CN115087830A - 连接方法及轴对准机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供连接方法及轴对准机构，为了使接合的管构件不在轴向上移动而通过例如在径向上移动来进行卸除，管接头(3)具有：一串单元构件(31a～31c)，相邻的单元构件之间以相互可转动的方式连结；以及扣合件(32)，用以连结两端的单元构件(31a、31c)，通过使一对管构件(1)的凸缘部(12)卡合于单元构件(31a～31c)的轴向两侧，而使一对管构件(1)成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势，将两端的单元构件(31a、31c)以扣合件(32)连结而成为环状状态，并锁紧扣合件(32)，由此将一对管构件(1)以对中姿势接合。

Description

连接方法及轴对准机构

技术领域

本发明涉及用以接合一对管构件的连接方法及轴对准机构。

背景技术

以往，作为用于例如半导体控制装置的流体控制装置如专利文献1及2所示，有在形成有内部流路的歧管配置各种流体控制设备的。然而，此流体控制装置因使用歧管而重量重，并且还耗费加工内部流路这部分的费用，而且存在的问题有内部流路长，阻力增大，从而需要较大的初始压力。

对此，如专利文献3乃至5所示，若在流体控制设备的接口及配管的连接或配管之间的连接中使用管接头，便可不需要歧管。此外，在以下，为了方便说明，除了配管本身以外，也将例如流量计或各种传感器等流体控制设备的接口部亦总称为管构件。

作为管接头的一例，如专利文献3所示，已知有一种管接头，其具有一串单元构件和扣合件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结，所述扣合件用以连结两端的单元构件，通过扣合件将两端的单元构件连结从而成为环状状态，通过锁紧扣合件，而将一对管构件接合。

更具体说明，首先，将一个管构件从称为中心环的环状构件的轴向一侧插入，并且将另一个管构件从同一中心环的轴向另一侧插入，由此进行这些管构件的对中。接着，在如此在中心环插入一对管构件的状态下，通过上述单元构件将这一对管构件接合。

然而，例如流体控制设备的维修时等，要将已接合的管构件的一方从管接头卸除时，由于必须使该管构件沿着轴向移动从而从中心环拔出，故需确保其拔出量的空间，在装置的小型化或流体控制设备的高度集成化中存在极限。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6685234号

专利文献2：日本专利公开公报2002-89798号

专利文献3：日本专利第4942332号

专利文献4：日本实用新型注册第3175176号

专利文献5：日本专利第5722645号

发明内容

在此，本发明是为解决上述问题而提出的，主要课题在于已接合的管构件不沿着轴向移动而例如沿着径向移动来卸除。

即，本发明的连接方法是以管接头将一对管构件接合的连接方法，所述管接头具有：一串单元构件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结；以及扣合件，用以连结两端的单元构件，通过使所述一对管构件的凸缘部卡合于所述单元构件的轴向两侧，从而使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势，将所述两端的单元构件以所述扣合件连结而成为环状状态，并锁紧所述扣合件，由此将所述一对管构件以所述对中姿势接合。

按照这种连接方法，由于通过使所述一对管构件的凸缘部卡合于所述单元构件的轴向两侧，一对管构件成为对中姿势或视作对中姿势的姿势，所以能够在不使用以往的环状构件的情况下进行对中。

如此不需要环状构件，所以在卸除已接合的管构件时，能够在所述管构件沿着轴向不移动的情况下，例如将管构件沿着径向卸除，进而可谋求使用该管接头的气体板的小型化及高度集成化。

更具体的实施方式是优选在所述一对管构件的凸缘部设有沿着周向延伸的沟槽部或沿着周向延伸的突条部的一方，在至少一个所述单元构件的轴向两侧设有沿着周向延伸的沟槽部或沿着周向延伸的突条部的另一方，通过使设于所述一对管构件各自的凸缘部的所述沟槽部或所述突条部的一方与设于所述单元构件的所述沟槽部或所述突条部的另一方卡合，而使所述一对管构件成为对中姿势或视作对中姿势的姿势。

这样一来，由于通过使设于一对管构件各自的凸缘部的沟槽部或突条部的一方与设于单元构件的沟槽部或突条部的另一方卡合，一对管构件成为对中姿势或视作对中姿势的姿势，因此可谋求对中步骤的简易化。

为使上述作用效果显著地发挥，优选沿着所述管构件的径向使所述管构件往所述单元构件移动，或者沿着所述管构件的径向使所述单元构件往所述管构件移动，而使所述沟槽部与所述突条部卡合，由此使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势。

优选在所述一对管构件各自的凸缘部设有所述沟槽部，在所述单元构件的轴向两侧设有所述突条部，在所述沟槽部及所述突条部卡合的状态下，该沟槽部及该突条部的相互相对的面是倾斜面，以所述扣合件将所述两端的单元构件连结，并将所述扣合件锁紧，由此推压所述沟槽部的所述倾斜面与所述突条部的所述倾斜面，而以在此时产生的轴向的分力将所述一对管构件的凸缘部彼此压着结合。

这样一来，可将一对管构件可靠地气密、液密地接合。此外，凸缘部之间无需必需相互接触，更优选借助垫片等密封构件压着结合。

再者，本发明的连接方法的特征在于包括：准备管接头的步骤，所述管接头具有一串单元构件和扣合件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结，所述扣合件用于连结两端的单元构件，所述单元构件的内周面形成有通过所述扣合件的扣合而发挥楔形效应的倾斜面；准备具有与所述单元构件的所述倾斜面相对的倾斜面的一对管构件的步骤；确认所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势的步骤；以所述扣合件将所述一对管构件接合的步骤。

这样一来，由于具有确认一对管构件成为对中姿势或视作对中姿势的姿势的步骤，所以可在不使用以往的环状构件的情况下进行对中。

此外，本发明的轴对准机构是以管接头将一对管构件接合时的轴对准机构，所述管接头具有：一串单元构件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结；以及扣合件，用以连结两端的单元构件，在该结构中，包含：沟槽部，设于所述一对管构件的凸缘部或至少一个所述单元构件的一方，且沿着周向延伸；以及突条部，设于所述一对管构件的凸缘部或至少一个所述单元构件的一方，且沿着周向延伸并卡合于所述沟槽部，通过使所述沟槽部与所述突条部卡合，而使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势。

按照这种轴对准机构，由于通过使沟槽部与突条部卡合，一对管构件成为对中姿势或视作对中姿势的姿势，所以可在不使用以往的环状构件的情况下进行对中，从而可取得与上述连接方法相同的作用效果。

为使上述作用效果更显著地发挥，优选所述一对管构件不使用从轴向嵌入的构件而构成。

另外，在背景技术中，举专利文献3为例说明的管接头(以下称为夹式接头)作为连接一对管构件的连接方法而被提出。

另一方面，以往提出了在与例如半导体气相沉积装置等半导体制造装置的反应腔室之间用于供给、排出各种反应气体的流体控制装置(以下称为气体板装置，简略仅称为GP装置)。作为这种GP装置的典型例可列举专利文献2。从同一专利文献2的图可知，在构成GP装置的流量计等各种传感器或阀等各种流体控制设备之间的流路的连接中使用位于其下方的块状的各种歧管。因而，从GP装置整体的平面图可知，有将各流体控制设备以间隔几乎密合的程度接近地集成配置而且其集成程度高的GP装置被应用的情形。

然而，在使用这种块体、歧管等的GP装置(以下称为歧管式GP装置)中，虽然平面图的集成度提高至几乎极限，但因在构造上在上下配置有歧管、块体的关系，故有GP装置整体的重量增大化、装置的上下方向的占有空间大、流路阻力增大及伴随于此的必要初始压力的增大化、歧管加工成本上升(特别是为防止漏出，需要精密加工与各流体控制设备之间的密封机构)等问题。

另一方面，在专利文献1公开了一种构造，表示了螺帽式接头结构(参照图10)，特别是通过使螺帽CN往左方转动移动而卸除，可使左右的管构件G往与流体的流动方向形成直角的方向错开。然而，在此专利文献1中，有为了螺帽的轴向移动而需要空间这样的问题，特别是在需要集成化的GP装置中不易采用这种接头。大幅改善了此问题的，有专利文献3乃至5所示的夹式接头。

然而，由于该夹式接头使用中心环作为必要组件，所以虽然不像所述专利文献1的螺帽那般，但在解开夹后，卸除中心环时，需要使管构件沿着轴向移动或者使中心环从一方的管构件脱离。这意味着为了操作中心环，需要某种程度的一对相对的流体控制设备之间的空间。

此外，无法正常地进行为了组装一对管构件而将中心环插入至一对管构件的动作本身时(例如有偏心时)，至少对于相邻的区域的支撑台或其加工、组装精确度必须进行再确认并修正。考虑到所述GP装置中使用数十个接头，这样的修正会产生整个GP装置的制造程序的延迟、作业的返工，从而产生不必要的成本。

本申请的发明人鉴于所述专利文献3乃至5所示的夹式接头的优点是不具有所述歧管式GP装置的问题点，相反，在一对相对的流体控制设备之间除了需要有接头的空间，为了操作中心环还需要某种程度的空间，这样的情形是不易对GP装置采用夹式接头方式的原因之一，为解决此问题，致力检讨、努力的结果，着眼于中心环的对中功能。

即，查明了在夹式接头的GP装置中，以夹圈进行一对管构件的扣合动作前，设置测定一对相对配置的流体控制设备的相对的连接口的偏心量并判定其值在之后的夹圈的扣合动作正常进行的程度的容许值以内的步骤，可基本解决所述问题。

因而，本发明的GP装置中的一对管构件的连接方法是在多个流体控制设备集成、配置于基板上的流体控制装置(GP装置)中的在流体的流动方向上相对配置的一对所述流体控制设备的连接口的连接方法，包括：准备接头本体的步骤，所述接头本体具有以可转动的方式连结的一串单元构件及扣合所述单元构件的两端部的扣合单元，在各所述单元构件的内周侧形成有随着所述扣合动作而发挥楔形效应的倾斜面；准备一对管构件的步骤，在所述管构件的一端侧形成有凸缘部，另一端侧结合于所述一对流体控制设备的连接口侧，并且在所述凸缘部形成有与所述单元构件内周侧的倾斜面卡合的相对倾斜面；以使所述相对的一对流体控制设备的连接口的轴向姿势成为大致被对中的状态的方式配置所述流体控制设备及其支撑构件，并确认所述一对管构件凸缘部成为能够进行所述卡合的位置状态的步骤；接续于所述确认的步骤，使所述一对管构件的凸缘部的倾斜面与所述单元构件内周侧的相对倾斜面卡合并执行所述扣合单元的扣合动作的步骤。

根据上述本发明，可在不使用以往的环状构件的情况下，进行一对管构件的对中，在卸除已接合的管构件时，能够在该管构件不沿着轴向移动的情况下，例如将管构件沿着径向卸除，从而可谋求使用该管接头的气体板的小型化及高度集成化。

附图说明

图1是本发明一实施方式的管构件的截面图。

图2是该实施方式的管构件、垫片、及管接头的截面图。

图3是该实施方式的管接头的截面图。

图4是该实施方式的管接头的立体图。

图5是表示该实施方式的轴对准机构的结构的截面图。

图6是表示该实施方式的轴对准机构的结构的截面图。

图7是表示该实施方式的摩擦力产生构件的结构的示意图。

图8是表示使用该实施方式的管接头的气体板的结构的示意图。

图9是表示在该实施方式中在管构件装设垫片的次序的示意图。

图10是表示在该实施方式中接合一对管构件的次序的示意图。

图11是表示在该实施方式中接合一对管构件的次序的示意图。

图12是表示在该实施方式中接合一对管构件的次序的示意图。

图13是表示另一实施方式的管构件及管接头的结构的示意图。

附图标记说明

1…管构件

11…本体部

12…凸缘部

13…接口

14…突起

15…沟槽部

16…底面

17…侧面

18…侧面

2…垫片

21…孔

4…垫片支持器

41…一端开口

42…另一端开口

43…爪部

3…管接头

31…单元构件

32…扣合件

33…凹沟

34…倾斜面

35…突条部

5…轴对准机构

6…摩擦力产生构件

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。

首先，对本实施方式的管构件1、垫片2及管接头3进行说明。

<管构件1>

如图1所示，管构件1包含本体部11、设于本体部11的端部的凸缘部12，流体可在内部流动。此外，虽然本实施方式的管构件1是配管，但是作为管构件1的另一方式也可以是在例如流量计或各种传感器等流体控制设备中，连接配管的管状连接部分(即，设有连接配管的连接口的部分)等。

凸缘部12是具有供流体流入或流出的接口13并通过后述管接头3接合的部分。这里的凸缘部12外径大于本体部11，在其前端面(以下亦称为相对面)设有圆环状突起14。

又如图1所示，在该凸缘部12设有沿着周向延伸的沟槽部15。此沟槽部15设在凸缘部12全周，具体而言，是以沿着周向延伸的底面16、设于底面16的轴向两侧的一对侧面17、18包围的空间。

形成沟槽部15的一对侧面17、18中至少一方为倾斜面。该倾斜面将被施加的径向的力转换成轴向的力，从而产生轴向的分力，在此实施方式中，一对侧面17、18中位于前侧的侧面17以随着越往前侧、径逐渐变大的方式倾斜。

此外，使一对侧面17、18中位于后侧的侧面18倾斜时，只要是随着越往后侧、径越大的倾斜面即可。

<垫片2>

如图2所示，垫片2是介于一对管构件1之间，即一对管构件1各自的凸缘部12之间，担保它们之间的密封性的密封构件。具体而言，此构件是在中央形成有供流体流通的孔21的圆环板状的构件，在此，保持于圆筒状的垫片支持器4。

如该图2所示，垫片支持器4收容从一端开口41装入内部的垫片2，在另一端开口42的内缘部设有用以防止收容的垫片2脱出至外部的爪部43。

在此结构中，在将垫片2收容于垫片支持器4内的状态下，将此垫片支持器4装设于一方的管构件1的凸缘部12，由此如图2所示，在该管构件1的前端部配置垫片2。

此外在使一对管构件1的前端面彼此相对的状态下压接，形成于一对管构件1的前端面的上述突起14陷进垫片2，从而担保这一对管构件1的前端面之间的气密性。

<管接头3>

管接头3在使一对管构件1的凸缘部12的前端面彼此相对的状态下，外嵌于凸缘部12，从而将它们紧固扣合，如图3及图4所示，具有外嵌于凸缘部12的多个单元构件31a～31c(在此为三个)、连结两端的单元构件31a、31c从而使一串单元构件31a～31c成为环状的扣合件32。

单元构件31a～31c在此从轴向观看，呈将圆环分割为三部分的形状。如图3及图4所示，在单元构件31a～31c的内周面，具有可外嵌于相对的一对凸缘部12的外周缘部的宽度的凹沟33设成沿着周向延伸，在该凹沟33的侧面形成有与凸缘部12的倾斜面17对应的相对倾斜面34。

又如图4所示，在该单元构件31a～31c设有沿着周向延伸的突条部35。

如图5及图6所示，该突条部35与设于管构件1的凸缘部12的沟槽部15卡合，与该沟槽部15一起构成用以使一对管构件1的管轴位于同一线上的轴对准机构5。

该轴对准机构5是企求在一对管构件1不沿着轴向移动的情况下能够进行对中的构件，管构件1不使用从轴向嵌入的构件而构成。具体而言，如图5及图6所示，该轴对准机构5构成为通过使突条部35及沟槽部15沿着例如管构件1的径向靠近而卡合，一对管构件1成为被对中的对中姿势或视作该对中姿势的姿势。此外，这里所说的视作对中姿势的姿势指的是如下姿势：虽然一对管构件1的管轴没有完全位于同一线上，其管轴相互稍微倾斜，但从该姿势通过将单元构件31a～31c扣合成环状而成为对中姿势。

更详细说明，如图5及图6所示，上述突条部35与一对管构件1的凸缘部12分别对应设置。在此，一对突条部35分别设于单元构件31a～31c的凹沟33的轴向两侧，这些突条部35的相对的面是上述凹沟33的侧面，是相对倾斜面34。

如图4所示，这一对突条部35在此分别设于一串单元构件31a～31c，构成为不论对哪个单元构件31a～31c的突条部35，皆可卡合凸缘部12的沟槽部15。

通过所述的结构，使凸缘部12的沟槽部15与单元构件31a～31c的突条部35卡合，一对管构件1的前端面彼此隔着上述垫片2对上，并且这一对管构件1成为对中姿势或视作对中姿势的姿势。

又如图7所示，本实施方式的管接头3还具有介于相互相邻的单元构件31a～31c之间，产生阻碍这些单元构件31a～31c的转动的摩擦力的波形垫圈等摩擦力产生构件6。

而且，该管接头3构成为若不对该单元构件31a～31c施加外力，则以所述摩擦力维持单元构件31a～31c的姿势。

由此，使用者能够以摩擦力无极地调整相互相邻的单元构件31a～31c的展开角度，若未对这些单元构件31a～31c施加外力，则以上述静止摩擦力维持使用者扩展的所希望的展开角度的一串单元构件31a～31c的展开角度(即，姿势)。

如图3及图4所示，扣合件32是例如插通至形成于两端的单元构件31a、31c的前端部的图4所示的贯穿孔h的螺栓构件32。而且，贯穿孔h形成为供螺栓构件32螺合的螺孔，通过将螺栓构件32螺合于此贯穿孔h，可连结两端的单元构件31a、31c，并且可将管接头3的内周径扩缩。此外，止动环7以介于两端的单元构件31a、31c之间的方式设置于螺栓构件32。由此，若使管接头3缩径至预定内周径，则止动环7限制单元构件31a、31c的转动。而且，在此状态下，如上所述形成于一对管构件1的前端面的上述突起14陷进垫片2，而担保这一对管构件1的前端面之间的气密性。

如图8所示，如此构成的管接头3能够在组装于例如半导体制造线的气体板GP中使用。

此气体板GP是将流量计及各种传感器等多个流体控制设备X1～X3集成、配置到歧管等的基底板(基板)BP上而成的。

此气体板GP具有例如平行设置的一条或多条纵向流体管路L1、在这些纵向流体管路L1之间设置的一条或多条横向流体管路L2。

这些纵向流体管路L1及横向流体管路L2密集地配置有质量流量控制器X1、阀X2、压力传感器及热传感器等流体传感器X3等各种流体控制设备，构成为具有例如气体供给管路的功能。

而且，在流动方向上相对配置的一对流体控制设备X1～X3的连接口的连接中使用管接头3。即，这里的管接头3有助于将连接于在流动方向上相对配置的一对流体控制设备X1～X3的连接口的管构件1之间接合或将管构件1接合于流体控制设备X1～X3的连接口。

<连接方法>

接着，对使用上述管接头3接合一对管构件1的次序进行说明。

首先，如图9所示，将设置(收容)有垫片2的垫片支持器4装设于一对管构件1的一方的前端部。

接着，如图10及图11所示，将一方的管构件1的凸缘部12载置于例如中央的单元构件31b的轴向一侧，并且将另一方的管构件1的凸缘部12载置于同单元构件31b的轴向另一侧。

更具体说明，使设于一方的管构件1的凸缘部12的沟槽部15卡合于设于单元构件31b的轴向一侧的突条部35，并且使设于另一方的管构件1的凸缘部12的沟槽部15卡合于设于同单元构件31b的轴向另一侧的突条部35。

此时，在本实施方式中，假定如所述气体板GP般设有各种流体控制设备X1～X3等，且几乎没有使管构件1沿着轴向移动的空间的情形，优选使一对管构件1沿着径向往单元构件31b移动或使单元构件31b沿着该径向往一对管构件1移动，从而使沟槽部15及突条部35卡合。

通过这样使沟槽部15及突条部35卡合，一对管构件1相对于单元构件31b定位，并且沟槽部15及突条部35如上所述发挥轴对准机构5的功能，一对管构件1在此成为视作对中姿势的姿势。此外，流体控制设备X1～X3及这些支撑构件预先配置成使上述相对的一对流体控制设备的连接口的轴向姿势成为大致被对中的状态。

此时，优选通过确认一对管构件1的偏心在预定值以下或管构件1的倾斜在预定角度以下，由此确认这些管构件1的凸缘部12成为可卡合的位置状态。优选此确认步骤包含可以在例如一对管构件1成为对中姿势或视作对中姿势的姿势的状态的CAD数据或设计数据等图式数据上确认，或在作业现场以触碰传感器等手动或自动测定尺寸，依据其实测数据计算一对管构件1的偏心量的阶段、及判定其计算值是否为预定容许值以下的阶段。

接着，如图12所示，以扣合件32将两端的单元构件31a、31c连结而成环状状态，进一步锁紧扣合件32，由此推压沟槽部15的倾斜面17及突条部35的相对倾斜面34，使这些倾斜面17、34之间发挥楔形效应，以此时产生的轴向的分力将一对管构件1的凸缘部12彼此压着结合。

由此，形成于一对管构件1的前端面的上述突起14陷进垫片2，从而将这一对管构件1气密、液密地接合。

再者，一对管构件1通过轴向的分力从视作对中姿势的姿势成为对中姿势，可将这一对管构件1不沿着轴向移动的情况下进行对中。

<卸除方法>

另一方面，将已接合的一对管构件1中的一方从管接头3卸除时，首先，将扣合件32松开，将扣合成环状的一串单元构件31a～31c展开成线状(图11的状态)。

接着，在此状态下，通过使卸除的管构件1沿着径向移动(例如抬起)，可在不使该管构件1沿着轴向移动的情况下，从管接头3卸除。

如此，根据本实施方式的连接方法，通过使设于一对管构件1各自的凸缘部12的沟槽部15与设于单元构件31b的突条部35卡合，一对管构件1可成为对中姿势或视作对中姿势的姿势。

由此，可在不使用在背景技术中所述的环状构件的情况下，将一对管构件1对中。

而且，至此伴随着一对管构件1的对中需要环状构件这样的认定(或者本技术领域的固定观念或常识)，未达到气体板GP的飞速的小型化及高度集成化，但由于如上所述可在不使用环状构件的情况下进行对中，由此在卸除管构件1时，可以在不使该管构件1沿着轴向移动的情况下，在例如径向抬起便可卸除，因此可谋求气体板GP的飞速的小型化及高度集成化。

此外，本发明不限于上述实施方式。

例如，在上述实施方式中，对于在管构件1不沿着轴向移动的情况下进行卸除进行了说明，当然也可以在管接头3及流体控制设备X1～X3不沿着轴向移动的情况下卸除。

此外，不论接合一对管构件1时或卸除管构件1时，可使管构件1往管接头3移动，也可使管接头3往管构件1移动。此外，此时的移动方向无需必需限于径向，只要有容许某种程度的对轴向的移动的空间，也可以是相对于轴向倾斜的方向。

而且，在所述实施方式中，说明了在管构件1的凸缘部12设有沟槽部15，在单元构件31a～31c设有突条部35的情形，也可以在管构件1的凸缘部12设置突条部35，在单元构件31a～31c设置沟槽部15。

另外，所述实施方式的轴对准机构5构成为通过使沟槽部15及突条部35卡合，使一对管构件1成为视作对中姿势的姿势，但也可以构成为通过使沟槽部15及突条部35卡合，使一对管构件1成为对中姿势。

再者，一对管构件1的一方或双方不限于配管本身，也可以如图13所示，是例如流量计或质量流量控制器等各种流体控制设备F的接口部、换言之是在流体控制设备F连接配管的管状连接部分。

较佳例是在该图13中，一对流体控制设备F1、F2的相互相对的连接口P1、P2为相同形状。当然也可以是这些连接口P1、P2中一方为如图9所示的具有内部流路的管状连接口构件。

此外，作为流体控制装置的气体板GP在上述说明中以用于半导体制造装置的进行了说明，但未必限于此，也可以是用于例如气体分析装置的。

再者，如上所述，由于使用本发明的夹式接头的气体板GP在将一对相对的流体控制设备之间连接于管构件1时，预先在气体板GP的组装中或组装前测定相对的连接口的偏心量及倾斜量等，确认这些测定值在预定容许范围以内之后，执行安装作业，所以安装作业者只要根据手册进行正常的操作，便可正确地安装。即，可避免组装完毕前返工的无用的作业。

此外，本发明不限于所述实施方式，在不脱离其宗旨的范围内可进行各种变形是无须赘言的。

工业实用性

按照本发明，能够将已接合的管构件不沿着轴向移动而例如沿着径向移动来卸除。

Claims (9)

1.一种连接方法，其特征在于，

以管接头将一对管构件接合，

所述管接头具有：一串单元构件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结；以及扣合件，用以连结两端的单元构件，

通过使所述一对管构件的凸缘部卡合于所述单元构件的轴向两侧，从而使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势，

将所述两端的单元构件以所述扣合件连结而成为环状状态，并锁紧所述扣合件，由此将所述一对管构件以所述对中姿势接合。

2.根据权利要求1所述的连接方法，其特征在于，

在所述一对管构件的凸缘部设有沿着周向延伸的沟槽部或沿着周向延伸的突条部的一方，

在至少一个所述单元构件的轴向两侧设有沿着周向延伸的沟槽部或沿着周向延伸的突条部的另一方，

通过使设于所述一对管构件各自的凸缘部的所述沟槽部或所述突条部的一方与设于所述单元构件的所述沟槽部或所述突条部的另一方卡合，而使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势。

3.根据权利要求2所述的连接方法，其特征在于，

沿着所述管构件的径向使所述管构件往所述单元构件移动，或者沿着所述管构件的径向使所述单元构件往所述管构件移动，而使所述沟槽部与所述突条部卡合，由此使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势。

4.根据权利要求2或3所述的连接方法，其特征在于，

在所述一对管构件各自的凸缘部设有所述沟槽部，

在所述单元构件的轴向两侧设有所述突条部，

在所述沟槽部及所述突条部卡合的状态下，该沟槽部及该突条部的相互相对的面是倾斜面，

以所述扣合件将所述两端的单元构件连结，并将所述扣合件锁紧，由此推压所述沟槽部的所述倾斜面与所述突条部的所述倾斜面，而以在此时产生的轴向的分力将所述一对管构件的凸缘部彼此压着结合。

5.一种连接方法，其特征在于包括：

准备管接头的步骤，所述管接头具有一串单元构件和扣合件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结，所述扣合件用于连结两端的单元构件，所述单元构件的内周面形成有通过所述扣合件的扣合而发挥楔形效应的倾斜面；

准备具有与所述单元构件的所述倾斜面相对的倾斜面的一对管构件的步骤；

确认所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势的步骤；

以所述扣合件将所述一对管构件接合的步骤。

6.一种轴对准机构，其特征在于，是以管接头将一对管构件接合时的轴对准机构，所述管接头具有：一串单元构件，相邻的所述单元构件之间以相互可转动的方式连结；以及扣合件，用以连结两端的单元构件，

在该结构中，包含：

沟槽部，设于所述一对管构件的凸缘部或至少一个所述单元构件的一方，且沿着周向延伸；以及

突条部，设于所述一对管构件的凸缘部或至少一个所述单元构件的一方，且沿着周向延伸并卡合于所述沟槽部，

通过使所述沟槽部与所述突条部卡合，而使所述一对管构件成为被对中的对中姿势或视作对中姿势的姿势。

7.根据权利要求6所述的轴对准机构，其特征在于，

所述一对管构件不使用从轴向嵌入的构件而构成。

8.一种流体控制装置中的一对管构件的连接方法，其特征在于，在多个流体控制设备集成、配置于基板上的流体控制装置中的在流体的流动方向上相对配置的一对所述流体控制设备的连接口的连接方法包括：

准备接头本体的步骤，所述接头本体具有以可转动的方式连结的一串单元构件及扣合所述单元构件的两端部的扣合单元，在各所述单元构件的内周侧形成有随着所述扣合动作而发挥楔形效应的倾斜面；

准备一对管构件的步骤，在所述管构件的一端侧形成有凸缘部，另一端侧结合于所述一对流体控制设备的连接口侧，并且在所述凸缘部形成有与所述单元构件内周侧的倾斜面卡合的相对倾斜面；

以使所述相对的一对流体控制设备的连接口的轴向姿势成为大致被对中的状态的方式配置所述流体控制设备及其支撑构件，并确认所述一对管构件凸缘部成为能够进行所述卡合的位置状态的步骤；

接续于所述确认的步骤，使所述一对管构件的凸缘部的倾斜面与所述单元构件内周侧的相对倾斜面卡合并执行所述扣合单元的扣合动作的步骤。

9.根据权利要求8所述的流体控制装置中的一对管构件的连接方法，其特征在于，

所述确认的步骤包含：

依据CAD数据等设计数据或现场的触碰传感器等的实测数据，计算所述一对管构件之间的偏心量的阶段；

判定其计算值为预先确定的容许值以下的阶段。

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