CN115646862A - 一种自动标记坏点的芯片测试机 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及芯片测试机领域,具体的公开了一种自动标记坏点的芯片测试机,包括底座,所述底座的顶部滑动安装有安装板,底座的顶部安装有限位板,底座的顶部两端均滑动安装有与限位板相匹配的夹持板,夹持板与限位板之间安装有放置盘,放置盘的内底部开设有固定孔,放置盘的内底部位于固定孔的两侧均开设有若干个放置孔,放置孔的内壁上转动安装有放置板,放置板的底部靠近固定孔的一端安装有磁铁片,安装板靠近限位板的一侧底部安装有支撑板,支撑板的顶部安装有固定板,固定板的顶部安装有与磁铁片相匹配的电磁铁。本发明在使用时无需工作人员手动对出现坏点的芯片进行分拣拿取,使用时更加方便。
Description
技术领域
本发明涉及芯片测试机技术领域,尤其涉及一种自动标记坏点的芯片测试机。
背景技术
芯片,又称微电路、微芯片、集成电路,是指内含集成电路的硅片,体积很小,是计算机等电子设备的重要组成部分,由于芯片结构精细、制造工艺复杂、流程繁琐,不可避免地会在生产过程中留下潜在的缺陷,因此为了确保芯片质量,通常会通过芯片测试机对芯片进行测试,以便将良品和不良品分开。现有的坏点检测通常采用超声波扫描显微镜进行无损检测,即是通过超声波扫描显微镜扫描芯片后与完好的芯片扫描图进行对比,并通过墨汁在芯片坏点位置进行标记,方便工作人员对有损芯片进行识别。
现有的芯片测试机在对有损的芯片进行测试和标记后,均需要工作人员手动对有损的芯片进行拿取,在使用时便会出现误拿或忘拿的情况出现,导致有损的芯片混入无损的芯片内进行包装使用,芯片测试机无法在对芯片进行测试时既能对芯片的坏点位置进行精准标记又能对有损芯片和无损芯片进行分选。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种自动标记坏点的芯片测试机。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种自动标记坏点的芯片测试机,包括底座,所述底座的顶部滑动安装有安装板,底座的顶部安装有限位板,底座的顶部两端均滑动安装有与限位板相匹配的夹持板,夹持板与限位板之间安装有放置盘,放置盘的内底部开设有固定孔,放置盘的内底部位于固定孔的两侧均开设有若干个放置孔,放置孔的内壁上转动安装有放置板,放置板的底部靠近固定孔的一端安装有磁铁片,安装板靠近限位板的一侧底部安装有支撑板,支撑板的顶部安装有固定板,固定板的顶部安装有与磁铁片相匹配的电磁铁,安装板的侧面安装有测试机构。
优选的,所述放置盘的底部位于放置孔远离磁铁片的一端安装有挡板,且挡板的一端位于放置板的下方,放置板靠近磁铁片的一端转动安装有固定杆,固定杆的两端分别安装在放置孔的两侧内壁上。
优选的,所述支撑板的顶部按长度方向开设有固定槽,固定槽的内部安装有传送带,传送带的内部两端均安装有转动轴,两个转动轴的两端均转动安装在固定槽的内壁上,支撑板的侧面安装有第一马达,第一马达的输出轴贯穿至固定槽内,并通过联轴器与其中一个转动轴连接,固定槽位于固定板的下方。
优选的,所述限位板的侧面底部按长度方向开设有滑动孔,支撑板滑动安装在滑动孔内,安装板的侧面开设有与固定槽相匹配的出料孔,夹持板与限位板的相对面顶部均开设有卡槽,放置盘的边角位置位于卡槽内。
优选的,所述测试机构包括顶板,顶板位于放置盘的上方,顶板的底部一端安装有超声波扫描显微镜探头,且超声波扫描显微镜探头位于放置板的上方,顶板的底部开设有安装槽,安装槽内转动安装有转动盘。
优选的,所述转动盘的底部开设有调节槽,调节槽的内壁上转动安装有螺纹杆,螺纹杆上螺纹安装有电动伸缩杆,电动伸缩杆的底端贯穿调节槽,并安装有点墨管,点墨管位于放置盘的上方,安装槽的内壁上开设有环形的限位槽,限位槽内滑动安装有滑块,滑块远离限位槽内壁的一端安装在转动盘的外壁上。
优选的,所述转动盘的外壁上安装有第二马达,第二马达的输出轴贯穿至调节槽内,并通过联轴器与螺纹杆的一端连接,第二马达位于顶板的下方,顶板的顶部安装有电机,电机的输出轴底端贯穿至安装槽内,并安装在转动盘的顶部,顶板的底部远离超声波扫描显微镜探头的一端安装有吹风口,顶板的顶部安装有微型气泵,微型气泵的出风口与吹风口相互连接。
优选的,所述安装板的顶部开设有存储槽,安装板的顶部安装有橡胶塞,橡胶塞的底端位于存储槽的内部,存储槽的内部通过连接管与点墨管相互连接,底座的顶部安装有存放板,存放板的一侧与安装板远离放置盘的一侧底部抵接。
优选的,所述底座的顶部均开设有导向槽,导向槽位于夹持板的下方,导向槽的内壁上安装有支杆,支杆上滑动安装有连接块,连接块的顶端安装在夹持板的底部,支杆上位于导向槽远离限位板的一端内壁与连接块之间安装有弹簧。
优选的,所述底座的顶部按长度方向开设有凹槽,凹槽位于安装板的下方,凹槽内滑动安装有电动滑块,电动滑块的顶端安装在安装板的底部,支撑板靠近安装板的一端底部与底座的顶部抵接,底座的顶部安装有防护框,防护框的侧面和顶部均安装有观察窗。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
1、本发明中电磁铁通电后便可产生磁力,对电磁铁上方放置板底部的磁铁片进行吸附,使磁铁片带动放置板以固定杆为中心进行转动,倾斜的放置板上出现坏点的芯片在放置板上向固定孔的方向进行滑动,并通过固定孔和两个固定板之间掉落至下方支撑板上固定槽内的传送带顶部,传送带便可把出现坏点的芯片通过出料口摆放在存放板上,在使用时无需工作人员手动对出现坏点的芯片进行分拣拿取,使用时更加方便,且在对出现坏点的芯片进行输送时并不影响超声波扫描显微镜探头对其余芯片的测试,工作人员便可直接拿下存放板,通过存放板对出现坏点的芯片进行拿取或移动,在使用时工作人员的手并不会触碰芯片,防止工作人员手上的油脂粘附在芯片上。
2、本发明中电机带动转动盘的中端位于固定孔中端的上,且转动盘底部的调节槽的方向和与固定孔与转动盘中端所对应的位置至芯片坏点方向平行,第二马达通过螺纹杆带动电动伸缩杆和点墨管横向芯片坏点位置进行移动,当点墨管移动至芯片坏点的上方,电动伸缩杆便可点墨管对芯片表面坏点位置进行标记,工作人员可通过电机和第二马达对点墨管的位置和角度进行调整,在使用时点墨管能对顶板下方转动盘所覆盖的任意一个位置进行精准标记,使点墨管的标记位置更加准确,且在对芯片坏点进行标记使并不会对超声波扫描显微镜探头的使用造成影响。
3、本发明中因为顶板和其上的超声波扫描显微镜探头均安装在安装板的同一侧,所以在安装板移动时,支撑板能对安装板起到较好的支撑,防止安装板在移动时出现晃动或倾斜的情况,支撑板滑动安装在限位板上的滑动孔内,在使用时限位板便可通过支撑板对安装板起到较好的限位作用,同时支撑板也能对点墨管所标记的芯片进行筛选输送,使用时更加方便,在使用时安装板不但能对超声波扫描显微镜探头和支撑板进行安装,也能对墨汁进行存放。
4、本发明中在点墨管对芯片的坏点进行标记时,位于顶板顶部的微型气泵把外接的空气通过吹风口向对进行标记的芯片进行吹动,使墨汁的凝固速度更快,防止在工作人员把所标记的芯片进行收集进行维修时,芯片上的墨汁粘附在其余芯片的表面,同时在使用时能对超声波扫描显微镜探头测试完毕后的芯片进行清理,方便工作人员对完好的芯片进行包装。
附图说明
图1为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的立体图;
图2为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的安装板安装结构示意图;
图3为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的支撑板安装结构示意图;
图4为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的支撑板结构示意图;
图5为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的转动盘安装结构示意图;
图6为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的顶板结构示意图;
图7为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的底座结构示意图;
图8为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的放置盘结构示意图;
图9为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的挡板安装结构示意图;
图10为本发明提出的一种自动标记坏点的芯片测试机的放置板结构示意图。
图中:1、底座;2、防护框;3、安装板;4、顶板;5、限位板;6、夹持板;7、放置盘;8、导向槽;9、弹簧;10、存储槽;11、橡胶塞;12、电机;13、微型气泵;14、存放板;15、凹槽;16、出料孔;17、超声波扫描显微镜探头;18、支撑板;19、电动滑块;20、第一马达;21、固定槽;22、传送带;23、固定板;24、电磁铁;25、点墨管;26、吹风口;27、转动轴;28、安装槽;29、转动盘;30、调节槽;31、电动伸缩杆;32、螺纹杆;33、第二马达;34、限位槽;35、滑块;36、卡槽;37、连接块;38、支杆;39、固定孔;40、放置孔;41、放置板;42、挡板;43、磁铁片;44、固定杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-10,一种自动标记坏点的芯片测试机,包括底座1,底座1的顶部滑动安装有安装板3,底座1的顶部安装有限位板5,底座1的顶部两端均滑动安装有与限位板5相匹配的夹持板6,夹持板6与限位板5之间安装有放置盘7,放置盘7的内底部开设有固定孔39,放置盘7的内底部位于固定孔39的两侧均开设有若干个放置孔40,放置孔40的内壁上转动安装有放置板41,放置板41的底部靠近固定孔39的一端安装有磁铁片43,安装板3靠近限位板5的一侧底部安装有支撑板18,支撑板18的顶部安装有固定板23,固定板23的顶部安装有与磁铁片43相匹配的电磁铁24,安装板3的侧面安装有测试机构。
作为本发明的一种技术优化方案,放置盘7的底部位于放置孔40远离磁铁片43的一端安装有挡板42,且挡板42的一端位于放置板41的下方,放置板41靠近磁铁片43的一端转动安装有固定杆44,固定杆44的两端分别安装在放置孔40的两侧内壁上,挡板42在使用时能对放置板41起到较好的支撑。
作为本发明的一种技术优化方案,支撑板18的顶部按长度方向开设有固定槽21,固定槽21的内部安装有传送带22,传送带22的内部两端均安装有转动轴27,两个转动轴27的两端均转动安装在固定槽21的内壁上,支撑板18的侧面安装有第一马达20,第一马达20的输出轴贯穿至固定槽21内,并通过联轴器与其中一个转动轴27连接,固定槽21位于固定板23的下方,在使用时第一马达20的输出轴可通过转动轴27带动传送带22进行转动,使传送带22带动出现坏点的芯片进行输送,方便工作人员对出现坏点的芯片进行拿取,使用时更加方便。
作为本发明的一种技术优化方案,限位板5的侧面底部按长度方向开设有滑动孔,支撑板18滑动安装在滑动孔内,安装板3的侧面开设有与固定槽21相匹配的出料孔16,夹持板6与限位板5的相对面顶部均开设有卡槽36,放置盘7的边角位置位于卡槽36内,在使用时工作人员可通过夹持板6和限位板5相互配合,对放置盘7进行夹持和位置固定。
作为本发明的一种技术优化方案,测试机构包括顶板4,顶板4位于放置盘7的上方,顶板4的底部一端安装有超声波扫描显微镜探头17,且超声波扫描显微镜探头17位于放置板41的上方,顶板4的底部开设有安装槽28,安装槽28内转动安装有转动盘29,在使用时工作人员可通过超声波扫描显微镜探头17对下方的若干个芯片进行测试。
作为本发明的一种技术优化方案,转动盘29的底部开设有调节槽30,调节槽30的内壁上转动安装有螺纹杆32,螺纹杆32上螺纹安装有电动伸缩杆31,电动伸缩杆31的底端贯穿调节槽30,并安装有点墨管25,点墨管25位于放置盘7的上方,安装槽28的内壁上开设有环形的限位槽34,限位槽34内滑动安装有滑块35,滑块35远离限位槽34内壁的一端安装在转动盘29的外壁上,在使用时工作人员可通过转动转动盘29对点墨管25的位置进行调整,且点墨管25可通过其上的电动伸缩杆31在调节槽30内进行移动。
作为本发明的一种技术优化方案,转动盘29的外壁上安装有第二马达33,第二马达33的输出轴贯穿至调节槽30内,并通过联轴器与螺纹杆32的一端连接,第二马达33位于顶板4的下方,顶板4的顶部安装有电机12,电机12的输出轴底端贯穿至安装槽28内,并安装在转动盘29的顶部,顶板4的底部远离超声波扫描显微镜探头17的一端安装有吹风口26,顶板4的顶部安装有微型气泵13,微型气泵13的出风口与吹风口26相互连接,在使用时工作人员可通过电机12和第二马达33带动点墨管25移动至转动盘29下方所覆盖的任意一个位置,在使用时能使点墨管25精准的对芯片表面任意位置进行点名,对芯片的坏点进行准确标点。
作为本发明的一种技术优化方案,安装板3的顶部开设有存储槽10,安装板3的顶部安装有橡胶塞11,橡胶塞11的底端位于存储槽10的内部,存储槽10的内部通过连接管与点墨管25相互连接,底座1的顶部安装有存放板14,存放板14的一侧与安装板3远离放置盘7的一侧底部抵接,在使用时工作人员可提前在存储槽10的内部存放一定量的墨汁,并通过连接管把存储的墨汁输送至点墨管25内,通过点墨管25把墨汁点在芯片表面待标记的位置。
作为本发明的一种技术优化方案,底座1的顶部均开设有导向槽8,导向槽8位于夹持板6的下方,导向槽8的内壁上安装有支杆38,支杆38上滑动安装有连接块37,连接块37的顶端安装在夹持板6的底部,支杆38上位于导向槽8远离限位板5的一端内壁与连接块37之间安装有弹簧9,在使用时可通过弹簧9的自身弹性对放置盘7进行夹持固定,使放置盘7在使用时更加稳定。
作为本发明的一种技术优化方案,底座1的顶部按长度方向开设有凹槽15,凹槽15位于安装板3的下方,凹槽15内滑动安装有电动滑块19,电动滑块19的顶端安装在安装板3的底部,支撑板18靠近安装板3的一端底部与底座1的顶部抵接,底座1的顶部安装有防护框2,防护框2的侧面和顶部均安装有观察窗,在使用时工作人员可通过电动滑块19带动安装板3和超声波扫描显微镜探头17进行位置移动。
本发明在使用时,工作人员把待测试的芯片依次防止在放置盘7内部若干个放置孔40内,且芯片位于放置板41的顶部,在使用时放置孔40的两侧内壁能对芯片的两侧起到较好的限位和防护,防止芯片在使用时出现移动的情况,且在使用时固定杆44和挡板42能对放置板41起到较好的支撑作用,同时因为固定杆44位于放置板41上远离挡板42的一端,所以在使用时固定杆44和挡板42能分别对放放置板41的两端进行支撑,使放置板41在使用时并不会出现倾斜的情况。
当工作人员把芯片放置完毕后,工作人员拉动位于底座1顶部的两个夹持板6,使夹持板6向远离限位板5的方向进行移动,工作人员把放置盘7放置在夹持板6和限位板5之间,且放置盘7的底部与卡槽36的底部抵接。工作人员松开夹持板6,位于导向槽8内部弹簧9便可推动连接块37在支杆38上向安装板3的方向进行移动,在使用时支杆38能对连接块37的位置起到较好的限定作用,同时也对连接块37的移动起到较好的导向效果。当连接块37移动时便可带动其上的夹持板6向安装板3的方向进行移动,在使用时两个夹持板6和限位板5相互配合对放置盘7进行夹持固定,使放置盘7在使用时稳定性能更好,方便工作人员通过超声波扫描显微镜探头17对芯片进行测试,且在使用时可限位板5的位置不会变动,通过弹簧9的弹性使放置盘7的侧面与限位板5上的卡槽36内壁抵接,在使用时可对放置盘7的位置进行限定,无需工作人员手动对放置盘7的位置进行调整,使用时更加方便。
在使用时工作人员可根据使用情况在安装板3顶部存储槽10的内部存储一定量的墨汁,工作人员通过电动滑块19带动安装板3向远离微型气泵13的方向进行移动,当安装板3移动时便可带动顶板4进行移动,当位于顶板4底部的两个超声波扫描显微镜探头17位于芯片的上方后,安装板3停止移动,超声波扫描显微镜探头17对位于下方的芯片进行扫描并形成扫描图,扫描图与完好芯片的基准图进行对比。当超声波扫描显微镜探头17对芯片测试完毕并发现芯片出现坏点后,再次通过电动滑块19带动安装板3和超声波扫描显微镜探头17进行移动,超声波扫描显微镜探头17对其余的芯片进行测试,而转动盘29便可移动至出现坏点的芯片上方。
电机12可带动转动盘29在安装槽28的内部进行转动,使转动盘29的中端位于固定孔39中端的上,且转动盘29底部的调节槽30的方向和与固定孔39与转动盘29中端所对应的位置至芯片坏点方向平行。第二马达33通过螺纹杆32带动电动伸缩杆31和点墨管25横向芯片坏点位置进行移动,当点墨管25移动至芯片坏点的正上方后,电动伸缩杆31便可带动点墨管25进行下移,使点墨管25的底端与芯片表面坏点位置接触。在使用时位于存储槽10内部的墨汁通过连接管输送至点墨管25的内部,并通过点墨管25对芯片坏点的位置进行标记。使用时工作人员可通过电机12和第二马达33对点墨管25的位置和角度进行调整,在使用时点墨管25能对顶板4下方转动盘29所覆盖的任意位置进行精准标记,且在对芯片坏点进行标记使并不会对超声波扫描显微镜探头17的使用造成影响。
在点墨管25对芯片的坏点进行标记时,位于顶板4顶部的微型气泵13把外接的空气通过吹风口26向对进行标记的芯片进行吹动,使墨汁的凝固速度更快,防止在工作人员把所标记的芯片进行收集进行维修时,芯片上的墨汁粘附在其余芯片的表面,同时在使用时能对超声波扫描显微镜探头17测试完毕后的芯片进行清理,方便工作人员对完好的芯片进行包装。
当安装板3和顶板4移动时可带动支撑板18进行移动,因为顶板4和其上的超声波扫描显微镜探头17均安装在安装板3的同一侧,所以在安装板3移动时,支撑板18能对安装板3起到较好的支撑,防止安装板3在移动时出现晃动或倾斜的情况。支撑板18滑动安装在限位板5上的滑动孔内,在使用时限位板5便可通过支撑板18对安装板3起到较好的限位作用。当点墨管25对芯片上的坏点进行标记时,支撑板18也随着安装板3移动至出现坏点的芯片下方,当工作人员通过点墨管25对芯片上的坏点进行标记后,工作人员便可根据使用情况对支撑板18顶部其中一个固定板23上的电磁铁24进行通电。
电磁铁24通电后便可产生磁力,对电磁铁24上方放置板41底部的磁铁片43进行吸附,使磁铁片43带动放置板41以固定杆44为中心进行转动,放置板41靠近磁铁片43的一端下移,而另一端上升。在使用时便可使倾斜的放置板41上出现坏点的芯片在放置板41上向固定孔39的方向进行滑动,并通过固定孔39和两个固定板23之间掉落至下方支撑板18上固定槽21内的传送带22顶部,固定槽21对掉落的芯片进行放置。
第一马达20带动位于固定槽21内部的传送带22进行转动,而传送带22便可带动出现坏点的芯片向安装板3侧面出料孔16的方向进行移动,并通过出料孔16移动至存放板14的顶部,存放板14对出现坏点的芯片进行存放,在使用时无需工作人员手动对出现坏点的芯片进行分拣拿取,使用时更加方便,且在对出现坏点的芯片进行输送时并不影响超声波扫描显微镜探头17对其余芯片的测试。在使用时工作人员可通过第一马达20对传送带22的转动速度进行调整,使出现坏点的若干个芯片依次摆放在存放板14上,当放置盘7上的芯片测试完毕后,工作人员便可直接拿下存放板14,通过存放板14对出现坏点的芯片进行拿取或移动,在使用时工作人员的手并不会触碰芯片,防止工作人员手上的油脂粘附在芯片上。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种自动标记坏点的芯片测试机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部滑动安装有安装板(3),底座(1)的顶部安装有限位板(5),底座(1)的顶部两端均滑动安装有与限位板(5)相匹配的夹持板(6),夹持板(6)与限位板(5)之间安装有放置盘(7),放置盘(7)的内底部开设有固定孔(39),放置盘(7)的内底部位于固定孔(39)的两侧均开设有若干个放置孔(40),放置孔(40)的内壁上转动安装有放置板(41),放置板(41)的底部靠近固定孔(39)的一端安装有磁铁片(43),安装板(3)靠近限位板(5)的一侧底部安装有支撑板(18),支撑板(18)的顶部安装有固定板(23),固定板(23)的顶部安装有与磁铁片(43)相匹配的电磁铁(24),安装板(3)的侧面安装有测试机构。
2.根据权利要求1所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述放置盘(7)的底部位于放置孔(40)远离磁铁片(43)的一端安装有挡板(42),且挡板(42)的一端位于放置板(41)的下方,放置板(41)靠近磁铁片(43)的一端转动安装有固定杆(44),固定杆(44)的两端分别安装在放置孔(40)的两侧内壁上。
3.根据权利要求1所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述支撑板(18)的顶部按长度方向开设有固定槽(21),固定槽(21)的内部安装有传送带(22),传送带(22)的内部两端均安装有转动轴(27),两个转动轴(27)的两端均转动安装在固定槽(21)的内壁上,支撑板(18)的侧面安装有第一马达(20),第一马达(20)的输出轴贯穿至固定槽(21)内,并通过联轴器与其中一个转动轴(27)连接,固定槽(21)位于固定板(23)的下方。
4.根据权利要求3所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述限位板(5)的侧面底部按长度方向开设有滑动孔,支撑板(18)滑动安装在滑动孔内,安装板(3)的侧面开设有与固定槽(21)相匹配的出料孔(16),夹持板(6)与限位板(5)的相对面顶部均开设有卡槽(36),放置盘(7)的边角位置位于卡槽(36)内。
5.根据权利要求1所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述测试机构包括顶板(4),顶板(4)位于放置盘(7)的上方,顶板(4)的底部一端安装有超声波扫描显微镜探头(17),且超声波扫描显微镜探头(17)位于放置板(41)的上方,顶板(4)的底部开设有安装槽(28),安装槽(28)内转动安装有转动盘(29)。
6.根据权利要求5所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述转动盘(29)的底部开设有调节槽(30),调节槽(30)的内壁上转动安装有螺纹杆(32),螺纹杆(32)上螺纹安装有电动伸缩杆(31),电动伸缩杆(31)的底端贯穿调节槽(30),并安装有点墨管(25),点墨管(25)位于放置盘(7)的上方,安装槽(28)的内壁上开设有环形的限位槽(34),限位槽(34)内滑动安装有滑块(35),滑块(35)远离限位槽(34)内壁的一端安装在转动盘(29)的外壁上。
7.根据权利要求6所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述转动盘(29)的外壁上安装有第二马达(33),第二马达(33)的输出轴贯穿至调节槽(30)内,并通过联轴器与螺纹杆(32)的一端连接,第二马达(33)位于顶板(4)的下方,顶板(4)的顶部安装有电机(12),电机(12)的输出轴底端贯穿至安装槽(28)内,并安装在转动盘(29)的顶部,顶板(4)的底部远离超声波扫描显微镜探头(17)的一端安装有吹风口(26),顶板(4)的顶部安装有微型气泵(13),微型气泵(13)的出风口与吹风口(26)相互连接。
8.根据权利要求7所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述安装板(3)的顶部开设有存储槽(10),安装板(3)的顶部安装有橡胶塞(11),橡胶塞(11)的底端位于存储槽(10)的内部,存储槽(10)的内部通过连接管与点墨管(25)相互连接,底座(1)的顶部安装有存放板(14),存放板(14)的一侧与安装板(3)远离放置盘(7)的一侧底部抵接。
9.根据权利要求1所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述底座(1)的顶部均开设有导向槽(8),导向槽(8)位于夹持板(6)的下方,导向槽(8)的内壁上安装有支杆(38),支杆(38)上滑动安装有连接块(37),连接块(37)的顶端安装在夹持板(6)的底部,支杆(38)上位于导向槽(8)远离限位板(5)的一端内壁与连接块(37)之间安装有弹簧(9)。
10.根据权利要求1所述的一种自动标记坏点的芯片测试机,其特征在于,所述底座(1)的顶部按长度方向开设有凹槽(15),凹槽(15)位于安装板(3)的下方,凹槽(15)内滑动安装有电动滑块(19),电动滑块(19)的顶端安装在安装板(3)的底部,支撑板(18)靠近安装板(3)的一端底部与底座(1)的顶部抵接,底座(1)的顶部安装有防护框(2),防护框(2)的侧面和顶部均安装有观察窗。
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