CN212494080U - 一种晶圆片清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆片清洗机，包括机体，所述机体的四周设有正压防护板，所述机体内部位于正压防护板内侧设有防水隔板，所述机体的顶部设有出气孔，所述机体的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸，所述分隔气缸的输出轴均固定有分隔板，且分隔板位于防水隔板围成的区域内侧，所述分隔板将防水隔板围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室，所述机体内部位于正压防护板和防水隔板之间对称固定有导轨，所述导轨上滑动连接有输送车，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室内均安装有刷洗装置，此晶圆片清洗机整个清洗过程自动化实现，不需要人工参与，清洗效果好，清洗效率比较高。

Description

一种晶圆片清洗机

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆片清洗机。

背景技术

晶圆制造工艺复杂，拥有很多工序，不同工序中使用了不同的化学材料，通常会在晶圆表面残留化学剂、颗粒、金属等杂质，如果不及时清洗干净，会随着生产制造逐渐累积，影响最终的质量，人工清洗的清洗效果不好，而且清洗不彻底有残留。为此，我们提出一种晶圆片清洗机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆片清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片清洗机，包括机体，所述机体的四周设有正压防护板，所述机体内部位于正压防护板内侧设有防水隔板，所述机体的顶部设有出气孔，所述机体的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸，所述分隔气缸的输出轴均固定有分隔板，且分隔板位于防水隔板围成的区域内侧，所述分隔板将防水隔板围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室，所述机体内部位于正压防护板和防水隔板之间对称固定有导轨，所述导轨上滑动连接有输送车。

优选的，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室内均安装有刷洗装置，所述刷洗装置包括安装板、转轴、毛刷、从动齿轮、电机座、伺服电机和主动齿轮，所述机体内固定有安装板，所述安装板内嵌入转动连接有若干个转轴，所述转轴的底端套设有毛刷，所述转轴的顶端均固定有从动齿轮，且相邻的从动齿轮之间相互啮合，所述安装板的顶部固定有电机座，所述电机座的顶部固定有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定有主动齿轮，且主动齿轮与从动齿轮啮合连接。

优选的，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室的内部均固定有连接板，所述连接板内均嵌入固定有若干个管道，且管道的底端呈密封状，所述管道的侧壁设有若干个通孔，所述机体内部安装有水泵和过滤器，所述水泵的进水端通过水管与清洗剂洗涤室底部的出水口连通，所述水泵的出水端通过水管与过滤器的进水端连通，所述过滤器的出水端通过水管与连通清洗剂洗涤室内的管道连通。

优选的，所述输送车包括收水板、端板、胶辊、滑块、第一减速电机、皮带轮、皮带、第二减速电机、驱动齿轮和第二减速电机，所述收水板的两端均固定有端板，所述收水板内侧设有四个胶辊，且胶辊的两端分别与两个端板转动连接，所述胶辊的侧壁设有限位槽，且限位槽正对毛刷之间的缝隙，所述端板的一侧固定有滑块，且滑块滑动连接在导轨上，其中一个滑块顶部固定有第一减速电机，所述第一减速电机的输出轴和胶辊的一端均固定有皮带轮，且皮带轮之间通过皮带传动连接，其中一个所述滑块一侧固定有第二减速电机，所述第二减速电机的输出轴固定有驱动齿轮，所述机体设有条形齿轮带，且条形齿轮带的两端均与机体固定连接，所述条形齿轮带与驱动齿轮啮合连接。

优选的，所述导轨的外侧安装有风琴罩。

优选的，所述机体的两端均设有密封门，所述机体内部固定有密封气缸，所述密封气缸的输出轴端部与密封门的顶端固定连接。

优选的，所述初级水洗室、清洗剂洗涤室、次级水洗室和烘干室的底部均倾斜设置。

优选的，所述第一减速电机和第二减速电机外侧罩设有防护罩。

优选的，所述机体侧壁正对清洗剂洗涤室处设置清洗剂加注通道。

优选的，所述管道设置在限位槽的两侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过初级水洗室出去晶圆片表面在杂质和灰尘，通过清洗剂洗涤室内的清洗剂使粘在晶圆片表面的杂质进行清除，次级水洗室将残留在和晶圆片表面的清洗剂和灰尘彻底清洗掉，最后通过烘干室进行烘干，整个清洗过程自动化实现，不需要人工参与，清洗效果好，清洗效率比较高。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型机体内部结构示意图；

图3为本实用新型初级水洗室、清洗剂洗涤室和次级水洗室分布示意图；

图4为本实用新型分隔板结构示意图；

图5为本实用新型导轨结构示意图；

图6为本实用新型刷洗装置结构示意图；

图7为本实用新型输送车结构示意图；

图8为本实用新型防护罩结构示意图。

图中：1、机体；2、正压防护板；3、防水隔板；4、出气孔；5、分隔气缸；6、分隔板；7、初级水洗室；8、清洗剂洗涤室；9、次级水洗室；10、烘干室；11、导轨；12、输送车；13、刷洗装置；14、安装板；15、转轴；16、毛刷；17、从动齿轮；18、电机座；19、伺服电机；20、主动齿轮；21、连接板；22、管道；23、水泵；24、过滤器；25、收水板；26、端板；27、胶辊；28、限位槽；29、滑块；30、第一减速电机；31、皮带轮；32、皮带；33、第二减速电机；34、驱动齿轮；35、形齿轮带；36、风琴罩；37、密封门；38、密封气缸；39、防护罩；40、清洗剂加注通道。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片清洗机，包括机体1，所述机体1的四周设有正压防护板2，所述机体1内部位于正压防护板2内侧设有防水隔板3，所述机体1的顶部设有出气孔4，所述机体1的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸5，所述分隔气缸5的输出轴均固定有分隔板6，且分隔板6位于防水隔板3围成的区域内侧，所述分隔板6将防水隔板3围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室7、清洗剂洗涤室8、次级水洗室9和烘干室10，所述机体1内部位于正压防护板2和防水隔板3之间对称固定有导轨11，所述导轨11上滑动连接有输送车12。

请参阅图4-6，所述初级水洗室7、清洗剂洗涤室8和次级水洗室9内均安装有刷洗装置13，所述刷洗装置13包括安装板14、转轴15、毛刷16、从动齿轮17、电机座18、伺服电机19和主动齿轮20，所述机体1内固定有安装板14，所述安装板14内嵌入转动连接有若干个转轴15，所述转轴15的底端套设有毛刷16，所述转轴15的顶端均固定有从动齿轮17，且相邻的从动齿轮17之间相互啮合，所述安装板14的顶部固定有电机座18，所述电机座18的顶部固定有伺服电机19，所述伺服电机19的输出轴固定有主动齿轮20，且主动齿轮20与从动齿轮17啮合连接。

请参阅图1和4，所述初级水洗室7、清洗剂洗涤室8、次级水洗室9和烘干室10的内部均固定有连接板21，所述连接板21内均嵌入固定有若干个管道22，且管道22的底端呈密封状，所述管道22的侧壁设有若干个通孔，所述机体1内部安装有水泵23和过滤器24，所述水泵23的进水端通过水管与清洗剂洗涤室8底部的出水口连通，所述水泵23的出水端通过水管与过滤器24的进水端连通，所述过滤器24的出水端通过水管与连通清洗剂洗涤室8内的管道22连通。

请参阅图7，所述输送车12包括收水板25、端板26、胶辊27、滑块29、第一减速电机30、皮带轮31、皮带32、第二减速电机33、驱动齿轮34和第二减速电机33，所述收水板25的两端均固定有端板26，所述收水板25内侧设有四个胶辊27，且胶辊27的两端分别与两个端板26转动连接，所述胶辊27的侧壁设有限位槽28，且限位槽28正对毛刷16之间的缝隙，所述端板26的一侧固定有滑块29，且滑块29滑动连接在导轨11上，其中一个滑块29顶部固定有第一减速电机30，所述第一减速电机30的输出轴和胶辊27的一端均固定有皮带轮31，且皮带轮31之间通过皮带32传动连接，其中一个所述滑块29一侧固定有第二减速电机33，所述第二减速电机33的输出轴固定有驱动齿轮34，所述机体1设有条形齿轮带35，且条形齿轮带35的两端均与机体1固定连接，所述条形齿轮带35与驱动齿轮34啮合连接。

请参阅图4，所述导轨11的外侧安装有风琴罩36，对导轨11进行保护。

请参阅图2，所述机体1的两端均设有密封门37，所述机体1内部固定有密封气缸38，所述密封气缸38的输出轴端部与密封门37的顶端固定连接，便于控制机体1密封。

所述初级水洗室7、清洗剂洗涤室8、次级水洗室9和烘干室10的底部均倾斜设置，使液体能够在自身重力作用下留到低洼处。

请参阅图8，所述第一减速电机30和第二减速电机33外侧罩设有防护罩39，对第一减速电机30和第二减速电机33进行保护。

请参阅图1，所述机体1侧壁正对清洗剂洗涤室8处设置清洗剂加注通道40，便于添加清洗剂。

请参阅图5，所述管道22设置在限位槽28的两侧。

工作原理：首先，通过密封气缸38将密封门37打开，随后将待清洗的晶圆片放入胶辊27的侧壁的限位槽28内，通过第二减速电机33带动驱动齿轮34转动，由于驱动齿轮34与条形齿轮带35啮合连接，所以输送车12会沿着导轨11滑动；

当输送车12移动到初级水洗室7内，通过外接水源对初级水洗室7内的管道22进行供水，进而对晶圆片进行初步冲洗，第一减速电机30输出轴通过皮带32带动胶辊27顺时针转动，进而促使晶圆片逆时针转动，伺服电机19带动主动齿轮20转动，进而促使主动齿轮20、转轴15和毛刷16一起转动，使毛刷16做与晶圆片转动方向相反的运动，使清洗效果更好；

初级水洗完成后，通过分隔气缸5将初级水洗室7与清洗剂洗涤室8之间的分隔板6打开，通过第二减速电机33带动驱动齿轮34转动，由于驱动齿轮34与条形齿轮带35啮合连接，所以输送车12会沿着导轨11滑动，使输送车12移动到清洗剂洗涤室8内，通过清洗剂加注通道40能够向清洗剂洗涤室8内加注清洗剂，通过水泵23将清洗剂洗涤室8内的清洗剂输送过滤器24进行过滤，最终通过管道22喷洒到晶圆片上，结合第一减速电机30和伺服电机19的工作，对晶圆片通过清洗剂进行清洗；

通过分隔气缸5将清洗剂洗涤室8与次级水洗室9之间的分隔板6打开，通过第二减速电机33带动驱动齿轮34转动，由于驱动齿轮34与条形齿轮带35啮合连接，所以输送车12会沿着导轨11滑动，使输送车12移动到次级水洗室9，通过外接水源对次级水洗室9内的管道22进行供水，进而对晶圆片进行次级冲洗，结合第一减速电机30和伺服电机19的工作，对晶圆片通过次级进行清洗，通过过滤器24能够过滤掉清洗剂中的固体残渣；

然后，通过分隔气缸5将次级水洗室9和烘干室10之间的分隔板6打开，烘干室10内的管道22通过外接热风对晶圆片进行烘干；

最后，通过密封气缸38将密封门37打开，将清洗完成后的晶圆片从胶辊27的侧壁的限位槽28内取出完成清洗。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种晶圆片清洗机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的四周设有正压防护板(2)，所述机体(1)内部位于正压防护板(2)内侧设有防水隔板(3)，所述机体(1)的顶部设有出气孔(4)，所述机体(1)的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸(5)，所述分隔气缸(5)的输出轴均固定有分隔板(6)，且分隔板(6)位于防水隔板(3)围成的区域内侧，所述分隔板(6)将防水隔板(3)围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)、次级水洗室(9)和烘干室(10)，所述机体(1)内部位于正压防护板(2)和防水隔板(3)之间对称固定有导轨(11)，所述导轨(11)上滑动连接有输送车(12)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)和次级水洗室(9)内均安装有刷洗装置(13)，所述刷洗装置(13)包括安装板(14)、转轴(15)、毛刷(16)、从动齿轮(17)、电机座(18)、伺服电机(19)和主动齿轮(20)，所述机体(1)内固定有安装板(14)，所述安装板(14)内嵌入转动连接有若干个转轴(15)，所述转轴(15)的底端套设有毛刷(16)，所述转轴(15)的顶端均固定有从动齿轮(17)，且相邻的从动齿轮(17)之间相互啮合，所述安装板(14)的顶部固定有电机座(18)，所述电机座(18)的顶部固定有伺服电机(19)，所述伺服电机(19)的输出轴固定有主动齿轮(20)，且主动齿轮(20)与从动齿轮(17)啮合连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)、次级水洗室(9)和烘干室(10)的内部均固定有连接板(21)，所述连接板(21)内均嵌入固定有若干个管道(22)，且管道(22)的底端呈密封状，所述管道(22)的侧壁设有若干个通孔，所述机体(1)内部安装有水泵(23)和过滤器(24)，所述水泵(23)的进水端通过水管与清洗剂洗涤室(8)底部的出水口连通，所述水泵(23)的出水端通过水管与过滤器(24)的进水端连通，所述过滤器(24)的出水端通过水管与连通清洗剂洗涤室(8)内的管道(22)连通。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述输送车(12)包括收水板(25)、端板(26)、胶辊(27)、滑块(29)、第一减速电机(30)、皮带轮(31)、皮带(32)、第二减速电机(33)、驱动齿轮(34)和第二减速电机(33)，所述收水板(25)的两端均固定有端板(26)，所述收水板(25)内侧设有四个胶辊(27)，且胶辊(27)的两端分别与两个端板(26)转动连接，所述胶辊(27)的侧壁设有限位槽(28)，且限位槽(28)正对毛刷(16)之间的缝隙，所述端板(26)的一侧固定有滑块(29)，且滑块(29)滑动连接在导轨(11)上，其中一个滑块(29)顶部固定有第一减速电机(30)，所述第一减速电机(30)的输出轴和胶辊(27)的一端均固定有皮带轮(31)，且皮带轮(31)之间通过皮带(32)传动连接，其中一个所述滑块(29)一侧固定有第二减速电机(33)，所述第二减速电机(33)的输出轴固定有驱动齿轮(34)，所述机体(1)设有条形齿轮带(35)，且条形齿轮带(35)的两端均与机体(1)固定连接，所述条形齿轮带(35)与驱动齿轮(34)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述导轨(11)的外侧安装有风琴罩(36)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述机体(1) 的两端均设有密封门(37)，所述机体(1)内部固定有密封气缸(38)，所述密封气缸(38)的输出轴端部与密封门(37)的顶端固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)、次级水洗室(9)和烘干室(10)的底部均倾斜设置。

8.根据权利要求4所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述第一减速电机(30)和第二减速电机(33)外侧罩设有防护罩(39)。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述机体(1)侧壁正对清洗剂洗涤室(8)处设置清洗剂加注通道(40)。

10.根据权利要求4所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：管道(22)设置在限位槽(28)的两侧。

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