CN115110029A - 掩膜版及掩膜版的制作方法 - Google Patents

掩膜版及掩膜版的制作方法 Download PDF

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CN115110029A CN202210758162.6A CN202210758162A CN115110029A CN 115110029 A CN115110029 A CN 115110029A CN 202210758162 A CN202210758162 A CN 202210758162A CN 115110029 A CN115110029 A CN 115110029A
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李伟丽
王水俊
韩冰
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Abstract

本申请提供了一种掩膜版及掩膜版的制作方法，其中，掩膜版包括框式主体、多个第一支撑条、多个遮挡条以及多个掩膜条，第一支撑条和遮挡条相交设置且设置于框式主体，多个第一支撑条和多个遮挡条围合构成多个第一开口；掩膜条包括一个第二开口以及在第一方向上分别设置于第二开口两侧的边框区，其中，掩膜条通过边框区连接于框式主体，第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿第一方向设置的多个第一开口在框式主体上的正投影。本申请实施例能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险，提高蒸镀精度，进而改善显示面板的性能。

Description

掩膜版及掩膜版的制作方法
技术领域
本申请涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种掩膜版及掩膜版的制作方法。
背景技术
有机发光显示面板(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)具有自发光、快速响应、宽视角和可制作在柔性基板上等多种特点，越来越多地被应用于高性能显示领域如柔性显示装置中。
目前，制作有机发光显示面板的发光层时，通过蒸镀的方式使电致发光材料先升华，经过掩膜版后，在与掩膜版贴合的待蒸镀显示面板上沉积，进而形成蒸镀图案，以达到发光的目的。因此，掩膜版的性能直接关系到有机发光显示面板的质量。
发明内容
本申请实施例提供了一种掩膜版及掩膜版的制作方法，能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险。
第一方面，本申请实施例提供了一种掩膜版，包括框式主体、多个第一支撑条、多个遮挡条以及多个掩膜条，第一支撑条和遮挡条相交设置且设置于框式主体，多个第一支撑条和多个遮挡条围合构成多个第一开口；
掩膜条包括一个第二开口以及在第一方向上分别设置于第二开口两侧的边框区，其中，掩膜条通过边框区连接于框式主体，第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿第一方向设置的多个第一开口在框式主体上的正投影。
本申请实施例提供的掩膜版的单个掩膜条仅需设置有一个第二开口，这样设计能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险。同时进一步的，对于像素排布相同但形状不同的显示面板而言，可以共用同一种掩膜条，仅需对第一支撑条或遮挡条进行更换即可，从而能够降低加工成本，因此具备较强的通用性，适用于多种类型的显示面板。
在一些实施例中，第一支撑条沿第二方向延伸，多个第一支撑条沿第一方向排布，第一支撑条在第二方向上包括多个交叠部，多个第一支撑条的至少部分交叠部和同一掩膜条的第二开口交叠设置，第一方向与第二方向相交；其中，交叠部的厚度小于遮挡条至少部分的厚度。
本申请实施例对第一支撑条的至少部分区域的厚度进行减薄处理，例如对交叠部进行减薄处理，使其厚度小于遮挡条的厚度。第一支撑条的磁吸效果与其自身厚度呈正相关，因此减薄交叠部能够降低交叠部的磁吸效果，从而减小因第一支撑条吸附能力过强，出现掩膜条无法展开的风险。
在一些实施例中，第一方向和第二方向垂直。
在一些实施例中，掩膜条至少部分搭接于遮挡条，并通过遮挡条与交叠部间隔设置。本申请的此实施例可以使得掩膜条和交叠部之间具有间隙。
在一些实施例中，第一支撑条包括磁吸材料。
在一些实施例中，交叠部包括沿第二方向延伸的本体部，以及由本体部朝对应第一开口向外突出的异形部。
本申请实施例中的第一开口的形状与待蒸镀显示面板中显示区的形状相匹配，不同显示面板中的显示区的形状并不相同，同时对于需要设置有屏下摄像头以及红外传感器等的显示面板而言，需要设置有特定区域用于容纳感光元件，因此存在有水滴或刘海等异形区域的显示面板应运而生，本实施例中的异形部可对应上述的异形区域。
在一些实施例中，本体部与异形部的厚度相同，即多个交叠部中各处厚度保持均一。本实施例可便于简化交叠部的制备工艺。
在一些实施例中，遮挡条包括沿第一方向延伸的第一遮挡部，以及沿第二方向位于第一遮挡部两侧的第二遮挡部，第一遮挡部的厚度大于第二遮挡部的厚度，第二遮挡部的厚度与交叠部的厚度相同。
本申请实施例将第二遮挡部的厚度设置为小于第一遮挡部的厚度，并使其与交叠部的厚度相同，从而使得掩膜条通过第一遮挡部与第二遮挡部间隔设置，降低掩膜条发生褶皱的风险。
在一些实施例中，第一支撑条和遮挡条为一体结构。简化第一支撑条和遮挡条的制备工艺。
在一些实施例中，至少部分掩膜条与第一支撑条之间设置有第二支撑条，第二支撑条沿第二方向延伸并与多个遮挡条相交设置，第二支撑条包括容纳槽，至少部分遮挡条位于容纳槽内。
本申请实施例额外增设了第二支撑条，对于重量较大的掩膜条，第二支撑条安装在第一支撑条上，第一支撑条和第二支撑条能够共同支撑掩膜条；而对于一些重量较轻的掩膜条，可以将第二支撑条从第一支撑条上卸下，仅依靠第一支撑条实现支撑作用。
在一些实施例中，第二支撑条包括无磁材料。
本申请实施例将第二支撑条设置为无磁材料，从而避免第二支撑条对掩膜条产生磁吸影响，进而降低掩膜条发生褶皱的风险。
在一些实施例中，无磁材料包括无磁钢。
在一些实施例中，掩膜版用于对待蒸镀显示面板进行蒸镀；其中，待蒸镀显示面板包括显示区和非显示区，第一开口与待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状相匹配。
第二方面，本申请实施例提供了一种掩膜版的制作方法，包括：
根据待蒸镀显示面板的像素排布结构对初始基板图案化处理形成掩膜条，掩膜条包括一个第二开口以及设置于第二开口两侧的边框区；
根据待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状将第一支撑条和遮挡条设置于框式主体，多个第一支撑条和多个遮挡条围合构成多个第一开口；
将掩膜条设置于第一支撑条背离框式主体的一侧，第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿第一方向设置的多个第一开口在框式主体上的正投影。
在一些实施例中，根据待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状将第一支撑条和遮挡条设置在框式主体的步骤之前还包括：
对板材结构图案化处理形成多个第一支撑条和多个遮挡条，第一支撑条在第二方向上包括多个交叠部，第一方向与第二方向相交，交叠部的厚度小于遮挡条至少部分的厚度；
将掩膜条设置于第一支撑条背离框式主体的一侧的步骤中，多个第一支撑条的至少部分交叠部和同一掩膜条的第二开口交叠设置。
本申请实施例提供一种掩膜版及掩膜版的制作方法，掩膜版包括框式主体、多个第一支撑条、多个遮挡条以及多个掩膜条，第一支撑条和遮挡条相交设置且设置于框式主体，多个第一支撑条和多个遮挡条围合构成多个第一开口；掩膜条包括一个第二开口以及在第一方向上分别设置于第二开口两侧的边框区；其中，掩膜条通过边框区连接于框式主体，第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿第一方向设置的多个第一开口在框式主体上的正投影。本申请实施例的单个掩膜条仅需设置有一个第二开口，这样设计能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险，提高蒸镀精度，进而提高显示面板的性能。同时对于像素排布相同但形状不同的显示面板而言，可以共用同一种掩膜条，仅需对第一支撑条或遮挡条进行更换即可，从而能够降低加工成本，因此具备较强的通用性，适用于多种类型的显示面板。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的一种掩膜版中框式主体以及多个第一支撑条和多个遮挡条的配合结构示意图；
图2是本申请实施例提供的一种掩膜版中掩膜条的结构示意图；
图3是本申请实施例提供的一种掩膜版的结构示意图；
图4是图3中A-A的剖面结构示意图；
图5是本申请实施例提供的又一种掩膜版中框式主体以及多个第一支撑条和多个遮挡条的配合结构示意图；
图6是本申请实施例提供的又一种掩膜版中掩膜条的结构示意图；
图7是图5中区域Q的局部放大图；
图8是图5中B-B的剖面结构示意图；
图9是本申请实施例提供的又一种掩膜版中框式主体以及多个第一支撑条和多个遮挡条的配合结构示意图；
图10是图9中C-C的剖面结构示意图；
图11是本申请实施例提供的一种掩膜版的制作方法的流程图；
图12是本申请实施例提供的又一种掩膜版的制作方法的流程图。
标记说明：
1、框式主体；
21、第一支撑条；211、交叠部；211a、本体部；2111、弧形过渡区；211b、异形部；22、遮挡条；221、第一遮挡部；222、第二遮挡部；23、第一开口；24、第二支撑条；241、容纳槽；
3、掩膜条；31、第二开口；311、像素开口；32、边框区；
X、第一方向；Y、第二方向；E、边缘。
具体实施方式
下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本申请进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请，而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
掩膜版包括有框式主体以及设置在框式主体上的掩膜条，通常情况下，掩膜条需要对应于显示面板的不同位置划分有不同区域。示例性地，对应于有机发光显示面板的显示区，掩膜条需要设置有对应的显示开口区，用于蒸镀显示区中的发光单元；而对应于有机发光显示面板的非显示区，掩膜条需要设置有对应的遮挡区，用于避免在有机发光显示面板的非显示区对应位置处蒸镀图案，而一个掩膜条包括多个显示开口区和遮挡区。经过发明人长期研究发现，由于掩膜条的显示开口区和遮挡区的结构强度不同，在张网或蒸镀显示面板的过程中，掩膜条极易产生褶皱。进而导致在蒸镀过程中，掩膜版与待蒸镀显示面板之间贴合或吸附不良，影响蒸镀精度，进而影响有机发光显示面板的良品率。
为了解决上述问题，第一方面，请参阅图1至图3，本申请实施例提供了一种掩膜版，包括框式主体1、多个第一支撑条21、多个遮挡条22以及多个掩膜条3，第一支撑条21和遮挡条22相交设置且设置于框式主体1，多个第一支撑条21和多个遮挡条22围合构成多个第一开口23。
可以理解的是，本申请中的附图只是示意性的展示出框式主体1、第一支撑条21、遮挡条22的配合结构，附图中的第一支撑条21、遮挡条22没有与框式主体1连接，并不以此为限。
掩膜条3包括一个第二开口31以及在第一方向X上分别设置于第二开口31两侧的边框区32；其中，掩膜条3通过边框区32连接于框式主体1，第二开口31在框式主体1上的正投影覆盖沿第一方向X设置的多个第一开口23在框式主体1上的正投影。
框式主体1主要用于支撑第一支撑条21、遮挡条22以及位于第一支撑条21上的掩膜条3，框式主体1可以采用金属材质制成。框式主体1在自身厚度方向具有一较大尺寸的通孔，多个第一支撑条21和多个遮挡条22焊接固定在框式主体1上，并在通孔内围合构成多个第一开口23。示例性地，框式主体1朝向掩膜条3具有一支撑面，第一支撑条21以及遮挡条22固定于该支撑面，且通孔贯穿该支撑面。
第一支撑条21与遮挡条22相交分布，可选的，第一支撑条21可以起到支撑掩膜条3的作用，而遮挡条22可以用于遮挡相邻掩膜条3之间的空隙，避免蒸镀材料通过空隙沉积在待蒸镀显示面板上而形成异物。
可选地，遮挡条22沿第一方向X延伸。
掩膜条3为条状结构，包括一个第二开口31以及位于第二开口31两侧的边框区32，掩膜条3通过边框区32连接在框式主体1上。
可选地，第二开口31沿第一方向X延伸，第一方向X可以为多个第一开口23的行方向，也可以为列方向。示例性地，第一方向X为多个第一开口23的列方向，单个掩膜条3的第二开口31能够覆盖沿第一方向X设置的全部第一开口23，即单个掩膜条3的第二开口31能够覆盖位于一列上的全部第一开口23。与传统的掩膜条3不同的是，传统的掩膜条3中包含有多个显示开口区，而本申请实施例中的掩膜条3仅包含有一个第二开口31。这种设计能够降低掩膜条3的制备难度，同时使得掩膜条3各处的结构强度相近，从而降低掩膜条3在蒸镀过程或掩膜版制备过程中发生局部褶皱的风险，进而提高蒸镀精度，改善显示面板的性能。
本申请实施例提供的掩膜版的单个掩膜条3仅需设置有一个第二开口31，这样设计能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险。同时进一步的，对于像素排布相同但形状不同的显示面板而言，可以共用同一种掩膜条3，仅需对第一支撑条21或遮挡条22进行更换即可，从而能够降低加工成本，因此具备较强的通用性，适用于多种类型的显示面板。
可以理解的是，掩膜版通过第一开口23在待蒸镀显示面板上进行蒸镀图案。可选的，待蒸镀显示面板包括显示区和非显示区，第一开口23的大小和形状与待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状相匹配，即本申请实施例中的第一支撑条21以及遮挡条22可以根据待蒸镀显示面板进行特别设计，以使围合构成的第一开口23与待蒸镀显示面板的显示区相匹配。
可以理解的是，掩膜条3的第二开口31包括多个蒸镀子像素的像素开口311，用于蒸镀待蒸镀显示面板中的各个发光单元，像素开口311的尺寸以及排布可以根据对应发光单元的尺寸及排布决定。
在一些实施例中，请参阅图3和图4，第一支撑条21沿第二方向Y延伸，多个第一支撑条21沿第一方向X排布，第一支撑条21在第二方向Y上包括多个交叠部211，多个第一支撑条21的至少部分交叠部211和同一掩膜条3的第二开口31交叠设置，第一方向X与第二方向Y相交；其中，交叠部211的厚度小于遮挡条22至少部分的厚度。
多个第一支撑条21分别沿第二方向Y延伸，并沿第一方向X间隔设置；多个遮挡条22分别沿第一方向X延伸，并沿第二方向Y间隔设置。示例性地，第一方向X垂直于第二方向Y，多个第一支撑条21和多个遮挡条22均间隔预设距离并排设置。
第一支撑条21在第二方向Y上包括多个交叠部211，单个掩膜条3能够覆盖单个第一支撑条21上的单个交叠部211，即在第一支撑条21中交叠部211起到支撑掩膜条3的主要作用。可以理解的是，第一支撑条21除了包括有交叠部211外的剩下部分可以与遮挡条22重叠设置。
在蒸镀之前，还需要设置配合掩膜版的磁隔板(图中未示出)，磁隔板位于待蒸镀显示面板背离框式主体1的一侧，在蒸镀过程中，磁隔板的磁力作用将掩膜条3吸起并与待蒸镀显示面板贴合，从而使得蒸镀材料能够在待蒸镀显示面板的特定位置蒸镀。
可选地，第一支撑条21包括磁吸材料。在磁隔板的磁力作用下，第一支撑条21能够对掩膜条3起到一定的吸附支撑作用。在这个过程中，若第一支撑条21的吸附作用过强，则容易导致掩膜条3发生褶皱进而无法伸展，并在第一支撑条21对应位置处聚集，影响蒸镀效果。
为了降低这种问题产生的风险，本申请实施例对第一支撑条21的至少部分区域的厚度进行减薄处理，例如对交叠部211进行减薄处理，使其厚度小于遮挡条22至少部分的厚度。第一支撑条21的磁吸效果与其自身厚度呈正相关，因此减薄交叠部211能够降低交叠部211的磁吸效果，从而减小因第一支撑条21吸附能力过强，出现掩膜条3无法展开的风险。
在一些实施例中，掩膜条3至少部分搭接于遮挡条22，并通过遮挡条22与交叠部211间隔设置。
由于交叠部211的厚度小于遮挡条22至少部分的厚度，使得交叠部211与遮挡条22的至少部分存在有高度差，并且掩膜条3至少部分搭接于遮挡条22上，因此在掩膜版的厚度方向上，交叠部211朝向掩膜条3的表面能够与掩膜条3之间存在间隙。这种设计能够进一步降低第一支撑条21对掩膜条3的吸附作用，降低掩膜条3发生褶皱的风险。
在一些实施例中，请参阅图5至图7，交叠部211包括沿第二方向Y延伸的本体部211a，以及由本体部211a朝对应第一开口23向外突出的异形部211b。
可以理解的是，本体部211a朝对应的第一开口23中的第一开口23可以为，沿第一方向X，与本体部211相邻的两个第一开口23，即图7中位于本体部211a上方的一个第一开口23和位于本体部211a下方的一个第一开口23。
交叠部211为第一支撑条21中与掩膜条3重叠的部分，同时交叠部211也用于围合构成第一开口23，交叠部211的形状与待蒸镀显示面板的非显示区中边缘区域的形状相匹配，即交叠部211的至少部分外轮廓与待蒸镀显示面板的显示区和非显示区的交界线相匹配。交叠部211包括本体部211a和异形部211b，在图7中本体部211a和异形部211b的交界位置通过虚线表示，多个交叠部211沿第二方向Y并排设置，且相邻本体部211a之间相互连接，以形成沿第二方向Y延伸的第一支撑条21。
在一些实施例中，异形部211b进一步包括弧形过渡区2111和凸起区(图中未示出)，弧形过渡区2111与遮挡条22连接。具体的，一个交叠部211在第二方向Y上包括四个弧形过渡区2111和一个凸起区，四个弧形过渡区2111分别设置在交叠部211的四角，凸起区设置在交叠部211一侧的中部，弧形过渡区2111的设置使得第一支撑条21与遮挡条22实现相互连接。
在一些可选实施例中，弧形过渡区2111具有朝向第一开口23的边缘E，边缘E沿远离第一开口23的方向凸出成型且呈弧形。
通常情况下，待蒸镀显示面板中的显示区包括有四个弧角，四个弧角分配在显示区的四个角落，用于实现显示区中相邻两个边缘的圆滑过渡。本申请实施例根据显示面板中显示区的四个弧角，将弧形过渡区2111的边缘E设置为弧形，从而使得第一开口23能够存在与显示区中弧角相匹配的弧形结构。
本体部211a和异形部211b的厚度相同，即交叠部211中各处厚度保持均一。在制作本体部211a和异形部211b的过程中，可以同时对本体部211a和异形部211b进行半刻蚀处理，以使两者厚度保持相同。
本申请实施例中的第一开口23的形状与待蒸镀显示面板中显示区的形状相匹配，不同显示面板中的显示区的形状并不相同，同时对于需要设置有屏下摄像头以及红外传感器等的显示面板而言，需要设置有特定区域用于容纳感光元件，因此存在有水滴或刘海等异形区域的显示面板应运而生。在这个基础上，为了满足包括异形区域的显示面板的制备需要，本申请实施例在交叠部211上设置有异形部211b，异形部211b由本体部211a朝对应第一开口23向外突出，异形部211b的至少部分区域例如凸起区，可以与显示面板中用于设置感光元件的异形区域相匹配。通过改变异形部211b的形状能够形成不同的第一开口23，从而满足不同异形显示面板的蒸镀需要，具有较强通用性。
需要说明的是，单个交叠部211同时用于围合形成两个第一开口23，因此单个交叠部211可以包括有两个部分，其中一个部分包括有部分异形部211b以及部分本体部211a，用于形成非显示区中包括有异形区域的边缘区域，即包括凸起区的一侧；另一部分包括有部分异形部211b以及部分本体部211a，用于形成非显示区中与异形区域相对的边缘区域。
在一些实施例中，第一支撑条21为一体成型，交叠部211可以通过半刻蚀等工艺制备形成。
在一些实施例中，请参阅图6至图8所示，遮挡条22包括沿第一方向X延伸的第一遮挡部221，以及沿第二方向Y位于第一遮挡部221两侧的第二遮挡部222，第二遮挡部222的厚度与交叠部211的厚度相同。
第一遮挡部221沿第一方向X延伸成型，第二遮挡部222沿第二方向Y位于第一遮挡部221的两侧，其中，第二遮挡部222也可以沿第一方向X延伸，第一遮挡部221的厚度大于第二遮挡部222的厚度，第二遮挡部222与交叠部211的厚度相同。其中，掩膜条3可以搭接在第一遮挡部221上，从而实现在掩膜版的厚度方向上，掩膜条3与交叠部211之间具有间隙。
在一些实施例中，第一遮挡部221沿第一方向X延伸，具体的，第一遮挡部221可以沿直线延伸，在其他实施例中，第一遮挡部221可以沿曲线延伸，在此不作限定。
在一些实施例中，第二遮挡部222沿第一方向X延伸，具体的，第二遮挡部222可以沿直线延伸，在其他实施例中，第二遮挡部222可以沿曲线延伸，在此不作限定。
在一些实施例中，沿第二方向Y，第一遮挡部221位于遮挡条22的正中间区域或中间区域偏左的区域或中间区域偏右的区域。
在一些实施例中，位于第一遮挡部221的两侧的两个第二遮挡部222的大小、形状相同。可有利于简化遮挡条22的制备工艺。
在一些实施例中，沿第一方向X延伸的第一遮挡部221的厚度均匀设置，沿第一方向X延伸的第二遮挡部222的厚度也均匀设置。
在一些实施例中，沿第二方向Y，第一遮挡部221的宽度占遮挡条22整个宽度的50％-95％。优选地，第一遮挡部221的宽度占遮挡条22整个宽度的80％、85％、90％和95％。在避免掩膜条3褶皱的基础上，能够有效进行遮挡，避免蒸镀材料通过空隙沉积在待蒸镀显示面板上而形成异物。
由前述内容可知，交叠部211用于围合第一开口23，交叠部211的形状与待蒸镀显示面板的非显示区中边缘区域的形状相匹配。同样地，遮挡条22上的第二遮挡部222也用于围合第一开口23，第二遮挡部222的形状同样与待蒸镀显示面板的非显示区中边缘区域的形状相匹配。其中，交叠部211与第二遮挡部222中一者与待蒸镀显示面板的非显示区中长边区域对应，另一者与非显示区中短边区域对应。
进一步地，由于遮挡条22为磁性材料，为了避免在蒸镀过程中，遮挡条22对掩膜条3的吸附作用过强，导致掩膜版发生褶皱无法伸展，因此本申请实施例将第二遮挡部222的厚度设置为小于第一遮挡部221的厚度，并使其与交叠部211的厚度相同，从而使得掩膜版通过第一遮挡部221与第二遮挡部222间隔设置，降低掩膜条3发生褶皱的风险。
在一些可选实施例中，第一支撑条21和遮挡条22为一体结构，第一支撑条21和遮挡条22可以在同一板材结构上通过刻蚀等工艺制备形成，从而简化制作过程，降低制造难度。此外，第一支撑条21上的交叠部211与遮挡条22上的第二遮挡部222可以通过同一个半刻蚀处理过程形成，以使两者厚度保持相同。
可以理解的是，第一支撑条21上的交叠部211与遮挡条22上的第二遮挡部222的厚度也可以不同，只要满足交叠部211的厚度与第二遮挡部222的厚度均小于第一遮挡部221的厚度即可，在此不做限定。
在一些实施例中，请一并参阅图2、图9和图10，至少部分掩膜条3与第一支撑条21之间设置有第二支撑条24，第二支撑条24沿第二方向Y延伸并与多个遮挡条22相交设置，第二支撑条24包括容纳槽241，至少部分遮挡条22位于容纳槽241内。
可以理解的是，第二支撑条24朝向第一支撑条21的表面向内凹陷构成容纳槽241。
由前述内容可知，为了降低第一支撑条21对掩膜条3的吸附效果，本申请实施例将第一支撑条21中交叠部211进行减薄处理，从而降低第一支撑条21的磁吸效果，降低掩膜条3发生褶皱的风险。在这种情况下，为了提高支撑能力，本申请实施例额外增设了第二支撑条24，对于重量较大的掩膜条3，第二支撑条24安装在第一支撑条21上，第一支撑条21和第二支撑条24能够共同支撑掩膜条3；而对于一些重量较轻的掩膜条，可以将第二支撑条24从第一支撑条21上卸下，仅依靠第一支撑条21实现支撑作用。
可选地，第二支撑条24在第一方向X上的宽度不大于第一支撑条21在第一方向X上的宽度。
此外，在第一支撑条21的延伸方向上，存在有部分与第一支撑条21相交的遮挡条22，并且遮挡条22至少部分的厚度大于第一支撑条21的厚度。因此为了避让遮挡条22，本申请实施例在第二支撑条24上设置有容纳槽241，第二支撑条24通过容纳槽241卡接在遮挡条22上，容纳槽241的设置为第二支撑条24的安装起到了定位作用。
可以理解的是，可以是所有的第一支撑条21与掩膜条3之间设置有第二支撑条24，即每个第一支撑条21上均设置有第二支撑条24，此种设置方式可有效提高支撑效果；也可以是部分的第一支撑条21与掩膜条3之间设置有第二支撑条24，例如每相邻两个第一支撑条21中其中一个第一支撑条21上设置有第二支撑条24，可节约原料，且简化掩膜版的制备工艺。具体可根据实际情况进行设置，在此不做限定。
在一些实施例中，第二支撑条24包括无磁材料。
第二支撑条24主要用于支撑掩膜条3，掩膜条3可以与第二支撑条24直接接触，同时为了降低第二支撑条24对掩膜条3的磁吸效果，本申请实施例将第二支撑条24设置为无磁材料，从而避免第二支撑条24对掩膜条3产生磁吸影响，进而降低掩膜条3发生褶皱的风险。可选地，无磁材料包括无磁钢。
申请人通过实验发现，与现有技术相比，采用本申请实施例中未设置有第二支撑条24的掩膜版进行蒸镀时，掩膜版的褶皱会大幅度减小，并且本申请实施例在设置有第二支撑条24的情况下，掩膜版的褶皱还会进一步的减小。
具体地说，在磁感应强度为300G的前提下，在采用本申请实施例中未设置有第二支撑条24的掩膜版进行蒸镀时，掩膜版的褶皱相比现有技术大幅度减小，并且形成的膜厚不均匀区的最大宽度大约为10μm。而增加第二支撑条24后，掩膜版的褶皱更进一步减小，并且显示区内形成的膜厚不均匀区的最大宽度为7-9μm。
在磁感应强度为200G的前提下，采用本申请实施例中设置有第二支撑条24的掩膜版进行蒸镀时，掩膜版的褶皱基本消失。
第二方面，本申请实施例提供了一种掩膜版的制作方法，掩膜版可以为上述任一第一方面实施例提供的掩膜版，如图11所示，掩膜版的制作方法包括：
S100：根据待蒸镀显示面板的像素排布结构对初始基板图案化处理形成掩膜条，掩膜条包括一个第二开口以及设置于第二开口两侧的边框区。
在步骤S100中，掩膜条中第二开口的形状与待蒸镀显示面板中显示区的形状不尽相同，而第二开口内包括多个像素开口，像素开口的排布与待蒸镀显示面板中的像素排布相同。即掩膜条的制备仅需知道待蒸镀显示面板中显示区内的像素排布结构，而第二开口的形状并不取决于待蒸镀显示面板中显示区的形状。
S120：根据待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状将第一支撑条和遮挡条设置于框式主体，多个第一支撑条和多个遮挡条围合构成多个第一开口。
在步骤S120中，框式主体以及设置在框式主体上的第一支撑条主要用于支撑掩膜条，而遮挡条主要用于遮挡相邻掩膜条间的空隙。同时根据待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状，本申请实施例将第一支撑条以及遮挡条的尺寸形状进行了改变，使得第一支撑条与遮挡条围合构成的第一开口的形状与待蒸镀显示面板中显示区的大小和形状相匹配，以便后续在待蒸镀显示面板的显示区内蒸镀发光单元等。其中，第一支撑条和遮挡条可以为一体结构，也可以为相互独立的结构，本申请实施例对此不作限制。
S130：将掩膜条设置于第一支撑条背离框式主体的一侧，第二开口在框式主体的正投影覆盖沿第一方向设置的多个第一开口在框式主体上的正投影。
在步骤S130，掩膜条覆盖多个第一开口设置，其中掩膜条的延伸方向与遮挡条的延伸方向相同。示例性地，若遮挡条沿行方向延伸，则掩膜条覆盖一行上的全部第一开口；若遮挡条沿列方向延伸，则掩膜条覆盖一列上的全部第一开口。
本申请实施例提供的掩膜版中的单个掩膜条仅需设置有一个第二开口，这样设计能够降低掩膜版发生局部褶皱的风险。
在一些实施例中，如图12所示，步骤S120之前还包括：
S110：对板材结构图案化处理形成多个第一支撑条和多个遮挡条，第一支撑条在第二方向上包括多个交叠部，第一方向与第二方向相交，交叠部的厚度小于遮挡条至少部分的厚度。
在步骤S110中，第一支撑条21与遮挡条22可以为一体式结构，通过对单一板材结构图案化处理制备形成。其中，图案化处理包括对板材结构进行全刻蚀处理，以形成对应形状的第一开口23；对第一支撑条21的交叠部211进行半刻蚀处理，以使交叠部211的厚度小于遮挡条22至少部分的厚度。对于交叠部211与遮挡条22间的厚度差，根据待蒸镀显示面板的蒸镀需要决定，本申请实施例对此不作限制。
在步骤S130中，多个第一支撑条21的至少部分交叠部211和同一掩膜条3的第二开口31交叠设置。
本申请实施例对第一支撑条21中交叠部211的厚度进行减薄处理，使其厚度小于遮挡条22至少部分的厚度。可选地，第一支撑条21包括磁吸材料，第一支撑条21中交叠部211的磁吸效果与其自身厚度呈正相关，因此减薄处理能够降低交叠部211的磁吸效果，从而减小因交叠部211对掩膜条3的吸附能力过强，出现掩膜条3无法完全展开的风险。
虽然本申请所公开的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本申请而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本申请所属技术领域内的技术人员，在不脱离本申请所公开的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本申请的保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的其他连接方式的替换等，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版包括：
框式主体；
多个第一支撑条和多个遮挡条，所述第一支撑条和所述遮挡条相交设置且设置于所述框式主体，多个所述第一支撑条和多个所述遮挡条围合构成多个第一开口；
多个掩膜条，所述掩膜条包括一个第二开口以及在第一方向上分别设置于所述第二开口两侧的边框区；
其中，所述掩膜条通过所述边框区连接于所述框式主体，所述第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿所述第一方向设置的多个所述第一开口在框式主体上的正投影。
2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述第一支撑条沿第二方向延伸，多个所述第一支撑条沿所述第一方向排布，所述第一支撑条在所述第二方向上包括多个交叠部，多个所述第一支撑条的至少部分所述交叠部和同一所述掩膜条的所述第二开口交叠设置，所述第一方向与所述第二方向相交；
其中，所述交叠部的厚度小于所述遮挡条至少部分的厚度；
优选地，所述第一方向和所述第二方向垂直；
优选地，所述掩膜条至少部分搭接于所述遮挡条，并通过所述遮挡条与所述交叠部间隔设置；
优选地，所述第一支撑条包括磁吸材料。
3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述交叠部包括沿所述第二方向延伸的本体部，以及由所述本体部朝对应所述第一开口向外突出的异形部；
优选地，所述本体部与所述异形部的厚度相同。
4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述遮挡条包括沿所述第一方向延伸的第一遮挡部，以及沿所述第二方向位于所述第一遮挡部两侧的第二遮挡部，所述第一遮挡部的厚度大于所述第二遮挡部的厚度，所述第二遮挡部的厚度与所述交叠部的厚度相同。
5.根据权利要求4所述的掩膜版，其特征在于，所述第一支撑条和所述遮挡条为一体结构。
6.根据权利要求2至5任一项所述的掩膜版，其特征在于，至少部分所述掩膜条与所述第一支撑条之间设置有第二支撑条，所述第二支撑条沿所述第二方向延伸并与多个所述遮挡条相交设置，所述第二支撑条包括容纳槽，至少部分所述遮挡条位于所述容纳槽内。
7.根据权利要求6所述的掩膜版，其特征在于，所述第二支撑条包括无磁材料；
优选地，所述无磁材料包括无磁钢。
8.根据权利要求1至7任一项所述的掩膜版，其特征在于，所述掩膜版用于对待蒸镀显示面板进行蒸镀；
其中，所述待蒸镀显示面板包括显示区和非显示区，所述第一开口与所述待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状相匹配。
9.一种掩膜版的制作方法，其特征在于，包括：
根据待蒸镀显示面板的像素排布结构对初始基板图案化处理形成掩膜条，所述掩膜条包括一个第二开口以及设置于所述第二开口两侧的边框区；
根据待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状将第一支撑条和遮挡条设置于框式主体，多个所述第一支撑条和多个所述遮挡条围合构成多个第一开口；
将所述掩膜条设置于所述第一支撑条背离所述框式主体的一侧，所述第二开口在框式主体上的正投影覆盖沿第一方向设置的多个所述第一开口在框式主体上的正投影。
10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，所述根据待蒸镀显示面板的显示区的大小和形状将第一支撑条和遮挡条设置在框式主体的步骤之前还包括：
对板材结构图案化处理形成多个所述第一支撑条和多个所述遮挡条，所述第一支撑条在第二方向上包括多个交叠部，所述第一方向与所述第二方向相交，所述交叠部的厚度小于所述遮挡条至少部分的厚度；
优选地，所述将所述掩膜条设置于所述第一支撑条背离所述框式主体的一侧的步骤中，多个所述第一支撑条的至少部分所述交叠部和同一所述掩膜条的所述第二开口交叠设置。
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