CN115319886A - 一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法 - Google Patents

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CN115319886A CN202211055870.XA CN202211055870A CN115319886A CN 115319886 A CN115319886 A CN 115319886A CN 202211055870 A CN202211055870 A CN 202211055870A CN 115319886 A CN115319886 A CN 115319886A
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黄文杰
周友平
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    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Abstract

本发明提供了一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，所述装置系统包括：气动振动装置、管状包套、夹具与锁紧螺丝；所述气动振动装置与所述夹具之间可拆卸连接，所述管状包套在所述夹具中间，所述夹具与所述管状包套之间可拆卸连接；所述靶材粉末在所述提升管状靶材装粉密度的装置系统中进行装粉并振实，管状靶材装粉密度得到提升；所述装置系统以气动振动装置替代现有振动平台对管状靶材粉末进行振实，靶材装粉密度得到提升，且装置体积较小，方便携带至各工段进行生产。

Description

一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法
技术领域
本发明属于半导体靶材制造技术领域，尤其涉及一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法。
背景技术
管状靶材相较于平面靶材在溅射时具有利用率较高的优点，其制备过程通常需要将金属粉末原料置于管状模具中成型得到管状靶材整体。目前粉末填装方法为将粉末填充到包套夹具内，采用振动平台振实的方式使装粉密度提高，缺点在于振动过程中包套会与平台产生共振导致包套撞击平台产生噪音，甚至损伤包套焊接处，且装粉密度只能达到50％，装粉密度低会导致热等静压后外包套变形严重或包套吸穿，产品报废。因此，解决靶材致密度过低问题是提高产品合格率的关键。
CN114619543A公开了一种提高ITO靶材初坯致密度的制备设备，包括上模框、第一移动支架、转动组件及升降组件；所述上模框中滑动设置有压板，所述压板与所述第一移动支架之间通过伸缩油缸连接，所述伸缩油缸的外部套设有第一弹性件；所述升降组件设置有两个分别设置在所述第一移动支架的两侧并与所述上模框之间相连接；所述转动组件设置在所述第一移动支架上，所述转动机构的两侧分别与两个所述升降组件之间传动连接；该装置通过转动组件、升降组件及真空机之间的配合，利用大气压完成进料按压，在按压材料的过程中不断提高第一移动支架的高度，经过反复的加料挤成型可将材料中气泡完全排除，并且反复的挤压可以将材料挤压的更加紧实，进而增加成型件密度；所述制备设备通过机械挤压，提升靶材初坯密度，耗时较长，效率较低。
CN212955318U公开了一种提高钼管靶材密度机构，包括真空气密箱，所述真空气密箱下表面固定安装有进水孔，所述真空气密箱位于进水孔前方固定安装有废气排放口，所述真空气密箱位于废气排放口前方固定安装有出料管，所述真空气密箱位于出料管前方固定安装有出水孔，所述出料管下端固定安装有防堵阀，所述真空气密箱上表面固定安装有送料管，所述送料管上端螺旋连接有密封盖，所述真空气密箱位于送料管前方固定安装有激光枪。本实用新型所述的一种提高钼管靶材密度机构，能够保证反应的迅速进行，且能够进一步熔化钼，双重的熔化除杂反应之后，钼金属的纯度会进一步被提升，从而达到了更高密度的钼靶材，所述机构在装粉阶段之后额外增加密度提升步骤，尽管密度提升较明显，但延长了生产时间，且方法较复杂，增加了成本。
CN210359051U公开了一种提高钼管靶材密度的工装，包括一压模机构和一旋锻机构，该旋锻机构设置在该压模机构一侧。该压模机构中设置有上下相对的上模本体和下模本体；该旋锻机构横向夹持的钼管靶材可匀速横移并伸入压模机构内，并被夹在该上模本体和下模本体之间。该压模机构包括一机架，机架上方设置有一液压缸，该液压缸的液压杆向下穿过机架的顶面并伸入该机架内部；该液压杆的下端连接着横架在机架内部的限位板；该上模本体固定在该限位板的底面，该下模本体固定在机架的底板上且与该上模本体相对。所述工装提高钼管靶材密度的工装结构简单稳固、能有效提高钼管靶材的密度，但是所述方法的机械挤压方式存在靶材粉末内部不均匀的风险，且同样存在生产时间额外延长等问题。
因此，需要一种在现有生产方式基础上改进，尽可能节约生产时间，不影响现有工序的管状靶材密度提升方法。
发明内容
针对现有技术存在的传统装粉方法装粉密度低，装粉过程中振动平台噪音大，材料重量较重搬运麻烦等问题，本发明提出了一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，通过轻便、易携带至车间的气动振动装置替代不易操作的振动平台，在现有工序基础上提升了靶材粉末的装粉密度，平衡了生产时间和生产效率。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，所述装置系统包括：气动振动装置、管状包套、夹具与锁紧螺丝。
所述气动振动装置与所述夹具之间可拆卸连接，所述夹具与所述管状包套之间可拆卸连接；所述夹具包括第一锁紧块和第二锁紧块；所述第一锁紧块与第二锁紧块通过锁紧螺丝实现锁紧管状包套。
本发明提供的提升管状靶材装粉密度的装置系统，采用气动振动装置取代现有振动平台进行振实，由于气动振动装置体积较小，方便产品的搬运且对环境适应性强，可以随产品到不同车间进行装粉作业，同时，气动振动装置与管靶接触较为紧密，装粉致密度也得到了提升。
优选地，所述管状包套包括外包套和内包套。
优选地，沿管状包套的轴线方向，所述管状包套的一端设置盖板，另一端设置带孔盖板。
优选地，所述外包套和内包套中间具有间隙。
优选地，所述间隙的宽度为管状靶材预期厚度的2-3倍。
优选地，所述外包套和内包套的一端设置固定盖板，另一端设置活动盖板。
优选地，所述固定盖板的形状为圆形。
优选地，所述固定盖板的直径与外包套的外径相等。
优选地，所述活动盖板的形状为圆形。
优选地，所述活动盖板的直径与外包套的外径相等。
优选地，所述外包套的材质包括低碳钢。
优选地，所述内包套的材质包括不锈钢。
优选地，所述盖板的材质包括不锈钢和/或低碳钢钢。
优选地，所述夹具包括第一锁紧块和第二锁紧块；所述第一锁紧块通过锁紧螺丝与第二锁紧块连接。
优选地，所述锁紧螺丝的螺纹连接内部设置钢丝螺套。
本发明优选在锁紧螺丝内部设置钢丝螺套，嵌入夹具的螺纹孔中，能形成高精度内螺纹，具有连接强度高，抗震、抗冲击和耐磨损的功能，并能分散应力保护基体螺纹，有利于延长夹具的使用寿命。
优选地，所述第二锁紧块通过螺丝与气动振动装置连接。
第二方面，本发明提供一种提升管状靶材装粉密度的方法，所述方法包括以下步骤：靶材粉末在如第一方面所述提升管状靶材装粉密度的装置系统中进行装粉并振实，管状靶材装粉密度得到提升。
现有振动平台振动过程中包套会与平台产生共振导致包套撞击平台产生噪音、损伤包套焊接处，且装粉密度只能达到50％，本发明提供的提升管状靶材装粉密度的方法，采用由锁紧螺丝调节松紧程度的夹具对装粉包套进行夹持，气动振动装置从而对靶材粉末进行振实，其振动范围精准，粉末振实密度提升，保证了靶材产品的性能。
优选地，所述装粉包括：清洁后的管状包套进行组装，将靶材粉末填充至组装后的管状包套内，封口后得到装粉包套。
优选地，所述清洁包括依次进行的清洗与干燥。
优选地，所述清洗的清洗剂种类包括乙醇。
优选地，所述干燥的温度为80-200℃，例如可以是80℃、90℃、100℃、120℃、150℃、180℃或200℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述干燥的时间为1-3h，例如可以是1h、1.5h、2h、2.5h或3h，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述组装包括将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙。
优选地，所述填充包括将靶材粉末填充至间隙内。
优选地，所述封口包括用活动盖板包裹外包套。
优选地，所述活动盖板的材质包括橡胶。
优选地，所述振实包括：将所述装粉包套置于所述夹具内，夹具锁紧后，装粉包套通过夹具与所述气动振动装置固定连接，气动振动装置振动使装粉包套内的粉末分布均匀并；拆下装粉包套，重复填充、封口和振实步骤，直至装粉密度达到要求。
优选地，依次进行的填充、封口和振实的重复次数为9-11次，例如可以是9次、10次或11次，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，单次填充的粉末为间隙体积的9-11％，例如可以是9％、9.5％、10％、10.5％或11％，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。优选地，所述第一锁紧块和第二锁紧块通过锁紧螺丝调整夹持松紧程度。
优选地，所述锁紧螺丝锁紧后，夹具对装粉包套产生的压强为1.5-2Pa，例如可以是，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本申请优选压强为1.5-2Pa对装粉包套进行握持，其优势在于既不会握持不够紧密而发生磕碰，又不会损伤包套导致后续靶材成型时损坏。
优选地，所述气动振动装置振动的频率为2400-2750rpm，例如可以是2400rpm、2450rpm、2500rpm、2550rpm、2600rpm、2650rpm、2700rpm或2750rpm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述气动振动装置振动的振动力为1800-2100N，例如可以是1800N、1900N、2000N或2100N，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。优选地，所述气动振动装置振动的时间为1-2min，例如可以是1min、1.2min、1.5min、1.8min或2min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明的一种优选的技术方案，所述方法包括以下步骤：
对外包套和内包套使用乙醇清洗，并在80-200℃下干燥1-3h，将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙，将靶材粉末填充至所述间隙内，单次填充的粉末为间隙体积的9-11％，用活动盖板包裹外包套封口后得到装粉包套；将所述装粉包套置于所述第一锁紧块和第二锁紧块内，调节锁紧螺丝并锁紧，所述夹具对装粉包套产生的压强为1.5-2Pa，所述第二锁紧块与所述气动振动装置通过螺丝固定，气动振动装置以2400-2750rpm的频率振动1-2min，使装粉包套内的粉末分布均匀；拆下装粉包套，重复填充、封口和振实步骤9-11次，管状靶材装粉密度得到提升。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
(1)本发明提供的一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，以易携带、振动均匀的气动振动装置取代占地较大的振动平台，设备方便搬运至各个工段进行振实，应用更为广泛，还解决了振动平台噪音较大的缺陷，以及管状靶材与振动平台磕碰产生的损坏问题；
(2)本发明提供的一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，由于振动器与管靶接触较为紧密，且振动范围集中，装粉致密度得到明显提升；
(3)本发明提供的一种提升管状靶材装粉密度的方法，通过锁紧螺丝调节夹具对装粉包套的的夹持松紧度，取得较适宜的固定力度，既避免振动时发生脱落，又不会损坏装粉包套。
附图说明
图1为本发明具体实施方式提供的提升管状靶材装粉密度的装置系统中气动振动装置与装粉包套的连接结构示意图。
其中，1、装粉包套；2、夹具；3、气动振动装置；4、锁紧螺丝；5、第一锁紧块；6、第二锁紧块。
具体实施方式
为便于理解本发明，本发明列举实施例如下。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在一个具体实施方式中，本发明提供了一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，所述装置系统包括：气动振动装置3、管状包套、夹具2、锁紧螺丝4；所述管状包套包括低碳钢材质的外包套和不锈钢材质的内包套，外包套和内包套中间具有间隙，外包套和内包套的一端设置固定盖板，另一端设置活动盖板，所述固定盖板和活动盖板的直径均与外包套的外径相等；所述夹具2包括第一锁紧块5和第二锁紧块6，所述第一锁紧块5通过锁紧螺丝4与第二锁紧块6连接，所述锁紧螺丝4的螺纹连接内部设置钢丝螺套；所述第二锁紧块6通过螺丝与气动振动装置3连接；
在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种提升管状靶材装粉密度的方法，所述方法包括以下步骤：
对外包套和内包套使用乙醇清洗，并在80-200℃下干燥1-3h，将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙，将靶材粉末填充至所述间隙内，单次填充的粉末为间隙体积的9-11％，用活动盖板包裹外包套封口后得到装粉包套1；如图1所示，将所述装粉包套1置于所述第一锁紧块5和第二锁紧块6内，调节锁紧螺丝4并锁紧，所述夹具2对装粉包套1产生的压强为1.5-2Pa，所述第二锁紧块6与所述气动振动装置3通过螺丝固定，气动振动装置3以2400-2750rpm的频率振动1-2min，使装粉包套1内的粉末分布均匀；拆下装粉包套，重复填充、封口和振实步骤9-11次，管状靶材装粉密度得到提升。
需明确的是，采用了本发明实施例提供的工艺或进行了常规数据的替换或变化均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
实施例1
本实施例提供一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，所述装置系统包括：气动振动装置3、管状包套、夹具2、锁紧螺丝4；所述管状包套包括低碳钢材质的外包套和不锈钢材质的内包套，外包套和内包套中间具有间隙，外包套和内包套的一端设置固定盖板，另一端设置活动盖板，所述固定盖板和活动盖板的直径均与外包套的外径相等；所述夹具2包括第一锁紧块5和第二锁紧块6，所述第一锁紧块5通过锁紧螺丝4与第二锁紧块6连接，所述锁紧螺丝4的螺纹连接内部设置钢丝螺套；所述第二锁紧块6通过螺丝与气动振动装置3连接；
本实施例还提供了一种提升管状靶材装粉密度的方法，所述方法包括以下步骤：
对外包套和内包套使用乙醇清洗，并在80-200℃下干燥1-3h，将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙，将靶材粉末填充至所述间隙内，单次填充的粉末为间隙体积的10％，用活动盖板包裹外包套封口后得到装粉包套1；将所述装粉包套1置于所述第一锁紧块5和第二锁紧块6内，调节锁紧螺丝4并锁紧，所述夹具2对装粉包套1产生的压强为1.5Pa，所述第二锁紧块6与所述气动振动装置3通过螺丝固定，气动振动装置3以2400rpm的频率振动1.5min，使装粉包套1内的粉末分布均匀；拆下装粉包套，重复填充、封口和振实步骤10次，管状靶材装粉密度得到提升。
实施例2
本实施例提供一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，所述装置系统包括：气动振动装置3、管状包套、夹具2、锁紧螺丝4；所述管状包套包括低碳钢材质的外包套和不锈钢材质的内包套，外包套和内包套中间具有间隙，外包套和内包套的一端设置固定盖板，另一端设置活动盖板，所述固定盖板和活动盖板的直径均与外包套的外径相等；所述夹具2包括第一锁紧块5和第二锁紧块6，所述第一锁紧块5通过锁紧螺丝4与第二锁紧块6连接，所述锁紧螺丝4的螺纹连接内部设置钢丝螺套；所述第二锁紧块6通过螺丝与气动振动装置3连接；
本实施例还提供了一种提升管状靶材装粉密度的方法，所述方法包括以下步骤：
对外包套和内包套使用乙醇清洗，并在80-200℃下干燥1-3h，将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙，将靶材粉末填充至所述间隙内，单次填充的粉末为间隙体积的10％，用活动盖板包裹外包套封口后得到装粉包套1；将所述装粉包套1置于所述第一锁紧块5和第二锁紧块6内，调节锁紧螺丝4并锁紧，所述夹具2对装粉包套1产生的压强为1.8Pa，所述第二锁紧块6与所述气动振动装置3通过螺丝固定，气动振动装置3以2600rpm的频率振动1.5min，使装粉包套1内的粉末分布均匀；将所述外包套和内包套的另一自由端同时焊接在带孔盖板上进行密封，管状靶材装粉密度得到提升。
实施例3
本实施例提供一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，所述装置系统包括：气动振动装置3、管状包套、夹具2、锁紧螺丝4；所述管状包套包括低碳钢材质的外包套和不锈钢材质的内包套，外包套和内包套中间具有间隙，外包套和内包套的一端设置固定盖板，另一端设置活动盖板，所述固定盖板和活动盖板的直径均与外包套的外径相等；所述夹具2包括第一锁紧块5和第二锁紧块6，所述第一锁紧块5通过锁紧螺丝4与第二锁紧块6连接，所述锁紧螺丝4的螺纹连接内部设置钢丝螺套；所述第二锁紧块6通过螺丝与气动振动装置3连接；
本实施例还提供了一种提升管状靶材装粉密度的方法，所述方法包括以下步骤：
对外包套和内包套使用乙醇清洗，并在80-200℃下干燥1-3h，将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙，将靶材粉末填充至所述间隙内，单次填充的粉末为间隙体积的10％，用活动盖板包裹外包套封口后得到装粉包套1；将所述装粉包套1置于所述第一锁紧块5和第二锁紧块6内，调节锁紧螺丝4并锁紧，所述夹具2对装粉包套1产生的压强为2Pa，所述第二锁紧块6与所述气动振动装置3通过螺丝固定，气动振动装置3以2750rpm的频率振动2min，使装粉包套1内的粉末分布均匀；将所述外包套和内包套的另一自由端同时焊接在带孔盖板上进行密封，管状靶材装粉密度得到提升。
实施例4
本实施例提供一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，方法上与实施例1的区别仅在于，气动振动装置以2300rpm的频率振动1.5min。
实施例5
本实施例提供一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，方法上与实施例1的区别仅在于，气动振动装置以2900rpm的频率振动1.5min。
对比例1
本对比例提供一种提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，所述装置系统使用振动平台对管状靶材进行振动，所述方法使用人工扶正方式将装粉包套固定在振动平台上，振动平台以2800rpm的频率振动10min。
实施例1-5和对比例1得到的管状靶材的装粉密度和装粉合格率如表1所示。其中，装粉后的靶材进行热等静压，内外包套未发生变形或吸穿等异常现象的认为合格，以合格靶材数量与总靶材数量的比值为装粉合格率。
表1
装粉致密度(％) 装粉合格率(％)
实施例1 76 99
实施例2 76 99
实施例3 76 99
实施例4 72 96
实施例5 76 97
对比例1 50 99
综合表1中的数据我们可以看出：
(1)实施例1-3的提升管状靶材装粉密度的装置系统，有效提升装粉致密度，管状靶材的装粉致密度≥76％，噪音减少，且不易发生磕碰情况，装粉合格率≥99％，有助于提升烧结后的靶材质量；
(2)综合实施例1和实施例4-5可以看出，实施例4-5中气动振动装置的振动频率分别为2300rpm和2900rpm，而实施例1中气动振动装置的振动频率为2400rpm，实施例1的装粉致密度为76％，装粉合格率为99％，而实施例4装粉致密度仅为72％，实施例4-5的装粉合格率仅分别为96％和97％，振动频率过低导致装粉致密度不达标，振动频率过高靶材包套容易跌落，由此表明，优选本发明的振动频率才能同时保证装粉致密度和装粉合格率；
(3)综合实施例1和对比例1可以看出，实施例1采用气动振动装置和夹具固定靶材包套进行振实，而对比例1采用振动平台且没有固定措施进行振实，实施例1的装粉致密度为76％，而对比例1的装粉致密度仅为50％，由此说明采用本发明的装置和方法，显著提升装粉致密度。
综上所述，本发明提供的提升管状靶材装粉密度的装置系统和方法，以气动振动装置替代现有振动平台对管状靶材粉末进行振实，靶材装粉密度得到提升，装置体积较小，方便携带至各工段进行生产，环境适应性强，适合工业生产使用。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种提升管状靶材装粉密度的装置系统，其特征在于，所述装置系统包括：气动振动装置、管状包套、夹具与锁紧螺丝；
所述气动振动装置与所述夹具之间可拆卸连接，所述夹具与所述管状包套之间可拆卸连接；所述夹具包括第一锁紧块和第二锁紧块；所述第一锁紧块与第二锁紧块通过锁紧螺丝实现锁紧管状包套。
2.根据权利要求1所述的装置系统，其特征在于，所述管状包套包括外包套和内包套；
优选地，沿管状包套的轴线方向，所述管状包套的一端设置固定盖板，另一端设置活动盖板；
优选地，所述外包套和内包套中间具有间隙；
优选地，所述间隙的宽度为管状靶材预期厚度的2-3倍。
3.根据权利要求2所述的装置系统，其特征在于，所述固定盖板的形状为圆形；
优选地，所述固定盖板的直径与外包套的外径相等；
优选地，所述活动盖板的形状为圆形；
优选地，所述活动盖板的直径与外包套的外径相等。
4.根据权利要求2或3所述的装置系统，其特征在于，所述外包套的材质包括低碳钢；
优选地，所述内包套的材质包括不锈钢；
优选地，所述盖板的材质包括不锈钢和/或低碳钢。
5.根据权利要求1-4任一项所述的装置系统，其特征在于，所述锁紧螺丝的螺纹连接内部设置钢丝螺套；
优选地，所述第二锁紧块通过螺丝与气动振动装置连接。
6.一种提升管状靶材装粉密度的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：靶材粉末在如权利要求1-5所述提升管状靶材装粉密度的装置系统中进行装粉并振实，管状靶材装粉密度得到提升。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述装粉包括：清洁后的管状包套进行组装，将靶材粉末填充至组装后的管状包套内，封口后得到装粉包套；优选地，所述清洁包括依次进行的清洗与干燥；
优选地，所述清洗的清洗剂种类包括乙醇；
优选地，所述干燥的温度为80-200℃；
优选地，所述干燥的时间为1-3h。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述组装包括将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙；
优选地，所述填充包括将靶材粉末填充至间隙内；
优选地，所述封口包括用活动盖板包裹外包套；
优选地，所述活动盖板的材质包括橡胶。
9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述振实包括：将所述装粉包套置于所述夹具内，夹具锁紧后，装粉包套通过夹具与所述气动振动装置固定连接，气动振动装置振动使装粉包套内的粉末分布均匀；拆下装粉包套，重复填充、封口和振实步骤，直至装粉密度达到要求；
优选地，依次进行的填充、封口和振实的重复次数为9-11次；
优选地，单次填充的粉末为间隙体积的9-11％；
优选地，所述锁紧螺丝锁紧后，夹具对装粉包套产生的压强为1.5-2Pa；
优选地，所述气动振动装置振动的频率为2400-2750rpm；
优选地，所述气动振动装置振动的振动力为1800-2100N；
优选地，所述单次气动振动装置振动的时间为1-2min。
10.根据权利要求6-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
对外包套和内包套使用乙醇清洗，并在80-200℃下干燥1-3h，将所述外包套和内包套的一端同时焊接在固定盖板上，外包套和内包套中间形成间隙，将靶材粉末填充至所述间隙内，单次填充的粉末为间隙体积的9-11％，用活动盖板包裹外包套封口后得到装粉包套；将所述装粉包套置于所述第一锁紧块和第二锁紧块内，调节锁紧螺丝并锁紧，所述夹具对装粉包套产生的压强为1.5-2Pa，所述第二锁紧块与所述气动振动装置通过螺丝固定，气动振动装置以2400-2750rpm的频率振动1-2min，使装粉包套内的粉末分布均匀；拆下装粉包套，重复填充、封口和振实步骤9-11次，管状靶材装粉密度得到提升。
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