CN114813641A - 光学相干断层拍摄系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供光学相干断层拍摄系统，其准确地确定样本中的成为OCT的测量对象的位置。光学相干断层拍摄系统具有：探头，其向被检体照射被检光，并且接收来自该被检体的返回光；断层拍摄部，其与探头连接，生成被检光并输出至探头，并且接收来自探头的返回光，从而基于光学相干效应生成表示所述被检体的内部构造的信号；调整单元，其调整探头与被检体的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在被检体的内部；载物台，其载置被检体；以及位置确定部，其根据返回光确定被检体的平面内的基准位置。载物台能够在保持被检体的表面与所述探头的距离的状态下移动所述被检体，并且以在被检光的照射范围内至少局部地包含被检体的外侧的区域的方式保持被检体。

Description

光学相干断层拍摄系统

技术领域

本发明涉及光学相干断层拍摄系统。

背景技术

光学相干断层拍摄装置(OCT；Optical Coherence Tomography)是通过使来自样本的返回光与参照光发生干涉而将样本内部的折射率差图像化的技术。以眼科为首，在皮肤科和循环器官内科等各种医疗领域中应用正有所进展。另外，作为产业用途，也正在推进对使光透过一定程度的玻璃和树脂等样本的内部构造进行测量的装置的开发(专利文献1等)。

专利文献1：日本特表2015-536037号公报

在通过OCT测量来确认整个样本的内部的构造(例如均匀性等)的情况下，需要改变照射被检光(以下称为探测光)的样本上的位置而反复进行测定。此时，例如有时要求准确地确定样本的不良情况(构造的不均匀性等)位于何处。在该情况下，需要准确地确定照射被检光的部位(即，测定样本上的哪个部位)。关于这一点，在现有技术中，无法准确地确定样本上的OCT测量对象的位置。

发明内容

本发明的目的在于准确地确定样本中的成为OCT的测量对象的位置。

在一个方式中，本发明提供一种光学相干断层拍摄系统，其具有：探头，其向板状或者片状的被检体照射被检光，并且接收来自该被检体的返回光；断层拍摄部，其与所述探头连接，生成所述被检光并输出至所述探头，并且接收来自所述探头的返回光，从而基于光学相干效应生成表示所述被检体的内部构造的信号；调整单元，其调整所述探头与所述被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在被检体的内部；载物台，其载置所述被检体；以及位置确定部，其根据所述返回光确定所述被检体的平面内的基准位置，其中，该光学相干断层拍摄系统能够在保持所述被检体的表面与所述探头之间的距离的状态下，以在所述被检光的照射范围内至少局部地包含所述被检体的外侧的区域的方式移动所述被检体或者所述探头。

在优选的方式中，所述载物台还具有透明体部件，该透明体部件在所述被检体的边缘将所述被检体按压于所述移动载物台。

在优选的方式中，所述载物台具有对所述被检体进行保持的负压产生机构。

在优选的方式中，所述载物台具有对所述被检体进行保持的静电卡盘机构。

在优选的方式中，所述载物台具有固定机构，该固定机构通过在该被检体的边缘以外的部位将所述被检体按压于所述移动载物台的载置面而固定所述被检体。

在优选的方式中，所述断层拍摄部具有阻断机构，该阻断机构在确定所述基准位置时阻断与所述返回光发生光干涉的参照光。

在另一方式中，本发明提供一种光学载物台，其具有：调整单元，其调整光学相干断层拍摄用的探头与被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在所述被检体的内部；以及移动载物台，其载置所述被检体，能够在保持所述被检体的表面与所述探头之间的距离的状态下移动所述被检体，并且以在所述被检光的照射范围内至少局部地包含所述被检体的外侧的区域的方式保持所述被检体。

在又一方式中，本发明提供一种存储程序的存储介质，该程序用于使计算机执行如下的步骤：调整光学相干断层拍摄用的探头与被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在所述被检体的内部；通过向所述被检体的内侧的区域和外侧的区域照射所述被检光并分别接收返回光，将所述被检体的边缘上的位置确定为基准位置；以及通过向根据所述基准位置确定的所述被检体的多个测定位置照射所述被检光，在各测定位置取得基于与来自所述被检体的返回光的干涉信号的信号。

根据本发明，准确地确定样本中的成为OCT的测量对象的位置。

附图说明

图1是光学相干断层拍摄系统10的概要图。

图2A是复合载物台150的立体图。

图2B是复合载物台150的侧视图。

图2C是静电卡盘单元210的俯视图和剖视图。

图3是用于说明探测光的照射范围的图。

图4是光学相干断层拍摄系统10的功能框图。

图5是示出光学相干断层拍摄系统10的动作例的图。

图6是用于说明探测光的扫描例的图。

图7的(a)是用于说明基准位置的确定的图，图7的(b)是示出为了确定基准位置而使用的反射光强度的图。

图8的(a)、(b)、(c)分别是负压产生单元220的俯视图、剖视图、组装侧视图。

图9的(a)、(b)、(c)分别是按压部件240的俯视图、剖视图、组装侧视图。

图10的(a)、(b)、(c)分别是透明框体230的俯视图、剖视图、组装侧视图。

标号说明

10：光学相干断层拍摄系统；190：计算机单元；150：复合载物台；130：探头单元；140：拍摄单元；191：位置确定部；192：干涉信号处理部；193：探头控制部；194：XY载物台控制部；195：Z载物台控制部；199：存储部；131：梁；132：支柱；118：XY载物台；119：Z载物台；113：回射器；112：准直透镜；116：快门；108：扫描镜；107：准直透镜；109：扫描透镜；110：样本；103：光纤；104：光耦合器；105：光纤；106：光纤；102：宽带光源；114：衍射光栅；115：传感器；211：电极；210：静电卡盘单元；220：负压产生单元；240：按压部件；230：透明框体。

具体实施方式

＜实施例＞

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，原则上对相同的结构要素标注相同的标号而省略说明。

图1示出光学相干断层拍摄系统10的概要。光学相干断层拍摄系统10包含探头单元130、拍摄单元140、复合载物台150以及计算机单元190。

拍摄单元140与探头单元130连接，在计算机单元190的控制下生成被检光并输出至探头单元130，并且接收由探头单元130接收到的来自照射对象物(被检体)的返回光，从而基于光学相干效应生成表示被检体的内部构造的信号。拍摄单元140包含宽带光源102、光纤103、光耦合器104、光纤105、衍射光栅114、传感器115、准直透镜112、回射器113以及快门116。除了快门116以外，拍摄单元140具有与一般的OCT测量装置相同的功能。快门116手动开闭或者在计算机单元190的控制下开闭，透过/阻断参照光。在透过参照光的情况下，成为与通常的OCT测量相同的光学配置。在阻断参照光的情况下，不发生光干涉，通过传感器115仅检测到来自探头单元130的返回光，并将该信号提供至计算机单元190。

探头单元130在计算机单元190的控制下向作为测量对象的样本110(被检体)照射被检光(以下，称为探测光)，并且接收来自该被检体的返回光。探头单元130包含准直透镜107、扫描镜108以及扫描透镜109。图中的扫描镜108为1个，但也可以使用2个以上的扫描镜。探头单元130具有与一般的OCT测量装置的探头相同的功能。

从宽带光源102射出的宽带光通过光纤103而入射到光耦合器104。光耦合器104向光纤105和光纤106分支入射光。从光纤105射出的光被引导至探头单元130内的准直透镜107。透过准直透镜107的光在被扫描镜108反射后透过扫描透镜109而在样本110内部大致聚光。这里，大致聚光是指空气中或者水中的光束的直径w0为最小值的状态。扫描镜108通过改变光轴OA的方向而在XY平面内扫描在样本110内部大致聚光的位置(B扫描)。

由于样本110内部的光的折射率差而反射的光再次透过扫描透镜109而被扫描镜108反射，并透过准直透镜107而入射至光纤105。另一方面，从光耦合器104向光纤106侧行进的光透过准直透镜112而被回射器113反射，再次透过准直透镜112而入射至光纤106。来自样本110的返回光与来自回射器113的返回光发生干涉，干涉光通过衍射光栅114按照每个波长被分离并通过传感器115按照每个波长转换为电信号，该电信号被发送到计算机单元190。由此，能够得到关于以样本110的某个位置为基准的XY平面上的规定的照射范围的信息。然后，通过使保持样本110的复合载物台150在XY平面内移动，依次改变样本110的照射范围(换言之，使探头单元130在XY平面上扫描)并反复进行测定，从而取得整个样本110的内部构造的信息。

样本110例如呈板状或者片状。样本110的尺寸例如为几十cm×几十cm，厚度为大约1cm以下，但样本110的尺寸、厚度、形状(轮廓)是任意的。样本110只要至少对于探测光具有规定值以上的透光性，则无论其物性如何，只要是薄膜、膜状以及至少具有供探测光照射的面的实质的三维形状的物体即可。例如是偏振膜、树脂膜、硅膜、凝胶、玻璃、生物体、食品用膜、塑料膜、生物降解性膜、氟树脂、陶瓷。另外，样本110的表面不需要是平坦的，可以具有凹凸，也可以由曲面构成。

另外，在以下的图中表示的样本110的厚度、尺寸及其他的比例尺是为了便于说明而采用的，并不一定表示实际的情况。

复合载物台150是固定样本110并且调整与探头单元130的相对位置的机构。复合载物台150被设置成样本110的表面与探头单元130的扫描面(XY面)大致水平。

以下，对复合载物台150进行详细说明。图2A是复合载物台150的立体图，图2B是复合载物台150的侧视图。复合载物台150包含Z载物台119和XY载物台118。在XY载物台118上设置有静电卡盘单元210。图2C是静电卡盘单元210的俯视图和剖视图，静电卡盘单元210是将样本110保持在XY载物台118上的保持单元的一例。

如图2C所示，静电卡盘单元210在其内部设置有多个电极211，通过使用在电极211与样本110之间产生的库仑力而均匀地保持样本110。由此，即使XY载物台118移动，也能够将样本110可靠地保持于XY载物台118，并且即使在样本110的厚度较小的情况下，也能够抑制在其表面产生褶皱或起伏。其结果为，探头单元130与样本110(其中的测量对象区域)之间的距离保持恒定。

Z载物台119对探头与样本110(其中的照射对象区域)之间的距离进行调整，以使从探头单元130输出的被检光聚焦在被检体的内部。Z载物台119包含：梁131，其固定探头单元130；以及支柱132，其具有未图示的导轨机构等，使梁131沿垂直方向上下(Z方向)移动。Z载物台119具有微型螺钉，可以通过用户手动移动，也可以通过具有步进马达(未图示)与计算机单元190的通信接口并从计算机单元190提供信号而自动地移动。

更准确而言，通过调整探头单元130(更准确而言为扫描透镜109)与样本110内部的测量对象区域的相对位置，在样本110的内部的区域中沿Z轴方向调整探测光的大致聚光的位置。由此，能够应对各种样本110的厚度。这里，如图3所示，Z载物台119能够调整探头单元130与样本110的Z轴方向的距离D，以使至少测量对象区域(可以是样本110的整个厚度方向，也可以是厚度方向中的一部分区域)进入DOF(Depth of Focus：聚焦深度)区域内。

这里，DOF是在测量样本110的内部信息时重要的指标之一，被定义为4√2w0或者2√2w0。在样本110的Z轴方向的DOF区域内，能够最佳地测量包含存在于样本110内部且具有光的折射率差的界面在内的测量对象区域。特别是在使用以液浸透镜为代表的高NA(Numerical Aperture：数值口径)的扫描透镜109的情况下，DOF变小，因此在DOF区域内调整样本110是重要的。

XY载物台118能够在保持样本110与探头单元130之间的距离的状态下移动样本110，并且以在探测光的照射范围内至少局部地包含样本110的外侧的区域的方式对样本110进行保持。这里，“保持距离”不需要使距离严格地恒定，总之，即使移动XY载物台118，只要至少维持测定对象区域进入DOF的状态即可。具体而言，XY载物台118是具有步进马达等马达，在计算机单元190的控制下改变XY方向的各自的移动量的2轴的移动载物台。另外，为了减轻探测光的散射所带来的影响等，静电卡盘单元210的表面由反射率比样本110低的原材料形成。具体而言，涂布有包含合成树脂和颜料的黑色涂料。此外，静电卡盘单元210的表面构造也可以是包含介孔构造、碳纳米管以及微米级的突起构造的构造体。

图4是计算机单元190的功能框图。计算机单元190是具有输入装置、处理器以及显示装置的例如通用的个人计算机，计算机单元190包含位置确定部191、干涉信号处理部192、探头控制部193、XY载物台控制部194、Z载物台控制部195以及存储部199。计算机单元190对拍摄单元140、探头单元130以及复合载物台150进行控制。

干涉信号处理部192接收来自传感器115的信号并进行解析，从而输出表示样本110的内部构造的信息。具体而言，对由传感器115接收到的信号进行傅里叶逆变换，计算各测定点的XY坐标上的深度方向的信息(A扫描数据)。然后，通过将得到的多个A扫描数据拼接起来，生成表示整个样本110的内部构造的三维数据。根据所生成的三维数据，例如能够生成将样本110的任意位置的截面的构造可视化而得到的图像数据。

探头控制部193通过改变扫描镜108的光轴OA的方向，在XY平面内对在样本110内部大致聚光的位置进行扫描(B扫描)。另外，在来自样本110表面的反射光较强的情况下，有时作为干扰对A扫描数据造成影响。在该情况下，为了减少来自样本110表面的直接反射光，探头控制部193也可以按照使样本110上的XY平面上的各测量位置处的光轴OA与样本110的表面的法线所成的角度倾斜的方式进行调整。该角度例如为5度以上且30度以下。另外，倾斜的方向被调整为探头单元130一边使光轴OA移动一边向与测量的方向垂直的方向倾斜。通过设为该方向，能够降低通过使光轴OA移动而产生的像散的影响。

XY载物台控制部194按照规定的算法确定对样本110的平面内的哪个位置照射探测光(换言之，进行何种方式的扫描)，并向XY载物台118提供用于使XY载物台118移动的控制信号，以便能够在所确定的各位置依次进行测量。

Z载物台控制部195通过向Z载物台119提供控制信号来调整梁131的Z方向的移动量。这里，在Z载物台119的Z轴方向的位置根据样本110的XY平面内的位置而不同的情况下(例如在样本110的表面存在凹凸的情况下，或者在样本110是多种原材料的复合体(例如层叠构造体)且作为测定对象的原材料的Z方向的位置不一样的情况下)，Z载物台119也可以根据要测量的XY面的位置的测量对象区域所存在的深度(Z轴方向的位置)来调整Z方向的移动量。具体而言，也可以为，Z载物台控制部195在探头单元130的扫描中，根据所取得的干涉信号来监视是否偏离测量对象区域，在判定为存在偏离的情况下，向Z载物台119输出用于调整Z方向的移动量的信号。具体而言，将该距离调整为比由光干涉信号的自相关引起的亮度成为最大值的探头单元130与样本110的Z轴方向的距离短预先确定的量。一般而言，在进行了傅里叶逆变换处理的深度方向的信息(A扫描数据)中，自相关引起的亮度成为最大值的是样本110的最表面，是光折射率差最大的界面。调整预先确定的Z轴方向距离的量，以使DOF位于比该样本110的最表面靠样本110的内部方向的位置。

在能够预先掌握测量对象区域的深度方向的分布的情况下，也可以将表示测量对象区域的深度的信息输入至计算机单元190，计算机单元190根据该信息将控制信号输出至Z载物台119。另外，也可以省略Z载物台控制部195的功能。在该情况下，用户例如一边确认干涉信号，一边操作微型螺钉来手动调整Z方向的位置。

位置确定部191根据探头单元130接收到的返回光而确定样本110的平面内的基准位置。具体而言，位置确定部191控制快门116的开闭，从而切换通常的测定和基准位置的确定。在生成参照光与返回光的干涉信号的情况下，打开快门116，另一方面，在确定基准位置时，关闭快门116。在关闭快门116的状态下，来自接收探测光的对象(样本110上的区域、不存在样本110的保持部件上的区域以及在样本110与保持部件的边界附近包含两者的区域)的返回光(反射光)经由光纤105和光耦合器104而被传感器115接收，从而测量该区域的反射光的强度。关于基准位置的确定方法的详细情况在后面进行叙述。

存储部199是半导体存储器或硬盘等存储装置，除了存储由位置确定部191和干涉信号处理部192生成的表示样本110的内部构造的信息以外，还存储用于控制位置确定部191、探头控制部193、XY载物台控制部194以及Z载物台控制部195的程序。

图5示出光学相干断层拍摄系统10的动作例。当用户将样本110载置于XY载物台118并完成测量的准备时，首先，通过计算机单元190或者用户手动调整探头单元130的Z方向的位置(S301)，然后，计算机单元190确定样本110中的XY面上的基准点(S302)。接着，计算机单元190设定样本110上的测定点(S303)。然后，计算机单元190执行各测定点处的OCT测定(S304)。最后，计算机单元190根据测量到的数据生成整个样本110内部的三维图像数据(S305)。

图6是用于说明图5的S304中的探测光的扫描的例子的图。这里，样本110是具有顶点C1～C4和边缘(边)E的矩形的片部件。在该例中，作为基准位置，确定顶点C1～C4的位置坐标和边缘E上的任意的位置坐标中的至少任意一方。优选的是，在预先知道呈矩形状的情况下，确定顶点C1～C4的全部位置。优选至少确定顶点C1～C4中的2个位置。这是因为，在仅确定一个顶点的情况下，有可能无法判定样本110的朝向。这样，根据确定的基准位置来确定各测量点。在图6中，P1、P2、P3等是以所确定的测量点为基准的矩形区域，表示探测光的基于扫描镜108的测量区域。在该图的例子中，使探头单元130从样本110的左上朝向右下进行扫描。另外，测定点间的间隔是任意的，例如相邻的照射区域可以重叠，也可以分离。另外，基于扫描镜108的测量区域的形状是一个例子，例如也可以是圆或者六边形等多边形。

使用图7对基准位置的确定方法进行说明。图7的(a)是C1附近的放大图。用户在将样本110载置于XY载物台118时，将样本110的C1位置配置于以在保持机构上预先确定的CT为中心的预先确定的区域RE(在本例中为圆)。以CT为中心，搜索成为样本110的基准位置的边或顶点。具体而言，按照规定的算法，以在距CT规定的距离的区域RE内沿规定的方向进行扫描的方式移动XY载物台118，在多个测定点测定反射光的强度。其结果为，例如，在沿着线T1进行扫描的情况下，能够得到图7的(b)所示的距边缘的距离与标准化后的反射光强度的关系。推定标准化后的反射光强度急剧增加的位置是样本110的边界(图7的(a)的E1)。这样，确定E1的位置(X坐标、Y坐标)。

同样地，例如当沿着线T2进行扫描来测定反射光的强度时，确定边缘上的点E2，例如根据沿着线T3进行扫描而得到的反射光的强度来确定其他边缘上的E3。根据这样推定出的边缘上的多个点来计算顶点C1的坐标(x0，y0)。同样地，确定样本110的其他任意一个以上的顶点的位置坐标。这样，确定载置于保持部件的样本110的准确的位置(和朝向)。然后，将边缘上的位置(也可以是顶点)作为基准位置，设定测定开始点(例如图6的P1)。在该例中，将距顶点位于规定的位置的部位确定为最初的测定点。

根据上述实施例，在对板状或者片状的整个样本的内部构造的物性进行OCT测定时，能够使用探测光来确定样本的边缘(缘部)的位置，因此能够准确地确定各测定点的位置。由于测定点的确定是基于返回光来进行的，因此不需要在OCT测定机构之外另行设置用于位置测定的机构。另外，如果不考虑XY载物台118的最小移动量，则如果照射范围为3μm左右，能够以3μm左右或其以下的精度确定测定点。

＜其他变形例＞

如图8所示，也可以代替静电卡盘单元210或者在静电卡盘单元210的基础上，通过负压将样本110保持于XY载物台118。图8的(a)、(b)、(c)分别示出负压产生单元220的俯视图、剖视图以及与XY载物台118组合的整体的侧视图。负压产生单元220在与样本110接触的面上沿XY方向呈格子状地形成有槽221。槽221与流路222连接，通过事先连接的真空泵(未图示)使槽内的气压与大气压相比成为负压。由此，将样本110可靠地保持于XY载物台118，并且作用于样本110的向下的Z方向的力大致均匀。

或者，XY载物台118也可以具有在XY平面内大致均匀地作用按压力的机构，以使施加于样本110内部的应力大致恒定。例如，如图9所示，按压部件240将格子状的构造体配置在样本110上，通过重力向XY载物台118按压，该格子状的构造体在样本110上未测量的水平面上的位置将样本110保持于XY载物台118。

或者，如图10所示，也可以通过从样本110的上方盖上覆盖样本110的边缘的全部或一部分的宽度为W1的透明框体230，将样本110向XY载物台118按压。因此，优选透明框体230具有一定程度的重量。透明框体230也可以使用夹具机构(未图示)来提高对XY载物台118的按压力。这样，通过将样本110夹入XY载物台118与透明框体230之间来进行固定，从而例如即使样本110是较薄或者较轻的膜状等的原材料，也能够抑制其边缘卷起或者位置偏移，因此能够确保基准位置的确定和边缘附近的准确的测量。另外，按压部件240也可以与静电卡盘单元210、负压产生单元220以及透明框体230中的至少任意一方组合使用。

XY载物台118也可以具有在XY平面内大致均匀地施加力的正压产生机构，以使施加于样本110内部的应力大致恒定。正压产生机构例如使水、空气及其他流体从探头单元130的下部与样本110接触，从而使力沿Z轴负方向作用于样本110。总之，只要是使样本110固定于XY载物台118的单元，则可以是任何单元。

＜变形例＞

在事实上确保了两者的位置不会由于样本110的物性和XY载物台118的表面原材料而偏移的情况下，也可以省略静电卡盘单元210及其他保持单元而直接将样本110载置于XY载物台118。

基准位置的确定也可以不根据反射光的强度而根据参照光与返回光的干涉信号来进行。这是因为，与反射光的强度相同，在样本110内的区域和除此以外的区域中，干涉信号会出现较大的间隙。在该情况下，能够省略快门116。

也可以不是首先根据基准位置来确定全部的测定点，而是依次进行校正。例如，在图6中，针对每一行(换言之，一次Y方向的扫描)判定样本110的左右端，将判定出的端部作为基准位置，确定该扫描的各测定点的位置，并根据需要进行校正。由此，例如即使在样本不是矩形的情况下或者XY载物台118的精度(各移动量)不充分的情况下，也能够更准确地确定测定点的位置。

也可以代替宽带光源102而使用波长扫描型光源，代替衍射光栅114和传感器115而使用光电二极管，由此得到干涉信号。无论频域OCT(SS-OCT、SD-OCT)、时域OCT(TD-OCT)的方式如何，都能够应用本发明。

设置快门116的部位可以是准直透镜112与回射器113之间，也可以是光纤106内的任意位置。

在上述实施例中，在XY方向上固定探头单元130而使样本110移动，但也可以使探头单元130移动而固定样本110。具体而言，代替Z载物台119而设置XYZ的3轴的载物台，并且代替可动的XY载物台118而设置固定载物台。或者，也可以使探头单元130和样本110这两者移动。总之，只要探头单元130能够通过探头单元130与样本110的相对移动而在样本110的平面内的所有区域进行扫描即可。

总之，在本发明的光学相干断层拍摄系统中，只要满足以下的条件即可：光学相干断层拍摄系统具有：探头，其向板状或者片状的被检体照射被检光，并且接收来自该被检体的返回光；断层拍摄部，其与所述探头连接，生成所述被检光并输出至所述探头，并且接收来自所述探头的返回光，从而基于光学相干效应生成表示所述被检体的内部构造的信号；调整单元，其调整所述探头与所述被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在被检体的内部；载物台，其载置所述被检体；以及位置确定部，其根据所述返回光来确定所述被检体的平面内的基准位置，在保持所述被检体的表面与所述探头之间的距离的状态下，以在所述被检光的照射范围内至少局部地包含所述被检体的外侧的区域的方式将所述被检体和所述探头中的至少任意一方保持为能够移动。

Claims (8)

1.一种光学相干断层拍摄系统，其具有：

探头，其向板状或者片状的被检体照射被检光，并且接收来自该被检体的返回光；

断层拍摄部，其与所述探头连接，生成所述被检光并输出至所述探头，并且接收来自所述探头的返回光，从而基于光学相干效应生成表示所述被检体的内部构造的信号；

调整单元，其调整所述探头与所述被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在被检体的内部；

载物台，其载置所述被检体；以及

位置确定部，其根据所述返回光确定所述被检体的平面内的基准位置，

其特征在于，

该光学相干断层拍摄系统能够在保持所述被检体的表面与所述探头之间的距离的状态下，以在所述被检光的照射范围内至少局部地包含所述被检体的外侧的区域的方式移动所述被检体或者所述探头。

2.根据权利要求1所述的光学相干断层拍摄系统，其特征在于，

所述载物台还具有透明体部件，该透明体部件在所述被检体的边缘将所述被检体按压于所述载物台。

3.根据权利要求1或2所述的光学相干断层拍摄系统，其特征在于，

所述载物台具有对所述被检体进行保持的负压产生机构。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的光学相干断层拍摄系统，其特征在于，

所述载物台具有对所述被检体进行保持的静电卡盘机构。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光学相干断层拍摄系统，其特征在于，

所述载物台具有固定机构，该固定机构通过在所述被检体的边缘以外的部位将该被检体按压于所述载物台的载置面而固定所述被检体。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的光学相干断层拍摄系统，其特征在于，

所述断层拍摄部具有阻断机构，该阻断机构在确定所述基准位置时阻断与所述返回光发生光干涉的参照光。

7.一种光学载物台，其具有：

调整单元，其调整光学相干断层拍摄用的探头与被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在该被检体的内部；以及

载物台，其载置所述被检体，能够在保持所述被检体的表面与所述探头之间的距离的状态下移动所述被检体，并且以在所述被检光的照射范围内至少局部地包含所述被检体的外侧的区域的方式保持所述被检体。

8.一种存储程序的存储介质，该程序用于使计算机执行如下的步骤：

调整光学相干断层拍摄用的探头与被检体之间的距离，以使从所述探头输出的被检光聚焦在所述被检体的内部；

通过向所述被检体的内侧的区域和外侧的区域照射所述被检光并分别接收返回光，将所述被检体的边缘上的位置确定为基准位置；以及

通过向根据所述基准位置确定的所述被检体的多个测定位置照射所述被检光，在各测定位置取得基于与来自所述被检体的返回光的干涉信号的信号。

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