的一端；当所述调零工装使用时，所述夹持部能够夹持所述第二初始定位部，旋转所述旋转组件使得所述定位凸起与所述第一初始定位部配合连接，以使得所述第一初始定位部和第二初始定位部共线。

10.一种交换版机械手的使用方法，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的交换版机械手的调整方法，以将多个所述吸取部全部调整至初始工位；

所述旋转组件包括旋转部和多个沿所述第一方向延伸的升降部，所述升降部沿第一方向贯穿所述旋转部，所述旋转部设置于所述安置孔内，多个所述吸取部一一对应地设置于多个所述升降部，以使得每个所述吸取部能够在对应地所述升降部的驱动下相对所述安置部升降；

所述交换版机械手还包括控制部，所述控制部分别与所述旋转部和每个所述升降部通信连接；

所述交换版机械手的使用方法，还包括步骤：

标定步骤，对多个所述吸取部逐一标记第一减速工位和第二减速工位；

使用步骤，调节所述控制部的参数，使得所述吸取部运动至第一减速工位时，所述吸取部的下落速度为第一运行速度，并使得所述吸取部运动至第二检测工位时，所述吸取部的下落速度为第二运行速度。

11.根据权利要求10所述的交换版机械手的使用方法，其特征在于，

每个所述吸取部包括多个力传感器，所述力传感器用于检测所述连接平面的受力点情况；

所述控制部分别与每个所述力传感器通信连接；

相对每个所述吸取部，所述标定步骤还包括：

标记预定交接工位，驱动所述吸取部以第一标记速度下落，直至所述多个力传感器中的一者被触发，所述控制部控制所述吸取部停止运动，并标记此时所述吸取部的位置为预定交接工位；

标记交接工位，驱动所述吸取部自所述预定交接工位上升至第一标定位置，使得所述吸取部自所述第一标定位置以第二标记速度下落，直至所述多个力传感器中的两者被触发，所述控制部标记此时所述吸取部的位置为交接工位；

标记所述第一减速工位和所述第二减速工位，以所述交接工位为基准，将位于所述交接工位上方的与所述交接工位相距第一减速距离的位置标记为所述第一减速工位，将位于所述交接工位上方的与所述交接工位相距第二减速距离的位置标记为所述第二减速工位。

12.根据权利要求11所述的交换版机械手的使用方法，其特征在于，

所述第一标记速度、所述第二标记速度和所述第二运行速度的最大值均为0.1mm/s，所述第一运行速度大于所述第二运行速度；

所述第一标定位置与所述预定交接工位之间的距离为1mm；

所述第一减速距离为7mm；

所述第二减速距离为0～0.8mm，或者所述第二减速距离为0.5mm。

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