CN115028458B - 一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种氮氧化铝透明陶瓷的制备技术,其特征在于:将质量百分比为65‑79%的γ‑Al2O3粉和21‑35%的AlN粉混合,另按其混合物质量的0.5‑1%和1‑5%分别添加烧结助剂Y2O3粉和MgO粉,球磨混合均匀后干燥过筛,然后模压成型,在微波烧结炉中烧结成坯体,坯体在真空下升温至800~1000℃保温2~4小时,然后通入流动氮气N2,再加热升温至1600~1700℃保温2~6小时后随炉冷却至室温,得到氮氧化铝陶瓷烧结坯体,经过表面研磨和双面光学抛光即获得透明的氮氧化铝陶瓷材料。本方法采用一次烧结工艺,工艺简单,烧结温度低,对设备要求不高,获得的透明材料抗弯强度大于400MPa,2.0mm厚度在400~1400nm的直线透光率大于80%。
Description
技术领域
本发明涉及特种材料领域,具体涉及一种氮氧化铝透明陶瓷材料及其制备方法,属于非氧化物透明陶瓷材料领域。
背景技术
近年来,随着照明技术、光学、特种仪器制造、无线电子学、高温技术以及国防军事工业的发展,对作为外罩、窗口及防弹材料的透明材料提出了更为苛刻的使用要求,除了要求在一定波长范围具有较高透过率外,还要求材料具有其他方面的优良性能。
目前市场上制备透明防弹装甲或者整流罩的透明材料有:单晶蓝宝石、光学玻璃、熔融石英、氮氧化铝透明陶瓷等,但是单晶蓝宝石随温度升高其高温下的硬度逐渐降低,而且存在机械性能、耐热冲击性能较差以及热导率低的问题,在导弹高速运动时整流罩可能会发生破裂,同时难以满足透明装甲对高硬度的要求;而光学玻璃的透过波长范围短,当温度超过500℃时,玻璃的透光性急剧下降,在高温、剧烈摩擦环境下会很快失去透光性能,因而在高温实时观察、导弹红外制导等方面受到限制,而且玻璃存在不耐磨的问题,难以满足红外窗口、高温窗口以及高温或强辐射条件下工作的应用要求;而熔融石英热膨胀系数小,硬度低,机械性能较差,无法满足高速运动时表面经过热冲击而不破裂。
而高性能透明陶瓷材料氮氧化铝(AlON)在0.3μm-3μm波长范围内光透过率高,且AlON透明陶瓷具有优异的力学、热学、光学及高温稳定性等,具有耐磨性好、化学稳定性高、抗冲击能力强、光学各向同性、高密度、高纯度、物相成分单纯、晶界无杂质富集等优点,因而是耐高温红外窗和罩的首先材料,AlON透明陶瓷在以下几个方面展现出广阔的应用前景:
(1)飞行器光学窗口材料:AlON透明陶瓷可在低温、强辐射条件下工作,耐受沙粒、雨水、喷气废气和海水盐雾侵蚀,能经受飞行器高速飞行产生的摩擦热导致的温度急变,在紫外、可见和红外波段在高温时仍具有高透过率,折射率低及低的光吸收、散射和反射,可用于战斗机视窗,不仅给飞行员提供更多保护还可以节省资金;
(2)透明防弹装甲材料:用AlON透明陶瓷代替现有的窗口材料,在同等防护能力条件下,可减少60%以上的厚度,并有效减轻重量;或者在同等重量或体积条件下提高防护能力,即使在苛刻的使用条件下也不会产生划痕;随防护水平的提高,观察窗面积可相应增大,可扩大驾乘人员的视野;
(3)利用AlON透明陶瓷的抗震强度高的特点可用做导弹整流罩、炮弹激光发射器窗口、雷达天线罩、红外线视窗、水下传感器、排爆士兵的防护面罩等;
(4)利用AlON透明陶瓷耐高温的特性可制作各种高温高压设备观察窗口;
(5)大尺寸的AlON透明陶瓷制品可制成超音速飞机的风档、坦克和装甲车的观察窗口等。
(6)利用AlON透明陶瓷高硬度、高强度、高韧性的优点还可作为民用的超市扫描仪视窗、高档手表表面、半导体设备、精密仪表的壳体以及镜面、各种护目头盔和镜片、高级轿车的防弹窗、各种照明设备、透明保险柜、珠宝展示防护等多个领域,对于安全防护具有重要的意义,市场前景广阔;
氮氧化铝(AlON)透明陶瓷是一种很有发展前景的材料,它是一种通过氮元素稳定的高温立方相“Al2O3”结构,是在Al2O3和AlN之间存在一个重要的单相、稳定的固溶体陶瓷,即尖晶石型氮氧化铝。1979年McCauley等人制备出了第一块具有光学透明的AlON陶瓷,即氮氧化铝透明陶瓷。AlON透明陶瓷以其优异的力学性质,特别是光学性质,近年来日益引起人们重视,成为一种新型陶瓷材料。但是,AlON透明陶瓷材料的强共价键特征,其晶格扩散系数较低,烧结十分困难,决定了其合成温度高,造成透明陶瓷制备难度较大。关于AlON透明陶瓷制备方法,传统加热烧结方法是采用热压烧结的工艺,而由于获得接近完全密实的烧结体是制备透明陶瓷的必要条件,因此采用传统制备工艺和成型方法存在烧结时间长、烧结温度高、升温速度慢、能耗大、工艺复杂且稳定性差、生产效率低、局部致密度低、光学均匀性差等问题,使得AlON透明陶瓷的商业化制造成本居高不下。
发明内容
为了克服现有技术存在的问题,本发明的目的是提供一种AlON透明陶瓷制备方法,本发明提供的AlON透明陶瓷制备方法采用一次烧结成型,工艺简单,烧成温度低,所制备的AlON透明陶瓷材料性能优良。
为解决上述技术问题,本发明采用了如下一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,由以下质量百分比(wt.%)的γ-Al2O3粉和AlN粉混合粉料原料制得,所述的粉料原料包括:
γ-Al2O3粉65~79wt.%
AlN粉21~35wt.%。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,所述原料γ-Al2O3粉的平均颗粒度为0.01~10μm,纯度≥99.9wt.%;所述原料AlN粉的平均颗粒度为0.01~10μm,纯度≥99.9wt.%。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,所述原料γ-Al2O3粉和AlN粉的混合粉料原料中还加入了Y2O3粉和MgO粉作为烧结助剂。为了获得透明陶瓷,还需加入添加剂以抑制晶粒生长,添加剂的用量一般很少,所以要注意添加剂应该能均匀分布于材料中;另外,添加剂还应能完全溶于主晶相,不生成第二相物质,也就是说,不破坏系统的单相性,只有这样,气孔脱离晶界和转变为晶内气孔的概率才小。所述烧结助剂Y2O3粉为混合粉料原料总质量的0.5~1wt.%,所述烧结助剂Y2O3粉的平均颗粒度≤100nm,纯度≥99.9wt.%;所述烧结助剂MgO粉为混合粉料原料总质量的1~5wt.%,所述烧结助剂MgO粉平均颗粒度≤100nm,纯度≥99.9wt.%。
其中,Y2O3作为烧结助剂可以促进再微波烧结过程中的致密化和提高透明性,但含量超过1wt.%后会降低氮氧化铝陶瓷的透过率,使得氮氧化铝陶瓷的光学质量变差甚至变得不透明;含量低于0.5wt.%则起不到促进氮氧化铝晶粒生长和气孔排除的作用。
MgO的添加能够改善透明陶瓷的微观结构,提高致密度和透光性能,但由于MgO在氮氧化铝陶瓷制备过程中极易挥发,造成了实际用量较高,而含量大于5wt.%后则会降低氮氧化铝陶瓷的透光性能;含量低于1wt.%则起不到提高致密度的效果,进而会降低氮氧化铝陶瓷的透光性能。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,将所述混合粉料原料用无水乙醇混合均匀,按照粉料质量与无水乙醇体积100g︰(250~350)ml配比,在球磨机上混料细磨14~20小时,得到混合粉料原料的浆料;所述球磨机的球磨转速为90~150rad/min;所述球磨选用的磨球为氧化锆球,纯度≥99wt.%;所述混合粉料原料与磨球的质量比例为1:4~1:6。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,将所述混合粉料原料的浆料在真空干燥炉中干燥8~16小时后置于玛瑙研钵中研磨30~40min后过筛,过筛后取其中的60~70wt.%粗颗粒粉体和30~40wt.%细颗粒粉体,得到混合烧结原料;由于高的纯度、小的粒度、窄的粒度分布是提高AlON透明陶瓷烧结性能的关键,而且要想制备透明陶瓷理想粉末,除颗粒尺寸应小于1μm以外,颗粒应呈球形,颗粒之间不产生团聚,并且随时间的推移也会增加尺寸。所述粗颗粒粉体和细颗粒粉体的划分界限值为0.01~0.05μm,粒度不小于划分界限值的粉体为粗颗粒粉体,粒度小于划分界限值的粉体为细颗粒粉体。这是因为当原料的粒度很小,处于高度分散,烧结时微细颗粒可缩短气孔扩散的路程,颗粒越细,气孔扩散到晶界的路程就越短,容易排除气孔和改善原料的烧结性能,使透明陶瓷结构均匀,透过率高。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,将混合烧结原料混合均匀后置于石墨模具中施加20~60吨的压力进行致密化成型,经模压成型后制成所需的高致密素坯;将所述素坯置于BN坩埚内放入微波烧结炉中进行烧结。微波烧结的加热方式主要是通过为材料的微细结构与微波耦合而产热,因此加热过程更为均匀,能够有效降低烧结温度。但由于陶瓷的介电损耗和介电常数很低且随温度变化不大,它不可能凭借自身的介电损耗特点,在微波作用下来达到烧结温度,所以装入微波炉前预先在坯体样品的表面涂敷一层具有一定厚度且涂敷均匀的石墨层以助于微波吸热,先抽真空,坯体在真空下升温至800~1000℃保温2~4小时,然后通入流动氮气N2,再加热升温至1600~1700℃保温2~6小时后随炉冷却至室温,得到氮氧化铝陶瓷烧结坯体。本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷制备方法,其特征在于,所述通入的N2压力为0.02-0.2MPa,纯度≥99.99vol%,流动速率为0.4L~0.8L/min;所述微波烧结炉的平均升温速率为300~500℃/min;所述微波烧结炉的微波源的工作频率为2450MHz,输出功率为10kW。烧结时,要根据烧结坯体的大小来确定最高烧结温度,且有必要控制好升温速度,确保整个坯体均匀加热以控制晶体生长速度和晶粒尺寸,并达到消除气孔的目的,保温时间的选择可依照晶粒的大小和气孔有无而定,冷却制度的确定应以陶瓷无变形且无内应力为准。
将烧结获得的坯体经过脱模、切割、研磨、双面光学抛光处理,即得到氮氧化铝透明陶瓷制品。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法的化学反应原理如下:
Al2O3(s)+AlN(s)+N2(g)=3AlON(s)
本发明改进了传统的烧结加工方法,采用微波烧结的加热方式,是一次烧结工艺,工艺简单,烧结时间大大缩短。坯体样品的升温过程分成两个阶段:快速升温阶段和烧结阶段。在快速升温阶段,样品能在4min内达到1500℃温度,接着很快进入烧结阶段,达到1600~1700℃左右,整个过程大约6~8min,在烧结阶段保温10min就能获得所需的高温烧结温度。微波烧结因其独特的烧结机理和特性如整体性加热,具有升温速度快,热效率高等,而成为一种新型陶瓷烧结技术,是一种非常有效的粉体快速致密化烧结方法。具有快速升温的能力,可使烧结时间大大缩短;同时,在粉体致密化烧结过程中,因其是整体性加热也有利于提高致密化速率并可有效地抑制晶粒生长,因而获得常规烧结无法实现的独特的性能和结构。
因此,与传统的粉体致密化烧结技术相比,微波烧结技术是有效降低粉体致密化烧结温度、缩短保温时间的致密化烧结技术,利用微波烧结技术可实现粉体快速高致密化烧结,有利于提高致密化速率,获得常规烧结无法实现的独特的性能和结构。此外,微波烧结的快速加热和短时间保温的特点,易使其产品具有细晶结构,有利于产品力学性能的提高。
本发明所述的一种氮氧化铝透明陶瓷制备方法,降低了氮化的温度,缩短了合成时间,提高了AlON透明陶瓷的质量,降低了成品的加工成本,所制备的氮氧化铝透明陶瓷其抗弯强度大于400MPa,2.0mm厚度在400~1400nm的直线透光率大于80%。
本发明与现有的技术相比,具有以下优点:
1)本发明的制备工艺简单,采用一次烧结制备AlON透明陶瓷,中间无需合成AlON陶瓷粉体,微波烧结工艺容易控制,制备该材料所需的时间短,降低了生产成本;
2)本发明的AlON透明陶瓷材料具有优良的透光性能,对2.0mm厚度的样品,在400~1400nm的波段范围的透过率大于80%,可以作为耐高温红外窗口和罩体材料;
3)本发明的AlON透明陶瓷材料的机械性能优良,抗弯强度大于400MPa。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作进一步的介绍。显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识,附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1是本发明实施例提供的一种2mm厚度氮氧化铝透明陶瓷的直线透过率。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面对本发明实施方式作进一步地详细描述。
下面结合具体实施方式对本发明做进一步详细的说明,但不作为对本发明的限定。
本发明采用日本JASCO公司生产的紫外/可见/近红外分光光度计测定氮氧化铝透明陶瓷样品的直线透光率和全透过率透明陶瓷的直线透过率,测试前,样品需要经过双面抛光至2.0mm;采用三点弯曲法测定样品的抗弯强度。
实施例1
一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,由70wt.%的γ-Al2O3粉和35wt.%的AlN粉混合,所述原料γ-Al2O3粉的平均颗粒度为1.0μm,纯度99.95wt.%,所述AlN粉的平均颗粒度为1.0μm,纯99.95wt.%;加入混合粉料原料总质量的0.5wt.%Y2O3粉和1wt.%MgO粉作为烧结助剂,所述烧结助剂Y2O3粉平均颗粒度50nm,纯度99.99wt.%,所述烧结助剂MgO粉平均颗粒度50nm,纯度99.99wt.%;
将上述所得的混合原料用无水乙醇混合均匀,按照粉料质量与无水乙醇体积100g︰300ml配比,在球磨机上混料细磨16小时,得到混合粉料原料的浆料,所述球磨机的球磨转速为120rad/min,所述球磨选用的磨球为氧化锆球,纯度99.95wt.%,所述混合粉料原料与磨球的质量比例为1:5;
将上述混合粉料原料的浆料在真空干燥炉中干燥12小时后置于玛瑙研钵中研磨35min后过筛,过筛后取其中的65wt.%粗颗粒粉体和35wt.%细颗粒粉体,得到混合烧结原料,所述粗颗粒粉体和细颗粒粉体的划分界限值为0.02μm,粒度不小于划分界限值的粉体为粗颗粒粉体,粒度小于划分界限值的粉体为细颗粒粉体;
将混合烧结原料混合均匀后置于石墨模具中施加60吨的压力进行致密化成型,经模压成型后制成所需的高致密素坯;
将所述素坯置于BN坩埚内放入微波烧结炉中进行烧结,坯体在真空下升温至900℃保温3小时,所述微波烧结炉的升温速度为100℃/min,所述微波烧结炉的微波源的工作频率为2450MHz,输出功率为10kW;然后通入流动氮气N2,所述通入的N2压力为0.1MPa,纯度99.99vol%,流动速率为0.6L/min;再加热升温至1650℃保温4小时后随炉冷却至室温,得到氮氧化铝陶瓷烧结坯体,将烧结获得的坯体经过脱模、切割、研磨、双面光学抛光处理,即得到氮氧化铝透明陶瓷制品,厚度2.0mm的AlON透明陶瓷的透过率达到82%,抗弯强度425MPa。
实施例2
一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,由75wt.%的γ-Al2O3粉和25wt.%的AlN粉混合,所述原料γ-Al2O3粉的平均颗粒度为0.05μm,纯度99.99wt.%,所述AlN粉的平均颗粒度为0.05μm,纯99.99wt.%;加入混合粉料原料总质量的0.8wt.%Y2O3粉和1.2wt.%MgO粉作为烧结助剂,所述烧结助剂Y2O3粉平均颗粒度30nm,纯度99.95wt.%,所述烧结助剂MgO粉平均颗粒度30nm,纯度99.95wt.%;
将上述所得的混合原料用无水乙醇混合均匀,按照粉料质量与无水乙醇体积100g︰400ml配比,在球磨机上混料细磨12小时,得到混合粉料原料的浆料,所述球磨机的球磨转速为90rad/min,所述球磨选用的磨球为氧化锆球,纯度99.99wt.%,所述混合粉料原料与磨球的质量比例为1:4;
将上述混合粉料原料的浆料在真空干燥炉中干燥16小时后置于玛瑙研钵中研磨40min后过筛,过筛后取其中的70wt.%粗颗粒粉体和30wt.%细颗粒粉体,得到混合烧结原料,所述粗颗粒粉体和细颗粒粉体的划分界限值为0.01μm,粒度不小于划分界限值的粉体为粗颗粒粉体,粒度小于划分界限值的粉体为细颗粒粉体;
将混合烧结原料混合均匀后置于石墨模具中施加50吨的压力进行致密化成型,经模压成型后制成所需的高致密素坯;
将所述素坯置于BN坩埚内放入微波烧结炉中进行烧结,坯体在真空下升温至1000℃保温2小时,所述微波烧结炉的升温速度为120℃/min,所述微波烧结炉的微波源的工作频率为2450MHz,输出功率为10kW;然后通入流动氮气N2,所述通入的N2压力为0.2MPa,纯度99.99vol%,流动速率为0.4L/min;再加热升温至1600℃保温6小时后随炉冷却至室温,得到氮氧化铝陶瓷烧结坯体,将烧结获得的坯体经过脱模、切割、研磨、双面光学抛光处理,即得到氮氧化铝透明陶瓷制品,厚度2.0mm的AlON透明陶瓷的透过率达到82.5%,抗弯强度430MPa。
实施例3
一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,由79wt.%的γ-Al2O3粉和21wt.%的AlN粉混合,所述原料γ-Al2O3粉的平均颗粒度为0.5μm,纯度99.99wt.%,所述AlN粉的平均颗粒度为0.5μm,纯99.99wt.%;加入混合粉料原料总质量的1.0wt.%Y2O3粉和5.0wt.%MgO粉作为烧结助剂,所述烧结助剂Y2O3粉平均颗粒度50nm,纯度99.99wt.%,所述烧结助剂MgO粉平均颗粒度50nm,纯度99.99wt.%;
将上述所得的混合原料用无水乙醇混合均匀,按照粉料质量与无水乙醇体积100g︰380ml配比,在球磨机上混料细磨20小时,得到混合粉料原料的浆料,所述球磨机的球磨转速为100rad/min,所述球磨选用的磨球为氧化锆球,纯度99.99wt.%,所述混合粉料原料与磨球的质量比例为1:6;
将上述混合粉料原料的浆料在真空干燥炉中干燥8小时后置于玛瑙研钵中研磨30min后过筛,过筛后取其中的60wt.%粗颗粒粉体和40wt.%细颗粒粉体,得到混合烧结原料,所述粗颗粒粉体和细颗粒粉体的划分界限值为0.05μm,粒度不小于划分界限值的粉体为粗颗粒粉体,粒度小于划分界限值的粉体为细颗粒粉体;
将混合烧结原料混合均匀后置于石墨模具中施加20吨的压力进行致密化成型,经模压成型后制成所需的高致密素坯;
将所述素坯置于BN坩埚内放入微波烧结炉中进行烧结,坯体在真空下升温至800℃保温4小时,所述微波烧结炉的升温速度为200℃/min,所述微波烧结炉的微波源的工作频率为2450MHz,输出功率为10kW;然后通入流动氮气N2,所述通入的N2压力为0.02MPa,纯度99.99vol%,流动速率为0.8L/min;再加热升温至1700℃保温2小时后随炉冷却至室温,得到氮氧化铝陶瓷烧结坯体,将烧结获得的坯体经过脱模、切割、研磨、双面光学抛光处理,即得到氮氧化铝透明陶瓷制品,厚度2.0mm的AlON透明陶瓷的透过率达到82.1%,抗弯强度420MPa。
采用本发明的一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法制备的氮氧化铝透明陶瓷具有透光率高、机械强度好、断裂韧性强、耐磨耐久性和抗穿透性能强,可以被广泛应用于透明防弹装甲、透红外微波天线罩、红外传感器窗口等国防军事领域。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,并不构成对本发明的保护范围的限定。本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的公开后,将容易想到本发明的其它实施方案。本领域技术人员可以在本发明的实质和保护范围内,对本发明做出的任何修改或等同替换、改进等,这种修改或等同替换也视为落在本发明的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种氮氧化铝透明陶瓷的制备方法,其特征在于,将混合粉料原料用无水乙醇混合均匀,按照粉料质量与无水乙醇体积100g︰(250~350)ml配比,在球磨机上混料细磨14~20小时,得到混合粉料原料的浆料;
混合粉料原料由以下质量百分比(wt.%)的γ-Al2O3粉和AlN粉混合粉料原料制得,包括γ-Al2O3粉75wt.%,AlN粉25wt.%;
所述原料γ-Al2O3粉的平均颗粒度为0.05μm,纯度99.9wt.%;
所述原料AlN粉的平均颗粒度为0.05μm,纯度99.9wt.%;
所述原料γ-Al2O3粉和AlN粉的混合粉料原料中还加入了Y2O3粉和MgO粉作为烧结助剂;
所述烧结助剂Y2O3粉为混合粉料原料总质量的0.8wt.%;所述烧结助剂Y2O3粉平均颗粒度30nm,纯度99.95wt.%;
所述烧结助剂MgO粉为混合粉料原料总质量的1.2wt.%;所述烧结助剂MgO粉平均颗粒度30nm,纯度99.95wt.%;
所述球磨机的球磨转速为90~150rad/min;
所述球磨选用的磨球为氧化锆球,纯度≥99wt.%;
所述混合粉料原料与磨球的质量比例为1:4~1:6;
将所述混合粉料原料的浆料在真空干燥炉中干燥8~16小时后置于玛瑙研钵中研磨30~40min后过筛,过筛后取其中的60~70wt.%粗颗粒粉体和30~40wt.%细颗粒粉体,得到混合烧结原料;
所述粗颗粒粉体和细颗粒粉体的划分界限值为0.01~0.05μm,粒度不小于划分界限值的粉体为粗颗粒粉体,粒度小于划分界限值的粉体为细颗粒粉体;
将混合烧结原料混合均匀后置于石墨模具中施加20~60吨的压力进行致密化成型,经模压成型后制成所需的高致密素坯;
将所述素坯置于BN坩埚内放入微波烧结炉中进行烧结,坯体在真空下升温至800~1000℃保温2~4小时,然后通入流动氮气N2,再加热升温至1600~1700℃保温2~6小时后随炉冷却至室温,得到氮氧化铝陶瓷烧结坯体;
将烧结获得的坯体经过脱模、切割、研磨、双面光学抛光处理,即得到氮氧化铝透明陶瓷制品;
所述通入的N2压力为0.02-0.2MPa,纯度≥99 .99vol%,流动速率为0.4L~0.8L/min;
所述微波烧结炉的升温速度为100~200℃/min;
所述微波烧结炉的微波源的工作频率为2450MHz,输出功率为10kW;
所述氮氧化铝透明陶瓷,其抗弯强度大于400MPa,2.0mm厚度在400~1400nm的直线透光率大于80%。
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