CN114981034A - 激光加工装置以及激光加工装置的控制方法 - Google Patents

Abstract

激光打标机(1)具有激光振荡器(240)、检流计反射镜部(264)、控制部(211)以及受理加工图案(N)的输入的通信处理部(216)。控制部(211)将加工图案(N)划分为扫描激光(W)的方向连续相同的多个范围(A)。在范围(A)内包含至少1个被照射激光(W)的块(B)。控制部(211)针对范围(A)内的最初的块(B)，将扫描开始位置设定为相对于作为加工图案(N)输入的位置靠向近前第1距离(L1)的位置。

Description

激光加工装置以及激光加工装置的控制方法

技术领域

本公开涉及激光加工装置以及激光加工装置的控制方法。

背景技术

以往，已知有使用激光对加工对象物(工件)进行加工的激光加工装置。另外，作为激光加工装置的一种，已知有使用激光在标记对象物(工件)的表面进行字符、图形等的标记(以下，也称为“打印”)的激光打标机。另外，近年来，不仅是标记，还开发了能够进行开孔、剥离、切断等各种加工的激光打标机。

例如，日本特开2008-6467号公报(专利文献1)公开了对加工对象物照射激光来进行打印等加工的激光加工装置。根据日本特开2008-6467号公报(专利文献1)，激光加工装置为了使激光输出光在工件上扫描而具有扫描部。扫描部具有构成一对检流计反射镜(galvano mirror)的X/Y轴扫描仪、以及用于使各检流计反射镜分别转动的检流计电机。X/Y轴扫描仪能够使激光向X方向、Y方向反射而进行扫描。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-6467号公报

发明内容

发明所要解决的课题

通常，在这样的激光加工装置中，采用了沿着扫描仪的扫描方向对加工对象物进行加工的方法，但若提高扫描仪的扫描速度，则在同一方向的扫描开始位置以及同一方向的扫描结束位置，产生检流计反射镜等的动作的延迟，打印线变得比期待的打印线短，存在无法按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工的问题。

本发明的目的在于提供一种激光加工装置，能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

用于解决课题的手段

本公开的激光加工装置具有：振荡器，其使激光振荡；扫描仪，其扫描从振荡器输出的激光；控制部，其控制振荡器进行的激光的输出和扫描仪进行的激光的扫描；以及受理部，其受理加工对象物的加工图案的输入。控制部将加工图案划分为扫描激光的方向连续相同的多个范围，使扫描仪扫描激光。在范围内包含至少1个被照射激光的块。控制部针对范围内的最初的块，将扫描开始位置设定为相对于作为加工图案输入的位置靠向近前第1距离的位置。

根据上述公开，能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照加工图案对范围内的最初的块进行加工。

在上述公开中，控制部针对范围内的最后的块，将扫描结束位置设定为相对于作为加工图案输入的位置靠向后方第2距离的位置。

根据上述公开，能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照加工图案对范围内的最后的块进行加工。

在上述公开中，控制部将第1距离和第2距离设定为相同的距离。

根据上述公开，能够节省用户进行的设定作业的工夫。另外，由于第1距离和第2距离被设定为相同的距离，因此减轻了控制部的处理负担。

在上述公开中，控制部分别针对第1距离和第2距离设定各自的距离。

根据上述公开，能够根据状况灵活地设定第1距离和第2距离。

在上述公开中，控制部将范围内的扫描仪的扫描速度设为恒定。

根据上述公开，范围内的扫描仪的扫描速度恒定，因此能够使加工稳定。

在上述公开中，控制部根据范围内的扫描仪的扫描速度来变更第1距离。

根据上述公开，由于在第1距离的决定中考虑扫描仪的扫描速度，因此能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

在上述公开中，控制部根据范围内的扫描仪的扫描速度来变更第2距离。

根据上述公开，由于在第2距离的决定中考虑扫描仪的扫描速度，因此能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

在上述公开中，控制部与范围内的扫描仪的扫描速度成比例地变更第1距离和第2距离。

根据上述公开，由于在第1距离和第2距离的决定中考虑扫描仪的扫描速度，因此能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

在上述公开中，第1距离和第2距离与范围内的扫描仪的扫描速度的比例系数根据扫描仪的响应特性来决定。

根据上述公开，由于在第1距离和第2距离的决定中考虑扫描仪的响应特性，因此能够不受扫描仪的响应特性影响地按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

在上述公开中，振荡器使输出激光的定时相对于从控制部接收到的激光的输出开始指示错开第1规定时间。

根据上述公开，能够调整输出激光的定时，因此容易按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

在上述公开中，振荡器使停止激光的定时相对于从控制部接收到的激光的输出停止指示错开第2规定时间。

根据上述公开，能够调整停止激光的定时，因此容易按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工。

本公开的激光加工装置的控制方法是对激光加工装置进行控制的方法，所述激光加工装置具有：振荡器，其使激光振荡；扫描仪，其扫描从振荡器输出的激光；控制部，其控制振荡器进行的激光的输出和扫描仪进行的激光的扫描；以及受理部，其受理加工对象物的加工图案的输入。具有以下步骤：控制部将加工图案划分为扫描激光的方向连续相同的多个范围，使扫描仪扫描激光。在范围内包含至少1个被照射激光的块。具有以下步骤：控制部针对范围内的最初的块，将扫描开始位置设定为相对于作为加工图案输入的位置靠向近前第1距离的位置。

根据上述公开，能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照加工图案对范围内的最初的块进行加工。

在上述公开中，还具有以下步骤：控制部针对范围内的最后的块，将扫描结束位置设定为相对于作为加工图案输入的位置靠向后方第2距离的位置。

根据上述公开，能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照加工图案对范围内的最后的块进行加工。

发明的效果

根据本公开，可提供一种能够不受扫描仪的扫描速度影响地按照所受理的加工图案对加工对象物进行加工的激光加工装置。

附图说明

图1是表示激光打标机的概略结构的结构图。

图2是更详细地表示激光打标机的结构的结构图。

图3是表示控制基板所包含的硬件的结构图。

图4是表示由控制器显示于显示装置的用户界面的图。

图5是表示相对于控制信号的激光的扫描轨迹的图。

图6是表示同一方向的扫描开始时以及同一方向的扫描结束时的打印线收缩的图。

图7是表示Y轴方向的扫描的图。

图8是将加工图案的一部分放大后的图。

图9是表示X轴方向的扫描的图。

图10是表示与X轴以及Y轴交叉的方向的扫描的图。

图11是表示激光的输出定时的图。

具体实施方式

参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，对图中的相同或相应的部分标注相同的标号并不重复其说明。

<A.应用例>

首先，对应用本发明的场景的一例进行说明。应用本发明的场景是通过激光加工装置(例如，图1的激光打标机1等)进行加工的场景。在这样的场景下，激光加工装置考虑到打印线的收缩，将扫描开始位置设定为比作为加工图案受理的位置(期待的位置)靠向近前的位置，将扫描结束位置设定为比作为加工图案受理的位置(期待的位置)靠向后方的位置。由于图2所示的检流计反射镜部264(扫描仪)的响应特性，打印线一般收缩，因此当激光加工装置在这样的设定下进行加工时，其结果是，加工对象物8(参照图1)按照所受理的加工图案被加工。这样，激光加工装置能够不受检流计反射镜部264的扫描速度影响地将加工对象物8加工成符合期待的图案。

以下，对本实施方式的更具体的应用例进行说明。以下，作为激光加工装置，以激光打标机为例进行说明。另外，本实施方式的激光打标机除了进行字符或符号的标记的功能以外，还可以具有进行开孔、剥离、切断等标记以外的加工的功能。

<B.标记系统的概略结构>

图1是表示激光打标机1的概略结构的结构图。参照图1，激光打标机1具有控制器21和打标机头26。

控制器21控制打标机头26的动作。控制器21具有使激光W振荡的激光振荡器，详细情况将后述。

打标机头26基于控制器21的控制，对放置在载置加工对象物8的部件9上的加工对象物8(图1的左侧的加工对象物8)照射激光W。详细而言，打标机头26使激光W在加工对象物8的加工面上扫描。此外，在图1的例子中，当对加工对象物8的处理(扫描等一系列的处理)结束时，部件9向左侧方向(图1中的箭头方向)移动，对下一个加工对象物8(图1的右侧的加工对象物8)照射激光W。

打标机头26通过光纤28与控制器21内的振荡器连接。并且，打标机头26通过控制线缆29与控制器21连接。更具体而言，打标机头26通过控制线缆29与控制器21内的控制基板连接。此外，控制器21与打标机头26的连接方式与以往的结构相同，因此在此不详细说明。

<C.激光打标机1的详细结构>

图2是更详细地表示激光打标机1的结构的结构图。参照图2，如上所述，激光打标机1包含控制器21和打标机头26。

控制器21包含激光振荡器240、控制基板210、驱动器220和驱动器用电源230。在控制器21上能够连接显示装置6和输入装置7。显示装置6和输入装置7在用户变更控制器21中的设定内容的情形等中使用。

(c1.控制器21)

(1)激光振荡器240

若对激光振荡器240进行说明，则如下所述。激光振荡器240具有光纤241、半导体激光器242、243、249A～249D、隔离器244、246、耦合器245、248以及带通滤波器247。

半导体激光器242是发出种子光的种子光源。半导体激光器242由驱动器220驱动，发出脉冲状的种子光。

隔离器244仅使一个方向的光透过，阻挡向与该光相反的方向入射的光。具体而言，隔离器244使从半导体激光器242发出的种子光通过，并且阻挡来自光纤241的返回光。由此，能够防止半导体激光器242的损伤。

半导体激光器243是发出激励光的激励光源，该激励光用于激励添加到光纤241的纤芯中的稀土类元素。

耦合器245使来自半导体激光器242的种子光和来自半导体激光器243的激励光耦合而入射到光纤241。

从半导体激光器243经由耦合器245入射到光纤241的激励光被光纤241的纤芯所包含的稀土类元素吸收。由此，稀土类元素被激励，得到反转分布状态。在该状态下，若来自半导体激光器242的种子光入射到光纤241的纤芯，则产生受激发射。通过该受激发射，种子光(脉冲光)被放大。即，种子光和激励光入射到由光纤241构成的光纤放大器，由此种子光被放大。

隔离器246使从光纤241输出的脉冲光通过，并且阻挡向光纤241返回的光。

带通滤波器247构成为使规定波段的光通过。具体而言，“规定的波段”是包含从光纤241输出的脉冲光的峰值波长的波段。在从光纤241发射出自发发射光的情况下，该自发发射光被带通滤波器247去除。

通过了带通滤波器247的激光经由耦合器248入射到为了传输激光而设置的光纤28。半导体激光器249A～249D发出激励光，以在光纤28中对通过带通滤波器247后的激光进行放大而。即，光纤28与由耦合器245、光纤241和隔离器246构成的光纤放大器同样地，通过组合耦合器248和后述的隔离器262来构成光纤放大器。

耦合器248使通过了带通滤波器247的脉冲光与来自半导体激光器249A～249D的光耦合而向光纤28入射。

另外，图2所示的激光振荡器240的结构是一例，并不限定于此。例如，激光振荡器240只要能够得到规定的波段的激光，则也可以不具有带通滤波器247。

(2)控制基板210

控制基板210包含控制部211、脉冲产生部212、存储部213以及通信处理部214、216、217。

控制部211通过控制脉冲产生部212和驱动器220来控制控制器21的整体动作。详细而言，控制部211通过执行存储于存储部213的操作系统和应用程序，来控制控制器21的整体的动作。

脉冲产生部212产生具有规定的重复频率及规定的脉冲宽度的电信号。脉冲产生部212通过控制部211的控制，输出电信号或停止电信号的输出。来自脉冲产生部212的电信号被供给到半导体激光器242。

存储部213除了操作系统以及应用程序之外，还存储有各种数据。

通信处理部214是用于与打标机头26通信的接口。控制部211经由通信处理部214和控制线缆29将控制信号发送到打标机头26。

通信处理部216受理来自输入装置7的输入。输入装置7是各种指示设备(例如，鼠标、触摸板等)、键盘等。通信处理部216将所受理的输入通知给控制部211。

通信处理部217将由控制部211生成的图像数据发送到显示装置6。此外，在该情况下，显示装置6显示基于该图像数据的图像(用户界面)。关于显示于显示装置6的用户界面的例子，参照图4在后面叙述。

(3)驱动器220和驱动器用电源230

驱动器用电源230向驱动器220供给电力。由此，驱动器220向半导体激光器242、243、249A～249D供给驱动电流。半导体激光器242、243、249A～249D分别通过被供给驱动电流而进行激光振荡。供给到半导体激光器242的驱动电流由来自脉冲产生部212的电信号调制。由此，半导体激光器242进行脉冲振荡，将具有规定的重复频率和规定的脉冲宽度的脉冲光作为种子光输出。另一方面，通过驱动器220向半导体激光器243、249A～249D分别供给连续的驱动电流。由此，半导体激光器243、249A～249D各自连续振荡，将连续光作为激励光输出。

(c2.打标机头26)

打标机头26包含隔离器262、准直透镜263、检流计反射镜部264(X方向的检流计反射镜264a、Y方向的检流计反射镜264b)和聚光透镜265。隔离器262使从光纤28输出的脉冲光通过，并且阻挡向光纤28返回的光。通过隔离器262的脉冲光从伴随隔离器262的准直透镜263输出到大气中，入射到检流计反射镜部264。聚光透镜265对入射到检流计反射镜部264的激光W进行会聚。检流计反射镜部264在第1轴(具体而言，与图1的箭头平行的轴)及与第1轴垂直的第2轴方向中的至少一个方向上扫描激光W。激光W的扫描可以是单程扫描，也可以是往复扫描。

图3是表示控制基板210所包含的硬件的结构图。参照图3，控制基板210具有处理器110、存储器120、通信接口130以及脉冲产生电路140。

存储器120例如构成为包含ROM(Read Only Memory：只读存储器)121、RAM(RandomAccess Memory：随机存取存储器)122以及闪存123。另外，在闪存123中存储有上述的操作系统、应用程序、各种数据。存储器120对应于图2所示的存储部213。

处理器110控制控制器21整体的动作。此外，图2所示的控制部211通过处理器110执行存储于存储器120的操作系统以及应用程序来实现。另外，在执行应用程序时，参照存储在存储器120中的各种数据。

通信接口130用于与外部装置(例如，打标机头26、显示装置6、输入装置7)进行通信。通信接口对应于图2的通信处理部214、216、217。

脉冲产生电路140对应于图2的脉冲产生部212。即，脉冲产生电路140基于来自处理器110的指令，产生具有规定的重复频率及规定的脉冲宽度的电信号。

此外，图3所示的硬件结构是一个例子，并不限定于这些。

<D.事先登记>

图4是表示通过控制器21显示于显示装置6的用户界面700的图。用户界面700是通过控制部211(参照图2)执行存储部213(参照图2)中存储的应用程序而实现的。用户在用户界面700上进行的输入装置7中的输入操作由通信处理部216受理，所受理的输入被通知给控制部211。

控制部211能够配合用户的操作来切换画面模式。图4示出了用于创建和编辑标记数据的编辑模式的画面。控制部211在受理点击按钮703的用户操作时，将画面从编辑模式的画面切换为实际进行标记(加工)时使用的运用模式的画面。另外，控制部211通过受理点击在运用模式的画面中显示的按钮的用户操作，将运用模式的画面切换为编辑模式的画面。

控制部211在受理点击按钮702的用户操作时，使测试标记画面显示于显示装置6。由此，用户能够在显示装置6上确认创建以及编辑后的标记数据。

控制部211受理加工对象物的基准位置的输入。基准位置是用户设想加工对象物8可能位于的位置(理想位置)。基准位置通过由X轴和Y轴构成的坐标系来确定。

控制部211受理要标记的字符、图形、符号等要标记的图案(以下，称为“加工图案”)的输入。由用户使用描绘区域701描绘加工图案。另外，由于在描绘区域701中设定有上述的坐标系，所以控制部211在坐标系中确定用户输入的加工图案。即，控制部211受理用户在描绘区域701上描绘(输入)的加工图案作为位置信息。

在选择了扫描选项卡705的状态下，控制部211受理与扫描相关的设定。在与扫描相关的设定中，例如有扫描速度的设定、助启动/进给功能的设定等。关于助启动/进给功能的详细内容，参照图5～图10在后面叙述。

用户界面700包含用于设定扫描速度的设定栏760和用于设定助启动/进给功能的设定栏762。

设定栏760包含输入栏761。在输入栏761中输入检流计反射镜部264(参照图2)的扫描速度。当数值被输入到输入栏761时，控制部211将所输入的数值设定为检流计反射镜部264的扫描速度。控制部211将后述的各范围A(参照图7～图10)内的扫描速度维持为所设定的扫描速度。由此，范围A内的检流计反射镜部264的扫描速度恒定，因此能够使加工稳定。

设定栏762包含复选框763、764、765和输入栏766、767。控制部211在受理点击复选框763的用户操作时，使助启动/进给功能有效。控制部211在受理点击复选框764的用户操作时，基于所设定的检流计反射镜部264的扫描速度自动地设定助启动距离以及进给距离。控制部211在受理点击复选框765的用户操作时，使对输入栏766、767的数值输入有效。控制部211将输入到输入栏766的数值设定为助启动距离，将输入到输入栏767的数值设定为进给距离。此外，用户可以对输入栏766以及输入栏767输入相同的数值，也可以输入不同的数值。

用户界面700还包含用于将所输入的内容(设定内容)保存为默认值的按钮750、以及用于将所输入的内容(设定内容)恢复到默认值的按钮740。

控制部211还能够将使用用户界面700设定的内容例如以文件形式写入至外部存储器，或者发送至外部的设备。由此，能够将这些设定内容转移到激光打标机1以外的其他激光打标机(未图示)。

<E.打印线的收缩>

参照图5和图6，对打印线的收缩进行说明。图5是表示相对于控制信号的激光的扫描轨迹的图。作为一例，在图5中示出了扫描的折返前后的扫描轨迹。检流计反射镜部264(参照图2)与从控制部211(参照图2)发送来的控制信号对应地进行激光的扫描。控制信号是指示激光扫描的信号。控制部211生成以所设定的速度(输入到前述的输入栏761的速度)进行扫描的情况下的控制信号，并将所生成的控制信号发送到检流计反射镜部264。

控制部211在激光的扫描折返时，需要使扫描速度从设定的速度减速至速度0(零)的状态，改变扫描方向并再次加速至设定的扫描速度。控制部211即使对检流计反射镜部264发送使其减速的控制信号，到检流计反射镜264a、264b的动作减速为止也会产生延迟。由于该延迟，开始如下控制：在激光的扫描到达作为加工图案输入的位置D2之前，改变扫描方向并加速到所设定的扫描速度，因此在比位置D2靠向近前的位置D1处，激光的扫描折返。其结果是，在扫描的折返时，打印线变得比期待的打印线短。

在将检流计反射镜264a、264b的动作相对于控制信号的延迟作为检流计反射镜部264的响应特性的情况下，检流计反射镜部264的响应特性能够用从输入控制信号的时间起到检流计反射镜264a、264b的动作开始为止的延迟时间Δt表示。并且，在将由控制信号指示的位置D2与激光的扫描折返的位置D1之差设为打印线的收缩距离Δd的情况下，打印线的收缩距离Δd能够基于检流计反射镜部264的响应特性和所设定的检流计反射镜部264的扫描速度来计算。具体而言，打印线的收缩距离能够通过以下所示的式1求出。

(式1)Δd＝(Δt+t0)×检流计反射镜部264的扫描速度

式1中的t0是用于允许误差的余量，例如设定为5～20μ秒。另外，在微小步长的情况下，延迟时间Δt一般设定为100～300μ秒。从式1可知，打印线的收缩距离Δd根据检流计反射镜部264的扫描速度而变化。更具体而言，打印线的收缩距离Δd与检流计反射镜部264的扫描速度成比例。另外，打印线的收缩距离Δd与检流计反射镜部264的扫描速度的比例系数根据检流计反射镜264a、264b的动作相对于控制信号的延迟即检流计反射镜部264的响应特性而变化。

此外，在图5中，仅对扫描折返时(同一方向的扫描结束时)的打印线的收缩进行了说明，但在同一方向的扫描开始时，也产生打印线的收缩。因此，参照图6，对同一方向的扫描开始时以及同一方向的扫描结束时的打印线的收缩进行说明。

图6是表示同一方向的扫描开始时以及同一方向的扫描结束时的打印线的收缩的图。在同一方向的扫描开始时，需要使扫描速度从速度0(零)的状态加速到所设定的速度。在使检流计反射镜部264的扫描速度加速时，由于检流计反射镜264a、264b等的动作产生延迟，因此激光的扫描开始比由控制信号指示的定时延迟。所设定的扫描速度越大，该扫描开始的延迟越大。在同一方向的扫描开始时，扫描的开始延迟，因此打印线变得比期待的打印线短。同一方向的扫描开始时的打印线的收缩通过上述的式1来计算。

在同一方向的扫描结束时，需要使扫描速度从所设定的速度减速到速度0(零)的状态。在使检流计反射镜部264的扫描速度减速时，由于检流计反射镜264a、264b等的动作产生延迟，因此激光的扫描结束比由控制信号指示的定时延迟。所设定的扫描速度越大，该扫描结束的延迟越大。因此，在同一方向的扫描结束时，若在由控制信号指示的位置开始扫描速度的减速，则无法在由控制信号指示的位置停止，因此需要从由控制信号指示的位置的近前起开始扫描速度的减速。但是，由于该扫描速度的减速，激光的扫描没有进行到由控制信号指示的位置，而是在其近前的位置结束。其结果是，在同一方向的扫描结束时，打印线也比期待的打印线短。

在既不是同一方向的扫描开始时也不是同一方向的扫描结束时的情况下，扫描速度维持在所设定的速度。因此，相对于控制信号，检流计反射镜264a、264b等的动作不会产生延迟，所以激光的扫描按照由控制信号指示的位置进行。其结果，在既不是同一方向的扫描开始时也不是同一方向的扫描结束时的情况下，打印线成为所期待的打印线。

这样，在激光打标机1中，在同一方向的扫描开始时以及同一方向的扫描结束时，产生打印线的收缩。这是因为，在同一方向的扫描开始时以及同一方向的扫描结束时，检流计反射镜部264的扫描速度不稳定，因此检流计反射镜264a、264b等的动作产生延迟，检流计反射镜部264无法在由控制信号指示的定时进行动作。以下，在同一方向的扫描开始时以及同一方向的扫描结束时，将检流计反射镜264a、264b等的动作相对于控制信号的延迟称为“检流计反射镜部264的响应特性”。

如图5所述，打印线的收缩距离与检流计反射镜部264的扫描速度成比例。因此，本实施方式中的激光打标机1考虑到打印线的收缩，将同一方向的扫描开始位置设定为比作为加工图案受理的位置(期待的位置)靠向近前的位置，将同一方向的扫描结束位置设定为比作为加工图案受理的位置(期待的位置)靠向后方的位置。由于检流计反射镜部264的响应特性，在同一方向的扫描开始位置以及同一方向的扫描结束位置，打印线收缩，因此当激光打标机1在这样的设定下进行加工时，其结果是，加工对象物8(参照图1)按照所受理的加工图案被加工。这样，本实施方式中的激光打标机1能够不受检流计反射镜部264的扫描速度影响地将加工对象物8加工成符合期待的图案。以下，将同一方向的扫描开始位置设定为比作为加工图案受理的位置靠向近前的位置的情况称为“助启动的赋予”，将赋予助启动的功能称为“助启动功能”。另外，将同一方向的扫描结束位置设定为比作为加工图案受理的位置靠向后方的位置称为“进给的赋予”，将赋予进给的功能称为“进给功能”。另外，将助启动功能和进给功能统称为“助启动/进给功能”。

<F.助启动/进给功能>

参照图7～图10，对助启动/进给功能进行说明。图7是表示Y轴方向的扫描的图。图8是将加工图案N1的一部分放大后的图。参照图7以及图8，以Y轴方向的单程扫描为例，对助启动/进给功能进行说明。

控制部211(参照图2)在受理加工图案N1的输入时，将所受理的加工图案N1划分为多个范围A(A1、A2、A3、A4……An(n为1以上的整数))。具体而言，控制部211将加工图案N1划分为包含至少1个被照射激光的块B(B1、B2、B3……Bm(m为1以上的整数))、且检流计反射镜部264(参照图2)对激光的扫描方向连续相同的范围A(A1、A2、A3、A4……An)。在图7以及图8中，由于扫描方向为Y轴方向，因此范围A由X坐标相同的块B构成。

接着，控制部211确认助启动/进给功能是否有效。在助启动/进给功能有效的情况下，控制部211对每个范围A进行助启动的赋予以及进给的赋予。

控制部211对助启动的赋予是指，考虑到打印线的收缩，将各范围A的扫描开始位置设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向近前的位置。具体而言，控制部211针对在各范围A中最初进行扫描的块B，将扫描开始位置设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向近前第1距离L1的位置。第1距离L1(助启动距离)优选为能够不多不少地填补打印线的收缩的距离。在助启动功能的自动设定有效的情况下，控制部211基于所设定的检流计反射镜部264的扫描速度，使用上述式1来计算打印线的收缩距离Δd(参照图5)，并将计算出的值设定为第1距离L1。式1存储于存储部213(参照图2)。此外，在助启动功能的手动设定有效的情况下，控制部211将用户输入的助启动距离设定为第1距离L1。

参照图8，控制部211在范围A11中针对块B11、在范围A12中针对块B14、在范围A13中针对块B17、在范围A14中针对块B18，将扫描开始位置设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向近前第1距离L1的位置。按照作为加工图案N1受理的位置，范围A11的扫描开始位置是位置R11，范围A12的扫描开始位置是位置R12，范围A13的扫描开始位置是位置R13，范围A14的扫描开始位置是位置R14。然而，在助启动功能有效的情况下，通过控制部211，将范围A11的扫描开始位置设定为位置P11，将范围A12的扫描开始位置设定为位置P12，将范围A13的扫描开始位置设定为位置P13，将范围A14的扫描开始位置设定为位置P14。同样地，对于范围A1～范围A10以及范围A15～范围An的各个范围，针对最初进行扫描的块B，扫描开始位置也被设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向近前第1距离L1的位置。

控制部211对进给的赋予是指，考虑到打印线的收缩，将各范围A的扫描结束位置设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向后方的位置。具体而言，控制部211针对在各范围A中最后进行扫描的块B，将扫描结束位置设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向后方第2距离L2的位置。第2距离L2(进给距离)优选为能够不多不少地填补打印线的收缩的距离。在进给功能的自动设定有效的情况下，控制部211基于所设定的检流计反射镜部264的扫描速度，使用上述式1来计算打印线的收缩距离Δd，并将计算出的值设定为第2距离L2。式1存储在存储部213中。另外，在进给功能的手动设定有效的情况下，控制部211将用户输入的进给距离设定为第2距离L2。

参照图8，控制部211在范围A11中针对块B13、在范围A12中针对块B16、在范围A13中针对块B17、在范围A14中针对块B19、将扫描结束位置设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向后方第2距离L2的位置。按照作为加工图案N1受理的位置，范围A11的扫描结束位置是位置S11，范围A12的扫描结束位置是位置S12，范围A13的扫描结束位置是位置S13，范围A14的扫描结束位置是位置S14。然而，在进给功能有效的情况下，通过控制部211，将范围A11的扫描结束位置设定为位置Q11，将范围A12的扫描结束位置设定为位置Q12，将范围A13的扫描结束位置设定为位置Q13，将范围A14的扫描结束位置设定为位置Q14。同样地，关于范围A1～范围A10及范围A15～范围An的各个范围，针对最后进行扫描的块B，扫描结束位置也被设定为比作为加工图案N1受理的位置靠向后方第2距离L2的位置。

接着，控制部211根据所设定的扫描开始位置和扫描结束位置，生成使激光从范围A1扫描到范围An的指示(控制信号)，并将所生成的控制信号发送到检流计反射镜部264。检流计反射镜部264按照从控制部211发送来的控制信号，扫描激光。控制信号所指示的同一方向的扫描开始位置是比作为加工图案N1受理的位置靠向近前的位置，控制信号所指示的同一方向的扫描结束位置是比作为加工图案N1受理的位置靠向后方的位置，但由于检流计反射镜部264的响应特性而导致打印线收缩，其结果是，加工对象物8(参照图1)按照加工图案N1被加工，即，在加工对象物8上出现期待的打印线。

即使在助启动功能被设定为有效的情况下，控制部211也不对在各范围A中不与最初进行扫描的块B相符的块B(例如，块B12、块B13、块B15、块B16、块B19)赋予助启动。另外，即使在进给功能被设定为有效的情况下，控制部211也不对在各范围A中不与最后进行扫描的块B相符的块B(例如，块B11、块B12、块B14、块B15、块B18)赋予进给。由此，能够防止加工图案N1拉长。

另外，控制部211在如范围A13那样仅包含1个块B的情况下，对该块B(块B17)赋予助启动以及进给。

控制部211在助启动/进给功能的自动设定有效的情况下，使用式1计算出第1距离L1和第2距离L2。即，控制部211根据检流计反射镜部264的扫描速度来变更第1距离L1和第2距离L2。具体而言，控制部211与检流计反射镜部264的扫描速度成比例地变更第1距离L1和第2距离L2。进而，控制部211根据延迟时间Δt(参照图5)、即检流计反射镜部264的响应特性，变更第1距离L1及第2距离L2与检流计反射镜部264的扫描速度的比例系数。另外，式1只不过是一例。控制部211也可以使用根据检流计反射镜部264的扫描速度来计算第1距离L1和第2距离L2的其他公式来计算第1距离L1和第2距离L2。另外，也可以将用于计算第1距离L1的式子和用于计算第2距离L2的式子存储于存储部213，控制部211使用各个式子来计算第1距离L1和第2距离L2。即，控制部211可以对第1距离L1和第2距离L2设定相同的距离，也可以设定不同的距离。

在助启动/进给功能未成为有效的情况下，控制部211根据作为加工图案N1受理的位置那样的扫描开始位置以及扫描结束位置，生成使激光从范围A1扫描到范围An的指示(控制信号)，并将生成的控制信号发送到检流计反射镜部264。检流计反射镜部264按照从控制部211发送来的控制信号，扫描激光。控制信号所指示的扫描开始位置及扫描结束位置与作为加工图案N1受理的位置相同，因此由于检流计反射镜部264的响应特性，在同一方向的扫描开始位置及同一方向的扫描结束位置，打印线收缩，其结果是，加工对象物8不会按照加工图案N1被加工。

图9是表示X轴方向的扫描的图。图10是表示与X轴以及Y轴交叉的方向的扫描的图。由于在X轴方向的扫描以及与X轴以及Y轴交叉的方向的扫描中控制部211(参照图2)所进行的处理与在Y轴方向的扫描中控制部211所进行的处理相同，因此以下仅对助启动/进给功能有效的情况进行简单说明。

控制部211在受理了加工图案N的输入时，将所受理的加工图案N划分为多个范围A(A1、A2、A3、A4……An(n为1以上的整数))。具体而言，控制部211将加工图案N划分为包含至少1个被照射激光的块B(B1、B2、B3……Bm(m为1以上的整数))、且检流计反射镜部264(参照图2)对激光的扫描方向连续相同的范围A(A1、A2、A3、A4……An)。

接着，控制部211确认助启动/进给功能是否有效，在助启动/进给功能有效的情况下，按每个范围A进行助启动的赋予以及进给的赋予。

以范围A1为例，控制部211针对在范围A1内最初进行扫描的块B1，将扫描开始位置设定为比作为加工图案N受理的位置靠向近前第1距离L1的位置。第1距离L1的计算方法如上所述。按照作为加工图案N受理的位置，范围A1的扫描开始位置是位置R1。然而，在助启动功能有效的情况下，通过控制部211将范围A1的扫描开始位置设定为位置P1。同样地，关于范围A2～范围An的各个范围，针对最初进行扫描的块B，将扫描开始位置也设定为比作为加工图案N受理的位置靠向近前第1距离L1的位置。

另外，控制部211针对在范围A1内最后进行扫描的块B3，将扫描结束位置设定为比作为加工图案N受理的位置靠向后方第2距离L2的位置。第2距离L2的计算方法如上所述。按照作为加工图案N受理的位置，范围A1的扫描结束位置是位置S1。然而，在进给功能有效的情况下，通过控制部211将范围A1的扫描结束位置设定为位置Q1。同样地，关于范围A2～范围An的各个范围，针对最后进行扫描的块B，将扫描结束位置也设定为比作为加工图案N受理的位置靠向后方第2距离L2的位置。

接着，控制部211根据所设定的扫描开始位置和扫描结束位置，生成使激光从范围A1扫描到范围An的指示(控制信号)，并将所生成的控制信号发送到检流计反射镜部264。检流计反射镜部264按照从控制部211发送来的控制信号，扫描激光。控制信号所指示的同一方向的扫描开始位置是比作为加工图案N受理的位置靠向近前的位置，控制信号所指示的同一方向的扫描结束位置是比作为加工图案N受理的位置靠向后方的位置，但由于检流计反射镜部264的响应特性而导致打印线收缩，其结果是，加工对象物8(参照图1)按照加工图案N被加工，即，在加工对象物8上出现期待的打印线。

这样，本实施方式中的激光打标机1考虑到打印线的收缩，将同一方向的扫描开始位置设定为比作为加工图案N受理的位置靠向近前的位置，将同一方向的扫描结束位置设定为比作为加工图案N受理的位置靠向后方的位置。由于检流计反射镜部264的响应特性，在同一方向的扫描开始位置以及同一方向的扫描结束位置，打印线收缩，因此若在这样的设定下进行加工，则按照作为加工图案N受理的位置出现打印线，即，按照输入到激光打标机1的加工图案N对加工对象物8进行加工。因此，本实施方式中的激光打标机1能够不受检流计反射镜部264的扫描速度影响地按照所受理的加工图案N对加工对象物8进行加工。

此外，上述的助启动/进给功能不仅能够应用于单程扫描，也能够应用于往复扫描。另外，上述的激光打标机1具有助启动功能和进给功能这两方的功能，但也可以仅具有任意一方。另外，在上述的激光打标机1中，如果将助启动/进给功能的设定设为有效，则助启动功能和进给功能双方成为有效，但也可以将激光打标机1构成为能够进行仅将助启动功能设为有效的设定、仅将进给功能设为有效的设定。另外，在上述的激光打标机1中，关于助启动距离以及进给距离的设定，仅是将助启动距离和进给距离双方设为自动设定或者手动设定这样的选项，但也可以具有仅将助启动距离和进给距离中的任意一方设为自动设定、将剩余的一方设为手动设定这样的选项。

<G.接通延迟/断开延迟(On-delay/off-delay)功能>

接通延迟/断开延迟功能是接通延迟功能和断开延迟功能的总称，是调整激光的输出定时的功能的一例。接通延迟功能使激光的输出开始定时延迟，断开延迟功能使激光的输出停止定时延迟。接通延迟/断开延迟功能由用户经由用户界面700设定。接通延迟/断开延迟功能通过与前述的助启动/进给功能组合使用，容易按照符合期待的图案对加工对象物进行加工。以下，参照图11，对接通延迟/断开延迟功能进行说明。

图11是表示激光的输出定时的图。在图11中，作为一例，示出了范围A1(参照图7、图9、图10)中的激光的输出定时。输出信号SG是从控制部211向激光振荡器240发送的信号，是指示激光输出的信号。输出信号SG按每个块B(参照图7、图9、图10)输出。当输出信号SG成为接通时，激光振荡器240输出激光。具体而言，激光振荡器240在输出信号SG1成为接通时，进行对块B1(参照图7、图9、图10)的激光的输出，在输出信号SG2成为接通时，进行对块B2(参照图7、图9、图10)的激光的输出，在输出信号SG3成为接通时，进行对块B3(参照图7、图9、图10)的激光的输出。

图11所示的“通常”表示接通延迟/断开延迟功能未成为有效的情况下的激光的输出定时。当输出信号SG1成为接通时，激光振荡器240在定时t1开始激光的输出，在定时t3停止激光的输出。当输出信号SG2成为接通时，激光振荡器240在定时t4开始激光的输出，在定时t5停止激光的输出。当输出信号SG3成为接通时，激光振荡器240在定时t6开始激光的输出，在定时t7停止激光的输出。

与此相对，图11所示的“接通延迟”表示接通延迟功能有效的情况下的激光的输出定时。在接通延迟功能有效的情况下，激光振荡器240针对在各范围A(参照图7、图9、图10)中最初进行扫描的块B，使激光的输出定时延迟。具体而言，当输出信号SG1成为接通时，激光振荡器240在从通常的输出开始定时(定时t1)起经过第1规定时间α后的定时t2开始激光的输出，在通常的输出停止定时(定时t3)停止激光的输出。另外，关于输出信号SG2成为接通的情况和输出信号SG3成为接通的情况，激光振荡器240在与“通常”同样的定时开始激光的输出，在与“通常”同样的定时停止激光的输出。

图11所示的“断开延迟”表示断开延迟功能有效的情况下的激光的输出定时。在断开延迟功能有效的情况下，激光振荡器240针对在各范围A中最后进行扫描的块B，使激光的停止定时延迟。具体而言，当输出信号SG3成为接通时，激光振荡器240在通常的输出开始定时(定时t6)开始激光的输出，在从通常的输出停止定时(定时t7)经过第2规定时间β后的定时t8停止激光的输出。另外，关于输出信号SG1成为接通的情况和输出信号SG2成为接通的情况，激光振荡器240在与“通常”同样的定时开始激光的输出，在与“通常”同样的定时停止激光的输出。

图11所示的“接通延迟/断开延迟”表示接通延迟功能以及断开延迟功能有效的情况下的激光的输出定时。在接通延迟功能和断开延迟功能有效的情况下，激光振荡器240针对在各范围A中最初进行扫描的块B，使激光的输出定时延迟，且针对在各范围A中最后进行扫描的块B，使激光的停止定时延迟。具体而言，当输出信号SG1成为接通时，激光振荡器240在从通常的输出开始定时(定时t1)起经过第1规定时间α后的定时t2开始激光的输出，在通常的输出停止定时(定时t3)停止激光的输出。另外，当输出信号SG3成为接通时，激光振荡器240在通常的输出开始定时(定时t6)开始激光的输出，在从通常的输出停止定时(定时t7)经过第2规定时间β后的定时t8停止激光的输出。另外，在输出信号SG2成为接通的情况下，激光振荡器240在与“通常”相同的定时开始激光的输出，在与“通常”相同的定时停止激光的输出。

第1规定时间α和第2规定时间β由激光振荡器240基于检流计反射镜部264的响应特性来设定。具体而言，第1规定时间α和第2规定时间β基于所设定的检流计反射镜部264的扫描速度和检流计反射镜部264的响应特性来设定。如果在通常的定时进行激光的输出，则由于检流计反射镜部264的响应特性，在同一方向的扫描开始位置以及同一方向的扫描结束位置，由于检流计反射镜部264的扫描没有跟上，所以有可能向不希望的位置照射激光。然而，通过接通延迟/断开延迟功能，能够消除这样的担忧。通过在前述的助启动/进给功能中组合使用接通延迟/断开延迟功能，容易按照符合期待的图案对加工对象物进行加工。另外，激光振荡器240可以对第1规定时间α和第2规定时间β设定相同的时间，也可以设定不同的时间。

另外，作为调整激光的输出定时的功能，本实施方式中的激光打标机1除了使激光的输出开始定时和/或激光的输出停止定时延迟的功能以外，还可以具有使激光的输出开始定时和/或激光的输出停止定时提前的功能。在使激光的输出开始定时提前的情况下，激光打标机1针对在各范围A中最初进行扫描的块B，使激光的输出开始定时提前。另外，在使激光的输出停止定时提前的情况下，激光打标机1针对在各范围A中最后进行扫描的块B，使激光的输出停止定时提前。

另外，本实施方式中的激光打标机1也可以具有使激光的输出开始定时延迟的功能(接通延迟功能)、使激光的输出停止定时延迟的功能(断开延迟功能)、使激光的输出开始定时提前的功能、以及使激光的输出停止定时提前的功能中的至少一个功能。另外，本实施方式中的激光打标机1也可以构成为用户能够任意地组合设定使激光的输出开始定时延迟的功能(接通延迟功能)、使激光的输出停止定时延迟的功能(断开延迟功能)、使激光的输出开始定时提前的功能、以及使激光的输出停止定时提前的功能中所具有的功能。另外，本实施方式中的激光打标机1也可以形成为能够由用户任意地设定第1规定时间α以及第2规定时间β。

<H.总结>

以上，对本实施方式中的激光打标机1进行了说明。本实施方式中的激光打标机1通过助启动/进给功能，能够不受检流计反射镜部264的扫描速度影响地按照所受理的加工图案对加工对象物8进行加工。另外，本实施方式中的激光打标机1通过将助启动/进给功能与调整激光的输出定时的功能组合，容易按照符合期待的图案对加工对象物进行加工。

另外，本实施方式中的激光打标机1只要具有助启动功能和进给功能中的至少一方即可，也可以不具有调整激光的输出定时的功能。另外，本实施方式中的激光打标机1也可以具有助启动功能和进给功能中的至少一方，并且具有调整激光的输出定时的功能中的至少1个。另外，本实施方式中的激光打标机1也可以构成为具有助启动功能以及进给功能，用户能够任意地设定助启动功能和进给功能中的至少一方。另外，本实施方式中的激光打标机1也可以构成为具有助启动功能以及进给功能，用户能够任意地设定助启动功能和进给功能中的至少一方，并且用户能够任意地设定所具有的调整激光的输出定时的功能中的至少1个。

<I.附记>

上述的本实施方式包含以下这样的技术思想。

[结构1]

一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：

振荡器(240)，其使激光(W)振荡；

扫描仪(264)，其扫描从所述振荡器(240)输出的所述激光(W)；

控制部(211)，其控制所述振荡器(240)进行的所述激光(W)的输出和所述扫描仪(264)进行的所述激光(W)的扫描；以及

受理部(216)，其受理加工对象物(8)的加工图案(N)的输入，

所述控制部(211)将所述加工图案(N)划分为扫描所述激光(W)的方向连续相同的多个范围(A)，使所述扫描仪(264)扫描所述激光(W)，

在所述范围(A)内包含至少1个被照射所述激光(W)的块(B)，

所述控制部(211)针对所述范围(A)内的最初的所述块(B)，将扫描开始位置设定为相对于作为所述加工图案(N)输入的位置靠向近前第1距离(L1)的位置。

[结构2]

在结构1所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)针对所述范围(A)内的最后的所述块(B)，将扫描结束位置设定为相对于作为所述加工图案(N)输入的位置靠向后方第2距离(L2)的位置。

[结构3]

在结构2所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)将所述第1距离(L1)和所述第2距离(L2)设定为相同的距离。

[结构4]

在结构2所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)分别针对所述第1距离(L1)和所述第2距离(L2)设定各自的距离。

[结构5]

在结构1或2所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)将所述范围(A)内的所述扫描仪(264)的扫描速度设为恒定。

[结构6]

在结构1所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)根据所述范围(A)内的所述扫描仪(264)的扫描速度，变更所述第1距离(L1)。

[结构7]

在结构2所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)根据所述范围(A)内的所述扫描仪(264)的扫描速度，变更所述第2距离(L2)。

[结构8]

在结构2所记载的激光加工装置中，

所述控制部(211)与所述范围(A)内的所述扫描仪(264)的扫描速度成比例地变更所述第1距离(L1)和所述第2距离(L2)。

[结构9]

在结构8所记载的激光加工装置中，

所述第1距离(L1)和所述第2距离(L2)与所述范围(A)内的所述扫描仪(264)的扫描速度的比例系数根据所述扫描仪(264)的响应特性来决定。

[结构10]

在结构1～结构9中的任意一项所记载的激光加工装置中，

所述振荡器(240)使输出所述激光(W)的定时相对于从所述控制部(211)接收到的所述激光(W)的输出开始指示错开第1规定时间。

[结构11]

在结构1～结构10中的任意一项所记载的激光加工装置中，

所述振荡器(240)使停止所述激光(W)的定时相对于从所述控制部(211)接收到的所述激光(W)的输出停止指示错开第2规定时间。

[结构12]

一种激光加工装置(1)的控制方法，对激光加工装置(1)进行控制，该激光加工装置(1)具有：振荡器(240)，其使激光(W)振荡；扫描仪(264)，其扫描从所述振荡器(240)输出的所述激光(W)；控制部(211)，其控制所述振荡器(240)进行的所述激光(W)的输出和所述扫描仪(264)进行的所述激光(W)的扫描；以及受理部(216)，其受理加工对象物(8)的加工图案(N)的输入，其中，该激光加工装置(1)的控制方法具有以下步骤：

所述控制部(211)将所述加工图案(N)划分为扫描所述激光(W)的方向连续相同的多个范围(A)，使所述扫描仪(264)扫描所述激光(W)；以及

在所述范围(A)内包含至少1个被照射所述激光(W)的块(B)，所述控制部(211)针对所述范围(A)内的最初的所述块(B)，将扫描开始位置设定为相对于作为所述加工图案(N)输入的位置靠向近前第1距离(L1)的位置。

[结构13]

在结构12所记载的激光加工装置的控制方法中，

该控制方法还具有以下步骤：所述控制部(211)针对所述范围(A)内的最后的所述块(B)，将扫描结束位置设定为相对于作为所述加工图案(N)输入的位置靠向后方第2距离(L2)的位置。

应该认为本次公开的实施方式在所有方面都是例示而不是限制性的。本发明的范围由权利要求书、而不由上述的说明来表示，意在包含与权利要求书等同的意思以及范围内的所有变更。

标号说明

1：激光打标机；6：显示装置；7：输入装置；8：加工对象物；9：部件；242、243、249A、249B、249C、249D：半导体激光器；21：控制器；26：打标机头；28、241：光纤；29：控制线缆；110：处理器；120：存储器；121：ROM；122：RAM；123：闪存；130：通信接口；140：脉冲产生电路；210：控制基板；211：控制部；212：脉冲产生部；213：存储部；214、216、217：通信处理部；220：驱动器；230：驱动器用电源；240：激光振荡器；244、246、262：隔离器；245、248：耦合器；247：带通滤波器；263：准直透镜；264：检流计反射镜部；264a、264b：检流计反射镜；265：聚光透镜；700：用户界面；701：描绘区域；702、703、740、750：按钮；705：扫描选项卡；760、762：设定栏；761、766、767：输入栏；763、764、765：复选框；A、A1、A2、A3、A4、A11、A12、A13、A14、An：范围；B、B1、B2、B3、B11、B12、B13、B14、B15、B16、B17、B18、B19、Bm：块；D0、D1、D2、P、P1、P11、P12、P13、P14、Q、Q1、Q11、Q12、Q13、Q14、R、R1、R11、R12、R13、R14、S、S1、S11、S12、S13、S14：位置；L1：第1距离；L2：第2距离；N、N1、N2、N3：加工图案；SG、SG1、SG2、SG3：输出信号；W：激光；t1、t2、t3、t4、t5、t6、t7、t8：定时。

Claims (13)

1.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：

振荡器，其使激光振荡；

扫描仪，其扫描从所述振荡器输出的所述激光；

控制部，其控制所述振荡器进行的所述激光的输出和所述扫描仪进行的所述激光的扫描；以及

受理部，其受理加工对象物的加工图案的输入，

所述控制部将所述加工图案划分为扫描所述激光的方向连续相同的多个范围，使所述扫描仪扫描所述激光，

在所述范围内包含至少1个被照射所述激光的块，

所述控制部针对所述范围内的最初的所述块，将扫描开始位置设定为相对于作为所述加工图案输入的位置靠向近前第1距离的位置。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述控制部针对所述范围内的最后的所述块，将扫描结束位置设定为相对于作为所述加工图案输入的位置靠向后方第2距离的位置。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述控制部将所述第1距离和所述第2距离设定为相同的距离。

4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述控制部分别针对所述第1距离和所述第2距离设定各自的距离。

5.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

所述控制部将所述范围内的所述扫描仪的扫描速度设为恒定。

6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

所述控制部根据所述范围内的所述扫描仪的扫描速度，变更所述第1距离。

7.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述控制部根据所述范围内的所述扫描仪的扫描速度，变更所述第2距离。

8.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述控制部与所述范围内的所述扫描仪的扫描速度成比例地变更所述第1距离和所述第2距离。

9.根据权利要求8所述的激光加工装置，其中，

所述第1距离和所述第2距离与所述范围内的所述扫描仪的扫描速度的比例系数根据所述扫描仪的响应特性来决定。

10.根据权利要求1～9中的任意一项所述的激光加工装置，其中，

所述振荡器使输出所述激光的定时相对于从所述控制部接收到的所述激光的输出开始指示错开第1规定时间。

11.根据权利要求1～10中的任意一项所述的激光加工装置，其中，

所述振荡器使停止所述激光的定时相对于从所述控制部接收到的所述激光的输出停止指示错开第2规定时间。

12.一种激光加工装置的控制方法，对激光加工装置进行控制，该激光加工装置具有：振荡器，其使激光振荡；扫描仪，其扫描从所述振荡器输出的所述激光；控制部，其控制所述振荡器进行的所述激光的输出和所述扫描仪进行的所述激光的扫描；以及受理部，其受理加工对象物的加工图案的输入，其中，该激光加工装置的控制方法具有以下步骤：

所述控制部将所述加工图案划分为扫描所述激光的方向连续相同的多个范围，使所述扫描仪扫描所述激光；以及

在所述范围内包含至少1个被照射所述激光的块，所述控制部针对所述范围内的最初的所述块，将扫描开始位置设定为相对于作为所述加工图案输入的位置靠向近前第1距离的位置。

13.根据权利要求12所述的激光加工装置的控制方法，其中，

该控制方法还具有以下步骤：所述控制部针对所述范围内的最后的所述块，将扫描结束位置设定为相对于作为所述加工图案输入的位置靠向后方第2距离的位置。

Images