CN115107016A - 一种晶圆传输机器人的旋转机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆传输机器人的旋转机构，包括支撑底座和工作箱体，所述工作箱体的侧面固定安装有控制器，所述工作箱体的上表面固定安装有上固定套，所述上固定套的表面安装有角度尺，所述上固定套的内部滑动连接有转动架，所述转动架的上端固定安装有上固定环，所述上固定环的侧面的对应位置固定安装有固定板，所述固定板的远离上固定环的一端固定安装有吸附盘和负压泵，所述转动架的表面固定安装有刻度标尺和角度指针，所述固定板的底部固定安装有视频探头。本发明所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，一个吸附盘完成吸附作业，而另一个吸附盘完成放下晶圆的操作，这样能够快速准确的完成晶圆的传输，提高晶圆的传输效率。

Description

一种晶圆传输机器人的旋转机构

技术领域

本发明涉及晶圆传输机器人领域，特别涉及一种晶圆传输机器人的旋转机构。

背景技术

在超大规模集成电路(IC)制造过程中，晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输，晶圆生产线工序集中，加工速度快，工作环境洁净度要求高，需要高性能的晶圆传输机器人，这样在晶圆的一项工艺完成后，需要将晶圆移动至另一工艺的传送带上，这样就需要晶圆传输机器人对晶圆进行传输，现有的晶圆传输机器人通常使用负压吸附的方式进行晶圆的传输，即利用其工作端安装的气泵工作产生的负压对晶圆进行吸附，现有的晶圆传输机器人均是通过单个工作端对晶圆进行传输，这样导致晶圆的传输效率较低，同时机器人均是通过计算机程序控制转动，长时间使用过程产生容易产生误差，当误差大于所允许的误差值时，现有装置无法快速发现，这样导致晶圆的安装位置发生错误，引起晶圆的损伤，鉴于此，我们提出一种晶圆传输机器人的旋转机构。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种晶圆传输机器人的旋转机构，能够有效解决背景技术中的问题：现有的晶圆传输机器人均是通过单个工作端对晶圆进行传输，这样导致晶圆的传输效率较低，同时机器人均是通过计算机程序控制转动，长时间使用过程导致电机发生疲劳容易产生转动角度的误差，当误差大于所允许的误差值时，现有装置无法快速发现，这样导致晶圆的安装位置发生错误，引起晶圆的损伤。

为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种晶圆传输机器人的旋转机构，包括支撑底座和工作箱体，所述工作箱体的侧面固定安装有控制器，所述工作箱体的上表面固定安装有上固定套，所述上固定套的表面安装有角度尺，所述上固定套的内部滑动连接有转动架，所述转动架的上端固定安装有上固定环，所述上固定环的侧面的对应位置固定安装有固定板，所述固定板的远离上固定环的一端固定安装有吸附盘和负压泵，所述转动架的表面固定安装有刻度标尺和角度指针，所述角度指针的位置与角度尺对应，所述固定板的底部固定安装有视频探头，所述工作箱体的内底部固定安装有一号电机，所述工作箱体的内沿侧面固定安装有二号电机，所述工作箱体的内沿固定安装有内板，所述内板的侧面转动连接有转动挡板，所述转动挡板的表面固定安装有挤压开关，这样设置在上固定环的两侧对应位置均设置固定板，在固定板的远离上固定环的一端固定安装吸附盘和负压泵，两个吸附盘在移动至晶圆位置和晶圆安装位置时，一个吸附盘完成吸附作业，而另一个吸附盘完成放下晶圆的操作，这样往复工作，提高了晶圆的传输效率。

本发明进一步的改进在于，所述一号电机的输出端传动连接有传动轴，所述传动轴的远离一号电机的一端固定安装有连接支架，所述连接支架的侧面固定安装有二号压板和防滑侧板，所述二号压板的位置与挤压开关匹配，这样设置通过在连接支架的侧面固定安装二号压板，而在工作箱体的内沿且位于二号压板对应的位置固定安装内板，当二号压板移动至内板的位置则吸附盘移动至晶圆的正上方，二号压板对挤压开关的挤压使二号电机开启，而使一号电机自动关闭，以自动在指定位置处进行晶圆的取放工作。

本发明进一步的改进在于，所述转动架的底端固定安装有一号压板，所述一号压板的底部固定安装有滑动套，所述滑动套的表面固定安装有齿盘，所述二号电机的输出端传动连接有传动齿轮，所述传动齿轮与齿盘啮合传动，所述滑动套的内部开设有内滑槽，所述内滑槽的内沿开设有侧限位槽，所述防滑侧板与侧限位槽滑动连接，这样设置通过在内滑槽的边沿均匀开设侧限位槽，而连接支架侧面的防滑侧板与侧限位槽滑动，从而对滑动套和连接支架的位置进行限定，避免在一号电机带动连接支架转动时连接支架与滑动套发生相对转动，进而有效提高了转动角度的准确性。

本发明进一步的改进在于，所述内板的端部安装有转动件，所述转动挡板通过转动件与内板转动连接，所述内板的背对挤压开关的一侧固定安装有弧形连接板，所述弧形连接板的内表面固定安装有压缩弹簧和可变磁体，所述转动挡板的远离挤压开关的一侧固定安装有永久磁体，通电后的所述可变磁体与永久磁体磁性吸引，所述压缩弹簧的远离弧形连接板的一端与转动挡板固定连接。

本发明进一步的改进在于，所述内板的侧面固定安装有限位外板，所述限位外板对侧限位槽阻挡，按压所述挤压开关控制一号电机停止转动的同时控制二号电机转动。

本发明进一步的改进在于，所述工作箱体的内沿固定安装有二号开关，所述一号压板移动至最低处时与二号开关的位置匹配，按压所述二号开关控制可变磁体通电，通电后的所述可变磁体与永久磁体磁性吸引，这样设置在取放完成后，一号压板对二号开关进行挤压使二号电机反转从而使负压泵和吸附盘提升，同时使可变磁体通电对永久磁体进行吸引带动转动挡板围绕转动件转动，以解除对二号压板的阻挡，以快速进行晶圆的传输，进一步的提高了晶圆的传输效率。

本发明进一步的改进在于，所述工作箱体的内沿固定安装有内隔音板，所述控制器控制一号电机、二号电机、负压泵、视频探头和可变磁体的运行。

本发明进一步的改进在于，一种晶圆传输机器人的旋转机构，其使用方法如下：

A：将装置安装在指定位置，通过设置的一号电机带动传动轴转动，而传动轴的上端固定安装连接支架，而连接支架的侧面固定的防滑侧板与内滑槽内沿的侧限位槽滑动连接，使滑动套只能在连接支架上端滑动，这样一号电机带动连接支架、滑动套、齿盘、转动架、上固定环、固定板、负压泵和吸附盘构成的整体转动，以使吸附盘快速移动至需要传输的晶圆的正上方，而后由于二号电机输出端的传动齿轮与滑动套中部的齿盘啮合传动，从而带动滑动套、齿盘、转动架、上固定环、固定板、负压泵和吸附盘构成的整体下降，使一个吸附盘完成吸附作业，而另一个吸附盘完成放下晶圆的操作，这样能够快速准确的完成晶圆的传输；

B：在连接支架的侧面固定安装二号压板，而在工作箱体的内沿且位于二号压板对应的位置固定安装内板，当二号压板移动至内板的位置则吸附盘移动至晶圆的正上方，二号压板对挤压开关的挤压使二号电机开启，而使一号电机自动关闭，以自动在指定位置处进行晶圆的取放工作，且在取放完成后，一号压板对二号开关进行挤压使二号电机反转从而使负压泵和吸附盘提升，同时使可变磁体通电对永久磁体进行吸引带动转动挡板围绕转动件转动，以解除对二号压板的阻挡，以快速进行晶圆的传输，进一步的提高了晶圆的传输效率；

C：通过在固定板的底部固定安装视频探头，视频探头在一号电机停止转动时对刻度标尺表面的刻度和角度指针对应的角度尺表面的位置进行拍照识别，控制器将刻度情况与原设定值进行对比，当相差的角度值和刻度值大于所允许的误差值时，则控制装置立刻停止运行，避免晶圆的传输位置发生错误。

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

1、通过设置的一号电机带动传动轴转动，而传动轴的上端固定安装连接支架，而连接支架的侧面固定的防滑侧板与内滑槽内沿的侧限位槽滑动连接，使滑动套只能在连接支架上端滑动，这样一号电机带动连接支架、滑动套、齿盘、转动架、上固定环、固定板、负压泵和吸附盘构成的整体转动，以使吸附盘快速移动至需要传输的晶圆的正上方，而后由于二号电机输出端的传动齿轮与滑动套中部的齿盘啮合传动，从而带动滑动套、齿盘、转动架、上固定环、固定板、负压泵和吸附盘构成的整体下降，使一个吸附盘完成吸附作业，而另一个吸附盘完成放下晶圆的操作，这样能够快速准确的完成晶圆的传输，提高晶圆的传输效率。

2、通过在连接支架的侧面固定安装二号压板，而在工作箱体的内沿且位于二号压板对应的位置固定安装内板，当二号压板移动至内板的位置则吸附盘移动至晶圆的正上方，二号压板对挤压开关的挤压使二号电机开启，而使一号电机自动关闭，以自动在指定位置处进行晶圆的取放工作，且在取放完成后，一号压板对二号开关进行挤压使二号电机反转从而使负压泵和吸附盘提升，同时使可变磁体通电对永久磁体进行吸引带动转动挡板围绕转动件转动，以解除对二号压板的阻挡，以快速进行晶圆的传输，进一步的提高了晶圆的传输效率。

3、在上固定环的两侧对应位置均设置固定板，在固定板的远离上固定环的一端固定安装吸附盘和负压泵，两个吸附盘在移动至晶圆位置和晶圆安装位置时，一个吸附盘完成吸附作业，而另一个吸附盘完成放下晶圆的操作，这样往复工作，提高了晶圆的传输效率。

4、通过在内滑槽的边沿均匀开设侧限位槽，而连接支架侧面的防滑侧板与侧限位槽滑动，从而对滑动套和连接支架的位置进行限定，避免在一号电机带动连接支架转动时连接支架与滑动套发生相对转动，进而有效提高了转动角度的准确性。

5、通过在固定板的底部固定安装视频探头，视频探头在一号电机停止转动时对刻度标尺表面的刻度和角度指针对应的角度尺表面的位置进行拍照识别，控制器将刻度情况与原设定值进行对比，当相差的角度值和刻度值大于所允许的误差值时，则控制装置立刻停止运行，避免晶圆的传输位置发生错误。

附图说明

图1为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的工作箱体内部结构示意图。

图2为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的部分结构示意图。

图3为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的滑动套与连接支架分离结构示意图。

图4为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的一号压板、齿盘和滑动套的连接结构示意图。

图5为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的内板、弧形连接板和转动挡板的连接结构示意图。

图6为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的二号电机的输出端的结构示意图。

图7为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的内板、弧形连接板和转动挡板的连接示意图。

图8为本发明一种晶圆传输机器人的旋转机构的整体结构示意图。

图中：1、支撑底座；2、工作箱体；3、控制器；4、内隔音板；5、一号电机；6、二号电机；7、上固定套；8、转动架；9、刻度标尺；10、固定板；11、负压泵；12、吸附盘；13、视频探头；14、上固定环；15、一号压板；16、角度指针；17、齿盘；18、滑动套；19、连接支架；20、防滑侧板；21、二号压板；22、内板；23、传动轴；24、内滑槽；25、侧限位槽；26、二号开关；27、挤压开关；28、限位外板；29、转动件；30、弧形连接板；31、压缩弹簧；32、传动齿轮；33、可变磁体；34、永久磁体；35、转动挡板；36、角度尺。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“一号”、“二号”、“三号”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

实施例1

如图1、2、5和8所示，一种晶圆传输机器人的旋转机构，包括支撑底座1和工作箱体2，工作箱体2的侧面固定安装有控制器3，工作箱体2的上表面固定安装有上固定套7，上固定套7的表面安装有角度尺36，上固定套7的内部滑动连接有转动架8，转动架8的上端固定安装有上固定环14，上固定环14的侧面的对应位置固定安装有固定板10，固定板10的远离上固定环14的一端固定安装有吸附盘12和负压泵11，工作箱体2的内底部固定安装有一号电机5，工作箱体2的内沿侧面固定安装有二号电机6，工作箱体2的内沿固定安装有内板22，内板22的侧面转动连接有转动挡板35，转动挡板35的表面固定安装有挤压开关27；

具体的，如图2和3所示，一号电机5的输出端传动连接有传动轴23，传动轴23的远离一号电机5的一端固定安装有连接支架19，连接支架19的侧面固定安装有二号压板21和防滑侧板20，二号压板21的位置与挤压开关27匹配；

具体的，如图2、3和4所示，转动架8的底端固定安装有一号压板15，一号压板15的底部固定安装有滑动套18，滑动套18的表面固定安装有齿盘17，二号电机6的输出端传动连接有传动齿轮32，传动齿轮32与齿盘17啮合传动，滑动套18的内部开设有内滑槽24，内滑槽24的内沿开设有侧限位槽25，防滑侧板20与侧限位槽25滑动连接；

具体的，如图5和7所示，内板22的端部安装有转动件29，转动挡板35通过转动件29与内板22转动连接，内板22的背对挤压开关27的一侧固定安装有弧形连接板30，弧形连接板30的内表面固定安装有压缩弹簧31和可变磁体33，转动挡板35的远离挤压开关27的一侧固定安装有永久磁体34，通电后的可变磁体33与永久磁体34磁性吸引，压缩弹簧31的远离弧形连接板30的一端与转动挡板35固定连接；

具体的，如图1所示，内板22的侧面固定安装有限位外板28，限位外板28对侧限位槽25阻挡，按压挤压开关27控制一号电机5停止转动的同时控制二号电机6转动。

具体的，如图1和7所示，工作箱体2的内沿固定安装有二号开关26，一号压板15移动至最低处时与二号开关26的位置匹配，按压二号开关26控制可变磁体33通电，通电后的可变磁体33与永久磁体34磁性吸引。

具体的，如图1所示，工作箱体2的内沿固定安装有内隔音板4，控制器3控制一号电机5、二号电机6、负压泵11和可变磁体33的运行。

通过本实施例可实现：通过设置的一号电机5带动传动轴23转动，而传动轴23的上端固定安装连接支架19，而连接支架19的侧面固定的防滑侧板20与内滑槽24内沿的侧限位槽25滑动连接，使滑动套18只能在连接支架19上端滑动，这样一号电机5带动连接支架19、滑动套18、齿盘17、转动架8、上固定环14、固定板10、负压泵11和吸附盘12构成的整体转动，以使吸附盘12快速移动至需要传输的晶圆的正上方，而后由于二号电机6输出端的传动齿轮32与滑动套18中部的齿盘17啮合传动，从而带动滑动套18、齿盘17、转动架8、上固定环14、固定板10、负压泵11和吸附盘12构成的整体下降，使一个吸附盘12完成吸附作业，而另一个吸附盘12完成放下晶圆的操作，这样能够快速准确的完成晶圆的传输，提高晶圆的传输效率，通过在连接支架19的侧面固定安装二号压板21，而在工作箱体2的内沿且位于二号压板21对应的位置固定安装内板22，当二号压板21移动至内板22的位置则吸附盘12移动至晶圆的正上方，二号压板21对挤压开关27的挤压使二号电机6开启，而使一号电机5自动关闭，以自动在指定位置处进行晶圆的取放工作，且在取放完成后，一号压板15对二号开关26进行挤压使二号电机6反转从而使负压泵11和吸附盘12提升，同时使可变磁体33通电对永久磁体34进行吸引带动转动挡板35围绕转动件29转动，以解除对二号压板21的阻挡，以快速进行晶圆的传输，进一步的提高了晶圆的传输效率。

实施例2

本实施例在实施例1的基础上添加视频探头13的实施方式：如图1所示，转动架8的表面固定安装有刻度标尺9和角度指针16，角度指针16的位置与角度尺36对应，固定板10的底部固定安装有视频探头13。

通过本实施例可实现：通过在固定板10的底部固定安装视频探头13，视频探头13在一号电机5停止转动时对刻度标尺9表面的刻度和角度指针16对应的角度尺36表面的位置进行拍照识别，控制器3将刻度情况与原设定值进行对比，当相差的角度值和刻度值大于所允许的误差值时，则控制装置立刻停止运行，避免晶圆的传输位置发生错误。

需要说明的是，本发明为一种晶圆传输机器人的旋转机构，在使用时，首先，将装置安装在指定位置，通过设置的一号电机5带动传动轴23转动，而传动轴23的上端固定安装连接支架19，而连接支架19的侧面固定的防滑侧板20与内滑槽24内沿的侧限位槽25滑动连接，使滑动套18只能在连接支架19上端滑动，这样一号电机5带动连接支架19、滑动套18、齿盘17、转动架8、上固定环14、固定板10、负压泵11和吸附盘12构成的整体转动，以使吸附盘12快速移动至需要传输的晶圆的正上方，而后由于二号电机6输出端的传动齿轮32与滑动套18中部的齿盘17啮合传动，从而带动滑动套18、齿盘17、转动架8、上固定环14、固定板10、负压泵11和吸附盘12构成的整体下降，使一个吸附盘12完成吸附作业，而另一个吸附盘12完成放下晶圆的操作，这样能够快速准确的完成晶圆的传输，在连接支架19的侧面固定安装二号压板21，而在工作箱体2的内沿且位于二号压板21对应的位置固定安装内板22，当二号压板21移动至内板22的位置则吸附盘12移动至晶圆的正上方，二号压板21对挤压开关27的挤压使二号电机6开启，而使一号电机5自动关闭，以自动在指定位置处进行晶圆的取放工作，且在取放完成后，一号压板15对二号开关26进行挤压使二号电机6反转从而使负压泵11和吸附盘12提升，同时使可变磁体33通电对永久磁体34进行吸引带动转动挡板35围绕转动件29转动，以解除对二号压板21的阻挡，以快速进行晶圆的传输，进一步的提高了晶圆的传输效率，通过在固定板10的底部固定安装视频探头13，视频探头13在一号电机5停止转动时对刻度标尺9表面的刻度和角度指针16对应的角度尺36表面的位置进行拍照识别，控制器3将刻度情况与原设定值进行对比，当相差的角度值和刻度值大于所允许的误差值时，则控制装置立刻停止运行，避免晶圆的传输位置发生错误。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (8)

1.一种晶圆传输机器人的旋转机构，包括支撑底座(1)和工作箱体(2)，其特征在于：所述工作箱体(2)的侧面固定安装有控制器(3)，所述工作箱体(2)的上表面固定安装有上固定套(7)，所述上固定套(7)的表面安装有角度尺(36)，所述上固定套(7)的内部滑动连接有转动架(8)，所述转动架(8)的上端固定安装有上固定环(14)，所述上固定环(14)的侧面的对应位置固定安装有固定板(10)，所述固定板(10)的远离上固定环(14)的一端固定安装有吸附盘(12)和负压泵(11)，所述转动架(8)的表面固定安装有刻度标尺(9)和角度指针(16)，所述角度指针(16)的位置与角度尺(36)对应，所述固定板(10)的底部固定安装有视频探头(13)，所述工作箱体(2)的内底部固定安装有一号电机(5)，所述工作箱体(2)的内沿侧面固定安装有二号电机(6)，所述工作箱体(2)的内沿固定安装有内板(22)，所述内板(22)的侧面转动连接有转动挡板(35)，所述转动挡板(35)的表面固定安装有挤压开关(27)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：所述一号电机(5)的输出端传动连接有传动轴(23)，所述传动轴(23)的远离一号电机(5)的一端固定安装有连接支架(19)，所述连接支架(19)的侧面固定安装有二号压板(21)和防滑侧板(20)，所述二号压板(21)的位置与挤压开关(27)匹配。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：所述转动架(8)的底端固定安装有一号压板(15)，所述一号压板(15)的底部固定安装有滑动套(18)，所述滑动套(18)的表面固定安装有齿盘(17)，所述二号电机(6)的输出端传动连接有传动齿轮(32)，所述传动齿轮(32)与齿盘(17)啮合传动，所述滑动套(18)的内部开设有内滑槽(24)，所述内滑槽(24)的内沿开设有侧限位槽(25)，所述防滑侧板(20)与侧限位槽(25)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：所述内板(22)的端部安装有转动件(29)，所述转动挡板(35)通过转动件(29)与内板(22)转动连接，所述内板(22)的背对挤压开关(27)的一侧固定安装有弧形连接板(30)，所述弧形连接板(30)的内表面固定安装有压缩弹簧(31)和可变磁体(33)，所述转动挡板(35)的远离挤压开关(27)的一侧固定安装有永久磁体(34)，通电后的所述可变磁体(33)与永久磁体(34)磁性吸引，所述压缩弹簧(31)的远离弧形连接板(30)的一端与转动挡板(35)固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：所述内板(22)的侧面固定安装有限位外板(28)，所述限位外板(28)对侧限位槽(25)阻挡，按压所述挤压开关(27)控制一号电机(5)停止转动的同时控制二号电机(6)转动。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：所述工作箱体(2)的内沿固定安装有二号开关(26)，所述一号压板(15)移动至最低处时与二号开关(26)的位置匹配，按压所述二号开关(26)控制可变磁体(33)通电，通电后的所述可变磁体(33)与永久磁体(34)磁性吸引。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：所述工作箱体(2)的内沿固定安装有内隔音板(4)，所述控制器(3)控制一号电机(5)、二号电机(6)、负压泵(11)、视频探头(13)和可变磁体(33)的运行。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种晶圆传输机器人的旋转机构，其特征在于：其使用方法如下：

A：将装置安装在指定位置，通过设置的一号电机(5)带动传动轴(23)转动，而传动轴(23)的上端固定安装连接支架(19)，而连接支架(19)的侧面固定的防滑侧板(20)与内滑槽(24)内沿的侧限位槽(25)滑动连接，使滑动套(18)只能在连接支架(19)上端滑动，这样一号电机(5)带动连接支架(19)、滑动套(18)、齿盘(17)、转动架(8)、上固定环(14)、固定板(10)、负压泵(11)和吸附盘(12)构成的整体转动，以使吸附盘(12)快速移动至需要传输的晶圆的正上方，而后由于二号电机(6)输出端的传动齿轮(32)与滑动套(18)中部的齿盘(17)啮合传动，从而带动滑动套(18)、齿盘(17)、转动架(8)、上固定环(14)、固定板(10)、负压泵(11)和吸附盘(12)构成的整体下降，使一个吸附盘(12)完成吸附作业，而另一个吸附盘(12)完成放下晶圆的操作，这样能够快速准确的完成晶圆的传输；

B：在连接支架(19)的侧面固定安装二号压板(21)，而在工作箱体(2)的内沿且位于二号压板(21)对应的位置固定安装内板(22)，当二号压板(21)移动至内板(22)的位置则吸附盘(12)移动至晶圆的正上方，二号压板(21)对挤压开关(27)的挤压使二号电机(6)开启，而使一号电机(5)自动关闭，以自动在指定位置处进行晶圆的取放工作，且在取放完成后，一号压板(15)对二号开关(26)进行挤压使二号电机(6)反转从而使负压泵(11)和吸附盘(12)提升，同时使可变磁体(33)通电对永久磁体(34)进行吸引带动转动挡板(35)围绕转动件(29)转动，以解除对二号压板(21)的阻挡，以快速进行晶圆的传输，进一步的提高了晶圆的传输效率；

C：通过在固定板(10)的底部固定安装视频探头(13)，视频探头(13)在一号电机(5)停止转动时对刻度标尺(9)表面的刻度和角度指针(16)对应的角度尺(36)表面的位置进行拍照识别，控制器(3)将刻度情况与原设定值进行对比，当相差的角度值和刻度值大于所允许的误差值时，则控制装置立刻停止运行，避免晶圆的传输位置发生错误。

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