CN115193846B - 一种填料负压钢瓶的清理方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种填料负压钢瓶的清理方法，属于半导体生产制造领域。填料负压钢瓶的清理方法包括正压处理、除害处理、第一次解析处理以及第二次解析处理，通过该清理方法能够实现对填料负压钢瓶的有效清理，从而保证填料负压钢瓶的内部洁净度。
Description
技术领域
本申请涉及半导体生产制造领域，具体而言，涉及一种填料负压钢瓶的清理方法。
背景技术
现有技术中，半导体的制造过程需要用到一些剧毒性的掺杂气体(比如AsH3、PH3以及BF3等)，在使用过程中，通常使用内置填料(即吸附剂)的负压钢钢瓶来存储掺杂气体，当使用完毕后，为了后续进行原料气的重复充装，需要对钢瓶进行清理，以便除掉钢瓶内部的各种杂质气体(比如水蒸气和氧气)以及残留的原料气，从而保证负压钢瓶的内部洁净度，但是，目前还缺少针对填料负压钢瓶的有效清理方法。
发明内容
本申请的目的在于提供一种填料负压钢瓶的清理方法，能够实现对填料负压钢瓶的有效清理，从而保证填料负压钢瓶的内部洁净度。
本申请的实施例是这样实现的：
本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，包括以下步骤：
正压处理：向钢瓶中充入第一置换气体，以使钢瓶内为正压；
除害处理：对钢瓶依次进行泄压以及抽真空，直至钢瓶内的有害气体的浓度处于安全标准内；
第一次解析处理：对钢瓶进行加热，以使钢瓶内的填料在预设温度下以及残留的所述第一置换气体的气氛下进行解析；以及
第二次解析处理：在维持钢瓶内的温度不变的情况下，向钢瓶中充入第二置换气体，以使钢瓶内为正压；然后，等待第一预设时间，以使填料在预设温度下以及第二置换气体的气氛下进行解析；然后，对钢瓶依次进行泄压以及抽真空。
上述技术方案中，正压处理结合除害处理是为了将钢瓶内没有被填料吸附的杂质气体以及残留的原料气(原料气大都是一些剧毒性气体)基本排除干净；第一次解析处理是为了通过初步解析过程对钢瓶内与填料吸附在一起的杂质气体以及残留的原料气进行初步排除；第二次解析处理是为了通过深度解析过程将钢瓶内与填料吸附在一起的杂质气体以及残留的原料气进行深度排除。通过依次进行正压处理、除害处理、第一次解析处理以及第二次解析处理，能够使得钢瓶内的各种杂质气体以及残留的原料气被基本排除干净，从而保证负压钢瓶的内部洁净度，以便后续用于原料气的重装。
在一些可选的实施方案中，第一置换气体为氮气。
上述技术方案中，将氮气作为第一置换气，是由于氮气属于惰性气体，使用起来比较安全，同时，由于在处理前期，钢瓶内的杂质气体以及残留的原料气的含量较多，相应的用到的置换气体的量也会很多，相对于使用其他的置换气体，使用氮气能够大幅节约清理成本。
在一些可选的实施方案中，预设温度为180～240℃。
上述技术方案中，将预设温度限定在180～240℃的范围内，能够使得第一次解析过程以及第二次解析过程都能在适宜的温度下进行，从而便于置换气体和填料中被吸附的气体进行置换，以便对钢瓶达到较好的清理效果。
在一些可选的实施方案中，第一次解析处理直至钢瓶内的压力达到第一预设压力，第一预设压力为0.1～1mbar。
上述技术方案中，在第一次解析处理的后期对钢瓶内的压力进行限定，是为了通过压力指标来明确第一次解析处理的结束时间，一方面能够避免对钢瓶的清理不彻底，另一方面还能避免清理达标以后，过度浪费时间。其中，将第一预设压力限定在0.1～1mbar的范围内，是由于当瓶内压力达到该范围后，钢瓶内未被填料吸附的气体能够基本被排除干净，从而能够保证钢瓶的洁净度。
在一些可选的实施方案中，第二置换气体为氦气。
上述技术方案中，将氦气作为第二置换气体，一方面是由于氦气在高温下也比较稳定，能够保证清理过程的安全；另一方面是由于氦气能够和被填料吸附的气体进行深度置换，从而能够将氮气无法置换掉的气体置换出来，从而达到对钢瓶深度清理的目的。
在一些可选的实施方案中，第一预设时间为10～30min。
上述技术方案中，将第一预设时间限定在10～30min的范围内，能够给予适宜的置换时间，从而使得氦气能够与被填料吸附的气体之间的置换过程进行得更加充分，从而达到更好的清理效果。
在一些可选的实施方案中，第二次解析处理直至钢瓶内的压力达到第二预设压力，第二预设压力为0.1～0.5mbar。
上述技术方案中，在第二次解析处理的后期对钢瓶内的压力进行限定，是为了通过压力指标来明确第二次解析处理的结束时间，一方面能够避免对钢瓶的清理不彻底，另一方面还能避免清理达标以后，过度浪费时间。其中，将第二预设压力限定在0.1～0.5mbar的范围内，是由于当瓶内压力处于该范围内时，钢瓶处于洁净程度较高的状态，故将第二预设压力限定在该范围内能够保证清理完毕后的钢瓶具有较高的洁净度，以便后续重装原料气。
在一些可选的实施方案中，重复进行多次第二次解析处理，以使在进行最后一次第二次解析处理后，钢瓶内的压力能够在第二预设时间内维持在第二预设压力，第二预设时间为10～30min。
上述技术方案中，通过重复进行多次第二次解析处理，能够通过多次深度解析处理，尽可能地将钢瓶内与填料吸附在一起的顽固气体置换出来，从而能够有效避免残留气体的存在导致钢瓶的气体存储量降低，以使后续重装原料气时能够存储尽可能多的原料气。
此外，对钢瓶达到第二预设压力时的稳定时间进行限定，一方面，是由于流动状态下的气流不是很稳定，如果仅以某个时间点或较短时间内的压力值作为第二次解析处理的终止时间，容易在钢瓶内的实际压力没有达到第二预设压力时便终止深度解析过程，从而导致对钢瓶的清理不彻底，使得钢瓶无法得到标准的洁净度要求；另一方面，是由于在第二次解析处理的过程中，钢瓶内的气体总量相对较少，通过在一定时间内对钢瓶内的压力进行检测，还能通过压力值的变化实现辅助钢瓶检漏的目的。
进一步地，将第二预设时间限定在10～30min的范围内，是由于若钢瓶内的压力能够在该时间范围内基本维持稳定，则足以说明钢瓶内的实际压力已经达到规定的洁净度标准，并且该时间范围也能够有效判断钢瓶是否存在漏气的问题。
在一些可选的实施方案中，在重复进行第二次解析处理的过程中，间隔时间为3～6h。
上述技术方案中，在重复进行第二次解析处理的过程中，将处理的间隔时间限定在上述范围内，是由于每次深度解析后，钢瓶内或多或少会残留部分氦气，通过给予适宜的间隔时间，能够使得钢瓶内被填料吸附的气体能够在适宜的温度下与残留的氦气充分进行置换，从而最大化的发挥氦气的置换作用。
在一些可选的实施方案中，在钢瓶完成第二次解析处理以后，向钢瓶内充入第二置换气体，以使钢瓶内为正压。
上述技术方案中，钢瓶清理完毕后，再向钢瓶内充入第二置换气体，并使得钢瓶内为正压，能够在下次往钢瓶内充入原料气之前，避免杂质气体进入钢瓶内，从而有效避免清理完毕后的钢瓶被二次污染，以保证钢瓶在下次使用前的洁净度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请实施例提供的一种填料负压钢瓶的清理方法的工艺流程图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
需要说明的是，在本申请的描述中，除非另有说明，“一种或多种”中的“多种”的含义是指两种及两种以上；“数值a～数值b”的范围包括两端值“a”和“b”，“数值a～数值b+计量单位”中的“计量单位”代表“数值a”和“数值b”二者的“计量单位”。
现有技术中，半导体制造过程需要用到填料负压钢瓶，当使用完毕后，为了后续进行原料气的重复充装，需要对钢瓶进行清理，然而，由于该类型的钢瓶内存在填料，并且由于该类钢瓶存储的原料气大都带有剧毒，故采用传统的存储钢瓶的清理方法难以实现对填料负压钢瓶的有效清理，并且还容易造成技术人员中毒的问题。
发明人研究发现，通过先将填料负压钢瓶内的有害气体降低到安全标准下，然后再通过梯度解析的方法，能够实现对填料负压钢瓶的有效清理，从而保证填料负压钢瓶的内部洁净度，同时，还能有效避免造成技术人员中毒的问题。
发明人还研究发现，当温度较低的时候，和填料吸附在一起的气体很难被置换出来，而当温度升高时，和填料吸附在一起的气体的置换相对较为容易。
基于上述发现，下面对本申请实施例的一种填料负压钢瓶的清理方法进行具体说明。
参阅图1，本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，包括以下步骤：
正压处理：向钢瓶中充入第一置换气体，以使钢瓶内为正压；
除害处理：对钢瓶依次进行泄压以及抽真空，直至钢瓶内的有害气体的浓度处于安全标准内；
第一次解析处理：对钢瓶进行加热，以使钢瓶内的填料在预设温度下以及残留的所述第一置换气体的气氛下进行解析；以及
第二次解析处理：在维持钢瓶内的温度不变的情况下，向钢瓶中充入第二置换气体，以使钢瓶内为正压；然后，等待第一预设时间，以使填料在预设温度下以及第二置换气体的气氛下进行解析；然后，对钢瓶依次进行泄压以及抽真空。
本申请中，正压处理结合除害处理是为了将钢瓶内没有被填料吸附的杂质气体以及残留的原料气(原料气大都是一些剧毒性气体)基本排除干净；第一次解析处理是为了通过初步解析过程对钢瓶内与填料吸附在一起的杂质气体以及残留的原料气进行初步排除；第二次解析处理是为了通过深度解析过程将钢瓶内与填料吸附在一起的杂质气体以及残留的原料气进行深度排除。通过依次进行正压处理、除害处理、第一次解析处理以及第二次解析处理，能够使得钢瓶内的各种杂质气体以及残留的原料气被基本排除干净，从而保证负压钢瓶的内部洁净度，以便后续用于原料气的重装。
需要注意的是，考虑到环境污染的问题，整个清理过程中产生的废气都需要进行尾气处理。
可以理解的是，尾气处理的方式不做具体限定，可以按照本领域的常规方法进行。
可以理解的是，由于原料气大都带有剧毒，为了避免在清理过程以及后续重装原料气的过程中出现原料气泄漏的问题，清理现场需要对钢瓶进行检漏，以便造成安全隐患。
可以理解的是，在除害处理的过程中，为了更快地将钢瓶内的有害气体的含量降低到安全标准内，可以通过重复进行多次正压处理以及除害处理的过程。
需要注意的是，第一置换气体的种类不做具体限定，可以按照本领常用的气体类型进行选择。
作为一种示例，第一置换气体为氮气。
该实施方式中，将氮气作为第一置换气，是由于氮气属于惰性气体，使用起来比较安全，同时，由于在处理前期，钢瓶内的杂质气体以及残留的原料气的含量较多，相应的用到的置换气体的量也会很多，相对于使用其他的置换气体，使用氮气能够大幅节约清理成本。
需要注意的是，预设温度的大小不做具体限定。
作为一种示例，预设温度为180～240℃，例如但不限于温度为180℃、190℃、200℃、210℃、220℃、230℃和240℃中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
该实施方式中，将预设温度限定在180～240℃的范围内，能够使得第一次解析过程以及第二次解析过程都能在适宜的温度下进行，从而便于置换气体和填料中被吸附的气体进行置换，以便对钢瓶达到较好的清理效果。
需要注意的是，为了更好地控制第一次解析处理的进度，可以对第一次解析处理进行调整。
作为一种示例，第一次解析处理直至钢瓶内的压力达到第一预设压力，第一预设压力为0.1～1mbar，例如但不限于压力为0.1mbar、0.2mbar、0.3mbar、0.4mbar、0.5mbar、0.6mbar、0.7mbar、0.8mbar、0.9mbar和1mbar中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
该实施方式中，在第一次解析处理的后期对钢瓶内的压力进行限定，是为了通过压力指标来明确第一次解析处理的结束时间，一方面能够避免对钢瓶的清理不彻底，另一方面还能避免清理达标以后，过度浪费时间。其中，将第一预设压力限定在0.1～1mbar的范围内，是由于当瓶内压力达到该范围后，钢瓶内未被填料吸附的气体能够基本被排除干净，从而能够保证钢瓶的洁净度。
作为一种示例，第二置换气体为氦气。
该实施方式中，将氦气作为第二置换气体，一方面是由于氦气在高温下也比较稳定，能够保证清理过程的安全；另一方面是由于氦气能够和被填料吸附的气体进行深度置换，从而能够将氮气无法置换掉的气体置换出来，从而达到对钢瓶深度清理的目的。
作为一种示例，第一预设时间为10～30min，例如但不限于时间为10min、15min、20min、25min和30min中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
该实施方式中，将第一预设时间限定在10～30min的范围内，能够给予适宜的置换时间，从而使得氦气能够与被填料吸附的气体之间的置换过程进行得更加充分，从而达到更好的清理效果。
需要注意的是，为了更好地控制第二次解析处理的进度，可以对第二次解析处理进行调整。
作为一种示例，第二次解析处理直至钢瓶内的压力达到第二预设压力，第二预设压力为0.1～0.5mbar，例如但不限于压力为0.1mbar、0.2mbar、0.3mbar、0.4mbar和0.5mbar中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
该实施方式中，在第二次解析处理的后期对钢瓶内的压力进行限定，是为了通过压力指标来明确第二次解析处理的结束时间，一方面能够避免对钢瓶的清理不彻底，另一方面还能避免清理达标以后，过度浪费时间。其中，将第二预设压力限定在0.1～0.5mbar的范围内，是由于当瓶内压力处于该范围内时，钢瓶处于洁净程度较高的状态，故将第二预设压力限定在该范围内能够保证清理完毕后的钢瓶具有较高的洁净度，以便钢瓶后续重装原料气。
作为一种示例，在钢瓶内的压力达到第一预设压力以后且在钢瓶内的压力达到第二预设压力之前，重复进行多次第二次解析处理，以使在进行最后一次第二次解析处理后，钢瓶内的压力能够在第二预设时间内维持在第二预设压力，第二预设时间为10～30min，例如但不限于时间为10min、15min、20min、25min和30min中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
该实施方式中，在钢瓶内的压力达到第一预设压力以后且在钢瓶内的压力达到第二预设压力之前，通过重复进行多次第二次解析处理，能够通过多次深度解析处理，尽可能地将钢瓶内与填料吸附在一起的顽固气体置换出来，从而能够有效避免残留气体的存在导致钢瓶的气体存储量降低，以使后续重装原料气时能够存储尽可能多的原料气。
此外，对钢瓶达到第二预设压力时的稳定时间进行限定，一方面，是由于流动状态下的气流不是很稳定，如果仅以某个时间点或较短时间内的压力值作为第二次解析处理的终止时间，容易在钢瓶内的实际压力没有达到第二预设压力时便终止深度解析过程，从而导致对钢瓶的清理不彻底，使得钢瓶无法得到标准的洁净度要求；另一方面，是由于在第二次解析处理的过程中，钢瓶内的气体总量相对较少，通过在一定时间内对钢瓶内的压力进行检测，还能通过压力值的变化实现辅助钢瓶检漏的目的。
进一步地，将第二预设时间限定在10～30min的范围内，是由于若钢瓶内的压力能够在该时间范围内基本维持稳定，则足以说明钢瓶内的实际压力已经达到规定的洁净度标准，并且该时间范围也能够有效判断钢瓶是否存在漏气的问题。
需要注意的是，重复次数不做具体限定，可以根据实际的清理效果进行调整。
作为一种示例，重复次数为3～5次。
需要注意的是，考虑到氦气利用率的问题，可以在重复进行第二次解析处理的过程中，对间隔时间进行调整。
可以理解的是，间隔时间不做具体限定，可以根据实际清理效果进行调整。
作为一种示例，在重复进行第二次解析处理的过程中，间隔时间为3～6h，例如但不限于时间为3h、3.5h、4h、4.5h、5h、5.5h和6h中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
该实施方式中，在重复进行第二次解析处理的过程中，将处理的间隔时间限定在上述范围内，是由于每次深度解析后，钢瓶内或多或少会残留部分氦气，通过给予适宜的间隔时间，能够使得钢瓶内被填料吸附的气体能够在适宜的温度下与残留的氦气充分进行置换，从而最大化的发挥氦气的置换作用。
需要注意的是，当钢瓶清理完毕后，可能不会立即进行原料气的填充，为了在避免钢瓶在存放的过程中被污染，可以对清理完毕后的钢瓶进行后处理。
作为一种示例，在钢瓶完成第二次解析处理以后，向钢瓶内充入第二置换气体，以使钢瓶内为正压。
该实施方式中，钢瓶清理完毕后，再向钢瓶内充入第二置换气体，并使得钢瓶内为正压，能够在下次往钢瓶内充入原料气之前，避免杂质气体进入钢瓶内，从而有效避免清理完毕后的钢瓶被二次污染，以保证钢瓶在下次使用前的洁净度。
以下结合实施例对本申请的特征和性能作进一步的详细描述。
实施例1
本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，包括以下步骤：
正压处理：向钢瓶中充入氮气，以使钢瓶内为正压；
除害处理：对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行正压处理以及除害处理，直至钢瓶内的有害气体的含量处于安全标准内；
第一次解析处理：对有害气体的含量处于安全标准内的钢瓶进行加热，其中，加热温度为210℃，然后，对钢瓶抽真空，直至钢瓶内的压力为0.5mbar；
第二次解析处理：在第一次解析处理以后，维持钢瓶内的温度不变，向钢瓶内充入氦气，以使钢瓶内为正压，等待15min以后，对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行4次第二次解析处理，其中，每次进行第二次解析处理的间隔时间为4h，直至钢瓶内的压力能够在0.25mbar稳定15min；
后处理：向清理完毕后的钢瓶中充入氦气，以使钢瓶内为正压。
实施例2
本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，包括以下步骤：
正压处理：向钢瓶中充入氮气，以使钢瓶内为正压；
除害处理：对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行正压处理以及除害处理，直至钢瓶内的有害气体的含量处于安全标准内；
第一次解析处理：对有害气体的含量处于安全标准内的钢瓶进行加热，其中，加热温度为180℃，然后，对钢瓶抽真空，直至钢瓶内的压力为1mbar；
第二次解析处理：在第一次解析处理以后，维持钢瓶内的温度不变，向钢瓶内充入氦气，以使钢瓶内为正压，等待30min以后，对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行6次第二次解析处理，其中，每次进行第二次解析处理的间隔时间为6h，直至钢瓶内的压力能够在0.5mbar稳定30min；
后处理：向清理完毕后的钢瓶中充入氦气，以使钢瓶内为正压。
实施例3
本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，包括以下步骤：
正压处理：向钢瓶中充入氮气，以使钢瓶内为正压；
除害处理：对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行正压处理以及除害处理，直至钢瓶内的有害气体的含量处于安全标准内；
第一次解析处理：对有害气体的含量处于安全标准内的钢瓶进行加热，其中，加热温度为240℃，然后，对钢瓶抽真空，直至钢瓶内的压力为0.1mbar；
第二次解析处理：在第一次解析处理以后，维持钢瓶内的温度不变，向钢瓶内充入氦气，以使钢瓶内为正压，等待10min以后，对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行4次第二次解析处理，其中，每次进行第二次解析处理的间隔时间为3h，直至钢瓶内的压力能够在0.1mbar稳定10min；
后处理：向清理完毕后的钢瓶中充入氦气，以使钢瓶内为正压。
对比例1
本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，包括以下步骤：
正压处理：向钢瓶中充入氮气，以使钢瓶内为正压；
除害处理：对呈现正压的钢瓶泄压，直至钢瓶内的压力变成常压，然后对钢瓶抽真空；
重复进行正压处理以及除害处理，直至钢瓶内的有害气体的含量处于安全标准内；
第一次解析处理：对有害气体的含量处于安全标准内的钢瓶进行加热，其中，加热温度为210℃，然后，对钢瓶抽真空，直至钢瓶内的压力为0.5mbar；
后处理：向清理完毕后的钢瓶中充入氦气，以使钢瓶内为正压。
对比例2
本申请实施例提供一种填料负压钢瓶的清理方法，其与实施例1的区别仅在于：第一次解析处理以第二次解析处理均在室温下(25℃)进行。
试验例
钢瓶洁净度的测试
测试方式：
通过实施例1中的方法对填料负压钢瓶进行清理，清理完毕后，测试钢瓶内残留的水蒸气以及氧气的含量，然后将检测到的水蒸气以及氧气的含量与标准数值进行对比来判断钢瓶的清理是否达标。
表1钢瓶中水蒸气和氧气的含量测试结果
参阅表1，由实施例1～实施例3的检测结果可知，采用本申请的清理方法对填料负压钢瓶进行清理以后，钢瓶内的水蒸气以及氧气的含量均低于标准数值，说明该方法能够实现对填料负压钢瓶的有效清理。
由实施例1和对比例1的检测结果可知，当缺少第二次解析处理时，由于没有对钢瓶内的气体进行深度置换，使得钢瓶内的水蒸气以及氧气的含量无法达标，说明第二次解析处理的步骤对于填料负压钢瓶的清理极其重要。
由实施例1和对比例2的检测结果可知，当缺少加热处理时，由于温度较低，第一次解析处理和第二次解析处理的置换效果均较差，使得钢瓶内的水蒸气以及氧气的含量无法达标，说明在清理过程中，将处理温度限定在适宜的范围对填料负压钢瓶的清理极其重要。
以上所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
Claims (8)
1.一种填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1 正压处理：向钢瓶中充入第一置换气体，以使所述钢瓶内为正压；
S2 除害处理：对所述钢瓶依次进行泄压以及抽真空，直至所述钢瓶内的有害气体的浓度处于安全标准内；
S3 第一次解析处理：对所述钢瓶进行加热，以使所述钢瓶内的填料在预设温度下以及残留的所述第一置换气体的气氛下进行解析；以及
S4 第二次解析处理：在维持所述钢瓶内的温度不变的情况下，向所述钢瓶中充入第二置换气体，以使所述钢瓶内为正压；然后，等待第一预设时间，以使所述填料在所述预设温度下以及所述第二置换气体的气氛下进行解析；然后，对所述钢瓶依次进行泄压以及抽真空；
所述第一置换气体为氮气；
所述第二置换气体为氦气。
2.根据权利要求1所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，所述预设温度为180~240℃。
3.根据权利要求1所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，所述第一次解析处理直至所述钢瓶内的压力达到第一预设压力，所述第一预设压力为0.1~1mbar。
4.根据权利要求1所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，所述第一预设时间为10~30min。
5.根据权利要求3所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，所述第二次解析处理直至所述钢瓶内的压力达到第二预设压力，所述第二预设压力为0.1~0.5mbar。
6.根据权利要求5所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，在所述钢瓶内的压力达到所述第一预设压力以后且在所述钢瓶内的压力达到所述第二预设压力之前，重复进行多次所述第二次解析处理，以使在进行最后一次所述第二次解析处理后，所述钢瓶内的压力能够在第二预设时间内维持在所述第二预设压力，所述第二预设时间为10~30min。
7.根据权利要求6所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，在重复进行所述第二次解析处理的过程中，间隔时间为3~6h。
8.根据权利要求1所述的填料负压钢瓶的清理方法，其特征在于，在所述钢瓶完成所述第二次解析处理后，向所述钢瓶内充入所述第二置换气体，以使所述钢瓶内为正压。
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