CN115074691A - 一种光学真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空镀膜领域,具体的说是一种光学真空镀膜设备,包括支撑杆和基片夹具;所述基片夹具包括夹具基座、基座卡扣、基座固定板、基座固定片、推杆和夹具机构;所述夹具基座的顶端中部固定安装有基座卡扣,且夹具基座的一侧固定安装有基座固定板;所述基座固定板的内侧表面固定安装有基座固定片;所述夹具基座的另一侧内嵌有夹具机构,且夹具基座与基座固定板相邻的一侧底部内嵌有推杆;所述夹具机构包括限位环、轴承、夹具杆、弹性片、夹具卡扣和夹具卡槽;所述轴承固定安装于夹具基座的内腔,且轴承的两侧分别铰接有夹具杆;所述限位环与夹具基座的内腔滑动连接,通过夹具机构的状态变化,实现了对不同形状的镀膜工件进行夹取镀膜。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜领域,具体的说是一种光学真空镀膜设备。
背景技术
真空镀膜技术在工业上的应用非常广泛,尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有极其重要的地位,对人类社会的发展产生了积极的影响。
然而目前市场上的镀膜机比较单一化,即针对某种镀膜工件只有相对应的工件夹具,且大小、形状、数量都是固定的,无法针对材质、大小、形状各异的镀膜工件,因此针对不同的镀膜工件需要不同规格的镀膜机,增加了生产成本;同时现有镀膜机的工件夹具多为整体结构且体型较大,当需要进行维修清洗更换时,只能整体拆卸,不仅降低了拆装效率,不方便进行维修清洗,还影响了工件镀膜的速度,降低了生产效率。
发明内容
针对现有技术中的问题,本发明提供了一种光学真空镀膜设备,可以根据镀膜工件的材质、大小、形状自由切换工件夹具状态。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种光学真空镀膜设备,包括支撑杆和基片夹具;所述基片夹具包括夹具基座、基座卡扣、基座固定板、基座固定片、推杆和夹具机构;所述夹具基座的顶端中部固定安装有基座卡扣,且夹具基座的一侧固定安装有基座固定板;所述基座固定板的内侧表面固定安装有基座固定片;所述夹具基座的另一侧内嵌有夹具机构,且夹具基座与基座固定板相邻的一侧底部内嵌有推杆;所述夹具机构包括限位环、轴承、夹具杆、弹性片、夹具卡扣和夹具卡槽;所述轴承固定安装于夹具基座的内腔,且轴承的两侧分别铰接有夹具杆;所述夹具杆的一侧固定连接有弹性片;所述限位环与夹具基座的内腔滑动连接;所述夹具卡扣固定连接在夹具杆的靠近轴承的一侧;所述夹具卡槽开设在另一根夹具杆的靠近轴承的一侧。
具体的,所述夹具杆包括弹性弯曲杆、中端抓杆、合页和前端抓杆;所述弹性弯曲杆与中端抓杆的一侧固定连接;所述中端抓杆的另一侧固定连接有合页,所述合页的另一侧固定有前端抓杆;所述前端抓杆的另一侧通过弹性片连接中端抓杆。
具体的,所述基片夹具还包括弹簧和基座卡槽;所述基座卡槽开设于夹具基座的底部中部;所述弹簧的两侧分别与推杆和夹具基座的内腔接触,且弹簧与推杆的数量均为两个。
具体的,所述支撑杆的周向开设有凹槽,凹槽的宽度与基座固定板和基座固定片的高度相同。
具体的,所述限位环一端开设有两个互相对称的开口,且开口的宽度大于单个夹具杆的宽度,小于两个夹具杆的宽度。
本发明的有益效果:
(1)本发明所述的一种光学真空镀膜设备,夹具机构的两根夹具杆在轴承的作用下可以进行转动,当镀膜工件为无法通过挂扣的形式进行镀膜时,可以转动夹具杆,使得两个夹具杆之间呈180°,同时转动限位环,使限位环的开口对应单独的夹具杆,让夹具机构呈抓手状态,可以抓取无法挂扣的镀膜工件;当镀膜工件可以通过挂扣的形式进行镀膜时,转动夹具杆,使得两个夹具杆互相接触,让夹具机构呈挂钩状态,对可通过挂扣的形式镀膜的工件进行镀膜。
(2)本发明所述的一种光学真空镀膜设备,夹具基座的顶端安装有基座卡扣,夹具基座的底部开设有基座卡槽,两个基片夹具之间可通过基座卡扣与基座卡槽进行卡接,且基片夹具之间可以转动,由此可根据镀膜工件的数量调整基片夹具的数量和角度。
(3)本发明所述的一种光学真空镀膜设备,基座固定杆表面安装有基座固定片,在基片夹具安装到支撑杆上的过程中,基座固定片与支撑杆接触并发生形变,产生固定基片夹具的作用,通过此固定方式可以在支撑杆的周向调整基片夹具的角度,同时基座固定片与支撑杆接触的一面为不平整曲面,可以增大与支撑杆之间的摩擦力。
(4)本发明所述的一种光学真空镀膜设备,支撑杆的周向开设有凹槽,凹槽的宽度与基座固定板的高度相同,在基片夹具安装在支撑杆上时,支撑杆周向的凹槽可以支撑固定片,防止基片夹具向下滑动。
(5)本发明所述的一种光学真空镀膜设备,基片夹具可以通过基座卡扣以及基座固定片进行自由拆装,方便清洗。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为本发明整体结构正面示意图;
图2为基片夹具的整体结构示意图;
图3为图2的M-M向示意图;
图4为基片夹具抓手状态内部结构示意图;
图5为基片夹具挂钩状态内部结构示意图;
图6为图2的仰视图;
图7为夹具机构抓手状态的整体结构示意图;
图8为图7的A处放大示意图;
图9为夹具机构挂钩状态的整体结构示意图;
图10为图9的B处放大示意图。
图中:1、支撑杆;2、基片夹具;21、夹具基座;22、基座卡扣;23、基座固定板;24、基座固定片;25、推杆;26、夹具机构;261、限位环;262、轴承;263、夹具杆;2631、弹性弯曲杆;2632、合页;2633、前端抓杆;2634、中端抓杆;264、弹性片;265、夹具卡扣;266、夹具卡槽;27、弹簧;28、基座卡槽。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
如图1-图10所示,本发明所述的一种光学真空镀膜设备,包括支撑杆1和基片夹具2;基片夹具2包括夹具基座21、基座卡扣22、基座固定板23、基座固定片24、推杆25和夹具机构26;夹具基座21的顶端中部固定安装有基座卡扣22,且夹具基座21的一侧固定安装有基座固定板23;基座固定板23的内侧表面固定安装有基座固定片24;支撑杆1的周向开设有凹槽,凹槽的宽度与基座固定板23和基座固定片24的高度相同,在基片夹具2安装在支撑杆1上时,支撑杆1周向的凹槽可以支撑基座固定片24,防止基片夹具2向下滑动;基座固定板23与基座固定片24的数量均为两个,且两个基座固定片24之间的最近距离小于支撑杆1的周向凹槽的直径,且两个基座固定片24与支撑杆1接触的一面为不平整曲面,在基片夹具2安装到支撑杆1上的过程中,基座固定片24与支撑杆1接触并发生形变,产生固定基片夹具2的作用,通过此固定方式可以在支撑杆1的周向调整基片夹具2的角度,同时基座固定片24与支撑杆1接触的一面为不平整曲面,可以增大与支撑杆1之间的摩擦力;夹具基座21的另一侧内嵌有夹具机构26,且夹具基座21与基座固定板23相邻的一侧底部内嵌有推杆25;夹具机构26包括限位环261、轴承262、夹具杆263、弹性片264、夹具卡扣265和夹具卡槽266;轴承262固定安装于夹具基座21的内腔,且轴承262的两侧分别铰接有夹具杆263;夹具杆263的一侧固定连接有弹性片264;限位环261与夹具基座21的内腔滑动连接,限位环261一端开设有两个互相对称的开口,且开口的宽度大于单个夹具杆263的宽度,小于两个夹具杆263的宽度;夹具机构26的两根夹具杆263在轴承262的作用下可以进行转动,当镀膜工件为无法通过挂扣的形式进行镀膜时,可以转动夹具杆263,使得两个夹具杆263之间呈180°,同时转动限位环261,使限位环261的开口对应单独的夹具杆263,让夹具机构26呈抓手状态,可以抓取无法挂扣的镀膜工件;当镀膜工件可以通过挂扣的形式进行镀膜时,转动夹具杆263,使得两个夹具杆263互相接触,让夹具机构26呈挂钩状态,对可通过挂扣的形式镀膜的工件进行镀膜;夹具卡扣265固定连接在夹具杆263的靠近轴承262的一侧;夹具卡槽266开设在另一根夹具杆263的靠近轴承262的一侧,夹具卡扣265和夹具卡槽266确保了夹具机构26在挂钩状态挂住镀膜工件时不会发生两个夹具杆263分离的情况。
基片夹具2还弹簧27和基座卡槽28;基座卡槽28开设于夹具基座21的底部中部;弹簧27的两侧分别与推杆25和夹具基座21的内腔接触,且弹簧27与推杆25的数量均为两个,通过基座卡扣22与基座卡槽28可以使多个基片夹具2进行相互卡接,并且多个基片夹具2之间可以转动,实现了可根据镀膜工件的数量调整基片夹具2的数量和角度;同时,多个基片夹具2之间以及基片夹具2与支撑杆1之间的自由拆装,为设备清洗提供了便利。
夹具杆263包括弹性弯曲杆2631、中端抓杆2634、合页2632和前端抓杆2633;弹性弯曲杆2631与中端抓杆2634的一侧固定连接;中端抓杆2634的另一侧固定连接有合页2632,合页2632的另一侧固定有前端抓杆2633;前端抓杆2633的另一侧通过弹性片264连接中端抓杆2634,当两根夹具杆263呈抓手状态并夹取镀膜工件时,弹性弯曲杆2631作用于中端抓杆2634并通过弹性片264对镀膜工件产生压力,同时弹性片264发生形变,由于中端抓杆2634与前端抓杆2633通过合页2632连接,所以当弹性片264发生形变时,前端抓杆2633就随着弹性片264形变方向绕着合页2632转动,由此可以使弹性片264贴合镀膜工件表面,增大与镀膜工件的接触面,从而增大摩擦力。
本发明在使用时,首先根据需进行镀膜的工件数量,选择相同数量的基片夹具2,然后将基座卡扣22插入基座卡槽28中,使多个基片夹具2形成一个整体,然后通过基座固定板23和基座固定片24将其安装在支撑杆1的周向凹槽之中,由于凹槽的宽度与基座固定板23和基座固定片24的高度相同,所以基片夹具2无法在支撑杆1上向下滑动。当镀膜工件可以通过挂扣的形式进行镀膜时,转动夹具机构26中的两根夹具杆263,使两根夹具杆263互相接触,形成挂钩状态,然后将镀膜工件挂在挂钩上即可进行镀膜;当两根夹具杆263互相接触时,分别位于两根夹具杆263的夹具卡扣265与夹具卡槽266完成卡接,使得两根夹具杆263在挂钩状态时不会发生分离。当镀膜工件无法通过挂扣的形式进行镀膜时,可以转动夹具机构26中的两根夹具杆263,使两根夹具杆263之间呈180°,同时转动限位环261,使限位环261的开口对应单独的夹具杆263,让夹具机构26呈抓手状态,然后将镀膜工件放入抓手之间,在弹性弯曲杆2631的作用下,中端抓杆2634通过弹性片264对镀膜工件产生压力,同时弹性片264发生形变,由于中端抓杆2634与前端抓杆2633通过合页2632连接,所以当弹性片264发生形变时,前端抓杆2633就随着弹性片264形变方向绕着合页2632转动,由此可以使弹性片264贴合镀膜工件表面,增大与镀膜工件的接触面,从而增大摩擦力,并牢牢抓住镀膜工件。当镀膜工件完成镀膜时,只需打开真空腔,依次从基片夹具2上取下已完成镀膜的工件即可。当基片夹具2需要清洗时,将基片夹具2从支撑杆1上取下,然后按住基片夹具2两侧的推杆25,推杆25作用于基座卡扣22,接着将基座卡扣22从上方的基座卡槽28中抽出,即可完成基片夹具2的拆卸,对其进行清洗,由于基片夹具2小巧灵活、方便拆装,极大地提高了清洗效率。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施方式和说明书中的描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种光学真空镀膜设备,其特征在于:包括支撑杆(1)和基片夹具(2);所述基片夹具(2)包括夹具基座(21)、基座卡扣(22)、基座固定板(23)、基座固定片(24)、推杆(25)和夹具机构(26);所述夹具基座(21)的顶端中部固定安装有基座卡扣(22),且夹具基座(21)的一侧固定安装有基座固定板(23);所述基座固定板(23)的内侧表面固定安装有基座固定片(24);所述夹具基座(21)的另一侧内嵌有夹具机构(26),且夹具基座(21)与基座固定板(23)相邻的一侧底部内嵌有推杆(25)。
2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备,其特征在于:所述夹具机构(26)包括限位环(261)、轴承(262)、夹具杆(263)、弹性片(264)、夹具卡扣(265)和夹具卡槽(266);所述轴承(262)固定安装于夹具基座(21)的内腔,且轴承(262)的两侧分别铰接有夹具杆(263);所述夹具杆(263)的一侧固定连接有弹性片(264);所述限位环(261)与夹具基座(21)的内腔滑动连接;所述夹具卡扣(265)固定连接在夹具杆(263)的靠近轴承(262)的一侧;所述夹具卡槽(266)开设在另一根夹具杆(263)的靠近轴承(262)的一侧。
3.根据权利要求2所述的一种光学真空镀膜设备,其特征在于:所述夹具杆(263)包括弹性弯曲杆(2631)、中端抓杆(2634)、合页(2632)和前端抓杆(2633);所述弹性弯曲杆(2631)与中端抓杆(2634)的一侧固定连接;所述中端抓杆(2634)的另一侧固定连接有合页(2632),所述合页(2632)的另一侧固定有前端抓杆(2633);所述前端抓杆(2633)的另一侧通过弹性片(264)连接中端抓杆(2634)。
4.根据权利要求2所述的一种光学真空镀膜设备,其特征在于:所述基片夹具(2)还包括弹簧(27)和基座卡槽(28);所述基座卡槽(28)开设于夹具基座(21)的底部中部;所述弹簧(27)的两侧分别与推杆(25)和夹具基座(21)的内腔接触,且弹簧(27)与推杆(25)的数量均为两个。
5.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备,其特征在于:所述支撑杆(1)的周向开设有凹槽,凹槽的宽度与基座固定板(23)和基座固定片(24)的高度相同。
6.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备,其特征在于:所述限位环(261)一端开设有两个互相对称的开口,且开口的宽度大于单个夹具杆(263)的宽度,小于两个夹具杆(263)的宽度。
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