CN115231315B - 一种探针收集装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种探针收集装置及方法，所述收集装置包括：密封罐，密封罐包括顶部的探针进料通道和底部的出油通道；设于密封罐外的真空发生器，其通过负压管路与密封罐连通，用于调节密封罐内的负压状态；气动密封设备，其用于将压力能转化为机械能，包括输入压力能的气体通道和输出机械能的封堵件，封堵件用于开闭出油通道；气体输送设备，其与真空发生器和气体通道连通，并用于分别向真空发生器和气体通道内输送不同气压的气体，以调节密封罐内的负压状态，和调节出油通道的开闭状态。本发明可以采用纯机械的操作方式对切削后的探针进行收集，能够减少设备故障率，提高产品回收率。

Description

一种探针收集装置及方法

技术领域

本发明属于探针技术领域，特别是探针收集技术领域，具体涉及一种探针收集装置及方法。

背景技术

近年来，电子产品朝向精密化与多功能化快速发展，半导体制程技术突飞猛进。产品讲求轻薄短小，体积小、功能强、脚数多，是主流设计和发展方向。要想保障产品质量的同时提高生产效率和成品率，需要在芯片加工、质检、封装等多个环节对产品质量进行测试标记，从而在后段操作中避免工序浪费。

测试探针是应用于电子器件的常用测试仪器，在对半导体晶圆进行加工等生产环节中，往往需要测试探针对半导体晶圆进行测试处理。测试探针的质量精度、成本等因素对半导体产业的发展具有重大影响。

测试探针的质量主要体现在材质、镀层、弹簧、套管的直径精度及制作工艺上。然而，测试探针因其尺寸较小、精度要求高，全自动生产程度较低，导致探针生产效率不高、成品率低，目前多个工艺环节仍需人工使用镊子并通过显微镜辅助的方式进行操作。人工逐根夹取操作，耗费时间，更容易因夹取施力不易控制，导致了微细探针的损坏，降低成品率，增加了生产成本。

人工操作之外，测试探针的生产工艺中也局部引入机械自动化设备进行操作，但上述设备大都非针对测试探针而开发，仅是相关领域或类似产品生产设备的调整转用。探针收集装置，对切削加工后的探针进行收集操作，是探针最终产品质量和生产效率的重要影响因素，而现有的探针收集装置多参考普通物料或者废料的收集手段，采用了真空泵或蠕动泵的吸取方式进行，它们通过电驱动的方式收集成品探针，但由于成品探针尺寸较小，采用电驱动的方式容易在发生电气故障时致使工件丢失，因而急需根据测试探针的尺寸和结构特点，开发出有针对性的、高效稳定的探针收集装置。专利申请CN108627679A公开一种探针吸取装置，包括一本体，设有一侧壁表面以及一第一开口；以及止档件，固定于所述侧壁表面上，所述止档件与所述侧壁表面形成第一容纳空间，其中所述本体的所述第一开口与所述第一容纳空间连通，当所述本体以所述第一开口吸取所述第一容纳空间内的气体时，所述本体的所述侧壁表面吸附一探针并且所述止档件的一端部顶住所述探针，以使所述第一容纳空间收容一部分的所述探针。虽然可以吸取微细探针，但该吸取装置主要用于吸取固定探针，因此单次仅作用于一个探针，难以完成大量探针的收集操作。

因此，针对尺寸小、精度高的探针，如何提供一种具有高收集效率、低故障率的探针收集装置是本领域亟待解决的问题。

发明内容

针对上述现有技术中存在的缺陷，本发明根据测试探针尺寸小、精度要求高的产品特点，提供了一种探针收集装置及方法。采用纯机械的操作方式对切削后的探针进行收集，能够减少设备故障率，提高产品回收率，整体提升测试探针的产品质量和生产效率。

第一方面，本发明提供一种探针收集装置，包括：

密封罐，密封罐包括顶部的探针进料通道和底部的出油通道；

真空发生器，设于密封罐外，其通过负压管路与密封罐连通，以调节密封罐内的负压状态；

气动密封设备，包括输入压力能的气体通道和输出机械能的封堵件，所述气动密封设备将压力能转化为机械能，驱动封堵件开闭出油通道；

气体输送设备，其与所述真空发生器和气体通道连通，并分别向真空发生器和气体通道内输送不同气压的气体，以调节密封罐内的负压状态，控制探针的进料速度，并且调节出油通道的开闭状态。

其中，密封罐包括罐体、与罐体配合密封的罐盖、以及固定罐体和罐盖的固定结构，所述探针进料通道穿过罐盖与罐体内部连通，罐体口部设有向外直径逐渐减小的圆环结构，罐盖上设有与圆环结构匹配的凹槽，凹槽内设有与圆环结构匹配贴合的密封圈。

其中，固定结构包括第一固定结构和第二固定结构；

第一固定结构包括多个定位销以及与定位销数量和位置匹配的定位孔，定位销设于沿罐体的口部并沿圆环结构的周向布置，定位孔设于罐盖与罐体的接触面上并沿凹槽的周向布置，定位销和定位孔配合完成罐体与罐盖的径向和周向限位；

第二固定结构包括多个卡扣以及与卡扣数量和位置匹配的卡勾，卡扣设于罐体的口部外侧并沿其周向布置，卡勾设于罐盖与罐体接触的外侧面上并沿其周向布置，卡扣和沟槽配合完成罐体和罐盖的轴向限位。

其中，气体输送设备包括分气块，以及分别与分气块连通的进气管路、第一出气管路、第二出气管路，进气管路与气源连通，第一出气管路与真空发生器连通，第二出气管路与气体通道连通，所述分气块将通过进气管路进入的气体分为两股分别输入至第一出气管路和第二出气管路。

其中，负压管路与真空发生器连通的另一端穿过密封罐靠近罐盖的侧壁，与密封罐的内部连通，负压管路上设有第一调速阀，用于调节负压管路内的气体流速，以改变密封罐内的压强；

第二出气管路上设有第二调速阀，用于调节第二出气管路内的气体流速，以调整进入气体密封设备的压强。

其中，收集装置还包括设于罐体内的液位检测设备、以及与液位检测设备、第一调速阀和第二调速阀信号连接的控制设备，所述液位检测设备检测罐体内切削油的液位，所述控制设备根据罐体内切削油的液位控制第一调速阀和第二调速阀，以调节负压管路和第二出气管路内的气体流速。

其中，根据罐体内切削油的液位控制第一调速阀和第二调速阀，以调节负压管路和第二出气管路内的气体流速，具体包括：

罐体内切削油的液位为零，控制设备控制第一调速阀开启至最大流量，第二调速阀关闭；其中，最大液位为负压管路与密封罐的内部连通位置距离罐体内底部的高度；

罐体内切削油的液位上升到最大液位的二分之一，控制设备控制第一调速阀按照预定速度减小流量；

负压管路与密封罐内部连通位置到切削油液位的距离为4～8cm，控制设备控制第一调速阀关闭，并控制第二调速阀开启至最大流量；

罐体内切削油的液位下降到最大液位的二分之一，控制设备控制第二调速阀开启至最大流量的二分之一；

罐体内切削油的液位下降到4～6cm，控制设备控制第二调速阀开启至最大流量的四分之一；

罐体内切削油的液位下降至零，控制设备控制第二调速阀关闭。

其中，气动密封设备为气缸，其通过支架固定于密封罐的底部外侧，并且通过气管接头与第二出气管路连通。

其中，出油通道设有用于筛分切削油和探针的过滤网，过滤网的孔径小于探针的最小直径。

其中，收集装置包括集成底板，集成底板分为紧邻的第一区域、第二区域和第三区域，真空发生器和气体输送设备位于第一区域内并通过挡板围合形成箱型结构，密封罐和气动密封设备位于第二区域内，第三区域内通过挡板围合形成收集槽，收集分离后的探针。

第二方面，本发明还提供了一种采用上述收集装置收集探针的方法，包括：

将探针进料通道连通于探针切削装置；

通过气体输送设备向真空发生器和气动密封设备内输送气体，其中，真空发生器使得密封罐内产生负压，气动密封设备驱动封堵件以打开出油通道；

在所有探针进入密封罐并排空切削油后，控制气体输送设备停止向真空发生器和气动密封设备内输送气体，其中，真空发生器停止后密封罐内恢复常压，气动密封设备驱动的封堵件返回关闭出油通道。

本发明提供的一种探针收集装置及方法，至少包括如下有益效果：

(1)通过气体输送设备分别向真空发生器和气动密封设备中通入不同气压的气体，可以完成对探针和切削油混合物的吸附收集，以及分离并排出密封罐内的切削油，从而完成对探针的收集，可以将传统的电控转化为纯机械操作，减少设备故障率，提高产品回收率。

(2)通过调节进入真空发生器和气动密封设备的气体流速，从而实现通入不同气压的气体，进而实现密封罐内不同的负压状态，以及出油通道的开合程度。

附图说明

图1示出根据本发明实施例的一种探针收集装置的结构示意图；

图2示出根据本发明某一实施例的收集装置的部分剖面图；

图3示出根据本发明某一实施例的收集装置的底部示意图。

附图标记说明：1-密封罐，11-探针进料通道，12-出油通道，13-罐体，14-罐盖，15-第二固定结构，151-卡扣，152-卡勾，2-真空发生器，21-负压管路，3-气动密封设备，31-支架，41-分气块，42-第一出气管路，43-第二出气管路，51-第一调速阀，52-第二调速阀，6-集成底板，61-收集槽。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者装置中还存在另外的相同要素。

如图1至图3所示，本发明实施例提供一种探针收集装置，包括：

密封罐1，密封罐1包括顶部的探针进料通道11和底部的出油通道12；

真空发生器2，设于密封罐1外，其通过负压管路21与密封罐1连通，用于调节密封罐1内的负压状态；

气动密封设备3，其用于将压力能转化为机械能，包括输入压力能的气体通道和输出机械能的封堵件，封堵件用于开闭出油通道12；

气体输送设备，其与真空发生器2和气体通道连通，并用于分别向真空发生器2和气体通道内输送不同气压的气体，以调节密封罐1内的负压状态，控制探针的进料速度，和调节出油通道12的开闭状态。

在实际收集过程中，本实施例通过气体输送设备向真空发生器2和气动密封设备3中输送不同气压的气体，使得真空发生器2对密封罐1内空间进行作用产生不同的负压状态，并通过该负压状态使得探针进料通道11抽吸切削后混合有切削油的探针。在真空发生器2实现探针进料通道11的抽吸操作后，通过调节气动密封设备3打开出油通道12，密封罐1内的切削油通过出油通道12进行排出，在密封罐1内的切削油排出完全后，调节启动密封设备关闭出油通道12，从而完成对探针的收集。

本实施例的收集装置在通过密封罐1完成对探针的收集后，还需要将密封罐1内的探针进行转移，即本实施例的收集装置需要同时满足收集过程中密封，以及收集完成后易于转移探针的条件，因此，可以对密封罐1的结构进行相应设置，以使其满足上述条件。在实际应用场景中，密封罐1可以包括罐体13、与罐体13配合密封的罐盖14、以及固定罐体13和罐盖14的固定结构，探针进料通道11穿过罐盖14与罐体13内部连通，罐体13口部设有向外直径逐渐减小的圆环结构，罐盖14上设有与圆环结构匹配的凹槽，凹槽内设有与圆环结构匹配贴合的密封圈。通过固定结构将罐体13和罐盖14进行固定，从而实现固定密封；并且通过圆环结构、凹槽和密封圈的设置，可以进一步提高罐体13和罐盖14之间的密封性能。本实施例在通过密封罐1进行探针收集前，通过固定结构将罐体13和罐盖14进行配合固定，以保证罐体13和罐盖14之间不会出现泄露的情况。在密封罐1完成探针的收集并进行排出切削油后，可以作用于固定结构，使得罐体13和罐盖14解除固定状态，并通过分离罐体13和罐盖14，可以实现对密封罐1内探针的转移。

本实施例在保证罐体13和罐盖14密封性能的基础上，还可以通过设置相应的结构进一步提高密封性能。在实际应用场景中，密封罐1内设有内胆，该内胆的直径与圆环结构的最小直径匹配，并且内胆的口部设有向外的翻边结构，该翻边结构的最大直径大于圆环的最小直径；内胆底部设有过滤区域；罐体13底部设有沿其周向伸缩的弹性件，以作用内胆向罐体13外运动。密封罐1在进行探针收集前，罐盖14盖合于罐体13上，并作用与内胆，使得内胆与罐盖14密切贴合并压缩弹性件。密封罐1在进行探针的收集时，探针和切削油同时进入内胆内，切削油通过过滤区域进入罐体13内部并最终通过出油通道12进行排出。密封罐1在完成探针的收集后，拆卸罐盖14，将内胆取出，从而可以直接将内胆的探针进行转移。通过内胆在弹性件的作用下与罐盖14进行密切贴合，可以进一步提高收集装置的密封性能；并且由于内胆可直接与罐体13分离，在收集完成并进行转运时，可以直接将内胆进行转运，因此，提高了转运的效率；更进一步地，也正是由于内胆与罐体13的分离设置，可以在内胆出现损坏时对内胆进行及时更换，从而提高收集装置的使用寿命。

其中，在通过固定结构密封固定罐体13和罐盖14时，该固定结构可以包括第一固定结构和第二固定结构15；第一固定结构包括多个定位销以及与定位销数量和位置匹配的定位孔，定位销设于沿罐体13的口部并沿圆环结构的周向布置，定位孔设于罐盖14与罐体13的接触面上并沿凹槽的周向布置，定位销和定位孔配合完成罐体13与罐盖14的径向和周向限位，在另一个应用场景中，位于罐体13和罐盖14上的可以分别是定位孔和定位销，仅需要保证定位孔和定位销分别设于罐体13和罐盖14上，可以实现相互配合限位即可。第二固定结构15包括多个卡扣151以及与卡扣151数量和位置匹配的卡勾152，卡扣151设于罐体13的口部外侧并沿其周向布置，卡勾152设于罐盖14与罐体13接触的外侧面上并沿其周向布置，卡扣151和沟槽配合完成罐体13和罐盖14的轴向限位。在密封固定罐体13和罐盖14时，将罐盖14上的定位孔与罐体13上的定位销正对，并将罐盖14具有密封圈和凹槽的一侧扣合于罐体13的口部上，此时，罐体13上的定位销位于罐盖14的定位孔中，实现了罐体13与罐盖14的径向和周向限位；将罐盖14扣合于罐体13上后，将罐体13上的卡扣151与罐盖14上的卡勾152进行配合固定，实现了罐体13和罐盖14的轴向限位。

参见图2和图3所示，本实施在将罐体13和罐盖14进行密封固定后，通过气体输送设备向真空发生器2和气动密封设备3输送不同压力的气体时，可以采用对应结构进行分别输送。在实际应用场景中，气体输送设备可以包括分气块41，以及分别与分气块41连通的进气管路、第一出气管路42、第二出气管路43，进气管路与气源连通，第一出气管路42与真空发生器2连通，第二出气管路43与气体通道连通，分气块41用于将通过进气管路进入的气体分为两股分别输入至第一出气管路42和第二出气管路43。通过分气块41将气源输送的气体分为两股分别进入真空发生器2和气动密封设备3，从而可以通过真空发生器2实现对密封罐1内的负压状态调节，以及通过气动密封设备3实现对出油通道12的开合调节。

在通过分气块41向真空发生器2和气动密封设备3输送一定流速的气体时，为了实现对密封罐1内负压状态和出油通道12开合状态控制，可以设置对应结构进行调节。在实际应用场景中，负压管路21与真空发生器2连通的另一端穿过密封罐1靠近罐盖14的侧壁，与密封罐1的内部连通，负压管路21上设有第一调速阀51，用于调节负压管路21内的气体流速，以改变密封罐1内的压强；该第一调速阀51可以作为调节密封罐1内负压状态的阀门，也可以起到关闭负压管路21的作用，避免在密封罐1内收集探针预定时间后仍开启负压管路21，而导致切削油进入负压管路21影响密封罐1内部负压状态的调节效果。其中，第一调速阀51不仅可以设置于负压管路21上，还可以设置于第一出气管路42上，通过调节进入真空发生器2的气体流速，也可以达到调节密封罐1内负压状态的效果。第二出气管路43上设有第二调速阀52，用于调节第二出气管路43内的气体流速，以调整进入气体密封设备的压强。该第二调速阀52可以通过调节进入气体密封设备的压强，从而调节出油通道12的开合程度，例如，当通入气体密封设备的气体压强最大时，出油通道12打开至最大流量，当通入气体密封设备的气体压强逐渐减小时，出油通道12的开启程度逐渐减小，最终在气体密封设备中没有通入气体时，出油通道12为关闭状态。相对的，也可以设置在通入气体密封设备的气体压强最大时，出油通道12为关闭状态，通过第二调速阀52调节通入的气体压强，使得气体压强逐渐减小的过程中，出油通道12的开启程度逐渐增大(出油通道12的流量逐渐增大)，当气动密封设备3中未通入气体时，出油通道12的完全开启(为出油通道12本身所能达到的最大流量)。

本实施例在通过第一调速阀51和第二调速阀52实现密封罐1内负压状态和出油通道12开合调节时，可以通过检测特定参数来进行控制调节。在实际应用场景中，收集装置还可以包括设于罐体13内的液位检测设备、以及与液位检测设备、第一调速阀51和第二调速阀52信号连接的控制设备，液位检测设备用于检测罐体13内切削油的液位，控制设备用于根据罐体13内切削油的液位控制第一调速阀51和第二调速阀52，以调节负压管路21和第二出气管路43内的气体流速。通过液位检测设备检测密封罐1内的液位，可以对密封罐1内切削油进行监控，从而在收集过程中切削油达到预定高度时，可以通过第二调速阀52完成对出油通道12开合状态的调节，打开出油通道12，从而将密封罐1内的切削油进行排出。在将切削油进行排出后，可以对密封罐1内的探针进行转移，还可以继续进行收集探针；若继续收集探针，则需要设置相应的传感器进行判断密封罐1内的探针是否达到或即将达到容纳上限，若是，则需要对密封罐1内的探针进行转移后再进行探针的收集，若否，则可以继续对探针收集也可以进行转移后再进行探针收集。其中进行判断探针所设置的传感器可以选用重力传感器，通过检测排出切削油后的重量来判断探针是否达到容纳上限。设置的传感器还可以选用设置于罐体13内部的红外探测器，红外探测器靠近罐体13口部设置，其设置位置代表探针达到容纳上限，红外探测器包括红外发射器和红外接收器，当探针达到容纳上限时，红外接收器根据红外信号变化可以相应结果。在采用红外探测器的结构中，为了提高其探测结果的准确性，可以在密封罐1底部设置振动设备，在完成切削油的排出后，通过振动设备振动罐体13，使得罐体13内的探针分布均匀，从而提高探测效果。

其中，本实施例在根据罐体13内切削油的液位控制第一调速阀51和第二调速阀52，以调节负压管路21和第二出气管路43内的气体流速，具体包括：

罐体内切削油的液位为零，控制设备控制第一调速阀开启至最大流量，第二调速阀关闭；其中，最大液位为负压管路与密封罐的内部连通位置距离罐体内底部的高度；

罐体内切削油的液位上升到最大液位的二分之一，控制设备控制第一调速阀按照预定速度减小流量；

负压管路与密封罐内部连通位置到切削油液位的距离为4～8cm，控制设备控制第一调速阀关闭，并控制第二调速阀开启至最大流量；

罐体内切削油的液位下降到最大液位的二分之一，控制设备控制第二调速阀开启至最大流量的二分之一；

罐体内切削油的液位下降到4～6cm，控制设备控制第二调速阀开启至最大流量的四分之一；

罐体内切削油的液位下降至零，控制设备控制第二调速阀关闭。

控制设备在收集装置收集探针过程中，通过监测切削油的液位高度，以调节第一调速阀的开启状态，使得切削油的液位未达到最大液位的二分之一时，密封罐内具有最大的负压状态，可以快速的完成对探针的收集。在切削油的液位达到最大液位的二分之一时，为了避免收集的探针进入罐体内时，切削油飞溅至负压管路或负压管路的抽吸左右过大而使得部分切削油进入负压管路，通过逐渐降低第一调速阀的流量来实现。在切削油的液位到负压管路与密封罐内部连通位置之间的距离为4～8cm时，控制设备调节第一调速阀关闭，其中，切削油的液位最高达到距离负压管路与密封罐内部连通的位置4cm，若小于4cm，则可能出现切削油进入负压管路而影响下次探针收集的效果，若大于8cm，则可能使得收集装置无法得到最大的收集效果。在完成探针的收集并进行排出切削油时，控制设备调节第二调速阀开启至最大流量。在切削油的液位下降至最大液位的二分之一时，控制第二调速阀开启至最大流量的二分之一，该调节方式可以避免切削油液位按照最大的排出速率下降时，切削油会作用于探针使得探针在罐体内晃动，从而容易出现损坏探针或罐体内壁的情况，因此，通过控制第二调速阀的流量，以实现调节切削油的排出速率。在切削油的液位下降至4～6cm时，将第二调速阀开启至最大流量的四分之一，可以避免出现切削油即将排空时造成对探针扰动的情况，从而提高探针的成品率和密封罐的使用寿命；其中，若切削油的液位下降至大于6cm的位置时调节第二调速阀，则会使得切削油排出速率降低而无法满足预定收集效率，若切削油的液位下降至小于4cm的位置时调节第二调速阀，则无法达到避免探针扰动的情况。在切削油的液位下降至零时即切削油排空时，控制设备控制第二调速阀关闭，以在新一轮收集装置收集探针后进行开启。

气源向分气块41输送气体后，通过第二出气管路43进入气体密封设备，以实现调节出油通道12的开合程度时，气体密封设备可以选用相应的设备进行实现。在实际应用场景中，气动密封设备3可以为气缸，其通过支架31固定于密封罐1的底部外侧，并且通过气管接头与第二出气管路43连通。通过气缸的作用，可以将进入的压力能转化为机械能，从而驱动其输出端的封堵件开闭出油通道12。

本实施例在通过出油通道12完成切削油的排出时，为了避免探针跟随出油通道12排出，可以设置相应结构进行实现。在实际应用场景中，出油通道12可以设有用于筛分切削油和探针的过滤网，过滤网的孔径小于探针的最小直径。通过过滤网实现对探针的筛选，避免探针通过出油通道12岁切削油一起排出。另外，在对应设置内胆的密封罐1内，可以直接由内胆的过滤区域进行实现分离筛选，即内胆上的过滤区域的过滤孔孔径小于探针的最小直径，从而可以直接完成对探针和切削油的分离。

在采用本实施例的收集装置进行探针收集时，为了提高收集装置的集成度，减小其占用的空间，可以对其结构进行设置。在实际应用场景中，收集装置可以包括集成底板6，集成底板6分为紧邻的第一区域、第二区域和第三区域，真空发生器2和气体输送设备位于第一区域内并通过挡板围合形成箱型结构，密封罐1和气动密封设备3位于第二区域内，第三区域内通过挡板围合形成收集槽61，以用于收集分离后的探针。将集成底板6进行分区，其中第一区域用于输送一定气压的气体，第二区域用于收集探针，并完成切削油和探针的分离，第三区域用于将密封罐1内收集的探针进行临时存储收集，以便后续进行整体转移。通过集成底板6将密封罐1、气动密封设备3、真空发生器2和气体输送设备集成，本实施例的整体结构紧凑，其占用的位置空间小，可以达到降低成本和便于转移的目的。

本发明实施例还提供了一种采用上述收集装置收集探针的方法，包括：

将探针进料通道11连通于探针的切削装置；

通过气体输送设备向真空发生器2和气动密封设备3内输送气体，其中，真空发生器2使得密封罐1内产生负压，气动密封设备3驱动封堵件以打开出油通道12；

在所有探针进入密封罐1并排空切削油后，控制气体输送设备停止向的真空发生器2和气动密封设备3内输送气体，其中，真空发生器2停止后密封罐1内恢复常压，气动密封设备3驱动的封堵件返回关闭出油通道12。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种探针收集装置，其特征在于，包括：

密封罐，密封罐包括顶部的探针进料通道和底部的出油通道；

真空发生器，设于密封罐外，其通过负压管路与密封罐连通，以调节密封罐内的负压状态；

气动密封设备，包括输入压力能的气体通道和输出机械能的封堵件，所述气动密封设备将压力能转化为机械能，驱动封堵件开闭出油通道；

气体输送设备，其与所述真空发生器和气体通道连通，并分别向真空发生器和气体通道内输送不同气压的气体，以调节密封罐内的负压状态，控制探针的进料速度，并且调节出油通道的开闭状态；

气体输送设备包括分气块，以及分别与分气块连通的进气管路、第一出气管路、第二出气管路，进气管路与气源连通，第一出气管路与真空发生器连通，第二出气管路与气体通道连通，所述分气块将通过进气管路进入的气体分为两股分别输入至第一出气管路和第二出气管路；

其中，密封罐包括罐体、与罐体配合密封的罐盖、以及固定罐体和罐盖的固定结构，所述探针进料通道穿过罐盖与罐体内部连通，罐体口部设有向外直径逐渐减小的圆环结构，罐盖上设有与圆环结构匹配的凹槽，凹槽内设有与圆环结构匹配贴合的密封圈；

固定结构包括第一固定结构和第二固定结构；

第一固定结构包括多个定位销以及与定位销数量和位置匹配的定位孔，定位销设于沿罐体的口部并沿圆环结构的周向布置，定位孔设于罐盖与罐体的接触面上并沿凹槽的周向布置，定位销和定位孔配合完成罐体与罐盖的径向和周向限位；

第二固定结构包括多个卡扣以及与卡扣数量和位置匹配的卡勾，卡扣设于罐体的口部外侧并沿其周向布置，卡勾设于罐盖与罐体接触的外侧面上并沿其周向布置，卡扣和沟槽配合完成罐体和罐盖的轴向限位。

2.如权利要求1所述的收集装置，其特征在于，负压管路与真空发生器连通的另一端穿过密封罐靠近罐盖的侧壁，与密封罐的内部连通，负压管路上设有第一调速阀，用于调节负压管路内的气体流速，以改变密封罐内的压强；

第二出气管路上设有第二调速阀，用于调节第二出气管路内的气体流速，以调整进入气体密封设备的压强。

3.如权利要求2所述的收集装置，其特征在于，收集装置还包括设于罐体内的液位检测设备、以及与液位检测设备、第一调速阀和第二调速阀信号连接的控制设备，所述液位检测设备检测罐体内切削油的液位，所述控制设备根据罐体内切削油的液位控制第一调速阀和第二调速阀。

4.如权利要求1所述的收集装置，其特征在于，气动密封设备为气缸，其通过支架固定于密封罐的底部外侧，并且通过气管接头与第二出气管路连通。

5.如权利要求1所述的收集装置，其特征在于，出油通道设有用于筛分切削油和探针的过滤网，过滤网的孔径小于探针的最小直径。

6.如权利要求2-5任意一项所述的收集装置，其特征在于，收集装置包括集成底板，集成底板分为紧邻的第一区域、第二区域和第三区域，真空发生器和气体输送设备位于第一区域内并通过挡板围合形成箱型结构，密封罐和气动密封设备位于第二区域内，第三区域内通过挡板围合形成收集槽，收集分离后的探针。

7.一种采用如权利要求1-6任意一项所述收集装置收集探针的方法，其特征在于，包括：

将探针进料通道连通于探针切削装置；

通过气体输送设备向真空发生器和气动密封设备内输送气体，其中，真空发生器使得密封罐内产生负压，气动密封设备驱动封堵件以打开出油通道；

在所有探针进入密封罐并排空切削油后，控制气体输送设备停止向真空发生器和气动密封设备内输送气体，其中，真空发生器停止后密封罐内恢复常压，气动密封设备驱动的封堵件返回关闭出油通道。

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