CN111302317A - 一种连续高纯氧化亚氮生产系统及方法 - Google Patents
一种连续高纯氧化亚氮生产系统及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111302317A CN111302317A CN202010256134.5A CN202010256134A CN111302317A CN 111302317 A CN111302317 A CN 111302317A CN 202010256134 A CN202010256134 A CN 202010256134A CN 111302317 A CN111302317 A CN 111302317A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tower
- washing
- cooler
- nitrous oxide
- enters
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N Nitrous Oxide Chemical compound [O-][N+]#N GQPLMRYTRLFLPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 82
- 239000001272 nitrous oxide Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 69
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 43
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 43
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 30
- PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bromo-2-fluorophenyl)acetic acid Chemical compound OC(=O)CC1=CC=CC(Br)=C1F PAWQVTBBRAZDMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 21
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 9
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 abstract description 7
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 238000000746 purification Methods 0.000 abstract description 6
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- UBAZGMLMVVQSCD-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;molecular oxygen Chemical compound O=O.O=C=O UBAZGMLMVVQSCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTVVPPOHYJJIJR-UHFFFAOYSA-N carbon dioxide;hydrate Chemical compound O.O=C=O VTVVPPOHYJJIJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012043 crude product Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 229910000619 316 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N carbon disulfide-14c Chemical compound S=[14C]=S QGJOPFRUJISHPQ-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/20—Nitrogen oxides; Oxyacids of nitrogen; Salts thereof
- C01B21/22—Nitrous oxide (N2O)
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Emergency Medicine (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
本发明公开了一种连续高纯氧化亚氮生产系统和方法,包括依次连接的液体储罐、泵、反应器、预热器、冷却器Ⅰ、冷却器Ⅱ、洗涤塔Ⅰ、水分离器Ⅰ、洗涤塔Ⅱ、水分离器Ⅱ、洗涤塔Ⅲ、水分离器Ⅲ、洗涤塔Ⅳ、水分离器Ⅳ、缓冲储罐、冷却器Ⅲ、压缩机、冷却器Ⅳ、过滤器、油过滤器、干燥塔、精馏塔、产品气体储罐;还包括冷凝器Ⅴ,所述冷凝器Ⅴ分别与精馏塔的顶部和底部相连;所述干燥塔为干燥塔Ⅰ和干燥塔Ⅱ并联组成。该工艺系统采用液体硝酸铵为原料经过可控制的分解反应分解产生粗品氧化亚氮经过组合纯化工艺,除掉气体中的氧、二氧化碳、氨及氮氧化物,使杂质总含量降低到1ppm以下。
Description
技术领域
本发明涉及一种分解纯化工艺,具体的是涉及深度纯化高纯氧化亚氮气体系统及工艺,属于化工反应和分离技术领域。
背景技术
高纯氧化亚氮氮是半导体技术发展需求的重要材料,主要应用在集成电路、液晶显示等技术领域,根据技术要求,氧化亚氮技术水平达到6N
氧化亚氮来源主要是由以下几种工艺硝酸铵分解、尿素和二硫化碳、氨气直接氧化等方法,通常固体硝铵分解方法应用比较多,弊端是固体硝铵稳定性和安全性低于液体硝铵,间歇投料,不利于连续化稳定生产,为了达到连续化稳定生产和提纯,本工艺采用硝铵溶液为原料,形成连续分解工艺,经过吸附精馏纯化,产品纯度达到6N。
发明内容
本发明的目的是提供一种连续稳定的工艺和技术方法,使氧化亚氮中含有的氧、二氧化碳、氨、水等降低,使其指标达到电子级高纯氧化亚氮的要求。
为了实现上述目的,本发明的技术方案为:将硝酸铵溶液经过泵输送到反应器中,经过分解反应,生成氧化亚氮,经过水洗、碱洗、酸洗,得到粗产品。粗产品进入纯化系统,经过过滤、吸附、精馏、过滤得到高纯氧化亚氮。
具体通过以下技术方案实现,一种连续高纯氧化亚氮生产系统,包括依次连接的液体储罐1、泵2、反应器4、预热器3、冷却器Ⅰ5、冷却器Ⅱ7、洗涤塔Ⅰ8、水分离器Ⅰ9、洗涤塔Ⅱ10、水分离器Ⅱ11、洗涤塔Ⅲ12、水分离器Ⅲ13、洗涤塔Ⅳ14、水分离器Ⅳ15、缓冲储罐16、冷却器Ⅲ17、压缩机18、冷却器Ⅳ19、过滤器20、油过滤器21、干燥塔、精馏塔24、产品气体储罐26;还包括冷凝器Ⅴ25,所述冷凝器Ⅴ25分别与精馏塔24的顶部和底部相连;
所述干燥塔为干燥塔Ⅰ22和干燥塔Ⅱ23并联组成。
进一步地,在上述技术方案中,所述反应器4连接应急水罐6。
本发明提供采用上述系统连续生产高纯氧化亚氮的方法,储罐1中存储有液体硝铵,储罐1硝铵罐控制加热温度135-145℃,经过输送泵将液体硝铵送入反应器4中,反应器4启动加热,温度控制245-255℃,流量每小时0.5-1.5公斤,反应系统维持大气压,通过反应器上升的含有硝酸铵水蒸气的气体经过冷却器Ⅰ5降温后,部分未反应的硝铵回到反应器,生成的氧化亚氮等气体进入冷却器Ⅱ7,进一步降温后进入洗涤塔Ⅰ8,主要洗涤生成的副产氨气,经过洗涤塔Ⅰ8进入洗涤器Ⅱ10进行碱洗,进入洗涤塔Ⅲ12酸洗,进入洗涤塔Ⅳ14进行水洗,每个洗涤器后面的水分离器保证洗涤过程带出来的水被分离排出,经过四级洗涤的氧化亚氮进入缓冲罐,经过冷却器Ⅲ17进一步冷却,进入压缩机,增压后的氧化亚氮进入冷却器Ⅳ19,经过过滤器20、油过滤器21进入干燥塔Ⅰ22和干燥塔Ⅱ23,通过干燥后的氧化亚氮进入精馏塔,精馏塔上部的冷却器Ⅴ25对气体进行冷却,不凝气体排出,回到塔釜的液态氧化亚氮进入产品气体储罐26。
本发明的有益效果在于:该工艺系统采用液体硝酸铵为原料经过可控制的分解反应分解产生粗品氧化亚氮经过组合纯化工艺,除掉气体中的氧、二氧化碳、氨及氮氧化物,使杂质总含量降低到1ppm以下。
附图说明
图1为本发明的工艺流程示意图;
图中,1液体储罐、2泵、3预热器、4反应器、5冷却器Ⅰ、6应急水罐、7冷却器Ⅱ、8洗涤塔Ⅰ、9水分离器Ⅰ、10洗涤塔Ⅱ、11水分离器Ⅱ、12洗涤塔Ⅲ、13水分离器Ⅲ、14洗涤塔Ⅳ、15水分离器Ⅳ、16缓冲储罐、17冷却器Ⅲ、18压缩机、19冷却器Ⅳ、20过滤器、21油过滤器、22干燥塔Ⅰ、23干燥塔Ⅱ、24精馏塔、25冷凝器Ⅴ、26产品气体储罐。
具体实施方式
下述非限定性实施例可以使本领域的普通技术人员更全面地理解本发明,但不以任何方式限制本发明。
实施例1
一种连续高纯氧化亚氮生产系统,包括依次连接的液体储罐1、泵2、反应器4、预热器3、冷却器Ⅰ5、冷却器Ⅱ7、洗涤塔Ⅰ8、水分离器Ⅰ9、洗涤塔Ⅱ10、水分离器Ⅱ11、洗涤塔Ⅲ12、水分离器Ⅲ13、洗涤塔Ⅳ14、水分离器Ⅳ15、缓冲储罐16、冷却器Ⅲ17、压缩机18、冷却器Ⅳ19、过滤器20、油过滤器21、干燥塔、精馏塔24、产品气体储罐26。还包括冷凝器Ⅴ25,所述冷凝器Ⅴ25分别与精馏塔24的顶部和底部相连。
所述干燥塔为干燥塔Ⅰ22和干燥塔Ⅱ23并联组成。
所述反应器4连接应急水罐6。
设备材质为316不锈钢,内部抛光光洁度Ra0.2-0.4,洗涤塔Ⅲ12为衬四氟耐腐蚀材质。
采用上述系统连续生产高纯氧化亚氮的方法,储罐1硝铵罐控制加热温度140℃,经过输送泵将液体硝铵送入反应器4中,反应器4启动加热,温度控制250℃,流量每小时1公斤,反应系统维持大气压,通过反应器上升的含有硝酸铵水蒸气的气体经过预热器3、冷却器Ⅰ5降温后,部分未反应的硝铵回到反应器,生成的氧化亚氮等气体进入冷却器Ⅱ7,进一步降温后进入洗涤塔Ⅰ8,主要洗涤生成的副产氨气,经过洗涤塔Ⅰ8进入洗涤器Ⅱ10进行碱洗,进入洗涤塔Ⅲ12酸洗,进入洗涤塔Ⅳ14进行水洗,每个洗涤器后面的水分离器保证洗涤过程带出来的水被分离排出,经过四级洗涤的氧化亚氮进入缓冲罐,经过冷却器Ⅲ17进一步冷却,进入压缩机,增压后的氧化亚氮进入冷却器Ⅳ19,经过过滤器20、油过滤器21进入干燥塔Ⅰ22和干燥塔Ⅱ23,通过干燥后的氧化亚氮进入精馏塔,精馏塔上部的冷却器Ⅴ25对气体进行冷却,不凝气体排出,回到塔釜的液态氧化亚氮进入产品气体储罐26,分析灌装。GC检测结果:
NH<sub>3</sub> | N<sub>2</sub> | O<sub>2</sub> | CO | CO<sub>2</sub> | H<sub>2</sub>O |
0.1ppm | 0.1ppm | 0.1ppm | 0.1ppm | 0.2ppm | 0.4ppm |
实施例2:
一种连续高纯氧化亚氮生产系统,包括依次连接的液体储罐1、泵2、反应器4、冷却器Ⅰ5、冷却器Ⅱ7、洗涤塔Ⅰ8、水分离器Ⅰ9、洗涤塔Ⅱ10、水分离器Ⅱ11、洗涤塔Ⅲ12、水分离器Ⅲ13、洗涤塔Ⅳ14、水分离器Ⅳ15、缓冲储罐16、冷却器Ⅲ17、压缩机18、冷却器Ⅳ19、过滤器20、油过滤器21、干燥塔、精馏塔24、气体储罐26。还包括冷凝器Ⅴ25,所述冷凝器Ⅴ25分别与精馏塔24的顶部和底部相连。
所述干燥塔为干燥塔Ⅰ22和干燥塔Ⅱ23并联组成。
所述反应器4连接应急水罐6。
采用上述系统连续生产高纯氧化亚氮的方法,储罐1硝铵罐控制加热温度140℃,经过输送泵将液体硝铵送入反应器4中,反应器4启动加热,温度控制250℃,流量每小时0.5公斤,反应系统维持大气压,通过反应器上升的含有硝酸铵水蒸气的气体经过冷却器Ⅰ5降温后,部分未反应的硝铵回到反应器,生成的氧化亚氮等气体进入冷却器Ⅱ7,进一步降温后进入洗涤塔Ⅰ8,主要洗涤生成的副产氨气,经过洗涤塔Ⅰ8进入洗涤塔Ⅱ10进行碱洗,进入洗涤塔Ⅲ12酸洗,进入洗涤塔Ⅳ14进行水洗,每个洗涤器后面的水分离器保证洗涤过程带出来的水被分离排出,经过四级洗涤的氧化亚氮进入缓冲罐,经过冷却器Ⅲ17进一步冷却,进入压缩机,增压后的氧化亚氮进入冷却器Ⅳ19,经过过滤器20、油过滤器21进入干燥塔Ⅰ22和干燥塔Ⅱ23,通过干燥后的氧化亚氮进入精馏塔,精馏塔上部的冷却器Ⅴ25对气体进行冷却,不凝气体排出,回到塔釜的液态氧化亚氮进入产品气体储罐26,分析灌装。GC检测结果:
NH<sub>3</sub> | N<sub>2</sub> | O<sub>2</sub> | CO | CO<sub>2</sub> | H<sub>2</sub>O |
0.1ppm | 0.1ppm | 0.1ppm | 0.1ppm | 0.2ppm | 0.2ppm |
Claims (3)
1.一种连续高纯氧化亚氮生产系统,其特征在于:包括依次连接的液体储罐、泵、反应器、预热器、冷却器Ⅰ、冷却器Ⅱ、洗涤塔Ⅰ、水分离器Ⅰ、洗涤塔Ⅱ、水分离器Ⅱ、洗涤塔Ⅲ、水分离器Ⅲ、洗涤塔Ⅳ、水分离器Ⅳ、缓冲储罐、冷却器Ⅲ、压缩机、冷却器Ⅳ、过滤器、油过滤器、干燥塔、精馏塔、产品气体储罐;还包括冷凝器Ⅴ,所述冷凝器Ⅴ分别与精馏塔的顶部和底部相连;
所述干燥塔为干燥塔Ⅰ和干燥塔Ⅱ并联组成。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于:所述反应器连接应急水罐。
3.采用权利要求1或2所述系统连续生产高纯氧化亚氮的方法,其特征在于:储罐中存储有液体硝铵,储罐硝铵罐控制加热温度135-145℃,经过输送泵将液体硝铵送入反应器中,反应器启动加热,温度控制245-255℃,流量每小时0.5-1.5公斤,反应系统维持大气压,通过反应器上升的含有硝酸铵水蒸气的气体经过冷却器Ⅰ降温后,部分未反应的硝铵回到反应器,生成的氧化亚氮等气体进入冷却器Ⅱ,进一步降温后进入洗涤塔Ⅰ,主要洗涤生成的副产氨气,经过洗涤塔Ⅰ进入洗涤器Ⅱ进行碱洗,进入洗涤塔Ⅲ酸洗,进入洗涤塔Ⅳ进行水洗,每个洗涤器后面的水分离器保证洗涤过程带出来的水被分离排出,经过四级洗涤的氧化亚氮进入缓冲罐,经过冷却器Ⅲ进一步冷却,进入压缩机,增压后的氧化亚氮进入冷却器Ⅳ,经过过滤器、油过滤器进入干燥塔Ⅰ和干燥塔Ⅱ,通过干燥后的氧化亚氮进入精馏塔,精馏塔上部的冷却器Ⅴ对气体进行冷却,不凝气体排出,回到塔釜的液态氧化亚氮进入产品气体储罐。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010256134.5A CN111302317A (zh) | 2020-04-02 | 2020-04-02 | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010256134.5A CN111302317A (zh) | 2020-04-02 | 2020-04-02 | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统及方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111302317A true CN111302317A (zh) | 2020-06-19 |
Family
ID=71154048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010256134.5A Pending CN111302317A (zh) | 2020-04-02 | 2020-04-02 | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111302317A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113173565A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-07-27 | 四川金象赛瑞化工股份有限公司 | 一种利用连续流微通道反应器制备笑气的生产工艺 |
CN114655940A (zh) * | 2022-04-20 | 2022-06-24 | 北京万机汇机电工程技术有限公司 | 一种氧化亚氮的制备方法及系统装置 |
CN115524415A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-12-27 | 重庆同辉科发气体有限公司 | 一种高纯度氧化亚氮分析管路系统 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101955167A (zh) * | 2010-06-07 | 2011-01-26 | 天津市泰源工业气体有限公司 | 硝酸铵分解制氧化亚氮的技术 |
CN203639158U (zh) * | 2013-06-18 | 2014-06-11 | 气体产品与化学公司 | 用于生产不同等级n2o的系统 |
CN107512708A (zh) * | 2016-06-17 | 2017-12-26 | 山东绿菱电子材料有限公司 | 一种超高纯度氧化亚氮的回收方法 |
CN108483415A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-09-04 | 北京万机汇机电工程技术有限公司 | 一种制备一氧化二氮的装置和方法 |
CN208042613U (zh) * | 2017-10-13 | 2018-11-02 | 北京恒泰洁能科技有限公司 | 一种回收己二酸尾气并纯化制高纯氧化亚氮的装置 |
CN208586060U (zh) * | 2018-06-14 | 2019-03-08 | 北京万机汇机电工程技术有限公司 | 一种制备一氧化二氮的装置 |
CN110285645A (zh) * | 2019-07-29 | 2019-09-27 | 欧中电子材料(重庆)有限公司 | N2o的提纯装置、生产系统以及提纯方法 |
CN212024778U (zh) * | 2020-04-02 | 2020-11-27 | 全椒科利德电子材料有限公司 | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统 |
-
2020
- 2020-04-02 CN CN202010256134.5A patent/CN111302317A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101955167A (zh) * | 2010-06-07 | 2011-01-26 | 天津市泰源工业气体有限公司 | 硝酸铵分解制氧化亚氮的技术 |
CN203639158U (zh) * | 2013-06-18 | 2014-06-11 | 气体产品与化学公司 | 用于生产不同等级n2o的系统 |
CN107512708A (zh) * | 2016-06-17 | 2017-12-26 | 山东绿菱电子材料有限公司 | 一种超高纯度氧化亚氮的回收方法 |
CN208042613U (zh) * | 2017-10-13 | 2018-11-02 | 北京恒泰洁能科技有限公司 | 一种回收己二酸尾气并纯化制高纯氧化亚氮的装置 |
CN108483415A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-09-04 | 北京万机汇机电工程技术有限公司 | 一种制备一氧化二氮的装置和方法 |
CN208586060U (zh) * | 2018-06-14 | 2019-03-08 | 北京万机汇机电工程技术有限公司 | 一种制备一氧化二氮的装置 |
CN110285645A (zh) * | 2019-07-29 | 2019-09-27 | 欧中电子材料(重庆)有限公司 | N2o的提纯装置、生产系统以及提纯方法 |
CN212024778U (zh) * | 2020-04-02 | 2020-11-27 | 全椒科利德电子材料有限公司 | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
史红军等: "氧化亚氮生产技术与应用研究进展", 《河南化工》 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113173565A (zh) * | 2021-05-08 | 2021-07-27 | 四川金象赛瑞化工股份有限公司 | 一种利用连续流微通道反应器制备笑气的生产工艺 |
CN114655940A (zh) * | 2022-04-20 | 2022-06-24 | 北京万机汇机电工程技术有限公司 | 一种氧化亚氮的制备方法及系统装置 |
CN115524415A (zh) * | 2022-09-16 | 2022-12-27 | 重庆同辉科发气体有限公司 | 一种高纯度氧化亚氮分析管路系统 |
CN115524415B (zh) * | 2022-09-16 | 2023-05-30 | 重庆同辉科发气体有限公司 | 一种高纯度氧化亚氮分析管路系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111302317A (zh) | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统及方法 | |
CN111302899B (zh) | 一种环己酮氨肟化生产过程中氨和叔丁醇回收装置及方法 | |
CN111847453B (zh) | 一种超高纯一氧化碳制备装置与工艺 | |
CN104829494A (zh) | 一种节能型尿素生产系统及其生产工艺 | |
CN105110304B (zh) | 使用己二酸生产尾气制备高纯一氧化二氮的装置和方法 | |
CN103435517A (zh) | 一种二氧化碳汽提尿素的增产节能技术及其设备 | |
CN114198981A (zh) | 一种制备高纯氟气的精制纯化设备和方法 | |
CN212024778U (zh) | 一种连续高纯氧化亚氮生产系统 | |
CN111330412B (zh) | 一种氯代工段副产氯化氢气体吸收净化成酸系统及工艺 | |
CN111606776A (zh) | 一种液相无催化剂合成一氯甲烷清洁生产工艺 | |
CN204661587U (zh) | 一种节能型尿素生产系统 | |
CN111013382B (zh) | 一种己二酸生产装置尾气处理装置及方法 | |
CN214114973U (zh) | 一种co变换冷凝液精制工艺系统 | |
CN112591722B (zh) | 一种工业级硝酸与电子级硝酸的联产方法 | |
CN112028089A (zh) | 一种硝酸铵的生产装置和方法 | |
CN217627632U (zh) | 一种从氨气直接生产电子级硝酸制备系统 | |
CN212102637U (zh) | 一种环己酮氨肟化生产过程中氨和叔丁醇回收装置 | |
CN114712877B (zh) | 一种采用热耦合技术制备电子级气体的方法及设备 | |
CN211998836U (zh) | 一种高纯二氧化碳的制备装置 | |
CN113893663B (zh) | 一种三氟化氮生产排污设备及工艺方法 | |
CN212390705U (zh) | 一种稀有气体氪氙精制及超纯氧的生产装置 | |
CN111185070A (zh) | 利用低温hf去除nf3电解气中杂质的系统及方法 | |
CN107335318B (zh) | 一种工业有机废气中的氯化氢循环再利用系统及其方法 | |
CN216972049U (zh) | 一种实现氨水提浓的汽提装置 | |
CN214881195U (zh) | 一种高纯度甲酸生产及存储设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
REG | Reference to a national code |
Ref country code: HK Ref legal event code: DE Ref document number: 40032433 Country of ref document: HK |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200619 |