CN115679239B - 一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，涉及喷涂装置技术领域，其技术方案要点包括喷涂嘴，还包括底座，所述底座上开设有容纳槽，所述底座上移动连接有移动块，所述移动块和容纳槽上均转动连接有锁紧筒，将衬管水平放置在两个锁紧筒之间，其中一个锁紧筒靠近另一个锁紧筒移动，直至通过两个锁紧筒将衬管夹紧；固定板，所述固定板固定连接在底座的上方，所述喷涂嘴设置有多个，所述喷涂嘴固定连接在固定板的下方，喷涂嘴工作使物料喷向衬管，两个锁紧筒转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上；其中，效果是对喷涂嘴喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固。

Description

一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置

技术领域

本发明涉及喷涂装置技术领域，更具体地说，它涉及一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材，随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，喷涂制备金属靶材是利用电弧将物料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程，然而现有的用于金属靶材加工生产的喷涂装置在将物料喷出时没有进行保温处理，因此在物料喷射附着在衬管之前容易进行凝固，从而影响加工质量。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，包括喷涂嘴，还包括：

底座，所述底座上开设有容纳槽，所述底座上移动连接有移动块，所述移动块和容纳槽上均转动连接有锁紧筒，将衬管水平放置在两个锁紧筒之间，其中一个锁紧筒靠近另一个锁紧筒移动，直至通过两个锁紧筒将衬管夹紧。

固定板，所述固定板固定连接在底座的上方，所述喷涂嘴设置有多个，所述喷涂嘴固定连接在固定板的下方，喷涂嘴工作使物料喷向衬管，两个锁紧筒转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上。

其中，所述固定板内开设有空腔，所述空腔的内部固定连接有加热块，所述空腔的底部开设有出风孔，喷涂嘴将物料喷向衬管时，加热块工作对附近的空气进行加热处理，即对喷涂嘴喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固。

优选地，所述底座上固定连接有驱动电机，所述驱动电机的驱动轴与另一个锁紧筒固定连接。

优选地，所述底座上固定连接有气动伸缩杆，所述气动伸缩杆的移动端与移动块固定连接。

优选地，所述底座上固定连接有L形板，所述固定板固定连接在L形板上。

优选地，所述底座上固定连接有第一风机，所述第一风机的进风端连通有进风罩，所述进风罩的进风端朝向驱动电机设置，所述第一风机的出风端连通有风管，所述风管与空腔连通。

优选地，所述底座内开设有冷却腔，所述底座上固定连接有风盒，所述风盒的顶端开设有进风口，所述进风口朝向出风孔设置，所述冷却腔上固定连接有导热块，所述导热块的一端位于风盒的内部，所述风盒连通有第二风机，所述第二风机的出风端连通有软质风管，所述锁紧筒的外周密封转动连接有转动筒，所述软质风管与转动筒连通，所述锁紧筒上开设有相互连通的排风孔和排风腔，所述排风腔与软质风管连通。

优选地，所述冷却腔的内部转动连接有第一转动杆，所述第一转动杆上固定连接有搅拌杆，所述第一转动杆的一端穿过冷却腔的侧壁并固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮位于底座的外侧，所述驱动电机的驱动轴上固定连接有第二齿轮，所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合。

优选地，所述底座上开设有相互连通的流风孔和流通孔，所述流通孔的内部转动连接有第二转动杆，所述第二转动杆上固定连接有扇叶，所述第二转动杆的一端穿过流通孔的侧壁并固定连接有第三齿轮，所述第三齿轮与第一齿轮相互啮合。

优选地，所述流风孔上固定连接有导热板，所述导热板的一端位于冷却腔的内部。

优选地，所述进风口处放置有处理盒，所述处理盒内固定连接有吸附棉，所述吸附棉之间预留有空隙。

与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

1、通过在固定板的空腔内设置加热块，以及在空腔的底部开设出风孔，加热块工作对附近的空气进行加热处理，即对喷涂嘴喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固，同时由于第一风机的进风端连通有进风罩，便于将驱动电机产生的热量吸入空腔的内部，由于驱动电机工作时将会产生热量，第一风机工作实现驱动电机附近的热气通过进风罩、风管进入空腔的内部，之后热气通过出风孔向下喷出，即对喷涂嘴喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固，同时也实现了对驱动电机附近热气进行利用。

2、通过在底座内开设有冷却腔，第二风机工作实现出风孔排出的热气通过进风口进入风盒的内部，通过出风孔排出的热风进入风盒的内部，防止热气扩散至该装置周围，即防止影响工作人员进行操作，由于导热块的材料为导热材质，且冷却腔的内部装有冷却液，因此冷却液内部的低温度通过导热块传递至风盒的内部，降低风盒内部的温度，使风盒内部的温度整体较低变为冷空气，之后冷空气通过软质风管、转动筒、排风腔和排风孔排出，达到降低衬管附近的温度，因此在物料附着在衬管上时，能使物料快速凝固在衬管上。

附图说明

图1为本发明提出的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置的结构示意图；

图2为本发明提出的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置集中底座的内部示意图；

图3为图2中A处局部放大图；

图4为本发明提出的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置中转动筒和锁紧筒4的内部示意图；

图5为本发明提出的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置中固定板的内部示意图；

图6为本发明提出的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置中锁紧筒和转动筒的连接示意图。

1、喷涂嘴；2、容纳槽；3、移动块；4、锁紧筒；5、固定板；6、空腔；7、加热块；8、气动伸缩杆；9、L形板；10、第一风机；11、进风罩；12、风管；13、冷却腔；14、风盒；15、进风口；16、导热块；17、第二风机；18、软质风管；19、转动筒；20、排风孔；21、排风腔；22、第一转动杆；23、搅拌杆；24、第一齿轮；25、第二齿轮；26、流通孔；27、第二转动杆；28、扇叶；29、流风孔；30、导热板；31、处理盒；32、吸附棉；33、空隙；34、底座；35、出风孔；36、第三齿轮；37、驱动电机。

具体实施方式

参照图1至图6。

实施例一对本发明一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置实施例做进一步说明。

一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，包括喷涂嘴1，还包括：

底座34，底座34上开设有容纳槽2，底座34上移动连接有移动块3，移动块3和容纳槽2上均转动连接有锁紧筒4，将衬管水平放置在两个锁紧筒4之间，其中一个锁紧筒4靠近另一个锁紧筒4移动，直至通过两个锁紧筒4将衬管夹紧。

固定板5，固定板5固定连接在底座34的上方，喷涂嘴1设置有多个，喷涂嘴1固定连接在固定板5的下方，喷涂嘴1工作使物料喷向衬管，两个锁紧筒4转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上。

其中，固定板5内开设有空腔6，空腔6的内部固定连接有加热块7，空腔6的底部开设有出风孔35，喷涂嘴1将物料喷向衬管时，加热块7工作对附近的空气进行加热处理，即对喷涂嘴1喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固。

底座34上固定连接有驱动电机37，驱动电机37的驱动轴与另一个锁紧筒4固定连接，将衬管水平放置在两个锁紧筒4之间，其中一个锁紧筒4靠近另一个锁紧筒4移动，直至通过两个锁紧筒4将衬管夹紧，喷涂嘴1工作使物料喷向衬管，驱动电机37工作实现锁紧筒4转动，两个锁紧筒4转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上。

底座34上固定连接有气动伸缩杆8，气动伸缩杆8的移动端与移动块3固定连接，将衬管水平放置在两个锁紧筒4之间，气动伸缩杆8工作实现移动块3移动，在移动块3移动的过程中实现其中一个锁紧筒4的移动，其中一个锁紧筒4靠近另一个锁紧筒4移动，直至通过两个锁紧筒4将衬管夹紧，喷涂嘴1工作使物料喷向衬管，驱动电机37工作实现锁紧筒4转动，两个锁紧筒4转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上。

底座34上固定连接有L形板9，固定板5固定连接在L形板9上，通过L形板9实现固定板5固定连接在底座34上。

底座34上固定连接有第一风机10，第一风机10的进风端连通有进风罩11，进风罩11的进风端朝向驱动电机37设置，第一风机10的出风端连通有风管12，风管12与空腔6连通，由于驱动电机37工作时将会产生热量，第一风机10工作实现驱动电机37附近的热气通过进风罩11、风管12进入空腔6的内部，之后热气通过出风孔35向下喷出，即对喷涂嘴1喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固，同时也实现了对驱动电机37附近热气进行利用。

底座34内开设有冷却腔13，底座34上固定连接有风盒14，风盒14的顶端开设有进风口15，进风口15朝向出风孔35设置，冷却腔13上固定连接有导热块16，导热块16的一端位于风盒14的内部，风盒14连通有第二风机17，第二风机17的出风端连通有软质风管18，锁紧筒4的外周密封转动连接有转动筒19，软质风管18与转动筒19连通，锁紧筒4上开设有相互连通的排风孔20和排风腔21，排风腔21与软质风管18连通，第二风机17工作实现出风孔35排出的热气通过进风口15进入风盒14的内部，通过出风孔35排出的热风进入风盒14的内部，防止热气扩散至该装置周围，即防止影响工作人员进行操作，由于导热块16的材料为导热材质，且冷却腔13的内部装有冷却液，因此冷却液内部的低温度通过导热块16传递至风盒14的内部，降低风盒14内部的温度，使风盒14内部的温度整体较低变为冷空气，之后冷空气通过软质风管18、转动筒19、排风腔21和排风孔20排出，达到降低衬管附近的温度，因此在物料附着在衬管上时，能使物料快速凝固在衬管上。

冷却腔13的内部转动连接有第一转动杆22，第一转动杆22上固定连接有搅拌杆23，第一转动杆22的一端穿过冷却腔13的侧壁并固定连接有第一齿轮24，第一齿轮24位于底座34的外侧，驱动电机37的驱动轴上固定连接有第二齿轮25，第一齿轮24与第二齿轮25相互啮合，由于冷却腔13内部装有冷却液，且靠近导热块16附近的冷却液温度较高，驱动电机37工作通过第二齿轮25带动第一齿轮24转动，在第一齿轮24转动的过程中通过第一转动杆22带动搅拌杆23转动，通过搅拌杆23对冷却腔13内部的冷却液进行搅拌，使冷却腔13内部的冷却液温度一致，防止靠近导热块16附近的冷却液温度较高。

底座34上开设有相互连通的流风孔29和流通孔26，流通孔26的内部转动连接有第二转动杆27，第二转动杆27上固定连接有扇叶28，第二转动杆27的一端穿过流通孔26的侧壁并固定连接有第三齿轮36，第三齿轮36与第一齿轮24相互啮合。

流风孔29上固定连接有导热板30，导热板30的一端位于冷却腔13的内部，由于导热板30的材料为导热材质，驱动电机37工作实现第二齿轮25转动，在第二齿轮25转动的过程中实现第一齿轮24转动，在第一齿轮24转动的过程中实现第三齿轮36转动，在第三齿轮36转动的过程中实现第二转动杆27转动，在第二转动杆27转动的过程中实现扇叶28转动，在扇叶28转动的过程中实现流风孔29和流通孔26内空气流动，由于流风孔29上固定连接有导热板30，导热板30的一端位于冷却腔13的内部，因此实现对冷却腔13内部冷却液的降温处理。

工作原理：将衬管水平放置在两个锁紧筒4之间，气动伸缩杆8工作实现移动块3移动，在移动块3移动的过程中实现其中一个锁紧筒4的移动，其中一个锁紧筒4靠近另一个锁紧筒4移动，直至通过两个锁紧筒4将衬管夹紧，喷涂嘴1工作使物料喷向衬管(这里的物料指的是氩离子)，驱动电机37工作实现锁紧筒4转动，两个锁紧筒4转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上。

由于驱动电机37工作时将会产生热量，第一风机10工作实现驱动电机37附近的热气通过进风罩11、风管12进入空腔6的内部，之后热气通过出风孔35向下喷出，即对喷涂嘴1喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固，同时也实现了对驱动电机37附近热气进行利用，即对喷涂嘴1喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固。

第二风机17工作实现出风孔35排出的热气通过进风口15进入风盒14的内部，通过出风孔35排出的热风进入风盒14的内部，防止热气扩散至该装置周围，即防止影响工作人员进行操作，由于导热块16的材料为导热材质，且冷却腔13的内部装有冷却液，因此冷却液内部的低温度通过导热块16传递至风盒14的内部，降低风盒14内部的温度，使风盒14内部的温度整体较低变为冷空气，之后冷空气通过软质风管18、转动筒19、排风腔21和排风孔20排出，达到降低衬管附近的温度，因此在物料附着在衬管上时，能使物料快速凝固在衬管上。

由于冷却腔13内部装有冷却液，且靠近导热块16附近的冷却液温度较高，驱动电机37工作通过第二齿轮25带动第一齿轮24转动，在第一齿轮24转动的过程中通过第一转动杆22带动搅拌杆23转动，通过搅拌杆23对冷却腔13内部的冷却液进行搅拌，使冷却腔13内部的冷却液温度一致，防止靠近导热块16附近的冷却液温度较高。

由于导热板30的材料为导热材质，驱动电机37工作实现第二齿轮25转动，在第二齿轮25转动的过程中实现第一齿轮24转动，在第一齿轮24转动的过程中实现第三齿轮36转动，在第三齿轮36转动的过程中实现第二转动杆27转动，在第二转动杆27转动的过程中实现扇叶28转动，在扇叶28转动的过程中实现流风孔29和流通孔26内空气流动，由于流风孔29上固定连接有导热板30，导热板30的一端位于冷却腔13的内部，因此实现对冷却腔13内部冷却液的降温处理。

在将物料喷涂在衬管上时，驱动电机37停止工作，气动伸缩杆8工作实现移动块3移动，在移动块3移动的过程中实现其中一个锁紧筒4的移动，其中一个锁紧筒4远离另一个锁紧筒4移动，从而便于取出喷涂之后的衬管。

实施例二

在实施例一的基础上增加如下技术特征：

一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，进风口15处放置有处理盒31，处理盒31内固定连接有吸附棉32，吸附棉32之间预留有空隙33，喷涂嘴1喷出的物料附着在衬管上时，在第二风机17工作的过程中部分物料会进入进风口15的内部，由于处理盒31内固定连接有吸附棉32，因此使部分物料附着在吸附棉32上，防止物料进入风盒14的内部，同时由于吸附棉32之间预留有空隙33，因此便于空气流动。

工作原理：将衬管水平放置在两个锁紧筒4之间，气动伸缩杆8工作实现移动块3移动，在移动块3移动的过程中实现其中一个锁紧筒4的移动，其中一个锁紧筒4靠近另一个锁紧筒4移动，直至通过两个锁紧筒4将衬管夹紧，喷涂嘴1工作使物料喷向衬管(这里的物料指的是氩离子)，驱动电机37工作实现锁紧筒4转动，两个锁紧筒4转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上。

由于驱动电机37工作时将会产生热量，第一风机10工作实现驱动电机37附近的热气通过进风罩11、风管12进入空腔6的内部，之后热气通过出风孔35向下喷出，即对喷涂嘴1喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固，同时也实现了对驱动电机37附近热气进行利用，即对喷涂嘴1喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固。

第二风机17工作实现出风孔35排出的热气通过进风口15进入风盒14的内部，通过出风孔35排出的热风进入风盒14的内部，防止热气扩散至该装置周围，即防止影响工作人员进行操作，由于导热块16的材料为导热材质，且冷却腔13的内部装有冷却液，因此冷却液内部的低温度通过导热块16传递至风盒14的内部，降低风盒14内部的温度，使风盒14内部的温度整体较低变为冷空气，之后冷空气通过软质风管18、转动筒19、排风腔21和排风孔20排出，达到降低衬管附近的温度，因此在物料附着在衬管上时，能使物料快速凝固在衬管上。

喷涂嘴1喷出的物料附着在衬管上时，在第二风机17工作的过程中部分物料会进入进风口15的内部，由于处理盒31内固定连接有吸附棉32，因此使部分物料附着在吸附棉32上，防止物料进入风盒14的内部，同时由于吸附棉32之间预留有空隙33，因此便于空气流动。

由于冷却腔13内部装有冷却液，且靠近导热块16附近的冷却液温度较高，驱动电机37工作通过第二齿轮25带动第一齿轮24转动，在第一齿轮24转动的过程中通过第一转动杆22带动搅拌杆23转动，通过搅拌杆23对冷却腔13内部的冷却液进行搅拌，使冷却腔13内部的冷却液温度一致，防止靠近导热块16附近的冷却液温度较高。

由于导热板30的材料为导热材质，驱动电机37工作实现第二齿轮25转动，在第二齿轮25转动的过程中实现第一齿轮24转动，在第一齿轮24转动的过程中实现第三齿轮36转动，在第三齿轮36转动的过程中实现第二转动杆27转动，在第二转动杆27转动的过程中实现扇叶28转动，在扇叶28转动的过程中实现流风孔29和流通孔26内空气流动，由于流风孔29上固定连接有导热板30，导热板30的一端位于冷却腔13的内部，因此实现对冷却腔13内部冷却液的降温处理。

在将物料喷涂在衬管上时，驱动电机37停止工作，气动伸缩杆8工作实现移动块3移动，在移动块3移动的过程中实现其中一个锁紧筒4的移动，其中一个锁紧筒4远离另一个锁紧筒4移动，从而便于取出喷涂之后的衬管。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，包括喷涂嘴（1），其特征在于，还包括：

底座（34），所述底座（34）上开设有容纳槽（2），所述底座（34）上移动连接有移动块（3），所述移动块（3）和容纳槽（2）上均转动连接有锁紧筒（4），将衬管水平放置在两个锁紧筒（4）之间，其中一个锁紧筒（4）靠近另一个锁紧筒（4）移动，直至通过两个锁紧筒（4）将衬管夹紧；

固定板（5），所述固定板（5）固定连接在底座（34）的上方，所述喷涂嘴（1）设置有多个，所述喷涂嘴（1）固定连接在固定板（5）的下方，喷涂嘴（1）工作使物料喷向衬管，两个锁紧筒（4）转动带动衬管转动，使物料均匀喷涂在衬管上；

其中，所述固定板（5）内开设有空腔（6），所述空腔（6）的内部固定连接有加热块（7），所述空腔（6）的底部开设有出风孔（35），喷涂嘴（1）将物料喷向衬管时，加热块（7）工作对附近的空气进行加热处理，即对喷涂嘴（1）喷出的物料进行保温，防止物料附着在衬管之前进行了凝固；

所述底座（34）上固定连接有驱动电机（37），所述驱动电机（37）的驱动轴与另一个锁紧筒（4）固定连接；

所述底座（34）上固定连接有气动伸缩杆（8），所述气动伸缩杆（8）的移动端与移动块（3）固定连接；

所述底座（34）上固定连接有L形板（9），所述固定板（5）固定连接在L形板（9）上；

所述底座（34）上固定连接有第一风机（10），所述第一风机（10）的进风端连通有进风罩（11），所述进风罩（11）的进风端朝向驱动电机（37）设置，所述第一风机（10）的出风端连通有风管（12），所述风管（12）与空腔（6）连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，其特征在于：所述底座（34）内开设有冷却腔（13），所述底座（34）上固定连接有风盒（14），所述风盒（14）的顶端开设有进风口（15），所述进风口（15）朝向出风孔（35）设置，所述冷却腔（13）上固定连接有导热块（16），所述导热块（16）的一端位于风盒（14）的内部，所述风盒（14）连通有第二风机（17），所述第二风机（17）的出风端连通有软质风管（18），所述锁紧筒（4）的外周密封转动连接有转动筒（19），所述软质风管（18）与转动筒（19）连通，所述锁紧筒（4）上开设有相互连通的排风孔（20）和排风腔（21），所述排风腔（21）与软质风管（18）连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，其特征在于：所述冷却腔（13）的内部转动连接有第一转动杆（22），所述第一转动杆（22）上固定连接有搅拌杆（23），所述第一转动杆（22）的一端穿过冷却腔（13）的侧壁并固定连接有第一齿轮（24），所述第一齿轮（24）位于底座（34）的外侧，所述驱动电机（37）的驱动轴上固定连接有第二齿轮（25），所述第一齿轮（24）与第二齿轮（25）相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，其特征在于：所述底座（34）上开设有相互连通的流风孔（29）和流通孔（26），所述流通孔（26）的内部转动连接有第二转动杆（27），所述第二转动杆（27）上固定连接有扇叶（28），所述第二转动杆（27）的一端穿过流通孔（26）的侧壁并固定连接有第三齿轮（36），所述第三齿轮（36）与第一齿轮（24）相互啮合。

5.根据权利要求4所述的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，其特征在于：所述流风孔（29）上固定连接有导热板（30），所述导热板（30）的一端位于冷却腔（13）的内部。

6.根据权利要求5所述的一种用于金属靶材加工生产的喷涂装置，其特征在于：所述进风口（15）处放置有处理盒（31），所述处理盒（31）内固定连接有吸附棉（32），所述吸附棉（32）之间预留有空隙（33）。