CN114815524B - 一种光刻机工作台的清洁装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设在移动架内，内管固定设在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设有螺旋叶片，吸尘扁嘴等距设在外管外侧；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊设在移动架内，清洁带设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设在升降辊和张力辊间，伺服电机设在移动架外，本申请通过旋转式吸尘机构可对工作台形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，通过带式清洁机构去除工作台粘着性异物。

Description

一种光刻机工作台的清洁装置

技术领域

本发明涉及光刻设备领域，具体是涉及一种光刻机工作台的清洁装置。

背景技术

在平板显示的TFT（薄膜晶体管，英文全称：ThinFilmTransistor）面板制造制程中，TFT器件的每层图形目前基本上都是靠步进扫描光刻设备来完成的，在通常生产过程中这种机台的清洁频度一般为半个月一次或者一个月一次，但是，生产过程中工件台经常还有其它的突发污染，如：光阻污染，粉尘污染（包含机台内金属粉尘和外来异物等）以及破片污染的情况。如果不及时清理污染，会直接影响后续产品的质量，引起线宽异常或者缺陷的存在，进而造成产品的良率下降，所以制程人员还要经常对工件台进行清洁处理。

在清洁过程中，由于该设备的光学镜头与工件台之间距离不大，在这两者之间还有一些对准和调焦装置，所剩工件台上方的高度空间很小，一般平板显示TFT面板制造厂家的制程人员靠爬扶在工件台的支撑架上，身体弯曲在对准和调焦装置下方来实施人工清洁动作，费时费力，并且，如果擦拭人员不小心还有可能触碰到周围的精密元件，造成机器损坏。

中国专利CN201310192707.2公开了一种光刻机工件台的清洁装置及方法，该清洁装置包括：导杆，设置于工件台的旁侧；清洁滚筒机构，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；吸尘风刀，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；清洁液喷淋液刀，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及驱动机构，驱动所述吸尘风刀和/或清洁滚筒机构沿所述导轨移动。本发明采用吸尘风刀和清洁滚筒机构结合的清洁方式代替传统的人工擦拭，解决了擦拭空间狭小而造成的操作不便的问题，可以节省工艺停止时间，提高产能，同时降低人员操作可能引起的周围紧密设备元件损伤的风险。

该清洁装置无法对工作台形成脉冲负压吸附，且清洁滚筒无法有效刮除工作台上的粘着性异物。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种光刻机工作台的清洁装置。

为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有可在工作台的顶部沿其长度方向移动的移动架，旋转式吸尘机构包括外管、内管和吸尘扁嘴，外管转动设置在移动架内，外管沿工作台的宽度方向水平延伸且两端封闭，内管固定设置在外管内，内管的一端与外管的内腔连通，内管的另一端贯穿外管的一端并与负压源连通，内管内设置有与其同轴的螺旋叶片，吸尘扁嘴等间距设置在外管外侧且与其内腔连通；带式清洁机构包括升降辊、张力辊、清洁带、升降驱动器和伺服电机，升降辊和张力辊自下而上依次设置在移动架内，升降辊和张力辊沿工作台的宽度方向延伸，清洁带套设在升降辊和张力辊外，升降驱动器设置在升降辊和张力辊之间用以沿竖直移动升降辊，伺服电机设置在移动架外用以驱动升降辊和张力辊转动。

优选地，带式清洁机构还包括牵引辊和清洁辊，牵引辊和清洁辊沿工作台的宽度方向延伸并设置在移动架内，清洁带套设在升降辊、张力辊和牵引辊上，清洁辊位于张力辊和清洁带之间，且清洁辊抵接在清洁带的外面，清洁辊的圆周面上沿螺旋线均匀布置有凸块。

优选地，外管的两端设置有封堵其内腔并与移动架转动配合的封塞，内管的端面沿周向布置有沿其周向延伸的卡槽；旋转式吸尘机构还包括第一卡块和第二卡块，第一卡板包括沿内管轴向卡接其一端卡槽的第一卡板，以及连通内管内腔和外管内腔的通气槽，以及与封塞卡接的第一嵌合块，第二卡块包括沿内管轴向卡接其另一端卡槽的第二卡板，以及封闭内管另一端的封堵圈，以及与另一块封塞卡接的第二嵌合块，以及连通内管内腔和外界负压源的气道。

优选地，封塞的朝向外管内腔的一端设有与其嵌合的凸台，凸台上布置有沿内管的径向延伸的内螺纹孔，旋转式吸尘机构还包括螺栓，螺栓贯穿外管并与内螺纹孔同轴拧接。

优选地，移动架内还设有沿工作台的宽度方向延伸的横板，升降驱动器包括双轴推杆和第一连杆，双轴推杆设置在横板的底端，双轴推杆沿工作台的宽度方向延伸，双轴推杆的两端具有可相向或背向移动的第一执行杆和第二执行杆，第一连接架通过导轨沿竖直方向滑动设置在移动架内，升降辊转动设置在第一连接架上，第一执行杆和第二执行杆的一端分别与两个第一连杆的一端转动连接，两个第一连杆的另一端分别与第一连接架的顶端两侧转动连接。

优选地，第一连杆为气弹簧。

优选地，带式清洁机构还包括长轴双向气弹簧和第二连杆，长轴双向气弹簧沿工作台的宽度方向延伸并设置在横板的底端，长轴双向气弹簧的两端均具有可弹性伸缩的第三执行杆，第二连接架沿张力辊的径向滑动设置在移动架内，张力辊转动设置在第二连接架上，第二连杆的两端分别与第三执行杆和第二连接架的两端转动连接。

优选地，凸块沿清洁辊的中心径向面对称设置。

优选地，清洁辊内部中空且与外界连通，凸块上设置有与清洁辊的中空腔连通的出水孔。

优选地，横板上设置有出料孔，出料孔位于清洁辊的两端底部，带式清洁机构还包括封闭盒和集中盒，封闭盒设置在出料孔的顶端，且封闭盒朝向清洁带的一侧开口，集中盒设置在出料孔的底端，集中盒上还设有贯穿移动架并与外界连通的出料管。

本申请相比较于现有技术的有益效果是：

1.本申请通过将旋转时吸尘机构和带式清洁机构安装在移动架上，使得旋转式吸尘机构能够对工作台的顶面形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，而通过带式清洁机构能够有效去除工作台顶面的粘着性异物；

2.本申请通过清洁辊外周沿螺旋均布的凸块能够将清洁带外面的粘着性异物向外侧耙出，从而对清洁带进行清理，使得清洁带始终能够以清洁的状态去清理工作台；

3.本申请通过在外管的两端设置封闭其内腔的封塞，并使得内管的两端分别通过第一卡块和第二卡块与封塞嵌合卡接，以此实现外管和内管的可拆卸安装；

4.本申请通过第一连杆和第一连杆沿竖直方向移动升降辊，结构紧凑，节省空间；

5.本申请通过使得第一连杆为气弹簧，使得升降辊能够将清洁带弹性压设在工作台的顶面，以防止升降辊的刚性抵力损坏工作台；

6.本申请通过使得张力辊滑动设置在移动架内，而将长轴双向气弹簧固定设置在横板上，使得张力辊始终能够弹性绷紧清洁带；

7.本申请通过使得凸块沿清洁辊的中心径向面对称，使得旋转的清洁辊能够将异物自清洁带的中间位置向两侧耙出，从而减小异物的移动距离，以此提高清洁辊的清理效率；

8.本申请通过使得清洁辊中空，可外界管路与清洁液连通，清洁辊在旋转的同时，清洁液能够自出水孔流向清洁带的凹陷面，从而提高清洁辊对清洁带的清理效率；

9.本申请通过在横板的两侧设置出料孔，当清洁辊旋转而将清洁带凹陷面上的异物向两侧耙出时，异物进入封闭盒中，并通过出料孔落入封闭盒中，再通过出料管向外排出。

附图说明

图1是本申请的清洁装置的立体图；

图2是本申请的清洁装置的侧视图；

图3是图2的A-A截面处的剖视图；

图4是本申请的旋转式吸尘机构的立体图；

图5是本申请的旋转式吸尘机构的侧视图；

图6是图5的B-B截面处的剖视图；

图7是本申请的内管与第一卡块和第二卡块的立体分解图；

图8是本申请的带式清洁机构的立体图；

图9是本申请的带式清洁机构的侧视图；

图10是图9的D-D截面处的剖视图；

图11是图10的E处局部放大图；

图12是本申请的带式清洁机构的局部示意图。

图中标号为：

1a-移动架；1a1-横板；1a2-出料孔；2a-外管；2a1-封塞；2a2-凸台；2a3-内螺纹孔；2b-内管；2b1-螺旋叶片；2b2-卡槽；2c-吸尘扁嘴；2d1-第一卡板；2d2-通气槽；2d3-第一嵌合块；2e1-第二卡板；2e2-封堵圈；2e3-第二嵌合块；2e4-气道；2f-螺栓；3a-升降辊；3b-张力辊；3c-清洁带；3d-升降驱动器；3e-伺服电机；3f-牵引辊；3g-清洁辊；3g1-凸块；3g2-出水孔；3h-双轴推杆；3i-第一连杆；3j-导轨；3k-第一连接架；3m-长轴双向气弹簧；3n-第二连杆；3o-第二连接架；3p-封闭盒；3q-集中盒；3q1-出料管；9-工作台。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

如图1-12所示，本申请提供：

一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构、旋转式吸尘机构和带式清洁机构，移动机构具有可在工作台9的顶部沿其长度方向移动的移动架1a，旋转式吸尘机构包括外管2a、内管2b和吸尘扁嘴2c，外管2a转动设置在移动架1a内，外管2a沿工作台9的宽度方向水平延伸且两端封闭，内管2b固定设置在外管2a内，内管2b的一端与外管2a的内腔连通，内管2b的另一端贯穿外管2a的一端并与负压源连通，内管2b内设置有与其同轴的螺旋叶片2b1，吸尘扁嘴2c等间距设置在外管2a外侧且与其内腔连通；带式清洁机构包括升降辊3a、张力辊3b、清洁带3c、升降驱动器3d和伺服电机3e，升降辊3a和张力辊3b自下而上依次设置在移动架1a内，升降辊3a和张力辊3b沿工作台的宽度方向延伸，清洁带3c套设在升降辊3a和张力辊3b外，升降驱动器3d设置在升降辊3a和张力辊3b之间用以沿竖直移动升降辊3a，伺服电机3e设置在移动架1a外用以驱动升降辊3a和张力辊3b转动。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是现有的清洁装置无法对工作台9形成脉冲负压吸尘。为此，本申请通过将旋转时吸尘机构和带式清洁机构安装在移动架1a上，使得旋转式吸尘机构能够对工作台9的顶面形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，而通过带式清洁机构能够有效去除工作台9顶面的粘着性异物；

具体地，启动移动机构，使得移动架1a能够带动旋转式吸尘机构和带式清洁机构在工作台9的顶部移动；

在清理工作台9上的非粘着性异物时，启动外界负压源，使得内管2b和吸尘扁嘴2c内产生负压，工作台9上的非粘着性异物被吸尘扁嘴2c吸附至外管2a中，且非粘着性异物随气流从内管2b一端流向另一端，因内管2b内设置有与其同轴的螺旋叶片2b1，在此气流在流动过程中，带动螺旋叶片2b1和内管2b以及外管2a旋转，从而使得吸尘扁嘴2c随外管2a一同转动，使得吸尘扁嘴2c的进尘口不断旋转，从而对工作台9产生脉冲吸附，使得清洁效果更佳；

在清理工作台9上的粘着性异物时，启动伺服电机3e，使得伺服电机3e带动升降辊3a和张力辊3b转动，当升降辊3a通过移动架1a移动至工作台9的顶部时，启动升降驱动器3d，使其向下推动升降辊3a，进而使得升降辊3a带动清洁带3c抵接在工作台9的顶面，清洁带3c的转动速度不等于移动架1a的移动速度，进而清洁带3c能够对工作台9的顶面产生摩擦力，以此清理工作台9顶面的粘着性异物，同时张力辊3b可始终绷紧清洁带3c，清洁带3c的外面积较大，使得粘着性异物能够均匀分布在清洁带3c的外面，从而避免粘着性异物集中在小面积的清理结构上，从而导致的清理效果不佳。

如图9所示，进一步的：

带式清洁机构还包括牵引辊3f和清洁辊3g，牵引辊3f和清洁辊3g沿工作台9的宽度方向延伸并设置在移动架1a内，清洁带3c套设在升降辊3a、张力辊3b和牵引辊3f上，清洁辊3g位于张力辊3b和清洁带3c之间，且清洁辊3g抵接在清洁带3c的外面，清洁辊3g的圆周面上沿螺旋线均匀布置有凸块3g1。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是如何清理清洁带3c外面的粘着性异物。为此，本申请通过将牵引辊3f设置在张力辊3b和牵引辊3f之间，并使其抵接在清洁带3c的外面，清洁辊3g随清洁带3c的输送而转动，清洁辊3g外周沿螺旋均布的凸块3g1能够将清洁带3c外面的粘着性异物向外侧耙出，从而对清洁带3c进行清理，使得清洁带3c始终能够以清洁的状态去清理工作台9。

如图6所示，进一步的：

外管2a的两端设置有封堵其内腔并与移动架1a转动配合的封塞2a1，内管2b的端面沿周向布置有沿其周向延伸的卡槽2b2；旋转式吸尘机构还包括第一卡块和第二卡块，第一卡板包括沿内管2b轴向卡接其一端卡槽2b2的第一卡板2d1，以及连通内管2b内腔和外管2a内腔的通气槽2d2，以及与封塞2a1卡接的第一嵌合块2d3，第二卡块包括沿内管2b轴向卡接其另一端卡槽2b2的第二卡板2e1，以及封闭内管2b另一端的封堵圈2e2，以及与另一块封塞2a1卡接的第二嵌合块2e3，以及连通内管2b内腔和外界负压源的气道2e4。

作为本申请的可选实施例，气道2e4通过旋转接头2g与外界负压源连通。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是外管2a和内管2b如何可拆卸安装以便清理。为此，本申请通过在外管2a的两端设置封闭其内腔的封塞2a1，并使得内管2b的两端分别通过第一卡块和第二卡块与封塞2a1嵌合卡接，以此实现外管2a和内管2b的可拆卸安装；

具体地，第一卡块通过第一卡板2d1与卡槽2b2卡接，且外界气流自外管2a的内腔通过通气槽2d2流向内管2b的内腔，且第一卡块通过第一嵌合块2d3与封塞2a1卡接；第二卡块通过第二卡板2e1与卡槽2b2卡接，且内管2b内的气流仅通过内管2b和气道2e4流向负压源，封堵圈2e2能够防止气流自内管2b又重新流入外管2a的内腔，第二卡块通过第二嵌合块2e3与封塞2a1卡接，使得内管2b可与外管2a同步转动，从而实现对工作台9的脉冲吸尘。

如图6所示，进一步的：

封塞2a1的朝向外管2a内腔的一端设有与其嵌合的凸台2a2，凸台2a2上布置有沿内管2b的径向延伸的内螺纹孔2a3，旋转式吸尘机构还包括螺栓2f，螺栓2f贯穿外管2a并与内螺纹孔2a3同轴拧接。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是封塞2a1如何与外管2a连接且不会因离心力而脱离。为此，本申请通过使得封塞2a1的一端形成与外管2a端口嵌合的凸台2a2，并在凸台2a2上设置沿内管2b径向延伸的内螺纹孔2a3，使得螺栓2f贯穿外管2a并与内螺纹孔2a3拧接，从而当内管2b同轴转动时，沿径向延伸的螺栓2f不会因离心力而脱离内螺纹孔2a3，从而稳固连接外管2a和封塞2a1。

如图10所示，进一步的：

移动架1a内还设有沿工作台9的宽度方向延伸的横板1a1，升降驱动器3d包括双轴推杆3h和第一连杆3i，双轴推杆3h设置在横板1a1的底端，双轴推杆3h沿工作台9的宽度方向延伸，双轴推杆3h的两端具有可相向或背向移动的第一执行杆3h1和第二执行杆3h2，第一连接架3k通过导轨3j沿竖直方向滑动设置在移动架1a内，升降辊3a转动设置在第一连接架3k上，第一执行杆3h1和第二执行杆3h2的一端分别与两个第一连杆3i的一端转动连接，两个第一连杆3i的另一端分别与第一连接架3k的顶端两侧转动连接。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是升降驱动器3d如何沿竖直方向移动升降辊3a。为此，本申请通过第一连杆3i和第一连杆3i沿竖直方向移动升降辊3a，结构紧凑，节省空间；

具体地，横板1a1用于固定安装双轴推杆3h，当启动双轴推杆3h时，其第一执行杆3h1和第二执行杆3h2相向或背向移动，而第一连接架3k通过导轨3j沿竖直方向设置在移动架1a内，第一执行杆3h1和第二执行杆3h2通过第一连杆3i与第一连接架3k的顶端两侧转动连接，进而当改变第一执行杆3h1和第二执行杆3h2的端部距离时，第一连接架3k带动升降辊3a在导轨3j上移动，从而便于升降辊3a将清洁带3c抵接在工作台9的顶面。

如图10所示，进一步的：

第一连杆3i为气弹簧。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是升降辊3a如何将清洁带3c弹性抵接在工作台9的顶端，为此，本申请通过使得第一连杆3i为气弹簧，使得双轴推杆3h的第一执行杆3h1和第二执行杆3h2与第一连接架3k之间弹性连接，进而能够使得升降辊3a能够将清洁带3c弹性压设在工作台9的顶面，以防止升降辊3a的刚性抵力损坏工作台9。

如图12所示，进一步的：

带式清洁机构还包括长轴双向气弹簧3m和第二连杆3n，长轴双向气弹簧3m沿工作台9的宽度方向延伸并设置在横板1a1的底端，长轴双向气弹簧3m的两端均具有可弹性伸缩的第三执行杆3m1，第二连接架3o沿张力辊3b的径向滑动设置在移动架1a内，张力辊3b转动设置在第二连接架3o上，第二连杆3n的两端分别与第三执行杆3m1和第二连接架3o的两端转动连接。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是张力辊3b如何始终绷紧清洁带3c。为此，本申请通过使得张力辊3b滑动设置在移动架1a内，而将长轴双向气弹簧3m固定设置在横板1a1上，使其两端的第三执行杆3m1通过第二连杆3n与第二连接架3o转动连接，使得张力辊3b始终能够弹性绷紧清洁带3c。

如图8所示，进一步的：

凸块3g1沿清洁辊3g的中心径向面对称设置。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是如何提高清洁辊3g的清理效率。为此，本申请通过使得凸块3g1沿清洁辊3g的中心径向面对称，使得旋转的清洁辊3g能够将异物自清洁带3c的中间位置向两侧耙出，从而减小异物的移动距离，以此提高清洁辊3g的清理效率。

如图10所示，进一步的：

清洁辊3g内部中空且与外界连通，凸块3g1上设置有与清洁辊3g的中空腔连通的出水孔3g2。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是如何提高清洁辊3g对清洁带3c的清洁效果。为此，本申请通过使得清洁辊3g中空，可外界管路与清洁液连通，清洁辊3g在旋转的同时，清洁液能够自出水孔3g2流向清洁带3c的凹陷面，从而提高清洁辊3g对清洁带3c的清理效率。

如图11所示，进一步的：

横板1a1上设置有出料孔1a2，出料孔1a2位于清洁辊3g的两端底部，带式清洁机构还包括封闭盒3p和集中盒3q，封闭盒3p设置在出料孔1a2的顶端，且封闭盒3p朝向清洁带3c的一侧开口，集中盒3q设置在出料孔1a2的底端，集中盒3q上还设有贯穿移动架1a并与外界连通的出料管3q1。

基于上述实施例，本申请想要解决的技术问题是如何收集并向移动架1a的外侧排出清洁带3c收集的粘着性异物。为此，本申请通过在横板1a1的两侧设置出料孔1a2，当清洁辊3g旋转而将清洁带3c凹陷面上的异物向两侧耙出时，异物进入封闭盒3p中，并通过出料孔1a2落入封闭盒3p中，再通过出料管3q1向外排出。

本申请通过将旋转时吸尘机构和带式清洁机构安装在移动架1a上，使得旋转式吸尘机构能够对工作台9的顶面形成脉冲吸尘以除去非粘着性异物，而通过带式清洁机构能够有效去除工作台9顶面的粘着性异物。

以上实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种光刻机工作台的清洁装置，包括移动机构，移动机构具有可在工作台（9）的顶部沿其长度方向移动的移动架（1a），其特征在于，清洁装置还包括旋转式吸尘机构和带式清洁机构，旋转式吸尘机构包括外管（2a）、内管（2b）和吸尘扁嘴（2c），外管（2a）转动设置在移动架（1a）内，外管（2a）沿工作台（9）的宽度方向水平延伸且两端封闭，内管（2b）固定设置在外管（2a）内，内管（2b）的一端与外管（2a）的内腔连通，内管（2b）的另一端贯穿外管（2a）的一端并与负压源连通，内管（2b）内设置有与其同轴的螺旋叶片（2b1），吸尘扁嘴（2c）等间距设置在外管（2a）外侧且与其内腔连通；带式清洁机构包括升降辊（3a）、张力辊（3b）、清洁带（3c）、升降驱动器（3d）和伺服电机（3e），升降辊（3a）和张力辊（3b）自下而上依次设置在移动架（1a）内，升降辊（3a）和张力辊（3b）沿工作台的宽度方向延伸，清洁带（3c）套设在升降辊（3a）和张力辊（3b）外，升降驱动器（3d）设置在升降辊（3a）和张力辊（3b）之间用以沿竖直移动升降辊（3a），伺服电机（3e）设置在移动架（1a）外用以驱动升降辊（3a）和张力辊（3b）转动。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，带式清洁机构还包括牵引辊（3f）和清洁辊（3g），牵引辊（3f）和清洁辊（3g）沿工作台（9）的宽度方向延伸并设置在移动架（1a）内，清洁带（3c）套设在升降辊（3a）、张力辊（3b）和牵引辊（3f）上，清洁辊（3g）位于张力辊（3b）和清洁带（3c）之间，且清洁辊（3g）抵接在清洁带（3c）的外面，清洁辊（3g）的圆周面上沿螺旋线均匀布置有凸块（3g1）。

3.根据权利要求1或2所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，外管（2a）的两端设置有封堵其内腔并与移动架（1a）转动配合的封塞（2a1），内管（2b）的端面沿周向布置有沿其周向延伸的卡槽（2b2）；旋转式吸尘机构还包括第一卡块和第二卡块，第一卡板包括沿内管（2b）轴向卡接其一端卡槽（2b2）的第一卡板（2d1），以及连通内管（2b）内腔和外管（2a）内腔的通气槽（2d2），以及与封塞（2a1）卡接的第一嵌合块（2d3），第二卡块包括沿内管（2b）轴向卡接其另一端卡槽（2b2）的第二卡板（2e1），以及封闭内管（2b）另一端的封堵圈（2e2），以及与另一块封塞（2a1）卡接的第二嵌合块（2e3），以及连通内管（2b）内腔和外界负压源的气道（2e4）。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，封塞（2a1）的朝向外管（2a）内腔的一端设有与其嵌合的凸台（2a2），凸台（2a2）上布置有沿内管（2b）的径向延伸的内螺纹孔（2a3），旋转式吸尘机构还包括螺栓（2f），螺栓（2f）贯穿外管（2a）并与内螺纹孔（2a3）同轴拧接。

5.根据权利要求1或2所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，移动架（1a）内还设有沿工作台（9）的宽度方向延伸的横板（1a1），升降驱动器（3d）包括双轴推杆（3h）和第一连杆（3i），双轴推杆（3h）设置在横板（1a1）的底端，双轴推杆（3h）沿工作台（9）的宽度方向延伸，双轴推杆（3h）的两端具有可相向或背向移动的第一执行杆（3h1）和第二执行杆（3h2），第一连接架（3k）通过导轨（3j）沿竖直方向滑动设置在移动架（1a）内，升降辊（3a）转动设置在第一连接架（3k）上，第一执行杆和第二执行杆的一端分别与两个第一连杆（3i）的一端转动连接，两个第一连杆（3i）的另一端分别与第一连接架（3k）的顶端两侧转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，第一连杆（3i）为气弹簧。

7.根据权利要求5所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，带式清洁机构还包括长轴双向气弹簧（3m）和第二连杆（3n），长轴双向气弹簧（3m）沿工作台（9）的宽度方向延伸并设置在横板（1a1）的底端，长轴双向气弹簧（3m）的两端均具有可弹性伸缩的第三执行杆（3m1），第二连接架（3o）沿张力辊（3b）的径向滑动设置在移动架（1a）内，张力辊（3b）转动设置在第二连接架（3o）上，第二连杆（3n）的两端分别与第三执行杆（3m1）和第二连接架（3o）的两端转动连接。

8.根据权利要求2所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，凸块（3g1）沿清洁辊（3g）的中心径向面对称设置。

9.根据权利要求2所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，清洁辊（3g）内部中空且与外界连通，凸块（3g1）上设置有与清洁辊（3g）的中空腔连通的出水孔（3g2）。

10.根据权利要求5所述的一种光刻机工作台的清洁装置，其特征在于，横板（1a1）上设置有出料孔（1a2），出料孔（1a2）位于清洁辊（3g）的两端底部，带式清洁机构还包括封闭盒（3p）和集中盒（3q），封闭盒（3p）设置在出料孔（1a2）的顶端，且封闭盒（3p）朝向清洁带（3c）的一侧开口，集中盒（3q）设置在出料孔（1a2）的底端，集中盒（3q）上还设有贯穿移动架（1a）并与外界连通的出料管（3q1）。

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