CN115524415B - 一种高纯度氧化亚氮分析管路系统 - Google Patents

一种高纯度氧化亚氮分析管路系统 Download PDF

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Abstract

本发明属于高纯度氧化亚氮分析技术领域，具体涉及一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，以解决现有技术不能系统性、集成分析氧化亚氮充装全过程中氧化亚氮的纯度，氧化亚氮的杂质组分含量的控制问题，包括：气相色谱仪；水含量分析仪；气相色谱仪的气体检测输入口连通有色谱分析管，水含量分析仪的气体检测输入口连通有水含量分析管，色谱分析管分别通过氦气载气管、氮气载气管、标气管连通至氦气载气罐、氮气载气罐、标气罐，氦气载气管、氮气载气管、标气管还通过管道与水含量分析管连通；分析管路，分析管路将需要测试的气体引导至色谱分析管和水含量分析管；连通至色谱分析管和水含量分析管的管道均设置有阀门控制组件。

Description

一种高纯度氧化亚氮分析管路系统
技术领域
本发明属于高纯度氧化亚氮分析技术领域，具体涉及一种高纯度氧化亚氮分析管路系统。
背景技术
高纯度氧化亚氮在常温常压下是一种无色、不燃、有窒息性、麻醉性，微甜味，密度比空气大的气体。其用途较为广泛，可用作医用麻醉剂、制冷剂、助燃剂、防腐剂、烟雾喷射剂、标准气、平衡气等；在半导体产业中可用作气相沉积氮化硅的氮源；在医疗中作为麻醉剂；还可用作原子吸收光谱的氧化气体。
高纯度气体在其生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术，下游客户对产品质量要求较高。尤其是极大规模集成电路、新型显示面板等精密化程度非常高的应用领域，对特种气体的纯化、杂质检测、储运技术都有着严格的要求。特种气体要求超纯、超净。纯度每提升一个N以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。
目前氧化亚氮多采用灌装的形式，一般是灌装在氧化亚氮储罐、槽车储罐、氧化亚氮离线钢瓶中，以便于运输和使用，为了保证灌装的氧化亚氮的纯度，减少灌装过程中的交叉污染，需要对灌装整个过程及容器中的氧化亚氮的气体纯度进行精准检测，保证出厂的氧化亚氮的纯度得到有效控制。现有技术不能集成解决上述问题，需分阶段解决，这样很容易造成交叉检测导致产品质量事故，因此本发明设计了高纯度氧化亚氮分析管路系统。
发明内容
针对现有技术中存在的上述不足之处，本发明提供了一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，用以解决现有技术不能系统性、集成分析氧化亚氮充装全过程中氧化亚氮的纯度，氧化亚氮的杂质组分含量的控制问题。
为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术方案：
本发明还提供了一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，包括：
气相色谱仪，所述气相色谱仪可以采用高麦克仪器GOW-MAC；
水含量分析仪，所述水含量分析仪可以采用TigerOptics HALO KA水分析仪；
所述气相色谱仪的气体检测输入口连通有色谱分析管，所述水含量分析仪的气体检测输入口连通有水含量分析管，所述色谱分析管分别通过氦气载气管、氮气载气管、标气管连通至氦气载气罐、氮气载气罐、标气罐，所述氦气载气管、氮气载气管、标气管还通过管道与水含量分析管连通；
分析管路，所述分析管路将需要测试的气体引导至色谱分析管和水含量分析管；
连通至所述色谱分析管和水含量分析管的管道均设置有阀门控制组件，所述阀门控制组件包括二级减压阀、第十隔膜阀。
进一步的，所述水含量分析管侧部连通有第八隔膜阀，所述第八隔膜阀通过管道连通至室外；
所述色谱分析管侧部连通有第九隔膜阀，所述第九隔膜阀通过管道连通至室外；
所述第八隔膜阀、第九隔膜阀分别并联有第一安全阀、第二安全阀。
进一步的，所述分析管路包括由所述色谱分析管连通至充装站的充装分析管，所述充装站包括第二转向阀门、第二隔膜阀、第一阻火器、第三隔膜阀、第二阻火器，所述第二转向阀门设置有两个，一个所述第二转向阀门的第一气口连通至氧化亚氮离线钢瓶，一个所述第二转向阀门的第二气口连通至第三隔膜阀，所述第三隔膜阀与第二阻火器连通，所述第二阻火器连通至充装分析管；
另一个所述第二转向阀门的第一气口连通至需要分析的氧化亚氮充装管路，另一个所述第二转向阀门的第二气口与第二隔膜阀连通，所述第二隔膜阀与第一阻火器连通，所述第一阻火器与充装分析管连通。
进一步的，所述分析管路还包括氧化亚氮储罐进气管、氧化亚氮储罐出气管、氧化亚氮持续分析管，所述氧化亚氮储罐进气管和氧化亚氮储罐出气管连通至氧化亚氮储罐，所述氧化亚氮持续分析管末端设置有第六隔膜阀，所述氧化亚氮储罐出气管与氧化亚氮储罐的连接处设置有第四隔膜阀，所述氧化亚氮储罐进气管与氧化亚氮储罐的连接处设置有第五隔膜阀。
进一步的，所述分析管路还包括槽车氧化亚氮分析管一、槽车氧化亚氮分析管二、槽车氧化亚氮分析管三，所述槽车氧化亚氮分析管一、槽车氧化亚氮分析管二、槽车氧化亚氮分析管三分别与分析隔膜阀三、分析隔膜阀二、分析隔膜阀一连通，所述分析隔膜阀三、分析隔膜阀二、分析隔膜阀一均连通于槽车储罐。
进一步的，所述标气罐与第三转向阀的进气口连通，所述第三转向阀的出气口与第七隔膜阀连通，所述第七隔膜阀与标气管连通。
进一步的，包括载气间，所述载气间包括：
所述氮气载气罐与氮气载气管之间连接有自动切换装置，所述氮气载气罐设置有两个，所述氦气载气罐也设置有两个，所述氦气载气罐与氦气载气管之间也连接有自动切换装置；
所述自动切换装置包括三通自动切换阀、连通至三通自动切换阀的第一管口的压力表二、与三通自动切换阀的第二管口连通的压力表一、连通至压力表二另一端的第二减压阀、连通至压力表一另一端的第一减压阀；
两个所述氮气载气罐分别与一个所述自动切换装置的第一减压阀和第二减压阀连通，该所述自动切换装置的三通自动切换阀的第三管口与氮气载气管连通，所述氮气载气管与该所述三通自动切换阀之间还设置有第一隔膜阀；
两个所述氦气载气罐分别与另一个所述自动切换装置的第一减压阀和第二减压阀连通，该所述自动切换装置的三通自动切换阀的第三管口与氦气载气管连通，所述氦气载气管与该所述三通自动切换阀之间还连通有第一隔膜阀。
进一步的，所述载气间还设置有压力报警装置，所述压力报警装置电性连接于两个所述自动切换装置的压力表一和压力表二。
本发明与现有技术相比，具有如下有益效果：
本发明的一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，能够实时分析氧化亚氮充装容器的氧化亚氮浓度，能够监控和分析其氧化亚氮浓度，保证氧化亚氮出厂时的浓度得到有效控制。
附图说明
图1为本发明高纯度氧化亚氮分析管路系的结构示意图；
图2为图1中A处放大结构示意图；
图3为本发明的自动切换装置的结构示意图；
图4为图1中B处放大结构示意图；
图5为本发明的第二转向阀门的结构示意图；
图6为图1中C处放大结构示意图；
图7为图1中D处放大结构示意图；
图8为图1中E处放大结构示意图；
图9为图1中F处放大结构示意图；
图10为图1中G处放大结构示意图；
附图中涉及到的附图标记有：
载气间1、压力报警装置111、自动切换装置112、三通自动切换阀1121、压力表一1122、第一减压阀1123、压力表二1124、第二减压阀1125、氮气载气罐113、氦气载气罐114、第一隔膜阀115、充装站2、第二转向阀门211、氧化亚氮离线钢瓶212、第一气口2111、第二气口2112、氧化亚氮充装管路213、第二隔膜阀214、第一阻火器215、第三隔膜阀216、第二阻火器217、氧化亚氮储罐3、第四隔膜阀311、第五隔膜阀312、第六隔膜阀313、分析房间314、
槽车充装站4、槽车储罐411、分析隔膜阀一412、分析隔膜阀二413、分析隔膜阀三414、标气室5、标气罐511、第三转向阀512、第七隔膜阀513、
水含量分析控制面板6、第八隔膜阀611、第一安全阀612、二级减压阀613、第十隔膜阀614、水含量分析管690、色谱分析控制面板7、第九隔膜阀711、第二安全阀712、色谱分析管790、水含量分析仪8、气相色谱仪9、
氦气载气管910、氮气载气管920、氧化亚氮储罐进气管930、氧化亚氮储罐出气管940、氧化亚氮持续分析管950、槽车氧化亚氮分析管一960、槽车氧化亚氮分析管二970、槽车氧化亚氮分析管三980、标气管990、充装分析管900。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员可以更好地理解本发明，下面结合附图和实施例对本发明技术方案进一步说明。
其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一
如图1-10所示，
使用时，分析房间314设置有若干台在线分析设备，24小时不间断的运行，持续分析，分析房间里314的在线分析设备能分析氧化亚氮中的杂质含量，但是他的精度及稳定性，测量杂质种类均远低于高麦克GOW-MAC。从而能够通过较低的成本，实时监控储罐进口和产品出口的气体质量。
本发明还提供了一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，包括：
气相色谱仪9，气相色谱仪9为高麦克仪器GOW-MAC，高麦克仪器GOW-MAC可选用产地为美国的专业分析氧化亚氮的气相色谱仪；
水含量分析仪8，水含量分析仪8可以采用TigerOptics HALO KA水分析仪；
气相色谱仪9的气体检测输入口连通有色谱分析管790，水含量分析仪8的气体检测输入口连通有水含量分析管690，色谱分析管790分别通过氦气载气管910、氮气载气管920、标气管990连通至氦气载气罐114、氮气载气罐113、标气罐511，氦气载气管910、氮气载气管920、标气管990还通过管道与水含量分析管690连通；
分析管路，分析管路将需要测试的气体引导至色谱分析管790和水含量分析管690；
连通至色谱分析管790和水含量分析管690的管道均设置有阀门控制组件，阀门控制组件包括二级减压阀613、第十隔膜阀614。
标准气体的作用就是作为参考，确保分析仪器的真实性、准确性。
标准气体为气体工业名词。标准物质是浓度均匀的，良好稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，进行量值仲裁等。测量氧化亚氮的标气是根据氧化亚氮中所含杂质气体而进行专门配比的。所需测量杂质又是根据国标高纯氧化亚氮中的要求来进行测量的。
被测氧化亚氮气体中的杂质气体有几种。
具体标气可以是，配比1ppm氮气，2PPM氧气，0.5PPM一氧化碳，0.5ppm二氧化碳，氢气，甲烷等。
其中氦气载气管910和氮气载气管920有载气，作为气相色谱的流动相，载气的作用是把样品输送到色谱柱和检测器中，常用的载气有氢气、氮气、氩气、氦气、二氧化碳以及空气等。
水含量分析管690侧部连通有第八隔膜阀611，第八隔膜阀611通过管道连通至室外；
色谱分析管790侧部连通有第九隔膜阀711，第九隔膜阀711通过管道连通至室外；
第八隔膜阀611、第九隔膜阀711分别并联有第一安全阀612、第二安全阀712。
第八隔膜阀611、第一安全阀612、水含量分析管690、与水含量分析管690直接连通的第十隔膜阀614、与水含量分析管690的第十隔膜阀614对应设置的二级减压阀613共同构成水含量分析控制面板6，能够实现控制整个管路中的气体进入水含量分析仪8。
第九隔膜阀711、第二安全阀712、色谱分析管790、与色谱分析管790直接连通的第十隔膜阀614、与色谱分析管790直接连通的第十隔膜阀614对应设置的二级减压阀613共同构成色谱分析控制面板7，能够实现控制整个管路中的气体进入气相色谱仪9。
分析管路包括由色谱分析管790连通至充装站2的充装分析管900，充装站2包括第二转向阀门211、第二隔膜阀214、第一阻火器215、第三隔膜阀216、第二阻火器217，第二转向阀门211设置有两个，一个第二转向阀门211的第一气口2111连通至氧化亚氮离线钢瓶212，一个第二转向阀门211的第二气口2112连通至第三隔膜阀216，第三隔膜阀216与第二阻火器217连通，第二阻火器217连通至充装分析管900；
另一个第二转向阀门211的第一气口2111连通至需要分析的氧化亚氮充装管路213，另一个第二转向阀门211的第二气口2112与第二隔膜阀214连通，第二隔膜阀214与第一阻火器215连通，第一阻火器215与充装分析管900连通。
第一阻火器215和第二阻火器217的设置目的是，气体从气瓶内经高压减压到低压过程中，若速度过快可能与管道摩擦生成火花造成爆炸，安装阻火器是通用做法，目的是防止着火气体返回气瓶中引起气瓶内气体爆炸，起保护作用。
第二隔膜阀214和第三隔膜阀216设置的目的是，在不分析充装管道或者气瓶内气体时，隔断其他分析部位。使分析时能更准确的分析某个单元或位置。
所有隔膜阀均起到隔断作用，保证分析某个单元或位置的气体时，能够有更好的隔断效果，使得气体分析的准确性更高。
分析管路还包括氧化亚氮储罐进气管930、氧化亚氮储罐出气管940、氧化亚氮持续分析管950，氧化亚氮储罐进气管930和氧化亚氮储罐出气管940连通至氧化亚氮储罐3，氧化亚氮持续分析管950末端设置有第六隔膜阀313，氧化亚氮储罐出气管940与氧化亚氮储罐3的连接处设置有第四隔膜阀311，氧化亚氮储罐进气管930与氧化亚氮储罐3的连接处设置有第五隔膜阀312。
氧化亚氮储罐进气管930、氧化亚氮储罐出气管940用于分析氧化亚氮储罐3中的气体。分别设置进、出气的目的是：氧化亚氮储罐进气管930在连续生产过程中通过监测分析进气的质量情况，确保生产过程中产品质量的稳定；设置出气管分析的目的是在停止生产该批次产品后，通过氧化亚氮储罐出气管940分析整个储罐内产品质量情况，确保罐内产品质量的合格。
分析管路还包括槽车氧化亚氮分析管一960、槽车氧化亚氮分析管二970、槽车氧化亚氮分析管三980，槽车氧化亚氮分析管一960、槽车氧化亚氮分析管二970、槽车氧化亚氮分析管三980分别与分析隔膜阀三414、分析隔膜阀二413、分析隔膜阀一412连通，分析隔膜阀三414、分析隔膜阀二413、分析隔膜阀一412均连通于槽车储罐411。槽车充装站4内设置的槽车氧化亚氮分析管一(960)、槽车氧化亚氮分析管二(970)、槽车氧化亚氮分析管三(980)，这三根管道的其中一根管道用于分析槽车空车、满车时，其槽车储罐411中气体的状况。而其中一根这是用于分析对罐车充装时的充装管。剩余的一根则是用于备用，出现其中一根分析管故障时，仍然能够使用。
标气室5中设置了标气罐511、第三转向阀512、第七隔膜阀513，标气罐511与第三转向阀512的进气口连通，第三转向阀512的出气口与第七隔膜阀513连通，第七隔膜阀513与标气管990连通。
包括载气间1，载气间1包括：
氮气载气罐113与氮气载气管920之间连接有自动切换装置112，氮气载气罐113设置有两个，氦气载气罐114也设置有两个，氦气载气罐114与氦气载气管910之间也连接有自动切换装置112；
自动切换装置112包括三通自动切换阀1121、连通至三通自动切换阀1121的第一管口的压力表二1124、与三通自动切换阀1121的第二管口连通的压力表一1122、连通至压力表二1124另一端的第二减压阀1125、连通至压力表一1122另一端的第一减压阀1123，三通自动切换阀1121能够实现两侧气流的切换；
两个氮气载气罐113分别与一个自动切换装置112的第一减压阀1123和第二减压阀1125连通，该自动切换装置112的三通自动切换阀1121的第三管口与氮气载气管920连通，氮气载气管920与该三通自动切换阀1121之间还设置有第一隔膜阀115；
两个氦气载气罐114分别与另一个自动切换装置112的第一减压阀1123和第二减压阀1125连通，该自动切换装置112的三通自动切换阀1121的第三管口与氦气载气管910连通，氦气载气管910与该三通自动切换阀1121之间还连通有第一隔膜阀115。压力表二1124和压力表一1122内设置有载气压力经传感器。
氦气载气罐114和氮气载气罐113均设置两个，使得在更换其中一个载气瓶时，设备仍然能够正常运行。
自动切换装置112具体的工作方式为：
压力表二1124和压力表一1122内设置的载气压力经传感器传送压力信号到压力报警装置111，24小时不间断的、实时监测各个载气瓶供应压力，当某个使用的载气瓶出口压力低于设定压力低限值时，自动切换装置112自动动作切换到另一个备用载气瓶。人员去将使用完毕的载气瓶更换为新瓶，确认好无漏后备用即可。
载气间1还设置有压力报警装置111，压力报警装置111电性连接于两个自动切换装置112的压力表一1122和压力表二1124。
上述的一种高纯度氧化亚氮分析管路系统的使用方法，包括以下步骤：
1.确认所有管路连接密封不漏，保证测量的准确性；各分析单元/部位阀门关闭。
2.准备好各种载气、标气，调试仪器准确正常使用；
3.打开需分析单元/部位进样分析，重复进样多次，通过数据对比，在符合偏差范围内方可确定数据的准确性。
分析完一个部位或单元后，先关闭刚才分析的阀门，再打开另外需分析的单元/部位阀门，对管道进行置换吹扫合格后方可进行下一次分析。
以上所述的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前发明所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。

Claims (4)

1.一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，其特征在于：包括：
气相色谱仪(9)；
水含量分析仪(8)；
所述气相色谱仪(9)的气体检测输入口连通有色谱分析管(790)，所述水含量分析仪(8)的气体检测输入口连通有水含量分析管(690)，所述色谱分析管(790)分别通过氦气载气管(910)、氮气载气管(920)、标气管(990)连通至氦气载气罐(114)、氮气载气罐(113)、标气罐(511)，所述氦气载气管(910)、氮气载气管(920)、标气管(990)还通过管道与水含量分析管(690)连通；
分析管路，所述分析管路将需要测试的气体引导至色谱分析管(790)和水含量分析管(690)；
连通至所述色谱分析管(790)和水含量分析管(690)的管道均设置有阀门控制组件，所述阀门控制组件包括二级减压阀(613)、第十隔膜阀(614)；
所述水含量分析管(690)侧部连通有第八隔膜阀(611)，所述第八隔膜阀(611)通过管道连通至室外；
所述色谱分析管(790)侧部连通有第九隔膜阀(711)，所述第九隔膜阀(711)通过管道连通至室外；
所述第八隔膜阀(611)、第九隔膜阀(711)分别并联有第一安全阀(612)、第二安全阀(712)；
所述分析管路包括由所述色谱分析管(790)连通至充装站(2)的充装分析管(900)，所述充装站(2)包括第二转向阀门(211)、第二隔膜阀(214)、第一阻火器(215)、第三隔膜阀(216)、第二阻火器(217)，所述第二转向阀门(211)设置有两个，一个所述第二转向阀门(211)的第一气口(2111)连通至氧化亚氮离线钢瓶(212)，一个所述第二转向阀门(211)的第二气口(2112)连通至第三隔膜阀(216)，所述第三隔膜阀(216)与第二阻火器(217)连通，所述第二阻火器(217)连通至充装分析管(900)；
另一个所述第二转向阀门(211)的第一气口(2111)连通至需要分析的氧化亚氮充装管路(213)，另一个所述第二转向阀门(211)的第二气口(2112)与第二隔膜阀(214)连通，所述第二隔膜阀(214)与第一阻火器(215)连通，所述第一阻火器(215)与充装分析管(900)连通；
所述分析管路还包括氧化亚氮储罐进气管(930)、氧化亚氮储罐出气管(940)、氧化亚氮持续分析管(950)，所述氧化亚氮储罐进气管(930)和氧化亚氮储罐出气管(940)连通至氧化亚氮储罐(3)，所述氧化亚氮持续分析管(950)末端设置有第六隔膜阀(313)，所述氧化亚氮储罐出气管(940)与氧化亚氮储罐(3)的连接处设置有第四隔膜阀(311)，所述氧化亚氮储罐进气管(930)与氧化亚氮储罐(3)的连接处设置有第五隔膜阀(312)；
所述分析管路还包括槽车氧化亚氮分析管一(960)、槽车氧化亚氮分析管二(970)、槽车氧化亚氮分析管三(980)，所述槽车氧化亚氮分析管一(960)、槽车氧化亚氮分析管二(970)、槽车氧化亚氮分析管三(980)分别与分析隔膜阀三(414)、分析隔膜阀二(413)、分析隔膜阀一(412)连通，所述分析隔膜阀三(414)、分析隔膜阀二(413)、分析隔膜阀一(412)均连通于槽车储罐(411)。
2.根据权利要求1所述的一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，其特征在于：所述标气罐(511)与第三转向阀(512)的进气口连通，所述第三转向阀(512)的出气口与第七隔膜阀(513)连通，所述第七隔膜阀(513)与标气管(990)连通。
3.根据权利要求1所述的一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，其特征在于：包括载气间(1)，所述载气间(1)包括：
所述氮气载气罐(113)与氮气载气管(920)之间连接有自动切换装置(112)，所述氮气载气罐(113)设置有两个，所述氦气载气罐(114)也设置有两个，所述氦气载气罐(114)与氦气载气管(910)之间也连接有自动切换装置(112)；
所述自动切换装置(112)包括三通自动切换阀(1121)、连通至三通自动切换阀(1121)的第一管口的压力表二(1124)、与三通自动切换阀(1121)的第二管口连通的压力表一(1122)、连通至压力表二(1124)另一端的第二减压阀(1125)、连通至压力表一(1122)另一端的第一减压阀(1123)；
两个所述氮气载气罐(113)分别与一个所述自动切换装置(112)的第一减压阀(1123)和第二减压阀(1125)连通，该所述自动切换装置(112)的三通自动切换阀(1121)的第三管口与氮气载气管(920)连通，所述氮气载气管(920)与该所述三通自动切换阀(1121)之间还设置有第一隔膜阀(115)；
两个所述氦气载气罐(114)分别与另一个所述自动切换装置(112)的第一减压阀(1123)和第二减压阀(1125)连通，该所述自动切换装置(112)的三通自动切换阀(1121)的第三管口与氦气载气管(910)连通，所述氦气载气管(910)与该所述三通自动切换阀(1121)之间还连通有第一隔膜阀(115)。
4.根据权利要求3所述的一种高纯度氧化亚氮分析管路系统，其特征在于：所述载气间(1)还设置有压力报警装置(111)，所述压力报警装置(111)电性连接于两个所述自动切换装置(112)的压力表一(1122)和压力表二(1124)。
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