CN115069589B - 一种单晶硅片分选机及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单晶硅片分选机及其使用方法，具体涉及硅片制作领域，包括设备主体和固定连接在设备主体上表面的滑道块，所述设备主体的一侧设置有分片机构，所述滑道块的内腔滑动连接有封闭块，所述封闭块的底端固定连接有气泵，所述设备主体的顶端固定连接有电机安装架，两个齿轮不会移动，则第二齿轮带着定位螺纹杆同步旋转，定位螺纹杆与定位压杆啮合，则定位压杆通过啮合的旋转摩擦力向二次检测卡槽架的中央移动，定位压杆带着辅助推块推动硅片在二次检测卡槽架的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一组一组被运输至二次检测区域，则避免了硅片堆积而较难分离，同时减少后期检测误差，减少了检测成本与提高检测效率。

Description

一种单晶硅片分选机及其使用方法

技术领域

本发明涉及硅片制作技术领域，更具体地说，本发明涉及一种单晶硅片分选机及其使用方法。

背景技术

单晶硅是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，其不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。而它常用于制造半导体器件、太阳能电池等，单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成的，而单晶硅片在各个领域都有着非常大的发展价值。单晶硅片从上游原材料到中游制造到应用主要分为直拉、区熔、破方规、线锯等步骤。首先将多晶硅原料在加入氩气等特气环境的条件下，通过直拉或者区熔的方法获得单晶硅晶棒，然后通过单晶硅拉晶炉等设备再经过破方规形成方锭。再通过线切、研磨、刻蚀、抛光等流程最后得到光伏级单晶硅片和半导体级单晶硅片。对于单晶硅片，又可进一步精密加工成太阳能单晶硅电池片、功能性电子元器件、机械器件、集成电路等多种下游材料，最后被广泛应用于风力发电、新能源汽车、医疗器械、航空航天、计算机、智能制造及光伏行业等。

此外，由于单晶硅片的尺寸大小直接决定了半导体应用中芯片的成本，硅片尺寸越大，将来在制成的每块晶圆上就能切割出更多的芯片，单位芯片的成本也就更低，因此大尺寸单晶硅的发展的趋势。由于大尺寸硅片具有更大的可以刻蚀面积，更加符合集成电路芯片制造需求以及太阳能电池的蓄电能力的需求，现有技术中逐渐对大尺寸硅片的制备产生了技术聚集。

现有技术中，大尺寸硅片的制备或切割技术，长采用砂浆线切割或金刚线切割，如中国专利CN113119328A公开了一种大尺寸硅片切割方法，其先将硅棒粘接在固定基座上；再在所述硅棒表面粘接至少一组引导条；再用金刚石线锯将带有所述引导条的所述硅棒切割成硅片；其中，所述引导条位于所述硅棒远离所述固定基座一侧的底面设置，所述引导条与所述固定基座对位设置且与所述金刚石线锯垂直设置；所述引导条位于所述硅棒靠近所述金刚石线锯一侧底面或侧面设置。该现有技术提供的切割方法，粘棒时在硅棒底面或侧面粘接磁引导条，引导条被切割分离后，切割后每个独立的单体引导条的磁极发生变化，成为两两互斥的个体，硅片在这种互斥力的作用下，相邻硅片之间自然张开，进而有利于冷却液进入，使硅粉排除，减少硅片翘曲和划痕；提高硅片的锯切速度。并且现有技术中提供了如何进行大尺寸硅片切割后的分选设备的技术方案，如中国实用新型CN215680616U提供了一种可检测166mm硅片的Hennecke6S分选机，包括检测装置和控制装置；检测装置包括整形装置和TAM检测装置，整形装置包括传送带，整形位沿传送带向外扩展至可供166mm硅片通过，TAM检测装置的硅片输入口向外扩展至可供166mm硅片通过；控制装置包含大尺寸硅片检测的控制模块。

但是现有技术中的大尺寸硅片TAM组并没有提供如何提高大尺寸大晶硅片切割制备完成后，如何提高分选效率的相关技术，大尺寸硅片TAM模组为了提升检测效率，其在进行使用时，整体检测效率较快，而有些硅片在传输检测的同时，由于光源检测组件没有充分的读取硅片的实时信息，就将其扔进报废区，进而导致设备的检测效率较差，且增加了单晶硅片的制作成本。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本发明的实施例提供一种单晶硅片分选机及其使用方法，通过第二锥形齿轮与第一锥形齿轮分别在定位螺纹杆和连接杆上时有限位环限位的，则两个齿轮不会移动，则第二锥形齿轮带着定位螺纹杆同步旋转，定位螺纹杆与定位压杆啮合，则定位压杆通过啮合的旋转摩擦力向二次检测卡槽架的中央移动，定位压杆带着辅助推块推动硅片在二次检测卡槽架的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一组一组被运输至二次检测区域以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶硅片分选机，包括设备主体和固定连接在设备主体上表面的滑道块，所述设备主体的一侧设置有分片机构，所述滑道块的内腔滑动连接有封闭块，所述封闭块的底端固定连接有气泵，所述设备主体的顶端固定连接有电机安装架，所述电机安装架的内部通过滑腔转动连接有传输皮带，所述电机安装架的一端电性连接有电机，所述设备主体的上表面固定安装有定位滑块；

所述设备主体远离滑道块的一端通过液压杆固定连接有定位传输机构，所述定位传输机构的两侧转动连接有转轮传输机构，所述转轮传输机构分为第二转轮与第二转带，所述定位传输机构的一侧固定连接有半圆式支撑架，所述半圆式支撑架的另一端固定安装在定位滑块的底端，所述定位传输机构通过固定安装在定位传输机构底端的液压杆呈偏转状态设置，所述定位传输机构的一侧固定连接有制动滑杆，所述制动滑杆的底端固定连接有制动滑块，所述制动滑块的底端设置有辅助弹簧，所述制动滑块位于辅助弹簧的同一侧固定连接有传输定位带，所述传输定位带和辅助弹簧呈错位安装状态；

所述设备主体远离滑道块的一侧固定连接有二次检测卡槽架，所述二次检测卡槽架的一侧开设有滑轨道，所述二次检测卡槽架通过滑轨道滑动连接有辅助推块，所述滑轨道的内壁固定连接有擦板，所述二次检测卡槽架呈“T字形”通道，所述二次检测卡槽架的内腔滑动连接有活动推杆，所述活动推杆的一侧设置有气囊柱，所述气囊柱分为伸缩气杆与气囊，所述气囊固定安装在二次检测卡槽架的内壁，所述伸缩气杆固定安装在定位传输机构的底端。

进一步地，所述传输皮带的外表面通过螺栓连接有硅片固定架，所述硅片固定架的一侧开设有贯穿式的卡槽，所述硅片固定架的一侧通过卡槽滑动连接有硅片限位架，所述硅片限位架贯穿于硅片固定架的一侧固定安装有限位调整架，所述限位调整架的两侧通过螺栓连接有螺栓固定杆，所述硅片限位架通过限位调整架和螺栓固定杆在硅片固定架的表面呈滑行状态设置。

进一步地，所述封闭块的内部滑动连接有辅助伸缩杆，所述辅助伸缩杆的外表面转动连接有吹风机构，所述吹风机构的外表面固定连接有多组圆环卡位板，多组所述圆环卡位板的一侧固定连接有相应数量的传气管。

进一步地，多组所述传气管通过气管相连，所述传气管的顶端通过螺栓连接有橡胶卡扣，所述橡胶卡扣的一侧开设有辅助插槽，所述橡胶卡扣的一侧通过辅助插槽插接有橡胶调整架，所述橡胶调整架的内壁之间转动连接有圆球式传气架。

进一步地，所述定位滑块的外表面滑动连接有契合插板架，所述契合插板架的中央转动连接有螺纹定位杆，所述螺纹定位杆穿过契合插板架的一端固定连接有检测组件，所述检测组件的两侧固定连接有插杆，所述插杆固定连接在契合插板架的底端。

进一步地，所述检测组件的底端设置有图像检测部件，所述检测组件的两侧开设有定位槽，所述检测组件的两侧通过定位槽滑动连接有“L字形”杆。

进一步地，所述“L字形”杆的底端固定连接有弹簧杆，所述弹簧杆的底端固定连接有气囊管，所述气囊管的一端插接有吹气架，所述吹气架正对检测组件的底端，所述定位滑块的表面开设有用于吹气架滑行的轨道，所述气囊管与吹气架和弹簧杆的连接处设置有橡胶套。

进一步地，所述定位滑块的两侧固定连接有两组固定卡块，一组所述固定卡块的一端固定连接有电机，所述两组固定卡块之间转动连接有两组辅助转轮块，两组所述辅助转轮块之间转动连接有卡位转杆，所述卡位转杆的中央通过螺栓连接有螺栓固定架，所述螺栓固定架朝向传输皮带的一侧转动连接有螺纹调整杆，所述螺纹调整杆的一端转动连接有检测推块，所述检测推块的两侧固定连接有契合卡位架，所述契合卡位架固定连接在定位滑块的另一侧。

进一步地，所述制动滑块的一侧通过固定安装板安装在二次检测卡槽架的一侧，所述传输定位带的外侧绕接有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的内腔转动连接有卡位辅助杆，卡位辅助杆固定安装在设备主体的一侧，所述二次检测卡槽架的一侧固定连接有定位螺纹杆，所述定位螺纹杆的外表面转动连接有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮和第一锥形齿轮呈啮合状态设置，所述定位螺纹杆的外表面滑动连接有定位压杆，所述定位压杆固定安装在辅助推块的一侧。

本发明还提供一种采用如上所述的单晶硅片分选机的使用方法，包括以下步骤：

S1：根据硅片的大小与种类不同，硅片限位架在硅片固定架上可以滑动以及拆装，增大或者缩小硅片放置间距；

S2：机械手抓取硅片之前，气泵通过封闭块传输至辅助伸缩杆，致使辅助伸缩杆呈由下至上的状态移动，其为了较好的借助吹力由远至近将硅片吹起一段距离，接着机械手将硅片放置在传输皮带上，完成运输；

S3：硅片移动至检测区域时，图像检测部件采集下方硅片的厚度、宽度和折损状况，同时检测推块会对硅片的两侧进行挤压，对硅片的弯折力进行测试，完成对硅片的质量检测；

S4：若硅片质量合格，则硅片通过转轮传输机构传递至合格收集区，若硅片不合格，则通过控制组件对定位传输机构的气泵控制，将硅片收集至二次检测区域，便于后期快速质量再次检测。

本发明的技术效果和优点。

1、本发明提供的单晶硅片分选机中第二锥形齿轮与第一锥形齿轮分别在定位螺纹杆和连接杆上时有限位环限位的，则两个齿轮不会移动，则第二锥形齿轮带着定位螺纹杆同步旋转，定位螺纹杆与定位压杆啮合，则定位压杆通过啮合的旋转摩擦力向二次检测卡槽架的中央移动，定位压杆带着辅助推块推动硅片在二次检测卡槽架的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一组一组被运输至二次检测区域，则避免了硅片堆积而较难分离，同时减少后期检测误差，减少了检测成本与提高检测效率。

2、本发明提供的单晶硅片分选机中检测推块会对硅片的两侧进行挤压，对硅片的弯折力进行测试，而根据不同的弯折力测试要求，工作人员手动转动螺纹调整杆，螺纹调整杆通过与契合卡位架的螺纹连接，调整检测推块与硅片的远近，其同样代表调整了对硅片的压力，从而便于满足不同要求对硅片进行检测。

3、本发明提供的单晶硅片分选机中硅片限位架与硅片固定架可以直接拆除，若硅片体积过大，过多的硅片固定架会影响硅片分选后的检测时间，时间过短，检测系统无法做出有效判断，拆除两两之间的硅片固定架，不仅调整了硅片之间的安装间距，且不用调整间隙，同时增加了硅片安装的稳定性，硅片限位架在硅片固定架上可以滑动，则对于不同种类的硅片，适应其宽度，节省了硅片的安装成本。

4、本发明提供的单晶硅片分选机中由于橡胶卡扣将橡胶调整架和圆球式传气架与传气管紧密固定，且由于橡胶调整架的组成材料为橡胶，具有可塑性，则圆球式传气架呈球状，被橡胶调整架包裹，则圆球式传气架可在橡胶调整架包裹下滚动，调整不同范围性的吹气方向，同时传气管为多组，吹气形成吹气区域，扩大了单次吹气范围，更加便于将硅片分离。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1为本发明设备主体的结构示意图。

图2为本发明图1的A部结构放大图。

图3为本发明硅片限位架的结构示意图。

图4为本发明滑道块的结构示意图。

图5为本发明图4的B部结构放大图。

图6为本发明检测组件的结构示意图。

图7为本发明图6的C部结构放大图。

图8为本发明契合卡位架的结构示意图。

图9为本发明二次检测卡槽架的结构示意图。

图10为本发明图9的D部结构放大图。

图11为本发明传输定位带的结构示意图。

附图标记为：1、设备主体；2、滑道块；3、传输皮带；4、硅片固定架；5、定位滑块；6、固定卡块；7、电机安装架；8、硅片限位架；9、限位调整架；10、螺栓固定杆；11、辅助转轮块；12、卡位转杆；13、螺栓固定架；14、螺纹调整杆；15、契合卡位架；16、检测推块；17、封闭块；18、辅助伸缩杆；19、吹风机构；20、圆环卡位板；21、传气管；22、契合插板架；23、螺纹定位杆；24、检测组件；25、“L字形”杆；26、弹簧杆；27、气囊管；28、吹气架；29、橡胶卡扣；30、圆球式传气架；31、橡胶调整架；32、定位传输机构；33、转轮传输机构；34、半圆式支撑架；35、二次检测卡槽架；36、活动推杆；37、辅助推块；38、定位压杆；39、定位螺纹杆；40、制动滑杆；41、制动滑块；42、传输定位带；43、第一锥形齿轮；44、第二锥形齿轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参照图1-5，一种单晶硅片分选机，包括设备主体1和固定连接在设备主体1上表面的滑道块2，设备主体1的一侧设置有分片机构，滑道块2的内腔滑动连接有封闭块17，封闭块17的底端固定连接有气泵，设备主体1的顶端固定连接有电机安装架7，电机安装架7的内部通过滑腔转动连接有传输皮带3，电机安装架7的一端电性连接有电机，设备主体1的上表面固定安装有定位滑块5，封闭块17可在滑道块2中滑行，调整纵向吹气位置。

设备主体1远离滑道块2的一端通过液压杆固定连接有定位传输机构32，定位传输机构32的两侧转动连接有转轮传输机构33，转轮传输机构33分为第二转轮与第二转带，定位传输机构32的一侧固定连接有半圆式支撑架34，半圆式支撑架34的另一端固定安装在定位滑块5的底端，定位传输机构32通过固定安装在定位传输机构32底端的液压杆呈偏转状态设置，定位传输机构32的一侧固定连接有制动滑杆40，制动滑杆40的底端固定连接有制动滑块41，制动滑块41的底端设置有辅助弹簧，制动滑块41位于辅助弹簧的同一侧固定连接有传输定位带42，传输定位带42和辅助弹簧呈错位安装状态，本文中出现的电机型号为HL90S-4，气泵的型号为MK-25/40。

设备主体1远离滑道块2的一侧固定连接有二次检测卡槽架35，二次检测卡槽架35的一侧开设有滑轨道，二次检测卡槽架35通过滑轨道滑动连接有辅助推块37，滑轨道的内壁固定连接有擦板，二次检测卡槽架35呈“T字形”通道，所述二次检测卡槽架35的内腔滑动连接有活动推杆36，活动推杆36的一侧设置有气囊柱，气囊柱分为伸缩气杆与气囊，气囊固定安装在二次检测卡槽架35的内壁，伸缩气杆固定安装在定位传输机构32的底端，传输皮带3的外表面通过螺栓连接有硅片固定架4，硅片固定架4的一侧开设有贯穿式的卡槽，硅片固定架4的一侧通过卡槽滑动连接有硅片限位架8，硅片限位架8贯穿于硅片固定架4的一侧固定安装有限位调整架9，限位调整架9的两侧通过螺栓连接有螺栓固定杆10，硅片限位架8通过限位调整架9和螺栓固定杆10在硅片固定架4的表面呈滑行状态设置。

需要说明的是，其中现有技术中分片机构可选择为机械手，机械手抓取硅片之前，由于多组硅片重叠在一起，由于其本身材料的吸附性以及沾到杂物后的粘性，较难的分离开来，而机械手使用较大的力分离，则硅片较易受损，因此，气泵提供驱动力，气泵通过封闭块17传输至辅助伸缩杆18，致使辅助伸缩杆18呈由下至上的状态移动，其为了较好的借助吹力由远至近将硅片吹起一段距离，便于分离，而气泵同时通过多组传气管21之间的连通，将气流通入至圆球式传气架30所开设的吹气孔处，而由于橡胶卡扣29将橡胶调整架31和圆球式传气架30与传气管21紧密固定，且由于橡胶调整架31的组成材料为橡胶，具有可塑性，则圆球式传气架30呈球状，被橡胶调整架31包裹，则圆球式传气架30可在橡胶调整架31包裹下滚动，调整不同范围性的吹气方向，同时传气管21为多组，吹气形成吹气区域，扩大了单次吹气范围，更加便于将硅片分离。

同时由于硅片的大小与种类不同，现有直接利用传输带传输，虽然简单，但是较易放错位置，而影响后期的检测，则手动转动螺栓固定杆10上的螺栓，可拆除限位调整架9，则硅片限位架8与硅片固定架4可以直接拆除，若硅片体积过大，过多的硅片固定架4会影响硅片分选后的检测时间，时间过短，检测系统无法做出有效判断，拆除两两之间的硅片固定架4，不仅调整了硅片之间的安装间距，且不用调整间隙，同时增加了硅片安装的稳定性，硅片限位架8在硅片固定架4上可以滑动，则对于不同种类的硅片，适应其宽度，节省了硅片的安装成本。

实施例2

作为本发明的另一个优选实施例，参照图2-8，封闭块17的内部滑动连接有辅助伸缩杆18，辅助伸缩杆18的外表面转动连接有吹风机构19，吹风机构19的外表面固定连接有多组圆环卡位板20，多组圆环卡位板20的一侧固定连接有相应数量的传气管21，多组传气管21通过气管相连，传气管21的顶端通过螺栓连接有橡胶卡扣29，橡胶卡扣29的一侧开设有辅助插槽，橡胶卡扣29的一侧通过辅助插槽插接有橡胶调整架31，橡胶调整架31的内壁之间转动连接有圆球式传气架30，定位滑块5的外表面滑动连接有契合插板架22，契合插板架22的中央转动连接有螺纹定位杆23，螺纹定位杆23穿过契合插板架22的一端固定连接有检测组件24，检测组件24的两侧固定连接有插杆，插杆固定连接在契合插板架22的底端，检测组件24的底端设置有图像检测部件。

需要说明的是，其中硅片移动至检测区域时，现有技术的检测方式为图像检测部件采集下方硅片的厚度、宽度和折损状况，在此前，避免检测组件24离硅片过近，而压坏了硅片，则工作人员通过手动转动螺纹定位杆23，螺纹定位杆23与检测组件24的连接处于螺纹连接，螺纹定位杆23带动检测组件24下移或者上升，由于检测组件24的两侧通过插杆与契合插板架22固定，则检测组件24只能进行上下移动，同时，检测组件24下移至一段距离，带动“L字形”杆25下移，“L字形”杆25通过挤压气囊管27内部的空气与吹气架28处于封闭连接状态。

则现有技术中，检测组件24通过图像检测部件对硅片检测时，与检测组件24相连的气泵带动检测组件24通过契合插板架22在定位滑块5上滑动跟随硅片，对其进行检测。

因此根据检测组件24会产生滑动，则其会发生一定的震动的情况，本设备利用弹簧杆26的弹力以及气囊管27内部的气流形成缓冲，减缓震动。

同时，检测推块16为传输皮带3的两侧，可对硅片进行挤压，硅片在通过检测组件24时，检测组件24所带的感应组件会连带着电机运动，电机带动辅助转轮块11旋转，辅助转轮块11通过卡位转杆12带动螺栓固定架13进行旋转，而由于检测推块16被契合卡位架15固定，则螺纹调整杆14带着检测推块16只进行滑动运动，检测推块16会对硅片的两侧进行挤压，对硅片的弯折力进行测试，而根据不同的弯折力测试要求，工作人员手动转动螺纹调整杆14，螺纹调整杆14通过与契合卡位架15的螺纹连接，调整检测推块16与硅片的远近，其同样代表调整了对硅片的压力，从而便于满足不同要求对硅片进行检测。

实施例3

作为本发明的另一个优选实施例，参照图5-10，检测组件24的两侧开设有定位槽，检测组件24的两侧通过定位槽滑动连接有“L字形”杆25，“L字形”杆25的底端固定连接有弹簧杆26，弹簧杆26的底端固定连接有气囊管27，气囊管27的一端插接有吹气架28，吹气架28正对检测组件24的底端，定位滑块5的表面开设有用于吹气架28滑行的轨道，气囊管27与吹气架28和弹簧杆26的连接处设置有橡胶套，定位滑块5的两侧固定连接有两组固定卡块6，一组固定卡块6的一端固定连接有电机，两组固定卡块6之间转动连接有两组辅助转轮块11，两组辅助转轮块11之间转动连接有卡位转杆12，卡位转杆12的中央通过螺栓连接有螺栓固定架13，螺栓固定架13朝向传输皮带3的一侧转动连接有螺纹调整杆14，螺纹调整杆14的一端转动连接有检测推块16，检测推块16的两侧固定连接有契合卡位架15，契合卡位架15固定连接在定位滑块5的另一侧，制动滑块41的一侧通过固定安装板安装在二次检测卡槽架35的一侧，传输定位带42的外侧绕接有第一锥形齿轮43，第一锥形齿轮43的内腔转动连接有卡位辅助杆，卡位辅助杆固定安装在设备主体1的一侧，二次检测卡槽架35的一侧固定连接有定位螺纹杆39，定位螺纹杆39的外表面转动连接有第二锥形齿轮44，第二锥形齿轮44和第一锥形齿轮43呈啮合状态设置，定位螺纹杆39的外表面滑动连接有定位压杆38，定位压杆38固定安装在辅助推块37的一侧。

需要说明的是，其中硅片从传输皮带3上传输至定位传输机构32上，根据现有技术领域中，检测组件24对硅片进行判定，若硅片质量合格，则硅片通过转轮传输机构33传递至合格收集区，若硅片不合格，则通过控制组件对定位传输机构32的气泵控制，定位传输机构32通过气泵向内收缩移动，由于定位传输机构32的底端连接的半圆式支撑架34为曲形伸缩杆，曲形伸缩杆一端与定位传输机构32底端相连，另一端与传输皮带3的底端相连，则定位传输机构32发生偏转，不合格硅片通过定位滑块5两侧挡板阻挡，落入二次检测卡槽架35中，同时定位传输机构32弯折后通过对伸缩气杆挤压，伸缩气杆挤压气囊，气囊发生变形，对活动推杆36向外推动，硅片传递至二次检测卡槽架35的槽内。

由于有些不合格硅片是由于表面不干净，或者检测速度过快，而没有检测到，则定位传输机构32带动制动滑杆40下移，制动滑杆40带动制动滑块41在固定安装板滑行，传输定位带42在第一锥形齿轮43的一端是固定的，其为缠绕在第一锥形齿轮43的表面，可参考现有技术中的收卷尺，在此说明第一锥形齿轮43的只能在被限位在卡位辅助杆的同一位置旋转，且卡位辅助杆表面固定连接有扭力弹簧，扭力弹簧的一端与第一锥形齿轮43固定连接，由于传输定位带42传输过程中与第一锥形齿轮43的表面产生滚动摩擦力。

因此制动滑块41通过传输定位带42带着第一锥形齿轮43沿着卡位辅助杆表面顺时针滑行，同时辅助弹簧是为了帮助制动滑块41和传输定位带42恢复原处，且第一锥形齿轮43旋转过程中，第一锥形齿轮43带着扭力弹簧旋转，当制动滑块41没有受到外力时，扭力弹簧的一端与卡位辅助杆固定，扭力弹簧另一端与第一锥形齿轮43固定，扭力弹簧通过自身恢复性带着第一锥形齿轮43逆时针旋转，因此第一锥形齿轮43逆时针旋转，则第一锥形齿轮43带着传输定位带42收缩至原处。

第一锥形齿轮43通过与第二锥形齿轮44啮合，在此说明第一锥形齿轮43小于第二锥形齿轮44，则第二锥形齿轮44顺着第一锥形齿轮43在定位螺纹杆39上顺时针旋转，第二锥形齿轮44与第一锥形齿轮43分别在定位螺纹杆39和卡位辅助杆上时有限位环限位的，则两个齿轮不会移动，则第二锥形齿轮44带着定位螺纹杆39同步旋转，定位螺纹杆39与定位压杆38啮合，则定位压杆38通过啮合的旋转摩擦力向二次检测卡槽架35的中央移动，定位压杆38带着辅助推块37推动硅片在二次检测卡槽架35的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一组一组被运输至二次检测区域，则避免了硅片堆积而较难分离，同时减少后期检测误差，减少了检测成本与提高检测效率。

实施例4。

本发明还提供一种采用上述实施例1-3中的单晶硅片分选机的使用方法，包括以下步骤：

S1：根据硅片的大小与种类不同，硅片限位架8在硅片固定架4上可以滑动以及拆装，增大或者缩小硅片放置间距；

S2：机械手抓取硅片之前，气泵通过封闭块17传输至辅助伸缩杆18，致使辅助伸缩杆18呈由下至上的状态移动，其为了较好的借助吹力由远至近将硅片吹起一段距离，接着机械手将硅片放置在传输皮带3上，完成运输；

S3：硅片移动至检测区域时，图像检测部件采集下方硅片的厚度、宽度和折损状况，同时检测推块16会对硅片的两侧进行挤压，对硅片的弯折力进行测试，完成对硅片的质量检测；

S4：若硅片质量合格，则硅片通过转轮传输机构33传递至合格收集区，若硅片不合格，则通过控制组件对定位传输机构32的气泵控制，将硅片收集至二次检测区域，便于后期快速质量再次检测。

最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变。

其次：本发明公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合。

最后：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种单晶硅片分选机，包括设备主体（1）和固定连接在设备主体（1）上表面的滑道块（2），所述设备主体（1）的一侧设置有分片机构，所述滑道块（2）的内腔滑动连接有封闭块（17），所述封闭块（17）的底端固定连接有气泵，所述设备主体（1）的顶端固定连接有电机安装架（7），所述电机安装架（7）的内部通过滑腔转动连接有传输皮带（3），所述电机安装架（7）的一端电性连接有电机，所述设备主体（1）的上表面固定安装有定位滑块（5）；

其特征在于，所述设备主体（1）远离滑道块（2）的一端通过液压杆固定连接有定位传输机构（32），所述定位传输机构（32）的两侧转动连接有转轮传输机构（33），所述转轮传输机构（33）分为第二转轮与第二转带，所述定位传输机构（32）的底端固定连接有半圆式支撑架（34），所述定位滑块（5）的底端固定连接有安装板，所述转轮传输机构（33）的第二转轮转动安装在定位滑块（5）安装板的一侧，所述定位传输机构（32）通过固定安装在定位传输机构（32）底端的液压杆呈偏转状态设置，所述定位传输机构（32）的一侧固定连接有制动滑杆（40），所述制动滑杆（40）的底端固定连接有制动滑块（41），所述制动滑块（41）的底端设置有辅助弹簧，所述制动滑块（41）位于辅助弹簧的同一侧固定连接有传输定位带（42），所述传输定位带（42）和辅助弹簧呈错位安装状态；

所述设备主体（1）远离滑道块（2）的一侧固定连接有二次检测卡槽架（35），所述二次检测卡槽架（35）的一侧开设有滑轨道，所述二次检测卡槽架（35）通过滑轨道滑动连接有辅助推块（37），所述滑轨道的内壁固定连接有擦板，所述二次检测卡槽架（35）呈“T字形”通道，所述二次检测卡槽架（35）的内腔滑动连接有活动推杆（36），所述活动推杆（36）的一侧设置有气囊柱，所述气囊柱分为伸缩气杆与气囊，所述气囊固定安装在二次检测卡槽架（35）的内壁，所述伸缩气杆固定安装在定位传输机构（32）的底端；

所述封闭块（17）的顶端固定连接有辅助伸缩杆（18），所述辅助伸缩杆（18）的外表面转动连接有吹风机构（19），所述吹风机构（19）的外表面固定连接有多组圆环卡位板（20），多组所述圆环卡位板（20）的一侧固定连接有相应数量的传气管（21）；

所述定位滑块（5）的外表面滑动连接有契合插板架（22），所述契合插板架（22）的中央转动连接有螺纹定位杆（23），所述螺纹定位杆（23）穿过契合插板架（22）的一端固定连接有检测组件（24），所述检测组件（24）的两侧固定连接有插杆，所述插杆固定连接在契合插板架（22）的底端；

所述定位滑块（5）的两侧固定连接有两组固定卡块（6），一组所述固定卡块（6）的一端固定连接有电机，所述两组固定卡块（6）之间转动连接有两组辅助转轮块（11），两组所述辅助转轮块（11）之间转动连接有卡位转杆（12），所述卡位转杆（12）的中央通过螺栓连接有螺栓固定架（13），所述螺栓固定架（13）朝向传输皮带（3）的一侧转动连接有螺纹调整杆（14），所述螺纹调整杆（14）的一端转动连接有检测推块（16），所述检测推块（16）的两侧固定连接有契合卡位架（15），所述契合卡位架（15）固定连接在定位滑块（5）的另一侧。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分选机，其特征在于，所述传输皮带（3）的外表面通过螺栓连接有硅片固定架（4），所述硅片固定架（4）的一侧开设有贯穿式的卡槽，所述硅片固定架（4）的一侧通过卡槽滑动连接有硅片限位架（8），所述硅片限位架（8）贯穿于硅片固定架（4）的一侧固定安装有限位调整架（9），所述限位调整架（9）的两侧通过螺栓连接有螺栓固定杆（10），所述硅片限位架（8）通过限位调整架（9）和螺栓固定杆（10）在硅片固定架（4）的表面呈滑行状态设置。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分选机，其特征在于，多组所述传气管（21）通过气管相连，所述传气管（21）的顶端通过螺栓连接有橡胶卡扣（29），所述橡胶卡扣（29）的一侧开设有辅助插槽，所述橡胶卡扣（29）的一侧通过辅助插槽插接有橡胶调整架（31），所述橡胶调整架（31）的内壁之间转动连接有圆球式传气架（30）。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分选机，其特征在于，所述检测组件（24）的底端设置有图像检测部件，所述检测组件（24）的两侧开设有定位槽，所述检测组件（24）的两侧通过定位槽滑动连接有“L字形”杆（25）。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片分选机，其特征在于，所述“L字形”杆（25）的底端固定连接有弹簧杆（26），所述弹簧杆（26）的底端固定连接有气囊管（27），所述气囊管（27）的一端插接有吹气架（28），所述吹气架（28）正对检测组件（24）的底端，所述定位滑块（5）的表面开设有用于吹气架（28）滑行的轨道，所述气囊管（27）与吹气架（28）和弹簧杆（26）的连接处设置有橡胶套。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分选机，其特征在于，所述制动滑块（41）的一侧通过固定安装板安装在二次检测卡槽架（35）的一侧，所述传输定位带（42）的外侧绕接有第一锥形齿轮（43），所述第一锥形齿轮（43）的内腔转动连接有卡位辅助杆，所述卡位辅助杆固定安装在设备主体（1）的一侧，所述二次检测卡槽架（35）的一侧固定连接有定位螺纹杆（39），所述定位螺纹杆（39）的外表面转动连接有第二锥形齿轮（44），所述第二锥形齿轮（44）和第一锥形齿轮（43）呈啮合状态设置，所述定位螺纹杆（39）的外表面滑动连接有定位压杆（38），所述定位压杆（38）固定安装在辅助推块（37）的一侧。

7.一种单晶硅片分选机及其使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：根据硅片的大小与种类不同，硅片限位架（8）在硅片固定架（4）上可以滑动以及拆装，增大或者缩小硅片放置间距；

S2：机械手抓取硅片之前，气泵通过封闭块（17）传输至辅助伸缩杆（18），致使辅助伸缩杆（18）呈由下至上的状态移动，其为了较好的借助吹力由远至近将硅片吹起一段距离，接着机械手将硅片放置在传输皮带（3）上，完成运输；

S3：硅片移动至检测区域时，图像检测部件采集下方硅片的厚度、宽度和折损状况，同时检测推块（16）会对硅片的两侧进行挤压，对硅片的弯折力进行测试，完成对硅片的质量检测；

S4：若硅片质量合格，则硅片通过转轮传输机构（33）传递至合格收集区，若硅片不合格，则通过控制组件对定位传输机构（32）的气泵控制，将硅片收集至二次检测区域，便于后期快速对质量再次检测。

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