CN114682602B - 一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构 - Google Patents
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Abstract
本发明属于划片机清洗系统防护机构技术领域，特别提供了一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构。本水雾抑制结构主要包括水槽吹气组件和喷嘴吹气组件。本水雾抑制结构通过水槽吹气机构形成气幕，以气幕抑制遮挡清洗区内的水雾液滴；水槽吹气机构结构简单，没有机械传动部件，运行过程中不会因传动机构故障影响设备正常运行；通过喷嘴吹气机构形成环形气幕，以环形气幕对摆臂及喷嘴机构做独立防护，降低清洗组件的喷嘴机构及摆臂上凝结水珠的可能性；利用划片机现有气路实现水雾抑制功能，尽可能的简化了本水雾抑制结构所需的配套机构。本水雾抑制结构能够有效降低设备故障率，从而降低因设备故障影响生产效率的可能性。
Description
技术领域
本发明属于划片机清洗系统防护机构技术领域，特别提供了一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构。
背景技术
划片机的核心区域通常包括料仓、切割区和清洗区，通过搬运系统带动料片在各区域间移动；
当料片位于全自动划片机的清洗区内，且清洗系统工作时，搬运系统的下搬运臂悬停于清洗区的上方处于待机状态。清洗过程中，高压水柱冲击清洗半导体工件会产生水雾，存在水雾液滴飞溅到清洗区外部的情况。这部分水雾液滴会持续附着到下搬运臂上，最终凝结为水珠，该水珠中含有清洗掉的物料微粒。在料片清洗工作结束后，下搬运臂移动并夹持料片，将料片搬运至下一个工作区。在搬运臂移动的过程中会出现水珠滴落的情况，如果水珠滴落在料片上则会造成料片的二次污染，甚至造成部分料片报废。
现有技术中，通过在清洗区上侧安装遮挡机构来遮挡水雾，以避免搬运过程中产生上述问题。但遮挡机构需要依靠机械传动部件实现开闭，机械部件传动过程中必然存在故障卡顿的情况。如在清洗过程中出现卡顿问题，则需要工作人员及时干预，故障排除后可继续正常生产，这严重影响生产效率。因此，需要一种复杂度低的水雾抑制机构，降低设备发生故障的概率。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供了一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构，包括设置于划片机清洗区上方的水槽吹气组件和设置于划片机清洗区的摆臂下部位置的喷嘴吹气组件，水槽吹气组件和喷嘴吹气组件均通过管路与划片机内部的气路连通；
所述水槽吹气组件的外形呈与清洗区侧壁相贴合的环形，水槽吹气组件用于产生呈清洗区内腔横截面形状的气幕，该气幕笼罩于清洗区内腔的上部，分割清洗区的内部空间和外部空间；
所述喷嘴吹气组件用于产生呈锥形筒状的环形气幕，该环形气幕从上侧笼罩位于摆臂下部的喷嘴机构。
进一步地，所述水槽吹气组件包括水槽吹气块、水槽吹气块主气路、水槽吹气块支气路、水槽吹气块出气口、水槽吹气块进气口、水槽吹气块定位孔，多个水槽吹气块首尾相接拼合成环形，水槽吹气块的内部轴向开设有水槽吹气块主气路，且水槽吹气块的内部径向开设有多个水槽吹气块支气路，多个水槽吹气块支气路均与水槽吹气块主气路相连通，水槽吹气块的侧壁上开设有多个水槽吹气块出气口，水槽吹气块出气口的位置与水槽吹气块支气路一一对应，且水槽吹气块支气路与水槽吹气块出气口相连通，水槽吹气块的侧壁上径向开设有水槽吹气块进气口，水槽吹气块进气口与水槽吹气块主气路相连通，水槽吹气块定位孔径向设置于水槽吹气块上。
进一步地，所述喷嘴吹气组件包括喷嘴吹气块、喷嘴吹气块进气口、喷嘴吹气块主气路、喷嘴吹气块支气路、喷嘴吹气块出气口、喷嘴吹气块定位孔，喷嘴吹气块的外形呈圆柱状，喷嘴吹气块的中部竖向开设有通孔，且喷嘴吹气块外壁的下端设置有倒角，喷嘴吹气块的内部环形开设有喷嘴吹气块主气路，喷嘴吹气块的内部径向开设有多个喷嘴吹气块支气路，多个喷嘴吹气块支气路均与喷嘴吹气块主气路相连通，喷嘴吹气块的侧壁上设置有喷嘴吹气块进气口，喷嘴吹气块进气口与喷嘴吹气块主气路相连通，喷嘴吹气块下侧倒角的锥形面上均匀开设有多个喷嘴吹气块出气口，喷嘴吹气块出气口的位置与喷嘴吹气块支气路一一对应，且喷嘴吹气块出气口与喷嘴吹气块支气路相互连通，喷嘴吹气块定位孔径向设置于喷嘴吹气块上。
进一步地，所述水槽吹气块定位孔内装配螺钉，且水槽吹气块通过螺钉安装于清洗区b的上方。
进一步地，所述喷嘴吹气块定位孔内装配顶丝，喷嘴吹气块通过顶丝装配于摆臂的喷嘴机构处。
进一步地，所述水槽吹气组件还包括装配于上盖板下表面的上盖板连接板，多个水槽吹气块均装配于上盖板连接板的内侧。
进一步地，所述水雾抑制结构还包括快速插头，快速插头装配于划片机内部气路的输出端，水槽吹气组件和喷嘴吹气组件均通过快速插头与划片机内部气路连通。
进一步地，所述喷嘴吹气块出气口的开口形状呈扁平锥形，开口的扩口侧朝向外侧，且开口的收口侧与对应的喷嘴吹气块支气路连通。
使用本发明的有益效果是：
1、通过水槽吹气机构形成气幕，以气幕抑制遮挡清洗区内的水雾液滴；水槽吹气机构结构简单，没有机械传动部件，运行过程中不会因传动机构故障影响设备正常运行；
2、通过喷嘴吹气机构形成环形气幕，以环形气幕对摆臂及喷嘴机构做独立防护，降低清洗组件的喷嘴机构及摆臂上凝结水珠的可能性；
3、利用划片机现有气路实现水雾抑制功能，尽可能的简化了本水雾抑制结构所需的配套机构。
附图说明
图1为划片机及其清洗区的结构示意图；
图2为划片机清洗区、上盖板及吹气机构的结构示意图；
图3为本发明喷嘴吹气组件与摆臂机构的装配关系示意图；
图4为本发明水槽吹气组件与上盖板的装配关系示意图；
图5为本发明水槽吹气组件的主视图；
图6为图5中A-A处截面图；
图7为图5中B-B处截面图；
图8为本发明喷嘴吹气组件的结构示意图；
图9为本发明喷嘴吹气组件的主视图；
图10为图9中C-C处截面图；
图11为图9中D-D处截面图。
附图标记包括：a-划片机；b-清洗区；c-上盖板；d-摆臂；1-水槽吹气组件；101-水槽吹气块；102-水槽吹气块主气路；103-水槽吹气块支气路；104-水槽吹气块出气口；105-水槽吹气块进气口；106-水槽吹气块定位孔；2-喷嘴吹气组件；201-喷嘴吹气块；202-喷嘴吹气块进气口；203-喷嘴吹气块主气路；204-喷嘴吹气块支气路；205-喷嘴吹气块出气口；206-喷嘴吹气块定位孔；3-上盖板连接板；4-快速插头。
具体实施方式
以下结合附图对本发明进行详细的描述。
参照图1-图11，一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构，包括设置于划片机a清洗区b上方的水槽吹气组件1和设置于划片机a清洗区b的摆臂d下部位置的喷嘴吹气组件2，水槽吹气组件1和喷嘴吹气组件2均通过管路与划片机a内部的气路连通；
所述水槽吹气组件1的外形呈与清洗区b侧壁相贴合的环形，水槽吹气组件1用于产生呈清洗区b内腔横截面形状的气幕，该气幕笼罩于清洗区b内腔的上部，分割清洗区b的内部空间和外部空间；
所述喷嘴吹气组件2用于产生呈锥形筒状的环形气幕，该环形气幕从上侧笼罩位于摆臂d下部的喷嘴机构。
划片机a的清洗、切割冷却等系统的均采用二流体混合冲刷的方式实现。其中，第一流体为冷却剂或清洗剂，第二流体为氮气。基本划片机a的内部气路为氮气供应气路，通过在氮气管路的支路上设置系统控制的电控阀来控制气幕的开闭。
所述水槽吹气组件1包括水槽吹气块101、水槽吹气块主气路102、水槽吹气块支气路103、水槽吹气块出气口104、水槽吹气块进气口105、水槽吹气块定位孔106，多个水槽吹气块101首尾相接拼合成环形，水槽吹气块101的内部轴向开设有水槽吹气块主气路102，且水槽吹气块101的内部径向开设有多个水槽吹气块支气路103，多个水槽吹气块支气路103均与水槽吹气块主气路102相连通，水槽吹气块101的侧壁上开设有多个水槽吹气块出气口104，水槽吹气块出气口104的位置与水槽吹气块支气路103一一对应，且水槽吹气块支气路103与水槽吹气块出气口104相连通，水槽吹气块101的侧壁上径向开设有水槽吹气块进气口105，水槽吹气块进气口105与水槽吹气块主气路102相连通，水槽吹气块定位孔106径向设置于水槽吹气块101上。
优选地，水槽吹气块出气口104朝下轻微倾斜，水槽吹气组件1所形成的气幕呈顶角为钝角的倒锥形。
所述水槽吹气块定位孔106内装配螺钉，且水槽吹气块101通过螺钉安装于清洗区b的上方。
所述喷嘴吹气组件2包括喷嘴吹气块201、喷嘴吹气块进气口202、喷嘴吹气块主气路203、喷嘴吹气块支气路204、喷嘴吹气块出气口205、喷嘴吹气块定位孔206，喷嘴吹气块201的外形呈圆柱状，喷嘴吹气块201的中部竖向开设有通孔，且喷嘴吹气块201外壁的下端设置有倒角，喷嘴吹气块201的内部环形开设有喷嘴吹气块主气路203，喷嘴吹气块201的内部径向开设有多个喷嘴吹气块支气路204，多个喷嘴吹气块支气路204均与喷嘴吹气块主气路203相连通，喷嘴吹气块201的侧壁上设置有喷嘴吹气块进气口202，喷嘴吹气块进气口202与喷嘴吹气块主气路203相连通，喷嘴吹气块201下侧倒角的锥形面上均匀开设有多个喷嘴吹气块出气口205，喷嘴吹气块出气口205的位置与喷嘴吹气块支气路204一一对应，且喷嘴吹气块出气口205与喷嘴吹气块支气路204相互连通，喷嘴吹气块定位孔206径向设置于喷嘴吹气块201上。
所述喷嘴吹气块定位孔206内装配顶丝，喷嘴吹气块201通过顶丝装配于摆臂d的喷嘴机构处。
所述水槽吹气组件1还包括装配于上盖板c下表面的上盖板连接板3，多个水槽吹气块101均装配于上盖板连接板3的内侧。
所述水雾抑制结构还包括快速插头4，快速插头4装配于划片机a内部气路的输出端，水槽吹气组件1和喷嘴吹气组件2均通过快速插头4与划片机a内部气路连通。
其中，水槽吹气组件1的每个水槽吹气块101对应使用一个快速插头4。
所述水槽吹气组件1环形的内径大于清洗区b内可容纳最大料片的回转半径。
水槽吹气组件1的各个水槽吹气块出气口104喷射出的气柱相互交织构成气幕。
所述喷嘴吹气块出气口205的开口形状呈扁平锥形，开口的扩口侧朝向外侧，且开口的收口侧与对应的喷嘴吹气块支气路204连通。
该设计能够确保喷嘴吹气块出气口205喷出的气柱为扁平扇形，多个喷嘴吹气块出气口205所喷出的扁平扇形气柱的边缘相互重叠，构成呈锥形筒状的环形气幕。
以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上可以作出许多变化，只要这些变化未脱离本发明的构思，均属于本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构，其特征在于：包括设置于划片机清洗区上方的水槽吹气组件和设置于划片机清洗区的摆臂下部位置的喷嘴吹气组件，水槽吹气组件和喷嘴吹气组件均通过管路与划片机内部的气路连通；
所述水槽吹气组件的外形呈与清洗区侧壁相贴合的环形，水槽吹气组件用于产生呈清洗区内腔横截面形状的气幕，该气幕笼罩于清洗区内腔的上部，分割清洗区的内部空间和外部空间；
所述喷嘴吹气组件用于产生呈锥形筒状的环形气幕，该环形气幕从上侧笼罩位于摆臂下部的喷嘴机构；
所述喷嘴吹气组件包括喷嘴吹气块、喷嘴吹气块进气口、喷嘴吹气块主气路、喷嘴吹气块支气路、喷嘴吹气块出气口、喷嘴吹气块定位孔，喷嘴吹气块的外形呈圆柱状，喷嘴吹气块的中部竖向开设有通孔，且喷嘴吹气块外壁的下端设置有倒角，喷嘴吹气块的内部环形开设有喷嘴吹气块主气路，喷嘴吹气块的内部径向开设有多个喷嘴吹气块支气路，多个喷嘴吹气块支气路均与喷嘴吹气块主气路相连通，喷嘴吹气块的侧壁上设置有喷嘴吹气块进气口，喷嘴吹气块进气口与喷嘴吹气块主气路相连通，喷嘴吹气块下侧倒角的锥形面上均匀开设有多个喷嘴吹气块出气口，喷嘴吹气块出气口的位置与喷嘴吹气块支气路一一对应，且喷嘴吹气块出气口与喷嘴吹气块支气路相互连通，喷嘴吹气块定位孔径向设置于喷嘴吹气块上；
所述喷嘴吹气块出气口的开口形状呈扁平锥形，开口的扩口侧朝向外侧，且开口的收口侧与对应的喷嘴吹气块支气路连通；
所述水槽吹气组件包括水槽吹气块、水槽吹气块主气路、水槽吹气块支气路、水槽吹气块出气口、水槽吹气块进气口、水槽吹气块定位孔，多个水槽吹气块首尾相接拼合成环形，水槽吹气块的内部轴向开设有水槽吹气块主气路，且水槽吹气块的内部径向开设有多个水槽吹气块支气路，多个水槽吹气块支气路均与水槽吹气块主气路相连通，水槽吹气块的侧壁上开设有多个水槽吹气块出气口，水槽吹气块出气口的位置与水槽吹气块支气路一一对应，且水槽吹气块支气路与水槽吹气块出气口相连通，水槽吹气块的侧壁上径向开设有水槽吹气块进气口，水槽吹气块进气口与水槽吹气块主气路相连通，水槽吹气块定位孔径向设置于水槽吹气块上；
所述水槽吹气块出气口朝下轻微倾斜，水槽吹气组件所形成的气幕呈顶角为钝角的倒锥形；
所述水槽吹气组件还包括装配于上盖板下表面的上盖板连接板，多个水槽吹气块均装配于上盖板连接板的内侧。
2.根据权利要求1中所述的一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构，其特征在于：所述水槽吹气块定位孔内装配螺钉，且水槽吹气块通过螺钉安装于清洗区的上方。
3.根据权利要求1中所述的一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构，其特征在于：所述喷嘴吹气块定位孔内装配顶丝，喷嘴吹气块通过顶丝装配于摆臂的喷嘴机构处。
4.根据权利要求1中所述的一种全自动划片机清洗系统水雾抑制结构，其特征在于：所述水雾抑制结构还包括快速插头，快速插头装配于划片机内部气路的输出端，水槽吹气组件和喷嘴吹气组件均通过快速插头与划片机内部气路连通。
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