CN115667165A - 无碱玻璃板 - Google Patents

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Abstract

本发明的无碱玻璃板的特征在于，玻璃组成中的Li2O+Na2O+K2O的含量为0～0.5mol％，杨氏模量为80GPa以上，应变点为700℃以上，液相温度为1350℃以下。

Description

无碱玻璃板
技术领域
本发明涉及无碱玻璃板，特别涉及适合有机EL显示器的无碱玻璃板。
背景技术
有机EL显示器等电子器件由于薄型且动画显示方面优异，并且消耗电力还低，因此被用于柔性器件、便携电话的显示器等用途。
作为有机EL显示器的基板，广泛使用玻璃板。对于该用途的玻璃板，主要要求以下特性。
(1)为了防止在热处理工序中碱离子向成膜而成的半导体物质中扩散的情况，要求几乎不含碱金属氧化物，即，为无碱玻璃(玻璃组成中的碱氧化物的含量为0.5mol％以下)；
(2)为了使玻璃板低廉化，要求生产率优异，特别是熔融性、耐失透性优异；
(3)在LTPS(低温多晶硅，low temperature poly silicon)工艺、氧化物TFT工艺中，为了减少玻璃板的热收缩，而要求应变点高。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-106919号公报
发明内容
发明要解决的问题
另外，有机EL器件在有机EL电视中广泛扩展。对于有机EL电视强烈要求大型化、薄型化，另外8K等高分辨率的显示器的需求提高。因此，对于这些用途的玻璃板，要求在大型化、薄型化的同时能够符合高分辨率的要求的热尺寸稳定性。而且，为了减小与液晶显示器的价格差，要求进一步低成本，玻璃板也同样要求低成本。但是，若玻璃板大型化、薄型化，则玻璃板变得容易挠曲，制造成本高涨。
由玻璃生产厂家成形的玻璃板经由切断、退火、检查、清洗等工序，但在这些工序中，玻璃板被投入至形成有多个搁板的盒子并搬出。该盒子通常在左右的内侧面形成的搁板上放载玻璃板的相对的两边并能够沿水平方向保持，但大而薄的玻璃板挠曲量大，因此将玻璃板投入盒子时，玻璃板的一部分会接触盒子而破损，或者在搬出时，容易大幅摇动而变得不稳定。电子器件生产厂家也使用这样的形态的盒子，因此会发生同样的问题。为了解决该问题，提高玻璃板的杨氏模量，降低挠曲量的方法是有效的。
另外，如上所述，在用于得到高分辨率的显示器的LTPS、氧化物TFT工艺中，为了减小大型的玻璃板的热收缩，需要提高玻璃板的应变点。
但是，若想要提高玻璃板的杨氏模量和应变点，则玻璃组成的平衡崩溃，生产率容易降低，特别是耐失透性容易显著降低。另外，熔融性容易降低或玻璃的成形温度容易变高，成形体的寿命容易变短。结果，玻璃板的原板成本高涨。
因此，本发明是鉴于上述情况而创造的，其技术课题在于，提供生产率优异、并且应变点和杨氏模量充分高的无碱玻璃板。
用于解决问题的手段
本发明人反复各种实验的结果发现，通过严格地控制无碱玻璃板的玻璃特性，能够解决上述技术课题，作为本发明提出。即，本发明的无碱玻璃板的特征在于，玻璃组成中的Li2O+Na2O+K2O的含量为0～0.5mol％，杨氏模量为80GPa以上，应变点为700℃以上，液相温度为1350℃以下。在此，“Li2O+Na2O+K2O”是指Li2O、Na2O和K2O的总量。“杨氏模量”是指通过弯曲共振法测定的值。需要说明的是，1GPa相当于约101.9Kgf/mm2。“应变点”是指基于ASTM C336的方法测定的值。“液相温度”是指，将穿过标准筛30目(500μm)而留在50目(300μm)的玻璃粉末放入铂舟，在温度梯度炉中保持24小时后，结晶析出的温度。
另外，本发明的无碱玻璃板的特征在于，作为玻璃组成，以mol％计含有SiO2 64～71％、Al2O3 12～17％、B2O3 0～5％、Li2O+Na2O+K2O 0～0.5％、MgO 5～9％、CaO 2～10％、SrO 0～7％、BaO超过1％且7％以下、MgO+CaO+SrO+BaO 14～20％，mol比Al2O3/BaO为1.8～10，mol比B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0～0.2，mol比(B2O3+MgO)/SiO2为0.1～0.2，mol比B2O3/MgO为0～0.5。在此，“MgO+CaO+SrO+BaO”是指MgO、CaO、SrO和BaO的总量。“Al2O3/BaO”是指Al2O3的含量除以BaO的含量的值。“B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)”是指B2O3的含量除以MgO、CaO、SrO和BaO的总量的值。“(B2O3+MgO)/SiO2”是指B2O3与MgO的总量除以SiO2的含量的值。“B2O3/MgO”是指B2O3的含量除以MgO的含量的值。
另外，本发明的无碱玻璃板优选还实质上不含As2O3、Sb2O3。在此，“实质上不含As2O3、Sb2O3”是指，玻璃组成中的As2O3、Sb2O3的含量分别少于0.05％的情况。
另外，本发明的无碱玻璃板优选还包含SnO2 0.001～1mol％。
另外，本发明的无碱玻璃板优选应变点为710℃以上。
另外，本发明的无碱玻璃板优选杨氏模量高于81GPa。
另外，本发明的无碱玻璃板优选30～380℃的温度范围内的平均热膨胀系数为30×10-7～50×10-7/℃。在此，“30～380℃的温度范围内的平均热膨胀系数”能够利用膨胀计测定。
另外，本发明的无碱玻璃板优选液相粘度为104.0dPa·s以上。在此，“液相粘度”是指液相温度下的玻璃的粘度，能够利用铂球提拉法测定。
另外，本发明的无碱玻璃板优选用于有机EL器件。
具体实施方式
本发明的无碱玻璃板的特征在于，作为玻璃组成，以mol％计含有SiO2 64～71％、Al2O3 12～17％、B2O3 0～5％、Li2O+Na2O+K2O 0～0.5％、MgO 5～9％、CaO 2～10％、SrO 0～7％、BaO超过1％且7％以下、MgO+CaO+SrO+BaO 14～20％，mol比Al2O3/BaO为1.8～10、mol比B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0～0.2，mol比(B2O3+MgO)/SiO2为0.1～0.2，mol比B2O3/MgO为0～0.5。以下示出按照上述方式限定各成分的含量的理由。需要说明的是，各成分的含量的说明中，％的表达除了有特殊说明的情况以外表示mol％。
SiO2是形成玻璃的骨架的成分。若SiO2的含量过少，则热膨胀系数变高，密度增加。因此，SiO2的下限量优选为64％，进一步优选为64.2％，进一步优选为64.4％，进一步优选为64.6％，进一步优选为64.8％，进一步优选为65％，最优选为65.2％。另一方面，若SiO2的含量过多，则杨氏模量降低，进而高温粘度变高，熔融时所需的热量变多，熔融成本高涨，并且发生SiO2原料的熔解残留导致的不良，有可能成为成品率降低的原因。另外，方石英等失透结晶变得容易析出，液相粘度容易降低。因此，SiO2的上限量优选为71％，进一步优选为70.8％，进一步优选为70.6％，进一步优选为71.4％，进一步优选为70.2％，进一步优选为70％，最优选为69.8％。
Al2O3是形成玻璃的骨架的成分，还是提高杨氏模量的成分，也是提高应变点的成分。若Al2O3的含量过少，则杨氏模量容易降低，另外应变点容易降低。因此，Al2O3的下限量优选为12％，更优选为超过12％，更优选为12.1％，进一步优选为12.2％，进一步优选为12.5％，进一步优选为12.6％，进一步优选为12.8％，最优选为13％。另一方面，若Al2O3的含量过多，则莫来石等失透结晶变得容易析出，液相粘度容易降低。因此，Al2O3的上限量优选为17％，更优选为16.8％，更优选为16.6％，进一步优选为16.4％，进一步优选为16.2％，最优选为16％。
B2O3是提高熔融性、耐失透性的成分。若B2O3的含量过少，则熔融性、耐失透性容易降低。因此，B2O3的下限量优选为0％，更优选为超过0％，更优选为0.1％，进一步优选为0.2％，进一步优选为0.3％，进一步优选为0.4％，最优选为超过1％。另一方面，若B2O3的含量过多，则杨氏模量、应变点容易降低。因此，B2O3的上限量优选为5％，更优选为4.8％，更优选为4.6％，进一步优选为4.4％，进一步优选为4.2％，最优选为4％。
Li2O、Na2O和K2O是从玻璃原料不可避免地混入的成分，其总量优选为0～0.5％，更优选为0～0.3％，最优选为0～0.2％。若Li2O、Na2O和K2O的总量过多，则有可能招致在热处理工序中碱离子向成膜后的半导体物质中扩散的情况。
MgO在碱土金属氧化物中是显著提高杨氏模量的成分。若MgO的含量过少，则熔融性、杨氏模量容易降低。因此，MgO的下限量优选为5％，更优选为5.1％，更优选为5.2％，进一步优选为5.3％，进一步优选为5.4％，进一步优选为5.5％，进一步优选为5.6％，最优选为5.7％。另一方面，若MgO的含量过多，则莫来石等失透结晶变得容易析出，液相粘度容易降低。因此，MgO的上限量优选为9％，更优选为8.9％，更优选为8.8％，进一步优选为8.7％，进一步优选为8.6％，进一步优选为8.5％，进一步优选低于8.5％，进一步优选为8.4％，最优选低于8.4％。
CaO是不降低应变点而降低高温粘性、显著提高熔融性的成分。还是提高杨氏模量的成分。若CaO的含量过少，则难以享有上述效果，另外熔融性容易降低。进而耐失透性容易降低。因此，CaO的下限量优选为2％，更优选为2.2％，更优选为2.4％，进一步优选为2.5％，进一步优选为2.6％，进一步优选为2.8％，进一步优选为3％，最优选为超过3％。另一方面，若CaO的含量过多，则液相温度变高。因此，CaO的上限量优选为10％，更优选为9.9％，更优选为9.8％，进一步优选为9.7％，进一步优选为9.6％，进一步优选为9.5％，进一步优选为9.4％，进一步优选为9.3％，最优选为9.2％。
SrO是提高耐失透性的成分，还是不降低应变点而降低高温粘性、提高熔融性的成分。也是抑制液相粘度的降低的成分。若SrO的含量过少，则难以享有上述效果。因此，SrO的下限量优选为0％，更优选为超过0％，更优选为0.1％，进一步优选为超过0.1％，进一步优选为0.2％，进一步优选为0.3％，进一步优选为超过0.3％，进一步优选为0.4％，最优选为超过0.4％。另一方面，若SrO的含量过多，则热膨胀系数和密度容易增加。因此，SrO的上限量优选为6％，更优选低于6％，更优选为5.9％，进一步优选低于5.9％，进一步优选为5.8％，进一步优选低于5.8％，进一步优选为5.7％，进一步优选低于5％，进一步优选为4％，最优选为3％。
BaO是提高耐失透性的成分。若BaO的含量过少，则难以享有上述效果。因此，BaO的下限量优选为超过1％，更优选为1.1％，更优选为1.2％，进一步优选为1.3％，进一步优选为1.4％，进一步优选为1.5％，进一步优选为1.6％，最优选为1.7％。另一方面，若BaO的含量过多，则杨氏模量容易降低，另外热膨胀系数和密度容易增加。因此，BaO的上限量优选为7％，更优选为6.8％，更优选为6.6％，进一步优选为6.4％，进一步优选为6.2％，进一步优选为6％，最优选低于6％。
MgO、CaO、SrO和BaO的总量过多或过少，熔融性都容易变差。若MgO、CaO、SrO和BaO的总量过少，则熔融性容易降低，另外杨氏模量也容易降低。因此，MgO、CaO、SrO和BaO的总量的下限优选为14％，更优选为14.5％，更优选为15％，进一步优选为15.3％，进一步优选为15.5％，进一步优选为15.8％，进一步优选为15.9％，最优选为16％。另一方面，若MgO、CaO、SrO和BaO的总量过多，则热膨胀系数和密度容易增加。因此，MgO、CaO、SrO和BaO的总量的上限优选为20％，更优选为19.8％，更优选为19.6％，进一步优选为19.4％，进一步优选为19.2％，进一步优选为19％，最优选低于19％。
若mol比Al2O3/BaO过小，则杨氏模量容易降低。因此，Al2O3/BaO的下限值优选为1.8，更优选为2，更优选为3，进一步优选为4，进一步优选为4.5，最优选为5。若Al2O3/BaO过大，则液相粘度容易降低。因此，Al2O3/BaO的上限值优选为10，更优选为9.8，更优选为9.6，进一步优选为9.4，进一步优选为9.2，最优选为9。
若mol比B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)过小，则熔融性容易降低。因此，B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)的下限值优选为0，更优选为超过0，更优选为0.01，进一步优选为0.02，进一步优选为0.03，最优选为0.04。若B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)过大，则应变点容易降低。因此，B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)的上限值优选为0.2，更优选为0.19，更优选为0.18，进一步优选为0.17，进一步优选为0.16，最优选为0.15。
若mol比(B2O3+MgO)/SiO2过小，则熔融性容易降低。因此，(B2O3+MgO)/SiO2的下限值优选为0.1，更优选超过0.1，更优选为0.11，进一步优选为0.12，进一步优选为0.13，最优选为0.14。若(B2O3+MgO)/SiO2过大，则应变点容易降低。因此，(B2O3+MgO)/SiO2的上限值优选为0.2，更优选低于0.2，更优选为0.19，进一步优选为0.18，进一步优选为0.17，最优选为0.16。
mol比B2O3/MgO是为了兼顾高杨氏模量和高熔融性、低热收缩率、生产率的重要成分比率。若B2O3/MgO过小，则液相温度变高而生产率降低，或熔融性容易降低，或成形温度变高，成形体的寿命变短因而玻璃的成本变高。因此，B2O3/MgO的下限值优选为0，更优选为超过0，更优选为0.03，进一步优选为0.05，进一步优选为0.08，最优选为0.1。若B2O3/MgO过大，则应变点降低，得不到高的热尺寸稳定性，或杨氏模量降低，大型的玻璃板变得容易挠曲。因此，B2O3/MgO的上限值优选为0.5，更优选为0.48，更优选为0.46，进一步优选为0.44，进一步优选为0.42，进一步优选为0.40，进一步优选为0.37，进一步优选为0.36，进一步优选为0.35，进一步优选为0.33，最优选为0.30。
除了上述成分以外，例如，作为任意成分，可以添加以下成分。需要说明的是，从可靠地享有本发明的效果的观点出发，上述成分以外的其它成分的含量以总量计优选为10％以下，特别是5％以下。
P2O5是提高应变点的成分，同时是能够显著抑制钙长石等碱土铝硅酸盐系的失透结晶的析出的成分。但是，若大量含有P2O5，则玻璃变得容易分相。P2O5的含量优选为0～2.5％，更优选为0.0005～1.5％，进一步优选为0.001～0.5％、特别优选为0.005～0.3％。
TiO2是降低高温粘性、提高熔融性的成分，同时是抑制曝晒的成分，但若大量含有TiO2，则玻璃会着色，透射率容易降低。TiO2的含量优选为0～2.5％，更优选为0.0005～1％，进一步优选为0.001～0.5％，特别优选为0.005～0.1％。
ZnO是提高熔融性的成分。但是，若大量含有ZnO，则玻璃容易失透，另外应变点容易降低。ZnO的含量优选0～6％、0～5％、0～4％，特别是0％以上且小于3％。
Y2O3、Nb2O5、La2O3有提高应变点、杨氏模量等的作用。这些成分的总量和各自的含量优选为0～5％，更优选为0～1％，进一步优选为0～0.5％。若Y2O3、Nb2O5、La2O3的总量和各自的含量过多，则密度、原料成本容易增加。
SnO2是在高温域具有良好的澄清作用的成分，同时是提高应变点的成分，另外是降低高温粘性的成分。SnO2的含量优选为0～1％、0.001～1％、0.01～0.5％，特别是0.05～0.3％。若SnO2的含量过多，则SnO2的失透结晶容易析出。需要说明的是，若SnO2的含量少于0.001％，则难以享有上述效果。
如上所述，SnO2作为澄清剂是适宜的，但只要不损害玻璃特性，则作为澄清剂，可以代替SnO2或者与SnO2一起添加F、SO3、C或Al、Si等金属粉末分别到5％为止(优选到1％为止，特别是到0.5％为止)。另外，作为澄清剂，还可以添加CeO2等到5％为止(优选到1％为止，特别是到0.5％为止)。
作为澄清剂，As2O3、Sb2O3也是有效的。但是，从环境的观点出发，本发明的无碱玻璃板实质上不含这些成分。若还含有As2O3，则有耐曝晒性降低的倾向。
Cl是促进玻璃配合料的初期熔融的成分。另外，若添加Cl，则能够促进澄清剂的作用。作为它们的结果，能够使熔融成本低廉化，并且实现玻璃制造窑的长寿命化。但是，若Cl的含量过多，则应变点容易降低。因此，Cl的含量优选为0～3％，更优选为0.0005～1％，特别优选为0.001～0.5％。需要说明的是，作为Cl的导入原料，能够使用氯化锶等碱土金属氧化物的氯化物、或氯化铝等原料。
Fe2O3是作为原料杂质混入的成分，是降低电阻率的成分。Fe2O3的含量优选为0～300质量ppm、80～250质量ppm，特别是100～200质量ppm。若Fe2O3的含量过少，则原料成本容易高涨。另一方面，若Fe2O3的含量过多，则熔融玻璃的电阻率上升，难以进行电熔融。
特别优选玻璃组成范围以mol％计含有SiO2 65～70％、Al2O3 12.5～16％、B2O3 0～4％、Li2O+Na2O+K2O0～0.5％、MgO 5.7～9％、CaO 3～10％、SrO 0～6％、BaO超过1％且6％以下、MgO+CaO+SrO+BaO16～19％，mol比Al2O3/BaO为2～9，mol比B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0～0.15，mol比(B2O3+MgO)/SiO2为0.1～0.2，mol比B2O3/MgO为0.1～0.36。由此，能够确保高杨氏模量、高应变点、高耐热性(高热尺寸稳定性)，并且提高生产率。
本发明的无碱玻璃板优选具有以下特性。
30～380℃的温度范围内的平均热膨胀系数优选为30×10-7～50×10-7/℃、32×10-7～48×10-7/℃、33×10-7～45×10-7/℃、34×10-7～44×10-7/℃，特别是35×10-7～43×10-7/℃。如此一来，容易与TFT中使用的Si的热膨胀系数匹配。
杨氏模量为80GPa以上，优选为超过80GPa、81GPa以上、超过81GPa、超过82GPa、83GPa以上、84GPa以上，特别是超过84GPa且95GPa以下。若杨氏模量过低，则容易发生因玻璃板的挠曲带来的不良。
应变点为700℃以上，优选为超过700℃、705℃以上，特别是710～770℃。如此一来，在LTPS工艺中，能够抑制玻璃板的热收缩。
液相温度为1350℃以下，优选为低于1350℃、1300℃以下，特别是800～1280℃。如此一来，容易防止在玻璃制造时产生失透结晶而生产率降低的情况。此外，由于容易利用溢出下拉法成形，因此容易提高玻璃板的表面品质，并且能够使玻璃板的制造成本低廉化。需要说明的是，液相温度是耐失透性的指标，液相温度越低，则耐失透性越优异。
液相粘度优选为104.0dPa·s以上、104.1dPa·s以上、104.2dPa·s以上，特别是104.3dPa·s以上。如此一来，成形时不容易发生失透，因此容易利用溢出下拉法成形，结果能够提高玻璃板的表面品质，另外能够使玻璃板的制造成本低廉化。需要说明的是，液相粘度是耐失透性和成形性的指标，液相粘度越高，则耐失透性和成形性越提高。
高温粘度102.5dPa·s下的温度优选为1650℃以下、1630℃以下、1610℃以下，特别是1600℃以下。若高温粘度102.5dPa·s下的温度过高，则玻璃配合料变得难以熔解，玻璃板的制造成本高涨。需要说明的是，高温粘度102.5dPa·s下的温度相当于熔融温度，该温度越低，则熔融性越提高。
β-OH是表示玻璃中的水分含量的指标，若使β-OH降低，则能够提高应变点。另外，在玻璃组成相同时，也是β-OH小的情况的应变点以下温度下的热收缩率变小。β-OH优选为0.35/mm以下、0.30/mm以下、0.28/mm以下、0.25/mm以下，特别是0.20/mm以下。需要说明的是，若β-OH过小，则熔融性容易降低。因此，β-OH优选为0.01/mm以上，特别是0.03/mm以上。
作为使β-OH降低的方法，可以举出以下方法。(1)选择含水量低的原料。(2)在玻璃中添加使β-OH降低的成分(Cl、SO3等)。(3)使炉内气氛中的水分含量降低。(4)在熔融玻璃中进行N2鼓泡。(5)采用小型熔融炉。(6)增大熔融玻璃的流量。(7)采用电熔融法。
在此，“β-OH”是指，利用FT-IR测定玻璃的透射率，并使用下述的数学式1求出的值。
【数学式1】
β-OH＝(1/X)log(T1/T2)
X：板厚(mm)
T1：参照波长3846cm-1下的透射率(％)
T2：羟基吸收波长3600cm-1附近的最小透射率(％)
本发明的无碱玻璃板优选利用溢出下拉法成形而成。溢出下拉法是，从耐热性的槽状结构物的两侧使熔融玻璃溢出，一边使溢出的熔融玻璃在槽状结构物的下端合流，一边向下方拉伸成形来制造玻璃板的方法。溢出下拉法中，会成为玻璃板的表面的面不接触槽状耐火物，以自由表面的状态成形。因此，能够廉价地制造未研磨而表面品质良好的玻璃板，薄型化也容易。
除了溢出下拉法以外，还能利用例如下拉法(狭缝下拉法等)、浮法等来成形玻璃板。
本发明的无碱玻璃板中，板厚没有特别限定，优选小于0.7mm、0.6mm以下、小于0.6mm，特别是0.5mm以下。板厚越薄，则有机EL器件越能轻量化。板厚能够利用玻璃制造时的流量、拉板速度等来调整。
本发明的无碱玻璃板优选用于有机EL器件，特别是有机EL电视用显示器面板的基板、有机EL显示器面板的制造用载具。有机EL电视的用途中，在玻璃板上制作多个器件后，将每个器件分割切断，实现成本削减(所谓的拼板)。本发明的无碱玻璃板由于液相温度低，而且液相粘度高，因此容易成形大型的玻璃板，能够可靠地满足这样的要求。
实施例
以下，基于实施例对本发明进行说明。需要说明的是，以下的实施例仅为例示。本发明不受以下的实施例任何限定。
表1示出本发明的实施例(试料No.1～12)。需要说明的是，表中RO表示MgO+CaO+SrO+BaO。表中虽未明示，在玻璃组成中Na2O作为来自玻璃原料的不可避免的杂质混入0.005～0.02mol％左右。
【表1】
Figure BDA0003949672840000111
首先，将按照成为表中的玻璃组成的方式调配了玻璃原料的玻璃配合料放入铂坩埚中，以1600～1650℃熔融24小时。玻璃配合料的熔解时，使用铂搅拌器搅拌，进行均质化。接着，将熔融玻璃流出到碳板上，成形成板状后，以退火点附近的温度退火30分钟。对于得到的各试料，评价30～380℃的温度范围内的平均热膨胀系数CTE、密度、杨氏模量、应变点Ps、退火点Ta、软化点Ts、高温粘度104dPa·s下的温度、高温粘度103dPa·s下的温度、高温粘度102.5dPa·s下的温度、液相温度TL、和液相温度TL下的粘度log10ηTL。
30～380℃的温度范围内的平均热膨胀系数CTE是利用膨胀计测定的值。
密度是通过公知的阿基米德法测定的值。
杨氏模量是指利用公知的共振法测定的值。
应变点Ps、退火点Ta、软化点Ts是基于ASTM C336和C338的方法测定的值。
高温粘度104dPa·s、103dPa·s、102.5dPa·s下的温度是利用铂球提拉法测定的值。
液相温度TL是，将穿过标准筛30目(500μm)而留在50目(300μm)的玻璃粉末放入铂舟，在温度梯度炉中保持24小时后，结晶析出的温度。
液相粘度log10ηTL是利用铂球提拉法测定液相温度TL下的玻璃的粘度的值。
由表1可以明确，试料No.1～12在玻璃组成中不含碱金属氧化物，杨氏模量为84GPa以上，应变点为740℃以上，液相温度为1285℃以下，因此生产率良好，能够减小LTPS工艺中的热收缩，可以认为即使大型化、薄型化，也难以发生因挠曲产生的不良。因此，试料No.1～12适合有机EL器件的基板。
产业上的可利用性
本发明的无碱玻璃板适合作为有机EL器件，特别是有机EL电视用显示器面板的基板、有机EL显示器面板的制造用载具，除此以外还适合液晶显示器等平板显示器基板、磁记录介质用玻璃基板、电荷耦合器件(CCD)、等倍接近型固体摄像元件(CIS)等图像传感器用的盖板玻璃、太阳能电池用的基板和盖板玻璃、有机EL照明用基板等。

Claims (9)

1.一种无碱玻璃板，其特征在于，玻璃组成中的Li2O+Na2O+K2O的含量为0mol％～0.5mol％，杨氏模量为80GPa以上，应变点为700℃以上，液相温度为1350℃以下。
2.一种无碱玻璃板，其特征在于，作为玻璃组成，以mol％计含有SiO2 64％～71％、Al2O3 12％～17％、B2O3 0％～5％、Li2O+Na2O+K2O0％～0.5％、MgO 5％～9％、CaO 2％～10％、SrO 0％～7％、BaO超过1％且7％以下、MgO+CaO+SrO+BaO 14％～20％，mol比Al2O3/BaO为1.8～10，mol比B2O3/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0～0.2，mol比(B2O3+MgO)/SiO2为0.1～0.2，mol比B2O3/MgO为0～0.5。
3.根据权利要求1或2所述的无碱玻璃板，其特征在于，还实质上不含As2O3、Sb2O3。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，还包含0.001mol％～1mol％的SnO2。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，应变点为710℃以上。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，杨氏模量高于81GPa。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，30℃～380℃的温度范围内的平均热膨胀系数为30×10-7/℃～50×10-7/℃。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，液相粘度为104.0dPa·s以上。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的无碱玻璃板，其特征在于，用于有机EL器件。
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