CN115625808A - 一种用于切割机智能自动加药机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于切割机智能自动加药机构，包括箱体、箱盖、控制器、进水接口、出液接口、药液混合结构、去离子切割水箱和清洗液箱，通过设置了药液混合结构，对换向阀结构底部与去离子切割水箱和清洗液箱的连接管的连接进行转换或进行同时连接，以便于根据对芯片表面污渍控制是否添加清洗液，减少清洗液的使用量，在需要采用简单的表面冲洗时，且控制进水管的纯净水单独出水对芯片进行清洗，减少清洗成本，可在纯净水中添加清洗液的方式对芯片进行去污，或采用将进水接口与去离子水的供水管道进行连接，实现外部去离子水的供水方式，供给方式多，实用性高。

Description

一种用于切割机智能自动加药机构

技术领域

本发明涉及芯片切割相关领域，具体是一种用于切割机智能自动加药机构。

背景技术

芯片指内含集成电路的硅片，体积很小，常常是计算机或其他电子设备的一部分，这些年来，IC持续向更小的外型尺寸发展，使得每个芯片可以封装更多的电路，这样增加了每单位面积容量，可以降低成本和增加功能－见摩尔定律，集成电路中的晶体管数量，每两年增加一倍，总之，随着外形尺寸缩小，几乎所有的指标改善了－单位成本和开关功率消耗下降，速度提高，但是，集成纳米级别设备的IC不是没有问题，主要是泄漏电流，因此，对于最终用户的速度和功率消耗增加非常明显，制造商面临使用更好几何学的尖锐挑战，一个晶圆上做出来的独立的IC有几百个到几千个甚至上万个，切割的目的是将整个晶圆上每一个独立的IC通过高速旋转的金刚石刀片切割出来，为后面的工序做准备，芯片的切割是将晶圆上的多个芯片分离开来，以便在后续的封装中对单个芯片进行粘贴，键合等操作，但是芯片切割过程中刀片与材料接触时会产生不同程度的铜渣，导致产品表面会出现脏污，通过自动加药机构在冲洗的去离子切割水加入清洗液增加对芯片表面进行去除。

现有的自动加药机构在优化时，大多提现在药物的添加混合方面，例如专利号为CN202121892927.2的中国专利中就公开了《一种切割机外接加药装置》，在原有去离子水中注入一定比例的清洗液并进行混合，能够混合产生具有泡沫的清洗水，进而能够对芯片切割过程中产生的脏污进行有效去除，大大提升了芯片切割的质量。

虽然上述自动加药机构在添加药物对芯片的清洗效果方面具有一定优势，但仍然具有一定弊端：

1：通过加入了在原有去离子水中注入一定比例的清洗液并进行混合，能够混合产生具有泡沫的清洗水，增加去污效果，但清洗液以及去离子水为同时混合出液，对于无需采用清洗液即可进行去污的芯片进行去污时，增加清洗液的使用量。

2：通过外部的去离子水、清洗液通过管路接口接通并上水后，即可在箱体内实现去离子水以及清洗液的混合，采用外接去离子水、清洗液，需要进行管路连接，使用便捷性差，且无法及时对供给管路的供给进行实时监测，导致管路损坏或供给不足时无法得到及时的发现和解决。

3：清洗液的比例以及去离子水的比例固定，不便于根据芯片表面污渍对清洗液的添加混合比例进行调节。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种用于切割机智能自动加药机构。

本发明是这样实现的，构造一种用于切割机智能自动加药机构，该装置包括箱体、药液混合结构、去离子切割水箱和清洗液箱，所述箱体前端面设置有箱盖，且箱盖前端安装有控制器，所述箱体左端底部设置有进水接口和出液接口，所述箱体内中部设置有药液混合结构，所述箱体顶端壁左右两侧分别安装有去离子切割水箱和清洗液箱，且去离子切割水箱和清洗液箱与箱体顶端壁固定连接，所述药液混合结构包括药液添加控制结构、导管、三通管、进水管、水泵、第一流量控制阀和混合管道，所述药液添加控制结构底端与导管相连接，所述导管底端与三通管相连接，所述三通管左端与进水管相连接，所述三通管底端通过连接管与水泵的抽取端口相连接，且水泵底端的输出端口通过连接管与混合管道相连接，所述三通管左端与进水管相连接，所述进水管中部安装有第一流量控制阀，所述进水管左端与进水接口，所述混合管道左端与出液接口相连接，所述药液添加控制结构顶端分别与去离子切割水箱和清洗液箱相连接。

优选的，所述去离子切割水箱和清洗液箱结构一致，所述去离子切割水箱包括水箱、支板、活动板、限位环、加液管、活动压板、密封盖、按压开关、第二流量控制阀、单向阀和连接管，所述水箱顶端与支板固定连接，所述水箱内部嵌入有活动板，所述支板顶端中部固定有限位环，所述加液管底部贯穿限位环、活动板伸入至水箱内与活动板相连接，所述加液管顶端贯穿活动压板，且活动压板内壁与加液管固定连接，所述加液管顶端与密封盖螺纹锁固，所述水箱底端与第二流量控制阀相连接，且第二流量控制阀底端与单向阀相连接，所述单向阀底端与连接管一端相连接，且连接管另一端与药液添加控制结构相连接，所述支板底端与箱体顶端壁固定连接。

优选的，所述药液添加控制结构包括三段式气缸组件、换向阀结构、气泵、第一四通管件、空气过滤器、排气口和第二四通管件，所述三段式气缸组件右端与换向阀机构相连接，所述气泵右端的输出端口与第一四通管件相连接，所述气泵左端的输入端口与空气过滤器相连接，所述第二四通管件左端与排气口相连接，所述第一四通管件和第二四通管件右端均与三段式气缸组件相连接，所述换向阀结构顶端分别与去离子切割水箱和清洗液箱相连接，所述换向阀结构底端与导管相连接，所述空气过滤器和排气口均安装于箱体左端壁。

优选的，所述三段式气缸组件包括左缸体、右缸体、进气管、排气管、左限位板、右限位板、第一活塞板、限位管、活动杆、第二活塞板和活塞杆，所述左缸体和右缸体为一体成型机构，且左缸体和右缸体连接处相贯通，所述左缸体内部上下两侧壁中部均固定有左限位板，所述右缸体内部上下两侧壁右侧均固定有右限位板，所述左缸体内部右侧嵌入有第一活塞板，所述第一活塞板右端中部与限位管固定连接，所述限位管右端与活动杆相互插接，所述活动杆右端与第二活塞板固定连接，所述第二活塞板右端中部与活塞杆固定连接，所述活塞杆右端贯穿右缸体右端伸出与换向阀结构相连接，所述左缸体顶端左侧以及右缸体顶端左右两侧分别连接有进气管，所述左缸体底端左侧以及右缸体底端左右两侧分别连接有排气管，所述进气管左端与第一四通管件相连接，所述排气管左端与第二四通管件相连接。

优选的，所述换向阀结构包括外壳、第一进流口、第二进流口、出流口、活动封堵板、连接杆、第一回流管和第二回流管，所述外壳顶端中部设置有第一进流口，所述外壳顶端右侧设置有第二进流口，所述外壳底端设置有出流口，所述外壳内部嵌入有活动封堵板，所述活动封堵板左端与连接杆固定连接，所述外壳顶端左侧和右侧分别连接有第一回流管和第二回流管相连接，所述第一回流管顶端与去离子切割水箱的连接管相连接，所述第二回流管顶端与清洗液箱的连接管相连接，所述第一进流口和第二进流口顶端分别与离子切割水箱和清洗液箱的连接管相连接，所述出流口与导管相连接，所述连接杆左端与活塞杆固定连接。

优选的，所述加液管底端贯穿活动板，所述活动板与水箱内壁贴合。

优选的，所述左缸体内部的长度和宽度均大于右缸体内部的长度和宽度，且左缸体和右缸体内壁分别与第一活塞板和第二活塞板贴合。

优选的，所述左限位板与左缸体内部左侧壁之间的直线距离大于进气管和排气管的外径，且左限位板与左缸体内部左侧壁之间的直线距离与右限位板右侧与右缸体内部右侧壁之间的直线距离一致。

优选的，所述活动杆表面呈光滑状，且限位管内壁与活动杆贴合。

优选的，所述进气管和排气管均设置有三根，且三根进气管和排气管中部分别设置有电磁阀。

本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种用于切割机智能自动加药机构，与同类型设备相比，具有如下改进：

优点一：本发明所述一种用于切割机智能自动加药机构，通过设置了药液混合结构，在药液混合结构的水泵抽取端通过三通管连接了药液添加控制结构和进水管，药液添加控制结构的换向阀结构的进流端分别与去离子切割水箱和清洗液箱的连接管进行连接，且在换向阀结构左端设置了用于控制换向阀结构连接流道更换的三段式气缸组件，对换向阀结构底部与去离子切割水箱和清洗液箱的连接管的连接进行转换或进行同时连接，以便于根据对芯片表面污渍控制是否添加清洗液，减少清洗液的使用量，且采用三段式气缸组件对换向阀结构内的活动封堵板的移动进行控制，移动控制精度高，在需要采用简单的表面冲洗时，且控制进水管的纯净水单独出水对芯片进行清洗，减少清洗成本，可在纯净水中添加清洗液的方式对芯片进行去污，或采用将进水接口与去离子水的供水管道进行连接，实现外部去离子水的供水方式，供给方式多，实用性高。

优点二：本发明所述一种用于切割机智能自动加药机构，通过设置了去离子切割水箱和清洗液箱，通过在去离子切割水箱和清洗液箱的水箱内添加去离子水和清洗液进行储存备用，增加该加药机构的使用便捷性，避免了外接去离子水以及清洗液带来的管路连接以及位置移动的操作等不便，且水箱内部设置有活动板，活动板跟随液位进行升降，水箱内部液位下降至一定高度后，活动板带动活动压板下压按压开关触发对报警器的控制，通过报警器提示药液不足，以便于及时添加药液。

优点三：本发明所述一种用于切割机智能自动加药机构，通过在去离子切割水箱和清洗液箱的水箱底部分别安装了第二流量控制阀，通过第二流量控制阀对去离子切割水箱和清洗液箱的水箱内的流量进行调节控制，对去离子水和清洗液的混合比例进行调节，且在进水管处安装了第一流量控制阀，通过第一流量控制阀对纯净水的进水流量进行控制，使采用外部去离子水的供水方式时，对去离子水的流量进行控制，进而实现根据芯片的表面污渍对去离子水和清洗液的混合比例调节，减少清洗液使用量的同时保证了芯片的的去污效果。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明的药液混合结构剖面图；

图3是本发明的去离子切割水箱结构示意图；

图4是本发明的去离子切割水箱结构剖面图；

图5是本发明的药液添加控制结构剖面图；

图6是本发明的三段式气缸组件结构示意图；

图7是本发明的三段式气缸组件结构剖面图；

图8是本发明的限位管结构剖面图；

图9是本发明的换向阀结构剖面图。

其中：箱体-1、箱盖-2、控制器-3、进水接口-4、出液接口-5、药液混合结构-6、去离子切割水箱-7、清洗液箱-8、报警器-11、药液添加控制结构-61、导管-62、三通管-63、进水管-64、水泵-65、第一流量控制阀-66、混合管道-67、过滤器-641、水箱-71、支板-72、活动板-73、限位环-74、加液管-75、活动压板-76、密封盖-77、按压开关-78、第二流量控制阀-79、单向阀-710、连接管-711、三段式气缸组件-611、换向阀结构-612、气泵-613、第一四通管件-614、空气过滤器-615、排气口-616、第二四通管件-617、左缸体-6111、右缸体-6112、进气管-6113、排气管-6114、左限位板-6115、右限位板-6116、第一活塞板-6117、限位管-6118、活动杆-6119、第二活塞板-61110、活塞杆-61111、外壳-6121、第一进流口-6122、第二进流口-6123、出流口-6124、活动封堵板-6125、连接杆-6126、第一回流管-6127、第二回流管-6128、电磁阀-61131。

具体实施方式

下面将结合附图1-9对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一；

请参阅图1，本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，包括箱体1、药液混合结构6、去离子切割水箱7和清洗液箱8，所述箱体1前端面设置有箱盖2，且箱盖2前端安装有控制器3，所述箱体1左端底部设置有进水接口4和出液接口5，所述箱体1内中部设置有药液混合结构6，所述箱体1顶端壁左右两侧分别安装有去离子切割水箱7和清洗液箱8，且去离子切割水箱7和清洗液箱8与箱体1顶端壁固定连接。

请参阅图2，本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，药液混合结构6包括药液添加控制结构61、导管62、三通管63、进水管64、水泵65、第一流量控制阀66和混合管道67，药液添加控制结构61底端与导管62相连接，导管62底端与三通管63相连接，三通管63左端与进水管64相连接，三通管63底端通过连接管与水泵65的抽取端口相连接，且水泵65底端的输出端口通过连接管与混合管道67相连接，三通管63左端与进水管64相连接，进水管64中部安装有第一流量控制阀66，进水管64左端与进水接口4，混合管道67左端与出液接口5相连接，药液添加控制结构61顶端分别与去离子切割水箱7和清洗液箱8相连接。

请参阅图3-4，本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，去离子切割水箱7和清洗液箱8结构一致，去离子切割水箱7包括水箱71、支板72、活动板73、限位环74、加液管75、活动压板76、密封盖77、按压开关78、第二流量控制阀79、单向阀710和连接管711，水箱71顶端与支板72固定连接，水箱71内部嵌入有活动板73，支板72顶端中部固定有限位环74，加液管75底部贯穿限位环74、活动板73伸入至水箱71内与活动板73相连接，加液管75顶端贯穿活动压板76，且活动压板76内壁与加液管75固定连接，加液管75顶端与密封盖77螺纹锁固，水箱71底端与第二流量控制阀79相连接，且第二流量控制阀79底端与单向阀710相连接，单向阀710底端与连接管711一端相连接，且连接管711另一端与药液添加控制结构61相连接，支板72底端与箱体1顶端壁固定连接，加液管75底端贯穿活动板73，活动板73与水箱71内壁贴合，通过加液管75对活动板73底部的水箱71内添加药液，且使活动板73跟随药液的液位进行升降。

请参阅图5，本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，药液添加控制结构61包括三段式气缸组件611、换向阀结构612、气泵613、第一四通管件614、空气过滤器615、排气口616和第二四通管件617，三段式气缸组件611右端与换向阀机构612相连接，气泵613右端的输出端口与第一四通管件614相连接，气泵613左端的输入端口与空气过滤器615相连接，第二四通管件617左端与排气口616相连接，第一四通管件614和第二四通管件617右端均与三段式气缸组件611相连接，换向阀结构612顶端分别与去离子切割水箱7和清洗液箱8相连接，换向阀结构612底端与导管62相连接，空气过滤器615和排气口616均安装于箱体1左端壁。

请参阅图6-8，本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，三段式气缸组件611包括左缸体6111、右缸体6112、进气管6113、排气管6114、左限位板6115、右限位板6116、第一活塞板6117、限位管6118、活动杆6119、第二活塞板61110和活塞杆61111，左缸体6111和右缸体6112为一体成型机构，且左缸体6111和右缸体6112连接处相贯通，左缸体6111内部上下两侧壁中部均固定有左限位板6115，右缸体6112内部上下两侧壁右侧均固定有右限位板6116，左缸体6111内部右侧嵌入有第一活塞板6117，第一活塞板6117右端中部与限位管6118固定连接，限位管6118右端与活动杆6119相互插接，活动杆6119右端与第二活塞板61110固定连接，第二活塞板61110右端中部与活塞杆61111固定连接，活塞杆61111右端贯穿右缸体6112右端伸出与换向阀结构612相连接，左缸体6111顶端左侧以及右缸体6112顶端左右两侧分别连接有进气管6113，左缸体6111底端左侧以及右缸体6112底端左右两侧分别连接有排气管6114，进气管6113左端与第一四通管件614相连接，排气管6114左端与第二四通管件617相连接，左缸体6111内部的长度和宽度均大于右缸体6112内部的长度和宽度，且左缸体6111和右缸体6112内壁分别与第一活塞板6117和第二活塞板61110贴合，使第一活塞板6117和和第二活塞板61110位于左缸体6111和右缸体6112内壁进行滑动，且使第一活塞板6117向右移动时通过左缸体6111内部右侧壁进行支撑，对第一活塞板6117的右移距离进行限制，左限位板6115与左缸体6111内部左侧壁之间的直线距离大于进气管6113和排气管6114的外径，且左限位板6115与左缸体6111内部左侧壁之间的直线距离与右限位板6116右侧与右缸体6112内部右侧壁之间的直线距离一致，通过左限位板6115对第一活塞板6117的左移距离进行限制，且使左缸体6111上下两侧左端的进气管6113和排气管6114对第一活塞板6117左侧进行进气或排气时，控制第一活塞板6117进行左移和右移，通过右限位板6116对第二活塞板61110的右移距离距离进行限制，避免第二活塞板61110移动至右缸体6112上下两侧右端的进气管6113和排气管6114右侧或对其进行遮挡封堵，活动杆6119表面呈光滑状，且限位管6118内壁与活动杆6119贴合，使第二活塞板61110相对第一活塞板6117位置移动时，活动杆6119沿限位管6118内壁滑动，增加第二活塞板61110的移动稳固效果，进气管6113和排气管6114均设置有三根，且三根进气管6113和排气管6114中部分别设置有电磁阀61131，通过电磁阀61131分别对三根进气管6113和排气管6114的进气以及排气进行控制。

请参阅图9，本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，换向阀结构612包括外壳6121、第一进流口6122、第二进流口6123、出流口6124、活动封堵板6125、连接杆6126、第一回流管6127和第二回流管6128，外壳6121顶端中部设置有第一进流口6122，外壳6121顶端右侧设置有第二进流口6123，外壳6121底端设置有出流口6124，外壳6121内部嵌入有活动封堵板6125，活动封堵板6125左端与连接杆6126固定连接，外壳6121顶端左侧和右侧分别连接有第一回流管6127和第二回流管6128相连接，第一回流管6127顶端与去离子切割水箱7的连接管711相连接，第二回流管6128顶端与清洗液箱8的连接管711相连接，第一进流口6122和第二进流口6123顶端分别与离子切割水箱7和清洗液箱8的连接管711相连接，出流口6124与导管62相连接，连接杆6126左端与活塞杆61111固定连接。

实施例二；

本发明的一种用于切割机智能自动加药机构，活动封堵板6125表面呈光滑状，且外壳6121内壁与活动封堵板6125贴合，使活动封堵板6125移动对外壳6121内部的药液流通方向进行限制，进水管64的第一流量控制阀66与水泵65连接处设置有过滤器641，用于对纯净水进行过滤，避免纯净水中存在的杂质影响芯片的清洗效果，箱体1顶端设置有报警器11，使去离子切割水箱7、清洗液箱8内的药液不足时活动压板76下压按压开关78，触发报警器78提示药液不足，以便于及时添加药液。

本发明通过改进提供一种用于切割机智能自动加药机构，其工作原理如下；

第一，在使用前，首先将该装置的箱体1放置在所需的平面位置上，然后后需要根据使用者需要进行药液的添加，且将出液接口5通过管道与芯片的清洗设备进行连接，然后需要控制器3的接电端口与外部电源相连接，作为供电；

使用方式1：通过在去离子切割水箱7和清洗液箱8的水箱71内分别添加去离子水以及清洗液，将进水接口4与外部纯净水供水管道进行连接，对芯片进行去污时，在需要使用去离子水和清洗液的混合药液进行时，此时进水管64的第一流量控制阀66闭合，通过去离子切割水箱7和清洗液箱8的水箱71底部的第二流量控制阀79对去离子水以及清洗液的流量进行调节控制，对去离子水和清洗液的混合比例进行调节且通过三段式气缸组件611控制换向阀结构612将去离子切割水箱7和清洗液箱8的连接管711同时与导管62接通，控制水泵65产生动力对去离子水和清洗液进行抽取，且输送至混合管道67内进行混合后经出液接口5输送至安装于芯片切割机上的清洗设备进行供水，通过清洗设备对切割机切割的芯片进行清洗；

使用方式2：采用与使用方式1相同的药液添加和管路连接方式，对于使用纯净水即可进行清洗的芯片时，此时去离子切割水箱7和清洗液箱8的第二流量控制阀79闭合，进水管64的第一流量控制阀66打开，通过控制水泵65对纯净水进行抽取，纯净水经过滤器641过滤后通过水泵65和混合管道67输送出对外部芯片清洗设备进行供水，对无需使用去离子水和清洗液的芯片表面冲洗，减少了去离子水和清洗液的使用量；

使用方式3：在需要采用往纯净水中添加清洗液的清洗方式时，采用与使用方式1相同的药液添加和管路连接方式，通过第一流量控制阀66对进水管64内纯净水的流量进行控制，且通过三段式气缸组件611控制换向阀结构612将去清洗液箱8的连接管711与导管62单独接通，通过清洗液箱8底部的第二流量控制阀79对清洗液的流量进行控制，进而对清洗液和纯净水的混合比例进行调节，控制水泵65产生动力对纯净水和清洗液进行抽取，输送至混合管道67内进行混合后经出液接口5输送至安装于芯片切割机上的清洗设备进行供水，通过清洗设备对切割机切割的芯片进行清洗；

使用方式4：在清洗液箱8内添加清洗液，将进水接口与去离子水的供水管道进行连接，实现外部去离子水的供水方式，通过进水管64的第一流量控制阀66对去离子水的流量进行调节以及控制，且通过第二流量控制阀79的清洗液箱8内清洗液的流量进行调节以及控制，实现外部去离子水的供水方式，且进行去离子水和清洗液混合比例调节的同时可进行去离子水的单独供水。

第二，去离子切割水箱7和清洗液箱8使用时，需要对水箱71内进行加液时，通过打开密封盖77，通过加液管75对活动板73以下的水箱71内部进行加液，且液位上升时，活动板73跟随液位进行上升，且可手动向上拉伸加液管75，辅助活动板73上升，避免注液压力不足时活动板73无法上升，药液添加完成后，通过密封盖77将加液管75顶端进行密封，水箱71内的药液使用时，液位下降，活动板73跟随液位进行下降，活动板73带动加液管75和活动压板76向下移动，通过活动压板76下压按压开关78触发对报警器11的控制，通过报警器11提示药液不足，以便于及时添加药液；

第三，三段式气缸组件611和换向阀结构612使用时，通过气泵613产生动力经第一四通管件614对三段式气缸组件611的左缸体6111顶端左侧以及右缸体6112顶端左右两侧的进气管6113进行进气控制，左缸体6111底端左侧以及右缸体6112底端左右两侧分别连接有排气管6114，左缸体6111和右缸体6112内部气体通过排气管6114经第二四通管件617后再经排气口616排出，且三根进气管6113以及排气管6114上分别安装有电磁阀61131，对每根进气管6113和排气管6114的进气以及排气进行单独控制，进而对左缸体6111内部左侧的进气排气以及右缸体6112内部左右两侧的进气和排气进行分别控制，对清洗液箱8的连接管711与导管62单独接通时，控制左缸体6111顶端左侧的进气管6113的电磁阀61131打开，左缸体6111底部左侧的排气管6114的电磁阀61131打开，然后控制气泵613通过左缸体6111顶端左侧的进气管6113对左缸体6111内部左侧进行进气，使第一活塞板6117向右移动至左缸体6111内部右侧，且第一活塞板6117带动限位管6118、活动杆6119、第二活塞板61110和活塞杆61111同时向右移动，活塞杆6111通过连接杆6126推动活动封堵板6125移动至与去离子切割水箱7的连接管711连接处的第一进流口6122进行封堵，移动控制完成后，左所有进气管6113和排气管6114的电磁阀61131闭合，避免第一活塞板6117和第二活塞板61110移动，使清洗液箱8的连接管711与导管62单独接通，然后再通过对右缸体6112内部左侧进气进气，且右缸体6112内部有进行排气，使第二活塞板61110向右移动，且第二活塞板61110带动活动杆6119沿限位管6118表面向右移动，使第二活塞板61110移动至右缸体6112内部右侧，第二活塞板61110通过活塞杆61111和连接杆6126推动活动封堵板6125移动至第二进流口6123进行封堵，使去离子切割水箱7的连接管711与导管62单独接通，且外壳6121内部右侧的清洗液受挤压通过第二回流管6128回流至清洗液箱8的连接管711内，在对去离子切割水箱7和清洗液箱8的连接管711同时与导管62接通时，通过控制右缸体6112内部右侧进气，且右缸体6112内部左侧以及左缸体6111内部左侧排气，使第一活塞板6117移动至左缸体6111内部左侧，且第二活塞板61110移动至右缸体6112内部左侧，带动活动封堵板6125移动至外壳6121内部左端，活动封堵板6125挤压外壳6125内部左侧的清洗液通过第一回流管6127进入至去离子切割水箱7的连接管711内，断开活动封堵板6125对第一进流口6122、第二进流口6123的封堵，使去离子切割水箱7和清洗液箱8的连接管711同时与导管62接通时，且采用三段式气缸组件611对换向阀结构612内的活动封堵板6125的移动进行控制，移动控制精度高。

本发明通过改进提供一种用于切割机智能自动加药机构，本发明所述一种用于切割机智能自动加药机构，通过设置了药液混合结构6，在药液混合结构6的水泵65抽取端通过三通管63连接了药液添加控制结构61和进水管64，药液添加控制结构61的换向阀结构612的进流端分别与去离子切割水箱7和清洗液箱8的连接管711进行连接，且在换向阀结构612左端设置了用于控制换向阀结构612连接流道更换的三段式气缸组件611，对换向阀结构612底部与去离子切割水箱7和清洗液箱8的连接管711的连接进行转换或进行同时连接，以便于根据对芯片表面污渍控制是否添加清洗液，减少清洗液的使用量，且采用三段式气缸组件611对换向阀结构612内的活动封堵板6125的移动进行控制，移动控制精度高，在需要采用简单的表面冲洗时，且控制进水管64的纯净水单独出水对芯片进行清洗，减少清洗成本，可在纯净水中添加清洗液的方式对芯片进行去污，或采用将进水接口与去离子水的供水管道进行连接，实现外部去离子水的供水方式，供给方式多，实用性高，通过设置了去离子切割水箱7和清洗液箱8，通过在去离子切割水箱7和清洗液箱8的水箱71内添加去离子水和清洗液进行储存备用，增加该加药机构的使用便捷性，避免了外接去离子水以及清洗液带来的管路连接以及位置移动的操作等不便，且水箱71内部设置有活动板73，活动板73跟随液位进行升降，水箱71内部液位下降至一定高度后，活动板73带动活动压板76下压按压开关78触发对报警器11的控制，通过报警器11提示药液不足，以便于及时添加药液，通过在去离子切割水箱7和清洗液箱8的水箱71底部分别安装了第二流量控制阀79，通过第二流量控制阀79对去离子切割水箱7和清洗液箱8的水箱71内的流量进行调节控制，对去离子水和清洗液的混合比例进行调节，且在进水管64处安装了第一流量控制阀66，通过第一流量控制阀66对纯净水的进水流量进行控制，使采用外部去离子水的供水方式时，对去离子水的流量进行控制，进而实现根据芯片的表面污渍对去离子水和清洗液的混合比例调节，减少清洗液使用量的同时保证了芯片的的去污效果。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种用于切割机智能自动加药机构，包括箱体(1)，所述箱体(1)前端面设置有箱盖(2)，且箱盖(2)前端安装有控制器(3)，所述箱体(1)左端底部设置有进水接口(4)和出液接口(5)；

其特征在于：还包括药液混合结构(6)、去离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)，所述箱体(1)内中部设置有药液混合结构(6)，所述箱体(1)顶端壁左右两侧分别安装有去离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)，且去离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)与箱体(1)顶端壁固定连接，所述药液混合结构(6)包括药液添加控制结构(61)、导管(62)、三通管(63)、进水管(64)、水泵(65)、第一流量控制阀(66)和混合管道(67)，所述药液添加控制结构(61)底端与导管(62)相连接，所述导管(62)底端与三通管(63)相连接，所述三通管(63)左端与进水管(64)相连接，所述三通管(63)底端通过连接管与水泵(65)的抽取端口相连接，且水泵(65)底端的输出端口通过连接管与混合管道(67)相连接，所述三通管(63)左端与进水管(64)相连接，所述进水管(64)中部安装有第一流量控制阀(66)，所述进水管(64)左端与进水接口(4)，所述混合管道(67)左端与出液接口(5)相连接，所述药液添加控制结构(61)顶端分别与去离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)相连接。

2.根据权利要求1所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述去离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)结构一致，所述去离子切割水箱(7)包括水箱(71)、支板(72)、活动板(73)、限位环(74)、加液管(75)、活动压板(76)、密封盖(77)、按压开关(78)、第二流量控制阀(79)、单向阀(710)和连接管(711)，所述水箱(71)顶端与支板(72)固定连接，所述水箱(71)内部嵌入有活动板(73)，所述支板(72)顶端中部固定有限位环(74)，所述加液管(75)底部贯穿限位环(74)、活动板(73)伸入至水箱(71)内与活动板(73)相连接，所述加液管(75)顶端贯穿活动压板(76)，且活动压板(76)内壁与加液管(75)固定连接，所述加液管(75)顶端与密封盖(77)螺纹锁固，所述水箱(71)底端与第二流量控制阀(79)相连接，且第二流量控制阀(79)底端与单向阀(710)相连接，所述单向阀(710)底端与连接管(711)一端相连接，且连接管(711)另一端与药液添加控制结构(61)相连接，所述支板(72)底端与箱体(1)顶端壁固定连接。

3.根据权利要求1所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述药液添加控制结构(61)包括三段式气缸组件(611)、换向阀结构(612)、气泵(613)、第一四通管件(614)、空气过滤器(615)、排气口(616)和第二四通管件(617)，所述三段式气缸组件(611)右端与换向阀机构(612)相连接，所述气泵(613)右端的输出端口与第一四通管件(614)相连接，所述气泵(613)左端的输入端口与空气过滤器(615)相连接，所述第二四通管件(617)左端与排气口(616)相连接，所述第一四通管件(614)和第二四通管件(617)右端均与三段式气缸组件(611)相连接，所述换向阀结构(612)顶端分别与去离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)相连接，所述换向阀结构(612)底端与导管(62)相连接，所述空气过滤器(615)和排气口(616)均安装于箱体(1)左端壁。

4.根据权利要求3所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述三段式气缸组件(611)包括左缸体(6111)、右缸体(6112)、进气管(6113)、排气管(6114)、左限位板(6115)、右限位板(6116)、第一活塞板(6117)、限位管(6118)、活动杆(6119)、第二活塞板(61110)和活塞杆(61111)，所述左缸体(6111)和右缸体(6112)为一体成型机构，且左缸体(6111)和右缸体(6112连接处相贯通，所述左缸体(6111)内部上下两侧壁中部均固定有左限位板(6115)，所述右缸体(6112)内部上下两侧壁右侧均固定有右限位板(6116)，所述左缸体(6111)内部右侧嵌入有第一活塞板(6117)，所述第一活塞板(6117)右端中部与限位管(6118)固定连接，所述限位管(6118)右端与活动杆(6119)相互插接，所述活动杆(6119)右端与第二活塞板(61110)固定连接，所述第二活塞板(61110)右端中部与活塞杆(61111)固定连接，所述活塞杆(61111)右端贯穿右缸体(6112)右端伸出与换向阀结构(612)相连接，所述左缸体(6111)顶端左侧以及右缸体(6112)顶端左右两侧分别连接有进气管(6113)，所述左缸体(6111)底端左侧以及右缸体(6112)底端左右两侧分别连接有排气管(6114)，所述进气管(6113)左端与第一四通管件(614)相连接，所述排气管(6114)左端与第二四通管件(617)相连接。

5.根据权利要求3所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述换向阀结构(612)包括外壳(6121)、第一进流口(6122)、第二进流口(6123)、出流口(6124)、活动封堵板(6125)、连接杆(6126)、第一回流管(6127)和第二回流管(6128)，所述外壳(6121)顶端中部设置有第一进流口(6122)，所述外壳(6121)顶端右侧设置有第二进流口(6123)，所述外壳(6121)底端设置有出流口(6124)，所述外壳(6121)内部嵌入有活动封堵板(6125)，所述活动封堵板(6125)左端与连接杆(6126)固定连接，所述外壳(6121)顶端左侧和右侧分别连接有第一回流管(6127)和第二回流管(6128)相连接，所述第一回流管(6127)顶端与去离子切割水箱(7)的连接管(711)相连接，所述第二回流管(6128)顶端与清洗液箱(8)的连接管(711)相连接，所述第一进流口(6122)和第二进流口(6123)顶端分别与离子切割水箱(7)和清洗液箱(8)的连接管(711)相连接，所述出流口(6124)与导管(62)相连接，所述连接杆(6126)左端与活塞杆(61111)固定连接。

6.根据权利要求2所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述加液管(75)底端贯穿活动板(73)，所述活动板(73)与水箱(71)内壁贴合。

7.根据权利要求4所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述左缸体(6111)内部的长度和宽度均大于右缸体(6112)内部的长度和宽度，且左缸体(6111)和右缸体(6112)内壁分别与第一活塞板(6117)和第二活塞板(61110)贴合。

8.根据权利要求4所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述左限位板(6115)与左缸体(6111)内部左侧壁之间的直线距离大于进气管(6113)和排气管(6114)的外径，且左限位板(6115)与左缸体(6111)内部左侧壁之间的直线距离与右限位板(6116)右侧与右缸体(6112)内部右侧壁之间的直线距离一致。

9.根据权利要求4所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述活动杆(6119)表面呈光滑状，且限位管(6118)内壁与活动杆(6119)贴合。

10.根据权利要求4所述一种用于切割机智能自动加药机构，其特征在于：所述进气管(6113)和排气管(6114)均设置有三根，且三根进气管(6113)和排气管(6114)中部分别设置有电磁阀(61131)。

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