CN115541583A - 承载装置、检测设备及承载装置的使用方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种承载装置、检测设备及使用方法。承载装置包括承载部及吹气部。承载部包括承载组件，承载组件用于支撑工件边缘以使工件固定于承载组件的承载面。吹气部与固定于承载面的工件的顶面形成第一腔室，吹气部设有第一气孔，第一气孔用于向第一腔室吹气，第一腔室具有出气口，出气口用于排出第一腔室中的气体，使工件的中心区域形成涡旋气流。本申请的承载装置中，利用吹气部的第一气孔朝第一腔室吹气，并使第一腔室内的气体从出气口排出，使得工件顶面的中心区域形成涡旋气流，使该中心区域范围内的气压小于承载装置外部的气压，工件的顶面和底面两侧存在气压差，避免工件的中心区域因为自身重力而发生形变，保证工件具有良好的平整度。

Description

承载装置、检测设备及承载装置的使用方法

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种承载装置、检测设备及承载装置的使用方法。

背景技术

半导体设备行业中，半导体工件的厚度在几十到几百微米之间不等，而有些工件背面不允许有硬接触，光学检测设备检测工件时，希望工件承载在承载装置上时，能够保持静止，并且工件不会发生变形和振动，以满足检测需求。因此，只能将工件的边缘承载于承载装置上，当工件厚度比较薄时，放置在承载装置上时，由于重力作用会产生较大下垂形变，这样的承载装置不能保证工件的平整度，从而影响检测设备对工件的检测精度。

发明内容

本申请实施方式提供一种承载装置、检测设备及承载装置的使用方法。

本申请实施方式的承载装置包括承载部及吹气部。所述承载部包括承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面。所述吹气部与固定于所述承载面的所述工件的顶面形成第一腔室，所述吹气部设有第一气孔，所述第一气孔用于向所述第一腔室吹气，所述第一腔室具有出气口，所述出气口用于排出所述第一腔室中的气体，使所述工件的中心区域形成涡旋气流。

在某些实施方式中，所述出气口包括所述第一腔室的与所述工件相对的开口，和/或，所述出气口包括位于所述吹气部的侧壁的第二气孔。

在某些实施方式中，所述第一气孔的吹气方向与所述第一气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角。

在某些实施方式中，所述第一气孔包括多个，多个所述第一气孔均匀分布于所述吹气部的侧壁。

在某些实施方式中，所述承载组件包括夹持件。所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘侧面或边缘顶面。所述夹持件被配置为在夹持位置和松弛位置移动，当所述夹持件位于所述夹持位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面或边缘顶面抵触。当所述夹持件位于所述松弛位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面及边缘顶面间隔。至少当所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘顶面时，所述承载组件还包括支撑件，所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。

在某些实施方式中，所述承载组件包括支撑件。所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。

在某些实施方式中，所述承载部还包括气浮组件。所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出，所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。

在某些实施方式中，所述气浮组件还包括与所述承载组件连接的连接件。所述连接件与所述工件的底面形成所述第二腔室。所述第一腔室和第二腔室分别位于所述工件的两侧。所述支撑件自所述连接件的侧壁向所述第二腔室的中心延伸且凸出于所述吹气部的侧壁。所述第三气孔位于所述连接件的侧壁，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述第二腔室内气压小于所述承载装置外部气压，且所述第一腔室内气压大于所述第二腔室内气压。

在某些实施方式中，所述承载装置还包括与所述泄气口连通的抽气设备，所述抽气设备用于对所述第二腔室进行抽气。

在某些实施方式中，所述泄气口包括位于所述连接件的侧壁的第四气孔，所述第四气孔用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外。

在某些实施方式中，所述泄气口包括位于所述第二腔室背离所述工件一侧的开孔。

在某些实施方式中，所述第四气孔包括多个，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心相对所述第三气孔的中心朝与所述第三气孔的吹气方向相反的一侧偏置。

在某些实施方式中，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心与所述第三气孔的中心在同一直线上。

在某些实施方式中，所述第三气孔的容积小于所述第四气孔的容积。

在某些实施方式中，所述第三气孔的吹气方向与所述第三气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角。

在某些实施方式中，所述第三气孔包括多个，多个所述第三气孔分布于所述连接件的侧壁，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第三气孔的中心与所述第一气孔的中心在同一直线上。

在某些实施方式中，所述承载部还包括底盘，所述承载组件与所述底盘连接，所述工件的底面及所述底盘之间的空间形成所述第二腔室。

在某些实施方式中，所述第三气孔位于所述底盘中，所述第三气孔的吹气方向与所述底盘的中心轴相交。

在某些实施方式中，所述泄气口还包括位于所述底盘中的第四气孔，所述泄气口用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外。

在某些实施方式中，所述承载组件还包括夹持件。所述连接件还包括容纳槽，所述夹持件位于所述容纳槽中，且所述夹持件与所述底盘或所述连接件可移动连接。

在某些实施方式中，所述承载部还包括底盘，所述底盘与所述承载组件连接，所述承载装置还包括驱动组件，所述驱动组件包括驱动件及升降杆，所述驱动件用于驱动所述升降杆相对所述底盘升降，以使所述工件穿过所述第一腔室后由所述承载组件固定于所述承载面。

在某些实施方式中，所述底盘设有通孔，所述升降杆的第一端与所述驱动件连接，所述升降杆的第二端至少部分收容于所述通孔，所述第一端与所述第二端相对，所述驱动件用于驱动所述升降杆伸出所述通孔并高于所述承载面，以使所述工件能够放置于所述第二端。所述驱动件还用于驱动所述升降杆下降，以使放置于所述第二端的所述工件承载于所述承载面，所述驱动件还用于驱动所述升降杆继续下降，以使至少部分所述升降杆保持位于所述通孔内。

在某些实施方式中，所述支撑件包括多个，每个所述支撑件位于相邻两个所述第四气孔之间。

本申请实施方式的检测设备包括检测装置及上述任意一实施方式所述的承载装置，所述检测装置与所述承载装置对应，并用于对固定在所述承载面上的工件进行检测。

本申请实施方式的承载装置的使用方法包括：放置工件于承载部的承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面。利用吹气部的第一气孔朝第一腔室内吹气，使所述工件的中心区域形成涡旋气流，所述吹气部与承载于所述承载面的所述工件的顶面形成所述第一腔室。

在某些实施方式中，所述承载部还包括气浮组件。所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出。放置工件于承载部的支撑件之后，所述使用方法还包括：通过所述第三气孔向所述第二腔室吹气，并通过所述泄气口排出所述第二腔室中的气体，使所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。

在某些实施方式中，所述放置工件于承载部的支撑件，包括：利用驱动件驱动升降杆伸出所述底盘的通孔并高于所述承载面。放置所述工件于所述升降杆的第二端。利用所述驱动件驱动所述升降杆下降，以使放置于所述第二端的所述工件穿过所述第一腔室承载于所述承载面。利用所述驱动件驱动所述升降杆继续下降，以使所述升降杆脱离所述工件，并使至少部分所述升降杆保持位于所述通孔内。

本申请的承载装置、检测设备及承载装置的使用方法中，承载组件支撑工件的边缘并将工件固定于承载组件的承载面，此时，吹气部与固定于承载面的工件的顶面形成第一腔室，利用吹气部的第一气孔朝第一腔室吹气，并使第一腔室内的气体从出气口排出，使得工件顶面的中心区域形成涡旋气流，从而该中心区域范围内的气压小于承载装置外部的气压，工件的顶面和底面两侧存在气压差，由此可避免工件的中心区域因为自身重力而发生形变，保证工件具有良好的平整度，提高检测设备对工件的检测精度。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的承载装置的立体结构示意图；

图2是图1所示的承载装置中II处的放大示意图；

图3是本申请某些实施方式的承载装置的立体结构示意图；

图4是本申请某些实施方式的承载装置中的工件顶面的中心区域形成涡旋气流的示意图；

图5是本申请某些实施方式的承载装置中的夹持件抵触工件的边缘侧面的结构示意图；

图6是本申请某些实施方式的承载装置中的夹持件抵触工件的边缘顶面的结构示意图；

图7是本申请某些实施方式的承载装置中的连接件与吹气部连接的结构示意图；

图8是本申请某些实施方式的承载装置的结构示意图；

图9是图8所示的承载装置沿IX-IX线的剖面示意图；

图10是本申请某些实施方式的承载装置中的底盘开设有第三气孔和第四气孔的结构示意图；

图11是本申请某些实施方式的检测设备的立体结构示意图；

图12至图14是本申请某些实施方式的承载装置的使用方法的流程图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

请参阅图1及图2，本申请实施方式的承载装置100包括承载部10及吹气部30。承载部10包括承载组件11，承载组件11用于支撑工件200的边缘201以使工件200固定于承载组件11的承载面111。吹气部30与承载于承载面111的工件200的顶面203形成第一腔室20，吹气部30设有第一气孔31，第一气孔31用于向第一腔室20吹气，第一腔室20具有出气口21，出气口21用于排出第一腔室中的气体，使工件200的中心区域形成涡旋气流。

请参阅图5及图6，需要说的是，承载面111为用于设置工件200的虚拟的面。本实施例中，承载组件11包括支撑件113，支撑件113支撑工件200的边缘底面205，支撑件113与工件200的边缘底面205的接触面所在平面为承载面111。在其他实施例中，承载组件11用于夹持工件200的边缘侧面207，则承载组件11固定工件200后工件200的底面205所在的面为承载面111。

其中，工件200包括但不限于为晶圆、芯片、陶瓷基片、显示屏面板、手机前盖、手机后盖、VR眼镜、AR眼镜、智能手表盖板、玻璃、透镜、任何装置的壳体(例如手机壳)等元件。本申请仅以工件200是晶圆为例进行详细说明，工件200为其他类型元件时的情形与晶圆类似，不详细展开说明。其中，工件200的边缘201可为工件200外围不需要进行工艺处理的部分，其余部分则为工件200的中心区域。

半导体设备行业中，半导体工件200的厚度在几十到几百微米之间不等，而有些工件200背面(如工件200的底面205)不允许有硬接触，光学检测设备1000(图11所示)检测工件200时，希望工件200承载在承载装置100上时，能够保持静止，并且工件200不会发生变形和振动，以满足检测需求。因此，只能将工件200的边缘201承载于承载装置100上，当工件200厚度比较薄时，放置在承载装置100上时，由于重力作用会产生较大下垂形变，这样的承载装置100不能保证工件200的平整度，从而影响检测设备1000对工件200的检测精度。

请继续参阅图1及图2，本申请的承载装置100中，承载组件11支撑工件200的边缘201并将工件200固定于承载组件11的承载面111，此时，吹气部30与固定于承载面111的工件200的顶面203形成第一腔室20，利用吹气部30的第一气孔31朝第一腔室20吹气，并使第一腔室20内的气体从出气口21排出，使得工件200的顶面203的中心区域形成涡旋气流(如图4中的虚线箭头所示)，从而该中心区域范围内的气压小于承载装置100外部的气压，由此可减小工件200的中心区域因为自身重力而发生形变，保证工件200具有良好的平整度，提高检测设备1000(图11所示)对工件200的检测精度。

承载部10的承载组件11用于承载工件200的边缘201，一方面，承载组件11仅接触工件200的底面205的边缘部分，不接触工件200的底面205的其余部分；另一方面，当工件200承载于承载部10的支撑组件11上时，承载组件11能够保证工件200保持静止不会发生振动，以满足检测需求。

请结合图2及图3，当工件200固定于承载面111上时，工件200的顶面203与吹气部30的侧壁形成第一腔室20。其中，第一腔室20的一侧具有出气口21，以便于第一腔室20内的气体从出气口21排出，也即是说，第一腔室20的一侧与外界连通；第一腔室20的另一侧为工件200的顶面203。第一腔室20的设置便于承载装置100在工件200的顶面203的中心区域形成涡旋气流，从而在一定程度上使固定于承载面111上的工件200因自身重力而发生的形变减小，增加工件200的平整度。

在某些实施方式中，吹气部30可以呈环形，具体可以为圆环形、三角形、矩形或多边形，吹气部30的具体形状可根据承载部10实际要承载的工件200的形状设定，具体地，本申请以吹气部30为圆环结构进行说明，吹气部30为其他形状的结构时与吹气部30为圆环结构时类似，在此不一一列举。

请结合图4，第一气孔31贯穿吹气部30的侧壁，为了保证利用第一气孔31朝第一腔室20吹气时，能够在工件200的顶面203的中心区域形成涡旋气流，第一气孔31的吹气方向oo1与第一气孔31处的切线方向oo2形成的夹角包括锐角。同样地，第一气孔31的吹气方向oo1与第一气孔31处的切线方向oo2形成的夹角也可包括钝角。也即是说，第一气孔31为斜孔，第一气孔31自吹气部30的外周面至吹气部30的内周面延伸的长度大于吹气部30的厚度，由此，承载装置100通过第一气孔31朝第一腔室20吹气，并将第一腔室20内的气体从第一腔室20的开口处排出至承载装置100的外部，从而能够在第一腔室20内形成涡旋气流(如图4中的虚线箭头所示)，以降低第一腔室20的气压。在一个实施例中，工件200的底面205的一侧的气压为大气压，第一腔室20的气压小于工件200的底面205的一侧的气压，工件200受到向上(自工件200的底面205至工件200的顶面203的方向)的作用力，发生形变的工件200在一定程度上能够变得平整，保证工件200的平整度满足要求。

在一个实施例中，第一气孔31的数量可为一个，承载装置100通过控制朝第一气孔31吹气的气流速度，以在第一腔室20内形成涡旋气流，从而使得发生形变的工件200在一定程度上能够变得平整，保证工件200的平整度满足要求。

在本申请的实施例中，第一气孔31可包括多个，多个第一气孔31均匀分布于吹气部30的侧壁。承载装置100利用多个第一气孔31朝第一腔室20吹气，能够更快形成涡旋气流，使得发生形变的工件200能够更快地变得平整，提高检测设备1000(图11所示)对工件200的检测效率。同时，多个第一气孔31均匀分布于吹气部30的侧壁，承载装置100利用多个第一气孔31朝第一腔室20吹气时，能够在第一腔室20内形成均匀稳定的涡旋气流，使得第一腔室20的气压能够保持在一个稳定的范围内，有利于发生形变的工件200达到检测设备1000(图11所示)要求的平整度。

在某些实施方式中，多个第一气孔31可以不均匀分布于吹气部30的侧壁，此时，每个第一气孔31可单独控制气流速度，以能够在第一腔室20内形成涡旋气流。

具体地，第一气孔31的截面形状可包括圆形、矩形或多边形。第一气孔31的截面形状还可以是其他形状，本申请对第一气孔31的截面形状不作限制，另外，本申请以第一气孔31的截面形状为圆形进行说明。

请参阅图5及图6，在某些实施方式中，承载组件11可包括夹持件112，夹持件112用于夹持工件200的边缘侧面207或边缘顶面203。在一个例子中，请参阅图5，夹持件112可用于夹持工件200的边缘侧面207。在另一个例子中，请参阅图6，支撑组件11还包括支撑件113，支撑件113用于支撑工件200的边缘底面205，夹持件112可用于夹持承载于承载面111上的工件200的边缘顶面203。

更进一步地，在某些实施方式中，夹持件112可被配置为在夹持位置和松弛位置移动，当夹持件112位于夹持位置时，夹持件112与工件200的边缘侧面207或边缘顶面203抵触。当夹持件112位于松弛位置时，夹持件112与工件200的边缘侧面207及边缘顶面203间隔。其中，至少当夹持件112用于夹持承载于承载面111的工件200的边缘顶面203时，承载组件11还包括支撑件113，支撑件113的承载面111用于支撑工件200边缘的底面205。

具体地，请参阅图5，当夹持件112夹持工件200的边缘侧面207时，吹气部30可开设有贯穿吹气部30的安装孔32，以将夹持件112安装于吹气部30的侧壁，并能够在承载装置100的径向(X方向)上移动，以选择性地在夹持位置时夹持工件200的边缘侧面207，或者在松弛位置时解除对工件200的夹持并可移动至第一腔室20以外，以不妨碍工件200移动至吹气部30内部或移动至吹气部30外部。

具体地，请参阅图6，当夹持件112夹持承载于承载面111的工件200的边缘顶面203时，吹气部30的上表面33可开设有安装孔32，以将夹持件112安装于吹气部30，并与工件200的边缘顶面203抵触。其中，在一个例子中，夹持件112可绕安装孔32的中心轴转动，以选择性地在夹持位置时夹持工件200的边缘顶面203，或者在松弛位置时解除对工件200的夹持并可转动至第一腔室20以外，从而不妨碍工件200移动至吹气部30内部或移动至吹气部30外部。在另一个例子中，夹持件112可沿着垂直于支撑面(Y方向)或平行于支撑面111的的方向移动，以选择性地在夹持位置时夹持工件200的边缘顶面203，或者在松弛位置时解除对工件200的夹持并可转动至第一腔室20以外，从而不妨碍工件200移动至吹气部30内部或移动至吹气部30外部。在再一个例子中，夹持件112可既能绕平行于承载面111且经过承载面111中心的轴转动，又能沿着垂直于支撑面111(Y方向)或平行于支撑面111的X方向移动往复移动，以选择性地在夹持位置时夹持工件200的边缘顶面203，或者在松弛位置时解除对工件200的夹持并可转动至第一腔室20以外，从而不妨碍工件200移动至吹气部30内部或移动至吹气部30外部。在夹持件112夹持工件200的边缘顶面203时，承载组件11还可包括支撑件113，支撑件113安装于吹气部30的下表面34并朝第一腔室20内延伸，以用于支撑工件200的边缘底面205。其中，支撑件113的上表面1131为承载面111。支撑件113可以是一个圆环，整个圆环与吹气部30连接；或者支撑件113包括多个，例如，支撑件113包括两个、三个或三个以上，每个支撑件113为一个凸块，多个支撑件113相互间隔地安装于吹气部30的下表面34，以将工件200平稳地承载于承载面111上，最后再通过夹持件112抵触工件200的边缘顶面203，将工件200固定于承载面111上。在其他实施例中，承载组件11还可不包括支撑件113，承载装置100包括夹持件112。

在某些实施方式中，当承载装置100包括夹持件112且夹持件112用于夹持工件200的边缘侧面207时、或者当承载装置100不设有夹持件112时，承载组件11还可包括支撑件113，支撑件113用于支撑工件200的边缘底面205。其中，支撑件113的设置可与夹持件112夹持工件200的边缘顶面203时的情况一致，在此不再赘述。

请参阅图7，在某些实施方式中，承载部10还可包括气浮组件13，气浮组件13与工件200的底面205形成第二腔室40，气浮组件13包括连接件131、第三气孔132和泄气口133，第三气孔132用于向第二腔室40吹气，泄气口133用于使第二腔室40的气体排出，第二腔室40的气压小于第一腔室20的气压。

具体地，连接件131与承载组件11连接，例如，连接件131与支撑件113固定连接，连接件131的侧壁与工件200的底面205形成第二腔室40，第一腔室20与第二腔室40分别位于工件200的两侧(顶面203所在的一侧和底面205所在的一侧)。支撑件113自连接件131的侧壁向第二腔室20的中心延伸且凸出于吹气部30的侧壁。

在一个实施例中，支撑件113自连接件131的外周面1311向第二腔室40的中心延伸并凸出于吹气部30的侧壁，支撑件113位于连接件131和吹气部30之间，以便于将工件200放置于支撑件113上，并使工件200分隔开第一腔室20和第二腔室40。

在另一个实施例中，支撑件113自连接件131的外周面1311和内周面1312之间的侧壁向第二腔室40的中心延伸并凸出于吹气部30的侧壁，支撑件113位于连接件131和吹气部30之间，一方面，便于将工件200放置于支撑件113上，并使工件200分隔开第一腔室20和第二腔室40；另一方面，可在连接件131和吹气部30之间的没有支撑件113的部分安装其他部件(例如夹持件112)。

在再一个实施例中，支撑件113自连接件131的内周面1312向第二腔室40的中心延伸并凸出于吹气部30的侧壁，连接件131直接与吹气部30连接，便于将工件200放置于支撑件113上，并使工件200分隔开第一腔室20和第二腔室40，同时，能够有效减小承载装置100的体积。

请结合图3，在某些实施方式中，第三气孔132贯穿连接件131的侧壁，为了保证利用第三气孔132朝第二腔室40吹气时，能够在工件200的底面205的中心区域也能够形成涡旋气流，第三气孔132的具体结构与第一气孔31的结构相同，即，第三气孔132的吹气方向与第三气孔132处的切线方向形成的夹角包括锐角，同样地，第三气孔132的吹气方向与第三气孔132处的切线方向形成的夹角也可包括钝角。也即是说，第三气孔132也是斜孔，以便于承载装置100通过第三气孔132朝第二腔室40吹气时，能够在第二腔室40内形成涡旋气流。其中，第二腔室40内的气体从泄气口133排出至承载装置100外。同时，承载装置100通过调节第三气孔132的吹气速度，保证第二腔室40的气压小于承载装置100外部的气压，且使得第一腔室20内的气压大于第二腔室40内的气压。假设承载装置100外部的气压为P0，第一腔室20内的气压为P1，第二腔室40内的气压为P2，当工件200放置在承载面111上时，由于，P1>P2，最终工件200受到向下的吸附力，将工件200吸附于支撑件113上；另外，第一气孔31使第一腔室20形成涡旋气流，使工件200的顶面203的中心区域的气压小于边缘区域201的气压，从而使中心区域受到的向下的吸附力的减小程度大于边缘区域201受到的吸附力的减小程度，从而能够减小中心区域的变形，从而使得因自身重力而发生形变的工件200变得相较平整。

在某些实施方式中，第三气孔132的数量为一个，承载装置100通过控制朝第三气孔132吹气的气流速度，以在第二腔室40内形成涡旋气流，从而使得因自身重力而发生形变的工件200在一定程度上能够变得平整，保证工件200的平整度满足要求。

在本申请的实施例中，第三气孔132包括多个，多个第三气孔132均匀分布于连接件131的侧壁或者相互间隔地分布于连接件131的侧壁。承载装置100利用多个第三气孔132朝第二腔室40吹气，能够更快形成涡旋气流。同时，多个第三气孔132均匀分布于连接件131的侧壁，承载装置100利用多个第三气孔132朝第二腔室40吹气时，能够在第二腔室40内形成均匀稳定的涡旋气流，使得第二腔室40的气压能够保持在一个稳定的范围内，保证工件200的平整度达到检测设备1000(图11所示)要求。

请结合图3及图7，在本申请的实施例中，在垂直于承载面111的方向上，每个第三气孔132的中心与第一气孔31的中心在同一直线上，其中，第三气孔132的中心可以是指：完全填充进第三气孔132的第一实体时该第一实体的重心，第一气孔31的中心也可指：完全填充进第一气孔31的第二实体时该第二实体的重心，下文中其他孔的中心的解释如此相同，后续不再扩展解释。也即是说，第三气孔132与第一气孔31的开设位置保持一致，由此，在第一腔室20和第二腔室40均可形成稳定的涡旋气流，保证在工件200某一区域的顶面203和底面205均存在吹气后的气压，减小工件200因自身重力而发生的形变。

在其他的实施例中，在垂直于承载面111的方向上，每个第三气孔132的中心也可相对第一气孔31的中心朝与第一气孔31的吹气方向偏置，或者每个第三气孔132的中心相对第一气孔31的中心朝与第一气孔31的吹气方向相反的一侧偏置。也即是说，在垂直于承载面111的方向上，每个第三气孔132的中心与第一气孔31的中心不在同一直线上。此时，承载装置100可控制朝第一气孔31、第三气孔132吹气的时间，保证工件200同一处的顶面203和底面205均存在涡旋气流，避免工件200因自身重力而发生形变。

请结合图3及图7，在某些实施方式中，泄气口133可包括位于连接件131的侧壁的第四气孔1331，第四气孔1331用于将第二腔室40内的气体排出至第二腔室40外；和/或，泄气口133包括位于第二腔室40背离工件200一侧的开孔1332。也即是说，在一个例子中，请参阅图3，泄气口133可仅包括位于连接件131的侧壁的第四气孔1331，第二腔室40内的气体通过第四气孔1331排出至第二腔室40外。在另一个例子中，泄气口133可仅包括位于第二腔室40背离工件200一侧的开孔1332，即，第二腔室40的底部没有密封，第二腔室40内的气体通过开孔1332排出至第二腔室40外。在再一个例子中，请参阅图7，泄气口133既包括位于连接件131的侧壁的第四气孔1331和位于第二腔室40背离工件200一侧的开孔1332，第二腔室40内的气体可通过第四气孔1331和开孔1332同时排出至第二腔室40外。

在某些实施方式中，第四气孔1331可以是一个或者多个，优选地，第四气孔1331的数量为多个，多个第四气孔1331分布于连接件131的侧壁，每个第四气孔1331的中心相对连接件131上的第三气孔132的中心朝与第三气孔132的吹气方向相反的一侧偏置。或者，在垂直承载面111的方向上，每个第四气孔1331的中心与第三气孔132的中心在同一直线上。

在一个实施例中，在垂直承载面111的方向上，第三气孔132与第四气孔1331位于连接件131的侧壁的不同高度上，由此，当承载装置100朝第三气孔132吹气时，可避免吹进第二腔室40内的气体在还没形成涡旋气流时就直接从第四气孔1331排出，有利于在第二腔室40内形成涡旋气流。

在其他实施例中，第三气孔132与第四气孔1331位于连接件131的侧壁的同一高度上，此时，在承载面111的周向方向上，第四气孔1331与第三气孔132之间的距离较大，保证从第三气孔132吹进来的气体能够在第二腔室40内形成涡旋气流后，再将第二腔室40内的气体从第四气孔1331排出。

在某些实施方式中，第三气孔132的容积小于第四气孔1331的容积，以便于将第二腔室40内的气体快速排出至承载装置100外。

其中，第三气孔132的截面形状可包括圆形、矩形或多边形。第三气孔132的截面形状还可以是其他形状，本申请对第三气孔132的截面形状不作限制。同样地，第四气孔1331的截面形状也可包括圆形、矩形或多边形。第四气孔1331的截面形状也可以是其他形状，本申请对第四气孔1331的截面形状也不作限制。另外，在本申请的实施例中，第三气孔132的截面形状为圆形，而第四气孔1331的截面形状为矩形。

在某些实施方式中，承载装置100还可包括与泄气口133连接的抽气设备(图未示出)，抽气设备(例如抽气泵)用于对第二腔室40进行抽气，以将第二腔室40内的气体更快地排出，从而能提升平整度调整效率。

请参阅图8及图9，承载部10还可包括底盘15，承载组件11与底盘15连接，工件200的底面205与底盘15之间的空间形成第二腔室40，具体地，底盘15通过连接件131与承载组件11连接，底盘15能够承载连接件131和承载组件11，并密封第二腔室40。

请参阅图10，在某些实施方式中，第三气孔132可位于底盘15中，第三气孔132的吹气方向与底盘15的中心轴oo3平行或不相交，由此，承载装置100通过第三气孔132朝第二腔室40吹气时，并通过泄气口133泄气，从而在第二腔室40中形成气垫，根据伯努利效应，使第二腔室40内气压小于承载装置100外部气压，从而将工件吸附至支撑面111。

在一个实施例中，第二腔室40的气压小于第一腔室20气压，且第一腔室20气压小于承载装置100外部气压，能够减小工件200的顶面203中间区域压力，减小中间区域的变形的同时，使工件200吸附于支撑件113，从而保证工件200的稳定。

在另一些实施方式中，第三气孔132和第四气孔1331均位于底盘15上，且第四气孔1331相较于第三气孔132更靠近连接件131的侧壁，由此，承载装置100通过第三气孔132朝第二腔室40吹气时，吹气第二腔室40内的气体不会直接从第四气孔1331排出，有利于第二腔室40形成涡旋气流，降低第二腔室40的气压。

在再一些实施方式中，第四气孔1331位于连接件131的侧壁上，第三气孔132位于底盘15上，同样地，承载装置100通过第三气孔132朝第二腔室40吹气时，吹进第二腔室40内的气体停留在第二腔室40的时间更长，更有利于第二腔室40形成涡旋气流，降低第二腔室40的气压。

在本发明的其他实施例中，承载装置100包括支撑件113或夹持件112，不具有第三气孔132，则工件200的底面205的气压为大气压，第一气孔31使第一腔室20气压低于大气压，则第一腔室20气压小于工件200的底面205气压，特别是在中心区域形成涡旋气流的情况下，工件200中心区域的气压较低，从而能够使工件200的中心区域受到相反于重力的力，进而能够进一步减小中心区域的变形。

如图2所示，需要说明的是，第一腔室20具有出气口21，出气口21用于排出第一腔室20内的气体。以上实施例中，出气口21为第一腔室与工件200相对的开口211，工件200通过开口211放置于承载部10。

如图5所示，在本发明的另一实施例中，出气口21还包括位于吹气部30侧壁的第二气孔211。

在某些实施方式中，出气口21包括第一腔室20的与工件200相对的开口211和位于吹气部30的侧壁的第二气孔212，由此，能够加快对第一腔室20排气速度，承载装置100能够更快地在工件200的顶面203的中心区域形成涡旋气流。具体地，第二气孔212的容积可大于第一气孔31的容积，以便于加快对第一腔室20排气速度。

请参阅图7，在某些实施方式中，连接件131还可包括容纳槽1313，夹持件112位于容纳槽1313中，且夹持件112与底盘15或者连接件131可移动连接。例如，夹持件112依次通过吹气部30、连接件131的容纳槽1313安装于底盘15上，且夹持件112能够在垂直于承载面111的方向上移动。还例如，夹持件112依次通过吹气部30、连接件131的容纳槽1313安装于连接件131上，且夹持件112能够在垂直于承载面111的方向上移动。

请结合图7，在某些实施方式中，当第四气孔1331位于连接件131的侧壁上时，支撑件113包括多个，每个支撑件113位于相邻两个第四气孔1331之间。由此，当支撑件113自连接件131的外周面1311朝连接件113的内周面1312延伸并凸出于吹气部30时，不妨碍第四气孔1331连通第二腔室40和外界。

在一个实施例中，吹气部30、支撑件113、连接件131和底盘15为一体结构，使得承载装置100的连接结构简单。在另一个实施例中，吹气部30、支撑件113、连接件131和底盘15为分体结构，吹气部30依次连接支撑件113、连接件131和底盘15，由此，可便于更换吹气部30、支撑件113、连接件131或底盘15中的任意一个或多个。

请参阅图9，承载装置100还可包括驱动组件50，驱动组件50可包括驱动件51和升降杆53，驱动件51用于驱动升降杆53相对底盘15升降，以使工件200穿过第一腔室20后由承载组件11固定于承载面111。

具体地，驱动件51可以是电机、气缸等驱动元件，用于驱动升降杆53相对底盘15升降，以将传送到承载装置100上的工件200放置于承载面111上。

在某些实施方式中，底盘15包括相背的第一侧151和第二侧152，底盘15上开设有通孔153，驱动件51安装于第二侧152。升降杆53的第一端531与驱动件51连接，升降杆53的第二端533至少部分收容于通孔153内，其中，第一端531和第二端533相对，第二端533用于支撑工件200。升降杆53的第二端533至少部分收容于通孔153内，可起到一定程度密封通孔153的作用，从而避免朝第二腔室40内吹进的气体中的大部分直接从通孔153排出，以能够在第二腔室40内形成涡旋气流。其中，升降杆53的第二端533至少部分收容于通孔153内，可包括：第二端533的端面与通孔153的任意一侧齐平、或第二端533的端面完全收容在通孔153内。

在某些实施方式中，升降杆53的数量包括多个，多个升降杆53的第二端533与工件200接触形成的接触点围成多边形，由此能够将工件200平稳地放置在承载面111上。具体地，升降杆53的数量至少包括三个，三个升降杆53的第二端533与工件200接触形成的接触点围成三角形，防止升降杆53在移动过程中工件200掉落。

进一步地，第二端533还可设有吸盘(图未示出)，吸盘可呈圆形，且由橡胶材质构成，升降杆53通过吸盘接触工件200，防止工件200因为直接与升降杆53接触而划损工件200的底面205。升降杆53还可设有抽气孔(图未示出)，抽气孔一端与吸盘连通，另一端连通抽气设备，抽气设备通过抽气孔对吸盘进行抽气，以将工件200吸附于吸盘上。具体地，驱动件51驱动升降杆53上升，使得升降杆53伸出通孔153并高于承载面111，以承载传送过来的工件200，即工件200放置于第二端533的吸盘上，此时，抽气设备通过抽气孔对吸盘进行抽气，将工件200稳定吸附于吸盘上。接着，驱动件51驱动升降杆53下降，将放置于第二端533的工件200平稳地承载于承载面111，然后关闭抽气设备，以使吸盘释放工件200的底面205，驱动件51继续驱动升降杆53下降，直至升降杆53的第二端533收容于通孔153内，从而在一定程度上密封通孔153。

在某些实施方式中，通孔153的直径略大于升降杆53的直径，二者相差范围为(0mm，1mm)，例如，通孔153的直径与升降杆53的直径之间的差值为0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.6mm、0.7mm、0.8mm、或0.9mm中的任意一个，以最大程度密封通孔153，且不妨碍升降杆53在通孔153内升降。

在某些实施方式中，驱动组件50还可包括连接板55，升降杆53的第一端531通过连接板55与驱动件51连接，驱动件51通过驱动连接板55升降，以带动升降杆53相对底盘15升降。驱动组件50通过连接板55带动多个升降杆53升降，可减少驱动件51的使用，同时，使得驱动件51能够更加平稳地驱动升降杆53升降，保证工件200放置于承载面111的过程中的稳定性。

在某些实施方式中，承载装置100还可包括基座60，基座60安装于底盘15的第二侧152，并用于安装驱动件51，基座60可起到承载驱动件51的作用，以便于将驱动件51安装于承载装置100中的其他部件。

请参阅图11，本申请还提供一种检测设备1000，检测设备1000包括检测装置300及上述任一实施方式的承载装置100。其中，检测装置300与承载装置100对应，并用于对固定于承载面111上的工件200进行检测。其中，检测装置300可以是检测仪，检测装置300可通过采集承载于承载面111上的工件200的图像，从而检测工件200表面的缺陷。承载装置100仅与工件200的边缘部分接触，与工件200的顶面203的中心区域和工件200的底面205的中心区域均未接触，且工件200能够固定在承载面11上保持静止，满足检测装置300对工件200的检测需求。同时，承载装置100利用第一气孔31朝第一腔室20吹气，使得因自身重力作用发生形变的工件200在一定程度上变得平整，保证工件200的平整度，提高检测设备1000对工件200的检测精度。

请参阅图11及图12，本申请还提供一种上述任一实施方式的承载装置100的使用方法，请结合图1，该使用方法包括：

01：放置工件200于承载部10的承载组件11，承载组件11用于支撑工件200的边缘201以使工件200固定于承载组件11的承载面111；

03：利用吹气部30的第一气孔31朝第一腔室20内吹气，第一腔室20具有出气口21，出气口21用于排出第一腔室20内的气体，使工件200的中心区域形成涡旋气流，吹气部30与固定于承载面111的工件200的顶面203形成第一腔室20。

本申请实施方式的承载装置100的使用方法可通过以下步骤实现：利用吸附元件吸附工件200的顶面203，以将工件200传送至承载装置100的上方，并将工件200的底面205朝向第一腔室20放置于承载部10的承载组件11上。其中，利用吸附元件吸附工件200的顶面203，可避免采用其他元件传送工件200至承载部10时，划损工件200的顶面203，保证工件200的良好性。工件200放置到承载面111上后，如图5所示，可通过夹持件112夹持工件200的边缘侧面207；或者，如图6所示，工件200放置在支撑件113上，利用夹持件112夹持工件200的边缘顶面203，从而使工件200固定于承载面111上。待工件200在承载面111上保持静止后，工件200的顶面203与吹气部30形成第一腔室20，承载装置100利用吹气部30的第一气孔31朝第一腔室20吹气，第一腔室20内的气体从出气口排出，使得第一腔室20内形成涡旋气流。此时，第一腔室20内的气压小于工件200的底面205周围的气压，工件200会受到向上(自工件200的底面205向工件200的顶面203的方向上)的作用力，避免工件200因为重力作用而发生形变，保证工件200的平整度满足要求。

请参阅图11及图13，在某些实施方式中，承载部10还可包括气浮组件13，气浮组件13与工件200的底面205形成第二腔室40，气浮组件13包括第三气孔132和泄气口133，第三气孔132用于向第二腔室40吹气，泄气口133用于使第二腔室40的气体排出。放置工件200于承载部10的支撑件113之后，承载装置100的使用方法还可包括：

05：通过第三气孔132向第二腔室40吹气，并通过泄气口133排出第二腔室40中的气体，使第二腔室40气压小于第一腔室20的气压。

进一步地，承载装置100利用第一气孔31朝第一腔室20吹气后，再利用第三气孔132朝第二腔室40吹气，第二腔室40内的气体会从泄气口133排出，且从第三气孔132吹进第二腔室40内的气体也会形成气垫，承载装置100通过控制朝第三气孔132吹气的速度，使得第二腔室40内的气压小于第一腔室20内的气压，同时，第二腔室40周围的气压大于第二腔室40的气压和第一腔室20的气压，最终使得发生形变的工件200的平整度达到检测设备1000要求。

请参阅图9及图14，在某些实施方式中，01：放置工件200于承载部10的支撑件113，可包括：

011：利用驱动件51驱动升降杆53伸出底盘15的通孔153并高于承载面111；

013：放置工件200于升降杆53的第二端533；

015：利用驱动件51驱动升降杆53下降，以使放置于第二端533的工件200穿过第一腔室20并承载于承载面111；

017：利用驱动件51驱动升降杆53继续下降，以使升降杆53脱离工件200，并使至少部分升降杆53保持位于通孔153内。

承载装置100放置工件200于承载部10的支撑件113上除了利用吸附元件吸附工件200的顶面203放置在承载件113以外，还可通过承载装置100中的驱动组件50实现工件200的放置。具体地，承载装置100利用驱动件51驱动升降杆53伸出底盘15的通孔153并高于承载面111，然后将工件200放置于升降杆53的第二端533。其中，升降杆53的数量至少包括三个，且升降杆53的第二端533与工件200接触形成的接触点围成多边形，从而将工件200平稳地放置于第二端533。然后承载装置100利用驱动件51驱动升降杆53下降，承载于第二端533上的工件200穿过第一腔室20后承载于承载面111上，此时，可通过夹持件112夹持工件200的边缘顶面203或边缘侧面207进行固定。待工件200固定在承载面111上保持静止后，驱动件51继续驱动升降杆53下降，以使工件200脱离工件200，并在至少部分升降杆53保持位于通孔153内时，停止驱动件51的运作，从而最大程度密封通孔153，防止吹进第二腔室40的气体直接从通孔153排出。

请参阅图11，本申请的承载装置100中，承载组件11支撑工件200的边缘201并将工件200固定于承载组件11的承载面111，此时，吹气部30与固定于承载面111的工件200的顶面203形成第一腔室20，利用吹气部30的第一气孔31朝第一腔室20吹气，使得工件200的顶面203的中心区域形成涡旋气流(如图4中的虚线箭头所示)，从而该中心区域范围内的气压小于承载装置100外部的气压，工件200的顶面203和底面205两侧存在气压差，由此可避免工件200的中心区域因为自身重力而发生形变，保证工件200具有良好的平整度，提高检测设备1000(图11所示)对工件200的检测精度。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (20)

1.一种承载装置，其特征在于，包括：

承载部，所述承载部包括承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面；及

吹气部，所述吹气部与固定于所述承载面的所述工件的顶面形成第一腔室，所述吹气部设有第一气孔，所述第一气孔用于向所述第一腔室吹气，所述第一腔室具有出气口，所述出气口用于排出第一腔室中的气体，使所述工件的中心区域形成涡旋气流。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述出气口包括所述第一腔室的与所述工件相对的开口，和/或，所述出气口包括位于所述吹气部的侧壁的第二气孔。

3.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一气孔的吹气方向与所述第一气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角，

所述第一气孔包括多个，多个所述第一气孔均匀分布于所述吹气部的侧壁。

4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载组件包括：

夹持件，所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘侧面或边缘顶面；所述夹持件被配置为在夹持位置和松弛位置移动，当所述夹持件位于所述夹持位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面或边缘顶面抵触；当所述夹持件位于所述松弛位置时，所述夹持件与所述工件的边缘侧面及边缘顶面间隔；

至少当所述夹持件用于夹持承载于所述承载面的所述工件的边缘顶面时，所述承载组件还包括支撑件，所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。

5.根据权利要求1-4任意一项所述的承载装置，其特征在于，所述承载组件包括支撑件，所述支撑件用于支撑所述工件边缘的底面。

6.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载部还包括气浮组件，所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出，所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。

7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，所述气浮组件还包括与所述承载组件连接的连接件，所述连接件与所述工件的底面形成所述第二腔室；所述第一腔室和第二腔室分别位于所述工件的两侧；所述支撑件自所述连接件的侧壁向所述第二腔室的中心延伸且凸出于所述吹气部的侧壁；所述第三气孔位于所述连接件的侧壁，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述第二腔室内气压小于所述承载装置外部气压，且所述第一腔室内气压大于所述第二腔室内气压。

8.根据权利要求6或7所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括与所述泄气口连通的抽气设备，所述抽气设备用于对所述第二腔室进行抽气。

9.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述泄气口包括位于所述连接件的侧壁的第四气孔，所述第四气孔用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外；或，

所述泄气口包括位于所述第二腔室背离所述工件一侧的开孔。

10.根据权利要求9所述的承载装置，其特征在于，所述承载组件包括多个支撑件，所述第四气孔包括多个，每个所述支撑件位于相邻两个所述第四气孔之间，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心相对所述第三气孔的中心朝与所述第三气孔的吹气方向相反的一侧偏置；或，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第四气孔的中心与所述第三气孔的中心在同一直线上。

11.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述第三气孔的吹气方向与所述第三气孔处的切线方向形成的夹角包括锐角，所述第三气孔包括多个，多个所述第三气孔分布于所述连接件的侧壁，在垂直所述承载面的方向上，每个所述第三气孔的中心与所述第一气孔的中心在同一直线上。

12.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述承载部还包括底盘，所述承载组件与所述底盘连接，所述工件的底面及所述底盘之间的空间形成所述第二腔室；所述承载组件还包括夹持件，所述连接件还包括容纳槽，所述夹持件位于所述容纳槽中，且所述夹持件与所述底盘或所述连接件可移动连接。

13.根据权利要求12所述的承载装置，其特征在于，所述第三气孔位于所述底盘中，所述第三气孔的吹气方向与所述底盘的中心轴相交。

14.根据权利要求12所述的承载装置，其特征在于，所述泄气口还包括位于所述底盘中的第四气孔，所述泄气口用于将所述第二腔室内的气体排出至所述第二腔室外。

15.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载部还包括底盘，所述底盘与所述承载组件连接，所述承载装置还包括驱动组件，所述驱动组件包括驱动件及升降杆，所述驱动件用于驱动所述升降杆相对所述底盘升降，以使所述工件穿过所述第一腔室后由所述承载组件固定于所述承载面。

16.根据权利要求15所述的承载装置，其特征在于，所述底盘设有通孔，所述升降杆的第一端与所述驱动件连接，所述升降杆的第二端至少部分收容于所述通孔，所述第一端与所述第二端相对，所述驱动件用于驱动所述升降杆伸出所述通孔并高于所述承载面，以使所述工件能够放置于所述第二端；所述驱动件还用于驱动所述升降杆下降，以使放置于所述第二端的所述工件承载于所述承载面，所述驱动件还用于驱动所述升降杆继续下降，以使至少部分所述升降杆保持位于所述通孔内。

17.一种检测设备，其特征在于，包括

检测装置，及

权利要求1-16任意一项所述的承载装置，所述检测装置与所述承载装置对应，并用于对固定在所述承载面上的工件进行检测。

18.一种权利要求1-17任意一项所述的承载装置的使用方法，其特征在于，包括：

放置工件于承载部的承载组件，所述承载组件用于支撑工件的边缘以使所述工件固定于所述承载组件的承载面；

利用吹气部的第一气孔朝第一腔室内吹气，所述第一腔室具有出气口，所述出气口用于排出第一腔室中的气体，使所述工件的中心区域形成涡旋气流，所述吹气部与固定于所述承载面的所述工件的顶面形成所述第一腔室。

19.根据权利要求18所述的承载装置的使用方法，其特征在于，所述承载部还包括：气浮组件，所述气浮组件与所述工件的底面形成第二腔室，所述气浮组件包括第三气孔和泄气口，所述第三气孔用于向所述第二腔室吹气，所述泄气口用于使所述第二腔室的气体排出；

放置工件于承载部的支撑件之后，所述使用方法还包括：通过所述第三气孔向所述第二腔室吹气，并通过所述泄气口排出所述第二腔室中的气体，使所述第二腔室气压小于所述第一腔室的气压。

20.根据权利要求18所述的承载装置的使用方法，其特征在于，所述放置工件于承载部的支撑件，包括：

利用驱动件驱动升降杆伸出所述底盘的通孔并高于所述承载面；

放置所述工件于所述升降杆的第二端；

利用所述驱动件驱动所述升降杆下降，以使放置于所述第二端的所述工件穿过所述第一腔室承载于所述承载面；

利用所述驱动件驱动所述升降杆继续下降，以使所述升降杆脱离所述工件，并使至少部分所述升降杆保持位于所述通孔内。

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