CN114871889B - 一种半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法，属于半导体器件生产领域。一种半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括：活动座、打磨柱、螺杆一和工作台；所述工作台固定安装有安装座；所述安装座滑动连接有所述活动座；所述安装座转动连接有所述螺杆一；所述螺杆一与所述活动座螺纹连接；所述螺杆一通过电机一驱动；所述活动座对称滑动连接有活动块；所述活动块均转动连接有活动轴；与现有技术相比，本申请的一种半导体器件生产用的电气元件制造装置不仅能够对不同尺寸的半导体器件的壳体的外壁进行打磨，同时还能对壳体的倒角进行打磨，从而缩短了打磨时间，提高了加工效率。

Description

一种半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法

技术领域

本发明涉及半导体器件生产领域，具体涉及一种半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法。

背景技术

半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换，半导体器件的半导体材料是硅、锗或砷化镓，可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材。半导体器件通过会采用外壳进行保护，外壳通常需要进打磨去毛边；现有的半导体器件外壳在打磨过程中只能逐面进行，操作麻烦；如中国专利CN201911180523.8公开的半导体器件封装装置；该装置只能进行简单的打磨，无法针对倒角面进行打磨；因此，提出一种半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提出了一种半导体器件生产用的电气元件制造装置及制造方法。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括：活动座、打磨柱、螺杆一和工作台；

所述工作台固定安装有安装座；所述安装座滑动连接有所述活动座；所述安装座转动连接有所述螺杆一；所述螺杆一与所述活动座螺纹连接；所述螺杆一通过电机一驱动；所述活动座对称滑动连接有活动块；所述活动块均转动连接有活动轴；所述活动座的上端固定安装有固定板；所述活动座靠近所述固定板的一侧转动连接有中间轴；所述中间轴固定安装有中间板；所述中间板对称转动连接有连接轴；所述连接轴均转动连接有连接板；所述连接板均与一个所述活动轴转动连接；所述固定板固定安装有电机二；所述电机二靠近所述活动座的一侧固定安装有直齿轮一；所述连接轴固定安装有直齿轮二；所述直齿轮一与所述直齿轮二啮合；所述活动轴与所述连接轴均固定安装有链轮一；所述链轮一通过链条连接；

所述活动块靠近所述工作台的一侧转动连接有转动轴；所述转动轴固定安装有转动板；所述转动板固定安装有转动座；所述转动座转动连接有固定轴；所述固定轴可拆卸式地固定安装有所述打磨柱；所述固定轴与所述活动轴均固定安装有连接块；所述连接块均设置凹槽；两个所述凹槽之间设置有传动块；所述传动块固定安装有两个传动轴；所述传动轴分别与一个所述连接块转动连接；所述活动块和所述转动轴通过驱动机构驱动。

进一步地，所述驱动机构包括螺杆二、直齿轮三和电机三；所述活动块靠近所述转动轴的一侧固定安装有驱动座一；所述驱动座一转动连接有驱动轴一；所述驱动轴一固定安装有直齿轮四和锥齿轮一；所述转动轴固定安装有锥齿轮二；所述锥齿轮一和所述锥齿轮二啮合；所述活动座固定安装有旋转座；所述旋转座转动连接有旋转轴；所述旋转轴固定安装有所述直齿轮三；所述直齿轮四均与所述直齿轮三啮合；所述旋转轴固定安装有链轮二；所述链轮二圆周均布有限位孔；所述旋转座固定安装有球头柱塞；所述球头柱塞抵住一个所述限位孔；

所述活动座对称固定安装有驱动座二；所述驱动座二均转动连接有一个所述螺杆二；所述活动座在所述螺杆二之间转动连接有锥齿轮三；所述螺杆二均固定安装有锥齿轮四；所述锥齿轮四与所述锥齿轮三均啮合；所述活动块均固定安装有连接座；所述连接座分别与一个所述螺杆二螺纹连接；所述活动座靠近所述旋转座的一侧转动连接有回转轴；所述回转轴和一个所述螺杆二均固定安装有直齿轮八；所述回转轴固定安装有链轮三；所述链轮三与所述链轮二通过链条连接；

所述活动座在所述直齿轮八之间滑动连接有滑动座一；所述滑动座一对称固定安装有滑动座二；所述滑动座二对称转动连接有滑动轴二；所述滑动轴二均固定安装有锥齿轮五；两个所述滑动座二靠近所述滑动座一的一侧转动连接有一个滑动轴三；所述滑动轴三对称固定安装有直齿轮五；所述滑动轴二均固定安装有直齿轮六；所述直齿轮六分别与一个所述直齿轮五啮合；所述滑动座一对称转动连接有滑动轴一；所述滑动轴一固定安装有直齿轮七和锥齿轮六；所述直齿轮七均与所述直齿轮八适配；所述滑动轴三对称固定安装有锥齿轮七；所述锥齿轮七与所述锥齿轮六啮合；所述活动座固定安装有所述电机三；所述电机三固定安装有电机轴；所述电机轴固定安装有两个缺齿齿轮；所述缺齿齿轮均与所述锥齿轮五适配；所述锥齿轮五布置在所述缺齿齿轮之间，所述锥齿轮五与所述缺齿齿轮交错啮合。

进一步地，所述活动座转动连接有过渡轴；所述过渡轴通过单向轴承固定安装有锥齿轮八；所述过渡轴固定安装有转盘；所述转盘固定安装有驱动柱；所述滑动座一固定安装有驱动板；所述驱动板设置有腰形孔；所述驱动柱布置在所述腰形孔的内部；所述电机轴固定安装有锥齿轮九；所述电机轴通过单向轴承固定安装有连接套；所述缺齿齿轮均固定安装在所述连接套上；所述锥齿轮九与所述锥齿轮八啮合。

进一步地，所述工作台在所述打磨柱的下端设置有夹持机构；所述夹持机构包移动板、夹持座、夹持块、螺杆三和换向轴；所述移动板与所述工作台滑动连接；所述夹持座与所述移动板滑动连接；所述夹持座设有内腔；所述夹持座对称滑动连接有固定块；所述固定块相靠近的一侧固定安装有所述夹持块；所述夹持座的内部对称转动连接有所述螺杆三；所述螺杆三均螺纹连接有一个所述固定块；所述螺杆三均固定安装有锥齿轮十；所述夹持座在所述锥齿轮十之间转动连接有所述换向轴；所述夹持座在所述夹持块之间设置有圆孔；所述换向轴在所述圆孔中设置有圆块；所述换向轴转动连接有锥齿轮十一；所述锥齿轮十一与所述锥齿轮十啮合；所述工作台固定安装有电动推杆一；所述电动推杆一与所述移动板固定安装；所述移动板固定安装有电动推杆二；所述电动推杆二与所述夹持座固定安装；所述移动板在所述夹持座的下端设置有通孔一；所述工作台在所述通孔一的下端设置有通孔二；所述夹持座在所述通孔一的内部固定安装有电机四；所述电机四与所述换向轴均固定安装有锥齿轮十二；所述锥齿轮十二相互啮合；一个所述螺杆三通过电机五驱动。

进一步地，所述换向轴的内部螺纹连接有螺杆四；所述螺杆四与所述圆块固定安装。

进一步地，所述工作台靠近所述夹持机构的一侧设置有风机。

进一步地，所述夹持块固定安装有垫片。

本发明的有益效果：

本发明的一种半导体器件生产用的电气元件制造装置不仅能够对不同尺寸的半导体器件的壳体的外壁进行打磨，同时还能对壳体的倒角进行打磨，从而缩短了打磨时间，提高了加工效率。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本申请的立体结构示意图；

图2为本申请的打磨机构示意图；

图3为本申请的打磨机构侧向示意图；

图4为本申请的驱动机构示意图；

图5为本申请的驱动机构侧向示意图；

图6为本申请的侧向机构示意图；

图7为本申请的底部结构示意图；

图8为本申请的A处放大示意图；

图9为本申请的B处放大示意图；

图10为本申请的C处放大示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“开孔”、“上”、“下”、“厚度”、“顶”、“中”、“长度”、“内”、“四周”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

一种半导体器件生产用的电气元件制造装置，包括：活动座3、打磨柱21、螺杆一4和工作台1；

工作台1固定安装有安装座2；安装座2滑动连接有活动座3；安装座2转动连接有螺杆一4；螺杆一4与活动座3螺纹连接；螺杆一4通过电机一5驱动；通过驱动螺杆一4转动，即可驱动活动座3上下移动；

活动座3对称滑动连接有活动块6；活动块6均转动连接有活动轴7；活动座3的上端固定安装有固定板8；活动座3靠近固定板8的一侧转动连接有中间轴9；中间轴9固定安装有中间板10；中间板10对称转动连接有连接轴11；连接轴11均转动连接有连接板；连接板均与一个活动轴7转动连接；固定板8固定安装有电机二13；电机二13靠近活动座3的一侧固定安装有直齿轮一14；连接轴11固定安装有直齿轮二15；直齿轮一14与直齿轮二15啮合；活动轴7与连接轴11均固定安装有链轮一16；链轮一16通过链条连接；通过驱动一个活动块6移动，活动块6又带动活动轴7移动，活动轴7带动连接板摆动，连接板又通过连接轴11带动中间板10摆动，从而带动另一侧的连接轴11和连接板移动，从而驱动活动块6移动，从而实现活动轴7同步向内侧或外侧移动；此外，在调节过程中，电机通过直齿轮一14始终驱动直齿轮二15和连接轴11转动；连接轴11通过链轮一16和链条始终带动活动轴7转动，从而保证在改变活动轴7位置时，电机二13依旧能够驱动活动轴7转动；

活动块6靠近工作台1的一侧转动连接有转动轴17；转动轴17固定安装有转动板18；转动板18固定安装有转动座19；转动座19转动连接有固定轴20；固定轴20可拆卸式地固定安装有打磨柱21；固定轴20与活动轴7均固定安装有连接块22；连接块22均设置凹槽；两个凹槽之间设置有传动块23；传动块23固定安装有两个传动轴24；传动轴24分别与一个连接块22转动连接；活动块6和转动轴17通过驱动机构驱动；在针对倒角打磨时，通过转动转动轴17，转动轴17带动转动板18、转动座19和固定轴20摆动一定幅度，使得打磨头的底面与倒角面对齐；然后驱动活动轴7转动，活动轴7通过传动轴24和传动块23带动固定轴20转动，最后驱动打磨头的底面进行转动从而完成对倒角面的打磨；

下面说明具体的制造方法，首先将半导体器件的壳体用夹持机构夹持好，然后通过驱动活动块6移动，具体的可以采用螺杆、电动推杆等方式驱动，调节两个打磨柱21的间距，驱动转动轴17转动，控制打磨柱21的角度；接着电机二13驱动连接轴11和活动轴7转动，从而驱动打磨柱21转动，继而控制打磨柱21对半导体器件的壳体的侧面进行打磨；打磨结束后，再通过控制转动轴17来调节打磨柱21的角度，从而完成对壳体倒角面的打磨，转动轴17可以通过电机、气缸等方式驱动。

进一步地，驱动机构包括螺杆二35、直齿轮三75和电机三52；活动块6靠近转动轴17的一侧固定安装有驱动座一25；驱动座一25转动连接有驱动轴一26；驱动轴一26固定安装有直齿轮四27和锥齿轮一28；转动轴17固定安装有锥齿轮二29；锥齿轮一28和锥齿轮二29啮合；故通过驱动驱动轴一26转动即可带动转动轴17转动；活动座3固定安装有旋转座30；旋转座30转动连接有旋转轴31；旋转轴31固定安装有直齿轮三75；直齿轮四27均与直齿轮三75啮合；旋转轴31固定安装有链轮二32；链轮二32圆周均布有限位孔33；旋转座30固定安装有球头柱塞；球头柱塞抵住一个限位孔33；直齿轮三75为长齿轮，活动块6移动时，两个驱动轴一26上的直齿轮四27始终与旋转轴31上的直齿轮三75保持啮合；

活动座3对称固定安装有驱动座二34；驱动座二34均转动连接有一个螺杆二35；活动座3在螺杆二35之间转动连接有锥齿轮三36；螺杆二35均固定安装有锥齿轮四37；锥齿轮四37与锥齿轮三36均啮合；活动块6均固定安装有连接座38；连接座38分别与一个螺杆二35螺纹连接；当一个螺杆二35转动时，螺杆二35通过锥齿轮四37驱动锥齿轮三36转动，然后锥齿轮三36又驱动另一个直齿轮四27转动，从而实现连接座38的同步相向移动；活动座3靠近旋转座30的一侧转动连接有回转轴39；回转轴39和一个螺杆二35均固定安装有直齿轮八76；回转轴39固定安装有链轮三40；链轮三40与链轮二32通过链条连接；

活动座3在直齿轮八76之间滑动连接有滑动座一41；滑动座一41对称固定安装有滑动座二42；滑动座二42对称转动连接有滑动轴二43；滑动轴二43均固定安装有锥齿轮五44；两个滑动座二42靠近滑动座一41的一侧转动连接有一个滑动轴三45；滑动轴三45对称固定安装有直齿轮五46；滑动轴二43均固定安装有直齿轮六47；直齿轮六47分别与一个直齿轮五46啮合；滑动座一41对称转动连接有滑动轴一48；滑动轴一48固定安装有直齿轮七49和锥齿轮六50；直齿轮七49均与直齿轮八76适配；滑动轴三45对称固定安装有锥齿轮七51；锥齿轮七51与锥齿轮六50啮合；活动座3固定安装有电机三52；电机三52固定安装有电机轴53；电机轴53固定安装有两个缺齿齿轮54；缺齿齿轮54均与锥齿轮五44适配；锥齿轮五44布置在缺齿齿轮54之间，锥齿轮五44与缺齿齿轮54交错啮合。

初始状态下，滑动座一41靠近螺杆二35，此时螺杆二35上的直齿轮八76与同侧的直齿轮七49啮合，同时同侧的锥齿轮五44与缺齿齿轮54中的一个啮合；电机三52转动时，电机通过缺齿齿轮54驱动锥齿轮五44转动，由于锥齿轮五44布置在缺齿齿轮54之间，一个缺齿齿轮54驱动锥齿轮五44正向转动，一个缺齿齿轮54驱动锥齿轮五44反向转动；同时锥齿轮五44与缺齿齿轮54交错啮合即锥齿轮五44先与第一个缺齿齿轮54啮合再与第二个缺齿齿轮54啮合，并重复上述动作；缺齿齿轮54驱动锥齿轮五44和滑动轴二43做往复转动，滑动轴二43由于通过直齿轮驱动滑动轴三45转动，滑动轴三45通过锥齿轮驱动滑动轴一48转动，滑动轴一48通过直齿轮七49驱动直齿轮四27和螺杆二35转动，从而驱动螺杆二35往复转动以调整活动块6和打磨柱21的间距；调整结束后，控制滑动座一41向着另一侧移动，此时回转轴39上的直齿轮四27与同侧的直齿轮七49啮合，同时同侧的锥齿轮五44与缺齿齿轮54中的一个啮合；此时电机三52通过驱动回转轴39转动，继而驱动旋转轴31转动，从而调整的打磨柱21角度；上述机构通过单个电机即可实现对打磨柱21的间距和角度的控制。

进一步地，活动座3转动连接有过渡轴；过渡轴通过单向轴承固定安装有锥齿轮八55；过渡轴固定安装有转盘56；转盘56固定安装有驱动柱57；滑动座一41固定安装有驱动板58；驱动板58设置有腰形孔；驱动柱57布置在腰形孔的内部；电机轴53固定安装有锥齿轮九59；电机轴53通过单向轴承固定安装有连接套60；缺齿齿轮54均固定安装在连接套60上；锥齿轮九59与锥齿轮八55啮合；电机轴53正向转动时，电机轴53通过锥齿轮九59带动锥齿轮八55转动，而锥齿轮八55在单向轴承的作用下相对过渡轴转动，电机轴53带动连接套60转动，从而驱动两个缺齿齿轮54转动；当电机轴53反向转动时，锥齿轮八55会驱动过渡轴、转盘56和驱动柱57转动，驱动柱57通过驱动驱动板58移动从而带动滑动座一41进行移动，从而切换啮合的直齿轮四27；此时连接套60相对电机轴53转动。

进一步地，工作台1在打磨柱21的下端设置有夹持机构；夹持机构包移动板61、夹持座62、夹持块64、螺杆三65和换向轴67；移动板61与工作台1滑动连接；夹持座62与移动板61滑动连接；夹持座62设有内腔；夹持座62对称滑动连接有固定块63；固定块63相靠近的一侧固定安装有夹持块64；夹持座62的内部对称转动连接有螺杆三65；螺杆三65均螺纹连接有一个固定块63；螺杆三65均固定安装有锥齿轮十66；夹持座62在锥齿轮十66之间转动连接有换向轴67；夹持座62在夹持块64之间设置有圆孔；换向轴67在圆孔中设置有圆块68；换向轴67转动连接有锥齿轮十一69；锥齿轮十一69与锥齿轮十66啮合；工作台1固定安装有电动推杆一70；电动推杆一70与移动板61固定安装；移动板61固定安装有电动推杆二71；电动推杆二71与夹持座62固定安装；移动板61在夹持座62的下端设置有通孔一；工作台1在通孔一的下端设置有通孔二；夹持座62在通孔一的内部固定安装有电机四72；电机四72与换向轴67均固定安装有锥齿轮十二73；锥齿轮十二73相互啮合；一个螺杆三65通过电机五驱动；电机五驱动螺杆三65转动，从而控制固定块63和夹持块64相向移动完成对半导体器件壳体的夹持；通过转动换向轴67带动圆块68旋转，在夹持块64不夹持的情况带动壳体旋转方向；电动推杆一70用于控制移动板61和夹持座62向着螺杆一4移动，电动推杆二71用于控制夹持座62与移动板61移动的垂直方向移动，从而控制夹持座62带动壳体在平面做任意方向移动。

进一步地，换向轴67的内部螺纹连接有螺杆四74；螺杆四74与圆块68固定安装；通过转动螺杆四74能够控制圆块68的高度以适应与不同高度的壳体；同时螺杆四74上可以设置有阻尼脂等方式提高螺杆四74与换向轴67之间的摩擦来限制螺杆四74相对换向轴67的转动。

进一步地，工作台1靠近夹持机构的一侧设置有风机；用于去除打磨产生的废屑。

进一步地，夹持块64固定安装有垫片，垫片可以为EVA、聚氨酯、硅胶、聚四氟乙烯等弹性材料，防止损坏壳体。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。

Claims (5)

1.一种半导体器件生产用的电气元件制造装置，其特征在于，包括：活动座（3）、打磨柱（21）、螺杆一（4）和工作台（1）；

所述工作台（1）固定安装有安装座（2）；所述安装座（2）滑动连接有所述活动座（3）；所述安装座（2）转动连接有所述螺杆一（4）；所述螺杆一（4）与所述活动座（3）螺纹连接；所述螺杆一（4）通过电机一（5）驱动；所述活动座（3）对称滑动连接有活动块（6）；所述活动块（6）均转动连接有活动轴（7）；所述活动座（3）的上端固定安装有固定板（8）；所述活动座（3）靠近所述固定板（8）的一侧转动连接有中间轴（9）；所述中间轴（9）固定安装有中间板（10）；所述中间板（10）对称转动连接有连接轴（11）；所述连接轴（11）均转动连接有连接板；所述连接板均与一个所述活动轴（7）转动连接；所述固定板（8）固定安装有电机二（13）；所述电机二（13）靠近所述活动座（3）的一侧固定安装有直齿轮一（14）；所述连接轴（11）固定安装有直齿轮二（15）；所述直齿轮一（14）与所述直齿轮二（15）啮合；所述活动轴（7）与所述连接轴（11）均固定安装有链轮一（16）；所述链轮一（16）通过链条连接；

所述活动块（6）靠近所述工作台（1）的一侧转动连接有转动轴（17）；所述转动轴（17）固定安装有转动板（18）；所述转动板（18）固定安装有转动座（19）；所述转动座（19）转动连接有固定轴（20）；所述固定轴（20）可拆卸式地固定安装有所述打磨柱（21）；所述固定轴（20）与所述活动轴（7）均固定安装有连接块（22）；所述连接块（22）均设置凹槽；两个所述凹槽之间设置有传动块（23）；所述传动块（23）固定安装有两个传动轴（24）；所述传动轴（24）分别与一个所述连接块（22）转动连接；所述活动块（6）和所述转动轴（17）通过驱动机构驱动；

所述驱动机构包括螺杆二（35）、直齿轮三（75）和电机三（52）；所述活动块（6）靠近所述转动轴（17）的一侧固定安装有驱动座一（25）；所述驱动座一（25）转动连接有驱动轴一（26）；所述驱动轴一（26）固定安装有直齿轮四（27）和锥齿轮一（28）；所述转动轴（17）固定安装有锥齿轮二（29）；所述锥齿轮一（28）和所述锥齿轮二（29）啮合；所述活动座（3）固定安装有旋转座（30）；所述旋转座（30）转动连接有旋转轴（31）；所述旋转轴（31）固定安装有所述直齿轮三（75）；所述直齿轮四（27）均与所述直齿轮三（75）啮合；所述旋转轴（31）固定安装有链轮二（32）；所述链轮二（32）圆周均布有限位孔（33）；所述旋转座（30）固定安装有球头柱塞；所述球头柱塞抵住一个所述限位孔（33）；

所述活动座（3）对称固定安装有驱动座二（34）；所述驱动座二（34）均转动连接有一个所述螺杆二（35）；所述活动座（3）在所述螺杆二（35）之间转动连接有锥齿轮三（36）；所述螺杆二（35）均固定安装有锥齿轮四（37）；所述锥齿轮四（37）与所述锥齿轮三（36）均啮合；所述活动块（6）均固定安装有连接座（38）；所述连接座（38）分别与一个所述螺杆二（35）螺纹连接；所述活动座（3）靠近所述旋转座（30）的一侧转动连接有回转轴（39）；所述回转轴（39）和一个所述螺杆二（35）均固定安装有直齿轮八（76）；所述回转轴（39）固定安装有链轮三（40）；所述链轮三（40）与所述链轮二（32）通过链条连接；

所述活动座（3）在所述直齿轮八（76）之间滑动连接有滑动座一（41）；所述滑动座一（41）对称固定安装有滑动座二（42）；所述滑动座二（42）对称转动连接有滑动轴二（43）；所述滑动轴二（43）均固定安装有锥齿轮五（44）；两个所述滑动座二（42）靠近所述滑动座一（41）的一侧转动连接有一个滑动轴三（45）；所述滑动轴三（45）对称固定安装有直齿轮五（46）；所述滑动轴二（43）均固定安装有直齿轮六（47）；所述直齿轮六（47）分别与一个所述直齿轮五（46）啮合；所述滑动座一（41）对称转动连接有滑动轴一（48）；所述滑动轴一（48）固定安装有直齿轮七（49）和锥齿轮六（50）；所述直齿轮七（49）均与所述直齿轮八（76）适配；所述滑动轴三（45）对称固定安装有锥齿轮七（51）；所述锥齿轮七（51）与所述锥齿轮六（50）啮合；所述活动座（3）固定安装有所述电机三（52）；所述电机三（52）固定安装有电机轴（53）；所述电机轴（53）固定安装有两个缺齿齿轮（54）；所述缺齿齿轮（54）均与所述锥齿轮五（44）适配；所述锥齿轮五（44）布置在所述缺齿齿轮（54）之间，所述锥齿轮五（44）与所述缺齿齿轮（54）交错啮合；

所述活动座（3）转动连接有过渡轴；所述过渡轴通过单向轴承固定安装有锥齿轮八（55）；所述过渡轴固定安装有转盘（56）；所述转盘（56）固定安装有驱动柱（57）；所述滑动座一（41）固定安装有驱动板（58）；所述驱动板（58）设置有腰形孔；所述驱动柱（57）布置在所述腰形孔的内部；所述电机轴（53）固定安装有锥齿轮九（59）；所述电机轴（53）通过单向轴承固定安装有连接套（60）；所述缺齿齿轮（54）均固定安装在所述连接套（60）上；所述锥齿轮九（59）与所述锥齿轮八（55）啮合。

2.根据权利要求1所述的半导体器件生产用的电气元件制造装置，其特征在于，所述工作台（1）在所述打磨柱（21）的下端设置有夹持机构；所述夹持机构包移动板（61）、夹持座（62）、夹持块（64）、螺杆三（65）和换向轴（67）；所述移动板（61）与所述工作台（1）滑动连接；所述夹持座（62）与所述移动板（61）滑动连接；所述夹持座（62）设有内腔；所述夹持座（62）对称滑动连接有固定块（63）；所述固定块（63）相靠近的一侧固定安装有所述夹持块（64）；所述夹持座（62）的内部对称转动连接有所述螺杆三（65）；所述螺杆三（65）均螺纹连接有一个所述固定块（63）；所述螺杆三（65）均固定安装有锥齿轮十（66）；所述夹持座（62）在所述锥齿轮十（66）之间转动连接有所述换向轴（67）；所述夹持座（62）在所述夹持块（64）之间设置有圆孔；所述换向轴（67）在所述圆孔中设置有圆块（68）；所述换向轴（67）转动连接有锥齿轮十一（69）；所述锥齿轮十一（69）与所述锥齿轮十（66）啮合；所述工作台（1）固定安装有电动推杆一（70）；所述电动推杆一（70）与所述移动板（61）固定安装；所述移动板（61）固定安装有电动推杆二（71）；所述电动推杆二（71）与所述夹持座（62）固定安装；所述移动板（61）在所述夹持座（62）的下端设置有通孔一；所述工作台（1）在所述通孔一的下端设置有通孔二；所述夹持座（62）在所述通孔一的内部固定安装有电机四（72）；所述电机四（72）与所述换向轴（67）均固定安装有锥齿轮十二（73）；所述锥齿轮十二（73）相互啮合；一个所述螺杆三（65）通过电机五驱动。

3.根据权利要求2所述的半导体器件生产用的电气元件制造装置，其特征在于，所述换向轴（67）的内部螺纹连接有螺杆四（74）；所述螺杆四（74）与所述圆块（68）固定安装。

4.根据权利要求3所述的半导体器件生产用的电气元件制造装置，其特征在于，所述工作台（1）靠近所述夹持机构的一侧设置有风机。

5.根据权利要求3所述的半导体器件生产用的电气元件制造装置，其特征在于，所述夹持块（64）固定安装有垫片。

Images