CN221183994U - 一种用于扩散炉管的清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及清理装置技术领域，且公开了一种用于扩散炉管的清洗装置，其包括底座，所述底座顶部中间位置固定安装有清洗槽，清洗槽两侧均安装有支板，支板之间转动设置有旋转杆，支板外侧固定安装有与旋转杆连接的伺服电机，两个支板一侧分别连接有位于清洗槽内部的第一圆盘与第二圆盘，第一圆盘与第二圆盘之间设置有扩散炉管，本实用新型通过将扩散炉管插入到固定杆上进行初步固定，然后通过转动丝杆带动调节杆移出了伸缩槽至扩散炉管另一端进行固定，同时通过设置有保护垫对扩散炉管进行保护，通过反转丝杆带动调节杆拔出扩散炉管，这样即可将扩散炉管拆卸下来，通过简化扩散炉的拆装步骤，从而提高了整体的工作效率。

Description

一种用于扩散炉管的清洗装置

技术领域

本实用新型属于清理装置技术领域，具体为一种用于扩散炉管的清洗装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

现有扩散炉管普遍采用石英材质，通过液态源管式扩散法达成扩散的目的，在炉管使用一段时间后或者被污染后，扩散炉管内壁会附着有结晶等杂质，该结晶等杂质会影响扩散时硅片的扩散质量，因此需定期将炉管拆下进行清洗，以提高扩散工艺的效率及保证扩散的质量。

但是目前市场上的扩散炉管清洗装置，在对炉管整体的固定步骤较为复杂，不便于对清洗的炉管进行快速拆装，同时传统扩散炉管清洗，大多使用浸泡式酸处理浪费化剂和水，并且无法对清洗下来的杂质进行集中收集处理，容易造成堵塞。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种用于扩散炉管的清洗装置，有效的解决了目前市场上的扩散炉管清理装置，整体的固定步骤较为复杂，不便于对清洗的炉管进行快速拆装，同时传统扩散炉管清洗，大多使用浸泡式酸处理浪费化剂和水，并且无法对清洗下来的杂质进行集中收集处理，易造成堵塞的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于扩散炉管的清洗装置，包括底座，所述底座顶部中间位置固定安装有清洗槽，清洗槽两侧均安装有支板，支板之间转动设置有旋转杆，支板外侧固定安装有与旋转杆连接的伺服电机，两个支板一侧分别连接有位于清洗槽内部的第一圆盘与第二圆盘，第一圆盘与第二圆盘之间设置有扩散炉管，底座顶部一侧固定安装有清洗剂箱，清洗剂箱通过水管与清洗槽连通，底座底部一侧安装有水箱，底座底部另一侧安装有与清洗槽连通的收集箱，底座顶部设置有与水箱连接的水泵，底座内部设置有超声波发生器，超声波发生器一端连接有超声波换能器，收集箱、清洗剂箱与清洗槽连通处均设置有电磁阀。

优选的，所述第一圆盘靠近第二圆盘一侧表面环形设置间隔安装有固定杆，第二圆盘表面伸缩设置有与固定杆相匹配的调节杆，调节杆、固定杆、第一圆盘与第二圆盘表面均设置有保护垫，保护垫为耐磨型橡胶材质。

优选的，所述第二圆盘表面环形开设有与调节杆相互匹配的伸缩槽，伸缩槽内部转动设置有与调节杆螺纹连接的丝杆，第二圆盘另一侧转动设置有与丝杆连接旋转块。

优选的，所述清洗槽内侧表面上方均匀陈列开设有清洗孔，清洗槽侧壁内部开设有与清洗孔相通的空腔，水泵通过水管与空腔连通。

优选的，所述清洗槽内部设置有过滤框，清洗槽表面开设有与过滤框相互匹配的通槽，过滤框外侧固定安装有封闭板，封闭板内侧固定安装有密封凸块，通槽外侧清洗槽外侧开设有与密封凸块相互匹配的密封凹槽，封闭板外侧四角转动设置有固定螺栓。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1）、本实用新型通过将扩散炉管插入到固定杆上进行初步固定，然后通过转动丝杆带动调节杆移出了伸缩槽至扩散炉管另一端进行固定，同时通过设置有保护垫对扩散炉管进行保护，通过反转丝杆带动调节杆拔出扩散炉管，这样即可将扩散炉管拆卸下来，通过简化扩散炉的拆装步骤，从而提高了整体的工作效率；

2）、通过过滤框对废水中的杂质进行过滤，通过反转固定螺栓即可将过滤框拉出清洗槽，便于人们对过滤的杂质将处理，同时也方便人们对过滤框进行清洗，便于继续进行过滤工作，然后将过滤框再插入到清洗槽内部，此时通过将密封凸块插入到密封凹槽内部，从而起到了很好的密封效果。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的第二圆盘立体图；

图3为本实用新型的清洗槽立体图；

图中：1、底座；2、清洗槽；3、支板；4、旋转杆；5、第一圆盘；6、第二圆盘；7、扩散炉管；8、清洗剂箱；9、收集箱；10、水泵；11、超声波发生器；12、固定杆；13、调节杆；14、伸缩槽；15、丝杆；16、保护垫；17、清洗孔；18、空腔；19、过滤框；20、通槽；21、封闭板；22、密封凸块；23、密封凹槽；24、伺服电机；25、水箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一，由图1、图2和图3给出，本实用新型包括底座1，底座1顶部中间位置固定安装有清洗槽2，清洗槽2两侧均安装有支板3，支板3之间转动设置有旋转杆4，支板3外侧固定安装有与旋转杆4连接的伺服电机24，两个支板3一侧分别连接有位于清洗槽2内部的第一圆盘5与第二圆盘6，第一圆盘5与第二圆盘6之间设置有扩散炉管7，底座1顶部一侧固定安装有清洗剂箱8，清洗剂箱8通过水管与清洗槽2连通，底座1底部一侧安装有水箱25，底座1底部另一侧安装有与清洗槽2连通的收集箱9，底座1顶部设置有与水箱25连接的水泵10，底座1内部设置有超声波发生器11，超声波发生器11一端连接有超声波换能器，收集箱9、清洗剂箱8与清洗槽2连通处均设置有电磁阀；

第一圆盘5靠近第二圆盘6一侧表面环形设置间隔安装有固定杆12，第二圆盘6表面伸缩设置有与固定杆12相匹配的调节杆13，调节杆13、固定杆12、第一圆盘5与第二圆盘6表面均设置有保护垫16，保护垫16为耐磨型橡胶材质；

第二圆盘6表面环形开设有与调节杆13相互匹配的伸缩槽14，伸缩槽14内部转动设置有与调节杆13螺纹连接的丝杆15，第二圆盘6另一侧转动设置有与丝杆15连接旋转块；

清洗槽2内侧表面上方均匀陈列开设有清洗孔17，清洗槽2侧壁内部开设有与清洗孔17相通的空腔18，水泵10通过水管与空腔18连通；

清洗槽2内部设置有过滤框19，清洗槽2表面开设有与过滤框19相互匹配的通槽20，便于将过滤框19插入到清洗槽2内部对杂质进行过滤收集，过滤框19外侧固定安装有封闭板21，封闭板21内侧固定安装有密封凸块22，通槽20外侧清洗槽2外侧开设有与密封凸块22相互匹配的密封凹槽23，封闭板21外侧四角转动设置有固定螺栓，通过密封凸块22插入到密封凹槽23内部，从而起到很好的密封效果。

工作原理：工作时，通过将通过扩散炉管7插入到固定杆12上进行初步固定，然后通过旋转块带动丝杆15转动，由于丝杆15与调节杆13螺纹连接，从而带动调节杆13移出了伸缩槽14，这样可将调节杆13插入到扩散炉管7另一端，通过对扩散炉管7进行两端插接完成安装固定的效果，同时通过设置有保护垫16，便于对运动中的扩散炉管7进行很好的防护效果，重复安装动作将多个扩散炉管7依次安装在第一圆盘5与第二圆盘6之间，随后打开清洗剂箱8上的电磁阀，从而使得清洗剂自动流到清洗槽2内部，然后启动伺服电机24带动旋转杆4上的第一圆盘5与第二圆盘6进行转动，这样使得扩散炉管7依次旋转移动到清洗槽2内部，此时通过启动超声波发生器11与超声波换能器配合产生超声波，与清洁剂配合对扩散炉管7进行清洗，这样避免了浸泡式酸处理造成浪费化剂和水，在清理完成后，通过将废水导入到收集箱9内进行集中收集处理，然后启动水泵10将水箱25内部的水导入到空腔18内部，然后通过清洗孔17排出对转动到清洗槽2内部的扩散炉管7进行冲洗，便于将扩散炉管7表面残留的清洗剂和脏污冲洗干净，然后通过旋转块带动丝杆15反转，从而带动调节杆13回缩到伸缩槽14内部，这样即可将扩散炉管7拆卸下来，通过简化扩散炉管7的拆装步骤，从而提高了整体的工作效率，在将废水导出时，通过过滤框19对废水中的杂质进行过滤，过滤一段时间后，通过反转固定螺栓解除对封闭板21的固定，此时通过通槽20即可将过滤框19拉出清洗槽2，便于人们对过滤的杂质将处理，同时也方便人们对过滤框19进行清洗，便于继续进行过滤工作，然后将过滤框19再插入到清洗槽2内部，此时通过将密封凸块22插入到密封凹槽23内部，从而起到了很好的密封效果。

Claims (5)

1.一种用于扩散炉管的清洗装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部中间位置固定安装有清洗槽（2），清洗槽（2）两侧均安装有支板（3），支板（3）之间转动设置有旋转杆（4），支板（3）外侧固定安装有与旋转杆（4）连接的伺服电机（24），两个支板（3）一侧分别连接有位于清洗槽（2）内部的第一圆盘（5）与第二圆盘（6），第一圆盘（5）与第二圆盘（6）之间设置有扩散炉管（7），底座（1）顶部一侧固定安装有清洗剂箱（8），清洗剂箱（8）通过水管与清洗槽（2）连通，底座（1）底部一侧安装有水箱（25），底座（1）底部另一侧安装有与清洗槽（2）连通的收集箱（9），底座（1）顶部设置有与水箱（25）连接的水泵（10），底座（1）内部设置有超声波发生器（11），超声波发生器（11）一端连接有超声波换能器，收集箱（9）、清洗剂箱（8）与清洗槽（2）连通处均设置有电磁阀。

2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉管的清洗装置，其特征在于：所述第一圆盘（5）靠近第二圆盘（6）一侧表面环形设置间隔安装有固定杆（12），第二圆盘（6）表面伸缩设置有与固定杆（12）相匹配的调节杆（13），调节杆（13）、固定杆（12）、第一圆盘（5）与第二圆盘（6）表面均设置有保护垫（16），保护垫（16）为耐磨型橡胶材质。

3.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉管的清洗装置，其特征在于：所述第二圆盘（6）表面环形开设有与调节杆（13）相互匹配的伸缩槽（14），伸缩槽（14）内部转动设置有与调节杆（13）螺纹连接的丝杆（15），第二圆盘（6）另一侧转动设置有与丝杆（15）连接旋转块。

4.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉管的清洗装置，其特征在于：所述清洗槽（2）内侧表面上方均匀陈列开设有清洗孔（17），清洗槽（2）侧壁内部开设有与清洗孔（17）相通的空腔（18），水泵（10）通过水管与空腔（18）连通。

5.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉管的清洗装置，其特征在于：所述清洗槽（2）内部设置有过滤框（19），清洗槽（2）表面开设有与过滤框（19）相互匹配的通槽（20），过滤框（19）外侧固定安装有封闭板（21），封闭板（21）内侧固定安装有密封凸块（22），通槽（20）外侧清洗槽（2）外侧开设有与密封凸块（22）相互匹配的密封凹槽（23），封闭板（21）外侧四角转动设置有固定螺栓。