CN115112681A - 一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及检测设备的技术领域，特别是涉及一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，包括固定主轴，所述固定主轴上转动安装有转盘，转盘圆周外壁上设置有多组翻转机构，并且多组翻转机构的数量为奇数，所述翻转机构用于对芯片进行翻转，所述固定主轴顶部安装有顶板，顶板上安装有激光检测仪；通过使芯片翻转并使设备能够连续对芯片进行检测处理，可实现单一检测设备对芯片的双面检测工作，有效简化芯片检测方式，节省人力和时间，提高自动化检测程度，提高检测效率，实现芯片的连续检测方式，同时避免人工翻转芯片时，设备需频繁开关机现象，提高设备使用寿命。

Description

一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置

技术领域

本发明涉及检测设备的技术领域，特别是涉及一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置。

背景技术

众所周知，随着电子信息的快速发展，智能控制的不断提高，芯片的使用量和普及率也越来越高，芯片是作为计算机或电子设备中的重要组成部分，芯片一般是由硅片经过蚀刻集成电路加工而成，芯片在加工时，需要对其表面平整度和是否存在缺陷等现象进行检测，传统的检测方式是将芯片放置在激光检测仪上，通过激光测距的方式对芯片表面进行全面检测处理，当检测数值的浮动区间小于规定区间时，芯片质量达到规定要求，之后将芯片翻转并对芯片上的另一面进行重复检测处理，经过对芯片双面的检测来确定芯片质量，然而现有的检测设备同样存在较大弊端，芯片在进行双面检测时，需要先检测一面，之后翻转芯片再进行另一个面的检测，此种检测方式较为繁琐，消耗多余人力和时间，工作效率较低，无法实现芯片的连续性检测工作，同时设备需频繁开关机，影响设备使用寿命。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，包括固定主轴，所述固定主轴上转动安装有转盘，转盘圆周外壁上设置有多组翻转机构，并且多组翻转机构的数量为奇数，所述翻转机构用于对芯片进行翻转，所述固定主轴顶部安装有顶板，顶板上安装有激光检测仪。

进一步地，所述翻转机构包括安装在转盘外壁上的弓形架，弓形架内设置有支撑座，支撑座的前后外壁上均安装有支撑轴，支撑轴的外端转动安装在弓形架内壁上，支撑轴中部设置有翻转轴，翻转轴穿过支撑轴并转动连接，翻转轴的外端设置有夹持结构，夹持结构用于对芯片进行夹持固定；

所述弓形架内侧的翻转轴外壁上转动安装有两个拨动轮，两个拨动轮的连线处于倾斜状态，所述支撑座外壁上安装有卡位结构，卡位结构用于对翻转轴进行卡位处理；

还包括直角拨动杆，直角拨动杆安装在固定主轴的外壁上，并且直角拨动杆远离激光检测仪。

进一步地，所述翻转轴外壁上开设有环形槽，环形槽的内壁由两个斜面、两个凹槽和两个弧面组成，并且弧面的弧形半径逐渐减小；

所述卡位结构包括安装在支撑座外壁上的支架，支架外端安装有第一滑套，第一滑套内滑动套设有滑杆，第一滑套外壁上安装有第一板簧，第一板簧的外端与滑杆的外壁连接，滑杆的底部滑动位于环形槽内。

进一步地，所述翻转轴的前后两侧均设置有扣槽板，扣槽板位于弓形架的外侧，扣槽板的上下两侧均设置有导向板，导向板朝向扣槽板的表面开设有两个滑槽，两个滑槽之间距离保持一致，滑槽上远离翻转轴的部分设置为弧形，滑槽上靠近翻转轴的部分设置为直线型；

滑槽内滑动设置有导向滑柱，导向滑柱的外端安装在扣槽板上，导向板上安装有固定板，固定板固定在翻转轴上；

所述支撑轴上安装有气缸，气缸的活动端安装有推板，翻转轴的外侧套设有推动环，推板的外端安装在推动环上，推动环上转动安装有转动环，转动环的外侧壁上转动安装有两个第一推拉臂，第一推拉臂的外端倾斜转动安装有第二推拉臂，第二推拉臂的外端固定在扣槽板的外壁上。

进一步地，所述翻转轴的外侧壁上安装有多个第二滑套，第二滑套内滑动设置有弧形滑板，弧形滑板的一端位于扣槽板的外侧，弧形滑板的另一端滑动插入扣槽板内，扣槽板内的弧形滑板端部设置为锥形；

弧形滑板上安装有第二板簧和限位板，第二板簧的外端固定在第二滑套上，限位板与第二滑套的侧壁接触。

进一步地，所述转盘底部转动设置有固定盘，固定盘安装在固定主轴上，固定盘底部开设有环形导向槽，环形导向槽的后侧设置为外凸状态，环形导向槽内滑动设置有多个推柱，推柱的外端安装有移动座，移动座上转动安装有两个第三推拉臂，第三推拉臂倾斜，第三推拉臂的外端倾斜转动安装有第四推拉臂，弓形架内侧壁上安装有弧形滑轨，弧形滑轨上滑动设置有滑块，第四推拉臂的外端转动安装在滑块的侧壁上，滑块上安装有连接板，连接板的外端安装在翻转轴的端部；

所述弓形架底部倾斜转动安装有转动板，转动板底部转动安装有两个第三滑套，第三滑套滑动套装在第三推拉臂上，第三滑套底部安装有第三板簧，第三板簧的外端安装在第三推拉臂外壁上。

进一步地，所述顶板上滑动设置有推块，推块上转动设置有两个斜板，两个斜板平行，顶板上设置有两个调节板，两个调节板穿过顶板并滑动连接，两个调节板底部与激光检测仪顶部连接，斜板的外端转动安装在两个调节板之间侧壁上；

所述顶板上安装有第一电机，第一电机的输出端设置有螺纹杆，螺纹杆穿过推块并螺装连接。

进一步地，固定主轴外壁上安装有第二电机，第二电机的输出端设置有齿轮，转盘顶部安装有齿环，齿轮与齿环啮合连接。

与现有技术相比本发明的有益效果为：通过使芯片翻转并使设备能够连续对芯片进行检测处理，可实现单一检测设备对芯片的双面检测工作，有效简化芯片检测方式，节省人力和时间，提高自动化检测程度，提高检测效率，实现芯片的连续检测方式，同时避免人工翻转芯片时，设备需频繁开关机现象，提高设备使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中转盘俯视结构示意图；

图3是图2中弓形架放大结构示意图；

图4是图1中第四推拉臂放大结构示意图；

图5是图3中翻转轴放大结构示意图；

图6是图5中翻转轴上环形槽的剖视结构示意图；

图7是图3中A处局部放大结构示意图；

图8是图3中扣槽板放大结构示意图；

图9是图3中导向板放大结构示意图；

图10是图1中转盘仰视放大结构示意图；

附图中标记：1、固定主轴；2、转盘；3、顶板；4、激光检测仪；5、弓形架；6、支撑座；7、支撑轴；8、翻转轴；9、拨动轮；10、直角拨动杆；11、斜面；12、凹槽；13、弧面；14、支架；15、第一滑套；16、滑杆；17、第一板簧；18、扣槽板；19、导向板；20、滑槽；21、导向滑柱；22、固定板；23、气缸；24、推板；25、推动环；26、转动环；27、第一推拉臂；28、第二推拉臂；29、第二滑套；30、弧形滑板；31、第二板簧；32、限位板；33、环形导向槽；34、推柱；35、移动座；36、第三推拉臂；37、第四推拉臂；38、弧形滑轨；39、滑块；40、连接板；41、转动板；42、第三滑套；43、第三板簧；44、推块；45、斜板；46、调节板；47、第一电机；48、螺纹杆；49、第二电机；50、齿轮；51、齿环。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。本实施例采用递进的方式撰写。

如图1所示，本发明的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，包括固定主轴1，所述固定主轴1上转动安装有转盘2，转盘2圆周外壁上设置有多组翻转机构，并且多组翻转机构的数量为奇数，所述翻转机构用于对芯片进行翻转，所述固定主轴1顶部安装有顶板3，顶板3上安装有激光检测仪4。

本实施例中，在对芯片进行表面缺陷检测时，转动转盘2，转盘2带动多组翻转机构同步转动，翻转机构依次移动至上料位置，通过车间机械抓手将第一个芯片转移固定至第一个翻转机构上，芯片跟随转盘2同步移动，将下一个芯片固定在第三个翻转机构上，依次类推，当芯片移动至激光检测仪4的下方时，激光检测仪4底部照射出激光并对移动状态的芯片的上表面进行检测处理，当芯片的一个面检测完成后，翻转机构带动芯片翻转180°，从而使芯片的另一个面朝上，当翻转后的芯片再次移动至激光检测仪4下方时，激光检测仪4对芯片的另一个面进行检测处理，从而实现芯片的双面检测工作，当检测完成的芯片移动至下料位置时，芯片脱离翻转机构，从而实现芯片的连续式检测工作，通过使芯片翻转并使设备能够连续对芯片进行检测处理，可实现单一检测设备对芯片的双面检测工作，有效简化芯片检测方式，节省人力和时间，提高自动化检测程度，提高检测效率，实现芯片的连续检测方式，同时避免人工翻转芯片时，设备需频繁开关机现象，提高设备使用寿命。

在本实施例中，由于翻转机构的数量为奇数，当芯片上料时，未进行检测的相邻两个芯片之间存在一个已经完成单面检测的芯片，当芯片下料时，完成双面检测的芯片的前后两侧均存在一个完成单面检测的芯片，从而使芯片实现交错式上料和下料的工作，同时芯片处于连续上下料状态，从而实现装置对芯片的连续检测工作。

如图2和图3所示，作为上述实施例的优选，所述翻转机构包括安装在转盘2外壁上的弓形架5，弓形架5内设置有支撑座6，支撑座6的前后外壁上均安装有支撑轴7，支撑轴7的外端转动安装在弓形架5内壁上，支撑轴7中部设置有翻转轴8，翻转轴8穿过支撑轴7并转动连接，翻转轴8的外端设置有夹持结构，夹持结构用于对芯片进行夹持固定；

所述弓形架5内侧的翻转轴8外壁上转动安装有两个拨动轮9，两个拨动轮9的连线处于倾斜状态，所述支撑座6外壁上安装有卡位结构，卡位结构用于对翻转轴8进行卡位处理；

还包括直角拨动杆10，直角拨动杆10安装在固定主轴1的外壁上，并且直角拨动杆10远离激光检测仪4。

本实施例中，转盘2带动弓形架5同步转动，芯片固定在夹持结构上并跟随弓形架5同步转动，当芯片完成单面检测后，弓形架5朝向直角拨动杆10方向移动，翻转轴8与直角拨动杆10接近时，推动支撑座6在弓形架5上转动，支撑座6带动支撑轴7同步转动，同时支撑座6带动翻转轴8翻转运动，翻转轴8带动拨动轮9朝向直角拨动杆10外端方向移动，由于翻转轴8上两个拨动轮9的连线倾斜，直角拨动杆10外端与翻转轴8上侧的拨动轮9接触并通过拨动轮9推动翻转轴8转动，翻转轴8通过夹持结构带动芯片翻转，从而使芯片的另一个面朝上，实现芯片的翻转运动，卡位结构对翻转轴8的翻转角度进行限位，当芯片翻转完成后，推动支撑座6转动至初始状态，此时芯片恢复至水平状态，从而方便激光检测仪4对翻转后的芯片进行检测处理。

在本实施例中，通过推动支撑座6转动，可方便使翻转轴8上的拨动轮9靠近直角拨动杆10，从而方便使直角拨动杆10拨动拨动轮9转动，实现翻转轴8和芯片的翻转工作，同时方便使拨动轮9移出至弓形架5的外侧，避免弓形架5对拨动轮9造成遮挡，并且避免弓形架5与直角拨动杆10碰撞。

如图5至图7所示，作为上述实施例的优选，所述翻转轴8外壁上开设有环形槽，环形槽的内壁由两个斜面11、两个凹槽12和两个弧面13组成，并且弧面13的弧形半径逐渐减小；

所述卡位结构包括安装在支撑座6外壁上的支架14，支架14外端安装有第一滑套15，第一滑套15内滑动套设有滑杆16，第一滑套15外壁上安装有第一板簧17，第一板簧17的外端与滑杆16的外壁连接，滑杆16的底部滑动位于环形槽内。

本实施例中，第一板簧17对滑杆16产生弹性推力，滑杆16的底部卡位在环形槽上侧的凹槽12内，当直角拨动杆10通过拨动轮9推动翻转轴8翻转运动时，翻转轴8通过斜面11推动滑杆16向上移动，滑杆16底部沿斜面11滑动并移动至弧面13上，由于弧面13的弧形半径逐渐减小，第一板簧17通过滑杆16对弧面13产生挤压力，从而使滑杆16通过弧面13推动翻转轴8转动，当翻转轴8翻转180°时，滑杆16底部滑入另一个凹槽12内，此时凹槽12对滑杆16进行卡位处理，从而使翻转轴8停止转动，芯片翻转180°，并且两个拨动轮9的位置相互替换。

如图3、图8和图9所示，作为上述实施例的优选，所述翻转轴8的前后两侧均设置有扣槽板18，扣槽板18位于弓形架5的外侧，扣槽板18的上下两侧均设置有导向板19，导向板19朝向扣槽板18的表面开设有两个滑槽20，两个滑槽20之间距离保持一致，滑槽20上远离翻转轴8的部分设置为弧形，滑槽20上靠近翻转轴8的部分设置为直线型；

滑槽20内滑动设置有导向滑柱21，导向滑柱21的外端安装在扣槽板18上，导向板19上安装有固定板22，固定板22固定在翻转轴8上；

所述支撑轴7上安装有气缸23，气缸23的活动端安装有推板24，翻转轴8的外侧套设有推动环25，推板24的外端安装在推动环25上，推动环25上转动安装有转动环26，转动环26的外侧壁上转动安装有两个第一推拉臂27，第一推拉臂27的外端倾斜转动安装有第二推拉臂28，第二推拉臂28的外端固定在扣槽板18的外壁上。

本实施例中，两个气缸23通过两个推板24推动推动环25移动，推动环25推动转动环26移动，转动环26通过两个第一推拉臂27和两个第二推拉臂28推动两个扣槽板18同步移动，扣槽板18带动导向滑柱21在滑槽20内滑动，同时导向板19上的两个滑槽20通过两个导向滑柱21对扣槽板18的移动方向进行导向处理，当导向滑柱21在滑槽20的直线区域内移动时，扣槽板18处于平移运动，此时扣槽板18远离翻转轴8并逐渐靠近两个扣槽板18之间芯片的侧壁中部，从而方便使扣槽板18对芯片中部进行夹持处理，提高芯片夹持稳定性和牢固性，避免芯片夹持偏移时，芯片在移动时发生晃动并导致检测精度下降，当导向滑柱21在滑槽20的弧形区域内移动时，扣槽板18逐渐朝向两个扣槽板18之间芯片外壁方向翻转，两个扣槽板18均扣设在芯片上，从而实现芯片的夹持工作，通过使扣槽板18进行平移运动和弧形翻转运动，从而使芯片在上料时，扣槽板18远离芯片，方便为芯片的上料工作提供足够空间，同时避免芯片上料时，外界机械抓手与扣槽板18发生碰撞。

在本实施例中，当翻转轴8翻转时，翻转轴8带动转动环26在推动环25上转动，从而使推动环25和转动环26对任意翻转状态的扣槽板18提供推拉力，当支撑座6翻转时，支撑座6通过支撑轴7带动气缸23同步翻转。

如图8所示，作为上述实施例的优选，所述翻转轴8的外侧壁上安装有多个第二滑套29，第二滑套29内滑动设置有弧形滑板30，弧形滑板30的一端位于扣槽板18的外侧，弧形滑板30的另一端滑动插入扣槽板18内，扣槽板18内的弧形滑板30端部设置为锥形；

弧形滑板30上安装有第二板簧31和限位板32，第二板簧31的外端固定在第二滑套29上，限位板32与第二滑套29的侧壁接触。

本实施例中，当扣槽板18对芯片进行卡装固定时，芯片外侧壁通过弧形滑板30的锥形面推动弧形滑板30移动，芯片移动至弧形滑板30的端部与扣槽板18内壁之间，第二板簧31对弧形滑板30产生弹性推力，从而使弧形滑板30对芯片进行挤压固定处理，从而提高芯片在扣槽板18上的固定强度，避免芯片跟随转盘2移动时，芯片发生晃动。

在本实施例中，通过弧形滑板30对芯片进行下压固定处理，可同步对芯片进行定位整平处理，避免芯片在扣槽板18内倾斜并影响其检测精度，通过设置限位板32，可方便对弧形滑板30的位置进行限位。

如图4和图10所示，作为上述实施例的优选，所述转盘2底部转动设置有固定盘，固定盘安装在固定主轴1上，固定盘底部开设有环形导向槽33，环形导向槽33的后侧设置为外凸状态，环形导向槽33内滑动设置有多个推柱34，推柱34的外端安装有移动座35，移动座35上转动安装有两个第三推拉臂36，第三推拉臂36倾斜，第三推拉臂36的外端倾斜转动安装有第四推拉臂37，弓形架5内侧壁上安装有弧形滑轨38，弧形滑轨38上滑动设置有滑块39，第四推拉臂37的外端转动安装在滑块39的侧壁上，滑块39上安装有连接板40，连接板40的外端安装在翻转轴8的端部；

所述弓形架5底部倾斜转动安装有转动板41，转动板41底部转动安装有两个第三滑套42，第三滑套42滑动套装在第三推拉臂36上，第三滑套42底部安装有第三板簧43，第三板簧43的外端安装在第三推拉臂36外壁上。

本实施例中，转盘2带动弓形架5同步转动，固定盘处于固定状态，弓形架5带动弧形滑轨38和滑块39同步转动，滑块39通过第四推拉臂37、第三推拉臂36和移动座35带动推柱34在环形导向槽33内滑动，当推柱34滑动至环形导向槽33后侧外凸位置时，推柱34在转盘2径向方向向外侧移动，第三板簧43对第三推拉臂36和第三滑套42产生弹性推力，推柱34通过移动座35、第三推拉臂36和第四推拉臂37推动滑块39在弧形滑轨38上向上滑动，此时第三滑套42、第三板簧43和第三推拉臂36保持相对静止，第三滑套42带动转动板41翻转运动，当转动板41与弓形架5接触时，转动板41翻转至最大角度，此时继续移动状态的推柱34推动第三推拉臂36在第三滑套42上滑动，第三推拉臂36继续推动第四推拉臂37移动，第四推拉臂37推动滑块39移动，第三板簧43发生弹性变形，移动状态的滑块39通过连接板40带动翻转轴8倾斜移动，从而使支撑座6转动，当推柱34脱离环形导向槽33上的外凸位置时，推柱34与转盘2轴线之间近距离保持固定，此时滑块39与弧形滑轨38处于相对静止状态，支撑座6处于平移状态。

在本实施例中，通过采用转动板41、第三滑套42和第三板簧43的结构对第三推拉臂36进行导向和支撑，可方便使第三推拉臂36和第四推拉臂37的连接点初始移动时向下移动再向上移动，从而避免第四推拉臂37移动时与弓形架5发生碰撞，保证滑块39顺利在弧形滑轨38上滑动，同时转动板41带动第三滑套42在高度位置上发生位移，从而使滑块39受到推柱34水平位移推动作用和第三滑套42垂直位移推动作用的双重作用，增大滑块39的位移距离和活动空间。

如图2所示，作为上述实施例的优选，所述顶板3上滑动设置有推块44，推块44上转动设置有两个斜板45，两个斜板45平行，顶板3上设置有两个调节板46，两个调节板46穿过顶板3并滑动连接，两个调节板46底部与激光检测仪4顶部连接，斜板45的外端转动安装在两个调节板46之间侧壁上；

所述顶板3上安装有第一电机47，第一电机47的输出端设置有螺纹杆48，螺纹杆48穿过推块44并螺装连接。

本实施例中，第一电机47通过螺纹杆48带动推块44移动，推块44通过两个斜板45推动两个调节板46进行上下移动，从而方便调节激光检测仪4检测高度。

如图2所示，作为上述实施例的优选，固定主轴1外壁上安装有第二电机49，第二电机49的输出端设置有齿轮50，转盘2顶部安装有齿环51，齿轮50与齿环51啮合连接。

本实施例中，第二电机49通过齿轮50和齿环51带动转盘2转动，从而带动设备运行。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，包括固定主轴（1），所述固定主轴（1）上转动安装有转盘（2），转盘（2）圆周外壁上设置有多组翻转机构，并且多组翻转机构的数量为奇数，所述翻转机构用于对芯片进行翻转，所述固定主轴（1）顶部安装有顶板（3），顶板（3）上安装有激光检测仪（4）。

2.根据权利要求1所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，所述翻转机构包括安装在转盘（2）外壁上的弓形架（5），弓形架（5）内设置有支撑座（6），支撑座（6）的前后外壁上均安装有支撑轴（7），支撑轴（7）的外端转动安装在弓形架（5）内壁上，支撑轴（7）中部设置有翻转轴（8），翻转轴（8）穿过支撑轴（7）并转动连接，翻转轴（8）的外端设置有夹持结构，夹持结构用于对芯片进行夹持固定；

所述弓形架（5）内侧的翻转轴（8）外壁上转动安装有两个拨动轮（9），两个拨动轮（9）的连线处于倾斜状态，所述支撑座（6）外壁上安装有卡位结构，卡位结构用于对翻转轴（8）进行卡位处理；

还包括直角拨动杆（10），直角拨动杆（10）安装在固定主轴（1）的外壁上，并且直角拨动杆（10）远离激光检测仪（4）。

3.根据权利要求2所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，所述翻转轴（8）外壁上开设有环形槽，环形槽的内壁由两个斜面（11）、两个凹槽（12）和两个弧面（13）组成，并且弧面（13）的弧形半径逐渐减小；

所述卡位结构包括安装在支撑座（6）外壁上的支架（14），支架（14）外端安装有第一滑套（15），第一滑套（15）内滑动套设有滑杆（16），第一滑套（15）外壁上安装有第一板簧（17），第一板簧（17）的外端与滑杆（16）的外壁连接，滑杆（16）的底部滑动位于环形槽内。

4.根据权利要求3所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，所述翻转轴（8）的前后两侧均设置有扣槽板（18），扣槽板（18）位于弓形架（5）的外侧，扣槽板（18）的上下两侧均设置有导向板（19），导向板（19）朝向扣槽板（18）的表面开设有两个滑槽（20），两个滑槽（20）之间距离保持一致，滑槽（20）上远离翻转轴（8）的部分设置为弧形，滑槽（20）上靠近翻转轴（8）的部分设置为直线型；

滑槽（20）内滑动设置有导向滑柱（21），导向滑柱（21）的外端安装在扣槽板（18）上，导向板（19）上安装有固定板（22），固定板（22）固定在翻转轴（8）上；

所述支撑轴（7）上安装有气缸（23），气缸（23）的活动端安装有推板（24），翻转轴（8）的外侧套设有推动环（25），推板（24）的外端安装在推动环（25）上，推动环（25）上转动安装有转动环（26），转动环（26）的外侧壁上转动安装有两个第一推拉臂（27），第一推拉臂（27）的外端倾斜转动安装有第二推拉臂（28），第二推拉臂（28）的外端固定在扣槽板（18）的外壁上。

5.根据权利要求4所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，所述翻转轴（8）的外侧壁上安装有多个第二滑套（29），第二滑套（29）内滑动设置有弧形滑板（30），弧形滑板（30）的一端位于扣槽板（18）的外侧，弧形滑板（30）的另一端滑动插入扣槽板（18）内，扣槽板（18）内的弧形滑板（30）端部设置为锥形；

弧形滑板（30）上安装有第二板簧（31）和限位板（32），第二板簧（31）的外端固定在第二滑套（29）上，限位板（32）与第二滑套（29）的侧壁接触。

6.根据权利要求5所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，所述转盘（2）底部转动设置有固定盘，固定盘安装在固定主轴（1）上，固定盘底部开设有环形导向槽（33），环形导向槽（33）的后侧设置为外凸状态，环形导向槽（33）内滑动设置有多个推柱（34），推柱（34）的外端安装有移动座（35），移动座（35）上转动安装有两个第三推拉臂（36），第三推拉臂（36）倾斜，第三推拉臂（36）的外端倾斜转动安装有第四推拉臂（37），弓形架（5）内侧壁上安装有弧形滑轨（38），弧形滑轨（38）上滑动设置有滑块（39），第四推拉臂（37）的外端转动安装在滑块（39）的侧壁上，滑块（39）上安装有连接板（40），连接板（40）的外端安装在翻转轴（8）的端部；

所述弓形架（5）底部倾斜转动安装有转动板（41），转动板（41）底部转动安装有两个第三滑套（42），第三滑套（42）滑动套装在第三推拉臂（36）上，第三滑套（42）底部安装有第三板簧（43），第三板簧（43）的外端安装在第三推拉臂（36）外壁上。

7.根据权利要求6所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，所述顶板（3）上滑动设置有推块（44），推块（44）上转动设置有两个斜板（45），两个斜板（45）平行，顶板（3）上设置有两个调节板（46），两个调节板（46）穿过顶板（3）并滑动连接，两个调节板（46）底部与激光检测仪（4）顶部连接，斜板（45）的外端转动安装在两个调节板（46）之间侧壁上；

所述顶板（3）上安装有第一电机（47），第一电机（47）的输出端设置有螺纹杆（48），螺纹杆（48）穿过推块（44）并螺装连接。

8.根据权利要求7所述的一种应用于芯片表面缺陷检测的自动扫描检测装置，其特征在于，固定主轴（1）外壁上安装有第二电机（49），第二电机（49）的输出端设置有齿轮（50），转盘（2）顶部安装有齿环（51），齿轮（50）与齿环（51）啮合连接。

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