CN115052737A - 叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件 - Google Patents

叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件 Download PDF

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渡边贵志
杉泽佳史
井上孝德
藤田悠介
滨田大地
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Abstract

提供一种能够提高材料的防漏性的叠层结构体。本发明涉及的叠层结构体具备:第1基材、配置在所述第1基材的表面上的第1层、配置在所述第1层的与所述第1基材侧相反的一侧的表面上的第2层,所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层,所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。

Description

叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件
技术领域
本发明涉及使用了喷墨装置的叠层结构体的制造方法。此外,本发明涉及叠层结构体。此外,本发明涉及使用喷墨装置进行涂布而使用的喷墨用组合物套件。
背景技术
已知有使用喷墨装置涂布组合物的方法。例如,在电子部件的制造中,会使用以下的方法:使用喷墨装置,在基材的表面上,涂布喷墨用组合物,通过光或热等使该组合物固化的方法。
下述的专利文献1中,公开了包含(A)具有烯键式不饱和基的多支链状的低聚物或聚合物、(B)光聚合引发剂、以及(C)热固化性化合物的喷墨印刷用固化性组合物。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:WO2019/189186A1
发明内容
本发明所要解决的技术问题
在半导体装置以及印刷电线板等电子部件中,配置有喷墨用组合物固化而成的固化物层。所述固化物层多作为用于将2个部件等接合的接合剂层而使用。
此外,也有尝试将喷墨用组合物用于与接合用途不同的用途。
例如,如果能够形成以固化物层包围的区域,在该区域的内侧形成金属层,或以固化物层形成隔离壁而使底部填充材料不会渗透扩散,则对电子部件的小型化、低成本化有益。
在所述的用途中,需要使材料(例如,用于形成金属层的材料以及底部填充材料等)不会从意想不到的地方漏出。
本发明的目的在于,提供一种能够提高材料的防漏性的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件。此外,本发明也以提供一种用于制造所述叠层结构体的装置为目的。
解决技术问题的技术手段
根据本发明的广泛方案,提供一种叠层结构体的制造方法,其具备:第1光固化工序,其对以喷墨方式涂布在第1基材的表面上的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层;以及第2光固化工序,其对以喷墨方式涂布在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层,
所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述叠层结构体的制造方法具备:在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧用喷墨方式涂布第2组合物的第2涂布工序,在所述第2光固化工序中,对所述第2涂布工序中涂布的所述第2组合物照射光。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,在所述第1光固化物层的厚度方向上分别进行多次所述第2涂布工序和所述第2光固化工序。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述叠层结构体的制造方法具备:用于加热第1以及第2光固化物层的工序,其将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述叠层结构体的制造方法具备或不具备:用于加热第1以及第2光固化物层的工序,其将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层,
在具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第3组合物照射光,形成所述第3组合物光固化而得到的第3光固化物层的第3光固化工序,
在不具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第3组合物照射光,形成所述第3组合物光固化而得到的第3光固化物层的第3光固化工序,
所述第3组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第2组合物和所述第3组合物是不同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述第1组合物和所述第3组合物是相同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,
在具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
在不具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述第2光固化工序后,对所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
所述平坦化处理为研磨处理。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述叠层结构体的制造方法具备:配置工序,其在所述第3光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上,配置第2基材。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,
在具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第3光固化物层加热,形成所述第3光固化物层热固化而得到的第3光和热固化物层的用于加热第3光固化物层的工序,
在不具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第1光固化物层、所述第2光固化物层以及所述第3光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层、以及所述第3光固化物层热固化而得到的第3光和热固化物层的用于加热第1、第2以及第3光固化物层的工序。
根据本发明的广泛方案,提供一种叠层结构体的制造方法,其具备:向以喷墨方式涂布在第1基材的表面上的第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层的第2光固化工序,
所述制造方法具备或不具备:将所述第2光固化物层加热,形成所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第2光固化物层的工序,
在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序,
在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序,
所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述叠层结构体的制造方法具备:将所述第2光固化物层加热,形成所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第2光固化物层的工序,
在所述第1光固化工序中,向以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,
在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述用于加热第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述第2光固化工序后,对所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
所述平坦化处理为研磨处理。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,
在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第1光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层的用于加热第1光固化物层的工序,
在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第1以及第2光固化物层的工序。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述叠层结构体的制造方法具备:配置工序,其在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上,配置第2基材。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法的一个特定方案中,所述第2基材的表面粗糙度比所述第1基材的表面粗糙度小。
根据本发明的广泛方案,提供一种叠层结构体,其具备:第1基材、配置在所述第1基材的表面上的第1层、以及配置在所述第1层的与所述第1基材侧相反的一侧的表面上的第2层,所述第1层和所述第2层的组合为:所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层,并且所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层的组合;或,所述第1层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层,并且所述第2层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层的组合,
所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层,所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第2层具有研磨了的表面。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述叠层结构体具备:配置在所述第2层的与所述第1层侧相反的一侧的表面上的第2基材。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第1层为所述第1组合物的光和热固化物层,所述第2层为所述第2组合物的光和热固化物层。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第2层的厚度比所述第1层的厚度厚。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第1层的厚度为0.1μm以上10μm以下,所述第2层的厚度为1μm以上1000μm以下。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述叠层结构体具备:配置在所述第2层的与所述第1层侧相反的一侧的表面上的第3层,所述第3层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第3组合物的光固化物层或光和热固化物层,所述第2组合物和所述第3组合物是不同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第1组合物和所述第3组合物是相同的组合物。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述叠层结构体具备配置在所述第3层的与所述第2层侧相反的一侧的表面上的第2基材。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第1基材的表面粗糙度比所述第2基材的表面粗糙度小。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第3层为所述第3组合物的光和热固化物层。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第2层的厚度比所述第3层的厚度厚。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第3层的厚度为0.1μm以上10μm以下。
本发明涉及的叠层结构体的一个特定方案中,所述第1层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层,所述第2层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层。
根据本发明的广泛方案,提供一种喷墨用组合物套件,其为具有第1组合物和第2组合物的喷墨用组合物套件,其中,所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
本发明涉及的喷墨用组合物套件的一个特定方案中,所述喷墨用组合物套件具有第1容器和第2容器,在所述第1容器中收纳有所述第1组合物,在所述第2容器中收纳有所述第2组合物。
发明效果
在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,由于具备所述构成,因此能够提高材料的防漏性。
附图说明
[图1]图1(a)~(c)是用于说明本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的截面图。
[图2]图2(d)~(f)是用于说明本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的截面图。
[图3]图3(g)、(h)是用于说明本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的截面图。
[图4]图4是用于说明本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。
[图5]图5是用于说明本发明的第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。
[图6]图6是用于说明本发明的第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。
[图7]图7是通过第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法制造的叠层结构体的截面图。
[图8]图8是用于说明本发明的第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。
[图9]图9是用于说明本发明的第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。
[图10]图10是通过第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法而制造的叠层结构体的截面图。
[图11]图11是表示图1~3所示的叠层结构体的制造方法中使用的装置的一部分的例子的概要构成图。
[图12]图12是表示图1~3所示的叠层结构体的制造方法中使用的装置的其他例子的概要构成图。
[图13]图13是示意性地表示本发明的第1实施方式涉及的喷墨用组合物套件的截面图。
[图14]图14是表示使用本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体而得到的电子部件的截面图。
具体实施方式
以下,将对本发明详细地进行说明。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法(1)具备:对以喷墨方式涂布在第1基材的表面上的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序(第1组合物用光固化工序)。本发明涉及的叠层结构体的制造方法(1)具备:对以喷墨方式涂布在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层的第2光固化工序(第2组合物用光固化工序)。
本发明涉及的叠层结构体的制造方法(2)具备:对以喷墨方式涂布在第1基材的表面上的第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层的第2光固化工序(第2组合物用光固化工序)。本发明涉及的叠层结构体的制造方法(2)具备或不具备:将所述第2光固化物层加热,形成所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第2光固化物层的工序。本发明涉及的叠层结构体的制造方法(2)在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,具备对以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序(第1组合物用光固化工序)。本发明涉及的叠层结构体的制造方法(2)在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,具备对以喷墨方式涂布在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序(第1组合物用光固化工序)。
在本发明涉及的叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂。在本发明涉及的叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
在本发明涉及的叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,由于具备所述构成,因此能够提高材料的防漏性。
所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备在第1基材的表面上以喷墨方式涂布第1组合物的第1涂布工序(第1组合物用涂布工序)。所述叠层结构体的制造方法(1)优选在所述第1光固化工序和所述第2光固化工序之间,具备在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧用喷墨方式涂布第2组合物的第2涂布工序(第2组合物用涂布工序)。所述第2涂布工序中,优选在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的一侧的表面上用喷墨方式涂布第2组合物。所述第2光固化物层优选与所述第1光固化物层相接。
所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备在第1基材的表面上用喷墨方式涂布第2组合物的第2涂布工序(第2组合物用涂布工序)。所述叠层结构体的制造方法(2)优选在所述第2光固化工序和所述第1光固化工序之间,具备在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧以喷墨方式涂布第1组合物的第1涂布工序(第1组合物用涂布工序)。在所述第1涂布工序中,优选在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的一侧的表面上以喷墨方式涂布第1组合物。所述第1光固化物层优选与所述第2光固化物层相接。
在本说明书中,将所述第1涂布工序和所述第1光固化工序合称为第1光固化物层形成工序(第1组合物用光固化物层形成工序)。此外,在本说明书中,将所述第2涂布工序和所述第2光固化工序合称为第2光固化物层形成工序(第2组合物用光固化物层形成工序)。
因此,所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备在第1基材的表面上以喷墨方式涂布第1组合物,并且,对涂布的所述第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化物层形成工序。所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧以喷墨方式涂布第2组合物,并且,对涂布的所述第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层的第2光固化物层形成工序。
此外,所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备在第1基材的表面上以喷墨方式涂布第2组合物,并且,对涂布的所述第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层的第2光固化物层形成工序。所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧以喷墨方式涂布第1组合物,并且,对涂布的所述第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化物层形成工序。
本发明涉及的叠层结构体具备:第1基材、配置在所述第1基材的表面上的第1层、以及配置于所述第1层的与所述基材侧相反的一侧的表面上的第2层。在本发明涉及的叠层结构体中,所述第1层和所述第2层的组合为以下的第1组合A或以下的组合B。组合A:所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层,所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层。组合B:所述第1层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层,并且所述第2层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层。在本发明涉及的叠层结构体中,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
在本发明涉及的叠层结构体中,由于具备所述构成,因此能够提高材料的防漏性。
本发明涉及的喷墨用组合物套件是具有第1组合物和第2组合物的喷墨用组合物套件。在本发明涉及的喷墨用组合物套件中,所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂。本发明涉及的喷墨用组合物套件中,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
本发明涉及的喷墨用组合物套件中,由于具备所述构成,因此能够提高材料的防漏性。
本发明人们发现了在以往的喷墨用组合物中,存在固化物层的形状保持性较低,材料会向固化物层的周边漏出这一技术问题。本发明人们发现了,特别是在喷墨用组合物为光固化性组合物的情况下,在通过喷墨装置而涂布的组合物的表面,由于空气中的氧的影响,光聚合反应容易受到抑制这一技术问题。此外,如果喷墨用组合物的表面附着有垃圾等粉体,则在附着了粉体的部分,存在光无法充分照射,光聚合反应无法充分进行的情况。本发明人们发现了,在这样的情况下,喷墨用组合物无法充分固化,固化物层的形状保持性容易降低这一技术问题。
并且,本发明人们发现了,在单纯使用包含光反应性高的化合物的组合物的情况下,固化收缩会变大,因此基材和固化物层的接合力容易降低,材料容易从基材和固化物层之间漏出这一技术问题。
并且,本发明人们发现了,就以往的喷墨用组合物而言,在叠层有组成不同的固化物层的情况下,难以充分提高层间接合力,材料容易从层间接合力较低的地方漏出。
以往,作为提高基材与固化物层的接合力的方法,已知有通过用化学溶液处理基材的表面或对基材的表面进行物理损伤,而在基材的表面上形成凹凸的方法、进行底漆处理的方法。然而,在这些方法中,没有涂布喷墨用组合物的部分中的基材表面的性质也会变化,因此,例如,存在在连接部件时发生导电性降低等故障的情况。此外,还存在底漆和固化物层的接合强度降低的情况。
此外,为了减少空气中的氧的影响,能够在用氮等进行置换的同时涂布组合物的装置的开发也正在探讨中。然而,存在装置的尺寸变大或装置的费用变高的问题。
对于本发明人发现的新技术问题,就以往的方法而言,难以提高材料的防漏性。
与之相对,在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,即使不进行基材的表面处理,并且即使不使用能够进行氮置换的装置,也能够提高第1组合物和第2组合物固化而成的固化物层的形状保持性,并且能够提高与基材的接合力以及层间接合力。
在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,由于使用特定的第1组合物和特定的第2组合物,因此能够提高第1组合物和第2组合物固化而成的固化物层的形状保持性。此外,在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,由于使用了特定的第1组合物和特定的第2组合物,因此能够提高基材与第1组合物的固化物层的接合力,并且能够提高第1组合物的固化物层与第2组合物的固化物层的层间接合力。
因此,在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,材料(例如,用于形成金属层的材料以及底部填充材料等)不易从基材与固化物层之间等漏出。例如,在以固化物层包围的区域的内侧配置有材料的情况下,该材料不易从该区域的内侧向外侧漏出。此外,例如,在以固化物层包围的区域的外侧配置有材料的情况下,该材料不易从该区域的外侧向内侧漏出。
在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,能够提高第1组合物以及第2组合物的光固化物层、以及光和热固化物层的形状保持性。
此外,在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,由于能够使固化物层的强度良好,因此能够有效地抑制固化物层的损伤,并且能够有效地抑制垃圾等粉体附着在固化物层上。
(叠层结构体的制造方法)
以下,一边参照附图,一边对本发明的具体实施方式进行说明。需要说明的是,在以下的附图中,为了便于图示,大小、厚度以及形状等可能与实际的大小、厚度以及形状等不同。
图1(a)~(c)、图2(d)~(f)以及图3(g)、(h)是用于说明本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的截面图。图4是用于说明本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。图1~4中的第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法为所述叠层结构体的制造方法(1)。
在图1~3中,为了制造叠层结构体,使用了具备平台11、第1喷出部12、第1光照射部13、第2喷出部14、第2光照射部15的装置10。第1喷出部12是用于喷出第1组合物的零件,是喷墨头。第2喷出部14是用于喷出第2组合物的零件,是喷墨头。因此,装置10是喷墨装置。第1喷出部12与第2喷出部14之间配置有第1光照射部13。在第2喷出部14的与第1光照射部13侧的相反侧,配置有第2光照射部15。第1光照射部13以及第2光照射部15可以照射紫外线。
<第1光固化物层形成工序(图4的S1以及S2)>
首先,如图1(a)所示,在平台11的表面上配置第1基材3。第1基材3固定在平台11的表面上。第1基材3吸附于平台11。接下来,以喷墨方式,在第1基材3的表面上涂布第1组合物1(第1涂布工序)。由第1喷出部12涂布第1组合物1。第1组合物1涂布至第1基材3的给定位置。第1组合物1部分性地涂布在第1基材3的表面上。
接下来,如图1(b)所示,移动平台11,直至涂布的第1组合物1位于第1光照射部13的下方。也可以移动喷墨装置来代替移动平台11。由第1光照射部13对第1组合物1照射光(紫外线),形成第1组合物光固化而得到的第1光固化物层1A(第1光固化工序)。
所述第1光固化工序后,对是否重复第1光固化物层形成工序进行判断(图4的S3)。在重复所述第1光固化物层形成工序的情况下,在形成的第1光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第1组合物。
<第2光固化物层形成工序(图4的S4以及S5)>
接下来,如图1(c)所示,移动平台11,直至第1光固化物层1A位于第2喷出部14的下方。也可以移动喷墨装置来代替移动平台11。以喷墨方式,在第1光固化物层1A的与第1基材3侧相反的表面侧涂布第2组合物2(第2涂布工序)。由第2喷出部14涂布第2组合物2。
接下来,如图2(d)所示,移动平台11,直至涂布的第2组合物2位于第2光照射部15的下方。也可以移动喷墨装置来代替移动平台11。由第2光照射部15对第2组合物2照射光(紫外线),形成第2组合物光固化而得到的第2光固化物层2A(第2光固化工序)。
所述第2光固化工序后,对是否重复第2光固化物层形成工序进行判断(图4的S6)。在重复所述第2光固化物层形成工序的情况下,在形成的第2光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第2组合物。
图2(e)、(f)是表示第2次的第2光固化物层形成工序的图。如图2(e)所示,移动平台11,直至第2光固化物层2A位于第2喷出部14的下方。也可以移动喷墨装置来代替移动平台11。以喷墨方式,在第2光固化物层2A的与第1基材3侧相反的表面上涂布第2组合物2。即,在第1光固化物层1A的与第1基材3侧相反的表面侧涂布第2组合物2(第2涂布工序)。由第2喷出部14涂布第2组合物2。
接下来,如图2(f)所示,移动平台11,直至涂布的第2组合物2位于第2光照射部15的下方。也可以移动喷墨装置来代替移动平台11。由第2光照射部15对第2组合物2照射光(紫外线),形成第2组合物光固化而得到的第2光固化物层2A(第2光固化工序)。
所述第2光固化物层形成工序在第1光固化物层的厚度方向上,进行2次图1(c)以及图2(d)、图2(e)、图2(f)。通过在第1光固化物层的厚度方向上进行多次所述第2光固化物层形成工序,能够使第2光固化物层的厚度增大。所述第2光固化物层形成工序可以进行2次以上,也可以进行3次以上。
通过在第1光固化物层的厚度方向上进一步进行多次所述第2光固化物层形成工序,能够得到如图3(g)所示具备第1基材3、第1光固化物层1A、第2光固化物层2A,并且第2光固化物层2A的厚度比第1光固化物层1A的厚度更大的叠层结构体4A。
<用于加热第1以及第2光固化物层的工序(图4的S7)>
接下来,对第1光固化物层1A以及第2光固化物层2A进行加热,形成第1光固化物层1A热固化而得到的第1光和热固化物层1B、以及第2光固化物层2A热固化而得到的第2光和热固化物层2B(用于加热第1以及第2光固化物层的工序)。
如此,能够得到具备第1基材3、第1光和热固化物层1B、第2光和热固化物层2B的叠层结构体4B。
图5、6是用于说明本发明的第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法是叠层结构体的制造方法(1)。图7是通过第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法制造的叠层结构体的截面图。
<第1光固化物层形成工序(图5的S1以及S2)>
在第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法中,以与所述第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法中的第1光固化物层形成工序(图1(a)、(b))同样的方式,进行第1光固化物层形成工序。
所述第1光固化工序后,对是否重复第1光固化物层形成工序进行判断(图5的S3)。在重复所述第1光固化物层形成工序的情况下,在形成的第1光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第1组合物。
<第2光固化物层形成工序(图5的S4以及S5)>
在第2实施方式涉及的叠层结构体的制造方法中,以与所述第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法中的第2光固化物层形成工序(图1(c)、(d))同样的方式,进行第2光固化物层形成工序。
所述第2光固化工序后,对是否重复第2光固化物层形成工序进行判断(图5的S6)。在重复所述第2光固化物层形成工序的情况下,在形成的第2光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第2组合物。
<用于加热第1以及第2光固化物层的工序(图6的S8)>
所述第2光固化工序后,对是否进行用于加热第1以及第2光固化物层的工序进行判断(图6的S7)。在进行用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,对第1光固化物层以及第2光固化物层进行加热,形成第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层(用于加热第1以及第2光固化物层的工序)。
通过进行用于加热第1以及第2光固化物层的工序,能够得到具备第1基材、第1光和热固化物层、第2光和热固化物层的叠层结构体。
<平坦化处理工序(图6的S10)>
在进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,在所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序后,对是否进行平坦化处理工序进行判断(图6的S9)。在不进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,在所述第2光固化工序后,对是否进行平坦化处理工序进行判断(图6的S9)。在本实施方式中,作为平坦化处理,对是否进行研磨处理进行判断。
在进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序,并且进行所述平坦化处理工序的情况下,在所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理(平坦化处理工序)。在不进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序,并且进行所述平坦化处理工序的情况下,对所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理(平坦化处理工序)。
<第3光固化物层形成工序(图6的S11以及S12)>
以与所述第1光固化物层形成工序或所述第2光固化物层形成工序同样的方法,使用所述第3组合物进行第3光固化物层形成工序。
在进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,在第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上以喷墨方式涂布第3组合物(第3涂布工序(第3组合物用涂布工序))。在不进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,在第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上以喷墨方式涂布第3组合物(第3涂布工序(第3组合物用涂布工序))。由喷墨装置所具备的给定的喷出部涂布第3组合物。需要说明的是,在第1组合物和第3组合物是相同的组合物的情况下,在第3涂布工序中,实质上,是在第2光和热固化物层或第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上以喷墨方式涂布第1组合物。
接下来,由喷墨装置所具备的给定的光照射部对第3组合物照射光(紫外线),形成第3组合物光固化而得到的第3光固化物层(第3光固化工序(第3组合物用光固化工序))。在第1组合物和第3组合物是相同的组合物的情况下,在第3光固化工序中,实质上是由喷墨装置所具备的给定的光照射部照射光(紫外线),形成第1组合物光固化而得到的第3光固化物层。
所述第3光固化工序后,对是否重复第3光固化物层形成工序进行判断(图6的S13)。在重复所述第3光固化物层形成工序的情况下,在形成的第3光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第3组合物。
需要说明的是,在说明书中,将所述第3涂布工序和所述第3光固化工序合称为第3光固化物层形成工序(第3组合物用光固化物层形成工序)。
<配置工序(图6的S14)>
在所述第3光固化物层形成工序后,在所述第3光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上,配置第2基材(配置工序)。
<用于加热第3光固化物层的工序、或用于加热第1、第2以及第3光固化物层的工序(图6的S15)>
在进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,在所述配置工序后,将所述第3光固化物层加热,形成第3光和热固化物层(用于加热第3光固化物层的工序)。在不进行所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,在所述配置工序后,将所述第1光固化物层、所述第2光固化物层以及所述第3光固化物层加热,形成第1光和热固化物层、第2光和热固化物层以及第3光和热固化物层(用于加热第1、第2以及第3光固化物层的工序)。所述第1光和热固化物层为所述第1光固化物层热固化而得到的层。所述第2光和热固化物层为所述第2光固化物层热固化而得到的层。所述第3光和热固化物层为所述第3光固化物层热固化而得到的层。
如此,能够得到如图7所示,依次具备第1基材3、第1光和热固化物层1D、第2光和热固化物层2D、第3光和热固化物层6D、第2基材7的叠层结构体4D。
图8、9是用于说明本发明的第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法的各工序的流程图。第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法是叠层结构体的制造方法(2)。图10是通过第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法制造的叠层结构体的截面图。
<第2光固化物层形成工序(图8的S1以及S2)>
在第3实施方式涉及的叠层结构体的制造方法中,除了在第1基材的表面上涂布第2组合物以外,以与所述第1实施方式涉及的叠层结构体的制造方法中的第2光固化物层形成工序(图1(c)、(d))同样的方式,进行第2光固化物层形成工序。
具体而言,以喷墨方式,在第1基材的表面上,涂布第2组合物(第2涂布工序)。第2组合物涂布于第1基材的给定位置。第2组合物部分性地涂布在第1基材的表面上。
接下来,对涂布的第2组合物照射光(紫外线),形成第2组合物光固化而得到的第2光固化物层(第2光固化工序)。
所述第2光固化工序后,对是否重复第2光固化物层形成工序进行判断(图8的S3)。在重复所述第2光固化物层形成工序的情况下,在形成的第2光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第2组合物。
<用于加热第2光固化物层的工序(图8的S5)>
在所述第2光固化工序后,对是否进行用于加热第2光固化物层的工序进行判断(图8的S4)。在进行用于加热第2光固化物层的工序的情况下,对第2光固化物层进行加热,形成第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层(用于加热第2光固化物层的工序)。
<平坦化处理工序(图9的S7)>
在进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,在所述用于加热第2光固化物层的工序后,对是否进行平坦化处理工序进行判断(图9的S6)。在不进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,在所述第2光固化工序后,对是否进行平坦化处理工序进行判断(图9的S6)。
在进行所述用于加热第2光固化物层的工序,并且进行所述平坦化处理工序的情况下,在所述用于加热第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理(平坦化处理工序(第2光和热固化物层用平坦化处理工序))。在不进行所述用于加热第2光固化物层的工序,并且进行所述平坦化处理工序的情况下,对所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理(平坦化处理工序(第2光固化物层用平坦化处理工序))。
<第1光固化物层形成工序(图9的S8以及S9)>
在进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,以喷墨方式,在第2光和热固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第1组合物(第1涂布工序)。在不进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,以喷墨方式,在第2光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第1组合物(第1涂布工序)。
接下来,在进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,对以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层(第1光固化工序)。在不进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,对以喷墨方式涂布在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层(第1光固化工序)。
在所述第1光固化工序后,对是否重复第1光固化物层形成工序进行判断(图9的S10)。在重复所述第1光固化物层形成工序的情况下,在形成的第1光固化物层的与第1基材侧相反的表面侧涂布第1组合物。
<配置工序(图9的S11)>
在所述第1光固化物层形成工序后,在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上配置第2基材(配置工序)。
<用于加热第1光固化物层的工序、或用于加热第1以及第2光固化物层的工序(图9的S12)>
在进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,在所述配置工序后,将所述第1光固化物层加热,形成第1光和热固化物层(用于加热第1光固化物层的工序)。在不进行所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,在所述配置工序后,将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成第1光和热固化物层以及第2光和热固化物层(用于加热第1以及第2光固化物层的工序)。所述第1光和热固化物层为所述第1光固化物层热固化而得到的层。所述第2光和热固化物层为所述第2光固化物层热固化而得到的层。
如此,能够得到如图10所示,依次具备第1基材3、第2光和热固化物层2E、第1光和热固化物层1E、第2基材7的叠层结构体4E。
<叠层结构体的制造方法的其他详细内容>
第1、第2以及第3光固化物层形成工序的其他详细内容:
所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述第1涂布工序,也可以不具备所述第1涂布工序。所述叠层结构体的制造方法(2)可以具备所述第2涂布工序,也可以不具备所述第2涂布工序。所述叠层结构体(1)优选依次具备所述第1涂布工序、所述第1光固化工序、所述第2涂布工序、以及所述第2光固化工序。所述叠层结构体(2)优选依次具备所述第2涂布工序、所述第2光固化工序、所述第1涂布工序、以及所述第1光固化工序。所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述第3涂布工序,也可以不具备所述第3涂布工序。所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述第3光固化工序,也可以不具备所述第3光固化工序。所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述第3光固化物层形成工序,也可以不具备所述第3光固化物层形成工序。
在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,可以对特定的区域涂布第1组合物后,对涂布的第1组合物的整体照射光而形成第1光固化物层。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,也可以每涂布数滴第1组合物,就对涂布的第1组合物照射光而形成第1光固化物层。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,也可以每涂布1滴第1组合物,就对涂布的第1组合物照射光而形成第1光固化物层。
在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第1光固化物层形成工序可以如图1所示,在第1基材的厚度方向上,仅进行1次。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第1光固化物层形成工序也可以在第1基材的厚度方向上进行多次。即,在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,可以在第1基材的厚度方向上分别仅进行1次所述第1涂布工序和所述第1光固化工序,也可以进行多次所述第1涂布工序和所述第1光固化工序。通过在第1基材的厚度方向上进行多次所述第1光固化物层形成工序,能够使第1光固化物层的厚度增大。
在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第1光固化物层形成工序在所述第2光固化物层形成工序之前进行。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第2光固化物层形成工序在所述第1光固化物层形成工序之前进行。所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第1光固化物层形成工序以及所述第2光固化物层形成工序在所述第3光固化物层形成工序之前进行。
在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,可以在对特定的区域涂布第2组合物后,对涂布的第2组合物的整体照射光而形成第2光固化物层。所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,也可以每涂布数滴第2组合物,就对涂布的第2组合物照射光而形成第2光固化物层。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,也可以每涂布1滴第2组合物,就对涂布的第2组合物照射光而形成第2光固化物层。
在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第2光固化物层形成工序可以在第1光固化物层的厚度方向上仅进行1次。在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第2光固化物层形成工序也可以如图1、2所示,在第1光固化物层的厚度方向上进行多次。即,在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第2涂布工序和所述第2光固化工序分别可以在第1光固化物层的厚度方向上仅进行1次,也可以进行多次。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第2光固化物层形成工序可以在第1基材的厚度方向上仅进行1次。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第2光固化物层形成工序也可以在第1基材的厚度方向上进行多次。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第2涂布工序和所述第2光固化工序分别可以在第1基材的厚度方向上仅进行1次,也可以进行多次。通过在第1光固化物层的厚度方向或第1基材的厚度方向上进行多次所述第2光固化物层形成工序,能够使第2光固化物层的厚度增大。所述第2光固化物层形成工序优选在第1光固化物层的厚度方向或第1基材的厚度方向上进行多次。需要说明的是,根据作为目标的第2光固化物层的厚度,重复所述第2光固化物层形成工序的次数可以适宜变更。
在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,可以在对特定的区域涂布第3组合物后,对涂布的第3组合物的整体照射光而形成第3光固化物层。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,可以每涂布数滴第3组合物,就对涂布的第3组合物照射光而形成第3光固化物层。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,可以每涂布1滴第3组合物,就对涂布的第3组合物照射光而形成第3光固化物层。
在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第3光固化物层形成工序可以在第2光固化物层的厚度方向上仅进行1次。在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第3光固化物层形成工序也可以在第2光固化物层的厚度方向上进行多次。即,在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第3涂布工序和所述第3光固化工序分别可以在第2光固化物层的厚度方向上仅进行1次,也可以进行多次。通过在第2光固化物层的厚度方向上进行多次所述第3光固化物层形成工序,能够使第3光固化物层的厚度增大。
在所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)中,所述第1光固化工序、所述第2光固化工序以及第3光固化工序中的光照射优选为紫外线照射。
所述第1光固化工序、所述第2光固化工序以及第3光固化工序中的紫外线的照度以及照射时间可以根据第1组合物、所述第2组合物以及第3组合物的组成、以及组合物的涂布厚度而适宜变更。所述第1光固化工序、所述第2光固化工序以及第3光固化工序中的紫外线的照度例如可以为1000mW/cm2以上,也可以为5000mW/cm2以上,可以为10000mW/cm2以下,也可以为8000mW/cm2以下。所述第1光固化工序、所述第2光固化工序以及第3光固化工序中的紫外线的照射时间例如可以为0.01秒以上,也可以为0.1秒以上,可以为400秒以下,也可以为100秒以下。
加热工序的其他详细内容:
所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序,也可以不具备。所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述用于加热第3光固化物层的工序,也可以不具备。所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述用于加热第1、第2以及第3光固化物层的工序,也可以不具备。所述叠层结构体的制造方法(2)可以具备所述用于加热第2光固化物层的工序,也可以不具备。所述叠层结构体的制造方法(2)可以具备所述用于加热第1光固化物层的工序,也可以不具备。所述叠层结构体的制造方法(2)可以具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序,也可以不具备。从提高第1以及第2组合物的固化物层的强度的观点出发,所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序。从提高第3组合物的固化物层的强度的观点出发,所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备所述用于加热第3光固化物层的工序。从提高第1、第2以及第3组合物的固化物层的强度的观点出发,所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备所述用于加热第1、第2以及第3光固化物层的工序。从提高第2组合物的固化物层的强度的观点出发,所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备所述用于加热第2光固化物层的工序。从提高第1组合物的固化物层的强度的观点出发,所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备所述用于加热第1光固化物层的工序。从提高第1以及第2组合物的固化物层的强度的观点出发,所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序。
在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序在所述第2光固化物层形成工序之后进行。在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序优选在所述第3光固化物层形成工序之前进行,优选在所述用于加热第3光固化物层的工序之前进行。在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序可以在所述第3光固化物层形成工序之后进行。在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述用于加热第3光固化物层的工序可以在所述配置工序之前进行,也可以在所述配置工序之后进行。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述用于加热第2光固化物层的工序在所述第2光固化物层形成工序之后进行。在所述第2叠层结构体的制造方法(2)中,所述用于加热第2光固化物层的工序优选在所述第1光固化物层形成工序之前进行,优选在所述用于加热第1光固化物层的工序之前进行。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述用于加热第1光固化物层的工序可以在所述配置工序之前进行,也可以在所述配置工序之后进行。
在所述加热工序中,优选对配置的各光固化物层同时进行加热。
所述加热工序各自的加热温度以及加热时间可以根据第1组合物、所述第2组合物以及第3组合物的组成、以及组合物的涂布厚度而适宜变更。所述加热工序中的加热温度例如可以为100℃以上,可以为120℃以上,可以为250℃以下,可以为200℃以下。所述加热工序中的加热时间例如可以为5分钟以上,可以为30分钟以上,可以为600分钟以下,可以为300分钟以下。
平坦化处理工序的其他详细内容:
所述叠层结构体的制造方法(1)可以具备所述平坦化处理工序,也可以不具备。所述叠层结构体的制造方法(2)可以具备所述平坦化处理工序,也可以不具备。在制造具备第1基材和第2基材的叠层结构体的情况下,所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)优选具备所述平坦化处理工序。通过进行所述平坦化处理,即使配置于所述第2光固化物层(或所述第2光和热固化物层)和第2基材之间的固化物层的厚度较小,也能够提高该固化物层与第2基材的接合力。
在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述平坦化处理工序可以在所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序之前进行,也可以在之后进行。在所述叠层结构体的制造方法(1)中,优选在所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述平坦化处理工序可以在所述用于加热第2光固化物层的工序之前进行,也可以在之后进行。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,优选在所述用于加热第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理。在这些情况下,能够提高基材与固化物层的接合力,并且由于能够提高固化物层的强度,因此能够抑制平坦化处理时固化物层从第1基材处剥离、固化物层损坏等情况。
作为所述平坦化处理,可以举出研磨处理等。作为所述研磨处理,可以举出基于使用了金刚石的磨盘加工的切削研磨处理、以及化学机械研磨处理等。
从所述平坦化处理容易进行的观点出发,所述平坦化处理优选为研磨处理。从所述平坦化处理特别容易的观点出发,所述研磨处理优选为基于使用了金刚石的磨盘加工的切削研磨处理,更优选为基于使用了金刚石的磨盘加工的切削研磨处理与化学机械研磨处理这两者的处理。
作为可以在所述平坦化处理(研磨处理)中使用的装置,可以举出Keylink公司制“平坦化装置”,DISCO公司制“DFS8910”等。
所述平坦化处理后的所述第2光和热固化物层(或所述第2光固化物层)的表面的最大高度与最小高度的差的绝对值优选为5μm以下,更优选为3μm以下,进一步优选为1μm以下。所述差的绝对值如果为所述上限以下,则能够进一步有效地抑制接合不良,进一步有效地抑制贴合至平坦化处理后的表面的部件的倾斜。需要说明的是,所述差的绝对值可以为0.5μm以上。
配置工序的其他详细内容:
所述叠层结构体的制造方法(1)、(2)可以具备所述配置工序,也可以不具备所述配置工序。所述叠层结构体的制造方法(1)优选具备在所述第3光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上配置第2基材的配置工序。需要说明的是,所述叠层结构体的制造方法(1)中,在所述用于加热第3光固化物层的工序在所述配置工序之前进行的情况下,在所述配置工序中,在所述第3光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上配置第2基材。所述叠层结构体的制造方法(2)优选具备在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上配置第2基材的配置工序。需要说明的是,所述叠层结构体的制造方法(2)中,在所述用于加热第1光固化物层的工序在所述配置工序之前进行的情况下,在所述配置工序中,在所述第1光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上配置第2基材。
所述配置第2基材的方法无特别限定。
所述第1基材与所述第2基材可以为相同的基材,可以为不同的基材。
与所述第2组合物的固化物层接触的基材优选为表面具有凹凸的基材,或表面进行了底漆处理的基材。在该情况下,能够进一步提高与所述第2组合物的固化物层的接合性,能够进一步有效地发挥本发明的效果。此外,能够提高长期可靠性。作为在基材的表面上形成凹凸的方法,可以举出使用刷子的方法以及进行喷砂加工的方法等。
与所述第1组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度优选比与所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度更小。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,与所述第1组合物的固化物层接触的基材为所述第2基材,与所述第2组合物的固化物层接触的基材为所述第1基材。因此,在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第2基材的表面粗糙度优选比所述第1基材的表面粗糙度更小。
所述表面粗糙度是指与第1组合物、第2组合物或第3组合物的固化物层接触的区域中的表面粗糙度。此外,所述表面粗糙度是指依照JIS B0601:1994而测定的算术平均粗糙度Ra。
与所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度优选为100nm以上,更优选为200nm以上,优选为1000nm以下,更优选为500nm以下。
和所述第1组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度与和所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度的差的绝对值优选为50nm以上,更优选为100nm以上,优选为900nm以下,更优选为800nm以下。
在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第1基材优选为陶瓷基板或硅基板,更优选为硅基板。在所述叠层结构体的制造方法(1)中,所述第2基材优选为玻璃基板。
在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第1基材优选为陶瓷基板或硅基板,更优选为陶瓷基板。在所述叠层结构体的制造方法(2)中,所述第2基材优选为玻璃基板。
(装置)
在本说明书中,还公开了用于制造所述叠层结构体的装置。所述装置具备:平台、用于喷出所述第1组合物的第1喷出部、用于喷出所述第2组合物的第2喷出部、配置于所述第1喷出部和所述第2喷出部之间的第1光照射部。在所述第1组合物与所述第3组合物是不同的组合物的情况下,所述装置优选具备用于喷出所述第3组合物的第3喷出部。
所述第1喷出部优选为喷墨头,所述第2喷出部优选为喷墨头。所述第3喷出部优选为喷墨头。所述装置优选为喷墨装置。
以下,对不具备第3喷出部的装置进行详述,但第3喷出部可以设为与第1喷出部或第2喷出部相同的构成。
所述装置可以仅具备1个用于喷出所述第1组合物的所述第1喷出部,也可以具备2个以上。所述装置可以仅具备1个用于喷出所述第2组合物的所述第2喷出部,也可以具备2个以上。在所述装置具备多个所述第1喷出部以及所述第2喷出部的情况下,能够提高叠层结构体的制造效率。
从提高叠层结构体的制造效率的观点出发,所述装置优选具备配置于所述第1喷出部的与所述第1光照射部相反的一侧或配置于所述第2喷出部的与所述第1光照射部相反的一侧的第2光照射部。在该情况下,所述第2光照射部可以配置在所述第1喷出部的与所述第1光照射部相反的一侧,也可以配置在所述第2喷出部的与所述第1光照射部相反的一侧,也可以配置于所述第1喷出部的与所述第1光照射部相反的一侧以及所述第2喷出部的与所述第1光照射部相反的一侧这两者。
但是,所述装置也可以不具备所述第2光照射部。在所述装置不具备所述第2光照射部的情况下,使用所述第1光照射部,进行所述第1光固化工序以及所述第2光固化工序。
优选所述第1光照射部以及所述第2光照射部可以照射紫外线。所述第1光照射部优选为第1紫外线照射部,所述第2光照射部优选为第2紫外线照射部。
作为第1紫外线照射部以及所述第2紫外线照射部,可以举出产生紫外线的发光二极管(UV-LED)等。
此外,所述装置可以如图11(a)所示,具备储藏有第1组合物的第1油墨罐16、第1循环流路部17,可以如图11(b)所示,具备储藏有第2组合物的第2油墨罐18、第2循环流路部19。第1循环流路部17连接第1油墨罐16与第1喷出部12。第1组合物在第1循环流路部17的内部流通。此外,第2循环流路部19连接第2油墨罐18与第2喷出部14。第2组合物在第2循环流路部19的内部流通。
第1循环流路部17在第1循环流路部17内具有缓冲罐17A和泵17B。但是,如图12(a)所示,第1循环流路部17X也可以在第1循环流路部17X内不具有缓冲罐与泵。所述第1循环流路部在所述第1循环流路部内,优选具有所述缓冲罐,优选具有所述泵。此外,所述第1循环流路部在所述第1循环流路部内,除了缓冲罐以及泵之外,也可以具有流速计、温度计、过滤器、液面传感器等。
第2循环流路部19在第2循环流路部19内,具有缓冲罐19A和泵19B。但是,如图12(b)所示,第2循环流路部19X也可以在第2循环流路部19X内,不具有缓冲罐和泵。所述第2循环流路部在所述第2循环流路部内,优选具有所述缓冲罐,优选具有所述泵。此外,所述第2循环流路部在所述第2循环流路部内,除了缓冲罐以及泵之外,也可以具有流速计、温度计、过滤器、液面传感器等。
在具备缓冲罐17A、19A或泵17B、19B的情况下,缓冲罐17A、19A以及泵17B、19B优选分别配置于喷出部12、14与油墨罐16、18之间。缓冲罐17A、19A与泵17B、19B相比更靠近喷出部12、14侧。泵17B、19B与缓冲罐17A、19A相比更靠近油墨罐16、18侧。缓冲罐17A中暂时储存有所述第1组合物。缓冲罐19A中暂时储存有所述第2组合物。
关于所述第1组合物以及所述第2组合物的循环方法,可以利用该组合物的自身重量,或利用泵等进行加压、减压等,而使其循环。也可以将这些方法多种组合使用。作为泵,可以举出圆柱式的无脉动泵、螺旋桨泵、齿轮泵和隔膜泵等。从提高循环效率,进一步提高固化物层的形成精度的观点出发,所述第1、第2循环流路部优选包含在所述第1、第2循环流路部内移送所述第1、第2组合物的泵。
从进一步提高固化物层的形成精度的观点出发,所述第1、第2循环流路部优选包含在所述第1、第2循环流路部中暂时储存所述第1、第2组合物的缓冲罐。
在一边对所述第1、第2组合物进行加热一边使其循环的情况下,可以通过向所述第1、第2油墨罐内导入加热器,或对所述第1、第2循环流路部使用加热器,来对所述第1、第2组合物的温度进行调节。
所述第1循环流路部优选为用于使所述第1组合物在30℃以上进行循环的循环流路部,更优选为用于使其在40℃以上进行循环的循环流路部,优选为用于使其在100℃以下进行循环的循环流路部,优选为用于使其在90℃以下进行循环的循环流路部。在该情况下,能够使第1组合物的粘度最适化,能够提高第1组合物的喷出性。
所述第2循环流路部优选为用于使所述第2组合物在30℃以上进行循环的循环流路部,更优选为用于使其在40℃以上进行循环的循环流路部,优选为用于使其在100℃以下进行循环的循环流路部,优选为用于使其在90℃以下进行循环的循环流路部。在该情况下,能够使第2组合物的粘度最适化,能够提高第2组合物的喷出性。
在所述喷出部的喷出喷嘴中,优选保持适当的压力,并且在其范围内压力变动(脉动)较少。在使用泵等的情况下,为了抑制泵的脉动,优选在泵与所述喷出部之间设置衰减器。作为这样的衰减器,可以举出暂时储存所述第1、第2组合物的缓冲罐、膜式的阻尼等。
所述第1、第2涂布工序中,在所述装置内,使所述第1、第2组合物从第1、第2油墨罐移动至第1、第2喷出部处后,使未从第1、第2喷出部喷出的所述第1、第2组合物在第1、第2循环流路部内流通,向第1、第2油墨罐移动。由此,能够在所述第1、第2涂布工序中,一边使所述第1、第2组合物循环,一边进行涂布。
(叠层结构体)
本发明涉及的叠层结构体具备:第1基材、配置在所述第1基材的表面上的第1层(层X)、配置在所述第1层的与所述第1基材侧相反的一侧的表面上的第2层(层Y)。在本发明涉及的叠层结构体中,所述第1层和所述第2层的组合为以下的组合A或以下的组合B。组合A:所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层,所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层。组合B:所述第1层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层,并且所述第2层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层。在本发明涉及的叠层结构体中,所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。本发明涉及的叠层结构体可以满足所述组合A,也可以满足所述组合B。
通过使所述第1组合物固化,形成作为第1组合物的固化物层的第1层。通过使所述第2组合物固化,形成作为第2组合物的固化物层的第2层。更具体而言,通过对所述第1组合物照射紫外线等光使其光固化,而形成作为第1组合物的光固化物层的第1层。通过对所述第2组合物照射紫外线等光使其光固化,而形成作为第2组合物的光固化物层的第2层。
在本发明涉及的叠层结构体满足所述组合A的情况下,本发明涉及的叠层结构体优选进一步满足以下的构成。从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第1层优选为所述第1组合物的光和热固化物层,所述第2层优选为所述第2组合物的光和热固化物层。通过对所述第1组合物的光固化物层(第1光固化物层)进行加热,形成作为光和热固化物层的第1层(第1光和热固化物层)。通过对所述第2组合物的光固化物层(第2光固化物层)进行加热,形成作为光和热固化物层的第2层(第2光和热固化物层)。
在本发明涉及的叠层结构体满足所述组合B的情况下,本发明涉及的叠层结构体优选进一步满足以下的构成。从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第1层优选为所述第2组合物的光和热固化物层,所述第2层优选为所述第1组合物的光和热固化物层。通过对所述第2组合物的光固化物层(第2光固化物层)进行加热,形成作为光和热固化物层的第1层(第2光和热固化物层)。通过对所述第1组合物的光固化物层(第1光固化物层)进行加热,形成作为光和热固化物层的第2层(第1光和热固化物层)。
所述第2层优选具有研磨了的表面。
所述叠层结构体可以具备配置在所述第2层的与所述第1层侧相反的一侧的表面上的第3层(层Z)。所述第3层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第3组合物的光固化物层。在所述叠层结构体中,所述第2组合物和所述第3组合物是不同的组合物。在本发明涉及的叠层结构体满足所述组合A的情况下,本发明涉及的叠层结构体优选具备所述第3层。
所述叠层结构体优选具备配置在所述第2层的与所述第1层侧相反的一侧的表面上的第2基材。在所述叠层结构体具备所述第3层的情况下,所述叠层结构体优选具备配置在所述第3层的与所述第2层侧相反的一侧的表面上的第2基材。
在所述叠层结构体中,与所述第1组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度优选比与所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度更小。所述叠层结构体中,与所述第3组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度优选比与所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度更小。因此,在所述组合A的情况下,在所述叠层结构体中,所述第1基材的表面粗糙度优选比所述第2基材的表面粗糙度更小。在所述组合B的情况下,在所述叠层结构体中,所述第2基材的表面粗糙度优选比所述第1基材的表面粗糙度更小。
所述表面粗糙度是指与第1组合物、第2组合物或第3组合物的固化物层接触的区域中的表面粗糙度。此外,所述表面粗糙度是指依照JIS B0601:1994而测定的算术平均粗糙度Ra。
在所述叠层结构体中,与所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度优选为100nm以上,更优选为200nm以上,优选为1000nm以下,更优选为500nm以下。
在所述叠层结构体中,和所述第1组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度与和所述第2组合物的固化物层接触的基材的表面粗糙度的差的绝对值优选为50nm以上,更优选为100nm以上,优选为900nm以下,更优选为800nm以下。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2层的厚度优选比所述第1层的厚度更厚,更优选为比所述第1层的厚度厚40μm以上,进一步优选为比所述第1层的厚度厚50μm以上。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2层的厚度优选比所述第3层的厚度更厚,更优选为比所述第3层的厚度厚40μm以上,进一步优选为比所述第3层的厚度厚50μm以上。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第1层的厚度优选为0.1μm以上,更优选为0.3μm以上,优选为10μm以下,更优选为5m以下。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2层的厚度优选为40μm以上,更优选为50μm以上,优选为1000μm以下,更优选为800m以下。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第3层的厚度优选为0.1μm以上,更优选为0.3μm以上,优选为10μm以下,更优选为5m以下。
在所述第1层和所述第2层的叠层物中,厚度相对于宽度的比(厚度/宽度)优选为0.01以上,更优选为0.1以上,优选为200以下,更优选为150以下。所述比(厚度/宽度)如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第1层与所述第2层与所述第3层的叠层物中,厚度相对于宽度的比(厚度/宽度)优选为0.01以上,更优选为0.1以上,优选为200以下,更优选为150以下。所述比(厚度/宽度)如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第2层中,厚度相对于宽度的比(厚度/宽度)优选为0.01以上,更优选为0.1以上,优选为200以下,更优选为150以下。所述比(厚度/宽度)如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
(喷墨用组合物套件)
所述喷墨用组合物套件具有所述第1组合物和所述第2组合物。在所述喷墨用组合物套件中,所述第1组合物和所述第2组合物并不混合。所述第1组合物优选收纳于第1容器,所述第2组合物优选收纳于第2容器。所述喷墨用组合物套件为所述第1组合物和所述第2组合物的套件品。在所述喷墨用组合物套件中,优选以在涂布所述第1组合物后涂布所述第2组合物的方式而使用。在所述喷墨用组合物套件中,优选以涂布所述第1组合物并光固化后涂布所述第2组合物并光固化的方式而使用。所述喷墨用组合物套件优选用于制造所述叠层结构体。
所述喷墨用组合物套件可以具有第3组合物。该情况下,所述第1组合物与所述第2组合物与所述第3组合物并不混合。所述第3组合物优选收纳于第3容器。具有所述第3组合物的所述喷墨用组合物套件为所述第1组合物与所述第2组合物与所述第3组合物的套件品。此外,在第1光固化物层(或第1光和热固化物层)与第3光固化物层(或第3光和热固化物层)通过相同的组合物形成的情况下,可以将所述第1组合物与所述第2组合物的套件品中的所述第1组合物用于形成所述第3光固化物层(或第3光和热固化物层)。
图13是示意性地表示本发明的第1实施方式涉及的喷墨用组合物套件的截面图。
喷墨用组合物套件5具有第1容器101、第1组合物1、第2容器102、第2组合物2。第1容器101中收纳有第1组合物1。第2容器102中收纳有第2组合物2。
在所述叠层结构体的制造方法中,与第1组合物相比,消耗更多第2组合物。因此,在所述喷墨用组合物套件中,收纳在第1容器中的第1组合物的量(体积)优选比收纳在第2容器中的第2组合物的第1组合物的量(体积)多。
(第1组合物、第2组合物以及第3组合物)
以下,对所述第1组合物、所述第2组合物以及第3组合物中包含的各成分的详细内容进行说明。需要说明的是,在本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”是指“丙烯酸酯”和“甲基丙烯酸酯”中的一者或两者。
所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物,所述第3组合物与所述第2组合物是不同的组合物。即,所述第1组合物与所述第2组合物的组成不同,所述第3组合物与所述第2组合物的组成不同。所述第1组合物与所述第3组合物可以是不同的组合物,也可以是相同的组合物。从提高叠层结构体的制造效率的观点出发,优选所述第1组合物和所述第3组合物是相同的组合物。即,优选所述第1组合物与所述第3组合物的组成相同。
所述第1组合物以及第3组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂。所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂。
需要说明的是,所述第1组合物以及第3组合物可以分别包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,也可以不包含。此外,所述第2组合物可以包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,也可以不包含。在所述第1组合物与所述第2组合物这两者均包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第1组合物中包含的多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物与所述第2组合物中包含的多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物可以相同,也可以不同。在所述第3组合物与所述第2组合物这两者均包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第3组合物中包含的多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物与所述第2组合物中包含的多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物可以相同,也可以不同。在所述第1组合物与所述第2组合物这两者均包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第1组合物中包含的单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物与所述第2组合物中包含的单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物可以相同,也可以不同。在所述第3组合物与所述第2组合物这两者均包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第3组合物中包含的单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物与所述第2组合物中包含的单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物可以相同,也可以不同。
<(甲基)丙烯酸酯化合物>
所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。所述第3组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。需要说明的是,本说明书中,具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物不视为环氧化合物,而视为(甲基)丙烯酸酯化合物。所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物以及所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物分别可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
作为所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,可以举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基丙二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二丙二醇酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸异壬酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸双环戊二烯酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸二羟基环戊二烯酯、(甲基)丙烯酸双环戊烯酯、(甲基)丙烯酸双环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯以及(甲基)丙烯酸硬脂酯等。
所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物可以为二官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,可以为三官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,可以为四官能以上的(甲基)丙烯酸酯化合物。
作为所述二官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,例如,可以举出1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二(甲基)丙烯酸酯、1,10-癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、2,4-二甲基-1,5-戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁基乙基丙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化环己烷甲醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、低聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二(甲基)丙烯酸酯以及二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为所述三官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,例如,可以举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷的氧化烯改性三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、双季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三((甲基)丙烯酰基氧基丙基)醚、异氰尿酸氧化烯改性三(甲基)丙烯酸酯、丙酸双季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三((甲基)丙烯酰基氧基乙基)异氰脲酸酯以及山梨糖醇三(甲基)丙烯酸酯等。
作为所述四官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,例如,可以举出季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇四(甲基)丙烯酸酯、二三羟甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯以及丙酸双季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯等。
作为所述五官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,例如,可以举出山梨糖醇五(甲基)丙烯酸酯以及双季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。
作为所述六官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,例如,可以举出双季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、山梨糖醇六(甲基)丙烯酸酯以及磷腈的氧化烯改性六(甲基)丙烯酸酯等。
此外,作为所述具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物,可以举出(甲基)丙烯酸甘油酯以及4-羟基丁基(甲基)丙烯酸酯甘油醚等。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第1组合物以及第3组合物中包含的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的均聚物的玻璃化转变温度分别优选为-100℃以上,更优选为-90℃以上,优选小于0℃,更优选为-10℃以下。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2组合物中包含的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的均聚物的玻璃化转变温度优选为50℃以上,更优选为80℃以上,优选为200℃以下,更优选为180℃以下。
在得到所述均聚物的聚合中,聚合方法无特别限定。可以通过用公知的方法使所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物或所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物单独聚合,而得到所述均聚物。所述聚合方法中,可以将所有的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物或所有的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物一次性聚合,也可以逐步地添加所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物或所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物进行聚合。
所述玻璃化转变温度可以依照JIS-K7121,使用差示扫描量热仪,以升温速度10℃/分钟的条件进行测定。作为所述差示扫描量热仪,可以举出HITACHI HIGH-TECHSCIENCE公司制“DSC7020”等。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第1组合物以及第3组合物中包含的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物分别优选为构成丙烯酸结构部分的酯结构的氧原子上结合有碳原子数为4以上的基团的化合物。所述碳原子数为4以上的基团可以为具有支链结构的基团,也可以为不具有支链结构的基团(具有直链结构的基团)。所述第1组合物以及第3组合物中包含的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物分别优选为丙烯酸异癸酯、丙烯酸异壬酯、丙烯酸2-乙基己酯、丙烯酸月桂酯或丙烯酸十二烷酯。这些单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物是在构成丙烯酸结构部分的酯结构的氧原子上结合有碳原子数为4以上的基团的化合物。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2组合物中包含的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物优选为2官能或3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。
从更进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2组合物中包含的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物优选为三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯或双环戊烯基二甲醇二丙烯酸酯。
在所述第1组合物100重量%中,或,所述第3组合物100重量%中,所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选为5重量%以上,更优选为10重量%以上,优选为95重量%以下,更优选为90重量%以下。所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第1组合物包含所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,在所述第1组合物100重量%中,所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,优选为50重量%以下,更优选为30重量%以下。在所述第3组合物包含所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,在所述第3组合物100重量%中,所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,优选为50重量%以下,更优选为30重量%以下。所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第2组合物100重量%中,所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选为10重量%以上,更优选为20重量%以上,优选为99重量%以下,更优选为90重量%以下。所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第2组合物包含所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,在所述第2组合物100重量%中,所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,优选为50重量%以下,更优选为30重量%以下。所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第1组合物包含所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第1组合物100重量%中的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选比所述第2组合物100重量%中的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量更少。在所述第3组合物包含所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第3组合物100重量%中的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选比所述第2组合物100重量%中的所述多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量更少。在该情况下,能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第2组合物包含所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第2组合物100重量%中的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选比所述第1组合物100重量%中的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量更少。在所述第2组合物包含所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的情况下,所述第2组合物100重量%中的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量优选比所述第3组合物100重量%中的所述单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的含量更少。该情况下,能够进一步有效地发挥本发明的效果。
<环氧化合物>
所述第1组合物包含环氧化合物。所述第2组合物包含环氧化合物。所述第3组合物包含环氧化合物。所述第1组合物中包含的环氧化合物、所述第2组合物中包含的环氧化合物、所述第3组合物中包含的环氧化合物分别可以相同,也可以不同。所述环氧化合物分别可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
作为所述环氧化合物,可以举出双酚A型环氧化合物、双酚F型环氧化合物、双酚S型环氧化合物、酚醛清漆型环氧化合物、联苯基型环氧化合物、联苯基酚醛清漆型环氧化合物、双酚型环氧化合物、萘型环氧化合物、芴型环氧化合物、苯酚芳烷基型环氧化合物、萘酚芳烷基型环氧化合物、双环戊二烯型环氧化合物、蒽型环氧化合物、具有金刚烷骨架的环氧化合物、具有三环癸烷骨架的环氧化合物、萘醚型环氧化合物以及在骨架中具有三嗪核的环氧化合物等。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第1组合物以及第3组合物中包含的所述环氧化合物分别优选为双酚A型环氧化合物或双环戊二烯型环氧化合物。
从进一步有效地发挥本发明的效果的观点出发,所述第2组合物中包含的所述环氧化合物优选为双酚A型环氧化合物或双环戊二烯型环氧化合物。
在所述第1组合物100重量%中,或,所述第3组合物100重量%中,所述环氧化合物的含量优选为0.1重量%以上,更优选为1重量%以上,优选为90重量%以下,更优选为70重量%以下。所述环氧化合物的含量如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
在所述第2组合物100重量%中,所述环氧化合物的含量优选为0.1重量%以上,更优选为1重量%以上,优选为90重量%以下,更优选为70重量%以下。所述环氧化合物的含量如果为所述下限以上和所述上限以下,则能够进一步有效地发挥本发明的效果。
<光聚合引发剂>
所述第1组合物包含光聚合引发剂。所述第2组合物包含光聚合引发剂。所述第3组合物包含光聚合引发剂。所述第1组合物中包含的光聚合引发剂、所述第2组合物中包含的光聚合引发剂、所述第3组合物中包含的光聚合引发剂分别可以相同,也可以不同。所述光聚合引发剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
作为所述光聚合引发剂,可以举出光自由基聚合引发剂以及光阳离子聚合引发剂等。所述光聚合引发剂优选为光自由基聚合引发剂。所述光聚合引发剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
所述光自由基聚合引发剂是用于通过光的照射而产生自由基,使自由基聚合反应开始的化合物。作为所述光自由基聚合引发剂,可以举出安息香、安息香甲基醚、安息香乙基醚、安息香异丙基醚等安息香化合物;2-羟基-2-甲基-1-苯基-丙烷-1-酮等烷基苯酮化合物;苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮等苯乙酮化合物;2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1,2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮、N,N-二甲基氨基苯乙酮等氨基苯乙酮化合物;2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌等蒽醌化合物;2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮化合物;苯乙酮二甲基缩酮、苄基二甲基缩酮等缩酮化合物;2,4,6-三甲基苯甲酰二苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰)-苯基氧化膦等酰基氧化膦化合物;1,2-辛二酮、1-[4-(苯硫基)-2-(邻苯甲酰肟)]、乙酮(ethanone)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰)-9H-咔唑-3-基]-1-(邻乙酰基肟)等肟酯化合物;双(环戊二烯基)-二-苯基-钛、双(环戊二烯基)-二-氯-钛、双(环戊二烯基)-双(2,3,4,5,6-五氟苯基)钛、双(环戊二烯基)-双(2,6-二氟-3-(吡咯-1-基)苯基)钛等茂钛化合物等。所述光自由基聚合引发剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
可以与所述光自由基聚合引发剂一同使用光聚合引发助剂。作为该光聚合引发助剂,可以举出N,N-二甲基氨基苯甲酸乙基酯、N,N-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、戊基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、三乙基胺以及三乙醇胺等。也可以使用这些之外的光聚合引发助剂。所述光聚合引发助剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
此外,也可以将在可见光区域存在吸收的CGI-784等(Ciba Specialty Chemicals公司制)的茂钛化合物等用于促进光反应。
作为所述光阳离子聚合引发剂,可以举出锍盐、碘鎓盐、茂金属化合物和苯甲磺酸盐(Benzoin tosylate)等。所述光阳离子聚合引发剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
所述第1组合物100重量%中,所述光聚合引发剂的含量优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,优选为30重量%以下,更优选为20重量%以下。
所述第2组合物100重量%中,所述光聚合引发剂的含量优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,优选为30重量%以下,更优选为20重量%以下。
所述第3组合物100重量%中,所述光聚合引发剂的含量优选为0.1重量%以上,更优选为0.5重量%以上,优选为30重量%以下,更优选为20重量%以下。
<热固化剂>
所述第1组合物包含热固化剂。所述第2组合物包含热固化剂。所述第3组合物包含热固化剂。所述第1组合物中包含的热固化剂、所述第2组合物中包含的热固化剂、所述第3组合物中包含的热固化剂分别可以相同,也可以不同。所述热固化剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
作为所述热固化剂,可以举出有机酸、胺化合物、酰胺化合物、酰肼化合物、咪唑化合物、咪唑啉化合物、酚化合物、尿素化合物、多硫化合物以及酸酐等。作为所述热固化剂,可以使用胺-环氧加合物等改性多胺化合物。也可以使用这些之外的热固化剂。
所述胺化合物是指,具有1个以上的伯氨基~叔氨基的化合物。作为所述胺化合物,可以举出脂肪族多胺、脂环族多胺、芳香族多胺、酰肼以及胍衍生物等。此外,作为所述胺化合物,可以使用环氧化合物加成多胺(环氧化合物和多胺的反应物)、迈克尔加成多胺(α,β-不饱和酮和多胺的反应物)、曼尼希加成多胺(多胺和福尔马林以及酚的缩合体)、硫脲加成多胺(硫脲和多胺的反应物)、酮封链多胺(酮化合物和多胺的反应物[酮亚胺])等加合物。
作为所述脂肪族多胺,可以举出二乙烯三胺、三乙烯四胺、四乙烯五胺、以及二乙基氨基丙胺等。
作为所述脂环族多胺,可以举出薄荷烷二胺(Mensen diamine)、异佛尔酮二胺、N-氨基乙基哌嗪、3,9-双(3-氨基丙基)-2,4,8,10-四氧杂螺(5,5)十一烷加合物、双(4-氨基-3-甲基环己基)甲烷以及双(4-氨基环己基)甲烷等。
作为所述芳香族多胺,可以举出间苯二胺、对苯二胺、邻二甲苯胺、间二甲苯胺、对二甲苯胺、4,4-二氨基二苯基甲烷、4,4-二氨基二苯基丙烷、4,4-二氨基二苯基砜、4,4-二氨基二环己烷、双(4-氨基苯基)苯基甲烷、1,5-二氨基萘、1,1-双(4-氨基苯基)环己烷、2,2-双[(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷、双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]砜、1,3-双(4-氨基苯氧基)苯、4,4-亚甲基-双(2-氯苯胺)以及4,4-二氨基二苯基砜等。
作为所述酰肼,可以举出碳二酰肼、己二酸二酰肼、癸二酸二酰肼、十二烷基二酸二酰肼以及异苯二甲酸二酰肼等。
作为所述胍衍生物,可以举出双氰胺、1-邻三双胍、α-2,5-二甲基胍、α,ω-二苯基二胍、α,α-双胍基胍基二苯醚、p-氯苯基二胍、α,α-六亚甲基双[ω-(p-氯酚)]二胍、苯基二胍基草酸酯、乙酰基胍以及二乙基氰基乙酰基胍等。
作为所述酚化合物,可以举出多元酚化合物等。作为所述多元酚化合物,例如,可以举出苯酚、甲酚、乙酚、丁酚、辛酚、双酚A、四溴双酚A、双酚F、双酚S、4,4’-联苯基酚、含有萘骨架的酚醛清漆树脂、含有苯二甲基骨架的酚醛清漆树脂、含有双环戊二烯骨架的酚醛清漆树脂以及含有芴骨架的酚醛清漆树脂等。
作为所述酸酐,例如,可以举出邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、甲基纳迪克酸酐、十二烷基琥珀酸酐、氯菌酸酐(Chlorendicacid anhydride)、均苯四酸酐、二苯甲酮四羧酸酐、甲基环己烯四羧酸酐、偏苯三酸酐以及聚壬二酸酐等。
所述第1组合物100重量%中,所述热固化剂的含量优选为0.1重量%以上,更优选为1重量%以上,优选为50重量%以下,更优选为40重量%以下。
所述第2组合物100重量%中,所述热固化剂的含量优选为0.1重量%以上,更优选为1重量%以上,优选为50重量%以下,更优选为40重量%以下。
所述第3组合物100重量%中,所述热固化剂的含量优选为0.1重量%以上,更优选为1重量%以上,优选为50重量%以下,更优选为40重量%以下。
<固化促进剂>
所述第1组合物可以包含固化促进剂,也可以不包含。所述第2组合物可以包含固化促进剂,也可以不包含。所述第3组合物可以包含固化促进剂,也可以不包含。所述第1组合物中包含的固化促进剂、所述第2组合物中包含的固化促进剂、所述第3组合物中包含的固化促进剂分别可以相同,也可以不同。所述固化促进剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
作为所述固化促进剂,可以举出叔胺、咪唑、季铵盐、季鏻盐、有机金属盐、磷化合物以及尿素类化合物等。
在所述第1组合物包含所述固化促进剂的情况下,在所述第1组合物100重量%中,所述固化促进剂的含量优选为0.01重量%以上,更优选为0.1重量%以上,优选为10重量%以下,更优选为8重量%以下。
在所述第2组合物包含所述固化促进剂的情况下,在所述第2组合物100重量%中,所述固化促进剂的含量优选为0.01重量%以上,更优选为0.1重量%以上,优选为10重量%以下,更优选为8重量%以下。
在所述第3组合物包含所述固化促进剂的情况下,在所述第3组合物100重量%中,所述固化促进剂的含量优选为0.01重量%以上,更优选为0.1重量%以上,优选为10重量%以下,更优选为8重量%以下。
(溶剂)
所述第1组合物可以包含溶剂,也可以不包含。所述第2组合物可以包含溶剂,也可以不包含。所述第3组合物可以包含溶剂,也可以不包含。所述第1组合物中包含的溶剂、所述第2组合物中包含的溶剂、所述第3组合物中包含的溶剂分别可以相同,也可以不同。所述溶剂可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
从使第1组合物的固化物层(光固化物层或光和热固化物层)的厚度精度进一步提高,并且使第1组合物的固化物层中更不易产生空洞的观点出发,所述第1组合物中的溶剂的含量越少越好。
从使第2组合物的固化物层(光固化物层或光和热固化物层)的厚度精度进一步提高,并且使第2组合物的固化物层中更不易产生空洞的观点出发,所述第2组合物中的溶剂的含量越少越好。
从使第3组合物的固化物层(光固化物层或光和热固化物层)的厚度精度进一步提高,并且使第3组合物的固化物层中更不易产生空洞的观点出发,所述第3组合物中的溶剂的含量越少越好。
作为所述溶剂,可以举出水以及有机溶剂等。
从使残留物的除去性进一步提高的观点出发,所述溶剂优选为有机溶剂。
作为所述有机溶剂,可以举出乙醇等醇类、丙酮、甲基乙基酮、环己酮等酮类、甲苯、二甲苯、四甲基苯等芳香族烃类、溶纤剂、甲基溶纤剂、丁基溶纤剂、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇二乙基醚、三丙二醇单甲基醚等二醇醚类、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸丁酯、溶纤剂乙酸酯、丁基溶纤剂乙酸酯、卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、二丙二醇单甲基醚乙酸酯、碳酸丙烯酯等酯类、辛烷、癸烷等脂肪族烃类、以及石油醚、石脑油等石油类溶剂等。
在所述第1组合物包含所述溶剂的情况下,在所述第1组合物100重量%中,所述溶剂的含量优选为5重量%以下,更优选为1重量%以下,进一步优选为0.5重量%以下。所述第1组合物最优选不包含所述溶剂。
在所述第2组合物包含所述溶剂的情况下,在所述第2组合物100重量%中,所述溶剂的含量优选为5重量%以下,更优选为1重量%以下,进一步优选为0.5重量%以下。所述第2组合物最优选不包含所述溶剂。
在所述第3组合物包含所述溶剂的情况下,在所述第3组合物100重量%中,所述溶剂的含量优选为5重量%以下,更优选为1重量%以下,进一步优选为0.5重量%以下。所述第3组合物最优选不包含所述溶剂。
(填料)
所述第1组合物可以包含填料,也可以不包含。所述第2组合物可以包含填料,也可以不包含。所述第3组合物可以包含填料,也可以不包含。所述第1组合物中包含的填料、所述第2组合物中包含的填料、所述第3组合物中包含的填料分别可以相同,也可以不同。所述填料可以仅使用1种,也可以将2种以上组合使用。
从使第1组合物的固化物层(光固化物层或光和热固化物层)的厚度精度进一步提高,并且使第1组合物的固化物层中更不易产生空洞的观点出发,所述第1组合物中的填料的含量越少越好。此外,所述第1组合物中的填料的含量越少,越能够抑制喷墨装置导致的喷出不良的发生。
从使第2组合物的固化物层(光固化物层或光和热固化物层)的厚度精度进一步提高,并且使第2组合物的固化物层中更不易产生空洞的观点出发,所述第2组合物中的填料的含量越少越好。此外,所述第2组合物中的填料的含量越少,越能够抑制喷墨装置导致的喷出不良的发生。
从使第3组合物的固化物层(光固化物层或光和热固化物层)的厚度精度进一步提高,并且使第3组合物的固化物层中更不易产生空洞的观点出发,所述第3组合物中的填料的含量越少越好。此外,所述第3组合物中的填料的含量越少,越能够抑制喷墨装置导致的喷出不良的发生。
作为所述填料,可以举出二氧化硅、滑石、粘土、云母、水滑石、氧化铝、氧化镁、氢氧化铝、氮化铝以及氮化硼等。
在所述第1组合物包含所述填料的情况下,在所述第1组合物100重量%中,所述填料的含量优选为30重量%以下,更优选为10重量%以下,进一步优选为1重量%以下。所述第1组合物最优选不包含所述填料。
在所述第2组合物包含所述填料的情况下,在所述第2组合物100重量%中,所述填料的含量优选为30重量%以下,更优选为10重量%以下,进一步优选为1重量%以下。所述第2组合物最优选不包含所述填料。
在所述第3组合物包含所述填料的情况下,在所述第3组合物100重量%中,所述填料的含量优选为30重量%以下,更优选为10重量%以下,进一步优选为1重量%以下。所述第3组合物最优选不包含所述填料。
(其他成分)
所述第1组合物、所述第2组合物以及所述第3组合物分别可以包含其他成分。作为所述其他成分,无特别限定,可以举出偶联剂等接合助剂、颜料、染料、流平剂、消泡剂以及阻聚剂等。
(其它的详细内容以及电子部件)
在本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件的情况下,由于能够提高材料的防漏性,因此能够适宜地在电子部件中,用于形成隔断材料以及坝料。但是,本发明涉及的叠层结构体的制造方法、叠层结构体以及喷墨用组合物套件也可以用于该用途以外的用途。例如,在本发明涉及的叠层结构体的制造方法,叠层结构体以及喷墨用组合物套件中,所述第1层以及所述第2层也可以用于形成涂层剂。
图14是表示使用本发明的第1实施方式涉及的叠层结构体而得到的电子部件的截面图。图14(a)是电子部件的俯视图,图14(b)是沿着图14(a)中的I-I线的截面图。
电子部件80具备叠层结构体4C。叠层结构体4C具备:第1基材3、第1光和热固化物层(第1层)1B、第2光和热固化物层(第2层)2B、底部填充材料60、焊球65、半导体芯片70。第1光和热固化物层1B通过使所述第1组合物光固化以及热固化而形成。第2光和热固化物层2B通过使所述第2组合物光固化以及热固化而形成。
在基材3的表面上,第1光和热固化物层1B、第2光和热固化物层2B以框状配置。在所述框状的区域的内侧中,配置有底部填充材料60、焊球65、半导体芯片70。
通过向所述框状的区域的内侧流入底部填充材料60,可以得到电子部件80。在本发明中,由于使用了特定的第1组合物以及特定的第2组合物,因此在向所述框状的区域的内侧流入底部填充材料60时和流入后,底部填充材料60不易向框状的区域的外侧漏出。
以下,将通过举出实施例以及比较例,对本发明进行具体的说明。本发明不限于以下的实施例。
准备了以下的材料。
(单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物)
丙烯酸异癸酯(大阪有机化学工业公司制“IDAA”,均聚物的玻璃化转变温度-68℃)
丙烯酸异壬酯(大阪有机化学工业公司制“INAA”,均聚物的玻璃化转变温度-60℃)
(多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物)
三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(DAICEL ALLNEX公司制“TMPTA”,均聚物的玻璃化转变温度58℃)
1,6-己二醇二丙烯酸酯(DAICEL ALLNEX公司制“HDDA”,均聚物的玻璃化转变温度98℃)
(环氧化合物)
双环戊二烯型环氧化合物(DIC公司制“HP7200L”)
双酚A型环氧化合物(DIC公司制“EXA-850CRP”)
(光聚合引发剂)
2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]-1-丁酮(IGMResins公司制“Omnirad379EG”)
(热固化剂)
芳香族胺化合物(ADEKA公司制“EH-105L”)
(基材)
硅片(与组合物接触的区域中的表面粗糙度Ra:0.5nm)
玻璃基板(与组合物接触的区域中的表面粗糙度Ra:1nm)
陶瓷基板(与组合物接触的区域中的表面粗糙度Ra:380nm)
喷墨装置:
准备了具有以下部分的喷墨装置:具有真空吸附功能的平台、第1喷出部、第2喷出部、配置于第1喷出部与第2喷出部之间的第1紫外线照射部(LED)。
(实施例1~8以及比较例1~3)
第1组合物的制作:
将表1~3所示的成分以表1~3所示的配合量进行配合,得到了第1组合物。
第2组合物的制作:
将表1~3所示的成分以表1~3所示的配合量进行配合,得到了第2组合物。
(比较例4)
第1组合物的制作:
将表3所示的成分以表3所示的配合量进行配合,得到了第1组合物。
需要说明的是,没有使用第2组合物。
(比较例5)
第2组合物的制作:
将表3所示的成分以表3所示的配合量进行配合,得到了第2组合物。需要说明的是,没有使用第1组合物。
(评价)
(1)光固化物层的形状保持性
(1-1)在实施例1~4以及比较例1~3中,如下所述地制作了具备光固化物层的叠层结构体(X)。
具备光固化物层的叠层结构体(X)的制作:
使硅片吸附至平台并固定。从第1喷出部喷出第1组合物。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第1组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度3μm的直线形状的第1层(光固化物层)。
接下来,从第2喷出部喷出第2组合物至第1层(光固化物层)的表面上。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第2组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,在第1层(光固化物层)的表面上,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度100μm的直线形状的第2层(光固化物层)。
如此,得到了依次具备基材(硅片)、第1层(光固化物层)、第2层(光固化物层)的叠层结构体(X)。
(1-2)在实施例5~8中,除了做出了以下的变更以外,以与实施例1同样的方式,制作了具备光固化物层的叠层结构体(X)。
在实施例5中,形成了具有宽度300μm、长度10mm、厚度3μm的直线形状的第1层(光固化物层),形成了具有宽度300μm、长度10mm、厚度100μm的直线形状的第2层(光固化物层)。
在实施例6中,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度3μm的直线形状的第1层(光固化物层),形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度200μm的直线形状的第2层(光固化物层)。
在实施例7中,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度5μm的直线形状的第1层(光固化物层),形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度100μm的直线形状的第2层(光固化物层)。
在实施例8中,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度5μm的直线形状的第1层(光固化物层),形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度200μm的直线形状的第2层(光固化物层)。
(1-3)比较例4中,如下所述地制作了具备光固化物层的叠层结构体(X)。
具备光固化物层的叠层结构体(X)的制作:
使硅片吸附至平台并固定。从第1喷出部喷出第1组合物。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第1组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度103μm的直线形状的第1层(光固化物层)。以此作为具备光固化物层的叠层结构体(X)。
(1-4)在比较例5中,如下所述地制作了具备光固化物层的叠层结构体(X)。
具备光固化物层的叠层结构体(X)的制作:
使硅片吸附至平台并固定。从第2喷出部喷出第2组合物。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第2组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度150μm、长度10mm、厚度103μm的直线形状的第2层(光固化物层)。以此作为具备光固化物层的叠层结构体(X)。
(1-5)需要说明的是,叠层结构体(X)中的第1层(光固化物层)以及第2层(光固化物层)的宽度和厚度是使用激光显微镜(Olympus公司制“OLS4100”)测定的。在实施例1~8中,光固化物层的形状得到了保持。
(2)光和热固化物层的形状保持性
具备光和热固化物层的叠层结构体(X)的制作:
通过对得到的具备光固化物层的叠层结构体(X)中的第1、第2层(光固化物层)在170℃进行1小时加热而进行热固化,得到了作为光和热固化物层的第1、第2层。如此,得到了具备基材(硅片)、第1层(光和热固化物层)、第2层(光和热固化物层)的叠层结构体(X)。
用截面研磨装置(Struers公司制“Tegramin 25”)切削得到的叠层结构体(X)中的第1层(光和热固化物层)以及第2层(光和热固化物层)。使用光学显微镜(Keyence公司制“数码显微镜VH-Z100”)观察通过切削而得到的第1层(光和热固化物层)以及第2层(光和热固化物层)的截面,由此分别测定了该第1层以及该第2层的厚度。
[光和热固化物层的形状保持性的判定基准]
○:加热前后,各固化物层无厚度变化(变化率小于5%)
△:加热前后,存在些许各固化物层的厚度变化(变化率为5%以上且小于10%)
×:加热前后,存在各固化物层的厚度变化(变化率为10%以上)
(3)粉体的附着性
使硅片吸附至平台并固定。将第2组合物从第2喷出部(在比较例4中,从第1喷出部喷出第1组合物)喷出。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第2组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度10mm、长度10mm、厚度20μm的形状的第2层(光固化物层)。
接下来,将100mg的二氧化硅粉末(NIPPON SHOKUBAI公司制“seaho star KE-P250”)配置于光固化物层的表面,向光固化物层的表面,以400L/分钟喷射氮10秒。对残存于光固化物层的表面的二氧化硅粉末的量进行了测定。
<粉体的附着性的判定基准>
○:残存的二氧化硅粉末的量小于10%
×:残存的二氧化硅粉末的量为10%以上
(4)与基材的接合性以及层间接合性(冷热循环试验)
将在“(2)光和热固化物层的形状保持性”中得到的、具备光和热固化物层的叠层结构体(X)放入温度循环试验机(楠本化成公司制“TA530A”),以“-40℃下30分钟,125℃下30分钟”为1个循环,进行了合计100个循环的冷热循环试验。对冷热循环试验后的叠层结构体(X),以400L/分钟喷射氮10秒。对基材与第1层之间(在比较例4中,为基材与第2层之间),或,第1层与第2层之间是否产生了剥离进行了确认。
<与基材的接合性以及层间接合性(冷热循环试验)的评价基准>
○:与基材之间未产生剥离
×:与基材之间产生了剥离
○:层间没有产生剥离
×:层间产生了剥离
(5)材料的防漏性
使硅片吸附至平台并固定。从第1喷出部喷出第1组合物。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第1组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度150μm、一边的长度10mm、厚度3μm的正方形的框状形状的第1层(光固化物层)。
接下来,从第2喷出部喷出第2组合物至第1层(光固化物层)的表面上。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第2组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,在第1层(光固化物层)的表面上,形成了具有宽度150μm、一边的长度10mm、厚度100μm的正方形的框状形状的第2层(光固化物层)。
接下来,通过对第1、第2层(光固化物层)在170℃下进行1小时加热而进行热固化,得到了作为光和热固化物层的第1、第2层。如此,得到了具备基材(硅片)、第1层(光和热固化物层)、第2层(光和热固化物层)的叠层结构体。
材料X的制作:
用行星式搅拌机混合以下的成分,将得到的混合物用3根辊进行分散处理,得到了材料X。
双酚F型环氧树脂(DIC公司制“EPICLON830”)70重量份
反应性稀释剂(ADEKA公司制“ED-529”)30重量份
热固化剂(ADEKA公司制“EH105L”)30重量份
熔融二氧化硅(ADMATEX公司制“SO-C5”)300重量份
偶联剂(JNC公司制“S510”)3重量份
碳黑(三菱化学公司制“MA-600”)0.5重量份
向具有正方形的框状形状的光和热固化物层(第1层与第2层的叠层物)的内侧,填充得到的材料X,以使其为50μm的厚度,通过在150℃下进行1小时加热,使材料X热固化。
使用光学显微镜(Keyence公司制“数码显微镜VH-Z100”),对材料X是否漏出至光和热固化物层的外侧进行了确认。
需要说明的是,在比较例4中,在硅片上形成具有宽度150μm、一边的长度10mm、厚度103μm的正方形的框状形状的第1层(光固化物层)后,通过对第1层(光固化物层)在170℃下进行1小时加热而进行热固化,得到了作为光和热固化物层的第1层,除此以外,以与上述同样的方式进行了评价。
此外,在比较例5中,在硅片上形成了具有宽度150μm、一边的长度10mm、厚度103μm的正方形的框状形状的第2层(光固化物层)后,通过对第2层(光固化物层)在170℃下进行1小时的加热而进行热固化,得到了作为光和热固化物层的第2层,除此以外,以与上述同样的方式进行了评价。
<材料的防漏性的判定基准>
○:未确认到漏出
×:确认到了漏出
在比较例4中,在热固化时,光和热固化物层(第1层与第2层的叠层物)的形状变化,所述光和热固化物层的厚度降低至约30μm,因此,材料X漏出至光和热固化物层的外侧。此外,在比较例1~3、5中,基材(硅片)与第1层的接合力,或,第1层与第2层的接合力较低,因此无法耐受材料X的热膨胀,材料X漏出至光和热固化物层的外侧。
(实施例9~14)
第1组合物以及第3组合物的制作:
将表4、5所示的成分以表4、5所示的配合量进行配合,得到了第1组合物以及第3组合物。
第2组合物的制作:
将表4、5所示的成分以表4、5所示的配合量进行配合,得到了第2组合物。
(评价)
(1)光固化物层的形状保持性
(1-1)在实施例9中,如下所述地制造了叠层结构体(X)。
叠层结构体(X)的制作:
使硅片吸附至平台并固定。从第1喷出部喷出第1组合物。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第1组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度5μm的正方形的框状形状的第1层(光固化物层)。
接下来,从第2喷出部喷出第2组合物至第1层(光固化物层)的表面上。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第2组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,在第1层(光固化物层)的表面上,形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度1000μm的正方形的框状形状的第2层(光固化物层)。
接下来,由第1喷出部将第3组合物(第1组合物)喷出至第2层(光固化物层)的表面上。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第3组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度10μm的正方形的框状形状的第3层(光固化物层)。
接下来,使用粘合剂(SHIBAURA MECHATRONICS公司制“FTD-7000P”),在第3层的表面上贴合玻璃基板,在170℃下进行1小时的加热,由此使第1层(光固化物层)、第2层(光固化物层)以及第3层(光固化物层)热固化。
如此,得到了依次具备第1基材(硅片)、第1层(光和热固化物层)、第2层(光和热固化物层)、第3层(光和热固化物层)、第2基材(玻璃基板)的叠层结构体(X)。
(1-2)在实施例10、11中,进一步追加了以下的操作:除了形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度5μm的正方形的框状形状的第3层(光固化物层)以外,以与实施例9同样的方式,制作了叠层结构体(X)。
在第2层(光固化物层)的形成后且第3组合物的喷出前,通过对基材(硅片)与第1层(光固化物层)与第2层(光固化物层)的叠层体在170℃下进行1小时的加热,使第1层(光固化物层)以及第2层(光固化物层)热固化。接下来,使用平坦化装置(Keylink公司制),通过对第2层(光和热固化物层)的表面进行100μm切削研磨而进行了平坦化处理。需要说明的是,在实施例10、11中,平坦化处理后的第2层的表面的最大高度与最小高度的差的绝对值为3μm以下。
如此,得到了依次具备基材(硅片)、第1层(光和热固化物层)、第2层(光和热固化物层)、第3层(光和热固化物层)、第2基材(玻璃基板)的叠层结构体(X)。
(1-3)在实施例12中,如下所述地制作了叠层结构体(X)。
叠层结构体(X)的制作:
使陶瓷基板吸附至平台并进行固定。从第2喷出部喷出第2组合物。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第2组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,在基材的表面上形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度1000μm的正方形的框状形状的第2层(光固化物层)。
接下来,由第1喷出部喷出第1组合物至第2层(光固化物层)的表面上。在喷出起0.1秒后,由第1紫外线照射部,以照度2000mW/cm2照射0.2秒的波长365nm的紫外线,使第1组合物光固化。通过重复涂布以及紫外线的照射,在第2层(光固化物层)的表面上,形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度10μm的正方形的框状形状的第1层(光固化物层)。
接下来,使用粘合剂(SHIBAURA MECHATRONICS公司制“FTD-7000P”)在第1层的表面上贴合玻璃基板,在170℃下进行1小时的加热,由此使第1层(光固化物层)以及第2层(光固化物层)热固化。
如此,得到了依次具备基材(陶瓷基板)、第2层(光固化物层)、第1层(光固化物层)、基材(玻璃基板)的叠层结构体(X)。
(1-4)在实施例13、14中,追加了以下的操作:除了形成了具有宽度200μm、一边的长度10mm、厚度5μm的正方形的框状形状的第1层(光固化物层)以外,以与实施例12同样的方式,制作了叠层结构体(X)。
在第2层(光固化物层)的形成后且第1组合物的喷出前,对基材(陶瓷基板)与第2层(光固化物层)的叠层体在170℃下进行1小时的加热,由此使第2层(光固化物层)热固化。接下来,使用平坦化装置(Keylink公司制),通过对第2层(光和热固化物层)的表面进行100μm切削研磨而进行了平坦处理。需要说明的是,在实施例13、14中,平坦化处理后的第2层的最大高度与最小高度的差的绝对值为3μm以下。
如此,得到了依次具备基材(陶瓷基板)、第2层(光固化物层)、第1层(光固化物层)、基材(玻璃基板)的叠层结构体(X)。
(1-5)需要说明的是,叠层结构体(X)中的第1层(光固化物层)、第2层(光固化物层)以及第3层(光固化物层)的宽度以及厚度是使用激光显微镜(Olympus公司制“OLS4100”)测定的。在实施例9~14中,光固化物层的形状得到了保持。
(2)光和热固化物层的形状保持性
以与在实施例1~8以及比较例1~6的评价中进行的“(2)光和热固化物层的形状保持性”同样的方式,对光和热固化物层的形状保持性进行了评价。需要说明的是,在进行了平坦化处理的实施例10、11、13、14中,未进行该评价。
[光和热固化物层的形状保持性的判定基准]
○:加热前后,各固化物层无厚度变化(变化率小于5%)
△:加热前后,存在些许各固化物层的厚度变化(变化率为5%以上且小于10%)
×:加热前后,存在各固化物层的厚度变化(变化率为10%以上)
(3)粉体的附着性
以与实施例1~8以及比较例1~6的评价中进行的“(3)粉体的附着性”同样的方式,对粉体对第2层(光固化物层)的附着性进行了评价。
<粉体的附着性的判定基准>
○:残存的二氧化硅粉末的量小于10%
×:残存的二氧化硅粉末的量为10%以上
(4)与基材的接合性以及层间接合性(冷热循环试验)
除了使用了得到的叠层结构体(X)以外,以与实施例1~8以及比较例1~6的评价中进行的“与(4)基材的接合性以及层间接合性(冷热循环试验)”同样的方式,对与基材的接合性以及层间接合性进行了评价。需要说明的是,对基材与第1层之间、第1层与第2层之间、第2层与第3层之间、或第3层与基材之间是否产生剥离进行了确认。
<与基材的接合性以及层间接合性(冷热循环试验)的评价基准>
○:与基材之间未产生剥离
×:与基材之间产生了剥离
○:层间未产生剥离
×:层间产生了剥离
(5)材料的防漏性(与第2基材的界面)
用激光切割得到的叠层结构体(X)中的基材(玻璃基板)的中央部,设置了材料X的注入口。接下来,从注入口向具有正方形的框状形状的光和热固化物层的内侧填充材料X,在150℃下进行1小时加热,由此使材料X热固化。使用光学显微镜(Keyence公司制“数码显微镜VH-Z100”),在实施例9~11中,就材料X是否从第2基材(玻璃基板)与第3层之间漏出进行了确认,在实施例12~14中,就材料X是否从第2基材(玻璃基板)与第1层之间漏出进行了确认。
<材料的防漏性的判定基准>
○:未确认到漏出
×:确认到了漏出
构成以及结果如下述的表1~5所示。
Figure BDA0003781570740000531
Figure BDA0003781570740000541
Figure BDA0003781570740000551
Figure BDA0003781570740000561
Figure BDA0003781570740000571
符号的说明
1…第1组合物
1A…第1光固化物层
1B、1D、1E…第1光和热固化物层
2…第2组合物
2A…第2光固化物层
2B、2D、2E…第2光和热固化物层
3…第1基材
4A、4B、4C、4D、4E…叠层结构体
5…喷墨用组合物套件
6D…第3光和热固化物层
7…第2基材
10…装置
11…平台
12…第1喷出部
13…第1光照射部
14…第2喷出部
15…第2光照射部
16…第1油墨罐
17、17X…第1循环流路部
17A、19A…缓冲罐
17B、19B…泵
18…第2油墨罐
19、19X…第2循环流路部
60…底部填充材料
65…焊球
70…半导体芯片
80…电子部件
101…第1容器
102…第2容器

Claims (32)

1.一种叠层结构体的制造方法,其具备:
第1光固化工序,其对以喷墨方式涂布在第1基材的表面上的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层;以及
第2光固化工序,其对以喷墨方式涂布在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层,
所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
2.根据权利要求1所述的叠层结构体的制造方法,其具备:在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧用喷墨方式涂布第2组合物的第2涂布工序,
在所述第2光固化工序中,对所述第2涂布工序中涂布的所述第2组合物照射光。
3.根据权利要求2所述的叠层结构体的制造方法,其中,
在所述第1光固化物层的厚度方向上分别进行多次所述第2涂布工序和所述第2光固化工序。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的叠层结构体的制造方法,其具备:
用于加热第1以及第2光固化物层的工序,其将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的叠层结构体的制造方法,其具备或不具备:
用于加热第1以及第2光固化物层的工序,其将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层,
在具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第3组合物照射光,形成所述第3组合物光固化而得到的第3光固化物层的第3光固化工序,
在不具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第3组合物照射光,形成所述第3组合物光固化而得到的第3光固化物层的第3光固化工序,
所述第3组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第2组合物和所述第3组合物是不同的组合物。
6.根据权利要求5所述的叠层结构体的制造方法,其中,
所述第1组合物和所述第3组合物是相同的组合物。
7.根据权利要求5或6所述的叠层结构体的制造方法,其中,
在具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
在不具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述第2光固化工序后,对所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
所述平坦化处理为研磨处理。
8.根据权利要求5~7中任一项所述的叠层结构体的制造方法,其具备:
配置工序,其在所述第3光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上,配置第2基材。
9.根据权利要求5~8中任一项所述的叠层结构体的制造方法,其中,
在具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第3光固化物层加热,形成所述第3光固化物层热固化而得到的第3光和热固化物层的用于加热第3光固化物层的工序,
在不具备所述用于加热第1以及第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第1光固化物层、所述第2光固化物层以及所述第3光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层、以及所述第3光固化物层热固化而得到的第3光和热固化物层的用于加热第1、第2以及第3光固化物层的工序。
10.一种叠层结构体的制造方法,其中,
所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在第1基材的表面上的第2组合物照射光,形成所述第2组合物光固化而得到的第2光固化物层的第2光固化工序,
所述制造方法具备或不具备:将所述第2光固化物层加热,形成所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第2光固化物层的工序,
在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序,
在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:向以喷墨方式涂布在所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层的第1光固化工序,
所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
11.根据权利要求10所述的叠层结构体的制造方法,其具备:将所述第2光固化物层加热,形成所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第2光固化物层的工序,
在所述第1光固化工序中,向以喷墨方式涂布在所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面侧的第1组合物照射光,形成所述第1组合物光固化而得到的第1光固化物层。
12.根据权利要求10所述的叠层结构体的制造方法,其中,
在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述用于加热第2光固化物层的工序后,对所述第2光和热固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:在所述第2光固化工序后,对所述第2光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面进行平坦化处理的平坦化处理工序,
所述平坦化处理为研磨处理。
13.根据权利要求12所述的叠层结构体的制造方法,其中,
在具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第1光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层的用于加热第1光固化物层的工序,
在不具备所述用于加热第2光固化物层的工序的情况下,所述制造方法具备:将所述第1光固化物层以及所述第2光固化物层加热,形成所述第1光固化物层热固化而得到的第1光和热固化物层、以及所述第2光固化物层热固化而得到的第2光和热固化物层的用于加热第1以及第2光固化物层的工序。
14.根据权利要求10~13中任一项所述的叠层结构体的制造方法,其具备:
配置工序,其在所述第1光固化物层的与所述第1基材侧相反的表面上,配置第2基材。
15.根据权利要求14所述的叠层结构体的制造方法,其中,
所述第2基材的表面粗糙度比所述第1基材的表面粗糙度小。
16.一种叠层结构体,其具备:
第1基材、
配置在所述第1基材的表面上的第1层、以及
配置在所述第1层的与所述第1基材侧相反的一侧的表面上的第2层,其中,
所述第1层和所述第2层的组合为:
所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层,并且所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层的组合;或
所述第1层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层,并且所述第2层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层的组合,
所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
17.根据权利要求16所述的叠层结构体,其中,
所述第1层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层,
所述第2层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层。
18.根据权利要求17所述的叠层结构体,其中,
所述第2层具有研磨了的表面。
19.根据权利要求17或18所述的叠层结构体,其具备:
配置在所述第2层的与所述第1层侧相反的一侧的表面上的第2基材。
20.根据权利要求17~19中任一项所述的叠层结构体,其中,
所述第1层为所述第1组合物的光和热固化物层,
所述第2层为所述第2组合物的光和热固化物层。
21.根据权利要求17~20中任一项所述的叠层结构体,其中,
所述第2层的厚度比所述第1层的厚度厚。
22.根据权利要求17~21中任一项所述的叠层结构体,其中,
所述第1层的厚度为0.1μm以上10μm以下,
所述第2层的厚度为1μm以上1000μm以下。
23.根据权利要求17~22中任一项所述的叠层结构体,其具备:
配置在所述第2层的与所述第1层侧相反的一侧的表面上的第3层,
所述第3层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第3组合物的光固化物层或光和热固化物层,
所述第2组合物和所述第3组合物是不同的组合物。
24.根据权利要求23所述的叠层结构体,其中,
所述第1组合物和所述第3组合物是相同的组合物。
25.根据权利要求23或24所述的叠层结构体,其具备:
配置在所述第3层的与所述第2层侧相反的一侧的表面上的第2基材。
26.根据权利要求25所述的叠层结构体,其中,
所述第1基材的表面粗糙度比所述第2基材的表面粗糙度小。
27.根据权利要求23~26中任一项所述的叠层结构体,其中,
所述第3层为所述第3组合物的光和热固化物层。
28.根据权利要求23~27中任一项所述的叠层结构体,其中,
所述第2层的厚度比所述第3层的厚度厚。
29.根据权利要求23~28中任一项所述的叠层结构体,其中,
所述第3层的厚度为0.1μm以上10μm以下。
30.根据权利要求16所述的叠层结构体,其中,
所述第1层为包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第2组合物的光固化物层或光和热固化物层,
所述第2层为包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂的第1组合物的光固化物层或光和热固化物层。
31.一种喷墨用组合物套件,其为具有第1组合物和第2组合物的喷墨用组合物套件,其中,
所述第1组合物包含单官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第2组合物包含多官能的(甲基)丙烯酸酯化合物、环氧化合物、光聚合引发剂和热固化剂,
所述第1组合物与所述第2组合物是不同的组合物。
32.根据权利要求31所述的喷墨用组合物套件,其具有第1容器和第2容器,
所述第1容器中收纳有所述第1组合物,
所述第2容器中收纳有所述第2组合物。
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