CN210765492U - 一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓，所述喷涂仓的内壁中心底端固接有横板，所述喷涂仓的内部中心右侧设有衬管，所述喷涂仓的内部中心左侧设有靶材装置，所述衬管和靶材装置均通过支撑座组件与喷涂仓相连接，所述喷涂仓的左侧设有喷气装置。该便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，通过喷涂仓、横板、衬管、靶材装置、支撑座组件、喷气装置、电机、转杆、第一伞形齿轮、第二伞形齿轮和圆柱之间的配合，在进行喷涂作业前可以使喷涂仓的内部注入适量的氩气，继而可以提高设备的喷涂效率，可以使靶材装置与衬管进行相对转动，进而使设备喷涂效率得到提高，生产成本得到降低。

Description

一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备技术领域，具体为一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材，随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，中国靶材产业发展也不断扩大自己的规模和生产技术，产出的靶材的品牌已经达到国际顶端的技术水平，喷涂制备金属靶材是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程，但是在进行喷涂的过程中，大多数的设备会将设备内部空气中抽出在进行喷涂，以防止原材料表面氧化，保障产品质量，凡无法在设备的内部注入更为合适的氩气，进而不利于较为快速的进行喷涂作业，且内部的靶材装置与衬管无法进行相对的转动，进一步的影响到喷涂质量，进而容易造成喷涂效率降低，生产成本较高的情况出现。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，以解决上述背景技术中提出的进行喷涂的过程中，大多数的设备会将设备内部空气中抽出在进行喷涂，以防止原材料表面氧化，保障产品质量，但无法在设备的内部注入更为合适的氩气，进而不利于较为快速的进行喷涂作业，且内部的靶材装置与衬管无法进行相对的转动，进一步的影响到喷涂效率，进而容易造成喷涂效率降低，生产成本较高的情况出现问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓，所述喷涂仓的内壁中心底端固接有横板，所述喷涂仓的内部中心右侧设有衬管，所述喷涂仓的内部中心左侧设有靶材装置，所述衬管和靶材装置均通过支撑座组件与喷涂仓相连接，所述喷涂仓的左侧设有喷气装置，所述喷涂仓的左侧表面底端固接有第一支板，所述第一支板的上表面放置有电源，所述电源的左右两侧均固接有导线，所述喷涂仓的内部底端左侧固接有基座，所述基座的上表面固接有电机，所述电机的右侧固接有转杆，所述转杆的右侧设有半圆板，所述半圆板与转杆转动相连，所述半圆板与喷涂仓固定相连，所述转杆的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮，所述第一伞形齿轮的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮，所述第二伞形齿轮的上表面中心固接有圆柱，两个所述圆柱的顶端分别与两个底端支撑座组件固定相连，所述喷涂仓的左表面顶端固接有第二支板，所述第二支板的上表面固接有真空泵，所述真空泵的左侧固接有连管，所述连管的另一端贯穿喷涂仓，所述连管与喷涂仓固定相连，所述连管的管道上安装有阀门，所述喷涂仓的右表面固接有托板，所述托板的内部放置有氩气瓶，所述氩气瓶的顶端固接左侧有横管，所述横管的另一端贯穿喷涂仓，所述横管与喷涂仓固定相连。

优选的，所述支撑座组件包括套筒、密封轴承、立杆、卡块、压缩弹簧、滑槽、滑块和金属环，四个所述套筒分别位于喷涂仓的上表面中心左右两侧及横板的上表面中心左右两侧，顶端两个所述套筒通过密封轴承与喷涂仓转动相连，底端两个所述套筒通过密封轴承与横板转动相连，底端两个所述套筒分别与两个圆柱固定相连，所述套筒的内侧端部插入有立杆，所述立杆的内侧端部固接有卡块，左侧两个所述卡块与靶材装置的上下两端相抵紧，右侧两个所述卡块与衬管的上下两端相抵紧，所述立杆的外侧端部固接有压缩弹簧，所述压缩弹簧与套筒的内部底端固定相连，所述套筒的内壁左右两侧均开有滑槽，所述滑槽的内部滑动卡接有滑块，两个所述滑块分别固接在立杆外壁底端的左右两侧，左侧两个套筒的外壁外侧均固接有金属环，所述金属环与导线电性相连。

优选的，所述滑槽与滑块构成滑动机构。

优选的，所述卡块、立杆、套筒、圆柱和第二伞形齿轮的中心点均位于同一条水平垂直线上。

优选的，所述喷气装置包括存气罐、底座、插管、调压阀、竖管和喷头，所述存气罐位于喷涂仓的左侧，所述存气罐的外壁底端开有底座，所述存气罐的顶端右侧固接有插管，所述插管的一部分贯穿喷涂仓，所述插管与喷涂仓固定相连，所述插管的管道上安装有调压阀，所述插管的右侧固接有竖管，所述竖管的外壁从上到下依次固接有多个喷头。

优选的，所述存气罐的外壁底端与底座相契合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，在进行使用的过程中，通过喷涂仓、横板、衬管、靶材装置、支撑座组件、喷气装置、电机、转杆、第一伞形齿轮、第二伞形齿轮和圆柱之间的配合，在进行喷涂作业前可以使喷涂仓的内部注入适量的氩气，继而可以提高设备的喷涂效率，且在喷涂作业过程中将电机进行通电，可以使靶材装置与衬管进行相对转动，进一步的提高喷涂效率，进而使设备喷涂效率得到提高，生产成本得到降低。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为图1转杆、支撑座组件和靶材装置的连接结构示意图。

图3为图1喷涂仓和喷气装置的连接结构示意图。

图4为图1喷涂仓、氩气瓶和横管的连接结构示意图。

图中：1、喷涂仓，2、横板，3、衬管，4、靶材装置，5、支撑座组件，501、套筒，502、密封轴承，503、立杆，504、卡块，505、压缩弹簧，506、滑槽，507、滑块，508、金属环，6、喷气装置，601、存气罐，602、底座，603、插管，604、调压阀，605、竖管，606、喷头，7、第一支板，8、电源，9、导线，10、基座，11、电机，12、转杆，13、半圆板，14、第一伞形齿轮，15、第二伞形齿轮，16、圆柱，17、第二支板，18、真空泵，19、连管，20、阀门，21、托板，22、氩气瓶，23、横管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓1，喷涂仓1的前表面安装有密封门，喷涂仓1的内壁中心底端固接有横板2，喷涂仓1的内部中心右侧设有衬管3，喷涂仓1的内部中心左侧设有靶材装置4，衬管3和靶材装置4均通过支撑座组件5与喷涂仓1相连接，喷涂仓1的左侧设有喷气装置6，喷涂仓1的左侧表面底端固接有第一支板7，第一支板7的上表面放置有电源8，电源8为脉冲式电源，电源8的左右两侧均固接有导线9，喷涂仓1的内部底端左侧固接有基座10，基座10的上表面固接有电机11，电机11的输出轴与ECMA-E11320RS，电机11的右侧固接有转杆12，电机11的输出轴与转杆12固定相连，转杆12的右侧设有半圆板13，半圆板13与转杆12转动相连，转杆12通过滚珠轴承与半圆板13转动相连，滚珠轴承的内圈与转杆12固定相连，滚珠轴承的外圈与半圆板13固定相连，半圆板13与喷涂仓1固定相连，转杆12的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮14，第一伞形齿轮14的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮15，第二伞形齿轮15的上表面中心固接有圆柱16，两个圆柱16的顶端分别与两个底端支撑座组件5固定相连，喷涂仓1的左表面顶端固接有第二支板17，第二支板17的上表面固接有真空泵18，真空泵18的左侧固接有连管19，连管19的另一端贯穿喷涂仓1，连管19与喷涂仓1固定相连，连管19的管道上安装有阀门20，喷涂仓1的右表面固接有托板21，托板21的内部放置有氩气瓶22，氩气瓶22的顶端固接左侧有横管23，横管23的另一端贯穿喷涂仓1，横管23与喷涂仓1固定相连。

支撑座组件5包括套筒501、密封轴承502、立杆503、卡块504、压缩弹簧505、滑槽506、滑块507和金属环508，四个套筒501分别位于喷涂仓1的上表面中心左右两侧及横板2的上表面中心左右两侧，顶端两个套筒501通过密封轴承502与喷涂仓1转动相连，顶端两个密封轴承502的内圈与顶端两个套筒501固定相连，顶端两个密封轴承502的外圈与喷涂仓1固定相连，底端两个套筒501通过密封轴承502与横板2转动相连，底端两个密封轴承502的内圈与两个底端套筒501固定相连，底端两个密封轴承502的外圈与横板2固定相连，底端两个套筒501分别与两个圆柱16固定相连，套筒501的内侧端部插入有立杆503，立杆503与套筒501间隙配合，立杆503的内侧端部固接有卡块504，左侧两个卡块504与靶材装置4的上下两端相抵紧，右侧两个卡块504与衬管3的上下两端相抵紧，立杆503的外侧端部固接有压缩弹簧505，压缩弹簧505的系数为10-50N/CM，压缩弹簧505与套筒501的内部底端固定相连，套筒501的内壁左右两侧均开有滑槽506，滑槽506的内部滑动卡接有滑块507，两个滑块507分别固接在立杆503外壁底端的左右两侧，左侧两个套筒501的外壁外侧均固接有金属环508，左侧底端的套筒501外壁底端套接有金属套圈，金属套圈与左侧底端套筒501转动相连，且紧密贴合，金属套圈的外壁右侧固接有L型杆，L型杆的另一端与喷涂仓1固定相连，金属环508与导线9电性相连，且金属环508与左侧两个卡块504电性相连，滑槽506与滑块507构成滑动机构，滑槽506能够对滑块507起到限位作用，滑块507可以在滑槽506的内部上下滑动，但滑块507无法在滑槽506的内部前后左右的移动，卡块504、立杆503、套筒501、圆柱16和第二伞形齿轮15的中心点均位于同一条水平垂直线上，第二伞形齿轮15转动的过程中可以使卡块504、立杆503、套筒501和圆柱16进行同心转动。

喷气装置6包括存气罐601、底座602、插管603、调压阀604、竖管605和喷头606，存气罐601位于喷涂仓1的左侧，存气罐601的外壁底端开有底座602，存气罐601的顶端右侧固接有插管603，插管603的一部分贯穿喷涂仓1，插管603与喷涂仓1固定相连，插管603的管道上安装有调压阀604，插管603的右侧固接有竖管605，竖管605的外壁从上到下依次固接有多个喷头606，喷头606与竖管605互为连通，存气罐601的外壁底端与底座602相契合，可以增加底座602与存气罐601之间的稳定性。

当便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置使用的过程中，首先将上下两端的卡块504均向套筒501的一侧推动，使压缩弹簧505进行压缩，然后将靶材装置4放置在左侧两个卡块504之间，在将衬管3放置在右侧两个卡块504之间，然后松开推动卡块504的作用力，这时压缩弹簧505会进行回弹，继而将衬管3与靶材装置4与支撑座组件5的安装，然后将喷涂仓1前侧的密封门进行封闭，在将真空泵18进行通电阀门20开合，将喷涂仓1内部的气体进行抽出，然后在将真空泵18断电阀门20闭合，在使用氩气罐22向喷涂仓1内部注入适量的氩气，喷涂仓1内部氩气适量后停止对喷涂仓1内部注入氩气，氩离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜，进而有利于增加后续的喷涂效率，然后将电机11进行通电，能够使转杆12、第一伞形齿轮14、第二伞形齿轮15、圆柱16、支撑座组件5、衬管3和靶材装置4同时进行转动，且衬管3与靶材装置4的转动方向相反，在通过电源8向两个导线9进行供电，可以使靶材装置4周围形成磁场，然后将调压阀604进行开合，进而能够使存气罐601内部的气体从喷头606的右侧喷出，喷出的高速气体将靶材装置4的靶材雾化形成小的熔滴，再通过喷射出的方式喷射到衬管3上，在喷射过程中，衬管3与靶材装置4一直处于一个旋转的状态，且转动方向相反能够增加喷涂时熔滴的均匀性，继而使喷涂效率得到增加。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括喷涂仓（1），其特征在于：所述喷涂仓（1）的内壁中心底端固接有横板（2），所述喷涂仓（1）的内部中心右侧设有衬管（3），所述喷涂仓（1）的内部中心左侧设有靶材装置（4），所述衬管（3）和靶材装置（4）均通过支撑座组件（5）与喷涂仓（1）相连接，所述喷涂仓（1）的左侧设有喷气装置（6），所述喷涂仓（1）的左侧表面底端固接有第一支板（7），所述第一支板（7）的上表面放置有电源（8），所述电源（8）的左右两侧均固接有导线（9），所述喷涂仓（1）的内部底端左侧固接有基座（10），所述基座（10）的上表面固接有电机（11），所述电机（11）的右侧固接有转杆（12），所述转杆（12）的右侧设有半圆板（13），所述半圆板（13）与转杆（12）转动相连，所述半圆板（13）与喷涂仓（1）固定相连，所述转杆（12）的外壁左右两侧均固定套接有第一伞形齿轮（14），所述第一伞形齿轮（14）的顶端均啮合连接有第二伞形齿轮（15），所述第二伞形齿轮（15）的上表面中心固接有圆柱（16），两个所述圆柱（16）的顶端分别与两个底端支撑座组件（5）固定相连，所述喷涂仓（1）的左表面顶端固接有第二支板（17），所述第二支板（17）的上表面固接有真空泵（18），所述真空泵（18）的左侧固接有连管（19），所述连管（19）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述连管（19）与喷涂仓（1）固定相连，所述连管（19）的管道上安装有阀门（20），所述喷涂仓（1）的右表面固接有托板（21），所述托板（21）的内部放置有氩气瓶（22），所述氩气瓶（22）的顶端固接左侧有横管（23），所述横管（23）的另一端贯穿喷涂仓（1），所述横管（23）与喷涂仓（1）固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述支撑座组件（5）包括套筒（501）、密封轴承（502）、立杆（503）、卡块（504）、压缩弹簧（505）、滑槽（506）、滑块（507）和金属环（508），四个所述套筒（501）分别位于喷涂仓（1）的上表面中心左右两侧及横板（2）的上表面中心左右两侧，顶端两个所述套筒（501）通过密封轴承（502）与喷涂仓（1）转动相连，底端两个所述套筒（501）通过密封轴承（502）与横板（2）转动相连，底端两个所述套筒（501）分别与两个圆柱（16）固定相连，所述套筒（501）的内侧端部插入有立杆（503），所述立杆（503）的内侧端部固接有卡块（504），左侧两个所述卡块（504）与靶材装置（4）的上下两端相抵紧，右侧两个所述卡块（504）与衬管（3）的上下两端相抵紧，所述立杆（503）的外侧端部固接有压缩弹簧（505），所述压缩弹簧（505）与套筒（501）的内部底端固定相连，所述套筒（501）的内壁左右两侧均开有滑槽（506），所述滑槽（506）的内部滑动卡接有滑块（507），两个所述滑块（507）分别固接在立杆（503）外壁底端的左右两侧，左侧两个套筒（501）的外壁外侧均固接有金属环（508），所述金属环（508）与导线（9）电性相连。

3.根据权利要求2所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述滑槽（506）与滑块（507）构成滑动机构。

4.根据权利要求2所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述卡块（504）、立杆（503）、套筒（501）、圆柱（16）和第二伞形齿轮（15）的中心点均位于同一条水平垂直线上。

5.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述喷气装置（6）包括存气罐（601）、底座（602）、插管（603）、调压阀（604）、竖管（605）和喷头（606），所述存气罐（601）位于喷涂仓（1）的左侧，所述存气罐（601）的外壁底端开有底座（602），所述存气罐（601）的顶端右侧固接有插管（603），所述插管（603）的一部分贯穿喷涂仓（1），所述插管（603）与喷涂仓（1）固定相连，所述插管（603）的管道上安装有调压阀（604），所述插管（603）的右侧固接有竖管（605），所述竖管（605）的外壁从上到下依次固接有多个喷头（606）。

6.根据权利要求5所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述存气罐（601）的外壁底端与底座（602）相契合。

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