CN115066744A - 机器人以及包括机器人的基板运送系统 - Google Patents

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松冈淳一
山崎大
田中优一郎
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Kawasaki Jukogyo KK
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Abstract

本发明提供一种机器人。机器人(100)包括基座(1)、臂(3)和手(8)，所述基座(1)具有多个侧部，所述臂(3)可旋转地连接在基座(1)，所述手(8)连接在臂(3)。臂(3)与基座(1)的连接部分从俯视来看最接近于第一侧部(11a)配置着。基座(1)收纳有控制部品。在第二侧部(11b)设置有维护部(12)，该维护部(12)配置有第一板(24)等维护部品，用于对维护部品进行维护。

Description

机器人以及包括机器人的基板运送系统
技术领域
这里公开的技术涉及机器人以及包括机器人的基板运送系统。
背景技术
至今为止，包括基座、臂以及末端执行器的机器人被众所周知。例如，在专利文献1中记载的机器人包括基座、臂以及末端执行器，被配置在筐体内，该臂可旋转地连接在基座，该末端执行器连接在臂。在该机器人中，基座的一部分配置在筐体外。因此，提高了基座中的伸出筐体外的部分的可维护性。
专利文献1：日本特开2013-157561号公报
发明内容
像这样，有时机器人被配置在筐体等的内部使用。此时，由于筐体等的内部空间受到限制，因此难以进行机器人的维护。
虽然如专利文献1那样，将机器人的一部分配置在筐体外是提高可维护性的对策之一，但是在筐体内等被限制的空间内提高可维护性也具有可改善的余地。
鉴于上述内容，这里所公开的技术的目的在于，提高被限制的空间内的机器人的可维护性。
这里所公开的机器人包括基座、臂以及末端执行器，所述基座具有多个侧部，所述臂可旋转地连接在所述基座，所述末端执行器连接在所述臂，所述臂与所述基座的连接部分从俯视来看最接近配置在作为所述多个侧部中的一个侧部的第一侧部，所述基座收纳与所述臂和所述末端执行器的至少一方的控制相关连的部品，在所述多个侧部中的、不是与所述第一侧部平行的第二侧部设置有维护部，该维护部配置有所述部品的至少一部分部品，用于对所述至少一部分部品进行维护。
这里所公开的基板运送系统包括筐体和机器人，所述机器人配置在所述筐体内，用于运送基板，所述筐体具有在规定的第一方向上对着的第一侧壁以及第三侧壁和在作为与所述第一方向不同的方向的第二方向上对着的第二侧壁以及第四侧壁，在所述第二侧壁设置有用于维护所述机器人的开闭部，所述机器人具有基座、臂和末端执行器，所述基座具有多个侧部，所述臂可旋转地连接在所述基座，所述末端执行器连接在所述臂，所述基座收纳与所述臂以及所述末端执行器的至少一方的控制相关连的部品，且与所述第三侧壁相比，更接近所述第一侧壁配置，作为所述基座的所述多个侧部中的一个侧部的第一侧部与所述第一侧壁对着，在所述基座的所述多个侧部中的、与所述第二侧壁对着的第二侧部设置有维护部，该维护部配置有所述部品的至少一部分部品，用于对所述至少一部分部品进行维护。
(发明的效果)
通过所述机器人，能够提高被限制的空间内的机器人的可维护性。
通过所述基板运送系统，能够提高被限制的空间内的机器人的可维护性。
附图说明
图1是水平多关节机器人的侧视图。
图2是水平多关节机器人的俯视图。
图3是基板处理设备的简要俯视图。
图4是机器人的功能方块图。
图5是取下第一盖子后的状态的基座的侧视图。
具体实施方式
以下，参照附图，对举出的实施方式进行详细说明。
图1是水平多关节机器人100的侧视图。图2是水平多关节机器人100的俯视图。水平多关节机器人(以下，还仅称为“机器人”)100是SCARA(SCARA:Selective complianceAssembly Robot Arm)型机器人。机器人100包括基座1、臂3以及手8，所述臂3可旋转地连接在基座1，所述手8连接在臂3。臂3在水平方向可旋转地连接在基座1，即，臂3以在垂直方向延伸的第一轴心L1为中心可旋转地连接在基座1。臂3由相互在水平方向可旋转地连接的多个连杆30构成。手8在水平方向可旋转地连接在臂3。手8保持对象。例如，对象是基板S。机器人100是机器人的一个例子。手8是末端执行器的一个例子。机器人100还包括控制装置10，该控制装置10用于进行机器人100的整体控制。
图3是基板处理设备120的简要俯视图。机器人100例如被组装到运送基板S的基板运送系统110中。基板运送系统110具有筐体111和机器人100。例如，基板运送系统110是EFEM(Equipment Front End Module)。基板运送系统110以SEMI(SemiconductorEquipment and Materials International)规格为基准。需要说明的是，基板运送系统110的结构也可以是SEMI规格之外的结构。
在筐体111的内部形成有运送空间112。机器人100被配置在筐体111的内部即运送空间112。机器人100在运送空间112中运送基板S。例如，基板S是圆盘状的半导体晶圆。运送空间112被净化。充满运送空间112的大气气体通过风扇过滤器单元等调整。在运送空间112设置有进行基板S的位置调整的对准器113。
筐体111具有在规定的第一方向上对着的第一侧壁111a以及第三侧壁111c和在作为与第一方向不同的方向的第二方向上对着的第二侧壁111b以及第四侧壁111d。第一方向与第二方向交叉。更具体而言，第一方向与第二方向正交。以下，为了便于说明，将第一方向称为“前后方向”，将第二方向称为“左右方向”。前后方向以及左右方向分别与上下方向正交。第一侧壁111a与第二侧壁111b邻接。第二侧壁111b与第三侧壁111c邻接。第三侧壁111c与第四侧壁111d邻接。第四侧壁111d与第一侧壁111a邻接。筐体111从俯视来看形成为四角形状，更具体而言，形成为长方形状。
第二侧壁111b与第四侧壁111d之间的间隔大于第一侧壁111a与第三侧壁111c之间的间隔。即，筐体111从俯视来看与前后方向相比，形成为在左右方向较长的大致长方形状。
筐体111还具有在上下方向对着的天花板壁(省略图示)以及底壁(省略图示)。筐体111形成为大致长方体形状。
例如，基板运送系统110被组装到基板处理设备120中。基板处理设备120具有基板运送系统110和收纳基板S的多个收纳部121。在收纳部121的内部形成有收纳室。收纳室被净化。例如，多个收纳部121包括前开式晶圆传送盒(FOUP:Front Opening Unified Pod)121A和处理装置121B。前开式晶圆传送盒121A是收纳基板S的容器。处理装置121B处理基板S。前开式晶圆传送盒121A和处理装置121B在筐体111的外部，分别邻接配置在筐体111。在第一侧壁111a以及第三侧壁111c的一方邻接配置有前开式晶圆传送盒121A，在第一侧壁111a以及第三侧壁111c的另一方邻配置有处理装置121B。具体而言，前开式晶圆传送盒121A经由前开式晶圆传送盒手动开启器(省略图示)安装在第三侧壁111c。处理装置121B邻接配置在第一侧壁111a。前开式晶圆传送盒121A是收纳半导体晶圆的容器的一个例子。
在前开式晶圆传送盒121A内收纳有处理前以及处理后的基板S。前开式晶圆传送盒121A是迷你环境用基板容器。前开式晶圆传送盒121A将多个基板S以水平状态在垂直方向上用相等间隔收纳着。在该例子中，设置有4个前开式晶圆传送盒121A。4个前开式晶圆传送盒121A在左右方向以相等间隔配置着。在第三侧壁111c形成有对应于前开式晶圆传送盒121A的开口111e。通过前开式晶圆传送盒手动开启器，来切换运送空间112与前开式晶圆传送盒121A的内部空间之间的连通以及切断。
处理装置121B例如是对基板S进行热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻处理、清洗处理、平坦化处理或者外观或尺寸的检查的处理装置。或者，处理装置121B所进行的处理也可以是用于进行基板S的交付的临时收纳。在该例子中，设置有两个处理装置121B。在第一侧壁111a形成有对应于处理装置121B的开口111f。也可以在开口111f设置门(省略图示)。通过门的开闭，来切换运送空间112与处理装置121B的内部空间之间的连通以及切断。
在这样的结构中，含在基板运送系统110中的机器人100在前开式晶圆传送盒121A与处理装置121B之间运送半导体晶圆，该前开式晶圆传送盒121A收纳半导体晶圆，该处理装置121B处理半导体晶圆。具体而言，手8将半导体晶圆作为基板S保持。臂3以及手8在前开式晶圆传送盒121A与处理装置121B之间运送半导体晶圆。
〈机器人100的结构〉
参照图1、图2对机器人100的结构进行说明。
基座1具有多个侧部(例如，侧面)。在多个侧部至少包含第一侧部11a和第二侧部11b，该第二侧部11b不与第一侧部11a平行。第一侧部11a朝着的方向(即，第一侧部11a的法线方向)和第二侧部11b朝着的方向(即，第二侧部11b的法线方向)交叉。更具体而言，第一侧部11a朝着的方向和第二侧部11b朝着的方向正交。在多个侧部还包含有第三侧部11c和第四侧部11d，该第三侧部11c与第一侧部11a对着，该第四侧部11d与第二侧部11b对着。第一侧部11a与第二侧部11b邻接。第二侧部11b与第三侧部11c邻接。第三侧部11c与第四侧部11d邻接。第四侧部11d与第一侧部11a邻接。基座1从俯视来看形成为四角形状，更具体而言，形成为长方形形状。
基座1除了具有多个侧部之外，还具有天花板部11e和底部11f。基座1形成为大致长方体形状。
在基座1设置有升降机构2，该升降机构2使臂3在垂直方向升降。升降机构2具有可动部21和升降马达22，该升降马达22驱动可动部21。可动部21形成为柱状。在可动部21下降最多的状态下，可动部21的大部分被收纳在基座1内。可动部21从基座1的天花板部11e向上方突出地上升。臂3在水平方向可旋转地连接在可动部21的上端部21a。在图1中，如实线以及双点划线所示，通过可动部21上下移动，使得臂3以及手8相应地上下移动。
臂3与基座1之间的连接部分即可动部21的上端部21a从俯视来看最接近配置于多个侧部中的第一侧部11a。即，可动部21的上端部21a从俯视来看从基座1的中心朝向第一侧部11a侧偏移配置着。
臂3的各个连杆30形成为在规定的长度方向延伸的形状。以下，在没有特别说明的情况下，在各个连杆30中，将长度方向的一端部称为第一端部，将长度方向的与第一端部相反一侧的端部称为第二端部。并且，在分别区别三个连杆30时，将从距离基座1较近的一个连杆开始依次称为第一连杆31、第二连杆32、第三连杆33。第一连杆31是连接在基座1的连杆30。在第三连杆33连接有手8。
第一连杆31的第一端部31a以在垂直方向延伸的第一轴心L1为中心可旋转地连接在基座1。详细而言，第一端部31a连接在可动部21的上端部21a。即，第一端部31a是臂3中的与基座1的连接部分。第二连杆32的第一端部32a以在垂直方向延伸的第二轴心L2为中心可旋转地连接在第一连杆31的第二端部31b。第三连杆33的第一端部33a以在垂直方向延伸的第三轴心L3为中心可旋转地连接在第二连杆32的第二端部32b。第一轴心L1、第二轴心L2以及第三轴心L3彼此平行延伸。第一连杆31的长度(即，长度方向的尺寸)在3个连杆30中最长。
机器人100具有两个手8即第一手8A以及第二手8B(参照图1)。在不区别第一手8A以及第二手8B的情况下，仅称为“手8”。第一手8A以及第二手8B的基本结构相同。需要说明的是，在图2中，由于两个手8上下重叠，因此从外观来看，图中仅示出了一个手8。
各个手8以在垂直方向延伸的第四轴心L4为中心可旋转地连接在第三连杆33的第二端部33b。第四轴心L4与第一轴心L1、第二轴心L2以及第三轴心L3平行延伸。
第一连杆31、第二连杆32、第三连杆33、第一手8A、第二手8B以此顺序在从下向上彼此不接触的状态下层叠着。第一连杆31、第二连杆32、第三连杆33以及两个手8在相互不干涉的情况下在水平方向旋转。
机器人100还包括多个马达6，该多个马达6对多个连杆30以及手8进行旋转驱动。该多个马达6包括第一马达61、第二马达62、第三马达63、第四马达64和第五马达65，所述第一马达61对第一连杆31进行旋转驱动，所述第二马达62对第二连杆32进行旋转驱动，所述第三马达63对第三连杆33进行旋转驱动，所述第四马达64对第一手8A进行旋转驱动，所述第五马达65对第二手8B进行旋转驱动。在不区别第一马达61、第二马达62、第三马达63、第四马达64以及第五马达65的每一个的情况下，仅称为“马达6”。例如，各个马达6是电动马达，具体而言，是伺服马达。各个马达6具有检测旋转轴的旋转位置或旋转量的编码器6a。
连杆30形成为中空状，具有内部空间。马达6收纳在连杆30的内部空间内。具体而言，第一马达61以及第二马达62收纳在第一连杆31的内部空间内。第三马达63收纳在第二连杆32的内部空间内。第四马达64以及第五马达65收纳在第三连杆33的内部空间内。需要说明的是，在各个连杆30与各个马达6一起设置有传递各个马达6的动力的传递机构(省略图示)。
手8具有本体81和保持部82，该保持部82连接在本体81，被分为分叉状。手8形成为板状。手8在朝着其厚度方向来看时，形成为大致Y字形。本体81可旋转地连接在第三连杆33的第二端部33b。手8具有气缸等保持致动器(省略图示)。通过保持致动器，来切换手8对对象的保持以及释放。
通过手8进行的保持能够用把持、吸附、承载或嵌合等各种方式实现。在该例子中，手8构成为把持作为对象的基板S。具体而言，在保持部82的两个前端部的每一个固定设置有第一爪84。在本体81设置有第二爪85和保持致动器86，该第二爪85可移动，该保持致动器86驱动第二爪85。
保持致动器86是具有套86a和杆86b的气缸，杆86b从套86a进退。第二爪85连接在杆86b。在臂3的内部设置有配管，该配管将压缩气体提供给气缸。在配管设置有电磁阀88(参照图1)。气体的提供通过电磁阀88控制。
当杆86b从套86a出来时，第二爪85朝向接近于第一爪84的方向移动。而当杆86b朝向套86a后退时，第二爪85朝向远离第一爪84的方向移动。通过基板S在位于第一爪84与第二爪85之间的状态下使第二爪85出来，来使第一爪84以及第二爪85接合在基板S的端缘。因此，手8保持基板S。通过使第二爪85从该状态后退，来使第二爪85离开基板S的端缘。因此，手8释放基板S。
在本体81设置有检测第二爪85的动作的动作传感器87。动作传感器87是接触式或非接触式的传感器，通过对与第二爪85或杆86b一体移动的被检测部的动作进行检测，来检测第二爪85的动作。
需要说明的是，动作传感器87之外的传感器也设置在手8，省略图示。例如，可以将对前开式晶圆传送盒121A内的半导体晶圆的状态进行检测的测绘传感器设置在保持部82的前端部。并且，可以将对保持部82上的半导体晶圆的有无进行检测的传感器设置在保持部82。
基座1收纳与臂3以及手8的至少一方的控制相关连的部品(以下，称为“控制部品”)。例如，基座1收纳有第一板24、第二板25以及电池26等，所述第一板24作为动作传感器87等传感器以及电磁阀88与控制装置10的接口发挥作用，所述第二板25用于将电源提供给马达6的编码器，所述电池26在主电源处于关闭状态时等，提供用于保持编码器6a的值的电力。第一板24以及第二板25是印刷电路板。第二板25将来自电池26的电力提供给编码器6a。升降马达22也是控制部品之一。
如图3所示，基座1在筐体111内的前后方向上，与第三侧壁111c相比，更接近第一侧壁111a配置，即，与筐体111的中央相比，更向第一侧壁111a侧偏移配置。在左右方向上，基座1配置在筐体111的大致中央。像这样，通过在前后方向上将基座1与筐体111的中央相比更向第一侧壁111a侧偏移配置，能够增加各个连杆30的长度，扩大手8的可动范围。
此时，基座1的第一侧部11a与第一侧壁111a对着。因此，臂3与基座1之间的连接部分更接近第一侧壁111a配置。其结果是使各个连杆30的长度更长，进一步扩大了手8的可动范围。
通过这样的配置，基座1的第二侧部11b与第二侧壁111b对着，基座1的第三侧部11c与第三侧壁111c对着，基座1的第四侧部11d与第四侧壁111d对着。
图4是机器人100的功能方块图。控制装置10具有控制部101、存储部102、存储器103、接口104和电源部105，所述控制部101进行机器人100的整体控制，所述存储部102对各种程序以及各种数据进行存储，所述接口104连接在马达6等，所述电源部105将电力提供给各个部。控制装置10配置在筐体111的外部。
存储部102是计算机可读取记录媒体，例如，由快闪存储器构成。需要说明的是，存储部102也可以由CD－ROM等光盘等构成。存储部102存储有对执行控制部101的处理所需的各种程序、各种数据。
控制部101根据存储在存储部102中的程序来控制马达6等。控制部101例如由CPU(Central Processing Unit)等处理器构成。控制部101通过将存储在存储部102等中的程序展开在存储器103中并使其执行，来执行各种处理。需要说明的是，控制部101也可以通过与处理器具有同样的功能的LSI(Large Scale Integration)等硬件来实现。
在接口104连接有升降马达22、第一马达61、第二马达62、第三马达63、第四马达64以及第五马达65。在接口104还连接有第一板24以及第二板25。在接口104还连接有风扇18。需要说明的是，在第一板24连接有动作传感器87等各种传感器以及电磁阀88等。在第二板25连接有电池26，且连接有各个编码器6a。
控制装置10按照预先规定的动作程序或用户输入的动作指令，来控制马达6等，从而控制机器人100。控制装置10控制升降马达22以及/或者马达6，使臂3变位。并且，控制装置10经由第一板24来控制电磁阀88，使手8保持或释放基板S。此时，动作传感器87的检测结果被输入到控制装置10。并且，控制装置10控制第二板25，向编码器6a提供电力。需要说明的是，在机器人100的主电源处于关闭状态时，通过第二板25向编码器6a提供电源，来保持编码器6a的值。
例如，控制装置10使臂3以及手8变位，使手8进入前开式晶圆传送盒121A的内部空间(参照图3的实线)。然后，控制装置10使手8保持前开式晶圆传送盒121A内的基板S。控制装置10使处于保持有基板S的状态下的手8从前开式晶圆传送盒121A向运送空间112退出，再进入处理装置121B(参照图3的双点划线)。控制装置10在处理装置121B内的规定位置使手8释放基板S。然后，控制装置10使手8从处理装置121B暂时退出。在处理装置121B中，对基板S施行规定的处理。在对基本S施行规定的处理之后，控制装置10使手8进入处理装置121B，使手8保持基板S。控制装置10使处于保持有基板S的状态下的手8从处理装置121B向运送空间112退出，再使其进入前开式晶圆传送盒121A。控制装置10在前开式晶圆传送盒121A的规定位置使手8释放基板S。像这样，控制装置10使机器人100在前开式晶圆传送盒121A与处理装置121B之间运送基板S。
图5是基座1的侧视图，表示取下第一盖子13a后的状态。在这样结构的机器人100中，如图1、图5所示，在基座1的第二侧部11b设置有维护部12，该维护部12用于对控制部品的至少一部分部品(以下，称为“维护部品”)进行维护。在维护部12配置有维护部品。设置维护部12是为了在不移动基座1的情况下即基座1依然设置在原有位置的情况下来进行部品的维护。维护部品是成为那样的维护对象的部品。
例如，维护部品是维护频率较高的部品。例如，维护部品是电气部品。在该例子中，第一板24、第二板25以及电池26作为维护部品配置在维护部12。
维护部12设置在第二侧部11b中的、距离第三侧部11c较近的部分中。在第二侧部11b可装卸地安装有覆盖维护部12的第一盖子13a(参照图1)。第一盖子13a安装在基座1的框架19。通过取下第一盖子13a，来使维护部12露出。第一盖子13a是盖子的一个例子。
由于臂3与基座1的连接部分接近第一侧部11a配置着，因此在基座1的内部中靠近第一侧部11a的部分设置有升降机构2。故而，在基座1中，与靠近第一侧部11a的部分相比，靠近第三侧部11c的部分更具有空间的余裕。即使在第二侧部11b中，在靠近第三侧部11c的部分中也容易确保配置维护部12的空间。
在第二侧部11b中，除了第一盖子13a之外，第二盖子13b也安装在框架19。第二盖子13b覆盖第二侧部11b中的靠近第一侧部11a的部分。当取下第二盖子13b时，维护部品之外的部品(例如，升降机构2等)露出。当对那些部品进行维护时，取下第二盖子13b。但是，在取下第二盖子13b进行维护时，基座1被从其设置位置移动到进行维护的位置。
并且，基座1具有风扇18，该风扇18将基座1的内部空气向基座1的外部排出。风扇18在升降机构2使可动部21升降时，为了顺利进行可动部21的升降，将基座1内的空气排出。风扇18设置在第二侧部11b以及第四侧部11d。省略了第四侧部11d的风扇18的图示，第二侧部11b的风扇18安装在第二侧部11b中的第一盖子13a之外的部分中，具体而言，第二侧部11b的风扇18安装在第二盖子13b。
如图3所示，第二侧部11b与筐体111的第二侧壁111b对着。在第二侧壁111b设置有用于维护机器人100的开闭部114。详细而言，在第二侧壁111b形成有开口114a，作为开闭部114而设置有对开口114a进行开关的门。开口114a具有工作人员可通过的程度的大小。
当工作人员维护机器人100的第一板24等的维护部品时，打开开闭部114进入筐体111内。然后，工作人员取下第一盖子13a，使维护部12露出。接着，对维护部品进行必要的维护。
像这样，通过在第二侧部11b设置维护部12，能够提高机器人100的可维护性，所述第二侧部11b是基座1的侧部中的、接近于筐体111的侧壁的第一侧部11a之外的侧部，所述第二侧部11b朝向形成有开闭部114的第二侧壁111b侧。
详细而言，为了在筐体111内的被限制的运送空间112中，使臂3以及手8的可动范围扩大，以臂3与基座1的连接部分接近于第一侧壁111a的方式配置机器人100。并且，以基座1的侧部中的、臂3与基座1的连接部分最接近的第一侧部11a与第一侧壁111a对着的方式配置基座1。由于第一侧部11a接近于筐体111的第一侧壁111a，因此若将维护部品配置在第一侧部11a，则难以确保维护用的空间。
像这样配置基座1的结果是第二侧部11b与筐体111的第二侧壁111b对着。在第二侧壁111b设置有用于维护机器人100的开闭部114。通过在第二侧部11b设置维护部12，能够使从开闭部114进入筐体111内的工作人员很容易进入维护部12。其结果是能够提高机器人100的维护部品的可维护性。
特别是由于筐体111形成为从俯视来看在左右方向较长的大致长方形状，因此前后方向的空间狭小。而在基座1的左右方向存在空间。通过在基座1的第二侧部11b设置维护部12，能够在筐体111内确保维护用的空间。即，能够有效地使用基座1的左右方向的空间来进行维护。
从其它观点出发，通过在与第二侧壁111b对着的第二侧部11b设置维护部12，不必在基座1的前后方向确保维护用的空间。其结果是能够使筐体111前后方向的尺寸小型化。进而能够使基板运送系统110小型化。
并且，为了使空气从第二侧部11b向外方排出，在第二侧壁11b设置有风扇18。若假设风扇18安装在第一盖子13a，则在取下第一盖子13a时，风扇18与第一盖子13a一起移动。在风扇18连接有配线。由于风扇18以及其配线与取下的第一盖子13a成为一体，因此第一盖子13a的处理变得复杂。而第一盖子13a构成为不是覆盖整个第二侧部11b，而是仅覆盖包含维护部12的一部分，将风扇18设置在第一盖子13a之外的部分即第二盖子13b。因此，能够在使风扇18保持原有状态的情况下取下第一盖子13a。由此，第一盖子13a的处理变得简便，可维护性进一步提高。
如上所述，机器人100包括基座1、臂3和手8(末端执行器)，该基座1具有多个侧部，所述臂3可旋转地连接在基座1，所述手8连接在臂3，第一连杆31的第一端部31a以及可动部21的上端部21a(臂与基座的连接部分)从俯视来看最接近于作为多个侧部中的一个侧部的第一侧部11a配置着，基座1收纳控制部品(与臂以及末端执行器的至少一方的控制相关连的部品)，在多个侧部中的、不与第一侧部11a平行的第二侧部11b设置有维护部12，该维护部12配置有第一板24等的维护部品(与控制相关连的部品的至少一部分部品)，用于对维护部品进行维护。
通过该结构，基座1收纳控制部品。控制部品中的维护部品配置在维护部12，该维护部12设置在基座1的第二侧部11b。并且，臂3与基座1的连接部分接近于第一侧部11a配置。这样的机器人100在被限制的空间内，可以在使第一侧部11a与划分空间的边界(例如，筐体111的侧壁)对着且接近的状态下配置使用。通过这样的配置，能够增加臂3的长度(臂3由多个连杆30构成时，各个连杆30的长度)，扩大臂3的可动范围。在能够这样配置使用的机器人100中，由于第一侧部11a可以接近于筐体111的侧壁等，因此在与第一侧壁11a对着的位置难以确保空间。另一方面，由于设置有维护部12的第二侧部11b不与第一侧部11a平行，而是朝向与第一侧部11a不同的方向，因此在与第二侧部11b对着的位置很容易确保空间。即，很容易确保在维护部12维护时的空间。其结果是能够提高被限制的空间内的机器人100的可维护性。
关于基板运送系统110，基板运送系统110包括筐体111和机器人100，该机器人100配置在筐体111内，用于运送基板S，筐体111具有第一侧壁111a以及第三侧壁111c和第二侧壁111b以及第四侧壁111d，所述第一侧壁111a以及第三侧壁111c在前后方向(规定的第一方向)对着，所述第二侧壁111b以及第四侧壁111d在作为与前后方向相反的方向的左右方向(第二方向)对着，在第二侧壁111b设置有用于维护机器人100的开闭部114，机器人100具有基座1、臂3和手8(末端执行器)，所述基座1具有多个侧部，所述臂3可旋转地连接在基座1，所述手8连接在臂3，基座1收纳控制部品(与臂以及末端执行器的至少一方的控制相关连的部品)，且与第三侧壁111c相比，更接近于第一侧壁111a配置，作为基座1的多个侧部中的一个侧部的第一侧部11a与第一侧壁111a对着，在基座1的多个侧部中的、与第二侧壁111b对着的第二侧部11b设置有维护部12，该维护部12配置有第一板24等维护部品(与控制相关连的部品的至少一部分部品)，用于对维护部品进行维护。
通过该结构，机器人100配置在筐体111内，基座1接近筐体111的第一侧壁111a配置。基座1收纳有控制部品。控制部品中的维护部品配置在维护部12，该维护部12设置在基座1的第二侧部11b。第二侧部11b与筐体111的第二侧壁111b对着。在第二侧壁111b设置有用于维护机器人100的开闭部114。因此，工作人员能够在打开筐体111的开闭部114之后，很容易地进入基座1的维护部12，对维护部品进行维护。其结果是能够在筐体111内的被限制的空间内提高机器人100的可维护性。并且，由于不必在基座1的前后方向设置维护用的空间，因此能够使筐体111的前后方向的尺寸小型化。
并且，筐体111从俯视来看形成为四角形状。
并且，第二侧壁111b与第四侧壁111d之间的间隔大于第一侧壁111a与第三侧壁111c之间的间隔。
通过该结构，由于筐体111内的空间在左右方向广于前后方向，因此很容易在基座1的左右方向确保空间。第二侧部11b朝向第二侧壁111b侧即左右方向。因此，能够利用基座1的左右方向的空间来进行维护部品的维护。其结果是能够有效利用筐体111内的空间，提高可维护性。
臂3的第一端部31a以及可动部21的上端部21a(臂与基座1的连接部分)从俯视来看最接近于多个侧部中的第一侧部11a配置。
通过该结构，由于第一侧部11a与基座1所接近的筐体111的第一侧壁111a对着，因此臂3的第一端部31a接近于第一侧壁111a配置。其结果是能够增加臂3的长度(臂3由多个连杆30构成时，各个连杆30的长度)，扩大臂3的可动范围。
并且，基座1的多个侧部包括第一侧部11a、第二侧部11b、与第一侧部11a对着的第三侧部11c和与第二侧部11b对着的第四侧部11d，基座1从俯视来看形成为四角形状。
通过该结构，基座1从俯视来看形成为大致四角形状，该四角形状被彼此对着的第一侧部11a以及第三侧部11c和彼此对着的第二侧部11b以及第四侧部11d包围着。
并且，配置在维护部12的部品是电气部品。
与机械部品相比，电气部品的交换等维护更简便。因此，维护部12的部品能够在将基座1设置在原有位置的状态下简便地进行维护。
并且，基座1具有风扇18，该风扇18设置在第二侧部11b，排出基座1的内部空气，在第二侧部11b可装卸地安装有覆盖维护部12的第一盖子13a(盖子)，风扇18配置在第二侧部11b中的第一盖子13a之外的部分。
通过该结构，当在维护部12维护时，取下第一盖子13a。由于风扇18配置在第一盖子13a之外的部分，因此即使取下第一盖子13a，风扇18还是配置在第二侧部11b。由此，第一盖子13a的操作变得容易，可维护性提高。
作为末端执行器，采用保持基板S的手8。
通过该结构，机器人100运送基板S。基板S的运送如在筐体111内那样的被净化的空间内进行的情况较多。即，机器人100在被限制的空间内使用的情况较多。在这样的使用状况下，通过上述结构提高可维护性特别有效。
在第一侧壁111a(第一侧壁以及第三侧壁的一方)邻接配置有收纳半导体晶圆的前开式晶圆传送盒121A(容器)，在第三侧壁111c(第一侧壁以及第三侧壁的另一方)邻接配置有处理半导体晶圆的处理装置121B，手8将半导体晶圆作为基板S保持，机器人100在前开式晶圆传送盒121A与处理装置121B之间运送半导体晶圆。
通过该结构，由于对半导体晶圆的操作要求被净化的环境，因此机器人100在如筐体111那样的被限制的空间内使用。在那样的使用状况下，通过上述结构提高可维护性特别有效。
《其它实施方式》
如上所述，将所述实施方式作为本申请公开的技术的例子进行了说明。但是，本公开中的技术并不限定于此，还能够适用于进行了适当改变、置换、附加、省略等的实施方式。并且，也能够将在所述实施方式中说明的各个构成要素进行组合作为新的实施方式。并且，在记载在附图以及详细说明的构成要素中不仅可以包含为解决课题所必须的构成要素，为了对所述技术举例，还可以包含不是为解决课题所必须的构成要素。因此，不应该以那些不是必须的构成要素被记载在附图以及详细说明中，而立刻认为那些不是必须的构成要素是必须的。
例如，虽然机器人100被组装到基板运送系统110中，但并不限定于此。机器人100并不是仅限于在可处理半导体的程度的无尘环境中使用的机器人。机器人100也可以被组装到生产线等中。只是机器人100被配置在筐体111那样的被限制的空间内使用。
基板运送系统110也可以不被组装到基板处理设备120中。即，基板运送系统110只要是机器人100在筐体111内运送基板S，能够采用任何结构。基板S的移动起点以及移动目的地并不限定于前开式晶圆传送盒121A和处理装置121B。
基板S可以是成为半导体基板以及玻璃基板等半导体器件的基板的材料的薄板。作为半导体基板，例如，有矽基板、蓝宝石基板等。作为玻璃基板，例如，有FPD(Flat PanelDisplay)用玻璃基板、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)用玻璃基板等。
并且，也可以是前开式晶圆传送盒121A邻接配置在第一侧壁111a，处理装置121B邻接配置在第三侧壁111c。并且，也可以是前开式晶圆传送盒121A或处理装置121B也邻接配置在第二侧壁111b或第四侧壁111d。
筐体111的结构并不限定于上述结构。也可以是筐体111从俯视来看形成为四角形状之外的形状。例如，也可以是筐体111除了具有彼此对着的第一侧壁111a以及第三侧壁111c和彼此对着的第二侧壁111b以及第四侧壁111d之外，还具有一个或多个其它侧壁。例如，也可以是第一侧壁111a与第二侧壁111b相互不直接连接，而是经由一个或多个其它侧壁连接。并且，即使筐体111从俯视来看大致是长方形状，第一侧壁111a与第三侧壁111c之间的间隔也可以大于第二侧壁111b与第四侧壁111d之间的间隔。
也可以是第一侧壁111a所朝的方向与第二侧壁111b所朝的方向以90度之外的角度交叉。
开闭部114并不限定于门。例如，也可以是开闭部114可装卸在筐体111，当打开开口114a时，开闭部114从筐体111被完全取下。
机器人并不限定于水平多关节机器人100。例如，机器人也可以是垂直多关节机器人。
臂3也可以不由多个连杆30构成。当臂3被分割时，臂3的分割数即连杆30的个数并不限定于3。臂3也可以由两个或4个以上的连杆30构成。
并且，在基板运送系统110中，臂3与基座1的连接部分也可以不是最接近基座1的多个侧部中的第一侧部11a。例如，连接部分也可以最接近多个侧部中的第二侧部11b。并且，连接部分也可以从俯视来看配置在基座1的中心。
末端执行器并不限定于手8。例如，末端执行器也可以是涂装用工具或焊接用工具。即使末端执行器是手8时，手8所保持的对象也并不限定于基板。并且，手8的个数(即，末端执行器的个数)并不限定于两个，也可以是1个或3个以上。
基座1的结构并不限定于上述结构。基座1也可以从俯视来看形成为四角形状之外的形状。例如，基座1也可以除了具有彼此对着的第一侧部11a以及第三侧部11c和彼此对着的第二侧部11b以及第四侧部11d之外，还具有一个或多个其它侧部。例如，第一侧部11a与第二侧部11b也可以不直接连接，而是经由1个或多个其它侧部连接。
也可以是第一侧部11a所朝的方向与第二侧部11b所朝的方向以90度之外的角度交叉。
若维护部12是第二侧部11b，则可以配置在任何位置。例如，维护部12也可以设置在第二侧部11b中的靠近第一侧部11a的部分。并且，维护部12也可以设置在整个第二侧部11b。
维护部12被用第一盖子13a覆盖着，也可以没有第一盖子13a，而是露出来。并且，第一盖子13a也可以如平开门那样，以开闭维护部12的方式安装在基座1。
配置在维护部12的部品也可以是第一板24、第二板25以及电池26之外的部品。例如，当如动作传感器87等那样的、在上述结构中设置在手8的传感器是光学传感器时，那些传感器也可以作为维护部品配置在维护部12。那时，在臂3内将光纤从配置在维护部12的传感器开始铺设到手8。因此，能够通过配置在维护部12的传感器来检测手8中的对象。并且，电磁阀88也可以不配置在臂3的内部，而是作为维护部品配置在维护部12。
并且，控制装置10也可以被收纳在基座1。那时，也可以将包含控制装置10的控制部101等的板作为维护部品配置在维护部12。那时，成为控制装置10的电源的电解电容也可以收纳在基座1。电解电容也可以作为维护部品配置在维护部12。
并且，在手8通过吸附对象来保持的结构中，设置有用于从手8的吸附部吸入空气的配管。在该配管可以设置电磁阀和压力传感器，该电磁阀切换配管内的空气的流通以及切断，该压力传感器检测配管内的压力。这些电磁阀或压力传感器也可以作为维护部品配置在维护部12。
(产业上利用可能性)
如上所述，这里公开的技术对于机器人以及包括机器人的基板运送系统有用。
(符号的说明)
100-水平多关节机器人(机器人)；110-基板运送系统；1-基座；11a-第一侧部；11b-第二侧部；11c-第三侧部；11d-第四侧部；12-维护部；13a-第一盖子(盖子)；18-风扇；21a-可动部的上端部(臂与基座的连接部分)；24-第一板(与控制相关连的部品)；25-第二板(与控制相关连的部品)；26-电池(与控制相关连的部品)；3-臂；31a-第一端部(臂与基座的连接部分)；8-手(末端执行器)；111-筐体；111a-第一侧壁；111b-第二侧壁；111c-第三侧壁；111d-第四侧壁；114-开闭部；121A-前开式晶圆传送盒(容器)；121B-处理装置；S-基板。

Claims (15)

1.一种机器人，其特征在于：
所述机器人包括基座、臂以及末端执行器，所述基座具有多个侧部，所述臂可旋转地连接在所述基座，所述末端执行器连接在所述臂，
所述臂与所述基座的连接部分从俯视来看最接近于作为所述多个侧部中的一个侧部的第一侧部配置着，
所述基座收纳与所述臂和所述末端执行器的至少一方的控制相关连的部品，
在所述多个侧部中的、不是与所述第一侧部平行的第二侧部设置有维护部，该维护部配置有所述部品的至少一部分部品，用于对所述至少一部分部品进行维护。
2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于：
所述基座的多个侧部包括所述第一侧部、所述第二侧部、与所述第一侧部对着的第三侧部以及与所述第二侧部对着的第四侧部，
所述基座从俯视来看形成为四角形。
3.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于：
配置在所述维护部的部品是电气部品。
4.根据权利要求1到3中任意一项所述的机器人，其特征在于：
所述基座具有风扇，所述风扇设置在所述第二侧部，排出所述基座内部的空气，
在所述第二侧部可装卸地安装有覆盖所述维护部的盖子，
所述风扇配置在所述第二侧部中的所述盖子之外的部分。
5.根据权利要求1到4中任意一项所述的机器人，其特征在于:
所述末端执行器是保持基板的手。
6.根据权利要求5所述的机器人，其特征在于:
所述手将半导体晶圆作为基板保持，
所述臂以及所述手在容器与处理装置之间运送半导体晶圆，所述容器收纳半导体晶圆，所述处理装置处理半导体晶圆。
7.一种基板运送系统，其特征在于:
所述基板运送系统包括筐体和机器人，所述机器人配置在所述筐体内，运送基板，
所述筐体具有在规定的第一方向上对着的第一侧壁以及第三侧壁和在作为与所述第一方向不同的方向的第二方向上对着的第二侧壁以及第四侧壁，
在所述第二侧壁设置有用于维护所述机器人的开闭部，
所述机器人具有基座、臂和末端执行器，所述基座具有多个侧部，所述臂可旋转地连接在所述基座，所述末端执行器连接在所述臂，
所述基座收纳与所述臂以及所述末端执行器的至少一方的控制相关连的部品，且与所述第三侧壁相比，更接近所述第一侧壁配置，
作为所述基座的所述多个侧部中的一个侧部的第一侧部与所述第一侧壁对着，
在所述基座的所述多个侧部中的、与所述第二侧壁对着的第二侧部设置有维护部，该维护部配置有所述部品的至少一部分部品，用于对所述至少一部分部品进行维护。
8.根据权利要求7所述的基板运送系统，其特征在于:
所述筐体从俯视来看形成为四角形。
9.根据权利要求7或8所述的基板运送系统，其特征在于:
所述第二侧壁与所述第四侧壁之间的间隔大于所述第一侧壁与所述第三侧壁之间的间隔。
10.根据权利要求7～9中任意一项所述的基板运送系统，其特征在于：
所述臂与所述基座之间的连接部分从俯视来看最接近于所述多个侧部中的所述第一侧部配置着。
11.根据权利要求7～10中任意一项所述的基板运送系统，其特征在于：
所述基座的多个侧部包括所述第一侧部、所述第二侧部、与所述第一侧部对着的第三侧部以及与所述第二侧部对着的第四侧部，
所述基座从俯视来看形成为四角形。
12.根据权利要求7～11中任意一项所述的基板运送系统，其特征在于：
配置在所述维护部的部品是电气部品。
13.根据权利要求7～12中任意一项所述的基板运送系统，其特征在于：
所述基座具有风扇，所述风扇设置在所述第二侧部，排出所述基座内部的空气，
在所述第二侧部可装卸地安装有覆盖所述维护部的盖子，
所述风扇配置在所述第二侧部中的所述盖子之外的部分。
14.根据权利要求7～13中任意一项所述的基板运送系统，其特征在于：
所述末端执行器是保持基板的手。
15.根据权利要求14所述的基板运送系统，其特征在于：
在所述第一侧壁以及所述第三侧壁的一方邻接配置有收纳半导体晶圆的容器，
在所述第一侧壁以及所述第三侧壁的另一方邻接配置有处理半导体晶圆的处理装置，
所述手保持作为基板的半导体晶圆，
所述机器人在所述容器与所述处理装置之间运送半导体晶圆。
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