CN206179888U - 一种太阳能硅片分片吹片装置 - Google Patents

一种太阳能硅片分片吹片装置 Download PDF

Info

Publication number
CN206179888U
CN206179888U CN201620942293.XU CN201620942293U CN206179888U CN 206179888 U CN206179888 U CN 206179888U CN 201620942293 U CN201620942293 U CN 201620942293U CN 206179888 U CN206179888 U CN 206179888U
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon chip
nozzle
afloat
blows
blows afloat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201620942293.XU
Other languages
English (en)
Inventor
苗杰
张超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanxi Luan Solar Energy Technology Co Ltd
Original Assignee
Shanxi Luan Solar Energy Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanxi Luan Solar Energy Technology Co Ltd filed Critical Shanxi Luan Solar Energy Technology Co Ltd
Priority to CN201620942293.XU priority Critical patent/CN206179888U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206179888U publication Critical patent/CN206179888U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

本实用新型涉及硅片检测领域，具体是一种太阳能硅片分片吹片装置。一种太阳能硅片分片吹片装置，升降机构上放置有硅片，在硅片的两侧安装有左喷吹机构和右喷吹机构，左喷吹机构和右喷吹机构成左右对称结构，左喷吹机构的下侧安装有第一位置传感器和第一硅片吹起喷嘴，第一硅片吹起喷嘴的上侧有第二硅片吹起喷嘴，第一硅片吹起喷嘴和第二硅片吹起喷嘴有多个，每个第二硅片吹起喷嘴上侧有一个第二位置传感器，每个第一硅片吹起喷嘴和每个第二硅片吹起喷嘴都通过一个左阀门连接到左喷气管道。

Description

一种太阳能硅片分片吹片装置
技术领域
本实用新型涉及硅片检测领域，具体是一种太阳能硅片分片吹片装置。
背景技术
现有太阳能硅片检测设备，如Jona&redmann硅片检测设备在设计的时候分片器没有设计成可调节的分片操作，所以在生产过程中时常出现分片分不开现象，尤其是单晶硅片，由于单晶硅片表面的粘度比较大，所以出现分不开的现象比较明显，在抓取到高空时，又可能分离掉下，进而造成碎片率增加，使得电池片的合格率大大降低，所以需要在原有设备上增加一套分片装置，这样就会在原材料进入设备的时候，进行分片处理，进而使得硅片可以顺利的被抓起。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是：如何防治硅片在抓取过程中硅片不能分离的问题。
本实用新型所采用的技术方案是：一种太阳能硅片分片吹片装置，升降机构上放置有硅片，在硅片的两侧安装有左喷吹机构和右喷吹机构，左喷吹机构和右喷吹机构成左右对称结构，左喷吹机构的下侧安装有第一位置传感器和第一硅片吹起喷嘴，第一硅片吹起喷嘴的上侧有第二硅片吹起喷嘴，第一硅片吹起喷嘴和第二硅片吹起喷嘴有多个，每个第二硅片吹起喷嘴上侧有一个第二位置传感器，每个第一硅片吹起喷嘴和每个第二硅片吹起喷嘴都通过一个左阀门连接到左喷气管道，右喷吹机构的下侧安装有第三位置传感器和第三硅片吹起喷嘴，第三硅片吹起喷嘴的上侧有第四硅片吹起喷嘴，第三硅片吹起喷嘴和第四硅片吹起喷嘴有多个，每个第四硅片吹起喷嘴上侧有一个第四位置传感器，每个第三硅片吹起喷嘴和每个第四硅片吹起喷嘴都通过一个右阀门连接到右喷气管道，第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器、升降机构、左阀门、右阀门、所有阀门都点连接控制芯片。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过左喷吹机构和右喷吹机构从喷嘴的左右两侧进行分层吹风（吹的是氮气），硅片被风吹到空中，进而使硅片片与片之间彼此分离，机械手（真空吸盘）在抓取过程不会出现不能分片的问题。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
其中，1、升降机构，2、硅片，3、左喷气管道，4、右喷气管道，5、第一位置传感器，6、第三位置传感器，7、第一硅片吹起喷嘴，8、第三硅片吹起喷嘴，9、左阀门，10、右阀门，11、第二硅片吹起喷嘴，12、第四硅片吹起喷嘴，13、第二位置传感器，14、第四位置传感器。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型是为了使硅片容易彼此分离，便于机械手（真空吸盘）抓取而设计的，控制芯片控制升降机构缓缓升起，进而使放置在升降机构上的硅片缓缓升起，当安装在左喷吹机构的第一位置传感器和右喷吹机构的第三位置传感器感应到硅片的垂直高度高于第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴最下面的喷嘴垂直高度5-6片硅片厚度时，升降机构停止上升，同时控制第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴同时开始喷气，第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴有同样数量个喷嘴，并且从下至上，第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴每层喷嘴的垂直高度相同，这样就使得垂直高度上高于第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴最下面的喷嘴垂直高度5-6片硅片被气流吹起，控制芯片控制第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴的阀门使得气流平稳增加，被吹起的硅片缓缓升高到第二硅片吹起喷嘴和第四硅片吹起喷嘴的垂直高度位置，当安装在左喷吹机构的第二位置传感器和右喷吹机构的第四位置传感器感应到硅片的垂直高度高于第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴最下面的喷嘴垂直高度时，第一硅片吹起喷嘴和第三硅片吹起喷嘴同时开始喷气，第二硅片吹起喷嘴和第四硅片吹起喷嘴有同样数量个喷嘴，并且从下至上，第二硅片吹起喷嘴和第四硅片吹起喷嘴每层喷嘴的垂直高度相同，每个第二硅片吹起喷嘴上侧有一个第二位置传感器，每个第四硅片吹起喷嘴上侧有一个第四位置传感器，调节第二硅片吹起喷嘴和第四硅片吹起喷嘴每层喷嘴的出气量，使第二位置传感器和第四位置传感器感应到相邻两个硅片之间的垂直距离为1cm，并且每张硅片处于平衡位置，此时，可以通过机械手（真空吸盘）依次抓取最上层的硅片，当抓取完毕后完成一个周期，然后按照同样的周期循环直至把所有硅片分离抓取。

Claims (1)

1.一种太阳能硅片分片吹片装置，其特征在于：升降机构上放置有硅片，在硅片的两侧安装有左喷吹机构和右喷吹机构，左喷吹机构和右喷吹机构成左右对称结构，左喷吹机构的下侧安装有第一位置传感器和第一硅片吹起喷嘴，第一硅片吹起喷嘴的上侧有第二硅片吹起喷嘴，第一硅片吹起喷嘴和第二硅片吹起喷嘴有多个，每个第二硅片吹起喷嘴上侧有一个第二位置传感器，每个第一硅片吹起喷嘴和每个第二硅片吹起喷嘴都通过一个左阀门连接到左喷气管道，右喷吹机构的下侧安装有第三位置传感器和第三硅片吹起喷嘴，第三硅片吹起喷嘴的上侧有第四硅片吹起喷嘴，第三硅片吹起喷嘴和第四硅片吹起喷嘴有多个，每个第四硅片吹起喷嘴上侧有一个第四位置传感器，每个第三硅片吹起喷嘴和每个第四硅片吹起喷嘴都通过一个右阀门连接到右喷气管道，第一位置传感器、第二位置传感器、第三位置传感器、第四位置传感器、升降机构、左阀门、右阀门、所有阀门都点连接控制芯片。
CN201620942293.XU 2016-08-26 2016-08-26 一种太阳能硅片分片吹片装置 Active CN206179888U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620942293.XU CN206179888U (zh) 2016-08-26 2016-08-26 一种太阳能硅片分片吹片装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201620942293.XU CN206179888U (zh) 2016-08-26 2016-08-26 一种太阳能硅片分片吹片装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206179888U true CN206179888U (zh) 2017-05-17

Family

ID=60240053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201620942293.XU Active CN206179888U (zh) 2016-08-26 2016-08-26 一种太阳能硅片分片吹片装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206179888U (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110391149A (zh) * 2018-04-19 2019-10-29 无锡喆创科技有限公司 硅片分片及吸片送片装置以及硅片分片吸片送片的方法
CN111318500A (zh) * 2020-02-03 2020-06-23 徐州鑫晶半导体科技有限公司 切割后硅棒的脱胶装置和方法
CN111668145A (zh) * 2020-06-09 2020-09-15 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种太阳能电池片推片方法
CN115069589A (zh) * 2022-08-22 2022-09-20 无锡京运通科技有限公司 一种单晶硅片分选机及其使用方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110391149A (zh) * 2018-04-19 2019-10-29 无锡喆创科技有限公司 硅片分片及吸片送片装置以及硅片分片吸片送片的方法
CN110391149B (zh) * 2018-04-19 2024-05-28 无锡市南亚科技有限公司 硅片分片及吸片送片装置以及硅片分片吸片送片的方法
CN111318500A (zh) * 2020-02-03 2020-06-23 徐州鑫晶半导体科技有限公司 切割后硅棒的脱胶装置和方法
CN111318500B (zh) * 2020-02-03 2021-10-26 徐州鑫晶半导体科技有限公司 切割后硅棒的脱胶装置和方法
CN111668145A (zh) * 2020-06-09 2020-09-15 山西潞安太阳能科技有限责任公司 一种太阳能电池片推片方法
CN115069589A (zh) * 2022-08-22 2022-09-20 无锡京运通科技有限公司 一种单晶硅片分选机及其使用方法
CN115069589B (zh) * 2022-08-22 2022-10-28 无锡京运通科技有限公司 一种单晶硅片分选机及其使用方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206179888U (zh) 一种太阳能硅片分片吹片装置
CN101830356A (zh) 抵触式分离设备
CN103258749A (zh) 芯片排出方法及排出单元、芯片拾取方法及拾取装置
CN104795463B (zh) 一种生产异质结太阳能电池的pecvd设备及工作方法
CN206188001U (zh) 气浮平台、气浮装置及玻璃基板传送装置
CN206742271U (zh) 一种太阳能硅片的分拣系统
CN106611729A (zh) 一种用于片材的自动翻片装置、方法及太阳能电池生产线
JP2010045057A (ja) 液中ウェハ単離方法及び液中ウェハ単離装置
CN101764050B (zh) 半导体基板加工设备
CN108847404B (zh) 硅片自动传送系统中的单片传送双片入篮装置及方法
CN103681416A (zh) 一种监控多晶硅炉管晶圆厚度的方法
CN206864447U (zh) 一种超薄芯片的吸取装置
CN202293602U (zh) 用于丝网印刷上料装置的吹气装置
CN102420161A (zh) 一种运送晶圆状物件的装置及方法
CN102263047B (zh) 一种晶圆片热缓冲栈及实现热缓冲的方法
CN205634214U (zh) 一种太阳能堆叠硅片的分离装置
CN203536394U (zh) 多晶硅片水平制绒机的自动下料装置
CN209119048U (zh) 硅片分离装置
CN218520610U (zh) 一种玻璃板抓取装置
CN204144235U (zh) 硅片自动分选真空吸盘
CN112850161A (zh) 一种硅片插片机用分离装置及其分离方法
CN220825242U (zh) 扩散前后及氧化用自动化顶齿吹扫装置
CN207038494U (zh) 一种电池盒运输系统
CN216749816U (zh) 一种晶圆加热工装
KR20140001476U (ko) 다이 이젝팅 유닛 및 다이 픽업 장치

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant