CN114653704A - 一种晶圆高效清洗设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种晶圆高效清洗设备，属于清洗设备技术领域，集中进行清洗，容易造成清洗范围广，导致清洗不够均匀，而逐一进行清洗又同时难以实现快速、有效的自动化清洗过程，包括安装架，安装架上端固定安装有酸洗组件，单一的晶圆通过放置环形夹具内，然后通过传送带装置依次经过酸洗、两次水洗，最后再烘干的过程，实现快速、自动化清洗过程；电机带动拨杆、环形圈连续转动，通过间歇盘使分隔盘作间歇性的转动，从而通过弧形逐一将夹模进行短暂时间的驻停，电机带动凸轮转动，使L形推杆带动多轴毛刷上下移动，并且通过齿轮组联动活塞轴转动，从而带动多轴毛刷连续转动，继而能实现对晶圆本体上表面进行清洗。

Description

一种晶圆高效清洗设备
技术领域
本发明涉及清洗设备技术领域，具体为一种晶圆高效清洗设备。
背景技术
晶圆在生产过程中表面会附着一些有机物以及粒子等污染物，因此需要对晶圆进行清洗，以往的清洗使通过将多个晶圆置于一起，然后集中进行清洗，容易造成清洗范围广，导致清洗不够均匀，而逐一进行清洗又同时难以实现快速、有效的自动化清洗过程，为此我们提出一种晶圆高效清洗设备用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种晶圆高效清洗设备，以解决现有技术中的技术问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆高效清洗设备，包括安装架，所述安装架上端固定安装有酸洗组件、第二水洗组件以及烘干装置，所述安装架底端固定连接有安装台，所述安装架底端设置有传送带装置，所述传送带装置上表面放置有多个夹模，所述安装台底面固定设有动力装置，所述动力装置与夹模转动贴合连接，所述动力装置上固定安装有第一水洗组件，所述第一水洗组件与安装台滑动连接，所述第一水洗组件固定连接有联动组件，所述联动组件与安装台转动连接。
作为本发明的一种优选技术方案，所述安装架上端内壁固定设有两个横板，所述横板内固定安装酸洗组件、第二水洗组件，所述安装架底端内壁固定设有底板。
作为本发明的一种优选技术方案，所述酸洗组件包括有进液管，所述进液管固定套接于一个横板内，所述进液管底端固定连接有多嘴管，所述多嘴管底端设有储液箱，所述储液箱底面固定设于底板上表面。
作为本发明的一种优选技术方案，所述第二水洗组件包括有进水管，所述进水管固定套接于另一个横板内，所述进水管底端固定连接有多嘴喷管，所述多嘴喷管底端设有储水箱，所述储水箱底面固定设于底板上表面。
作为本发明的一种优选技术方案，所述安装台上表面固定设有支架、收集箱，所述收集箱设于储液箱以及储水箱之间，所述支架内壁固定设有导板，所述导板内滑动安装第一水洗组件。
作为本发明的一种优选技术方案，所述动力装置包括有电机，所述电机固定设于安装台底面，所述电机输出端活动贯穿安装台，并固定连接有拨杆、环形圈，所述电机输出端外表面固定安装第一水洗组件，所述环形圈上开设有弧形口，所述环形圈外表面转动贴合连接有间歇盘，所述间歇盘底面固定设有多个立柱，所述拨杆另一端外表面转动贴合立柱外表面，所述间歇盘内固定设有第一转轴，所述第一转轴底端转动设于安装台上表面，所述第一转轴上端固定连接有分隔盘，所述分隔盘表面开设有多个弧形槽，所述弧形槽内弧面转动贴合夹模。
作为本发明的一种优选技术方案，所述夹模包括有环形夹具，所述环形夹具上开设有多个矩形槽，所述环形夹具内壁固定设有多个弧形块，所述弧形块上表面活动放置有晶圆本体。
作为本发明的一种优选技术方案，所述第一水洗组件包括有皮带机构、喷水管，所述皮带机构一端固定安装于电机输出端外表面，所述皮带机构另一端固定设有第二转轴，所述第二转轴贯穿安装台，并固定连接有第一锥形齿轮组，所述第一锥形齿轮组固定连接有凸轮，所述凸轮外表面转动贴合有L形推杆，所述L形推杆外表面滑动套接于导板内，所述L形推杆上端固定连接有连接套，所述连接套底端转动卡接有滑套，所述滑套底端固定连接有多轴毛刷，所述多轴毛刷底端转动贴合晶圆本体上表面，所述滑套内滑动套接有活塞轴，所述活塞轴上端固定连接联动组件，所述喷水管固定安装于支架上端侧面，所述喷水管底端设于环形夹具上端。
作为本发明的一种优选技术方案，所述滑套内壁固定设有多个限位块，所述活塞轴上端与支架转动连接，所述活塞轴外表面开设有多个花键槽，所述活塞轴底端活动贯穿连接套，所述限位块滑动卡接于花键槽内。
作为本发明的一种优选技术方案，所述联动组件包括有第二锥形齿轮组，所述第二锥形齿轮组固定连接第一锥形齿轮组，所述第二锥形齿轮组上固定设有传动轴，所述传动轴底端转动设于安装台上表面，所述传动轴上端固定连接有第三锥形齿轮组，所述第三锥形齿轮组固定连接有第四锥形齿轮组，所述第四锥形齿轮组底端固定连接活塞轴上端，所述第四锥形齿轮组上转动卡接有支撑块，所述支撑块底端固定安装于支架上表面。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：
1.单一的晶圆通过放置环形夹具内，然后通过传送带装置依次经过酸洗、两次水洗，最后再烘干的过程，实现快速、自动化清洗过程；
2.电机带动拨杆、环形圈连续转动，通过间歇盘使分隔盘作间歇性的转动，从而通过弧形逐一将夹模进行短暂时间的驻停，电机带动凸轮转动，使L形推杆带动多轴毛刷上下移动，并且通过齿轮组联动活塞轴转动，从而带动多轴毛刷连续转动，继而能实现对晶圆本体上表面进行清洗。
附图说明
图1为本发明结构示意图，
图2为本发明结构夹模示意图，
图3为本发明结构酸洗组件和第二水洗组件示意图，
图4为本发明结构安装台示意图，
图5为本发明结构动力装置与第一水洗组件连接示意图，
图6为本发明结构动力装置示意图，
图7为本发明结构第一水洗组件和联动组件示意图，
图8为本发明结构滑套与活塞轴连接示意图。
图中：1、安装架；11、底板；12、横板；2、安装台；21、支架；22、导板；23、收集箱；3、酸洗组件；31、进液管；32、多嘴管；33、储液箱；4、第二水洗组件；41、进水管；42、多嘴喷管；43、储水箱；5、烘干装置；6、动力装置；61、电机；62、拨杆；63、环形圈；631、弧形口；64、间歇盘；641、立柱；65、分隔盘；651、弧形槽；66、第一转轴；7、夹模；71、环形夹具；711、矩形槽；712、弧形块；72、晶圆本体；8、第一水洗组件；81、皮带机构；82、第二转轴；83、第一锥形齿轮组；84、凸轮；85、L形推杆；86、连接套；87、滑套；871、限位块；872、多轴毛刷；88、喷水管；89、活塞轴；891、花键槽；9、联动组件；91、第二锥形齿轮组；92、传动轴；93、第三锥形齿轮组；94、第四锥形齿轮组；95、支撑块；10、传送带装置。
具体实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
如图1-8所示，本发明提供了一种晶圆高效清洗设备，包括一种晶圆高效清洗设备，包括安装架1，所述安装架1上端固定安装有酸洗组件3、第二水洗组件4以及烘干装置5，所述安装架1底端固定连接有安装台2，所述安装架1底端设置有传送带装置10，所述传送带装置10上表面放置有多个夹模7，所述安装台2底面固定设有动力装置6，动力装置6被固定安装，所述动力装置6与夹模7转动贴合连接，动力装置6实现夹模7实现短暂的停止传送，从而实现水洗，所述动力装置6上固定安装有第一水洗组件8，动力装置6带动第一水洗组件8工作，所述第一水洗组件8与安装台2滑动连接，所述第一水洗组件8固定连接有联动组件9，第一水洗组件8能使联动组件9工作，所述联动组件9与安装台2转动连接，夹模7通过传送带装置10传送方向，依次经过酸洗组件3、第一水洗组件8、第二水洗组件4以及烘干装置5，从而完成酸洗、两次水洗，最后再烘干的过程，实现快速清洗。
进一步的，所述安装架1上端内壁固定设有两个横板12，所述横板12内固定安装酸洗组件3、第二水洗组件4，所述安装架1底端内壁固定设有底板11，从而通过安装架1能将酸洗组件3、第二水洗组件4进行固定安装。
进一步的，所述酸洗组件3包括有进液管31，所述进液管31固定套接于一个横板12内，所述进液管31底端固定连接有多嘴管32，所述多嘴管32底端设有储液箱33，所述储液箱33底面固定设于底板11上表面，从而通过进液管31向多嘴管32内输送酸液，然后喷淋夹模7上，实现酸洗效果，且夹模7底端设置储液箱33内回收利用酸液。
进一步的，所述第二水洗组件4包括有进水管41，所述进水管41固定套接于另一个横板12内，所述进水管41底端固定连接有多嘴喷管42，所述多嘴喷管42底端设有储水箱43，所述储水箱43底面固定设于底板11上表面，从而通过进水管41向多嘴喷管42内输送水，然后喷淋夹模7上，实现一次水洗效果，且夹模7底端设置储水箱43内回收利用水。
进一步的，所述安装台2上表面固定设有支架21、收集箱23，所述收集箱23设于储液箱33以及储水箱43之间，收集箱23用于收集废液，所述支架21内壁固定设有导板22，导板22被固定安装，所述导板22内滑动安装第一水洗组件8，从而第一水洗组件8能够沿导板22上下滑动。
进一步的，所述动力装置6包括有电机61，所述电机61固定设于安装台2底面，电机61被固定安装，所述电机61输出端活动贯穿安装台2，并固定连接有拨杆62、环形圈63，从而电机61带动拨杆62、环形圈63进行连续性转动，所述电机61输出端外表面固定安装第一水洗组件8，电机61带动第一水洗组件8工作，所述环形圈63上开设有弧形口631，所述环形圈63外表面转动贴合连接有间歇盘64，所述间歇盘64底面固定设有多个立柱641，所述拨杆62另一端外表面转动贴合立柱641外表面，从而当拨杆62转动脱离一个立柱641时，环形圈63开设的弧形口631的一个端部转动贴合另一个立柱641处，从而能够对间歇盘64进行转动限位，且环形圈63继续转动过程，在拨杆62下一次转动贴合立柱641之前，间歇盘64能处于静止状态，所述间歇盘64内固定设有第一转轴66，所述第一转轴66底端转动设于安装台2上表面，所述第一转轴66上端固定连接有分隔盘65，从而分隔盘65能稳定转动，并且分隔盘65在间歇盘64的作用下，作间歇性的转动，所述分隔盘65表面开设有多个弧形槽651，所述弧形槽651内弧面转动贴合夹模7，从而分隔盘65间歇转动时，能通过弧形槽651逐一将夹模7进行短暂时间的停止传送。
进一步的，所述夹模7包括有环形夹具71，所述环形夹具71上开设有多个矩形槽711，所述环形夹具71内壁固定设有多个弧形块712，所述弧形块712上表面活动放置有晶圆本体72，从而能将单一的晶圆本体72活动放置环形夹具71的弧形块712上表面，并且矩形槽711的内底面低于弧形块712上表面，从而便于晶圆本体72的取放。
进一步的，所述第一水洗组件8包括有皮带机构81、喷水管88，所述皮带机构81一端固定安装于电机61输出端外表面，通过电机61带动皮带机构81转动，所述皮带机构81另一端固定设有第二转轴82，皮带机构81带动第二转轴82转动，所述第二转轴82贯穿安装台2，并固定连接有第一锥形齿轮组83，从而第一锥形齿轮组83能进行稳定的转动，所述第一锥形齿轮组83固定连接有凸轮84，从而第一锥形齿轮组83带动凸轮84转动，所述凸轮84外表面转动贴合有L形推杆85，所述L形推杆85外表面滑动套接于导板22内，从而凸轮84转动时，能将L形推杆85推动，并沿导板22进行上下滑动，所述L形推杆85上端固定连接有连接套86，所述连接套86底端转动卡接有滑套87，所述滑套87底端固定连接有多轴毛刷872，从而L形推杆85带动连接套86、滑套87以及多轴毛刷872一起上下移动，所述多轴毛刷872底端转动贴合晶圆本体72上表面，从而通过多轴毛刷872能对晶圆本体72上表面进行清洗，所述滑套87内滑动套接有活塞轴89，滑套87沿活塞轴89进行上下滑动，所述活塞轴89上端固定连接联动组件9，联动组件9带动活塞轴89进行转动，从而通过活塞轴89带动滑套87以及多轴毛刷872进行转动，继而能实现对晶圆本体72上表面进行清洗，所述喷水管88固定安装于支架21上端侧面，所述喷水管88底端设于环形夹具71上端，从而清洗过程中能通过喷水管88向环形夹具71内喷淋水，从而实现一次水洗过程。
进一步的，所述滑套87内壁固定设有多个限位块871，所述活塞轴89上端与支架21转动连接，所述活塞轴89外表面开设有多个花键槽891，所述活塞轴89底端活动贯穿连接套86，所述限位块871滑动卡接于花键槽891内，从而活塞轴89转动安装于支架21上，滑套87通过限位块871沿活塞轴89的花键槽891上下滑动。
进一步的，所述联动组件9包括有第二锥形齿轮组91，所述第二锥形齿轮组91固定连接第一锥形齿轮组83，所述第二锥形齿轮组91上固定设有传动轴92，所述传动轴92底端转动设于安装台2上表面，所述传动轴92上端固定连接有第三锥形齿轮组93，所述第三锥形齿轮组93固定连接有第四锥形齿轮组94，所述第四锥形齿轮组94底端固定连接活塞轴89上端，所述第四锥形齿轮组94上转动卡接有支撑块95，所述支撑块95底端固定安装于支架21上表面，从而电机61转动时，能联动第二锥形齿轮组91、第三锥形齿轮组93以及第四锥形齿轮组94进行转动，继而能带动活塞轴89进行连续性的转动。
工作原理：将单一的晶圆本体72活动放置环形夹具71的弧形块712上表面，并且矩形槽711的内底面低于弧形块712上表面，从而便于晶圆本体72的取放，然后将多个夹模7通过传送带装置10进行传递，传送方向依次经过酸洗组件3、第一水洗组件8、第二水洗组件4以及烘干装置5，从而完成酸洗、两次水洗，最后再烘干的过程，通过进液管31向多嘴管32内输送酸液，然后喷淋夹模7上，实现酸洗效果，且设置储液箱33内回收利用酸液，通过进水管41向多嘴喷管42内输送水，然后喷淋夹模7上，实现一次水洗效果，且设置储水箱43内回收利用水，另外通过电机61带动拨杆62、环形圈63进行连续性转动，当拨杆62转动脱离一个立柱641时，环形圈63开设的弧形口631的一个端部转动贴合另一个立柱641处，从而能够对间歇盘64进行转动限位，且环形圈63继续转动过程，在拨杆62下一次转动贴合立柱641之前，间歇盘64能处于静止状态，并且分隔盘65间歇转动时，能通过弧形槽651逐一将夹模7进行短暂时间的停止传送，同时，电机61带动皮带机构81、第一锥形齿轮组83转动，第一锥形齿轮组83带动凸轮84转动，从而能推动L形推杆85沿导板22进行上下滑动，并带动连接套86、滑套87以及多轴毛刷872一起上下移动，因活塞轴89转动安装于支架21上，滑套87通过限位块871能够与连接套86一起沿活塞轴89的花键槽891上下滑动，并且电机61能联动第二锥形齿轮组91、第三锥形齿轮组93以及第四锥形齿轮组94进行转动，继而能带动活塞轴89进行连续性的转动，并带动活塞轴89进行转动，从而通过活塞轴89带动滑套87以及多轴毛刷872进行连续性的转动，从而能根据夹模7的驻停阶段，通过多轴毛刷872的上下位移对晶圆本体72上表面进行清洗，并且当多轴毛刷872上升阶段，夹模7处于静止状态，当多轴毛刷872上升至夹模7上端口处后，分隔盘65开始转动对下一个夹模7进行驻停，清洗过程中能通过喷水管88向环形夹具71内喷淋水，从而实现一次水洗过程。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆高效清洗设备，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)上端固定安装有酸洗组件(3)、第二水洗组件(4)以及烘干装置(5)，所述安装架(1)底端固定连接有安装台(2)，所述安装架(1)底端设置有传送带装置(10)，所述传送带装置(10)上表面放置有多个夹模(7)，所述安装台(2)底面固定设有动力装置(6)，所述动力装置(6)与夹模(7)转动贴合连接，所述动力装置(6)上固定安装有第一水洗组件(8)，所述第一水洗组件(8)与安装台(2)滑动连接，所述第一水洗组件(8)固定连接有联动组件(9)，所述联动组件(9)与安装台(2)转动连接。
2.如权利要求1所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述安装架(1)上端内壁固定设有两个横板(12)，所述横板(12)内固定安装酸洗组件(3)、第二水洗组件(4)，所述安装架(1)底端内壁固定设有底板(11)。
3.如权利要求2所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述酸洗组件(3)包括有进液管(31)，所述进液管(31)固定套接于一个横板(12)内，所述进液管(31)底端固定连接有多嘴管(32)，所述多嘴管(32)底端设有储液箱(33)，所述储液箱(33)底面固定设于底板(11)上表面。
4.如权利要求2所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述第二水洗组件(4)包括有进水管(41)，所述进水管(41)固定套接于另一个横板(12)内，所述进水管(41)底端固定连接有多嘴喷管(42)，所述多嘴喷管(42)底端设有储水箱(43)，所述储水箱(43)底面固定设于底板(11)上表面。
5.如权利要求1所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述安装台(2)上表面固定设有支架(21)、收集箱(23)，所述收集箱(23)设于储液箱(33)以及储水箱(43)之间，所述支架(21)内壁固定设有导板(22)，所述导板(22)内滑动安装第一水洗组件(8)。
6.如权利要求1所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述动力装置(6)包括有电机(61)，所述电机(61)固定设于安装台(2)底面，所述电机(61)输出端活动贯穿安装台(2)，并固定连接有拨杆(62)、环形圈(63)，所述电机(61)输出端外表面固定安装第一水洗组件(8)，所述环形圈(63)上开设有弧形口(631)，所述环形圈(63)外表面转动贴合连接有间歇盘(64)，所述间歇盘(64)底面固定设有多个立柱(641)，所述拨杆(62)另一端外表面转动贴合立柱(641)外表面，所述间歇盘(64)内固定设有第一转轴(66)，所述第一转轴(66)底端转动设于安装台(2)上表面，所述第一转轴(66)上端固定连接有分隔盘(65)，所述分隔盘(65)表面开设有多个弧形槽(651)，所述弧形槽(651)内弧面转动贴合夹模(7)。
7.如权利要求6所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述夹模(7)包括有环形夹具(71)，所述环形夹具(71)上开设有多个矩形槽(711)，所述环形夹具(71)内壁固定设有多个弧形块(712)，所述弧形块(712)上表面活动放置有晶圆本体(72)。
8.如权利要求6所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述第一水洗组件(8)包括有皮带机构(81)、喷水管(88)，所述皮带机构(81)一端固定安装于电机(61)输出端外表面，所述皮带机构(81)另一端固定设有第二转轴(82)，所述第二转轴(82)贯穿安装台(2)，并固定连接有第一锥形齿轮组(83)，所述第一锥形齿轮组(83)固定连接有凸轮(84)，所述凸轮(84)外表面转动贴合有L形推杆(85)，所述L形推杆(85)外表面滑动套接于导板(22)内，所述L形推杆(85)上端固定连接有连接套(86)，所述连接套(86)底端转动卡接有滑套(87)，所述滑套(87)底端固定连接有多轴毛刷(872)，所述多轴毛刷(872)底端转动贴合晶圆本体(72)上表面，所述滑套(87)内滑动套接有活塞轴(89)，所述活塞轴(89)上端固定连接联动组件(9)，所述喷水管(88)固定安装于支架(21)上端侧面，所述喷水管(88)底端设于环形夹具(71)上端。
9.如权利要求8所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述滑套(87)内壁固定设有多个限位块(871)，所述活塞轴(89)上端与支架(21)转动连接，所述活塞轴(89)外表面开设有多个花键槽(891)，所述活塞轴(89)底端活动贯穿连接套(86)，所述限位块(871)滑动卡接于花键槽(891)内。
10.如权利要求8所述的一种晶圆高效清洗设备，其特征在于，所述联动组件(9)包括有第二锥形齿轮组(91)，所述第二锥形齿轮组(91)固定连接第一锥形齿轮组(83)，所述第二锥形齿轮组(91)上固定设有传动轴(92)，所述传动轴(92)底端转动设于安装台(2)上表面，所述传动轴(92)上端固定连接有第三锥形齿轮组(93)，所述第三锥形齿轮组(93)固定连接有第四锥形齿轮组(94)，所述第四锥形齿轮组(94)底端固定连接活塞轴(89)上端，所述第四锥形齿轮组(94)上转动卡接有支撑块(95)，所述支撑块(95)底端固定安装于支架(21)上表面。
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