CN115096513A - 一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，所述氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座、进气装置、测试装置和抽气装置，所述进气装置、测试装置和抽气装置均设置在底座上，本发明相比于目前的氮化镓场效管封装性能检测装置设置有磁场发生器，通过磁场发生器能够改变检测槽内的磁场强度，以方便工作人员判断工件在不同磁场环境下的工作状态，同时利用磁场发生器对顺磁性气体的作用力能够检测工件的密封性，相对于目前通过压力衰减法来检测工件封装后的密封性，本发明能够避免向检测槽内充过多的气体，防止检测槽内的压强过大造成温度升高，影响后续测量工件工作时的电流和电压准确性。

Description

一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置

技术领域

本发明涉及封装性能检测技术领域，具体为一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置。

背景技术

氮化镓是氮和镓的化合物，号称第三代半导体核心材料，相比于硅，氮化镓拥有更宽的带隙，能够承受更高的电压，拥有更好的导电能力，目前氮化镓场效管已经逐渐应用在了各种电子设备中。

为了避免外部环境，包括外力、水、杂质或化学物等破坏和腐蚀氮化镓场效管，如今氮化镓场效管在生产时通常会经历封装这一步骤，现有的封装性能检测装置通常都是利用压力衰减法来检测封装的密封性，即通过对产品充气加压，然后根据气压变化判断产品是否泄漏，但随着气体的充入，封装性能检测装置内部的压强会越来越大，根据普适气体定律可知，随着压强的增大，气体温度也会随之升高，由于氮化镓场效管的引脚通常都是金属材质，当封装性能检测装置内部的温度升高后，受到热量的影响氮化镓场效管引脚会发生膨胀变形，进而使得电阻发生变化，若此时需要检测氮化镓场效管工作时的电流和电压，那么最终的检测结果会出现较大的偏差，以至于影响最终的产品判定，同时检测槽内的压强过大时还会导致工件发生变形，造成外观损坏，另外目前的封装性能检测装置无法根据需要模拟工作环境，在工作结束之后，若封装性能检测装置内部的温度较高，而外界温度较低，那么在打开封装性能检测装置，取出氮化镓场效管时，外界的冷空气会与封装性能检测装置内部的热空气结合，最后凝结生成水珠，污染封装性能检测装置的洁净度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，所述氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座、进气装置、测试装置和抽气装置，所述进气装置、测试装置和抽气装置均设置在底座上，所述测试装置的一端与进气装置相连接，所述测试装置的另一端与抽气装置相连接，所述进气装置的内部设置有顺磁性气体和抗磁性气体，所述测试装置包括测试箱、第一检测台和第二检测台，所述第二检测台固定安装在测试箱的内部下端，所述第一检测台通过升降杆活动安装在测试箱的内部上端，所述第一检测台与第二检测台相互靠近的一端设置有检测槽，所述工件放置在检测槽内，所述第一检测台的内部中间位置处设置有磁场发生器，所述第一检测台靠近第二检测台的一端设置有密封机构，所述第二检测台的内部设置有防护机构、模拟机构和固定机构，所述防护机构设置在第二检测台的内部靠近密封机构的一端，所述模拟机构设置在第二检测台的内部中间位置处，所述固定机构设置在工件引脚的下方，所述固定机构与外界电源相连接。

底座为本发明的安装基础，通过进气装置向测试装置内输送气体，以检测封装后工件的密封性，通过抽气装置将测试装置内的气体抽出，以便于后续重复使用，通过测试装置检测工件正常工作时的电流和电压的变化、工件处于强磁场时电流和电压的变化、工件处于高温时电流和电压的变化以及工件最终的使用寿命，其中工件处于强磁场环境和高温环境时检测电流和电压的变化为有损检测，本发明设置有磁场发生器，通过磁场发生器一方面能够改变检测槽内的磁场强度，以方便工作人员判断工件在不同磁场环境下的工作状态，另一面通过磁场发生器能够在不过分增大检测槽内部压强的情况下检测工件的密封性，具体操作如下，将工件放置到检测槽内且使第一检测台与第二检测台相互合拢，通过进气装置能够将顺磁性气体输送到检测槽内，当检测槽内的压强略大于工件内部的压强时，若工件的密封性出现问题，检测槽内的顺磁性气体会扩散到工件的内部，通过磁场发生器对顺磁性气体的作用力能够使得工件有向磁场发生器移动的趋势，此时工件对固定机构的压力会有明显减小，若工件的密封性没有出现问题，则工件对固定机构的压力不会发生变化，通过检测工件对固定机构的压力即可判断工件的封装密封性是否合格，相对于目前通过压力衰减法来检测工件封装后的密封性，本发明借助磁场发生器对顺磁性气体的作用力来检测工件的密封性，能够避免检测槽内的压强过大，导致检测槽内的气体温度升高，由于工件的引脚通常是金属材质，若检测槽内的气体温度升高，那么受到热量的影响工件的引脚会发生膨胀变形，进而使得电阻发生变化，以至于影响后续测量工件工作时的电流和电压，同时检测槽内的压强过大时还会导致工件发生变形，以至于造成外观损坏，本发明还设置有密封机构、模拟机构和固定机构，通过密封机构能够避免检测槽内的气体外泄，通过模拟机构能够模拟出工件处于高温环境时的工作状态，通过固定机构防止进气装置在向检测槽内释放气体时工件由于气流的影响而出现晃动或移动现象，同时通过固定机构还能起到减缓冲击力的作用，避免工件在放置到检测槽的过程中由于冲量过大而与第二检测台发生碰撞，以至于发生损坏，最后本发明设置有防护机构，通过防护机构能够在工作结束后，阻止外界的冷空气和检测槽内的热空气相接触，进而避免检测槽内出现水珠等现象。

进一步的，所述固定机构包括导电块、升降槽和升降架，所述导电块设置在升降槽的内部远离第一检测台的一端，所述升降架设置在升降槽的内部靠近第一检测台的一端，所述升降架靠近第一检测台的一端为导电材质且与外界电源相连接，所述导电块共设置有两组，其中一组所述导电块固定安装在升降槽的内部远离第一检测台的一端，另外一组所述导电块通过连接杆与升降架相连接，两组所述导电块之间填充有气态导电介质且通过弹簧相连接，所述磁场发生器通过两组所述导电块与外界电源相连接。

通过上述技术方案，工件在放置到检测槽内时，工件的引脚会与升降架相接触，在工件自身重量的作用下，升降架会向下移动，并使得两组导电块之间的距离缩短，由于磁场发生器通过两组导电块与外界电源相连接，因此磁场发生器接受到的电流会发生变化，根据接受到的电流变化能够判断出工件的重量，进而判断出工件的型号，本发明设置的磁场发生器会根据工件的型号自动调整释放相应的磁场，以检测工件在不同强度磁场环境中的工作状况。

进一步的，所述固定机构还包括第二齿条，所述第二齿条固定安装在升降槽的内部远离工件的一端，所述第二齿条贯穿于升降架，所述升降架的内部靠近第二齿条的一端设置有齿轮转盘，所述第二齿条与齿轮转盘啮合连接，所述升降架的内部中间位置处设置有转换室，所述升降架的内部靠近工件引脚的一端设置有负压槽，所述转换室与负压槽之间通过第一单向阀相连接，所述转换室的内部设置有活塞和气阀，所述活塞通过连杆与齿轮转盘相连接。

通过上述技术方案，升降架在向下移动时，在第二齿条的作用下，齿轮转盘会发生转动，由于活塞通过连杆与齿轮转盘相连接，因此齿轮转盘转动时，活塞会在转换室内移动，进而使得负压槽内的气体抽入进转换室内，此时负压槽为负压状态，通过负压槽能够吸附工件的引脚，从而起到固定工件的作用，防止进气装置在向检测槽内释放气体时工件由于气流的影响而出现晃动或移动现象。

进一步的，所述升降架远离第二齿条的一端设置有排气槽，所述第二检测台靠近工件的一端设置有缓冲槽，所述缓冲槽与排气槽之间通过连接管相连通，所述转换室与排气槽之间通过第二单向阀相连接。

工作之前，工件通常是被真空吸附装置输送到测试装置内，而工件在移动到检测槽的上方时，真空吸附装置会停止工作，工件会做自由落体运动掉落到检测槽内，通过上述技术方案，升降架移动的幅度和工件的重量成正相关，当工件的重量过大时，升降架移动的幅度也会相应增大，此时齿轮转盘转动的圈数将会大于一圈，活塞会在转换室内左右移动，活塞在转换室内向第二齿条的方向移动时会将负压槽内的气体抽入进转换室内，活塞在转换室内向排气槽的方向移动时，转换室内气体会通过排气槽和连接管送入缓冲槽内，通过缓冲槽内喷出的气体能够减缓工件因自由落体而出现的冲击力，避免工件在放置到检测槽的过程中由于冲量过大而与第二检测台发生碰撞，以至于发生损坏。

进一步的，所述模拟机构包括变温室、吸气组件、扇叶和蓄压块，所述变温室的内部设置有加热组件，所述吸气组件、扇叶和蓄压块均设置在变温室靠近工件的一侧，所述吸气组件的一端与检测槽相连接，所述吸气组件的另一端与变温室相连接，所述变温室远离吸气组件的一侧设置有出气通道，所述蓄压块通过蓄压弹簧设置在出气通道靠近变温室的一端，所述扇叶通过支架设置出气通道远离变温室的一端，所述出气通道与检测槽相连接的一端向防护机构的方向倾斜。

当需要检测工件在高温时的工作状况时，通过加热组件能够使得变温室内部的温度升高，随着温度的升高，变温室内的压力会逐渐增大，最后使得蓄压块被顶起，通过变温室内的气体能够使得扇叶转动，通过扇叶能够带动吸气组件工作，通过扇叶和吸气组件能够使得检测槽内的气体和变温室内的气体循环流动，最后变温室内的气体在吹动扇叶时，有一部分动能会被转化成扇叶的动能，进而避免变温室内的气体在离开出气通道时动能过大，以至于将工件吹起，造成工件的引脚与升降架接触不良的现象发生。

进一步的，所述防护机构包括定位槽和密封槽，所述定位槽设置在第二检测台的内部远离工件的一端，所述密封槽设置在第二检测台靠近第一检测台的一端，所述密封槽与密封机构相对齐，所述定位槽的内部设置有第一齿条，所述第一齿条与第一检测台固定连接，所述定位槽远离第一检测台的一端与密封槽相连接，所述第一齿条远离第一检测台的一端设置第一密封塞。

通过定位槽和第一齿条提高第一检测台与第二检测台对齐的精度，工作时，通过第一齿条和第一密封塞能够将定位槽内的气体挤压到密封槽和密封机构内，当密封槽和密封机构内的气体压力大于检测槽内的气体压力时，通过密封槽和密封机构能够起到密封的作用，防止检测槽内的气体泄漏到外界。

进一步的，所述密封机构包括密封室和导电板，所述密封室设置在第一检测台靠近第二检测台的一端，所述密封室与密封槽相对齐，所述导电板共设置有两组，其中一组所述导电板设置在密封室远离密封槽的一端，另外一组所述导电板设置在密封室靠近密封槽的一端，两组所述导电板之间通过滑杆和弹簧相连接。

通过上述技术方案，当第一检测台与第二检测台的密封性正常时，密封槽和密封机构内的气体压力应该处于一个固定的值，在进气装置向测试装置内输送气体之前，将两组导电板与外界电源和电流表相连接时，通过检测电流表上电流的变化能够判断两组导电板之间的距离，通过两组导电板之间的距离变化能够得知密封槽和密封机构内的气体压力变化，进而判断第一检测台与第二检测台的密封性是否正常，避免工作时检测槽内的气体发生泄漏。

进一步的，所述防护机构还包括蓄气室，所述蓄气室的内部设置有活动板和储气块，所述活动板的上下两端具有磁性，所述活动板设置在蓄气室的内部靠近工件的一端，所述储气块共设置有两组，两组所述储气块均设置在蓄气室的内部远离工件的一端，两组所述储气块之间设置有支撑架，所述支撑架与活动板之间通过支撑弹簧相连接，所述定位槽与蓄气室之间设置有齿轮绞盘，所述齿轮绞盘与第一齿条啮合连接，所述齿轮绞盘与活动板之间通过连接绳和定滑轮相连接。

通过上述技术方案，工作结束后，第一检测台和第一齿条会向上移动，由于齿轮绞盘与第一齿条啮合连接，因此第一齿条向上移动时，齿轮绞盘会发生转动，通过齿轮绞盘和连接绳会带动活动板在蓄气室内移动，此时检测槽内的热空气会进入到蓄气室内，通过蓄气室能够收集检测槽内的热空气，避免外界的冷空气和检测槽内的热空气接触凝结产生成水珠。

进一步的，所述蓄气室与密封槽之间通过防护槽相连接，所述防护槽靠近蓄气室的一端设置有磁板，所述磁板与活动板相互排斥，所述蓄气室靠近工件的两侧设置有收纳槽，所述收纳槽的内部设置有挡板，所述收纳槽与储气块相连接，所述储气块的内部设置有弹簧杆，所述弹簧杆靠近活动板的一端伸出储气块，所述弹簧杆远离活动板的一端位于储气块的内部且设置有第二密封塞。

通过上述技术方案，活动板在蓄气室内移动到储气块的位置处时，活动板一方面会挤压弹簧杆，通过第二密封塞能够使得储气块内的气体被挤压进收纳槽内，此时收纳槽内的挡板会伸出，通过挡板能够将蓄气室与检测槽相隔开，另一方面通过活动板能够使得防护槽内设置的磁板被顶起，由于空气的温度越高密度越小，因此蓄气室内的热空气会沿着防护槽上升，并在第一检测台与第二检测台之间形成一组气体防护层，外界冷空气在进入到检测槽内时会先穿过热空气组成的防护层，通过热空气组成的防护层不仅能先一步将外界冷空气中的水分凝结生成水珠，进而保证了检测槽内的环境处于干燥状态，同时借助热空气的升力和凝结产生的水珠还能将外界冷空气中的灰尘等杂质吸附住，防止检测槽受到污染。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：本发明相比于目前的氮化镓场效管封装性能检测装置设置有磁场发生器和固定机构，通过磁场发生器一方面能够改变检测槽内的磁场强度，以方便工作人员判断工件在不同磁场环境下的工作状态，另一面通过磁场发生器对顺磁性气体的作用力能够检测工件的密封性，相对于目前通过压力衰减法来检测工件封装后的密封性，本发明能够避免向检测槽内充过多的气体，防止检测槽内的压强过大造成温度升高，影响后续测量工件工作时的电流和电压准确性，通过固定机构能够防止进气装置在向检测槽内释放气体时工件由于气流的影响而出现晃动或移动现象，同时通过固定机构还能减缓工件因自由落体而出现的冲击力，避免工件在放置到检测槽的过程中由于冲量过大而与第二检测台发生碰撞，以至于出现损坏现象，本发明还设置有密封机构和模拟机构，通过密封机构一方面在工作之前便能判断出第一检测台与第二检测台的密封性是否正常，减少工作时检测槽内的气体发生泄漏的风险，另一方面当密封槽和密封机构内的气体压力大于检测槽内的气体压力时，通过密封槽和密封机构能够起到密封的作用，通过模拟机构能够模拟出工件处于高温环境时的工作状态，最后本发明还设置有防护机构，通过防护机构能够在第一检测台与第二检测台之间产生一组由热空气组成的防护层，工作结束之后，外界冷空气在进入到检测槽内时会先穿过热空气组成的防护层，通过热空气组成的防护层不仅能先一步将外界冷空气中的水分凝结生成水珠，同时借助热空气的升力和凝结产生的水珠还能将外界冷空气中的灰尘等杂质吸附住，防止检测槽受到污染。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的测试装置结构示意图；

图3是本发明的第二检测台结构示意图；

图4是本发明的图3中A部结构示意图；

图5是本发明的固定机构排出缓冲气体结构示意图；

图6是本发明的模拟机构工作结构示意图；

图7是本发明的防护机构结构示意图；

图8是本发明的防护机构工作结构示意图。

图中：1-底座、2-进气装置、3-测试装置、31-测试箱、32-第一检测台、321-磁场发生器、322-密封机构、3221-密封室、3222-导电板、33-第二检测台、331-防护机构、3311-蓄气室、3312-活动板、3313-收纳槽、3314-防护槽、3315-齿轮绞盘、3316-定位槽、3317-第一齿条、3318-储气块、332-模拟机构、3321-变温室、3322-吸气组件、3323-扇叶、3324-蓄压块、334-固定机构、3341-导电块、3342-升降槽、3343-第二齿条、3344-升降架、33441-齿轮转盘、33442-排气槽、33443-连接管、33444-转换室、33445-负压槽、3345-缓冲槽、4-抽气装置、5-工件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-图8所示，一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座1、进气装置2、测试装置3和抽气装置4，进气装置2、测试装置3和抽气装置4均设置在底座1上，测试装置3的一端与进气装置2相连接，测试装置3的另一端与抽气装置4相连接，进气装置2的内部设置有顺磁性气体和抗磁性气体，测试装置3包括测试箱31、第一检测台32和第二检测台33，第二检测台33固定安装在测试箱31的内部下端，第一检测台32通过升降杆活动安装在测试箱31的内部上端，第一检测台32与第二检测台33相互靠近的一端设置有检测槽，工件5放置在检测槽内，第一检测台32的内部中间位置处设置有磁场发生器321，第一检测台32靠近第二检测台33的一端设置有密封机构322，第二检测台33的内部设置有防护机构331、模拟机构332和固定机构334，防护机构331设置在第二检测台33的内部靠近密封机构322的一端，模拟机构332设置在第二检测台33的内部中间位置处，固定机构334设置在工件5引脚的下方，固定机构334与外界电源相连接。

底座1为本发明的安装基础，通过进气装置2向测试装置3内输送气体，以检测封装后工件5的密封性，通过抽气装置4将测试装置3内的气体抽出，以便于后续重复使用，通过测试装置3检测工件5正常工作时的电流和电压的变化、工件5处于强磁场时电流和电压的变化、工件5处于高温时电流和电压的变化以及工件5最终的使用寿命，其中工件5处于强磁场环境和高温环境时检测电流和电压的变化为有损检测，本发明设置有磁场发生器321，通过磁场发生器321一方面能够改变检测槽内的磁场强度，以方便工作人员判断工件5在不同磁场环境下的工作状态，另一面通过磁场发生器321能够在不过分增大检测槽内部压强的情况下检测工件5的密封性，具体操作如下，将工件5放置到检测槽内且使第一检测台32与第二检测台33相互合拢，通过进气装置2能够将顺磁性气体输送到检测槽内，当检测槽内的压强略大于工件5内部的压强时，若工件5的密封性出现问题，检测槽内的顺磁性气体会扩散到工件5的内部，通过磁场发生器321对顺磁性气体的作用力能够使得工件5有向磁场发生器321移动的趋势，此时工件5对固定机构334的压力会有明显减小，若工件5的密封性没有出现问题，则工件5对固定机构334的压力不会发生变化，通过检测工件5对固定机构334的压力即可判断工件5的封装密封性是否合格，相对于目前通过压力衰减法来检测工件5封装后的密封性，本发明借助磁场发生器321对顺磁性气体的作用力来检测工件5的密封性，能够避免检测槽内的压强过大，导致检测槽内的气体温度升高，由于工件5的引脚通常是金属材质，若检测槽内的气体温度升高，那么受到热量的影响工件5的引脚会发生膨胀变形，进而使得电阻发生变化，以至于影响后续测量工件5工作时的电流和电压，同时检测槽内的压强过大时还会导致工件5发生变形，以至于造成外观损坏，本发明还设置有密封机构322、模拟机构332和固定机构334，通过密封机构322能够避免检测槽内的气体外泄，通过模拟机构332能够模拟出工件5处于高温环境时的工作状态，通过固定机构334防止进气装置2在向检测槽内释放气体时工件5由于气流的影响而出现晃动或移动现象，同时通过固定机构334还能起到减缓冲击力的作用，避免工件5在放置到检测槽的过程中由于冲量过大而与第二检测台33发生碰撞，以至于发生损坏，最后本发明设置有防护机构331，通过防护机构331能够在工作结束后，阻止外界的冷空气和检测槽内的热空气相接触，进而避免检测槽内出现水珠等现象。

如图1-图8所示，固定机构334包括导电块3341、升降槽3342和升降架3344，导电块3341设置在升降槽3342的内部远离第一检测台32的一端，升降架3344设置在升降槽3342的内部靠近第一检测台32的一端，升降架3344靠近第一检测台32的一端为导电材质且与外界电源相连接，导电块3341共设置有两组，其中一组导电块3341固定安装在升降槽3342的内部远离第一检测台32的一端，另外一组导电块3341通过连接杆与升降架3344相连接，两组导电块3341之间填充有气态导电介质且通过弹簧相连接，磁场发生器321通过两组导电块3341与外界电源相连接。

通过上述技术方案，工件5在放置到检测槽内时，工件5的引脚会与升降架3344相接触，在工件5自身重量的作用下，升降架3344会向下移动，并使得两组导电块3341之间的距离缩短，由于磁场发生器321通过两组导电块3341与外界电源相连接，因此磁场发生器321接受到的电流会发生变化，根据接受到的电流变化能够判断出工件5的重量，进而判断出工件5的型号，本发明设置的磁场发生器321会根据工件5的型号自动调整释放相应的磁场，以检测工件5在不同强度磁场环境中的工作状况。

如图1-图8所示，固定机构334还包括第二齿条3343，第二齿条3343固定安装在升降槽3342的内部远离工件5的一端，第二齿条3343贯穿于升降架3344，升降架3344的内部靠近第二齿条3343的一端设置有齿轮转盘33441，第二齿条3343与齿轮转盘33441啮合连接，升降架3344的内部中间位置处设置有转换室33444，升降架3344的内部靠近工件5引脚的一端设置有负压槽33445，转换室33444与负压槽33445之间通过第一单向阀相连接，转换室33444的内部设置有活塞和气阀，活塞通过连杆与齿轮转盘33441相连接。

通过上述技术方案，升降架3344在向下移动时，在第二齿条3343的作用下，齿轮转盘33441会发生转动，由于活塞通过连杆与齿轮转盘33441相连接，因此齿轮转盘33441转动时，活塞会在转换室33444内移动，进而使得负压槽33445内的气体抽入进转换室33444内，此时负压槽33445为负压状态，通过负压槽33445能够吸附工件5的引脚，从而起到固定工件5的作用，防止进气装置2在向检测槽内释放气体时工件5由于气流的影响而出现晃动或移动现象。

如图1-图8所示，升降架3344远离第二齿条3343的一端设置有排气槽33442，第二检测台33靠近工件5的一端设置有缓冲槽3345，缓冲槽3345与排气槽33442之间通过连接管33443相连通，转换室33444与排气槽33442之间通过第二单向阀相连接。

工作之前，工件5通常是被真空吸附装置输送到测试装置3内，而工件5在移动到检测槽的上方时，真空吸附装置会停止工作，工件5会做自由落体运动掉落到检测槽内，通过上述技术方案，升降架3344移动的幅度和工件5的重量成正相关，当工件5的重量过大时，升降架3344移动的幅度也会相应增大，此时齿轮转盘33441转动的圈数将会大于一圈，活塞会在转换室33444内左右移动，活塞在转换室33444内向第二齿条3343的方向移动时会将负压槽33445内的气体抽入进转换室33444内，活塞在转换室33444内向排气槽33442的方向移动时，转换室33444内气体会通过排气槽33442和连接管33443送入缓冲槽3345内，通过缓冲槽3345内喷出的气体能够减缓工件5因自由落体而出现的冲击力，避免工件5在放置到检测槽的过程中由于冲量过大而与第二检测台33发生碰撞，以至于发生损坏。

如图1-图8所示，模拟机构332包括变温室3321、吸气组件3322、扇叶3323和蓄压块3324，变温室3321的内部设置有加热组件，吸气组件3322、扇叶3323和蓄压块3324均设置在变温室3321靠近工件5的一侧，吸气组件3322的一端与检测槽相连接，吸气组件3322的另一端与变温室3321相连接，变温室3321远离吸气组件3322的一侧设置有出气通道，蓄压块3324通过蓄压弹簧设置在出气通道靠近变温室3321的一端，扇叶3323通过支架设置出气通道远离变温室3321的一端，出气通道与检测槽相连接的一端向防护机构331的方向倾斜，扇叶3323通过传动杆和连接带与吸气组件3322相连接。

当需要检测工件5在高温时的工作状况时，通过加热组件能够使得变温室3321内部的温度升高，随着温度的升高，变温室3321内的压力会逐渐增大，最后使得蓄压块3324被顶起，通过变温室3321内的气体能够使得扇叶3323转动，通过扇叶3323能够带动吸气组件3322工作，通过扇叶3323和吸气组件3322能够使得检测槽内的气体和变温室3321内的气体循环流动，最后变温室3321内的气体在吹动扇叶3323时，有一部分动能会被转化成扇叶3323的动能，进而避免变温室3321内的气体在离开出气通道时动能过大，以至于将工件5吹起，造成工件5的引脚与升降架3344接触不良的现象发生。

如图1-图8所示，防护机构331包括定位槽3316和密封槽，定位槽3316设置在第二检测台33的内部远离工件5的一端，密封槽设置在第二检测台33靠近第一检测台32的一端，密封槽与密封机构322相对齐，定位槽3316的内部设置有第一齿条3317，第一齿条3317与第一检测台32固定连接，定位槽3316远离第一检测台32的一端与密封槽相连接，第一齿条3317远离第一检测台32的一端设置第一密封塞。

通过定位槽3316和第一齿条3317提高第一检测台32与第二检测台33对齐的精度，工作时，通过第一齿条3317和第一密封塞能够将定位槽3316内的气体挤压到密封槽和密封机构322内，当密封槽和密封机构322内的气体压力大于检测槽内的气体压力时，通过密封槽和密封机构322能够起到密封的作用，防止检测槽内的气体泄漏到外界。

如图1-图8所示，密封机构322包括密封室3221和导电板3222，密封室3221设置在第一检测台32靠近第二检测台33的一端，密封室3221与密封槽相对齐，导电板3222共设置有两组，其中一组导电板3222设置在密封室3221远离密封槽的一端，另外一组导电板3222设置在密封室3221靠近密封槽的一端，两组导电板3222之间通过滑杆和弹簧相连接。

通过上述技术方案，当第一检测台32与第二检测台33的密封性正常时，密封槽和密封机构322内的气体压力应该处于一个固定的值，在进气装置2向测试装置3内输送气体之前，将两组导电板3222与外界电源和电流表相连接时，通过检测电流表上电流的变化能够判断两组导电板3222之间的距离，通过两组导电板3222之间的距离变化能够得知密封槽和密封机构322内的气体压力变化，进而判断第一检测台32与第二检测台33的密封性是否正常，避免工作时检测槽内的气体发生泄漏。

如图1-图8所示，防护机构331还包括蓄气室3311，蓄气室3311的内部设置有活动板3312和储气块3318，活动板3312的上下两端具有磁性，活动板3312设置在蓄气室3311的内部靠近工件5的一端，储气块3318共设置有两组，两组储气块3318均设置在蓄气室3311的内部远离工件5的一端，两组储气块3318之间设置有支撑架，支撑架与活动板3312之间通过支撑弹簧相连接，定位槽3316与蓄气室3311之间设置有齿轮绞盘3315，齿轮绞盘3315与第一齿条3317啮合连接，齿轮绞盘3315与活动板3312之间通过连接绳和定滑轮相连接。

通过上述技术方案，工作结束后，第一检测台32和第一齿条3317会向上移动，由于齿轮绞盘3315与第一齿条3317啮合连接，因此第一齿条3317向上移动时，齿轮绞盘3315会发生转动，通过齿轮绞盘3315和连接绳会带动活动板3312在蓄气室3311内移动，此时检测槽内的热空气会进入到蓄气室3311内，通过蓄气室3311能够收集检测槽内的热空气，避免外界的冷空气和检测槽内的热空气接触凝结产生成水珠。

如图1-图8所示，蓄气室3311与密封槽之间通过防护槽3314相连接，防护槽3314靠近蓄气室3311的一端设置有磁板，磁板与活动板3312相互排斥，蓄气室3311靠近工件5的两侧设置有收纳槽3313，收纳槽3313的内部设置有挡板，收纳槽3313与储气块3318相连接，储气块3318的内部设置有弹簧杆，弹簧杆靠近活动板3312的一端伸出储气块3318，弹簧杆远离活动板3312的一端位于储气块3318的内部且设置有第二密封塞。

通过上述技术方案，活动板3312在蓄气室3311内移动到储气块3318的位置处时，活动板3312一方面会挤压弹簧杆，通过第二密封塞能够使得储气块3318内的气体被挤压进收纳槽3313内，此时收纳槽3313内的挡板会伸出，通过挡板能够将蓄气室3311与检测槽相隔开，另一方面通过活动板3312能够使得防护槽3314内设置的磁板被顶起，由于空气的温度越高密度越小，因此蓄气室3311内的热空气会沿着防护槽3314上升，并在第一检测台32与第二检测台33之间形成一组气体防护层，外界冷空气在进入到检测槽内时会先穿过热空气组成的防护层，通过热空气组成的防护层不仅能先一步将外界冷空气中的水分凝结生成水珠，进而保证了检测槽内的环境处于干燥状态，同时借助热空气的升力和凝结产生的水珠还能将外界冷空气中的灰尘等杂质吸附住，防止检测槽受到污染。

本发明的工作原理：通过真空吸附装置将工件5放置到检测槽内，工件5会做自由落体运动掉落到检测槽内，然后工件5的引脚会与升降架3344相接触，并使得升降架3344向下移动，在第二齿条3343的作用下，齿轮转盘33441会发生转动，进而带动活塞在转换室33444内移动，通过活塞能够使得负压槽33445内的气体抽入进转换室33444内，此时负压槽33445为负压状态，通过负压槽33445能够吸附工件5的引脚，当工件5的重量过大时，齿轮转盘33441转动的圈数将会大于一圈，活塞在转换室33444内向第二齿条3343的方向移动时后，会继续向排气槽33442的方向移动时，最后转换室33444内气体会通过排气槽33442和连接管33443送入缓冲槽3345内，通过缓冲槽3345内喷出的气体能够减缓工件5因自由落体运动而出现的冲击力，当工件5放置到检测槽内后，通过升降杆使得第一检测台32与第二检测台33合拢，通过第一齿条3317和第一密封塞能够将定位槽3316内的气体挤压到密封槽和密封机构322内，当密封槽和密封机构322内的气体压力大于检测槽内的气体压力时，通过密封槽和密封机构322能够起到密封的作用，通过进气装置2能够将顺磁性气体输送到检测槽内，当检测槽内的压强略大于工件5内部的压强时，若工件5的密封性出现问题，检测槽内的顺磁性气体会扩散到工件5的内部，通过磁场发生器321对顺磁性气体的作用力能够使得工件5有向磁场发生器321移动的趋势，此时工件5对固定机构334的压力会有明显减小，若工件5的密封性没有出现问题，则工件5对固定机构334的压力不会发生变化，通过检测工件5对固定机构334的压力即可判断工件5的封装密封性是否合格，当需要检测工件5在高温时的工作状况时，开启加热组件，通过加热组件能够使得变温室3321内部的温度升高，当变温室3321内的温度升高到一定程度后，蓄压块3324被顶起，变温室3321内的气体会通过出气通道流入到检测槽内，变温室3321内的气体在流动的过程中会吹动扇叶3323转动，通过扇叶3323能够带动吸气组件3322工作，通过扇叶3323和吸气组件3322能够使得检测槽内的气体和变温室3321内的气体循环流动，工作结束后，通过升降杆使得第一检测台32向上移动，第一齿条3317在跟随第一检测台32向上移动时，齿轮绞盘3315会发生转动，通过齿轮绞盘3315和连接绳能够使得活动板3312在蓄气室3311内移动，当活动板3312在蓄气室3311内移动到储气块3318的位置处时，活动板3312会挤压弹簧杆，此时储气块3318内的气体会进入到收纳槽3313内，收纳槽3313内的挡板会伸出，通过挡板能够将蓄气室3311与检测槽相隔开，同时通过活动板3312能够使得防护槽3314内设置的磁板被顶起，此时蓄气室3311内的热空气会沿着防护槽3314上升，并在第一检测台32与第二检测台33之间形成一组气体防护层，通过热空气组成的防护层不仅能先一步将外界冷空气中的水分凝结生成水珠，同时借助热空气的升力和凝结产生的水珠还能将外界冷空气中的灰尘等杂质吸附住，防止检测槽受到污染。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座（1）、进气装置（2）、测试装置（3）和抽气装置（4），所述进气装置（2）、测试装置（3）和抽气装置（4）均设置在底座（1）上，所述测试装置（3）的一端与进气装置（2）相连接，所述测试装置（3）的另一端与抽气装置（4）相连接，所述进气装置（2）的内部设置有顺磁性气体和抗磁性气体，所述测试装置（3）包括测试箱（31）、第一检测台（32）和第二检测台（33），所述第二检测台（33）固定安装在测试箱（31）的内部下端，所述第一检测台（32）通过升降杆活动安装在测试箱（31）的内部上端，所述第一检测台（32）与第二检测台（33）相互靠近的一端设置有检测槽，所述工件（5）放置在检测槽内，所述第一检测台（32）的内部中间位置处设置有磁场发生器（321），所述第一检测台（32）靠近第二检测台（33）的一端设置有密封机构（322），所述第二检测台（33）的内部设置有防护机构（331）、模拟机构（332）和固定机构（334），所述防护机构（331）设置在第二检测台（33）的内部靠近密封机构（322）的一端，所述模拟机构（332）设置在第二检测台（33）的内部中间位置处，所述固定机构（334）设置在工件（5）引脚的下方，所述固定机构（334）与外界电源相连接。

2.根据权利要求1所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述固定机构（334）包括导电块（3341）、升降槽（3342）和升降架（3344），所述导电块（3341）设置在升降槽（3342）的内部远离第一检测台（32）的一端，所述升降架（3344）设置在升降槽（3342）的内部靠近第一检测台（32）的一端，所述升降架（3344）靠近第一检测台（32）的一端为导电材质且与外界电源相连接，所述导电块（3341）共设置有两组，其中一组所述导电块（3341）固定安装在升降槽（3342）的内部远离第一检测台（32）的一端，另外一组所述导电块（3341）通过连接杆与升降架（3344）相连接，两组所述导电块（3341）之间填充有气态导电介质且通过弹簧相连接，所述磁场发生器（321）通过两组所述导电块（3341）与外界电源相连接。

3.根据权利要求2所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述固定机构（334）还包括第二齿条（3343），所述第二齿条（3343）固定安装在升降槽（3342）的内部远离工件（5）的一端，所述第二齿条（3343）贯穿于升降架（3344），所述升降架（3344）的内部靠近第二齿条（3343）的一端设置有齿轮转盘（33441），所述第二齿条（3343）与齿轮转盘（33441）啮合连接，所述升降架（3344）的内部中间位置处设置有转换室（33444），所述升降架（3344）的内部靠近工件（5）引脚的一端设置有负压槽（33445），所述转换室（33444）与负压槽（33445）之间通过第一单向阀相连接，所述转换室（33444）的内部设置有活塞和气阀，所述活塞通过连杆与齿轮转盘（33441）相连接。

4.根据权利要求3所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述升降架（3344）远离第二齿条（3343）的一端设置有排气槽（33442），所述第二检测台（33）靠近工件（5）的一端设置有缓冲槽（3345），所述缓冲槽（3345）与排气槽（33442）之间通过连接管（33443）相连通，所述转换室（33444）与排气槽（33442）之间通过第二单向阀相连接。

5.根据权利要求1所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述模拟机构（332）包括变温室（3321）、吸气组件（3322）、扇叶（3323）和蓄压块（3324），所述变温室（3321）的内部设置有加热组件，所述吸气组件（3322）、扇叶（3323）和蓄压块（3324）均设置在变温室（3321）靠近工件（5）的一侧，所述吸气组件（3322）的一端与检测槽相连接，所述吸气组件（3322）的另一端与变温室（3321）相连接，所述变温室（3321）远离吸气组件（3322）的一侧设置有出气通道，所述蓄压块（3324）通过蓄压弹簧设置在出气通道靠近变温室（3321）的一端，所述扇叶（3323）通过支架设置出气通道远离变温室（3321）的一端，所述出气通道与检测槽相连接的一端向防护机构（331）的方向倾斜。

6.根据权利要求5所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述防护机构（331）包括定位槽（3316）和密封槽，所述定位槽（3316）设置在第二检测台（33）的内部远离工件（5）的一端，所述密封槽设置在第二检测台（33）靠近第一检测台（32）的一端，所述密封槽与密封机构（322）相对齐，所述定位槽（3316）的内部设置有第一齿条（3317），所述第一齿条（3317）与第一检测台（32）固定连接，所述定位槽（3316）远离第一检测台（32）的一端与密封槽相连接，所述第一齿条（3317）远离第一检测台（32）的一端设置第一密封塞。

7.根据权利要求6所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述密封机构（322）包括密封室（3221）和导电板（3222），所述密封室（3221）设置在第一检测台（32）靠近第二检测台（33）的一端，所述密封室（3221）与密封槽相对齐，所述导电板（3222）共设置有两组，其中一组所述导电板（3222）设置在密封室（3221）远离密封槽的一端，另外一组所述导电板（3222）设置在密封室（3221）靠近密封槽的一端，两组所述导电板（3222）之间通过滑杆和弹簧相连接。

8.根据权利要求7所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述防护机构（331）还包括蓄气室（3311），所述蓄气室（3311）的内部设置有活动板（3312）和储气块（3318），所述活动板（3312）的上下两端具有磁性，所述活动板（3312）设置在蓄气室（3311）的内部靠近工件（5）的一端，所述储气块（3318）共设置有两组，两组所述储气块（3318）均设置在蓄气室（3311）的内部远离工件（5）的一端，两组所述储气块（3318）之间设置有支撑架，所述支撑架与活动板（3312）之间通过支撑弹簧相连接，所述定位槽（3316）与蓄气室（3311）之间设置有齿轮绞盘（3315），所述齿轮绞盘（3315）与第一齿条（3317）啮合连接，所述齿轮绞盘（3315）与活动板（3312）之间通过连接绳和定滑轮相连接。

9.根据权利要求8所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述蓄气室（3311）与密封槽之间通过防护槽（3314）相连接，所述防护槽（3314）靠近蓄气室（3311）的一端设置有磁板，所述磁板与活动板（3312）相互排斥，所述蓄气室（3311）靠近工件（5）的两侧设置有收纳槽（3313），所述收纳槽（3313）的内部设置有挡板，所述收纳槽（3313）与储气块（3318）相连接，所述储气块（3318）的内部设置有弹簧杆，所述弹簧杆靠近活动板（3312）的一端伸出储气块（3318），所述弹簧杆远离活动板（3312）的一端位于储气块（3318）的内部且设置有第二密封塞。

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