CN117236262A - 一种射频电源输出功率放大系数的分析方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种射频电源输出功率放大系数的分析方法及系统，本发明的分析方法通过采集与信号同相调整的方式，获取与实际输出电压或电流信号同相的缩小信号，并通过信号同步变化的结果，得到一个第三方参数来表达两信号之间放大系数的线性关系，不仅能够有效的获取各射频电源的放大系数，而且可以确保电压或电流的输出精度以稳定输出功率精度；同时，分析方法中点积处理的采集窗时长不限，配合相同时长的汉明窗函数，可以解决每一周期内原始波形边界的泄漏问题。
Description
技术领域
本发明主要涉及射频电源技术领域，具体涉及一种射频电源输出功率放大系数的分析方法及系统。
背景技术
现有技术中，射频电源在功率信号输出端配置信号传感器，信号传感器传输电力并感测信号给FPGA，FPGA将电力感测信号还原输出电力信号，就依据输出电力信号与目标电力信号的信号差异，经由PID模块运算波形差异以进行调整后，将调整参数结合放大系数发送至信号输出模块来调整与控制电力输出信号，以期输出功率能朝向目标功率进行调整。但是现有技术中心由于各个射频电源是独立配置输出功率传感器的，接着传感器感测到的感测数值是通过阻抗分配获得某一缩小比例的信号，但是不通射频电源的电阻精度也不同，因此信号缩小比例也是不同的，从而导致多射频电源无法直接采用相同比例进行信号还原、调整与控制输出。
因此，如何设计一种输出精确度高、缩放比例一致的射频电源输出功率放大系数的分析校准方法，是待解决的技术问题。
发明内容
基于此，有必要针对现有技术的问题，提供一种射频电源输出功率放大系数的分析方法及系统。
第一方面，本申请实施例提供了一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，包括如下步骤：
通过FPGA接收射频电源输出端的电压感测信号或电流感测信号；
根据FPGA的工作频率获得仿真信号；
将所述电压感测信号或所述电流感测信号及所述仿真信号进行同步采样，获得电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号；
将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
根据外部功率测量计获取所述射频电源的实际输出电压或实际输出电流；
确定所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流是否为线性关系；
响应于所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流为线性关系，根据所述线性关系获得所述射频电源的输出功率放大系数。
优选地，所述电压感测信号或所述电流感测信号通过FPGA来获取。
优选地，所述同步采样的采样频率为所述工作频率的5-10倍。
优选地，所述电压感测信号或所述电流感测信号为正弦波信号。
优选地，所述将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅，包括：
将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果；
根据所述点积结果获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅。
优选地，所述将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果，包括：
在一个采样周期内对所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行一次汉明窗函数点积；
将窗口内所有同步采集点的点积进行加总，获得点积结果。
优选地，所述采样周期为1us。
第二方面，本申请实施例提供了一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，该系统包括：存储器及处理器，所述存储器中包括基于射频电源输出功率放大系数的分析方法的程序，所述射频电源输出功率放大系数的分析方法的程序被所述处理器执行时实现以下步骤：
通过FPGA接收射频电源输出端的电压感测信号或电流感测信号；
根据FPGA的工作频率获得仿真信号；
将所述电压感测信号或所述电流感测信号及所述仿真信号进行同步采样，获得电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号；
将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
根据外部功率测量计获取所述射频电源的实际输出电压或实际输出电流；
确定所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流是否为线性关系；
响应于所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流为线性关系，根据所述线性关系获得所述射频电源的输出功率放大系数。
优选地，所述电压感测信号或所述电流感测信号通过FPGA来获取。
优选地，所述同步采样的采样频率为所述工作频率的5-10倍。
优选地，所述电压感测信号或所述电流感测信号为正弦波信号。
优选地，所述将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅，包括：
将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果；
根据所述点积结果获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅。
优选地，所述将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果，包括：
在一个采样周期内对所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行一次汉明窗函数点积；
将窗口内所有同步采集点的点积进行加总，获得点积结果。
优选地，所述采样周期为1us。
与现有技术相比，本发明的射频电源输出功率放大系数的分析方法，本发明的分析方法通过采集与信号同相调整的方式，获取与实际输出电压或电流信号同相的缩小信号，并通过信号同步变化的结果，得到一个第三方参数来表达两信号之间放大系数的线性关系，不仅能够有效的获取各射频电源的放大系数，而且可以确保电压或电流的输出精度以稳定输出功率精度；同时，分析方法中点积处理的采集窗时长不限，配合相同时长的汉明窗函数，可以解决每一周期内原始波形边界的泄漏问题。
附图说明
通过参考下面的附图，可以更为完整地理解本发明的示例性实施方式。附图用来提供对本申请实施例的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中，相同的参考标号通常代表相同部件或步骤。
图1为根据本申请一示例性实施例提供的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法的流程图；
图2为根据本申请一示例性实施例提供的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法的仿真信号示意图；
图3为根据本申请一示例性实施例提供的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法的点积处理示意图；
图4为根据本申请一示例性实施例提供的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法的振幅曲线图。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
本申请实施例提供一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，下面结合附图进行说明。参照图1，本实施例公开了一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，包括如下步骤：
S101：通过FPGA接收射频电源输出端的电压感测信号或电流感测信号；
具体地，射频电源的输出端配置有电压传感器和电流传感器，其中，电压传感信号是通过阻抗分配方式缩放实际输出电压信号的，电流传感信号则是通过电感匝数分配方式缩放实际输出电流信号的。
如前述所述，由于电阻的精度是存在限制的，一般来说精度大都为1%，在优选的实施例中精度甚至可以达到0.5%，即阻抗分配形成的电压缩放比例是有浮动的，所以不能直接拿来作为FPGA还原信号用的放大系数。同理，电感/线圈的匝数分配，由于电流转换的精确度一般是0.2%-0.5%，因此互感器匝数分配后形成的电流调节比例也会有相对浮动。因此，电压传感器与电流传感器回传给FPGA的信号仅能表示在一个范围内，其实际振幅是不清楚的，无法作为FPGA信号处理后的放大系数，这就需要通过一个第三方参数用于放大系数的检测与设置。
本实施例中，将射频电源传输的电压信号或电流信号获取后传送给FPGA后再进行下一步处理。优选地，电压感测信号或电流感测信号均为正弦波信号，不论是电压感测信号还是电流感测信号，传感器回传与FPGA接收到的都是正弦波形式，由于电压感测信号与电流感测信号的调频作业是相同的，因此可以采用电压感测信号或电流感测信号进行调整。
S102：根据FPGA的工作频率获得仿真信号；
具体地，FPGA收到电压传感器回传的电压感测信号或电流传感器回传的电流信号，接着FPGA利用工作频率产生仿真信号。
S103：将电压感测信号或电流感测信号及仿真信号进行同步采样，获得电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号；
具体地，对电压感测信号或电流感测信号与仿真信号进行同步采样，本实施例中，同步采样频率至少为工作频率的数倍，常规为5-10倍。例如，当工作频率为13.56MHz时，采样频率为设置为64MHz，频率倍数大约在4-5倍之间，以一个采集窗口为1us，则每一周期能采集4-5个点。
参照图2，仿真信号是由FPGA内部程序因计算需求而建立的仿真数据，实际上是一种自建信号数据，所以仿真信号的振幅是用户自设定的，整个分析流程中，信号振幅是固定不变的。
S104：将电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号进行点积处理，获得射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
具体地，该步骤包括：
S1041：将电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果；
本实施例中，获取点积的过程具体包括：在一个采样周期内对电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号进行一次汉明窗函数点积；将窗口内所有同步采集点的点积进行加总，获得点积结果。
参照图3，本实施例中，W为汉明窗，其窗口为1us，在每个周期内，将采集窗口同步的作为汉明窗函数的边界，即每1us进行一次窗函数点积计算，将窗口内各同步采集点数值进行点积，再将点积进行加总，以传感波形的采集点为a，仿真波形的采集点为b，汉明窗函数的同步采集点为c，各点积为，点积和为/>。本实施例中，由于点积处理的采集窗时长是不限制的，再配合相同时长的汉明窗函数，解决了周期内原始波形边界的泄漏问题。
S1042：根据点积结果获得射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅。
参照图4，本实施例中的点积加总后会形成一个输出电压V和工作频率f的振幅曲线，在曲线波形最上端的位置会获得一个最大振幅参数A，该参数A即为输出电压振幅或输出电流振幅。
S105：根据外部功率测量计获取射频电源的实际输出电压或实际输出电流；
本实施例中，通过外部功率测量器获取射频电源实质输出功率的实际输出电压或实际输出电流。
S106：确定输出电压振幅与实际输出电压或输出电流振幅或实际输出电流是否为线性关系；
具体地，在获得实际输出电压或实际输出电流之后，将该实际输出电压或实际输出电流对应步骤S1042中获得的振幅参数，判断二者之间是否形成一个稳定的电压或电流线性放大关系。本实施例中，具体的验证方式为：在机台运行期间，实际输出电压或实际输出电流会因为调整功率输出而有变化，相对的，振幅参数亦会有变化；通过持续性采集该两种变化，看此二变化是否形成上述的线性关系；若不是即重新获取线性关系。
S107：响应于输出电压振幅与实际输出电压或输出电流振幅或实际输出电流为线性关系，根据线性关系获得射频电源的输出功率放大系数。
具体地，当确定上述实际输出电压或实际输出电流对应步骤S1042中获得的振幅参数为一个稳定的线性放大关系，即实际输出电压或实际输出电流线性变大，振幅参数就会线性变大，实际输出电压或实际输出电流线性变小，振幅参数就会线性变小，就根据该线性放大关系作为第三方参数，即输出功率放大系数。
本实施例提供的放大系数分析方法，适用于独立校准每一台射频电源，由于每一射频电源的实际输出电压或实际输出电流所对应的振幅参数是不同的，因此，并不只是获取一个机台的电压或电流振幅参数，而是能推广适用于所有机台。反过来说，正是因为放大系数的不同，所以才需要如此设计方式来获取独立机台的第三方参数作为放大系数。
与现有技术相比，本发明提出的射频电源输出功率放大系数的分析方法，通过采集与信号同相调整的方式，获取与实际输出电压或电流信号同相的缩小信号，并通过缩小信号同步变化的结果，得到一个第三方参数来表征两个信号之间放大系数的线性关系，不仅能够有效的获取各射频电源的放大系数，而且可以确保电压或电流的输出精度以稳定输出功率精度；同时，分析方法中点积处理的采集窗时长不限，配合相同时长的汉明窗函数，可以解决每一周期内原始波形边界的泄漏问题。
在本申请实施例的另一些实施方式中提供一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，该系统包括：存储器及处理器，所述存储器中包括基于射频电源输出功率放大系数的分析方法的程序，所述射频电源输出功率放大系数的分析方法的程序被所述处理器执行时实现以下步骤：
通过FPGA接收射频电源输出端的电压感测信号或电流感测信号；
根据FPGA的工作频率获得仿真信号；
将所述电压感测信号或所述电流感测信号及所述仿真信号进行同步采样，获得电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号；
将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
根据外部功率测量计获取所述射频电源的实际输出电压或实际输出电流；
确定所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流是否为线性关系；
响应于所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流为线性关系，根据所述线性关系获得所述射频电源的输出功率放大系数。
进一步地，本实施例中公开的系统，包含射频电源中的FPGA、电压传感器和电流传感器。
本实施例，将射频电源传输的电压信号或电流信号获取后传送给FPGA后再进行下一步处理。优选地，电压感测信号或电流感测信号均为正弦波信号，不论是电压感测信号还是电流感测信号，传感器回传与FPGA接收都是正弦波形式，而且电压感测信号与电流感测信号的调频作业是相同的，因此可以采用电压感测信号或电流感测信号进行调整。
具体地，FPGA收到电压传感器回传的电压感测信号或电流传感器回传的电流信号，接着FPGA利用工作频率产生仿真信号。
具体地，对电压感测信号或电流感测信号与仿真信号进行同步采样，本实施例中，同步采样频率至少为工作频率的数倍，常规为5-10倍。例如，当工作频率为13.56MHz时，采样频率为设置为64MHz，频率倍数大约在4-5倍之间，以一个采集窗口为1us，则每一周期能采集4-5个点。
本实施例中，将电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号进行点积处理，获得射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
本实施例中，获取点积的过程具体包括：在一个采样周期内对电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号进行一次汉明窗函数点积；将窗口内所有同步采集点的点积进行加总，获得点积结果。
参照图3，本实施例中，W为汉明窗，其窗口长度为1us，在每个周期内，将采集窗口同步的作为汉明窗函数的边界，即每1us进行一次窗函数点积计算，将窗口内各同步采集点数值进行点积，再将点积进行加总，以传感波形的采集点为a，仿真波形的采集点为b，汉明窗函数的同步采集点为c，各点积为，点积和为/>。本实施例中，由于点积处理的采集窗时长是不限制的，再配合相同时长的汉明窗函数，解决了周期内原始波形边界的泄漏问题。
参照图4，本实施例中的点积加总后会形成一个输出电压V和工作频率f的振幅曲线，在曲线波形最上端获得一个最大振幅参数A，即为输出电压振幅或输出电流振幅。
本实施例中，通过外部功率测量器获取射频电源实质输出功率的实际输出电压或实际输出电流。
具体地，在获得实际输出电压或实际输出电流之后，将该实际输出电压或实际输出电流对应上述获得的振幅参数，判断二者之间是否形成一个稳定的电压或电流线性放大关系。本实施例中，具体的验证方式为机台运行期间，实际输出电压或实际输出电流会因为调整功率输出而有变化，相对的，振幅参数亦会有变化；通过持续性采集该两种变化，看此二变化是否形成上述的线性关系；若不是即重新获取线性关系。
具体地，当确定上述实际输出电压或实际输出电流对应上述获得的振幅参数为一个稳定的线性放大关系，即实际输出电压或实际输出电流线性变大，振幅参数就会线性变大，实际输出电压或实际输出电流线性变小，振幅参数就会线性变小，就根据该线性放大关系作为第三方参数，即输出功率放大系数。
需要说明的是，附图中的流程图和框图显示了根据本申请的多个实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，所述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个连续的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或动作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统、装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本申请的权利要求和说明书的范围当中。
Claims (14)
1.一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，包括如下步骤：
通过FPGA接收射频电源输出端的电压感测信号或电流感测信号；
根据FPGA的工作频率获得仿真信号；
将所述电压感测信号或所述电流感测信号及所述仿真信号进行同步采样，获得电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号；
将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
根据外部功率测量计获取所述射频电源的实际输出电压或实际输出电流；
确定所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流是否为线性关系；
响应于所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流为线性关系，根据所述线性关系获得所述射频电源的输出功率放大系数。
2.根据权利要求1所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，所述电压感测信号或所述电流感测信号通过FPGA来获取。
3.根据权利要求1所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，所述同步采样的采样频率为所述工作频率的5-10倍。
4.根据权利要求1所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，所述电压感测信号或所述电流感测信号为正弦波信号。
5.根据权利要求1所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，所述将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅，包括：
将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果；
根据所述点积结果获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅。
6.根据权利要求5所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，所述将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果，包括：
在一个采样周期内对所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行一次汉明窗函数点积；
将窗口内所有同步采集点的点积进行加总，获得点积结果。
7.根据权利要求5或6所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析方法，其特征在于，所述采样周期为1us。
8.一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，该系统包括：存储器及处理器，所述存储器中包括基于射频电源输出功率放大系数的分析方法的程序，所述射频电源输出功率放大系数的分析方法的程序被所述处理器执行时实现以下步骤：
通过FPGA接收射频电源输出端的电压感测信号或电流感测信号；
根据FPGA的工作频率获得仿真信号；
将所述电压感测信号或所述电流感测信号及所述仿真信号进行同步采样，获得电压采样信号或电流采样信号及仿真采样信号；
将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅；
根据外部功率测量计获取所述射频电源的实际输出电压或实际输出电流；
确定所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流是否为线性关系；
响应于所述输出电压振幅与所述实际输出电压或所述输出电流振幅或所述实际输出电流为线性关系，根据所述线性关系获得所述射频电源的输出功率放大系数。
9.根据权利要求8所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，所述电压感测信号或所述电流感测信号通过FPGA来获取。
10.根据权利要求8所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，所述同步采样的采样频率为所述工作频率的5-10倍。
11.根据权利要求8所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，所述电压感测信号或所述电流感测信号为正弦波信号。
12.根据权利要求8所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，所述将所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行点积处理，获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅，包括：
将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果；
根据所述点积结果获得所述射频电源的输出电压振幅或输出电流振幅。
13.根据权利要求12所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，所述将所述电压采样信号或电流采样信号及所述仿真采样信号在一个采样周期内进行一次窗函数点积计算，获得点积结果，包括：
在一个采样周期内对所述电压采样信号或所述电流采样信号及所述仿真采样信号进行一次汉明窗函数点积；
将窗口内所有同步采集点的点积进行加总，获得点积结果。
14.根据权利要求12或13所述的一种射频电源输出功率放大系数的分析系统，其特征在于，所述采样周期为1us。
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