CN115510388A - 信号同步方法、装置和等离子电源系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及信号同步技术领域，公开提供了一种信号同步方法、装置和等离子电源系统，该方法包括：依次获取参考频率；对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；对采样结果进行点积计算；根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，目标频率形成的波形与待同步波形相同，解决了现有技术中通过主从式设备转发信号的方式，致使主从设备所连接的腔体负载会获取到不同相位的电源控制信号的问题。
Description
技术领域
本发明涉及信号同步技术领域，尤其涉及一种信号同步方法、装置和等离子电源系统。
背景技术
现行等离子体系统，一般通过主从式设备，同步控制多个真空腔体负载，主设备提供的电源控制信号同时给予第一腔体负载与从设备，从设备获取电源控制信号后，转发或产生相同的电源控制信号给第二腔体负载。
如图1所示，从设备在转送或产生相同电源控制信号的过程会产生一定程度的相位延迟、相位偏移，造成主从设备所连接的腔体负载获取到不同相位的电源控制信号。即使从设备进行相位预偏移(Phase Pre-offset)，仍可能因计算量错误而无法形成主从设备同相位信号输出。
发明内容
因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中通过主从式设备转发信号的方式，致使主从设备所连接的腔体负载会获取到不同相位的电源控制信号，从而提供一种信号同步方法、装置及等离子电源系统。
为解决上述技术问题，本发明公开实施例至少提供一种信号同步方法、装置及等离子电源系统。
第一方面，本发明公开实施例提供了一种信号同步方法，包括：
依次获取参考频率；
对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；
对采样结果进行点积计算；
根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，所述目标频率形成的波形与所述待同步波形相同。
可选地，在所述对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样之前，所述方法还包括：对所述待同步波形进行高频滤波。
可选地，所述方法还包括：计算所述目标频率对应的目标相位。
可选地，所述方法还包括：锁定并输出所述目标频率和所述目标相位。
可选地，所述依次获取参考频率为：从预设频率范围内依次获取参考频率。
可选地，所述根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率包括：根据点积计算结果确定中间频率，所述中间频率是使点积计算形成的点积波形振幅在预设振幅范围内的参考频率；以所述中间频率为扫频起始点，按照预设分辨率进行扫频，进而确定所述目标频率。
可选地，所述根据点积计算结果确定中间频率包括：判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在所述预设振幅范围之内；若不在，则获取下一参考频率，并判断下一参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在所述预设振幅范围之内，直至获取到点积计算形成的波形振幅在所述预设振幅范围之内的参考频率；若在，则将获取的当前参考频率作为中间频率。
可选地，所述扫频按照预设方向进行，预设方向为由大变小或由小变大。
可选地，若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅不在所述预设振幅范围之内，在所述获取下一参考频率之前，所述根据点积计算结果确定中间频率还包括：判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否超出设定阈值；所述获取下一参考频率包括：若超出所述设定阈值，则按照固定频段间隔跳频获取下一参考频率。
可选地，在所述获取下一参考频率之前，所述根据点积计算结果确定中间频率还包括：若未超出所述设定阈值，则根据当前参考频率的点积计算形成的波形振幅确定当前跳频间隔，所述当前跳频间隔和点积计算形成的波形振幅呈正相关变化；所述获取下一参考频率包括：按照所述当前跳频间隔跳频获取下一参考频率。
可选地，所述从预设频率范围内依次获取参考频率为：按照频率从小到大或者按照频率从大到小的顺序依次从预设频率范围内依次获取参考频率。
可选地，在所述依次获取参考频率之前，所述方法还包括：取待处理电源信号；将所述电源信号进行归一化处理，得到所述待同步波形。
第二方面，本发明公开实施例还提供一种信号同步装置，包括：
参考频率获取模块，用于依次获取参考频率；
采样模块，用于对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；
点积计算模块，用于对采样结果进行点积计算；
频率确定模块，用于根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，所述目标频率形成的波形与所述待同步波形相同。
第三方面，本发明公开实施例还提供一种等离子电源系统，包括主设备和从设备，所述从设备包括锁相环；
所述主设备，产生待处理电源信号；
所述锁相环，获取所述待处理电源信号；将所述电源信号进行归一化处理，得到待同步波形，并通过执行前述的信号同步方法，锁定并向所述从设备输出目标频率和目标相位，实现所述主设备与所述从设备通过所述锁相环实现信号同步，所述目标频率形成的波形与所述待同步波形相同，所述目标相位与所述目标频率对应。
第四方面，本发明公开实施例还提供一种计算机设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行上述第一方面，或第一方面中任一种可能的实施方式中的步骤。
第四方面，本发明公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面，或第一方面中任一种可能的实施方式中的步骤。
本发明的实施例提供的技术方案可以具有以下有益效果：
对获取的每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样，对采样结果进行点积计算，根据点积计算结果及相应参考频率确定与待同步波形相同的目标频率，该方法通过改良锁相环技术，让从设备精确的提供与主设备相位高度等同的电源控制信号，主设备输入与输出的信号相位高精度相同，可以高度满足主从设备的同相信号输出，通过区段性扫频，结合适当分辨率的设置，有效提升扫频效率，加快锁相作业，实现即时性的高速锁相。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了相关技术中从设备与其腔体负载之间信号波形示意图；
图2示出了本发明公开实施例所提供的一种信号同步方法的流程图；
图3示出了本发明公开实施例所提供的另一种信号同步方法的流程图；
图4示出了本发明公开实施例所提供的一种信号同步装置的结构示意图；
图5示出了本发明公开实施例所提供的一种等离子电源系统的结构示意图；
图 6示出了本发明实施例中电源信号的波形归一化处理过程示意图；
图7示出了本发明实施例中等离子电源系统中锁相环功能示意图；
图8示出了采用本发明实施例的从设备与其腔体负载之间信号波形示意图；
图9示出了本发明实施例中等离子电源系统的一种实现方式；
图10示出了本发明实施例中等离子电源系统的另一种实现方式；
图11示出了本发明公开实施例所提供的一种计算机设备的结构示意图。
具体实施方式
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。
实施例1
如图2所示，本发明公开实施例所提供的一种信号同步方法的流程图，该方法包括：
S21：依次获取参考频率。
S22：对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样。
S23：对采样结果进行点积计算。
S24：根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，目标频率形成的波形与待同步波形相同。
可以理解的是，本实施例提供的技术方案，对获取的每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样，对采样结果进行点积计算，根据点积计算结果及相应参考频率确定与待同步波形相同的目标频率，该方法通过改良锁相环技术，让从设备精确的提供与主设备相位高度等同的电源控制信号，主设备输入与输出的信号相位高精度相同，可以高度满足主从设备的同相信号输出，通过区段性扫频，结合适当分辨率的设置，有效提升扫频效率，加快锁相作业，实现即时性的高速锁相。
实施例2
如图3所示，本发明公开实施例所提供的另一种信号同步方法的流程图，该方法包括：
S31：获取待处理电源信号。
S32：将电源信号进行归一化处理，得到待同步波形。
S33：从预设频率范围内依次获取参考频率。
在一些可选实施例中，可以但不限于按照频率从小到大或者按照频率从大到小的顺序依次从预设频率范围内依次获取参考频率。
S34：对待同步波形进行高频滤波。
S35：对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样。
S36：对采样结果进行点积计算。
S37：根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，目标频率形成的波形与待同步波形相同。
S38：计算目标频率对应的目标相位。
S39：锁定并输出目标频率和目标相位。
在一些可选实施例中，图中未示出，S37可以但不限于通过以下过程实现：
S371：根据点积计算结果确定中间频率，中间频率是使点积计算形成的点积波形振幅在预设振幅范围内的参考频率。
S372：以中间频率为扫频起始点，按照预设分辨率进行扫频，进而确定目标频率。
在一些可选实施例中，图中未示出，S371可以但不限于通过以下过程实现：
S3711：判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在预设振幅范围之内。
S3712：若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅不在预设振幅范围之内，判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否超出设定阈值。
S3713：若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅超出设定阈值，则按照固定频段间隔跳频获取下一参考频率，判断下一参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在预设振幅范围之内，直至获取到点积计算形成的波形振幅在预设振幅范围之内的参考频率。
S3714：若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅未超出设定阈值，则根据当前参考频率的点积计算形成的波形振幅确定当前跳频间隔，当前跳频间隔和点积计算形成的波形振幅呈正相关变化。
S3715：按照当前跳频间隔跳频获取下一参考频率，判断下一参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在预设振幅范围之内，直至获取到点积计算形成的波形振幅在预设振幅范围之内的参考频率。
S3716：若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅在预设振幅范围之内，则将获取的当前参考频率作为中间频率。
在一些可选实施例中，扫频按照预设方向进行，预设方向为由大变小或由小变大。
需要说明的是，本发明实施例中涉及的预设振幅范围、设定阈值可以由本领域技术人员根据实际工程需要选择确定，此处不再赘述。
可以理解的是，本实施例提供的技术方案，对获取的每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样，对采样结果进行点积计算，根据点积计算结果及相应参考频率确定与待同步波形相同的目标频率，该方法通过改良锁相环技术，让从设备精确的提供与主设备相位高度等同的电源控制信号，实现信号波形同步，进而实现主从设备之间控制信号的同步，主设备输入与输出的信号相位高精度相同，可以高度满足主从设备的同相信号输出，通过区段性扫频，结合适当分辨率的设置，有效提升扫频效率，加快锁相作业，实现即时性的高速锁相。
实施例3
如图4所示，本发明实施例还提供一种信号同步装置，包括：
参考频率获取模块41，用于依次获取参考频率；
采样模块42，用于对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；
点积计算模块43，用于对采样结果进行点积计算；
频率确定模块44，用于根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，目标频率形成的波形与待同步波形相同。
在一些可选实施例中，如图中虚线部分所示，该装置还包括：
高频滤波模块45，用于对待同步波形进行高频滤波。
目标相位计算模块46，用于计算目标频率对应的目标相位。
相位锁定模块47，用于锁定并输出目标频率和目标相位。
依次获取参考频率为：从预设频率范围内依次获取参考频率。
电源信号获取模块48，用于获取待处理电源信号。
波形获取模块49，用于将电源信号进行归一化处理，得到待同步波形。
在一些可选实施例中，如图4中虚线部分所示，频率确定模块44包括：
中间频率确定子模块441，用于根据点积计算结果确定中间频率，中间频率是使点积计算形成的点积波形振幅在预设振幅范围内的参考频率。
扫频子模块442，用于以中间频率为扫频起始点，按照预设分辨率进行扫频，进而确定目标频率。
进一步的，在一些可选实施例中，图中未示出，中间频率确定子模块441包括：
振幅判断单元4411，用于判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在预设振幅范围之内。
下一参考频率获取单元4412，用于若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅不在预设振幅范围之内，则获取下一参考频率，并判断下一参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在预设振幅范围之内，直至获取到点积计算形成的波形振幅在预设振幅范围之内的参考频率。
中间频率确定单元4413，用于若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅在预设振幅范围之内，则将获取的当前参考频率作为中间频率。
在一些可选实施例中，扫频按照预设方向进行，预设方向为由大变小或由小变大。
在一些可选实施例中，下一参考频率获取单元4412，还用于判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否超出设定阈值。若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅超出设定阈值，则按照固定频段间隔跳频获取下一参考频率。若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅未超出设定阈值，则根据当前参考频率的点积计算形成的波形振幅确定当前跳频间隔，当前跳频间隔和点积计算形成的波形振幅呈正相关变化；按照当前跳频间隔跳频获取下一参考频率。
在一些可选实施例中，按照频率从小到大或者按照频率从大到小的顺序依次从预设频率范围内依次获取参考频率。
可以理解的是，本实施例提供的技术方案，对获取的每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样，对采样结果进行点积计算，根据点积计算结果及相应参考频率确定与待同步波形相同的目标频率，该方法通过改良锁相环技术，让从设备精确的提供与主设备相位高度等同的电源控制信号，主设备输入与输出的信号相位高精度相同，可以高度满足主从设备的同相信号输出，通过区段性扫频，结合适当分辨率的设置，有效提升扫频效率，加快锁相作业，实现即时性的高速锁相。
实施例4
如图5所示，本发明实施例还提供一种等离子电源系统，包括：主设备51和从设备52，从设备52包括锁相环521；
主设备51，产生待处理电源信号；
锁相环521，获取待处理电源信号；将电源信号进行归一化处理，得到待同步波形，并通过执行实施例1、实施例2任一信号同步方法，锁定并向从设备输出目标频率和目标相位，实现主设备与从设备通过锁相环实现信号同步，目标频率形成的波形与待同步波形相同，目标相位与目标频率对应。
在一些可选实施例中，主从等离子体电源系统包括：主设备、从设备、第一腔体负载、第二腔体负载。
从设备采用锁相环进行相位同步，从设备包括：比较器、LC电路、扫频锁相单元(PLL,Phase-Locked Loop)和输出运算单元。
如图6所示，比较器与LC电路组合进行电源信号的波形归一化处理；输入的电源信号可以是任一种周期性波，如正弦波、三角波、方波、锯齿波等，经过比较器作波形转换形成方波，再经由LC电路转换为供锁相分析的正弦波，以下称原始信号。
原始信号被输入至PLL，PLL就获取的电源信号波形进行原始波与参考波作点积、滤高频、追踪波形频率与相位、锁住相位，如图7所示，具体过程如下：
(1)确定扫频范围，例如：扫描12.882M~14.238M之间。
(2)确定锁相用分辩率，例如：分辨率为1k(±0.5k)；原则上，分辩率越小，精度越高；相反的，分辩率越大，精度越低。
(3)随机指定扫频范围内的一个起始频率，一般以整数频率为优先，如13.0M，就当前指定频率形成波形与原始信号波形进行定频采样（或同频采样、又或是同采集点采样），依据采样结果进行点积，就点积结果判断当前指定频率与原始信号之间的波形是否一致，点积结果形成波形振幅越大，代表原始信号与当前指定频率之间的频率差值越大，当波形频率、相位非常接近时，点积结果形成波形会接近直线。
(4)若点积结果得知原始信号与当前指定频率波形不一致，就次一频率进行定频采样与点积，直至找到与原始信号波形一致的当前指定频率，具体过程如下：
(4-1)点积结果形成波形的振幅未达到设定阈值时，确定跳频，点积形成波形的振幅越大，确定跳频越大，相对的，点积形成波形的振幅越小，确定跳频越小。
(4-2)点积结果形成波形的振幅达到或超过设定阈值时，以预设固定频段间隔进行跳频。
(4-3)当点积结果形成波形为直线或接近直线时，就最后使用点积的频率，就预设分辩率进行扫频，起始频率是朝向频率变大或频率变小的方向进行扫频，扫频方向是不变的，仅起始方向为择一，以频率13.5MHz，分辩率1KHz为例，扫瞄13.4995MHz到13.5005MHz之间，在确定最为符合的波形对照频率后，进行锁相(相位为频率积分，频率为相位微分，故获取频率即能获取相位)。
(5)若点积结果得知原始信号与当前指定频率波形一致，就对照波形进行频率与相位的锁定。此时，PLL就最后形成的对照波而得知原始波形的频率与相位。
(6)在确定与原始信号波形一致的当前指定频率后，对当前指定频率进行高频滤波去除噪声杂讯。
(7)PLL将频率与相位传输至输出运算单元，如图8所示，供其针对频率与相位产生与原始波形相同相位与频率的输出波形。
在一些可选实施例中，如图9所示，主从式等离子体系统中，主设备可以是射频电源，从设备可以是一个或多个射频电源，如图10所示，从设备还可以是匹配器。
需要说明的是，在等离子电源系统中，对于匹配器是变频的情况，可以采用上述实施例技术方案实现电源和匹配器之间的锁相同步。
可以理解的是，本实施例提供的技术方案，对获取的每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样，对采样结果进行点积计算，根据点积计算结果及相应参考频率确定与待同步波形相同的目标频率，该方法通过改良锁相环技术，让从设备精确的提供与主设备相位高度等同的电源控制信号，主设备输入与输出的信号相位高精度相同，可以高度满足主从设备的同相信号输出，通过区段性扫频，结合适当分辨率的设置，有效提升扫频效率，加快锁相作业，实现即时性的高速锁相。
实施例5
基于同一技术构思，本申请实施例还提供了一种计算机设备，包括存储器1和处理器2，如图11所示，所述存储器1存储有计算机程序，所述处理器2执行所述计算机程序时实现上述任一项所述的信号同步方法。
其中，存储器1至少包括一种类型的可读存储介质，所述可读存储介质包括闪存、硬盘、多媒体卡、卡型存储器（例如，SD或DX存储器等）、磁性存储器、磁盘、光盘等。存储器1在一些实施例中可以是等离子电源系统的内部存储单元，例如硬盘。存储器1在另一些实施例中也可以是等离子电源系统的外部存储设备，例如插接式硬盘，智能存储卡（SmartMedia Card, SMC），安全数字（Secure Digital, SD）卡，闪存卡（Flash Card）等。进一步地，存储器1还可以既包括等离子电源系统的内部存储单元也包括外部存储设备。存储器1不仅可以用于存储安装于等离子电源系统的应用软件及各类数据，例如等离子电源程序的代码等，还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
处理器2在一些实施例中可以是一中央处理器（Central Processing Unit,CPU）、控制器、微控制器、微处理器或其他数据处理芯片，用于运行存储器1中存储的程序代码或处理数据，例如执行等离子电源程序等。
可以理解的是，本实施例提供的技术方案，对获取的每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样，对采样结果进行点积计算，根据点积计算结果及相应参考频率确定与待同步波形相同的目标频率，该方法通过改良锁相环技术，让从设备精确的提供与主设备相位高度等同的电源控制信号，主设备输入与输出的信号相位高精度相同，可以高度满足主从设备的同相信号输出，通过区段性扫频，结合适当分辨率的设置，有效提升扫频效率，加快锁相作业，实现即时性的高速锁相。
本发明公开实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行上述方法实施例中所述的信号同步方法的步骤。其中，该存储介质可以是易失性或非易失的计算机可读取存储介质。
本发明公开实施例所提供的信号同步方法的计算机程序产品，包括存储了程序代码的计算机可读存储介质，所述程序代码包括的指令可用于执行上述方法实施例中所述的信号同步方法的步骤，具体可参见上述方法实施例，在此不再赘述。
本发明公开实施例还提供一种计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现前述实施例的任意一种方法。该计算机程序产品可以具体通过硬件、软件或其结合的方式实现。在一个可选实施例中，所述计算机程序产品具体体现为计算机存储介质，在另一个可选实施例中，计算机程序产品具体体现为软件产品，例如软件开发包（Software DevelopmentKit，SDK）等等。
可以理解的是，上述各实施例中相同或相似部分可以相互参考，在一些实施例中未详细说明的内容可以参见其他实施例中相同或相似的内容。
需要说明的是，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是指至少两个。
流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。
应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列（PGA），现场可编程门阵列（FPGA）等。
本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。
此外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。
上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (16)
1.一种信号同步方法，其特征在于，包括：
依次获取参考频率；
对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；
对采样结果进行点积计算；
根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，所述目标频率形成的波形与所述待同步波形相同。
2.根据权利要求1所述的信号同步方法，其特征在于，在所述对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样之前，所述方法还包括：对所述待同步波形进行高频滤波。
3.根据权利要求1所述的信号同步方法，其特征在于，还包括：
计算所述目标频率对应的目标相位。
4.根据权利要求3所述的信号同步方法，其特征在于，还包括：
锁定并输出所述目标频率和所述目标相位。
5.根据权利要求1所述的信号同步方法，其特征在于，所述依次获取参考频率为：从预设频率范围内依次获取参考频率。
6.根据权利要求1所述的信号同步方法，其特征在于，所述根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率包括：
根据点积计算结果确定中间频率，所述中间频率是使点积计算形成的点积波形振幅在预设振幅范围内的参考频率；
以所述中间频率为扫频起始点，按照预设分辨率进行扫频，进而确定所述目标频率。
7.根据权利要求6所述的信号同步方法，其特征在于，所述根据点积计算结果确定中间频率包括：
判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在所述预设振幅范围之内；
若不在，则获取下一参考频率，并判断下一参考频率的点积计算形成的波形振幅是否在所述预设振幅范围之内，直至获取到点积计算形成的波形振幅在所述预设振幅范围之内的参考频率；
若在，则将获取的当前参考频率作为中间频率。
8.根据权利要求6所述的信号同步方法，其特征在于，所述扫频按照预设方向进行，预设方向为由大变小或由小变大。
9.根据权利要求7所述的信号同步方法，其特征在于，若当前参考频率的点积计算形成的波形振幅不在所述预设振幅范围之内，在所述获取下一参考频率之前，所述根据点积计算结果确定中间频率还包括：
判断当前参考频率的点积计算形成的波形振幅是否超出设定阈值；
所述获取下一参考频率包括：若超出所述设定阈值，则按照固定频段间隔跳频获取下一参考频率。
10.根据权利要求9所述的信号同步方法，其特征在于，在所述获取下一参考频率之前，所述根据点积计算结果确定中间频率还包括：
若未超出所述设定阈值，则根据当前参考频率的点积计算形成的波形振幅确定当前跳频间隔，所述当前跳频间隔和点积计算形成的波形振幅呈正相关变化；
所述获取下一参考频率包括：按照所述当前跳频间隔跳频获取下一参考频率。
11.根据权利要求5所述的信号同步方法，其特征在于，所述从预设频率范围内依次获取参考频率为：按照频率从小到大或者按照频率从大到小的顺序依次从预设频率范围内依次获取参考频率。
12.根据权利要求1所述的信号同步方法，其特征在于，在所述依次获取参考频率之前，所述方法还包括：
获取待处理电源信号；
将所述电源信号进行归一化处理，得到所述待同步波形。
13.一种信号同步装置，其特征在于，包括：
参考频率获取模块，用于依次获取参考频率；
采样模块，用于对每个参考频率形成的参考波形和待同步波形进行同步采样；
点积计算模块，用于对采样结果进行点积计算；
频率确定模块，用于根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率，所述目标频率形成的波形与所述待同步波形相同。
14.一种等离子电源系统，其特征在于，包括主设备和从设备，所述从设备包括锁相环；
所述主设备，产生待处理电源信号；
所述锁相环，获取所述待处理电源信号；将所述电源信号进行归一化处理，得到待同步波形，并通过执行权利要求1-11任一项所述的信号同步方法，锁定并向所述从设备输出目标频率和目标相位，实现所述主设备与所述从设备通过所述锁相环实现信号同步，所述目标频率形成的波形与所述待同步波形相同，所述目标相位与所述目标频率对应。
15.一种计算机设备，其特征在于，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如权利要求1至12中任一项所述信号同步方法。
16.一种计算机可读存储介质，其特征在于，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至12中任一项所述信号同步方法。
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