CN219485373U - 一种抛光液回收装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及抛光设备技术领域，尤其是涉及一种抛光液回收装置，包括：座体，座体具有一承载腔，承载腔包括相互独立的第一区和第二区，第一区中开设有第一排液口，第二区中开设有第二排液口；第一排液口和/或第二排液口上设置有滤网；回收管，回收管具有第一端，第一端通至承载腔内，第一端具有在第一区和第二区之间移动的移动自由度，第一端在第一区和第二区之间移动形成有第一状态和第二状态，在第一状态下，第一端位于第一区上，抛光液经过回收管进入第一区内；在第二状态下，第一端位于第二区上，抛光液经过回收管进入第二区内。解决了抛光液消耗量较大的技术问题，达到降低抛光液消耗量的技术效果。

Description

一种抛光液回收装置

技术领域

本申请涉及抛光设备技术领域，尤其是涉及一种抛光液回收装置。

背景技术

化学机械抛光(CMP)是一种对半导体材料或是其它类型材料的衬底进行平坦化或是抛光的方法。广泛应用于集成电路(IC)制造业中。化学机械抛光是结合抛光液中化学溶液的腐蚀和磨粒的机械磨削双重作用，使硅晶片获得极高的平面度和平整度的一项工艺。

现有技术中，在硅片的制造过程中，一般需要经过多道抛光工序。其中常用工艺中抛光液的消耗量较大，是成本占比较大的一种耗材，因此对于抛光液的回收再用可以产生比较可观的经济效益，而现有技术中抛光液在经过抛光之后直接排出，并没有采取回收措施，造成资源的浪费。

因此，现有技术的技术问题在于：抛光液消耗量较大。

实用新型内容

本申请提供一种抛光液回收装置，解决了抛光液消耗量较大的技术问题，达到降低抛光液消耗量的技术效果。

本申请提供的一种抛光液回收装置，采用如下的技术方案：

一种抛光液回收装置，包括：座体，所述座体具有一承载腔，所述承载腔包括相互独立的第一区和第二区，所述第一区中开设有第一排液口，所述第二区中开设有第二排液口；所述第一排液口和/或所述第二排液口上设置有滤网；回收管，所述回收管具有第一端，所述第一端通至所述承载腔内，所述第一端具有在所述第一区和所述第二区之间移动的移动自由度，所述第一端在所述第一区和所述第二区之间移动形成有第一状态和第二状态，在第一状态下，所述第一端位于所述第一区上，抛光液经过所述回收管进入所述第一区内；在第二状态下，所述第一端位于所述第二区上，抛光液经过所述回收管进入所述第二区内。

作为优选，所述座体具有一窗口，所述窗口与所述承载腔连通，所述回收管通过所述窗口进入所述承载腔。

作为优选，还包括：驱动组件，所述驱动组件连接于所述座体上，并作用于所述回收管上，所述驱动组件用于驱动所述回收管的第一端移动，使得所述第一端在第一状态和第二状态之间切换。

作为优选，所述驱动组件包括：气缸，所述气缸固定连接于所述座体；连接杆，所述连接杆连接于所述气缸的输出端与所述回收管的第一端之间。

作为优选，还包括排液组件，所述排液组件包括：排液管，所述排液管连接所述第一排液口；泵体，所述泵体连接于所述排液管上，用于驱动抛光液流动。

作为优选，所述排液组件还包括：液位传感器，所述液位传感器连接于所述排液管上，用于检测所述排液管内液体的液位。

作为优选，所述第一排液口上设置有滤网，所述滤网具有一层或多层。

作为优选，所述第一区内设置有一滤槽，所述滤槽的底部具有第一滤网，所述第一滤网位于所述第一排液口的正上方；所述滤槽内设置有第二滤网，所述第二滤网布置于所述第一滤网上。

作为优选，所述座体具有一罩体，所述罩体内形成所述承载腔。

作为优选，所述回收管的第一端上具有一接头，所述接头的底部具有一出口，所述出口与所述回收管连通。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1、本申请所述的回收装置中具有用于接收抛光液的承载腔，在承载腔内分为第一区和第二区，通过回收管在第一区和第二区之间状态切换，针对不同的工况下对抛光液进行分区回收，使得回收的抛光液被分为废液和具有回收价值的抛光液，提高抛光液的利用率，解决了抛光液消耗量较大的技术问题，达到降低抛光液消耗量的技术效果。

2、本申请中通过气缸驱动回收管在第一区和第二区之间进行位置切换，提高抛光液分区回收的自动化程度，提高抛光液回收效率。

附图说明

图1是本申请所述抛光液回收装置的示意图；

图2是本申请所述抛光液回收装置的爆炸图；

图3是本申请所述抛光液回收装置的剖视图；

图4是本申请所述抛光液回收装置的驱动组件示意图。

附图标记说明：100、座体；110、窗口；120、承载腔；121、第一区；122、第一排液口；123、第二区；124、第二排液口；125、滤槽；1251、第一滤网；1252、第二滤网；130、罩体；200、回收管；210、第一端；220、接头；300、驱动组件；310、气缸；320、连接杆。

具体实施方式

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本申请实施例提供了一种抛光液回收装置，解决了抛光液消耗量较大的技术问题，达到降低抛光液消耗量的技术效果。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

本申请提供一种抛光液回收装置，用于对抛光设备中经抛光后的抛光液进行回收，如图1所示，回收装置包括排液组件、座体100、回收管200以及驱动组件300，排液组件用于第一区内抛光液的排液；座体100作为回收装置中各个部件的安装基础，用于容置抛光液；回收管200连接于排液组件和座体100之间，用于对抛光液的导流；驱动组件300用于驱动回收管200。

座体100，如图2、3所示，座体100作为回收装置中各个部件的安装基础，用于容置抛光液。座体100内具有一承载腔120，承载腔120用于接收来自回收管200的抛光液，其中，座体100的内部具有一隔板，隔板将承载腔120分为两个独立的第一区121和第二区123，第一区121和第二区123呈水平方向上并列布置，具体的，在第一区121内设置有第一排液口122，第二区123内设置有第二排液口124，第一排液口122和/或第二排液口124上设置有滤网，液体通过回收管200到达第一区121和第二区123内时，液体经过滤网过滤后排出，从而完成回收；滤网具有一层或多层结构，在一个实施例中，以第一区121为例，第一区121内设置有滤槽125，滤槽125的底部具有第一滤网1251，在滤槽125的内部设置有第二滤网1252，第二滤网1252位于第一滤网1251的正上方，使得抛光液进入第一区121后，经两层滤网结构滤过后从第一排液口122排出；当然，第二区123内同样可设置有上述滤网结构。

进一步的，如图2所示，座体100上具有一罩体130，罩体130位于座体100的顶部，在罩体130内形成承载腔120(第一区121和第二区123)，罩体130用于对座体100内部结构的保护，并防止其他杂质进入腔体内。

回收管200，如图3所示，回收管200连接于抛光设备和座体100之间，用于对抛光液的导流。回收管200连接于抛光设备和座体100之间，抛光液从抛光设备流经回收管200到达座体100内；回收管200具有第一端210，在第一端210上连接有接头220，接头220具有一出口，出口朝下设置，出口与回收管200连通，使得回收管200通入承载腔120内时能够向下排液。

值得说明的是，如图3所示，在座体100上具有一窗口110，窗口110与承载腔120连通，回收管200穿设经过该窗口110，使得第一端210进入到承载腔120中，回收管200具有在第一区121和第二区123之间移动的移动自由度，使得回收管200能够将液体导流至第一区121或第二区123内，具体的，回收管200在窗口110内移动而形成有第一状态和第二状态，在第一状态下，回收管200的第一端210移动至第一区121上，回收管200将液体导流至第一区121内；在第二状态下，回收管200的第一端210移动至第二区123上，回收管200将液体导流至第二区123内。

驱动组件300，如图4所示，驱动组件300用于驱动回收管200。驱动组件300连接于座体100上，并作用于回收管200上，使得回收管200具有在第一区121和第二区123之间移动的移动自由度，具体的讲，驱动组件300作用于第一端210上，使得第一端210受驱动而实现在第一状态和第二状态之间切换。驱动组件300包括气缸310和连接杆320，气缸310固定连接于座体100上，且气缸310呈水平布置；连接杆320连接于气缸310的输出端和回收管200的第一端210之间，在气缸310的伸缩驱动下，使得第一端210实现在第一区121和第二区123之间切换。

排液组件，排液组件用于第一区内抛光液的排液。排液组件连接于第一区的第一排液口上，抛片在抛光液作用下经过抛光后，抛光液流至第一区中等待回收；排液组件包括排液管、泵体以及液位传感器，排液管连接第一排液口；泵体连接于排液管上，用于抛光液在回收过程中提供动力，使得抛光液能够从第一区经过排液管到达外部回收桶中；液位传感器连接于排液管中，用于检测排液管内部液位高度，在一个实施例中，液位传感器的数量可以为多个；当排液管内的液位高度到达第一预设值时，最高位液位传感器触发反馈至控制模块，控制模块控制泵体工作；当排液管的高度到达第二预设值时，最低位液位传感器触发反馈至控制模块，控制模块控制泵体停止工作；其中，控制模块可以为CPU或PLC等可编程逻辑控制器。

工作原理/步骤：

当抛光设备刚启动过程中，需要向抛光盘上注入纯水，此时流出的液体不具有回收价值，驱动组件300驱动回收管200的第一端210到达第二区123上，此时接收的液体直接通过第二排液口124排出；当在正常抛光过程中，需要向抛光盘上注入抛光液，此时流出的液体即为具有回收价值的抛光液，驱动组件300驱动回收管200的第一端210到达第一区121上，此时接收的液体进入到第一区121，经过滤网过滤后，流经排液组件流至外部回收桶中；也可以将第一排液口122封堵，在第一区121内临时储存。

技术效果：

1、本申请所述的回收装置中具有用于接收抛光液的承载腔120，在承载腔120内分为第一区121和第二区123，通过回收管200在第一区121和第二区123之间状态切换，针对不同的工况下对抛光液进行分区回收，使得回收的抛光液被分为废液和具有回收价值的抛光液，提高抛光液的利用率，解决了抛光液消耗量较大的技术问题，达到降低抛光液消耗量的技术效果。

2、本申请中通过气缸310驱动回收管200在第一区121和第二区123之间进行位置切换，提高抛光液分区回收的自动化程度，提高抛光液回收效率。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种抛光液回收装置，其特征在于，包括：

座体(100)，所述座体(100)具有一承载腔(120)，所述承载腔(120)包括相互独立的第一区(121)和第二区(123)，所述第一区(121)中开设有第一排液口(122)，所述第二区(123)中开设有第二排液口(124)；所述第一排液口(122)和/或所述第二排液口(124)上设置有滤网；

回收管(200)，所述回收管(200)具有第一端(210)，所述第一端(210)通至所述承载腔(120)内，所述第一端(210)具有在所述第一区(121)和所述第二区(123)之间移动的移动自由度，所述第一端(210)在所述第一区(121)和所述第二区(123)之间移动形成有第一状态和第二状态，在第一状态下，所述第一端(210)位于所述第一区(121)上，抛光液经过所述回收管(200)进入所述第一区(121)内；在第二状态下，所述第一端(210)位于所述第二区(123)上，抛光液经过所述回收管(200)进入所述第二区(123)内。

2.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述座体(100)具有一窗口(110)，所述窗口(110)与所述承载腔(120)连通，所述回收管(200)通过所述窗口(110)进入所述承载腔(120)。

3.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，还包括：

驱动组件(300)，所述驱动组件(300)连接于所述座体(100)上，并作用于所述回收管(200)上，所述驱动组件(300)用于驱动所述回收管(200)的第一端(210)移动，使得所述第一端(210)在第一状态和第二状态之间切换。

4.根据权利要求3所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述驱动组件(300)包括：

气缸(310)，所述气缸(310)固定连接于所述座体(100)；

连接杆(320)，所述连接杆(320)连接于所述气缸(310)的输出端与所述回收管(200)的第一端(210)之间。

5.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，还包括排液组件，所述排液组件包括：

排液管，所述排液管连接所述第一排液口；

泵体，所述泵体连接于所述排液管上，用于驱动抛光液流动。

6.根据权利要求5所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述排液组件还包括：

液位传感器，所述液位传感器连接于所述排液管上，用于检测所述排液管内液体的液位。

7.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述第一排液口(122)上设置有滤网，所述滤网具有一层或多层。

8.根据权利要求7所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述第一区(121)内设置有一滤槽(125)，所述滤槽(125)的底部具有第一滤网(1251)，所述第一滤网(1251)位于所述第一排液口(122)的正上方；所述滤槽(125)内设置有第二滤网(1252)，所述第二滤网(1252)布置于所述第一滤网(1251)上。

9.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述座体(100)具有一罩体(130)，所述罩体(130)内形成所述承载腔(120)。

10.根据权利要求1所述的一种抛光液回收装置，其特征在于，所述回收管(200)的第一端(210)上具有一接头(220)，所述接头(220)的底部具有一出口，所述出口与所述回收管(200)连通。