CN114846920B - 物品输送系统 - Google Patents

Abstract

物品输送系统具备：台组、第一通信装置及判断部。台组排列设置有能够交接物品的多个台，上述物品在对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机中使用。第一通信装置具有在能够与多个台中的预定的台之间交接物品的输送车设置的第一通信部及在多个台中的各台设置的第二通信部。在第一通信装置中，在输送车到达了多个台中的一个台时，允许设置于一个台的第二通信部与第一通信部之间的第一无线通信，限制设置于其他台的第二通信部与第一通信部之间的第一无线通信。判断部通过利用第一通信装置来判断输送车是否到达了作为输送车应送出或接收物品的台的目标台。

Description

物品输送系统

技术领域

本说明书公开了与物品输送系统相关的技术。

背景技术

专利文献1记载的元件安装系统具备：补给装置、输送单元、非接触传送装置及对照部。补给装置能够在元件保管库与多个安装机模块之间行驶，支撑元件供给要素而将元件供给要素向多个安装机模块补给，并且从多个安装机模块回收元件供给要素。输送单元在元件保管库与多个安装机模块之间输送补给装置。非接触传送装置在多个安装机模块与补给装置之间非接触地传送信号。对照部读取在安装机模块与补给装置之间被补给的元件供给要素的ID并进行对照。

专利文献2记载的元件安装线具备设置于元件安装线的单元保管库和相对于单元保管库进行部件的输送的AGV。另外，专利文献2记载的元件安装线中，AGV仅向供料器保管库搬入搬出供料器，由此抑制AGV的移动与更换机器人的移动之间的干扰，以谋求限定引导器设置范围。

专利文献3记载的输送系统的输送车及装置中的一方具备：移载机构部、通信单元及控制单元。移载机构部通过将搭载的货物向作为输送车及装置中的另一方的对象侧交出或者从对象侧取出货物来移载货物。通信单元向对象侧发出要求移载许可的移载要求信号，并取得表示对于该要求的许可的移载许可信号。控制单元在通信单元取得移载许可信号之前，以使移载机构部在不侵入对象侧的范围内进行移载动作的方式控制移载机构部。

另外，专利文献3记载的无人输送车从输送车控制器接收晶圆盒的移载指示而在处理装置台的前方停止，通过光通信而与处理装置进行联锁通信并开始晶圆盒的移载动作。联锁通信确定移载对象，在探询对象的状态并确认了来自对象的回信的基础上推进移载作业。

在先技术文献

专利文献1：国际公开第2014/010083号

专利文献2：国际公开第2017/033268号

专利文献3：日本特开2009-012948号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，无论在上述哪个文献中，都未具体记载判断输送车是否到达了作为输送车应送出或接收物品的台的目标台的情况。

鉴于这样的情况，本说明书公开能够判断输送车是否到达了作为输送车应送出或接收物品的台的目标台的物品输送系统。

用于解决课题的方案

本说明书公开了具备台组、第一通信装置及判断部的物品输送系统。上述台组排列设置有能够交接物品的多个台，上述物品在对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机中使用。上述第一通信装置具有在能够与上述多个台中的预定的上述台之间交接上述物品的输送车设置的第一通信部及在上述多个台中的各台设置的第二通信部。在上述第一通信装置中，在上述输送车到达了上述多个台中的一个上述台时，允许设置于上述一个台的上述第二通信部与上述第一通信部之间的第一无线通信，限制设置于其他上述台的上述第二通信部与上述第一通信部之间的上述第一无线通信。上述判断部通过利用上述第一通信装置来判断上述输送车是否到达了作为上述输送车应送出或接收上述物品的上述台的目标台。

发明效果

上述的物品输送系统具备台组、第一通信装置及判断部。由此，上述的物品输送系统能够通过利用第一通信装置来判断输送车是否到达了作为输送车应送出或接收物品的台的目标台。

附图说明

图1是表示基板生产线的结构例的俯视图。

图2是表示台组及输送车的结构例的立体图。

图3是表示物品输送系统的控制块的一例的框图。

图4是表示第一通信装置的结构例的台组及输送车的立体图。

图5是表示第一无线通信的可通信范围的一例的示意图。

图6是表示基于物品输送系统的物品等的输送顺序的一例的流程图。

图7是不具备收纳壳体的台组的放大图。

图8是表示松开状态时的夹紧部件的立体图。

图9是表示收纳壳体的结构例的透视图。

图10是表示夹紧状态时的夹紧部件的立体图。

具体实施方式

1.实施方式

1-1.基板生产线1的结构例

如图1所示，基板生产线1具备：至少一个(在该图中为四个)元件安装机10、更换系统30、物品移动装置40、台组50、输送车60、通信装置70、线控制装置LC0及管理装置WC0。在以下的说明中，将元件安装机10的水平宽度方向即基板的输送方向设为X方向，将元件安装机10的水平进深方向设为Y方向，将与X方向及Y方向垂直的铅垂方向设为Z方向。

四个元件安装机10沿着基板的输送方向(X方向)设置。元件安装机10包含于对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机WM0。元件安装机10搬入基板并将其定位于预定位置，向定位后的基板安装多个元件，将安装有元件的基板搬出。也就是说，元件安装机10进行的对基板作业包含基板的搬入作业、定位作业及搬出作业。另外，元件安装机10进行的对基板作业包含元件的供给作业、拾取作业及安装作业。

例如，元件安装机10具备供给向基板安装的元件的元件供给装置。多个供料器20以可拆装的方式设置于元件供给装置。供料器20包含于在元件安装机10进行的元件的供给作业中使用的物品AR0。另外，元件供给装置具备能够装备多个供料器20的至少一个插槽。本实施方式的元件供给装置具备第一插槽及第二插槽这两个插槽。

第一插槽对装备的供料器20以能够动作的方式进行保持。装备于第一插槽的供料器20在基于元件安装机10的对基板作业中被控制动作，在设于供料器20的预定位置的取出部顺次供给元件。第二插槽配置在第一插槽的下方，储存所装备的供料器20。也就是说，第二插槽预备地保持在生产中使用的供料器20，或者暂时保持在生产中使用过的已使用的供料器20。

第一插槽与第二插槽之间的供料器20的更换作业、供料器20的补给作业及回收作业使用更换系统30及物品移动装置40来进行。具体而言，如图1所示，更换系统30具备第一轨道31和第二轨道32。第一轨道31及第二轨道32形成物品移动装置40的行驶路。第一轨道31及第二轨道32沿着四个元件安装机10的配置方向(基板的输送方向(X方向))设置。第一轨道31及第二轨道32在基板生产线1中遍及基板的输送方向(X方向)的大致整个区域地延伸。

物品移动装置40设置成能够沿着由第一轨道31及第二轨道32形成的行驶路行驶。物品移动装置40例如经由与设置于第一轨道31的送电部相向设置的受电部，而通过非接触供电从送电部接受电力的供给。受电部接收到的电力经由受电电路而使用于物品移动装置40的移动、预定作业等。另外，物品移动装置40例如通过位置检测装置检测行驶路上的位置(当前位置)。位置检测装置能够例如通过光学性的位置检测、使用了电磁感应的位置检测等，来检测物品移动装置40的行驶路上的位置(当前位置)。

另外，上述的预定作业包含在物品移动装置40与对基板作业机WM0之间进行更换以可拆装的方式设置于元件安装机10等对基板作业机WM0的设备的更换作业等。在本实施方式中，物品移动装置40将供给向基板安装的元件的供料器20作为设备，而在其与对基板作业机WM0即元件安装机10之间进行供料器20的更换作业等。另外，物品移动装置40还在与台组50之间进行供料器20的更换作业等。

具体而言，物品移动装置40在元件安装机10的元件供给装置的第一插槽与第二插槽之间，进行供料器20的更换作业。另外，物品移动装置40从台组50向元件供给装置的第一插槽或第二插槽输送供料器20，而进行供料器20的补给作业。此外，物品移动装置40将在元件安装机10中不需要的供料器20从元件供给装置向台组50搬送，而进行供料器20的回收作业。

台组50设置于基板生产线1的基板搬入侧(图1中的纸面左侧)。如图2所示，在台组50排列设置有能够交接在供料器20等对基板作业机WM0中使用的物品AR0的多个(在该图中为两个)台50s、50s。另外，多个(两个)台50s、50s分别也可以具备收纳物品AR0的收纳壳体90。

收纳壳体90例如具备多个(在该图中为30个)插槽SLT1～插槽SLT30，能够向各插槽装备供料器20。装备于收纳壳体90的插槽的供料器20经由收纳壳体90而从具备收纳壳体90的台50s被供给电力，成为能够与线控制装置LC0进行通信的状态。由此，将收纳壳体90的插槽与装备于该插槽的供料器20的识别符号建立关联地记录于线控制装置LC0。

输送车60能够在其与多个(两个)台50s、50s中的预定的台50s之间交接供料器20等物品AR0。另外，输送车60还能够在其与多个(两个)台50s、50s中的预定的台50s之间交接收纳物品AR0的收纳壳体90。输送车60可以是由作业者牵引的有人输送车，也可以是不需要作业者的牵引的能够自动行驶的无人输送车(AGV：Automatic Guided Vehicle(自动引导车))。本实施方式的输送车60为无人输送车。

线控制装置LC0构成为能够经由网络而与构成基板生产线1的各装置输入输出各种数据。线控制装置LC0监视基板生产线1的动作状况，总括控制元件安装机10等对基板作业机WM0、更换系统30、物品移动装置40及台组50。在线控制装置LC0中存储有用于控制对基板作业机WM0、更换系统30、物品移动装置40及台组50的各种数据。

管理装置WC0设置成能够与多个基板生产线1各自的线控制装置LC0通信，能够管理多个基板生产线1进行的基板产品的生产。另外，管理装置WC0设置成能够与输送车60进行通信，还能够管理输送车60。

通信装置70具备第一通信装置70a。通信装置70也能够具备第二通信装置70b。本实施方式的通信装置70具备第一通信装置70a和第二通信装置70b。第一通信装置70a在多个(两个)台50s、50s中的一个台50s与输送车60之间进行第一无线通信。第二通信装置70b在管理装置WC0与输送车60之间进行第二无线通信。关于台组50、输送车60及通信装置70，在下文进行详细说明。

1-2.物品输送系统100的结构例

物品输送系统100具备：台组50、第一通信装置70a及判断部81。另外，物品输送系统100还能够具备管理装置WC0和第二通信装置70b。此外，物品输送系统100还能够具备输送车控制部82。另外，物品输送系统100能够具备输送车60。输送车60能够在其与台组50之间交接物品AR0或收纳有物品AR0的收纳壳体90(以下，也简称为“物品AR0或收纳壳体90”。)。如图1及图3所示，本实施方式的物品输送系统100具备所有上述的装置及控制部。

1-2-1.物品AR0或收纳壳体90的输送

在台组50排列设置有能够交接物品AR0的多个(在图1及图2中为两个)台50s、50s，物品AR0在对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机WM0中使用。多个(两个)台50s、50s中的各台s还能够交接收纳有物品AR0的收纳壳体90。另外，如图3所示，多个(两个)台50s、50s中的各台s具备第二移载装置51。第二移载装置51将物品AR0或收纳壳体90向输送车60送出。另外，第二移载装置51从输送车60接收物品AR0或收纳壳体90。

另外，台组50只要排列设置有能够交接物品AR0或收纳壳体90的多个台50s即可，台50s的个数不限定为两个。另外，对基板作业机WM0不限定为元件安装机10。基板生产线1能够具备各种对基板作业机WM0。例如，基板生产线1能够具备焊料印刷机、焊料检查机、回流焊炉、外观检查机等对基板作业机WM0。

相同地，物品AR0不限定为供料器20。卷绕有收纳向基板安装的元件的元件带的带盘包含于物品AR0。另外，排列有向基板安装的元件的元件阵列包含于物品AR0。而且，将向基板安装的元件不规则地收纳的元件容器包含于物品AR0。另外，能够对多个供料器20一并更换的台车包含于物品AR0。

此外，拾取并保持元件的保持部件(例如，吸嘴、卡盘等)包含于物品AR0。另外，使用保持部件来向基板安装元件的安装头包含于物品AR0。此外，能够收纳保持部件的保持部件收纳装置包含于物品AR0。另外，收纳焊料的焊料容器包含于物品AR0。此外，在通过涂刷器使焊料沿着掩模移动而向基板印刷焊料的印刷机的情况下，涂刷器及掩模包含于物品AR0。另外，在通过印刷头向基板的多个印刷位置分别涂布焊料的印刷机的情况下，印刷头及分配头包含于物品AR0。

输送车60在其与多个(两个)台50s、50s中的预定的台50s之间交接物品AR0或收纳壳体90。具体而言，如图2及图3所示，输送车60具备第一移载装置61及行驶装置65。第一移载装置61将物品AR0或收纳壳体90向目标台50g送出。另外，第一移载装置61从目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90。目标台50g是指输送车60应送出或接收物品AR0或收纳壳体90的台50s。

行驶装置65使输送车60行驶。输送车60通过行驶装置65而向目标台50g移动，通过第一移载装置61向目标台50g送出物品AR0或收纳壳体90。输送车60通过第一移载装置61也能够从目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90。本实施方式的输送车60是无人输送车，能够自动行驶。另外，如图1所示，在基板生产线1形成有表示输送车60的行驶路的引导部件M0和成为输送车60移动时的指标的指标部件S0。引导部件M0及指标部件S0使输送车60的移动精度提高。

引导部件M0及指标部件S0可采用各种方式。在本实施方式中，引导部件M0及指标部件S0由磁带形成。输送车60的行驶装置65一边检测引导部件M0一边使输送车60行驶，由此能够抑制输送车60从应行驶的行驶路脱离的情况。另外，输送车60的行驶装置65能够通过检测指标部件S0来确认输送车60的移动位置。

例如，指标部件S0具备：表示基准位置的基准部件S1、表示第一经由位置的第一经由部件S21、表示第二经由位置的第二经由部件S22、表示第一目标位置的第一目标部件S31及表示第二目标位置的第二目标部件S32。例如，输送车60的行驶装置65通过检测基准部件S1来确认输送车60在基准位置行驶的情况。

行驶装置65使输送车60在预先被编程的行驶路径或从管理装置WC0指示的行驶路径上，朝向目标台50g移动。此时，行驶装置65一边得知输送车60的位置信息、输送车60的周边的障碍物的检测信息等，一边使输送车60行驶。具体而言，行驶装置65例如使用影像传感器等，生成输送车60的周边的景色的三维形状，并将生成的景色的三维形状与预先制作的三维地图进行比较，而得知输送车60的位置信息。另外，行驶装置65例如基于通过影像传感器等取得的取得图像，得知输送车60的周边的障碍物的检测信息。

例如，设想图1所示的纸面左侧的台50s(以下，称为第一台。)为目标台50g，输送车60从基准位置向第一目标位置移动的情况。在该情况下，行驶装置65当检测到第一经由部件S21时，使输送车60向右方旋转90度，并使使输送车60直行。并且，行驶装置65当检测到第一目标部件S31时，使输送车60停车。

图1所示的纸面右侧的台50s(以下，称为第二台。)为目标台50g，输送车60从基准位置向第二目标位置移动的情况也相同。在该情况下，行驶装置65当检测到第二经由部件S22时，使输送车60向右方旋转90度，并使输送车60直行。并且，行驶装置65当检测到第二目标部件S32时，使输送车60停车。另外，行驶装置65当输送车60与台组50之间的距离成为预定距离以下时，检测台组50(输送车60的周边的障碍物)，即使在未检测到第一目标部件S31或第二目标部件S32的情况下，也能够使输送车60停车。

当输送车60到达了目标台50g时，输送车60的第一移载装置61向目标台50g送出物品AR0或收纳壳体90，目标台50g的第二移载装置51从输送车60接收物品AR0或收纳壳体90。另外，也可以是目标台50g的第二移载装置51向输送车60送出物品AR0或收纳壳体90，输送车60的第一移载装置61从目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90。

此外，输送车60也可以向第一目标台50g送出物品AR0或收纳壳体90，向第二目标台50g移动，从第二目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90。另外，输送车60也可以从第一目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90，向第二目标台50g移动，将从第一目标台50g接收的物品AR0或收纳壳体90向第二目标台50g送出。

例如，在第二台为目标台50g的情况下，行驶装置65有可能无法检测第二经由部件S22而将第一经由部件S21误检测为第二经由部件S22。在该情况下，输送车60可能会到达不同于作为目标台50g的第二台的第一台。因此，设想通过无线通信判断输送车60是否到达了目标台50g的情况。然而，相邻的多个(两个)台50s、50s的分离距离越短，则输送车60和与到达的台50s相邻的台50s之间进行无线通信的可能性越高。因此，物品输送系统100具备第一通信装置70a及判断部81。

第一通信装置70a具有设置于输送车60的第一通信部71及分别设置于多个(两个)台50s、50s的第二通信部72。具体而言，如图4及图5所示，输送车60在与多个(两个)台50s、50s中的一个台50s相向的部位设有第一通信部71。另外，多个(两个)台50s、50s中的各台50s在输送车60到达时与输送车60相向的部位设有第二通信部72。

另外，在输送车60到达多个(两个)台50s、50s中的一个台50s时，允许设于一个台50s的第二通信部72与第一通信部71之间的第一无线通信，限制设于其他台50s的第二通信部72与第一通信部71之间的第一无线通信。

由图5中的虚线表示的纸面左侧的输送车60表示到达了第一台的输送车60。可通信范围R1表示设置于第一台的第二通信部72与设置于输送车60的第一通信部71之间的无线通信的可通信范围。由虚线表示的带状部R11表示第一无线通信具有指向性的情况下的可通信范围R1，由虚线表示的圆弧部R12表示第一无线通信不具有指向性的情况下的可通信范围R1。

由图5中的虚线表示的纸面右侧的输送车60表示到达了与第一台相邻的第二台的输送车60。可通信范围R2表示设置于第二台的第二通信部72与设置于输送车60的第一通信部71之间的无线通信的可通信范围。由虚线表示的带状部R21表示第一无线通信具有指向性的情况下的可通信范围R2，虚线所示的圆弧部R22表示第一无线通信不具有指向性的情况下的可通信范围R2。

这样，第一无线通信的可通信范围以避免相邻的台50s的可通信范围R1及可通信范围R2重叠的方式设定。因此，在第一无线通信中，设置于一个台50s的第二通信部72与第一通信部71之间的无线通信的可通信范围R1和设置于与该台50s相邻的台50s的第二通信部72与第一通信部71之间的无线通信的可通信范围R2不重叠。由此，输送车60与到达的一个台50s之间能够进行第一无线通信，且容易限制输送车60与其他台50s之间的第一无线通信。

另外，本实施方式的第一无线通信为光通信。光通信是具有指向性的无线通信，与不具有指向性的无线通信相比发送效率提高，接收时不容易受到噪音的影响，接收灵敏度提高。另外，光通信也能够从输送车60到达一个台50s之前与该台50s之间开始第一无线通信。另外，第一无线通信也可以是例如红外线通信、RFID(Radio Frequency Identifier：射频识别器)使用的无线通信等不具有指向性的无线通信。

判断部81通过利用第一通信装置70a来判断输送车60是否到达了目标台50g。判断部81例如能够设置于输送车60或台组50。另外，判断部81也能够设置于线控制装置LC0或管理装置WC0。此外，判断部81也能够形成于云上。在本实施方式中，判断部81设置于输送车60的行驶装置65。

例如，目标台50g当与输送车60之间进行物品AR0或收纳壳体90的交接的准备完成时，第二通信部72向输送车60发送准备完成信号。与此相对，在除了目标台50g以外的台50s中，与输送车60之间不进行物品AR0或收纳壳体90的交接，因此除了目标台50g以外的台50s的第二通信部72不向输送车60发送准备完成信号。由此，判断部81能够基于是否接收到准备完成信号等预定的控制信号，来判断输送车60是否到达了目标台50g。

判断部81通过利用第一通信装置70a来检测输送车60到达了一个台50s的情况，能够判断检测到了到达的一个台50s是否为目标台50g。具体而言，判断部81在通过第一无线通信在设置于一个台50s的第二通信部72与输送车60的第一通信部71之间能够接收到预定的控制信号时，检测为输送车60到达了一个台50s。并且，判断部81将检测到了到达的一个台50s判断为目标台50g。

另外，多个输送车60同时在台组50中进行物品AR0或收纳壳体90的交接的情况下，有可能多个台50s的多个第二通信部72向输送车60发送准备完成信号等预定的控制信号。在该情况下，需要针对各输送车60设定目标台50g，判断部81识别目标台50g而判断被检测了到达的一个台50s是否为目标台50g。

因此，判断部81通过利用第一通信装置70a来取得一个台50s的识别信息，并能够基于取得的一个台50s的识别信息与目标台50g的识别信息是否一致，来判断一个台50s是否为目标台50g。具体而言，判断部81在取得的一个台50s的识别信息与目标台50g的识别信息一致时，将一个台50s判断为目标台50g。反之，判断部81在取得的一个台50s的识别信息与目标台50g的识别信息不一致时，将一个台50s判断为不是目标台50g。

另外，即使一个输送车60在台组50中进行物品AR0或收纳壳体90的交接的情况下，判断部81也能够基于台50s的识别信息来判断一个台50s是否为目标台50g。另外，目标台50g能够将台50s的识别信息与准备完成信号等预定的控制信号一起向输送车60发送。在该情况下，判断部81也能够基于是否接收到预定的控制信号及台50s的识别信息，来判断一个台50s是否为目标台50g。

输送车控制部82在通过判断部81判断为输送车60未到达目标台50g时，再次试行输送车60向目标台50g的移动。输送车控制部82例如能够设置于输送车60。另外，输送车控制部82也能够设置于管理装置WC0。此外，输送车控制部82也能够形成在云上。在本实施方式中，输送车控制部82设置于输送车60的行驶装置65。

例如，设想在第一台为目标台50g时，输送车60到达了第二台的情况。在该情况下，判断部81判断为输送车60未到达目标台50g。由此，输送车控制部82使行驶装置65再次试行输送车60向目标台50g的移动。具体而言，输送车控制部82对行驶装置65进行控制，例如，使输送车60行驶至图1所示的设置基准部件S1的基准位置。并且，输送车控制部82对行驶装置65进行控制，使输送车60从基准位置向第一台移动。另外，输送车控制部82也可以对行驶装置65进行控制，使输送车60直接从第二台向第一台行驶。

另外，输送车控制部82也可以根据再次试行的次数，而变更输送车60的行驶状态(例如，行驶速度等)。例如，输送车控制部82能够再次试行的次数越增加，越使输送车60的移动速度下降。另外，在输送车60的行驶路径存在多个的情况下，输送车控制部82还能够在再次试行时变更输送车60的行驶路径。此外，输送车控制部82也可以在再次试行的次数达到预定次数时，中止再次试行，使输送车60向预定位置(例如，输送车60的等待位置等)移动。

本实施方式的物品输送系统100按照例如图6所示的流程图，输送物品AR0或收纳壳体90。在该图所示的输送次序中，输送车60首先向作为第一目标台50g的第一台移动，向第一台送出物品AR0或收纳壳体90。并且，输送车60向作为第二目标台50g的第二台移动，从第二台接收物品AR0或收纳壳体90。

具体而言，首先，输送车控制部82判断物品移动装置40是否退避到了退避位置(步骤SP11)。退避位置设定为图1所示的物品移动装置40与输送车60不干涉的位置。在物品移动装置40退避到了退避位置的情况下(步骤SP11为“是”的情况下)，输送车控制部82使输送车60向第一台移动(步骤SP12)。在物品移动装置40未退避到退避位置的情况下(步骤SP11为“否”的情况下)，输送车控制部82等待直至物品移动装置40退避到退避位置为止。

接下来，如上述那样，判断部81判断输送车60是否到达了第一台(步骤SP13)。在输送车60到达了第一台的情况下(步骤SP13为“是”的情况下)，后述的第一移载控制部63确认第一台是否能够接收物品AR0或收纳壳体90(步骤SP14)。在输送车60未到达第一台的情况下(步骤SP13为“否”的情况下)，如上述那样，输送车控制部82再次试行输送车60向第一台的移动(步骤SP15)。并且，控制返回步骤SP13。

在第一台能够接收物品AR0或收纳壳体90的情况下(步骤SP14为“是”的情况下)，如上述那样，第一移载装置61向第一台送出物品AR0或收纳壳体90(步骤SP16)。在第一台不能接收物品AR0或收纳壳体90的情况下(步骤SP14为“否”的情况下)，第一移载装置61等待直至第一台能够接收物品AR0或收纳壳体90为止。

当第一移载装置61确认了物品AR0或收纳壳体90的送出，第二移载装置51确认了物品AR0或收纳壳体90的接收时，输送车控制部82使输送车60向第二台移动(步骤SP17)。并且，判断部81相同地判断输送车60是否到达了第二台(步骤SP18)。在输送车60到达了第二台的情况下(步骤SP18为“是”的情况下)，后述的第二移载控制部53确认输送车60是否能够接收物品AR0或收纳壳体90(步骤SP19)。在输送车60未到达第二台的情况下(步骤SP18为“否”的情况下)，如上述那样，输送车控制部82再次试行输送车60向第二台的移动(步骤SP20)。并且，控制返回步骤SP18。

在输送车60能够接收物品AR0或收纳壳体90的情况下(步骤SP19为“是”的情况下)，如上述那样，第二移载装置51向输送车60送出物品AR0或收纳壳体90(步骤SP21)。在输送车60不能接收物品AR0或收纳壳体90的情况下(步骤SP19为“否”的情况下)，第二移载装置51等待直至输送车60能够接收物品AR0或收纳壳体90为止。当第二移载装置51确认了物品AR0或收纳壳体90的送出，第一移载装置61确认了物品AR0或收纳壳体90的接收时，输送车控制部82使输送车60向预定位置移动，控制暂时结束。

在此，将由判断部81判断为输送车60到达了由作业者设定的目标台50g且在输送车60及目标台50g这两方搭载有物品AR0或收纳物品AR0的收纳壳体90的状态设为第一状态。另外，将由判断部81判断为输送车60到达了由作业者设定的目标台50g且在输送车60及目标台50g这两方未搭载物品AR0或收纳物品AR0的收纳壳体90的状态设为第二状态。

第一状态或第二状态是虽然输送车60到达了目标台50g，但是在输送车60与目标台50g之间无法进行物品AR0或收纳壳体90的交接的状态。这由在例如通过作业者设定目标台50g的方式中，作业者错误地设定了目标台50g引起。

因此，输送车控制部82在通过第一无线通信确认了第一状态或第二状态时，能够判断为目标台50g的误设定并使输送车60向预定位置移动。预定位置不作限定，输送车控制部82例如能够使输送车60向输送车60的等待位置等移动。另外，如后述那样，能够通过第一移载装置61检测在输送车60是否搭载有物品AR0或收纳壳体90。能够通过第二移载装置51检测在目标台50g是否搭有载物品AR0或收纳壳体90。

另外，目标台50g也能够由管理装置WC0设定。在输送车60为无人输送车时，管理装置WC0管理输送车60。例如，管理装置WC0能够管理输送车60的行驶。具体而言，管理装置WC0能够进行目标台50g的设定、输送车60的行驶路径的设定、对于输送车60的行驶指令等。

管理装置WC0为了与输送车60进行无线通信，需要比第一无线通信大范围的无线通信。因此，物品输送系统100具备第二通信装置70b。第二通信装置70b使用能够进行比第一无线通信大范围的无线通信的第二无线通信，进行管理装置WC0与输送车60之间的通信。

如图1所示，第二通信装置70b具有设置于输送车60的第三通信部73和设置于管理装置WC0的第四通信部74。在第三通信部73与第四通信部74之间只要能够进行第二无线通信即可，第三通信部73及第四通信部74的设置部位不作限定。另外，第三通信部73与第四通信部74之间的第二无线通信的可通信范围以包含输送车60可能行驶的可行驶范围的方式设定。例如，第二无线通信能够使用无线LAN等不具有指向性的无线通信。

1-2-2.输送车60及目标台50g的结构例

如图2～图4所示，输送车60具备第一移载装置61和行驶装置65。第一移载装置61具备：第一驱动装置62、第一移载控制部63及第一检测装置64。第一检测装置64具备第一输送车侧检测器64a和第二输送车侧检测器64b。如上述那样，行驶装置65具备判断部81和输送车控制部82。

第一移载装置61将物品AR0或收纳有物品AR0的收纳壳体90向目标台50g送出，从目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90。具体而言，第一移载装置61通过第一驱动装置62及第一移载控制部63，进行物品AR0或收纳物品AR0的收纳壳体90的送出及接收。

第一驱动装置62能够使用例如辊式输送机、带式输送机、机器人臂、起重机等公知的移载装置。如图2及图4所示，本实施方式的第一驱动装置62由辊式输送机构成。第一移载控制部63设置于第一移载装置61的控制装置。第一移载控制部63使第一驱动装置62将物品AR0或收纳壳体90向目标台50g送出，从目标台50g接收物品AR0或收纳壳体90。

另外，第一移载装置61在由判断部81判断为输送车60到达了目标台50g且通过第一无线通信确认到目标台50g能够接收物品AR0或收纳壳体90时，将物品AR0或收纳壳体90向目标台50g送出。具体而言，第一移载控制部63从判断部81取得输送车60是否到达了目标台50g的判断结果。另外，第一移载控制部63确认是否从目标台50g接收到进行物品AR0或收纳壳体90的交接的准备完成的准备完成信号。

第一移载控制部63在由判断部81判断为输送车60到达了目标台50g且确认到从目标台50g接收了准备完成信号时，使第一驱动装置62将物品AR0或收纳壳体90向目标台50g送出。由此，第一驱动装置62将物品AR0或收纳壳体90向目标台50g送出。

另外，第一移载装置61具备第一检测装置64。第一检测装置64具备第一输送车侧检测器64a和第二输送车侧检测器64b。第一输送车侧检测器64a检测有无物品AR0或收纳壳体90。第二输送车侧检测器64b检测未收纳于收纳壳体90的物品AR0是否超出预定的搭载范围地进行了移动。另外，第二输送车侧检测器64b也可以检测收纳于收纳壳体90的物品AR0及收纳壳体90中的至少一方是否超出预定的搭载范围地进行了移动。

如图2及图4所示，在本实施方式中，第一输送车侧检测器64a设置于物品AR0或收纳壳体90的搭载范围的基端侧。第二输送车侧检测器64b设置于物品AR0或收纳壳体90的搭载范围的前端侧。第一输送车侧检测器64a及第二输送车侧检测器64b能够使用公知的检测器。在本实施方式中，第一输送车侧检测器64a及第二输送车侧检测器64b使用遮光传感器。

第一输送车侧检测器64a在物品AR0或收纳壳体90搭载于第一移载装置61时被遮光，而检测出物品AR0或收纳壳体90搭载于第一移载装置61的情况。第二输送车侧检测器64b在未收纳于收纳壳体90的物品AR0超出预定的搭载范围地进行了移动时被遮光，而检测出该物品AR0超出预定的搭载范围地进行了移动的情况。另外，第二输送车侧检测器64b也可以在收纳于收纳壳体90的物品AR0及收纳壳体90中的至少一方超出预定的搭载范围地移动时被遮光，而检测出收纳于收纳壳体90的1物品AR0及收纳壳体90中的至少一方超出预定的搭载范围地进行了移动的情况。

如图3、图4、图7及图8所示，目标台50g具备第二移载装置51。第二移载装置51具备：第二驱动装置52、第二移载控制部53、夹紧部件54及第二检测装置55。第二检测装置55具备：第一台侧检测器55a、第二台侧检测器55b、第三台侧检测器55c、第四台侧检测器55d及第五台侧检测器55e。

第二移载装置51将物品AR0或收纳有物品AR0的收纳壳体90向输送车60送出，从输送车60接收物品AR0或收纳壳体90。具体而言，第二移载装置51通过第二驱动装置52及第二移载控制部53，进行物品AR0或收纳有物品AR0的收纳壳体90的送出及接收。

第二驱动装置52可以使用例如辊式输送机、带式输送机、机器人臂、起重机等公知的移载装置。如图4及图7所示，本实施方式的第二驱动装置52由辊式输送机构成。第二移载控制部53设置于第二移载装置51的控制装置。第二移载控制部53使第二驱动装置52将物品AR0或收纳壳体90向输送车60送出，从输送车60接收物品AR0或收纳壳体90。

另外，第二移载装置51在由判断部81判断为输送车60到达了目标台50g且通过第一无线通信确认到输送车60能够接收物品AR0或收纳壳体90时，将物品AR0或收纳壳体90向输送车60送出。具体而言，第二移载控制部53从判断部81取得输送车60是否到达了目标台50g的判断结果。另外，第二移载控制部53确认是否从输送车60接收到进行物品AR0或收纳壳体90的交接的准备完成的准备完成信号。

第二移载控制部53在由判断部81判断为输送车60到达了目标台50g且确认到从输送车60接收了准备完成信号时，使第二驱动装置52将物品AR0或收纳壳体90向输送车60送出。由此，第二驱动装置52将物品AR0或收纳壳体90向输送车60送出。

如图9所示，收纳壳体90具备被向第二移载装置51夹紧的被夹紧部件91。被夹紧部件91设置于在收纳壳体90搭载于第二驱动装置52时与第二驱动装置52接触的底面。被夹紧部件91形成为例如长方体形状，比收纳壳体90的底面突出。另外，图9为了表示被夹紧部件91及后述的被检测部件92，为便于图示起见，将收纳壳体90的侧面及底面透视地图示。

如图7、图8及图10所示，第二移载装置51具备将收纳壳体90的被夹紧部件91夹紧的夹紧部件54。图8示出夹紧部件54未将被夹紧部件91夹紧的松开状态。图10示出夹紧部件54将被夹紧部件91夹紧的夹紧状态。

夹紧部件54具备：爪部54a、轴部54b、引导部54c及移动装置54d。轴部54b贯穿爪部54a，爪部54a能够以轴部54b为轴心进行旋转。引导部54c从收纳壳体90的搭载范围的前端侧的位置PX1至基端侧的位置PX2形成为一对槽状，爪部54a及轴部54b能够在轴部54b的两端部与引导部54c嵌合的状态下，在位置PX1与位置PX2之间移动。另外，在轴部54b从位置PX1向位置PX3移动时，引导部54c以爪部54a逐渐接近被夹紧部件91的方式倾斜，从位置PX3至位置PX2的区间沿着水平方向延伸。

移动装置54d在夹紧被夹紧部件91时，在移动装置54d与爪部54a之间保持被夹紧部件91，能够从收纳壳体90的搭载范围的前端侧朝向基端侧移动。另外，移动装置54d也可以在松开被夹紧部件91时，在移动装置54d与爪部54a之间保持被夹紧部件91，从收纳壳体90的搭载范围的基端侧朝向前端侧移动。移动装置54d能够使用例如公知的汽缸。

当从输送车60送出收纳壳体90时，在图8所示的状态下，收纳壳体90的被夹紧部件91与移动装置54d抵接。通过引导部54c的上述形状，爪部54a一边以轴部54b为轴心旋转，一边以拉入被夹紧部件91的方式与被夹紧部件91抵接。此时，移动装置54d在移动装置54d与爪部54a之间保持被夹紧部件91，从收纳壳体90的搭载范围的前端侧朝向基端侧移动，而成为图10所示的夹紧状态。

反之，在从第二移载装置51送出收纳壳体90的情况下，图10所示的移动装置54d从收纳壳体90的搭载范围的基端侧向前端侧移动。在轴部54b从位置PX2向位置PX3移动时，移动装置54d在移动装置54d与爪部54a之间保持被夹紧部件91。在轴部54b从位置PX3向位置PX1移动时，通过引导部54c的上述形状，爪部54a以压出被夹紧部件91的方式以轴部54b为轴心进行旋转，而成为图8所示的松开状态。

另外，第二移载装置51具备第二检测装置55。第二检测装置55具备：第一台侧检测器55a、第二台侧检测器55b、第三台侧检测器55c、第四台侧检测器55d及第五台侧检测器55e。

第一台侧检测器55a检测夹紧部件54夹紧了被夹紧部件91的夹紧状态。第二台侧检测器55b检测夹紧部件54未夹紧被夹紧部件91的松开状态。如图10所示，移动装置54d在夹紧状态时，向收纳壳体90的搭载范围的基端侧移动。反之，如图8所示，移动装置54d在松开状态时，向收纳壳体90的搭载范围的前端侧移动。由此，第一台侧检测器55a及第二台侧检测器55b能够通过检测移动装置54d的位置(例如，汽缸位置)来检测夹紧状态及松开状态。

另外，如图9所示，收纳壳体90具备在检测物品AR0或收纳壳体90是否位于第二移载装置51的预定位置时使用的被检测部件92。被检测部件92设置于在收纳壳体90搭载于第二驱动装置52时与第二驱动装置52相接的底面。被检测部件92形成为例如L字形状，比收纳壳体90的底面突出。

第三台侧检测器55c基于是否检测到被检测部件92，来检测夹紧状态或松开状态。如图8及图10所示，第三台侧检测器55c设置于夹紧部件54附近，使用遮光传感器。第三台侧检测器55c根据被检测部件92遮光而检测到被检测部件92，能够检测夹紧状态。换言之，第三台侧检测器55c根据未被遮光而未检测到被检测部件92，能够检测松开状态。

另外，被夹紧部件91及被检测部件92也可以设置于未收纳于收纳壳体90的物品AR0。例如，被夹紧部件91及被检测部件92也可以设置于能够将多个供料器20一并更换的台车等。上述的情况关于在未收纳于收纳壳体90的物品AR0设置被夹紧部件91及被检测部件92的情况下也相同。

如图7所示，第二移载装置51具备在夹紧状态时与物品AR0或收纳壳体90相接的支撑部件51a。第四台侧检测器55d检测物品AR0或收纳壳体90与支撑部件51a之间的紧贴状态。第五台侧检测器55e检测未收纳于收纳壳体90的物品AR0是否超出预定的搭载范围地进行了移动。另外，第五台侧检测器55e也可以检测收纳于收纳壳体90的物品AR0及收纳壳体90中的至少一方是否超出预定的搭载范围地进行了移动。

如图4及图7所示，在本实施方式中，第四台侧检测器55d设置于物品AR0或收纳壳体90的搭载范围的基端侧。第五台侧检测器55e设置于物品AR0或收纳壳体90的搭载范围的前端侧。第四台侧检测器55d及第五台侧检测器55e能够使用公知的检测器。在本实施方式中，第四台侧检测器55d使用接近传感器。第五台侧检测器55e使用遮光传感器。

第四台侧检测器55d当物品AR0或收纳壳体90与支撑部件51a之间成为预定距离以下时，检测到物品AR0或收纳壳体90，而检测到物品AR0或收纳壳体90与支撑部件51a之间处于紧贴状态。第五台侧检测器55e在未收纳于收纳壳体90的物品AR0超出预定的搭载范围地移动时被遮光，检测到该物品AR0超出预定的搭载范围地进行了移动的情况。另外，第五台侧检测器55e也可以在收纳于收纳壳体90的物品AR0及收纳壳体90中的至少一方超出预定的搭载范围地进行了移动时被遮光，检测到收纳于收纳壳体90的物品AR0及收纳壳体90中的至少一方超出预定的搭载范围地进行了移动的情况。

2.其他

在本实施方式中，台组50设置于基板生产线1，但是台组50能够设置于各种基板生产设备。例如，台组50能够设置于保管对基板作业机WM0使用的物品AR0的保管库。

3.实施方式的效果的一例

物品输送系统100具备：台组50、第一通信装置70a及判断部81。由此，物品输送系统100能够通过利用第一通信装置70a来判断输送车60是否到了达作为输送车60应送出或接收物品AR0的台50s的目标台50g。

附图标记说明

50：台组，50s：台，

50g：目标台，51：第二移载装置，51a：支撑部件，

54：夹紧部件，55a：第一台侧检测器，

55b：第二台侧检测器，55c：第三台侧检测器，

55d：第四台侧检测器，55e：第五台侧检测器，

60：输送车，61：第一移载装置，64a：第一输送车侧检测器，

64b：第二输送车侧检测器，70a：第一通信装置，

70b：第二通信装置，71：第一通信部，72：第二通信部，

81：判断部，82：输送车控制部，90：收纳壳体，

91：被夹紧部件，92：被检测部件，100：物品输送系统，

AR0：物品，R1、R2：可通信范围，WC0：管理装置，

WM0：对基板作业机。

Claims (15)

1.一种物品输送系统，具备：

台组，排列设置有能够交接物品的多个台，所述物品在对基板进行预定的对基板作业的对基板作业机中使用；

第一通信装置，具有设置于能够与所述多个台中的预定的所述台之间交接所述物品的输送车的第一通信部及设置于所述多个台中的各所述台的第二通信部，在所述输送车到达了所述多个台中的一个所述台时，允许设置于所述一个台的所述第二通信部与所述第一通信部之间的第一无线通信，限制设置于其他所述台的所述第二通信部与所述第一通信部之间的所述第一无线通信；

判断部，通过利用所述第一通信装置来识别所述台，并判断所述输送车是否到达了作为所述输送车应送出或接收所述物品的所述台的目标台。

2.根据权利要求1所述的物品输送系统，其中，

所述判断部通过利用所述第一通信装置来检测所述输送车到达了所述一个台的情况，并判断检测到了所述输送车的到达的所述一个台是否为所述目标台。

3.根据权利要求1所述的物品输送系统，其中，

所述判断部通过利用所述第一通信装置来取得所述一个台的识别信息，并基于取得的所述一个台的识别信息与所述目标台的识别信息是否一致，来判断所述一个台是否为所述目标台。

4.根据权利要求2所述的物品输送系统，其中，

所述判断部通过利用所述第一通信装置来取得所述一个台的识别信息，并基于取得的所述一个台的识别信息与所述目标台的识别信息是否一致，来判断所述一个台是否为所述目标台。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的物品输送系统，其中，

在所述第一无线通信中，设置于所述一个台的所述第二通信部与所述第一通信部之间的无线通信的可通信范围和设置于与该台相邻的所述台的所述第二通信部与所述第一通信部之间的无线通信的可通信范围不重叠。

6.根据权利要求5所述的物品输送系统，其中，

所述第一无线通信为光通信。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的物品输送系统，其中，

所述输送车为无人输送车，

所述物品输送系统具备：

管理装置，管理所述输送车；

第二通信装置，使用能够进行范围比所述第一无线通信大的无线通信的第二无线通信，来进行所述管理装置与所述输送车之间的通信。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的物品输送系统，其中，

所述输送车具备第一移载装置，所述第一移载装置将所述物品或收纳有所述物品的收纳壳体向所述目标台送出，并从所述目标台接收所述物品或所述收纳壳体，

在由所述判断部判断为所述输送车到达了所述目标台且通过所述第一无线通信确认了所述目标台能够接收所述物品或所述收纳壳体时，所述第一移载装置将所述物品或所述收纳壳体向所述目标台送出。

9.根据权利要求8所述的物品输送系统，其中，

所述第一移载装置具备：

第一输送车侧检测器，检测有无所述物品或所述收纳壳体；及

第二输送车侧检测器，检测未收纳于所述收纳壳体的所述物品、或收纳于所述收纳壳体的所述物品及所述收纳壳体中的至少一方是否超出预定的搭载范围地进行了移动。

10.根据权利要求1～4中任一项所述的物品输送系统，其中，

所述目标台具备第二移载装置，所述第二移载装置将所述物品或收纳有所述物品的收纳壳体向所述输送车送出并从所述输送车接收所述物品或所述收纳壳体，

在由所述判断部判断为所述输送车到达了所述目标台且通过所述第一无线通信确认了所述输送车能够接收所述物品或所述收纳壳体时，所述第二移载装置将所述物品或所述收纳壳体向所述输送车送出。

11.根据权利要求10所述的物品输送系统，其中，

所述物品或所述收纳壳体具备被向所述第二移载装置夹紧的被夹紧部件，

所述第二移载装置具备：

夹紧部件，将所述物品或所述收纳壳体的所述被夹紧部件夹紧；

第一台侧检测器，检测所述夹紧部件夹紧了所述被夹紧部件的夹紧状态；及

第二台侧检测器，检测所述夹紧部件未夹紧所述被夹紧部件的松开状态。

12.根据权利要求11所述的物品输送系统，其中，

所述物品或所述收纳壳体具备被检测部件，所述被检测部件在检测所述物品或所述收纳壳体是否位于所述第二移载装置的预定位置时使用，

所述第二移载装置具备第三台侧检测器，所述第三台侧检测器基于是否检测到所述被检测部件来检测所述夹紧状态或所述松开状态。

13.根据权利要求11或12所述的物品输送系统，其中，

所述第二移载装置具备：

支撑部件，在所述夹紧状态时与所述物品或所述收纳壳体相接；

第四台侧检测器，检测所述物品或所述收纳壳体与所述支撑部件之间的紧贴状态；及

第五台侧检测器，检测未收纳于所述收纳壳体的所述物品、或收纳于所述收纳壳体的所述物品及所述收纳壳体中的至少一方是否超出预定的搭载范围地进行了移动。

14.根据权利要求1～4中任一项所述的物品输送系统，其中，

所述物品输送系统具备输送车控制部，在由所述判断部判断为所述输送车未到达所述目标台时，所述输送车控制部再次试行所述输送车向所述目标台的移动。

15.根据权利要求1～4中任一项所述的物品输送系统，其中，

所述物品输送系统具备输送车控制部，

将由所述判断部判断为所述输送车到达了由作业者设定的所述目标台且在所述输送车及所述目标台这两方均搭载有所述物品或收纳有所述物品的收纳壳体的状态设为第一状态，将由所述判断部判断为所述输送车到达了由所述作业者设定的所述目标台且在所述输送车及所述目标台这两方均未搭载所述物品或收纳有所述物品的收纳壳体的状态设为第二状态，

在通过所述第一无线通信确认到所述第一状态或所述第二状态时，所述输送车控制部判断为所述目标台的误设定并使所述输送车向预定位置移动。