CN208261071U - 一种用于靶材制造的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于靶材制造的装置，其包括底座、靶材背管、动力机构、固定组件、喷枪组件、密封外壳；所述动力机构、固定组件均设置在底座上并且分别位于底座的两端，用于带动靶材背管转动；所述喷枪组件设置在底座上并且位于靶材背管的一侧，用于喷涂靶材背管上的靶材；所述密封外壳设置在靶材背管外侧；所述底座上还设置有压力冷却组件，所述压力冷却组件用于向靶材背管内压力喷入循环冷却水，这样，本实用新型动力机构和固定组件配合，能够实现靶材的移动和转动，压力冷却组件的设置有效提高该装置的冷却效果。

Description

一种用于靶材制造的装置

技术领域

本实用新型属于靶材制造技术领域，具体涉及一种用于靶材制造的装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源；简单说，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长激光与不同靶材相互作用时，会产生不同杀伤破坏效应。

现有的靶材喷涂装置，大多是喷枪固定于转台的机座上，喷枪和转台同属于一个设备。喷枪固定，待喷涂的工件在转台内旋转，以实现喷涂效果；此方法对于喷涂的位置有时出现定位不准问题，未能在需要喷涂的位置准确喷涂，导致非有效喷涂，成品合格率大大降低，浪费了大量的人力和物力；此外，传统的方法还常出现喷涂粉料的用量不精确，喷涂量时大时小，加工的工件往往出现喷涂不均匀，即使同一批次的加工工件，有的使用粉料多，图层厚，有的使用粉料少，图层薄，喷涂量存在较大差别，工件的加工效果大多不够理想。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于靶材制造的装置。

本实用新型提供的一种用于靶材制造的装置，其包括底座、靶材背管、动力机构、固定组件、喷枪组件、密封外壳；所述动力机构、固定组件均设置在底座上并且分别位于底座的两端，用于带动靶材背管转动；所述喷枪组件设置在底座上并且位于靶材背管的一侧，用于喷涂靶材背管上的靶材；所述密封外壳设置在靶材背管外侧；所述底座上还设置有压力冷却组件，所述压力冷却组件用于向靶材背管内压力喷入循环冷却水。

上述方案中，其还包括同轴设置的第一固定环、第一旋转接头、第二固定环、第二旋转接头，所述动力机构通过第一固定环连接第一旋转接头，所述第一旋转接头与靶材背管的一端连接；所述固定组件的一端通过第二固定环连接第二旋转接头，所述第二旋转接头与靶材背管的另一端连接；所述第二旋转接头设置有进水口用于与所述压力冷却组件连接，所述第一旋转接头设置出水口。

上述方案中，其还包括冷却水轴，所述冷却水轴设置靶材背管内，所述冷却水轴沿轴向开设多个通孔用于通过冷却水。

上述方案中，所述压力冷却组件包括水箱、出水管、增压水泵和回水管，所述出水管的一端与第二旋转接头的进水口连接，所述出水管的另一端与水箱连接；所述回水管的一端与第一旋转接头的出水口连接，所述回水管的另一端与水箱连接；所述增压水泵设置在出水管上。

上述方案中，所述动力机构包括第一支架、电机、齿轮组、传动轴、支撑立柱、气缸，所述电机设置在第一支架上，所述电机的输出端通过齿轮组与传动轴连接，所述传动轴通过固定于第一支架上的轴承及轴承支杆支撑，所述传动轴与第一固定环连接；所述第一支架的底部固定设置支撑立柱，所述气缸用于推动支撑立柱。

上述方案中，所述固定组件包括第二支架和支撑轴，所述支撑轴通过固定于第二支架上的轴承及轴承支杆支撑，所述支撑轴与第二固定环连接；第二支架固定在底座上。

上述方案中，所述喷枪组件包括伺服电机、喷枪支座、喷枪，所述喷枪支座设置在靶材背管的一侧，所述喷枪安装在喷枪支座的顶部，所述伺服电机与喷枪支座相连用于带动喷枪支座沿靶材背管的轴向往复移动。

上述方案中，所述底座开设有与支撑立柱配合的第一滑槽，所述底座还开设有与喷枪支座配合的第二滑槽。

上述方案中，其还包括涂层测厚仪和PLC控制器，所述PLC控制器分别与涂层测厚仪与伺服电机连接，用于控制喷枪移动的速度。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于靶材制造的装置，其包括底座、靶材背管、动力机构、固定组件、喷枪组件、密封外壳；所述动力机构、固定组件均设置在底座上并且分别位于底座的两端，用于带动靶材背管转动；所述喷枪组件设置在底座上并且位于靶材背管的一侧，用于喷涂靶材背管上的靶材；所述密封外壳设置在靶材背管外侧；所述底座上还设置有压力冷却组件，所述压力冷却组件用于向靶材背管内压力喷入循环冷却水，这样，本实用新型动力机构和固定组件配合，能够实现靶材的移动和转动，压力冷却组件的设置有效提高该装置的冷却效果，PLC控制器的设置，能够对喷涂进行实时监控，提高喷涂质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种用于靶材制造的装置的结构简图；

图2为本实用新型实施例提供的一种用于靶材制造的装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种用于靶材制造的装置的冷却水轴的截面结构示意图。

附图标记如下：

1——底座、2——靶材背管、3——动力机构、31——第一支架、32——电机、33——齿轮组、34——传动轴、35——支撑立柱、36——气缸、4——固定组件、41——第二支架、42——支撑轴、5——喷枪组件、51——伺服电机、52——喷枪支座、53——喷枪、6——密封外壳、7——压力冷却组件、71——水箱、72——出水管、73——增压水泵、8——第一固定环、 9——第一旋转接头、10——第二固定环、11——第二旋转接头、12——冷却水轴、13——涂层测厚仪、14——PLC控制器。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例提供一种用于靶材制造的装置，如图1和2所示，其包括底座1、靶材背管2、动力机构3、固定组件4、喷枪组件5、密封外壳6；所述动力机构3、固定组件4均设置在底座1上并且分别位于底座1 的两端，用于带动靶材背管2转动；所述喷枪组件5设置在底座1上并且位于靶材背管2的一侧，用于喷涂靶材背管2上的靶材；所述密封外壳6 设置在靶材背管2外侧；所述底座1上还设置有压力冷却组件7，所述压力冷却组件7用于向靶材背管2内压力喷入循环冷却水。

其中，其还包括同轴设置的第一固定环8、第一旋转接头9、第二固定环10、第二旋转接头11，所述动力机构3通过第一固定环8连接第一旋转接头9，所述第一旋转接头9与靶材背管2的一端连接；所述固定组件4的一端通过第二固定环10连接第二旋转接头11，所述第二旋转接头11与靶材背管2的另一端连接；所述第二旋转接头11设置有进水口用于与所述压力冷却组件7连接，所述第一旋转接头9设置出水口。

其中，其还包括冷却水轴12，所述冷却水轴12设置靶材背管2内，所述冷却水轴12沿轴向开设多个通孔用于通过冷却水。

其中，所述压力冷却组件7包括水箱71、出水管72、增压水泵73和回水管74，所述出水管72的一端与第二旋转接头11的进水口连接，所述出水管72的另一端与水箱71连接；所述回水管74的一端与第一旋转接头 9的出水口连接，所述回水管74的另一端与水箱71连接；所述增压水泵 73设置在出水管72上。

其中，所述动力机构3包括第一支架31、电机32、齿轮组33、传动轴 34、支撑立柱35、气缸36，所述电机32设置在第一支架31上，所述电机 32的输出端通过齿轮组33与传动轴34连接，所述传动轴34通过固定于第一支架31上的轴承及轴承支杆支撑，所述传动轴34与第一固定环8连接；所述第一支架31的底部固定设置支撑立柱35，所述气缸36用于推动支撑立柱35。

其中，所述固定组件4包括第二支架41和支撑轴42，所述支撑轴42 通过固定于第二支架41上的轴承及轴承支杆支撑，所述支撑轴42与第二固定环10连接；第二支架41固定在底座1上。

其中，所述喷枪组件5包括伺服电机51、喷枪支座52、喷枪53，所述喷枪支座52设置在靶材背管2的一侧，所述喷枪53安装在喷枪支座52的顶部，所述伺服电机51与喷枪支座52相连用于带动喷枪支座52沿靶材背管2的轴向往复移动。

其中，所述底座1开设有与支撑立柱35配合的第一滑槽，所述底座1 还开设有与喷枪支座52配合的第二滑槽。

其中，其还包括涂层测厚仪13和PLC控制器14，所述PLC控制器14 分别与涂层测厚仪13与伺服电机51连接，用于控制喷枪53移动的速度。

采用该一种用于靶材制造的装置进行靶材喷涂的方法为：将待涂覆的靶材安装在靶材背管2上，同时将冷却水轴12置于靶材背管2内，然后靶材背管2固定于第一旋转接头9和第二旋转接头11之间，由于固定组件4 固定设置与底座1上，因此通过动力机构3调整第一旋转接头9和第二旋转接头11之间的距离以加紧靶材背管2，电机32工作，从而通过齿轮组 33及传动轴34带动第一旋转接头9和第二旋转接头11及其之间的靶材背管2转动；

此时，伺服电机51工作，控制喷枪支座52沿靶材背管2的轴向往复移动，喷枪53垂直于靶材背管2表面并对靶材进行喷涂；

喷涂完成后，开启增压水泵73，水箱71中的冷却水沿出水管72从第二旋转接头11的进水口流入，并且通过冷却水轴12对靶材进行冷却，冷却水轴12多通道的设置，以及冷却水的加压泵入，有助于快速均匀冷却，提高冷却效果。

另外，喷涂过程中，PLC控制器14通过涂层测厚仪13传送的数据实时调整伺服电机51以控制喷枪53移动的速度。

本实用新型动力机构和固定组件配合，能够实现靶材的移动和转动，压力冷却组件的设置有效提高该装置的冷却效果，PLC控制器的设置，能够对喷涂进行实时监控，提高喷涂质量。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于靶材制造的装置，其特征在于，其包括底座(1)、靶材背管(2)、动力机构(3)、固定组件(4)、喷枪组件(5)、密封外壳(6)；所述动力机构(3)、固定组件(4)均设置在底座(1)上并且分别位于底座(1)的两端，用于带动靶材背管(2)转动；所述喷枪组件(5)设置在底座(1)上并且位于靶材背管(2)的一侧，用于喷涂靶材背管(2)上的靶材；所述密封外壳(6)设置在靶材背管(2)外侧；所述底座(1)上还设置有压力冷却组件(7)，所述压力冷却组件(7)用于向靶材背管(2)内压力喷入循环冷却水。

2.根据权利要求1所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，其还包括同轴设置的第一固定环(8)、第一旋转接头(9)、第二固定环(10)、第二旋转接头(11)，所述动力机构(3)通过第一固定环(8)连接第一旋转接头(9)，所述第一旋转接头(9)与靶材背管(2)的一端连接；所述固定组件(4)的一端通过第二固定环(10)连接第二旋转接头(11)，所述第二旋转接头(11)与靶材背管(2)的另一端连接；所述第二旋转接头(11)设置有进水口用于与所述压力冷却组件(7)连接，所述第一旋转接头(9)设置出水口。

3.根据权利要求2所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，其还包括冷却水轴(12)，所述冷却水轴(12)设置靶材背管(2)内，所述冷却水轴(12)沿轴向开设多个通孔用于通过冷却水。

4.根据权利要求3所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，所述压力冷却组件(7)包括水箱(71)、出水管(72)、增压水泵(73)和回水管(74)，所述出水管(72)的一端与第二旋转接头(11)的进水口连接，所述出水管(72)的另一端与水箱(71)连接；所述回水管(74)的一端与第一旋转接头(9)的出水口连接，所述回水管(74)的另一端与水箱(71)连接；所述增压水泵(73)设置在出水管(72)上。

5.根据权利要求4所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，所述动力机构(3)包括第一支架(31)、电机(32)、齿轮组(33)、传动轴(34)、支撑立柱(35)、气缸(36)，所述电机(32)设置在第一支架(31)上，所述电机(32)的输出端通过齿轮组(33)与传动轴(34)连接，所述传动轴(34)通过固定于第一支架(31)上的轴承及轴承支杆支撑，所述传动轴34与第一固定环(8)连接；所述第一支架(31)的底部固定设置支撑立柱(35)，所述气缸(36)用于推动支撑立柱(35)。

6.根据权利要求5所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，所述固定组件(4)包括第二支架(41)和支撑轴(42)，所述支撑轴(42)通过固定于第二支架(41)上的轴承及轴承支杆支撑，所述支撑轴(42)与第二固定环(10)连接；第二支架(41)固定在底座(1)上。

7.根据权利要求6所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，所述喷枪组件(5)包括伺服电机(51)、喷枪支座(52)、喷枪(53)，所述喷枪支座(52)设置在靶材背管(2)的一侧，所述喷枪(53)安装在喷枪支座(52)的顶部，所述伺服电机(51)与喷枪支座(52)相连用于带动喷枪支座(52)沿靶材背管(2)的轴向往复移动。

8.根据权利要求7所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，所述底座(1)开设有与支撑立柱(35)配合的第一滑槽，所述底座(1)还开设有与喷枪支座(52)配合的第二滑槽。

9.根据权利要求8所述的一种用于靶材制造的装置，其特征在于，其还包括涂层测厚仪(13)和PLC控制器(14)，所述PLC控制器(14)分别与涂层测厚仪(13)与伺服电机(51)连接，用于控制喷枪(53)移动的速度。