CN114750502A - 印刷装置以及掩模牵引方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够使印刷位置与保存位置之间的掩模的搬运效率化并实现掩模更换器中的掩模的保存片数的增加的印刷装置以及掩模牵引方法。印刷装置经由设置有规定的印刷图案的掩模而对基板印刷焊料膏剂，且具有：保存部，其保存掩模；以及牵引部，其对所保存的掩模所具备的框的侧面进行吸附，而将掩模从保存部拉出。

Description

印刷装置以及掩模牵引方法

技术领域

本发明涉及印刷装置以及掩模牵引方法。

背景技术

在专利文献1中公开了能够根据基板的品种变更简单地自动更换丝网掩模的丝网印刷装置。丝网印刷装置具备印刷部、以及在该印刷部的侧方设置的收纳部(掩模更换器)。丝网印刷装置的印刷部具有主体框架、以滑动自如的方式配设在该主体框架的丝网掩模、以及在该丝网掩模上滑动的刮板。掩模更换器具有丝网掩模的储存部，且具备清洁部，该清洁部包括移动体、使该移动体在印刷部与掩模更换器之间移动的移动机构、设置于该移动体且在印刷部对丝网掩模进行清洁的清洁单元、其以装卸自如地与该丝网掩模的掩模框卡合的方式设置于该移动体的连结构件、以及该连结构件的驱动机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-299812号公报

发明内容

发明所要解决的课题

对于丝网印刷装置而言，为了提高由作业者进行的丝网掩模的供给作业的效率化、生产率，期望增加能够搭载的丝网掩模的片数。但是，这样具备掩模更换器的丝网印刷装置存在在增加内置于掩模更换器的丝网掩模的片数的情况下装置容易大型化的课题。

本发明鉴于上述现有的状况而提出，目的在于提供使印刷位置与保存位置之间的掩模的搬运效率化并实现掩模更换器中的掩模的保存片数的增加的印刷装置以及掩模牵引方法。

用于解决课题的方案

本发明提供一种印刷装置，其经由设置有规定的印刷图案的掩模而对基板印刷焊料膏剂，其中，所述印刷装置具有：保存部，其保存所述掩模；以及牵引部，其对所保存的所述掩模所具备的框的侧面进行吸附，而将所述掩模从所述保存部拉出。

另外，本发明提供一种掩模牵引方法，其是经由设置有规定的印刷图案的掩模而对基板印刷焊料膏剂的印刷装置所进行的掩模牵引方法，其中，对在保存所述掩模的保存部保存的所述掩模所具备的框的侧面进行吸附，将所述掩模从所述保存部拉出并向所述焊料膏剂的印刷位置牵引。

发明效果

根据本发明，能够使印刷位置与保存位置之间的掩模的搬运效率化，并实现掩模更换器中的掩模的保存片数的增加。

附图说明

图1是实施方式1的印刷装置的整体立体图。

图2是实施方式1的印刷装置的局部透视立体图。

图3是实施方式1的印刷装置的透视侧视图。

图4是实施方式1中的印刷部的局部剖面侧视图。

图5是实施方式1中的印刷部的局部俯视图。

图6是实施方式1的印刷装置所具备的印刷部的局部俯视图。

图7是示出掩模的一例的俯视图。

图8是示出由掩模保持部进行保持的掩模的保持状态的仰视图。

图9是示出被掩模引导件引导的掩模的情况的主视图。

图10是刮板基座。

图11是实施方式1的印刷装置所具备的印刷部的俯视图。

图12是向实施方式1的印刷装置从收纳体拉出的掩模的上表面吹送气体的状况的立体图。

图13是概要性地示出实施方式1的印刷装置的牵引机构的示意图。

图14是示出实施方式1的印刷装置的控制系统的框图。

图15A是对实施方式1的印刷装置的掩模的拉出动作步骤例进行说明的图。

图15B是对实施方式1的印刷装置的掩模的拉出动作步骤例进行说明的图。

图15C是对实施方式1的印刷装置的掩模的拉出动作步骤例进行说明的图。

图15D是对实施方式1的印刷装置的掩模的拉出动作步骤例进行说明的图。

图16A是对实施方式1的印刷装置的掩模的收纳动作步骤例进行说明的图。

图16B是对实施方式1的印刷装置的掩模的收纳动作步骤例进行说明的图。

图16C是对实施方式1的印刷装置的掩模的收纳动作步骤例进行说明的图。

图16D是对实施方式1的印刷装置的掩模的收纳动作步骤例进行说明的图。

图17A是对实施方式1的变形例的印刷装置的L框掩模的拉出动作步骤进行说明的图。

图17B是对实施方式1的变形例的印刷装置的L框掩模的拉出动作步骤进行说明的图。

图17C是对实施方式1的变形例的印刷装置的L框掩模的拉出动作步骤进行说明的图。

图17D是对实施方式1的变形例的印刷装置的L框掩模的拉出动作步骤进行说明的图。

附图标记说明

11：印刷装置；15：掩模更换器；27：掩模；37：印刷头；49：相机移动机构；51：相机；63：吸附部；101：框；131：刮板基座驱动马达；115：压杆；KB：基板；Pst：膏剂。

具体实施方式

以下，适当参照附图对具体公开了本发明的印刷装置以及掩模牵引方法的结构以及作用的实施方式详细地进行说明。但是，有时会省略过于详细的说明。例如，有时省略会已经广为人知的事项的详细说明、对实质上相同的结构的重复说明。这是为了避免以下的说明不必要地变得冗长，而使本领域技术人员容易理解。需要说明的是，附图和以下的说明是为了使本领域技术人员充分理解本发明而提供的，并不意在通过这些来限定技术方案所记载的主题。

首先，参照图1对实施方式1中的印刷装置11进行说明。图1是实施方式1的印刷装置11的整体立体图。

本实施方式1的印刷装置11是由印刷部13和掩模更换器15一体地构成的结构，印刷部13对作为印刷对象物的基板KB(参照图2)的上表面印刷焊料膏剂等膏剂Pst(参照图2)，掩模更换器15保存向该印刷部13供给的掩模27(参照图2)。印刷装置11构成为包括印刷部13和掩模更换器15。

印刷部13在被印刷部盖17覆盖的基台19(参照图2)之上具有基板搬运保持部21，并向被搬运的基板KB印刷膏剂Pst。

掩模更换器15与印刷部13的后部相邻地设置。掩模更换器15的壳体23具有能够收纳箱仓(magazine)25的内部空间SP(参照图2)，在壳体23的后表面侧的下部设置有能够相对于内部空间SP取放收纳有掩模27的箱仓25的开口部29。掩模更换器15具有用于向印刷部13供给掩模27的掩模通过开口71(参照图2)，掩模更换器15通过该掩模通过开口71而与印刷部13的内部在空间上相连。掩模更换器15的壳体23在后表面侧的上部具有能够输出警报音或警报画面的触摸面板31、或其他照明装置(例如，LED等)。

接下来，参照图2～图4对印刷部13以及掩模更换器15的概要进行说明。图2是实施方式1的印刷装置11的局部透视立体图。图3是实施方式1的印刷装置11的透视侧视图。图4是实施方式1中的印刷部的局部剖面侧视图。

基板搬运保持部21在上方设置有掩模引导件33。掩模引导件33在上方配置有掩模保持部35。掩模保持部35在上方分别设置有印刷头37、刮片单元39、掩模上表面清洁器41以及气体吹送部43。另外，在掩模保持部35的上方分别设置有左右的两个掩模保持部升降缸45、以及前后左右的四个工作缸47。在掩模保持部35的下方设置有相机移动机构49、相机51以及掩模下表面清洁器53。

气体吹送部43作为对被膏剂Pst弄脏前(即使用前、或向掩模27供给最初的膏剂Pst前)的掩模27的上表面进行清洁的使用前掩模清洁器而发挥功能。气体吹送部43具备：管状部55，其在掩模27的移动路径的上方沿与掩模27的移动方向(X轴方向)交叉的横向延伸；以及阀部57，其与管状部55的一端侧相连。管状部55在两个后述的前后方向引导部的后端侧以跨越两个前后方向引导部中的每一个的方式设置。

掩模下表面清洁器53以通过掩模下表面清洁器引导件(未图示)而在掩模引导件33的下方的区域沿Y轴方向移动自如的方式设置。掩模下表面清洁器53与相机移动机构49的移动基座59之间被设置于掩模下表面清洁器53的移动基座连结部(未图示)连结，从而掩模下表面清洁器53与移动基座59成为一体地在Y轴方向上移动。

掩模下表面清洁器53在未通过移动基座59在Y轴方向上移动时，在位于搬运掩模27并印刷膏剂Pst的印刷位置的前方的清洁器待机位置待机(参照图2)。掩模下表面清洁器53通过设置于掩模下表面清洁器引导件的下表面清洁器升降部(未图示)而相对于掩模引导件33(即相对于被搬运至印刷位置的掩模27)升降自如。

相机移动机构49具有能够在掩模更换器15所具备的后述的箱仓25与印刷部13内的掩模27的印刷位置之间移动(搬运)掩模27的功能。详细而言，相机移动机构49具有如下功能：从箱仓25拉出掩模27而使其向印刷部13内移动并移动至印刷位置的中途，或者使掩模27从印刷部13内的印刷位置移动至返回箱仓25的路径的中途。相机移动机构49具备：移动基座59，其以沿X轴方向延伸的方式设置；以及作为牵引部的一例的吸附部63，其通过设置于移动基座59的YZ致动器6而在Y方向以及Z方向上移动自如。

掩模更换器15与印刷部13的后部相邻地设置，且具备壳体23、箱仓25、升降机65、下侧传感器67、上侧传感器69、掩模通过开口71以及升降体73。升降机65具备：螺母部75，其设置于具有在水平面内扩展的形状的升降体73的一端侧；滚珠丝杠77，其与螺母部75螺合并沿上下方向延伸；以及升降体升降马达79，其驱动滚珠丝杠77旋转。

对于升降机65而言，滚珠丝杠77由于升降体升降马达79工作而旋转，从而升降体73经由设置于滚珠丝杠77的螺母部75而升降。升降机65作为收纳体移动机构而发挥功能，该收纳体移动机构通过使对箱仓25进行支承的升降体73在作业空间SP1与供给空间SP2之间升降，从而使从壳体23的开口部29搬入的箱仓25在壳体23的开口部29与作为远离该开口部29的位置的作业空间SP1之间移动。

基板搬运保持部21具备搬入输送机81、中间输送机83、搬出输送机85、基板保持部87以及多级工作台89。搬入输送机81、中间输送机83以及搬出输送机85以该顺序在X轴方向(设为左右方向)上排列，从而依次向搬入输送机81、中间输送机83、搬出输送机85移交并搬运基板KB。

基板保持部87与中间输送机83一起构成单元，该基板保持部87将中间输送机83从搬入输送机81接收的基板KB支承为从中间输送机83抬起的状态，并且夹持该基板KB的两侧而对该基板KB进行保持。多级工作台89设置在基台19上，该多级工作台89使由中间输送机83和基板保持部87构成的单元整体相对于基台19在XY平面和上下方向(Z轴方向)上移动。

图5是实施方式1中的印刷部13的局部俯视图。基板搬运保持部21(参照图4)在上方设置有掩模引导件33。掩模引导件33具有：一对前后方向引导部91，其以沿Y轴方向(设为前后方向)延伸且在X轴方向上对置的方式平行地配置；以及左右方向引导部93，其以沿X轴方向延伸的方式设置于一对前后方向引导部91的前方端部。一对前后方向引导部91分别以截面呈L状的方式形成，且具有水平部95以及在水平部95的外侧形成的垂直部97。另一方面，左右方向引导部93构成为与一对前后方向引导部91各自的水平部95连接。

图6是实施方式1的印刷装置11所具备的印刷部13的局部俯视图。掩模引导件33在上方配置有掩模保持部35。掩模保持部35在俯视下具有矩形形状，且左右的Y轴边分别位于掩模引导件33的一对前后方向引导部91各自的上方，前侧的X轴边分别位于左右方向引导部93的上方。掩模引导件33通过掩模保持部35而分别按压掩模27的四边。

图7是示出掩模27的一例的俯视图。掩模27由大致矩形形状的金属板构成。掩模27在中央部以与在基板KB的表面形成的电极图案(未图示)的配置相对应的配置形成有图案开口99。掩模27的外周被框101支承。对于印刷装置11内的掩模27的框101而言，Y方向上的前侧由前框体103构成，Y方向上的后侧由后框体105构成，X方向上的右侧由右框体107构成，X方向上的左侧由左框体109构成。

掩模引导件33所具有的一对前后方向引导部91各自的后端侧在水平面(XY平面)上延伸至掩模更换器15的附近位置(即进行掩模27的拉出以及收纳的掩模通过开口71附近)，并成为在印刷部13内的掩模27的印刷位置与掩模更换器15的箱仓25之间搬运的掩模27的搬运路径。一对前后方向引导部91在上表面以沿Y轴方向延伸的方式形成有由台阶形成的引导件111(参照图5)，并对在印刷位置与掩模更换器15内的箱仓25之间移动的大致矩形形状的掩模27的左右的侧面进行引导。

图8是示出由掩模保持部35进行保持的掩模27的保持状态的仰视图。掩模27成为三边被掩模引导件33和掩模保持部35夹持的状态。由此，掩模27被保持为平面状态。气体吹送部43在下表面侧分别设置有沿X轴方向排列设置的多个气体喷出孔113。

图9是示出被掩模引导件33引导的掩模27的情况的主视图。两个掩模保持部升降缸45以及四个工作缸47分别被固定设置于掩模引导件33的左右的前后方向引导部91各自所具有的垂直部97。左右的两个掩模保持部升降缸45分别设置于掩模保持部35的沿Y轴方向延伸的左右的两个直线部分各自的中间部的上方。四个工作缸47分别设置于掩模保持部35的四角或该四角附近的上方。掩模27通过前后方向引导部91的水平部95、以及被前后左右的四个工作缸47的压杆115按压的掩模保持部3来按压框101。

图10是实施方式1中的印刷部13的局部侧视图。作为掩模保持部升降缸45的输出轴的升降杆117的下端固定于掩模保持部35。升降杆117与掩模保持部35的Y轴方向上的中间位置结合。掩模保持部35通过同步地驱动左右的两个掩模保持部升降缸45各自的升降杆117，而能够在维持水平姿态的状态下在掩模引导件33的上方升降。四个工作缸47分别通过驱动作为其输出轴的压杆115，而能够向下方按压掩模保持部35的四角。

掩模保持部35被左右的两个掩模保持部升降缸45分别按压于掩模引导件33。形成为大致矩形形状的掩模27的四边中的三边成为被掩模引导件33和掩模保持部35夹持的状态。由此，掩模27被保持为大致水平。

印刷头37具备：刮板基座119，其以沿X轴方向延伸且在Y轴方向上移动自如的方式设置；两个刮板121，其设置于刮板基座119的下方；以及刮板升降驱动部123，其设置于刮板基座119的上表面侧。两个刮板121分别以在Y轴方向上对置的方式配置(参照图11)。刮板升降驱动部123使两个刮板121分别在刮板基座119的下方单独升降。

图11是实施方式1中的印刷部13的俯视图。刮板基座119具有沿Y轴方向延伸的形状。对于刮板基座119而言，左右的两端部被以沿Y轴方向延伸且在X轴方向上对置的方式平行地配置的两个刮板基座引导件125分别支承。在两个刮板基座引导件125中的一方的刮板基座引导件125的外侧(X轴方向上的外侧)设置有沿Y轴方向延伸的刮板基座移动滚珠丝杠127。刮板基座移动滚珠丝杠127与设置于刮板基座119的刮板基座螺母129螺合。刮板基座移动滚珠丝杠127与刮板基座驱动马达131连结，当刮板基座移动滚珠丝杠127通过刮板基座驱动马达131的驱动而旋转时，刮板基座119借助刮板基座螺母129而在Y轴方向上移动。

刮片单元39作为对掩模27的膏剂Pst进行回收的膏剂回收部而发挥功能。如图10以及图11所示，刮片单元39具备：刮片基座133，其沿X轴方向延伸；刮片升降缸135，其设置于刮片基座133；刮片保持部137，其通过刮片升降缸135而升降；以及刮片139，其保持于刮片保持部137。与刮板基座119同样地，刮片基座133的左右的两端部被两个刮板基座引导件125分别支承。刮片基座133通过设置于刮板基座119的刮片单元连结部141(参照图10)而与刮板基座119连结，并在与该刮板基座119连结的状态下与刮板基座119成为一体地在Y轴方向上移动。对于刮片单元39而言，驱动刮片升降缸135而使刮片保持部137(参照图10)升降，从而使刮片139升降。

掩模上表面清洁器41具有对由刮片单元39回收膏剂Pst后的掩模27的上表面进行清洁的功能，如图10以及图11所示，该掩模上表面清洁器41安装于刮板基座119。由此，掩模上表面清洁器41与刮板基座119成为一体地在Y轴方向上移动，并与印刷头37一起相对于被搬运至印刷位置的掩模27移动。掩模上表面清洁器41设置于刮板基座119，经由上表面清洁器升降部143而安装于刮板基座119，通过使上表面清洁器升降部143工作，能够使掩模上表面清洁器41相对于刮板基座119升降。

对于图6所示的移动基座59而言，左右的两端部被以沿Y轴方向延伸且在X轴方向上对置的方式平行地配置的两个移动基座引导件145分别支承。两个移动基座引导件145中的一方的移动基座引导件145在外侧(X轴方向上的外侧)设置有沿Y轴方向延伸的移动基座移动滚珠丝杠147。移动基座移动滚珠丝杠147与设置于移动基座59的移动基座螺母149螺合。移动基座移动滚珠丝杠147与移动基座驱动马达151连结，当驱动移动基座驱动马达151而移动基座移动滚珠丝杠147旋转时，移动基座59借助该旋转的移动基座螺母149而在Y轴方向上移动。

图12是示出由管状部55进行的向掩模27上表面吹送气体的情况的立体图。气体吹送部43具备：管状部55，其在掩模27的移动路径的上方沿与掩模27的移动方向(X轴方向)交叉的横向延伸；以及阀部57，其与管状部55的一端侧相连。管状部55在两个前后方向引导部91各自的后端侧以跨越两个前后方向引导部91中的每一个的方式设置。

管状部55经由阀部57供给高压气体GS，并从多个气体喷出孔113(参照图11)分别朝向位于下方的掩模27的上表面喷射高压气体GS。需要说明的是，掩模上表面清洁器41并不限定于向掩模27的上表面吹送气体的结构(即鼓风的结构)，例如也可以是对掩模27的上表面进行吸引的结构、进行刷洗的结构、或对掩模27的上表面进行擦拭的结构等。

相机移动机构49在移动基座59安装有相机51的相机壳体153。相机壳体153以大致六面体形状形成。相机壳体153在下表面安装有下方拍摄相机155，在上表面安装有上方拍摄相机157，且下方拍摄相机155和上方拍摄相机157各自的镜筒安装在使光轴沿着Z轴的方向上。

相机移动机构49能够通过移动基座59在Y轴方向上的移动而使吸附部63在Y轴方向上移动。吸附部63还能够通过YZ致动器61而相对于移动基座59在沿着Y轴的方向和沿着Z轴的方向上移动。该YZ致动器61的移动机构可以是由齿条和小齿轮构成的直线驱动机构、线性马达机构等。

吸附部63通过相机移动机构49移动至掩模通过开口71的紧前方。吸附部63在移动至掩模通过开口71的紧前方的状态下通过YZ致动器61升降至成为供给对象的掩模27的保存高度(Z轴方向)，然后，通过YZ致动器61而向后方移动，进入掩模更换器15的内部，并移动至保存在箱仓25内的掩模27的框101(具体而言为前框体103)的位置。另外，吸附部63从该掩模对置位置进一步在Y轴方向上移动。由此，吸附部63能够进行相对于框101的吸附位置的微调整。被微调整至吸附位置的吸附部63对在掩模更换器15的箱仓25保存的掩模27所具备的框101(具体而言为前框体103)的侧面进行吸附，从而能够从箱仓25的内部通过掩模通过开口71将掩模27向印刷部13内拉出。

掩模27的拉出动作以及收纳动作通过相机移动机构49和印刷头37执行。相机移动机构49从箱仓25内将掩模27拉出至印刷部13内的印刷位置的中途。印刷头37将被拉出至印刷部13内的中途的状态下的掩模27搬运至进行印刷处理的印刷位置。

吸附部63例如与设置于印刷装置11的气压回路(未图示)进行配管连接。气压回路与气压产生源连接。气压产生源包括真空泵和空气供给源。吸附部63经由真空阀而与气压产生源和鼓风阀连接。真空阀通过后述的控制部159对输入端口和输出端口进行切换，由此能够对吸附部63的真空压力和鼓风压力进行切换。

掩模更换器15以及相机移动机构49通过将收纳于箱仓25的掩模27从箱仓25拉出并搬运至印刷位置，从而构成能够向印刷部13供给掩模27的构件供给装置161。

接下来，参照图13，进一步对用于执行掩模27的箱仓25与印刷位置之间的搬运(即拉出动作或收纳动作)的各机构进行说明。图13是执行实施方式1中的掩模27的拉出动作或收纳动作的各机构的概要图。

印刷头37由控制部159中的印刷动作控制部169(参照图14)控制，而在X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向上被驱动。印刷头37具有与被吸附部63从掩模更换器15内的箱仓25拉出的掩模27的框101的侧面抵接的压杆115。压杆115与工作缸110连结，从而与工作缸110成为一体而在沿着Y轴的方向上被驱动。压杆115在Z轴方向上升降而与掩模27的框101的侧面抵接，并在沿着Y轴的方向上被驱动而在前后方向上搬运掩模27。

工作缸110设置于对基板KB印刷膏剂Pst的印刷头37，与印刷头37成为一体地被驱动。印刷头37具有在沿着X轴的方向上延伸的刮板基座119。印刷动作控制部169驱动刮板基座驱动马达131，而使与刮板基座119一体地构成的工作缸110的压杆115在沿着Y轴的方向上移动。也就是说，印刷动作控制部169通过使压杆115在与框101抵接的状态下在沿着Y轴的方向上移动，从而能够沿着掩模引导件33将掩模27搬运至印刷位置。

印刷头37分别通过设置于刮板升降驱动部123的两个Z轴马达163，而使两个刮板121分别在刮板基座119的下方单独升降。由此，刮板121能够从掩模27向上方的退避位置移动。也就是说，刮板121在向退避位置移动时，能够避免对掩模27的框101的干涉。

吸附部63设置于相机移动机构49，该相机移动机构49具备对基板KB的上表面以及掩模27的下表面进行拍摄的相机51。相机移动机构49具有在沿着X轴的方向上延伸的移动基座59。相机移动机构49以相对于移动基座59在移动基座59的延伸方向(沿着X轴的方向)上移动自如的方式设置。在该移动基座59固定有移动基座螺母149。移动基座螺母149与在沿着Y轴的方向上延伸的移动基座移动滚珠丝杠147螺合。移动基座移动滚珠丝杠147由移动基座驱动马达151驱动。驱动移动基座驱动马达151，移动基座螺母149借助移动基座移动滚珠丝杠147而移动，由此设置于移动基座59的吸附部63与相机51一起在沿着Y轴的方向上移动。由此，框101被吸附部63吸附了的掩模27被掩模引导件33在沿着Y轴的方向上搬运。

另外，控制部159中的印刷动作控制部169(参照图14)通过在压杆115与掩模27的框101的侧面抵接的状态下驱动刮板基座驱动马达131，能够将掩模27向印刷位置搬运(即拉出动作)，或者将位于印刷位置的掩模27朝向掩模更换器15侧搬运(即收纳动作)。

另外，控制部159中的掩模搬运设置控制部167(参照图14)通过在吸附部63与框101的侧面抵接的状态下分别驱动移动基座驱动马达151以及YZ致动器61，而通过掩模通过开口71将掩模27从箱仓25拉出，或者将被压杆115搬运至比印刷位置靠后方的位置的掩模27通过掩模通过开口71收纳于箱仓25。

接下来，对实施方式1的印刷装置11的控制系统进行说明。图14是示出实施方式1的印刷装置11的控制系统的框图。

印刷装置11中的控制部159是所谓的处理器，且例如使用CPU(CentralProcessing Unit)或FPGA(Field Programmable Gate Array)构成，并与存储器(未图示)协同配合而进行各种处理以及控制。具体而言，控制部159参照保持于存储器的程序以及数据，通过执行该程序来实现各部的功能。需要说明的是，这里所说的各部是基板搬运保持控制部165、掩模搬运设置控制部167、印刷动作控制部169、拍摄控制部171、吸附控制部173以及升降机控制部175等。

基板搬运保持控制部165执行基于基板搬运保持部21进行的基板KB的搬运控制(具体而言为搬入控制、搬出控制)以及保持控制。另外，基板搬运保持控制部165基于由相机51拍摄到的基板KB的拍摄图像，执行基板KB相对于掩模27的对位控制。

掩模搬运设置控制部167进行基于相机移动机构49进行的掩模27的拉出控制以及收纳控制。具体而言，掩模搬运设置控制部167分别执行基于移动基座驱动马达151进行的移动基座59在Y轴方向上的移动控制、基于YZ致动器61进行的吸附部63在Y轴方向以及Z轴方向上的移动控制、以及基于吸附部63进行的向框101的侧面的吸附控制。

印刷动作控制部169进行基于印刷头37进行的印刷控制。具体而言，印刷动作控制部169分别执行基于刮板基座驱动马达131进行的刮板基座119(未图示)在Y轴方向上的移动控制、以及基于刮板升降驱动部123进行的刮板121的升降控制。

拍摄控制部171执行相机51的控制而对被基板搬运保持部21保持在规定的基板搬运位置的基板KB的下表面、以及被搬运至印刷位置的掩模27的上表面进行拍摄。具体而言，拍摄控制部171分别执行基于移动基座驱动马达151进行的移动基座59在Y轴方向上的移动控制、相机51的沿着移动基座59在X轴方向上的移动控制、基于相机51所具备的下方拍摄相机155进行的基板KB的上表面的拍摄控制、以及基于相机51所具备的上方拍摄相机157进行的掩模27的下表面的拍摄控制。

吸附控制部173基于从控制部159发送的以开始掩模吸附为主旨的控制指令，向设置于气压回路的真空阀发送端口切换信号，利用真空泵使吸附部63内部成为负压，从而使吸附部63对框101(具体而言为框101的前框体103)的侧面进行吸附。另外，吸附控制部173基于从控制部159发送的以结束掩模吸附为主旨的控制指令，向设置于气压回路的真空阀发送端口切换信号，将真空阀的端口切换为鼓风阀，从而解除吸附部63的吸附状态。

升降机控制部175执行升降机65中的升降体升降马达79的驱动控制，而使掩模更换器15内的箱仓25的位置(高度)升降。另外，升降机控制部175构成为包括安全控制部179。

安全控制部179执行在掩模更换器15的内部空间SP设置的下侧传感器67和上侧传感器69的各控制、以及向升降机65的电力供给控制。具体而言，安全控制部179通过对第一运用模式和第二运用模式进行切换来执行上述的控制。

这里所说的第一运用模式原则上是始终开启下侧传感器67(使物体检测有效)并始终关闭上侧传感器69(使物体检测无效)的控制，并在通过作业者进行箱仓25的更换、掩模27向箱仓25的供给作业且升降机65停止的期间执行。安全控制部179在第一运用模式时，在通过下侧传感器67检测到物体的情况下，使动力用电力向升降机65的供给停止，并且通过触摸面板31产生警报音，由此唤起作业者的注意。

但是，在第一运用模式下，安全控制部179也可以在通过作业者进行从开口部29对箱仓25或保存在箱仓25内的掩模27进行取放的箱仓供给作业的期间，将上侧传感器69开启并将下侧传感器67关闭。上侧传感器69以及下侧传感器67的切换控制可以基于由作业者进行的向触摸面板31的输入操作而执行，在无人搬运装置执行箱仓25的更换作业的情况下，也可以基于从无人搬运装置发送的箱仓25的更换要求而执行。

通过以上，安全控制部179在第一运用模式下，执行在从开口部29搬入或搬出箱仓25时使由下侧传感器67进行的物体检测无效的控制。另外，安全控制部179在由上侧传感器69检测到物体的情况下，使动力用电力向升降机65的供给停止，并使由上侧传感器69进行的物体检测无效。另外，安全控制部179在由下侧传感器67检测到物体的情况下，执行使动力用电力向升降机65的供给停止的控制。

另外，在第二运用模式下，安全控制部179执行始终关闭下侧传感器67并始终开启上侧传感器69的控制，并在执行掩模27在箱仓25与印刷部13之间的拉出处理或收纳处理的期间执行。

通过以上，安全控制部179在第二运用模式下执行始终关闭下侧传感器67并始终开启上侧传感器69的控制，并在执行掩模27在箱仓25与印刷部13之间的拉出处理或收纳处理的期间，使由下侧传感器67进行的物体检测无效。

控制部159与具有用户接口功能的触摸面板31电连接。触摸面板31由作业者操作，将由作业者操作输入的内容转换为电信号并向控制部159输出。另外，触摸面板31输出(显示)由控制部159生成的图像。

(掩模的拉出动作)

接下来，参照图15A～图15D对实施方式1的印刷装置11的掩模27的拉出动作步骤进行说明。图15A～图15D是对实施方式1的印刷装置11的掩模27的拉出动作步骤例进行说明的图。

在从掩模更换器15拉出掩模27的情况下，印刷装置11中的掩模搬运设置控制部167使相机移动机构49在沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向上移动。相机移动机构49使吸附部63在掩模通过开口71的紧前方的位置停止。YZ致动器61由掩模搬运设置控制部167控制，使吸附部63的位置(高度)在沿着Z轴的方向上上升至能够从掩模通过开口71拉出掩模27的位置(高度)，并使吸附部63的位置在沿着Y轴的方向上移动至与保存在箱仓25内的掩模27的框101抵接的位置。如图15A所示，当吸附部63与想拉出的掩模27的框101的侧面抵接时，吸附控制部173驱动真空阀，执行由吸附部63对框101的侧面的吸附。

掩模搬运设置控制部167使相机移动机构49向沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向移动，而对被吸附部63吸附的状态下的掩模27进行牵引。如图15B所示，掩模搬运设置控制部167将吸附部63所吸附的掩模27牵引至移动基座59的移动极限。掩模搬运设置控制部167在执行了到移动极限的牵引控制后，为了避免掩模27及印刷头37与相机移动机构49之间的干涉(碰撞)而使相机移动机构49退避。具体而言，如图15C所示，掩模搬运设置控制部167驱动YZ致动器61，使吸附部63的位置(高度)在Z轴方向上下降，而使相机移动机构49从掩模27向印刷位置的搬运轨迹上退避。需要说明的是，退避方法可以不限定于此。掩模搬运设置控制部167例如也可以通过使相机移动机构49本身在Z轴方向上下降，而使相机移动机构49从掩模27向印刷位置的搬运轨迹上退避。

在进行了基于掩模搬运没置控制部167进行的相机移动机构49的退避后，如图15C所示，印刷动作控制部169使刮板基座119移动，而使印刷头37向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动。印刷动作控制部169在使工作缸110的压杆115的位置移动至位于掩模27的框101(具体而言为后框体105)的后方的位置后，通过工作缸110使压杆115下降，而使压杆115与后框体105的后侧面抵接(即，将压杆115钩挂于后框体105的后侧面)。需要说明的是，印刷动作控制部169也可以在使压杆115的位置移动至位于后框体105的后方的位置并使印刷头37下降后，使印刷头37向沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向移动，而使压杆115与后框体105的后侧面抵接。

如图15D所示，印刷动作控制部169在压杆115与后框体105的后侧面抵接的状态下使印刷头37向沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向移动，而将掩模27搬运至印刷位置。印刷动作控制部169在使掩模27移动至印刷位置后，使印刷头37上升而使压杆115从后框体10离开，由此结束掩模27的拉出动作。

印刷动作控制部169在掩模27的拉出动作执行后，驱动印刷头37，而利用刮板121刮拢所供给的膏剂Pst。印刷动作控制部169使刮板121在掩模27上滑动，而使膏剂Pst填充于掩模27的图案开口99。由此，膏剂Pst通过图案开口99被印刷于基板KB的电极。

(掩模的收纳动作)

接下来，参照图16A～图16D对实施方式1的印刷装置11的掩模收纳动作步骤进行说明。图16A～图16D是对实施方式1的印刷装置11的掩模27的收纳动作步骤例进行说明的图。

在向掩模更换器15收纳掩模27的情况下，如图16A所示，印刷装置11中的印刷动作控制部169使刮板基座119移动，而使印刷头37向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动。印刷动作控制部169通过工作缸110使压杆115下降，而使工作缸110的压杆115与后框体105的前侧面抵接。需要说明的是，印刷动作控制部169也可以在使压杆115的位置移动至位于后框体105的前方的位置并使压杆115下降后，使印刷头37向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动，而使压杆115与后框体105的前侧面抵接。需要说明的是，此时，相机移动机构49在退避位置待机。

如图16B所示，印刷动作控制部169在使压杆115与后框体105的前侧面抵接的状态下，使印刷头37的刮板基座119向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动。印刷动作控制部169使与压杆115抵接了的掩模27移动至刮板基座119的移动极限。

印刷动作控制部169在将掩模27搬运至刮板基座119的移动极限后，如图16C所示，通过工作缸110使压杆115上升，并使印刷头37向沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向移动(退避)。

掩模搬运设置控制部167在进行了基于印刷动作控制部169进行的印刷头37的退避后，使相机移动机构49从退避位置移动。掩模搬运设置控制部167使相机移动机构49移动至吸附部63与前框体103的侧面(前表面)抵接的位置。

如图16D所示，掩模搬运设置控制部167使相机移动机构49向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动，而使与吸附部63抵接了的掩模27通过掩模通过开口71移动至箱仓25内的规定的保存位置。需要说明的是，此时，可以以吸附部63不吸附框101的方式收纳掩模27，也可以在吸附的状态下收纳掩模27。

(L框掩模的情况下的拉出动作)

接下来，参照图17A～图17D对实施方式1的印刷装置11的L框掩模181的拉出动作步骤进行说明。图17A～图17D是对实施方式1的印刷装置11的L框掩模181的拉出动作步骤例进行说明的图。

在此，对L框掩模181进行说明。作为掩模的一例的L框掩模181是具有在由印刷装置11执行的掩模的拉出动作中无法完全拉出的大小的掩模。具体而言，存在如下情况：印刷装置11即使使印刷头37移动至刮板基座119的移动极限，工作缸110的压杆115的位置也无法到达后框体105的后方，从而无法拉出L框掩模181。印刷装置11中的控制部159在基于包含关于各掩模的大小的信息的生产数据而判定为成为拉出对象的掩模是L框掩模181的情况下，执行以下说明的用于拉出L框掩模181的拉出动作。需要说明的是，对于L框掩模181而言，沿着Y轴的方向或沿着X轴的方向上的长度相对于掩模27不同，但其他结构与掩模27相同，因此使用相同的附图标记对用于拉出L框掩模181的拉出动作进行说明。

在从掩模更换器15拉出L框掩模181的情况下，印刷装置11中的掩模搬运设置控制部167使相机移动机构49向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动。相机移动机构49使吸附部63在掩模通过开口71的紧前方的位置停止。YZ致动器61由掩模搬运设置控制部167控制，使吸附部63的位置(高度)在沿着Z轴的方向上上升至能够从掩模通过开口71拉出L框掩模181的位置(高度)，并使吸附部63的位置在沿着Y轴的方向上移动至与保存在箱仓25内的L框掩模181的框101抵接的位置。如图17A所示，当吸附部63与想拉出的L框掩模181的框101的侧面抵接时，吸附控制部173驱动真空阀，执行基于吸附部63进行的框101的侧面的吸附。

掩模搬运设置控制部167使相机移动机构49向沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向移动，而对被吸附部63吸附的状态下的L框掩模181进行牵引。如图17B所示，掩模搬运设置控制部167将吸附部63所吸附的L框掩模181牵引至移动基座59的移动极限。掩模搬运设置控制部167在执行了到移动极限的牵引控制后，为了避免L框掩模181及印刷头37与相机移动机构49之间的干涉(碰撞)而使相机移动机构49退避。具体而言，如图17C所示，掩模搬运设置控制部167驱动YZ致动器61，使吸附部63的位置(高度)在Z轴方向上下降，而使相机移动机构49从L框掩模181向印刷位置的搬运轨迹上退避。需要说明的是，退避方法可以不限定于此。掩模搬运设置控制部167例如也可以通过使相机移动机构49本身在Z轴方向上下降，而使相机移动机构49从L框掩模181向印刷位置的搬运轨迹上退避。

在进行了基于掩模搬运设置控制部167进行的相机移动机构49的退避后，如图17C所示，印刷动作控制部169使刮板基座119移动，而使印刷头37向沿着Y轴的方向且是接近掩模更换器15的方向移动。印刷动作控制部169在使工作缸110的压杆115的位置移动至位于L框掩模181的框101(具体而言为前框体103)的后方的位置后，通过工作缸110使压杆115下降，而使压杆115与前框体103的后侧面抵接(即，将压杆115钩挂于前框体103的后侧面)。需要说明的是，印刷动作控制部169也可以在使压杆115的位置移动至位于前框体103的后方的位置并使压杆115下降后，使印刷头37在沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向上移动，而使压杆115与前框体103的后侧面抵接。

如图17D所示，印刷动作控制部169在压杆115与前框体103的后侧面抵接的状态下使印刷头37向沿着Y轴的方向且是远离掩模更换器15的方向移动，而使L框掩模181移动至印刷位置。印刷动作控制部169在使L框掩模181移动至印刷位置后，使压杆115上升而使压杆115从前框体103离开，由此结束L框掩模181的拉出动作。

需要说明的是，L框掩模181的收纳动作按照与参照图16A～图16D说明的掩模27相同的动作步骤进行，因此省略说明。

通过以上，实施方式1的印刷装置11是经由设置有规定的印刷图案(即图案开口99)的掩模27而对基板KB印刷膏剂Pst的印刷装置11，且具有：箱仓25(保存部的一例)，其保存掩模27；以及吸附部63(牵引部的一例)，其对所保存的掩模27所具备的框101的侧面进行吸附，而将掩模27从箱仓25拉出。

以往，掩模27的拉出或收纳是在如下状态下进行的：向在箱仓25内呈多级状且在上下方向上相邻地保存的两片掩模27与掩模27之间插入L状的板，从掩模27的下表面侧向设置于掩模27的卡合孔等插入立起在该板上的垂直的卡合突起等而进行钩挂并卡止。也就是说，在现有的掩模27的拉出或收纳方法中，箱仓25需要通过将掩模27的厚度、板的厚度、卡合突起的立起高度以及用于卡合卡合突起的卡合间隙合计得到的间隔以上的间隙来保存掩模彼此。因此，在现有的掩模27的拉出或收纳方法的情况下，对于箱仓25而言，每一片掩模所需的Z轴方向上的保存高度增大，能够保存的掩模27的片数存在限制。另外，在增加掩模27的保存片数的情况下，需要使箱仓25以及掩模更换器15大型化。

因此，对于实施方式1的印刷装置11而言，在保存于掩模更换器15的掩模27的拉出或收纳中，利用吸附部63对箱仓25内的掩模27的侧面进行吸附而进行拉出或收纳，因此能够缩窄Z轴方向上的各掩模27的保存间隔，从而能够增加能够保存在箱仓25内的掩模27的片数。由此，印刷装置11能够通过一个箱仓25执行更多的基板KB的印刷，因此能够提高印刷效率。

另外，通过以上，实施方式1的印刷装置11具备：压杆115(抵接部的一例)，其与被吸附部63从箱仓25拉出的掩模27的框101抵接；以及印刷动作控制部169(驱动部的一例)，其使压杆115移动，而使掩模27移动至印刷位置。由此，实施方式1的印刷装置11在通过相机移动机构49将掩模27从掩模更换器15向印刷部13内拉出后，使压杆115与掩模27的框101抵接，从而能够将掩模27从拉出位置移动(搬运)至掩模27的印刷位置。因此，印刷装置11能够不设置用于牵引掩模27(即掩模27的拉出以及收纳)的新的机构，而使用具备用于对掩模27以及基板KB分别进行拍摄的相机51的已有的相机移动机构49来执行掩模27的拉出动作以及收纳动作。

另外，通过以上，实施方式1的印刷装置11中的吸附部63是具备对基板KB以及掩模27进行拍摄的相机51的相机移动机构49。由此，实施方式1的印刷装置11能够不设置用于牵引掩模27(即掩模27的拉出以及收纳)的新的机构，而使用具备用于对掩模27以及基板KB分别进行拍摄的相机51的已有的相机移动机构49来执行掩模27的拉出动作以及收纳动作。

另外，通过以上，实施方式1的印刷装置11中的压杆115设置于对基板KB印刷膏剂Pst的印刷头37。另外，印刷动作控制部169使压杆115与印刷头37一起移动。由此，实施方式1的印刷装置11能够使用作为现有的印刷装置所具备的机构的相机移动机构49和印刷头37来执行掩模27的拉出动作以及收纳动作。

另外，通过以上，实施方式1的印刷装置11中的印刷动作控制部169使压杆115与掩模27的框101抵接，而使掩模27向箱仓25这侧移动。由此，实施方式1的印刷装置11能够通过印刷头37使位于印刷部13内的掩模27的框101向接近掩模更换器15的方向移动，并通过相机移动机构49将该位于印刷部13内的掩模27的框101从该移动后的位置收纳于箱仓25内。由此，实施方式1的印刷装置11能够使用作为现有的印刷装置所具备的机构的相机移动机构49和印刷头37来执行掩模27的拉出动作以及收纳动作。

另外，通过以上，实施方式1的印刷装置11中的吸附部63与框101的侧面抵接，而将向箱仓25这侧移动了的掩模27向箱仓25收纳。由此，实施方式1的印刷装置11能够通过驱动(移动)用于移动相机51的已有的相机移动机构49而将掩模27保存于箱仓25内。

以上，参照附图对各种实施方式进行了说明，但本发明并不限定于这样的例子，这是不言而喻的。只要是本领域技术人员，就能在技术方案所记载的范畴内想到各种变更例、修正例、置换例、附加例、删除例、均等例，这是不言而喻的，且应理解为这些内容当然也属于本发明的技术范围。另外，在不脱离发明的主旨的范围内，也可以将上述各种实施方式中的各结构要素任意组合。

工业实用性

本发明作为能够使印刷位置与保存位置之间的掩模的搬运效率化并实现掩模更换器中的掩模的保存片数的增加的印刷装置以及掩模牵引方法是有用的。

Claims (7)

1.一种印刷装置，其经由设置有规定的印刷图案的掩模而对基板印刷焊料膏剂，其中，

所述印刷装置具有：

保存部，其保存所述掩模；以及

牵引部，其对所保存的所述掩模所具备的框的侧面进行吸附，而将所述掩模从所述保存部拉出。

2.根据权利要求1所述的印刷装置，其中，

所述印刷装置具备：

抵接部，其与被所述牵引部从所述保存部拉出的所述掩模的框抵接；以及

驱动部，其使所述抵接部移动，而使所述掩模移动至印刷位置。

3.根据权利要求1或2所述的印刷装置，其中，

所述牵引部是具备对所述基板以及所述掩模进行拍摄的相机的相机移动机构。

4.根据权利要求2所述的印刷装置，其中，

所述抵接部设置于对所述基板印刷所述焊料膏剂的印刷头，

所述驱动部使所述抵接部与所述印刷头一起移动。

5.根据权利要求2或4所述的印刷装置，其中，

所述驱动部使所述抵接部与所述掩模的所述框抵接，而使所述掩模向所述保存部侧移动。

6.根据权利要求5所述的印刷装置，其中，

所述牵引部与所述框的侧面抵接，而将向所述保存部侧移动了的所述掩模向所述保存部收纳。

7.一种掩模牵引方法，其是经由设置有规定的印刷图案的掩模而对基板印刷焊料膏剂的印刷装置所进行的掩模牵引方法，其中，

对在保存所述掩模的保存部保存的所述掩模所具备的框的侧面进行吸附，

将所述掩模从所述保存部拉出并向所述焊料膏剂的印刷位置牵引。

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