CN114643784A - 液体喷出设备 - Google Patents

Abstract

液体喷出设备包括：两个流路，用于向元件基板供给或回收液体以喷出该液体；循环供给流路，用于向一个流路供给液体；循环回收流路，用于从另一流路回收液体；以及多个开闭阀机构，用于控制各个流路之间的连通和切断，开闭阀机构包括位于流路之间的开口、能够使开口开闭的密封部、用于沿靠近或远离开口的方向对密封部施力的施力构件以及用于使密封部抵抗施力构件的施力移动的移动机构，液体排出装置通过移动机构使至少两个开闭阀机构的密封部一起移动来控制该至少两个开闭阀机构的开闭。

Description

液体喷出设备

技术领域

本公开涉及液体喷出设备。

背景技术

液体喷出设备的液体喷出头包括控制阀，其用于针对初始填充操作和恢复操作控制液体的供给，其中初始填充操作用于利用液体填充内部流路，恢复操作用于将流路中的变稠液体或气泡从喷出口排出。日本专利申请特开No.2019-142107公开了如下结构：通过气体室中的气体的加压而膨胀的柔性构件压靠控制阀，以强制打开控制阀。

此外，存在循环式液体喷出设备，其为了排出流路中的气泡和防止喷出口附近的液体的粘度增大的目的而使液体喷出头中的液体流动。在循环式液体喷出设备中，通过使液体在液体喷出头与液体容器之间循环，能够将可能导致液体喷出头喷出不良的气泡与液体一起回收在液体容器中。日本专利No.6256692公开了如下构造：通过切换流路，能够在不经过压力调节单元的情况下向液体喷出头供给墨和从液体喷出头回收墨。

为了实现能够通过使用如日本专利No.6256692所述的4个控制阀(开闭阀机构)如日本专利申请特开No.2019-142107所述地切换循环流路的构造，四个气体室是必要的，并且增大了液体喷出头的体积。特别地，在用于喷出多种不同颜色的液体的液体喷出头中，必须根据液体的数量(液体的颜色的数量)将大量的切换机构搭载到滑架上。然而，在用于扫描搭载有液体喷出头的滑架的液体喷出设备中，优选的是，搭载于滑架的构件是小且轻的。例如，由于构成切换机构的开闭阀机构的尺寸可能会影响滑架的移动，所以开闭阀机构优选是小的。

发明内容

因此，本公开的目的是提供具有能够切换液体循环流路的小型液体喷出头的液体喷出设备。

液体喷出装置包括：第一流路和第二流路，其用于向元件基板供给或收集液体以喷出该液体；循环供给流路，其用于向第一流路或第二流路供给液体或者从第一流路或第二流路供给液体；循环回收流路，其用于从第一流路或第二流路收集液体；以及多个开闭阀机构，其用于控制各个流路之间的连通和切断，其中开闭阀机构包括位于流路之间的开口、能够使开口开闭的密封部、用于对密封部施加朝向或远离开口的方向的力的施力构件以及用于使密封部抵抗施力构件的施力而移动的移动机构。通过移动机构使至少两个开闭阀机构的密封部一起移动，控制了该至少两个开闭阀机构的开闭。

通过参照附图对以下示例性实施方式的描述，本公开的其它特征将变得明显。

附图说明

图1A是根据本公开的第一实施方式的液体喷出设备的主要部分的示意性立体图。

图1B是根据本公开的第一实施方式的液体喷出设备的主要部分的框图。

图2是图1A和图1B所示的液体喷出设备的液体喷出头的分解立体图。

图3是示出图1A和图1B所示的液体喷出设备的流路的截面图。

图4A是示出图1A和图1B所示的液体喷出设备的流路的框图。

图4B是示出图1A和图1B所示的液体喷出设备的流路的框图。

图5A是图1A和图1B所示的液体喷出设备的液体循环单元的立体图。

图5B是图1A和图1B所示的液体喷出设备的液体循环单元的主视图。

图5C是图1A和图1B所示的液体喷出设备的液体循环单元的截面图。

图5D是图1A和图1B所示的液体喷出设备的液体循环单元的截面图。

图6A是根据本公开的第一实施方式的三通阀的截面图。

图6B是根据本公开的第一实施方式的三通阀的截面图。

图6C是根据本公开的第一实施方式的三通阀的截面图。

图6D是根据本公开的第一实施方式的三通阀的截面图。

图6E是根据本公开的第一实施方式的三通阀的主视图。

图7A是根据本公开的第二实施方式的三通阀的截面图。

图7B是根据本公开的第二实施方式的三通阀的截面图。

图8A是根据本公开的第三实施方式的三通阀的截面图。

图8B是根据本公开的第三实施方式的三通阀的截面图。

图9是示出根据本公开的第四实施方式的液体喷出设备的流路的框图。

具体实施方式

下面将参照附图描述本公开的实施方式。然而，下面描述的实施方式并非旨在限制本公开。例如，在下面描述的各实施方式中，采用用于通过加热元件生成气泡来喷出液体的热系统的液体喷出头，但是本公开还能够适用于采用压电系统或其它各种液体喷出系统的液体喷出头。

[第一实施方式]

(液体喷出设备的描述)

将参照图1A至图6E描述根据本公开的第一实施方式的液体喷出设备。图1A是包括第一实施方式的液体喷出头1的液体喷出设备50的主要部分的示意性立体图，图1B是液体喷出设备50的控制系统的框图。本实施方式的液体喷出设备50是将诸如墨等的液体从液体喷出头1喷出并将图像、文字、图形等记录在记录介质P上的串行扫描式喷墨记录设备，液体喷出头1是喷墨记录头。液体喷出头1搭载于滑架53，滑架53由滑架马达303(见图1B)驱动并能够沿着引导轴51在主扫描方向(图1A中箭头X方向)上移动。引导件59与滑架53连接。引导件59包括电气配线和管道，并且喷出液体所需的电信号、液体和空气经由引导件59向滑架53供给。液体喷出设备50具有输送辊55、56、57和58。

输送辊55、56、57和58由输送马达304(见图1B)驱动，并且能够沿与主扫描方向交叉(在本实施方式中，为正交)的副扫描方向(图1A中的箭头Y方向)输送记录介质P。

液体喷出头1能够使用C(青色)、M(品红色)、Y(黄色)和K(黑色)这四种颜色的液体(墨)进行全色打印。设置在液体喷出头1中的能量生成元件根据从电气配线板6(见图2)输入的电信号由头驱动器1A(见图1B)驱动，并且生成用于将液体从喷出口喷出的能量。液体喷出头1具有液体循环单元54，液体循环单元54通过稍后描述的元件基板200使液体循环。

在液体喷出设备50中，盖构件(未示出)布置在能够面对液体喷出头1的喷出口形成面且远离记录介质P的输送路径的位置处。当不对记录介质P进行记录时，盖构件相对移动到覆盖液体喷出头1的喷出口形成面的位置，从而抑制了喷出口的干燥，并且进行抽吸用以填充液体和恢复操作。

如图1B所示，液体喷出设备50包括CPU(控制单元)300、ROM301和RAM302。CPU300基于诸如存储在ROM301中的处理过程等的程序来控制液体喷出设备50的各部分，RAM302用作执行这些处理的工作区域等。CPU300基于从位于液体喷出设备50外部的主机装置(计算机)400发送的图像数据来控制头驱动器1A。CPU300还经由马达驱动器303A控制滑架马达303以移动滑架53，并且经由马达驱动器304A控制输送马达304以输送记录介质P。

(液体喷出头的描述)

图2是示出第一实施方式的液体喷出头1的分解立体图。图3是示出液体喷出设备的流路的截面图。液体喷出头1包括液体循环单元54和排出单元。喷出单元主要包括元件基板200、电气配线构件5、电气配线基板6、第一支撑构件4和第二支撑构件7，并且将从液体循环单元54供给的记录液体(墨)喷出到记录介质P上。液体喷出头1通过定位构件和电触点(未示出)固定地支撑于滑架53。液体喷出头1通过在与滑架53一起沿扫描方向(图1A中的箭头X方向)扫描的同时将液体喷出到记录介质P上来执行记录。

如图1A示意性所示，液体喷出设备50包括：罐2，其用于存储液体；液体供给管17，其与罐2连接；以及泵21，其设置在液体供给管17的中途。液体供给管17形成引导件19的一部分。液体连接器(未示出)设置在液体供给管17的与连接至罐2的连接部相反的端部处。当将液体喷出头1搭载到液体喷出设备50的滑架53时，使液体连接器与设置在液体喷出头1的壳体中的连接器插入口(未示出)气密地连接。通过泵21的作用，罐2中的液体通过液体供给管17向液体喷出头1供给。本实施方式的液体喷出头1能够喷出四种液体，液体供给管17和连接器插入口与各液体对应地设置，并且为各液体形成供给路径。

如图2所示，液体喷出头1的喷出单元包括两个元件基板(喷出模块)200、第一支撑构件4、第二支撑构件7、电气配线构件(电气配线带)5和电气配线基板6。元件基板200由厚度为0.5mm至1mm的硅基板制成，并且具体地，如图3所示，包括喷出口形成构件200a和与喷出口形成构件200a重叠的基板200b。喷出口形成构件200a设置有：多个凹部，其在自身与基板200b之间形成压力室200c；和多个排出口200d，其与相应的压力室200c连通并向外部开放。基板200a与各压力室200b对应地配置，并且设置有生成用于喷出液体的能量的多个能量生成元件200d。在本实施方式中，使用加热电阻元件(加热器)作为能量生成元件200d，并且通过膜形成技术在基板200a上形成用于向各能量生成元件200d供给电力的电气配线(未示出)。此外，基板200b设置有作为与相应压力室200c连通的通孔的单独的供给路径18和单独的回收路径19。排出口形成构件200a和基板200b的流路、凹部、排出口等能够通过光刻形成。

元件基板200粘接固定于具有液体供给路径和液体回收路径的第一支撑构件4。第一支撑构件4针对从液体喷出头1喷出的各类型(颜色)的液体设置有液体供给路径和液体回收路径。尽管在图3所示的截面中存在两个液体供给路径4a，但是在与图3不同的截面位置处存在其它液体供给路径和液体回收路径。多个液体循环单元54经由具有供给孔8a和回收孔8b的接合构件8与第一支撑构件4连接。在本实施方式中，设置四个液体循环单元54以使用四种颜色的液体，接合构件8中设置有四个供给孔8a和四个回收孔8b，第一支撑构件4中设置有四个液体供给路径4a和四个液体回收路径(未示出)。液体供给路径4a和液体回收路径的宽度从与压力室200c连通的窄部变成与供给孔8a和回收孔8b连通的宽部(其宽度与供给孔8a和回收孔8b相同)。为各颜色的液体形成循环路径，其从液体循环单元54经过供给孔8a、液体供给路径4a和单独的供给流路18延伸到压力室200c，并且从压力室200c经过单独的回收流路19、液体回收路径和回收孔8b返回到液体循环单元54。当液体沿正向(将稍后描述)循环时，液体以这种方式循环。然而，当液体以反向循环时，液体沿反向流动。即，液体从液体循环单元54经过回收孔8b、液体回收路径和单独的回收路径19循环到压力室200c，并且从压力室200c经过单独的供给路径18、液体供给路径4a和供给孔8a返回到液体循环单元54。

第二支撑构件7与第一支撑构件4接合。第二支撑构件7设置有开口，元件基板200位于开口中，并且元件基板200和第二支撑构件7不彼此重叠。第二支撑构件7保持电气配线构件5。电气配线构件5与元件基板200电连接，并且向元件基板200施加用于液体喷出的电信号。尽管未示出，但是元件基板200与电气配线构件5之间的电连接部利用密封材料密封，以保护其免受液体(例如，墨)的腐蚀和来自外部的冲击。电气配线板6经由各向异性导电膜(未示出)热压缩，并且电连接至电气配线构件5的与元件板200连接的连接部相反的端部。电气配线板6具有外部信号输入端子(未示出)，用于接收来自液体喷出设备主体的CPU300的电信号。

利用上述构造，液体通过泵21的作用从罐2向液体循环单元54供给，并且经由供给孔8a、液体供给路径4a和单独的供给路径18进一步向压力室200c供给。然后，电信号从CPU300经由电气配线板6和电气配线构件5选择性地施加到元件基板200的能量生成元件200e。被施加电信号的能量生成元件200e生成用于液体喷出的能量，例如热能。压力室200c中的液体通过接收该能量而发泡，从而使液滴通过发泡压力从喷出口200d喷出。

在该构造中，由于能量生成元件200e在喷出液体时生成热能以使液体发泡，所以液体喷出头1的温度会升高。特别地，在出于改善显色性和缩短干燥时间的目的而使用水分量少的墨作为液体的液体喷出设备50中，由于溶解在液体中的氧气的析出，气泡产生并容易生长。例如，当气泡在图3所示的单独的回收路径19中生长时，能够通过置于液体循环流而使气泡排出。然而，当气泡在单独的供给路径18中生长时，气泡与液体一起朝向压力室200c和排出口200d前进，并且压力室200c内部、尤其是排出口200d附近的液体可能变得不足，液体可能无法排出。尽管能够通过使上述液体循环路径中的液体脱气来避免该问题，但是脱气机构会增加液体喷出设备50的尺寸和成本。因此，在本实施方式中，液体在不脱气的情况下排出，并且使液体在气泡生长之前沿反向循环且不被排出。结果，单独的供给路径18中的气泡向液体循环单元54侧返回，并且气泡移动到不影响液体喷出的地方，从而能够避免上述问题。

(液体循环路径的描述)

图4A和图4B是示出本实施方式的液体喷出设备中的一种类型(一种颜色)液体的循环路径的示意图。图4A示出了正向路径中的循环路径，图4B示出了反向循环路径中的循环路径。在这里，正向是指在正常液体喷出操作中液体循环所沿的方向，并且基于气泡的释放性、填充的容易程度、喷出液体时的温度分布等任意设定。

反向是与正向相反的方向，并且是在不排出液体时为了将气泡排出等而进行的液体循环的方向。在如图1A至图2所示的用于喷出多种颜色(例如，四种颜色)的液体的液体喷出头1中，如图4A和图4B所示的循环路径与液体的数量对应地设置。

在图4A和图4B中，示出了用于沿正向向元件基板200供给液体的供给孔8a和液体供给路径4a作为第一流路73，并且示出了用于从元件基板200回收液体的液体回收路径和回收孔8b作为第二流路74。在本实施方式中，液体循环路径中设置有四个开闭阀机构25、26、71和72。即，作为液体循环单元54的一部分的循环供给流路75和循环回收流路76通过开闭阀机构25、26、71和72分别与第一流路73和第二流路74连接。第一开闭阀机构25设置在包括循环供给路径75和第一路径73的液体路径中，第二开闭阀机构71设置在包括循环供给路径75和第二路径74的液体路径中。第三开闭阀机构72设置在包括循环回收路径76和第一路径73的液体路径中，第四开闭阀机构26设置在包括循环回收路径76和第二路径74的液体路径中。这些开闭阀机构25、26、71和72控制相应的流路之间的连通和中断。即，通过开闭阀机构25、26、71和72的开闭，能够单独地控制循环供给流路75与循环回收流路76之间的连接以及第一流路73与第二流路74之间的连接，并且能够切换液体的循环方向。

具体地，通过打开第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26，关闭第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72，使液体沿正向循环(见图4A)。另一方面，通过打开第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72以及关闭第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26，使液体沿反向循环(见图4B)。

当通过本实施方式的液体喷出头喷出液体时，通过泵21的工作使液体加压并从罐2向液体喷出头1供给。通过过滤器23去除向液体喷出头1加压供给的液体中的灰尘，并且在通过减压阀24调节液体的压力之后，使液体流入循环供给路径75。如上所述，在第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26打开、第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72关闭的情况下，液体从第一流路73向元件基板200供给。当对设置在图3所示的元件基板200的压力室200c中的能量生成元件200e施加电信号时，液体从排出口200d排出。压力室200b中未排出的液体从第二流路74回收到循环回收流路76。循环泵27与循环回收流路76连接，通过循环泵27使液体从循环回收流路76经过空气缓冲器29流到循环供给流路75。以这种方式，使液体沿正向循环。位于循环泵27下游的空气缓冲器29降低了与泵脉动和温度升高相关联的压力波动，由此有助于喷出的稳定和墨泄漏的抑制。减压阀24与循环回收流路76之间设置有差压阀28。差压阀28抑制例如因当液体从所有排出口200d排出时的压降而对排出的影响。

以这种方式，在使液体沿图4A所示的正向循环的同时使液体从液体喷出头1排出的状态下，当液体的循环路径中产生气泡时，切换液体的循环方向以排出气泡。即，在不喷出液体的状态下，如图4B所示，驱动空气泵22以向气动驱动路径30供给加压空气，并且打开第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72，关闭第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26。在这种状态下，当泵21工作时，从罐2流入液体喷出头1的循环回收流路76的液体从第二流路74向元件基板200的压力室200c供给。压力室200c中的液体从第一流路73回收到循环供给流路75。以这种方式，进行液体的反向循环。当气泡等通过液体的反向循环而存在于特别是循环供给流路75和第一流路73中时，气泡远离压力室200c和喷出口200d移动，从而防止了液体的不喷出。当气泡等存在于循环和回收路径76以及第二路径74中时，气泡通过伴随正常液体喷出的正向液体循环而移动远离压力室200c和排出口200d。在伴随正常液体喷出的正向液体循环中，当在循环供给路径75和第一路径73中、靠近压力室200c和排出口200d处产生气泡时，液体会反向循环，从而使气泡移动远离压力室200c和排出口200d。

如将稍后描述的，本实施方式的开闭阀机构25、26、71和72能够由空气压力驱动，并且能够以比电磁阀少的振动进行切换。空气泵22向气动驱动路径30供给加压空气，以控制四个开闭阀机构25、26、71和72的开闭。当构造液体的反向循环路径时，必须将四个开闭阀机构25、26、71和72返回到正常位置，以便在喷出液体之前使液体返回到正向循环路径。为此，开闭阀机构25、26、71和72均必须能够向大气开放。因此，在本实施方式中，使用具有多个开闭阀机构大致一体化的构造的三通阀92、93，以在来自空气泵22的加压空气供给状态与大气开放状态之间切换。例如，配置具有一体化了两个开闭阀机构的结构的两个三通阀。具体地，设置与第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71一体化的第一三通阀92以及与第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26一体化的第二三通阀93。这能够实现包括如上所述的四个开闭阀机构25、26、71和72的构造。例如，第一三通阀92包括第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71，打开第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71中的一者并同时关闭另一者。第二三通阀93包括第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26，打开第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26中的一者并同时关闭另一者。为了容易理解，图4A和图4B示出了气动驱动流路30向开闭阀机构25、26、71和72中的每一者供给空气的构造，但是如将稍后描述的，可以向具有较少数量的开闭阀机构25、26、71和72的压力室200c供给空气。

图5A至图5D示出了本实施方式的液体循环单元54的详细构造。图5A是用于一种颜色的液体循环单元54的示意性立体图。图5B是部分透过液体循环单元54的平面图。图5C是沿着图5B的线A-A截取的截面图。图5D是沿着图5B的线B-B截取的截面图。液体循环单元54设置有图4A和图4B所示的循环路径和循环机构的主要部分。

如图5A和图5B所示，液体循环单元54的作为从罐2到液体喷出头1的入口的流入口45经由过滤器23与用于调节负压的减压阀24的一次侧液室(primary side liquidchamber)33(见图5D)连接。如图5D所示，减压阀24具有一次侧液室33和二次侧液室(secondary side liquid chamber)34，一次侧液室33与二次侧液室34之间的连通部处设置有阀机构35。限定二次侧液室34的壁的一部分由柔性膜31制成，设置在固定于柔性膜31的受压板32上的凸部32a构成阀机构35的阀杆。因此，当从流入口45经过过滤器23供给到一次侧液室33的液体流入二次侧液室34时，柔性膜31会受到流动着的液体推动，从而使受压板32在弯曲变形的同时移动。因此，凸部(阀杆)32a在一次液室33与二次液室34之间前后移动，从而调节阀机构35的开度。循环供给路径75与减压阀24的二次侧液室34连接。循环泵27的喷出侧与循环供给路径75连接。循环回收流路76与循环泵27的抽吸侧连接。循环泵27是压电式隔膜泵，其中当对贴附于隔膜36的压电元件37施加驱动电压时，泵室38的容积改变，并且位于喷出侧和抽吸侧的两个止回阀39因压力波动而交替移动以送出液体。循环泵27的喷出侧与减压阀24的二次侧液室34连接，并且还与空气缓冲器29连通。空气缓冲器29的一部分由橡胶制成，能够通过橡胶的变形吸收压力波动。

与循环泵27的排出侧连接的循环供给路径75设置有第一三通阀92。与循环泵27的抽吸侧连接的循环回收流路76设置有第二三通阀93。本实施方式的两个三通阀92和93如图3所示。尽管将稍后描述细节，但是第一三通阀92和第二三通阀93能够通过空气压力切换流路，并且由从设备主体的空气泵22(见图4A和图4B)向空气供给口44和空气压力驱动流路30供给的加压空气驱动。第一三通阀92具有图4A和图4B中的第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71的功能，以便允许从循环供给流路75供给的液体流向第一流路73或第二流路74。第二三通阀93具有图4A和图4B中的第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26的功能，以便允许来自第一流路73或第二流路74的液体收集到循环回收流路76中。第一流路73从供给连接口46连接到接合构件8的供给孔8a，第二流路74从回收连接口47连接到接合构件8的回收孔8b。结果，如图3所示，液体循环单元54与元件基板200连接，以形成液体循环路径。

如图4A、图4B、图5B和图5C所示，循环供给路径75与循环回收路径76之间设置有差压阀28。当循环回收流路76的压力因液体喷出或循环泵27的驱动而降低时，差压阀28打开以防止差压变得过大，由此将喷出口200d维持在适当的负压。

(三通阀的说明)

图6A至图6E示意性地示出了三通阀92和93的移动。图6A和图6C是沿着图5B的C-C截取的截面图，示出了第一三通阀92。图6B和图6D是沿着图5B的线D-D截取的截面图，示出了第二三通阀93。图6E是示出包括两个三通阀92和93的区域的主视图。如上所述，第一三通阀92具有作为第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71的功能。具体地，第一三通阀92的第一开口87和第一密封部89构成第一开闭阀机构25，第二开口88和第二密封部90构成第二开闭阀机构71。第一开口87与第一流路73连通，第二开口88与第二流路74连通。第一开口87与第二开口88之间设置有与循环供给路径75连通的开口61。作为柔性构件的柔性膜86配置在能够与第一开口87、第二开口88和开口61相对的位置处，以覆盖它们。柔性膜86与摇杆机构83接合。柔性膜86和摇杆机构83的一部分构成第一密封部89，另一部分构成第二密封部90。因此，第一密封部89和第二密封部90是同一构件(柔性膜86和摇杆机构83)的一部分和另一部分。摇杆机构83能够绕着轴83a转动，第一密封部89受到作为施力构件的弹簧84施加的沿远离第一开口87的方向的力。柔性膜86优选由在液体接触性和气体透过性方面没有问题的橡胶材料形成。

类似地，第二三通阀93具有作为第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26的功能。具体地，第三开闭阀机构72由第二三通阀93的第三开口77和第三密封部79构成，第四开闭阀机构26由第四开口78和第四密封部80构成。第三开口77与第一流路73连通，第四开口78与第二流路74连通。第三开口77与第四开口78之间设置有与循环回收流路76连通的开口62。作为柔性构件的柔性膜81配置在其能够面对和覆盖第三开口77、第四开口78和开口62的位置处。柔性膜81与摇杆机构41接合。柔性膜81和摇杆机构41的一部分构成第三密封部79，另一部分构成第四密封部80。摇杆机构41能够绕着轴41a转动，并且受到作为施力构件的弹簧40施加的沿使第四密封部80与第四开口78分离的方向的力。柔性膜81优选地由在液体接触性和气体透过性方面没有问题的橡胶材料形成。

压力室91被设置成与设置有柔性膜86和摇杆机构83的空间以及设置有柔性膜81和摇杆机构41的空间重叠。作为柔性构件的柔性膜82配置在加压室中，加压板42与柔性膜82接合。在图6A所示的初始状态下，加压室中的压力为大气压，并且没有偏置力(biasingforce)施加到柔性膜82和加压板42。此时，构成第一开闭阀机构25的第一开口87与第一密封部89彼此分离，并且循环供给流路75与第一流路73连通以允许液体流动。在这种情况下，限定用于使循环供给流路75与第一流路73连通的液体流路(连通路径)的壁的一部分由柔性膜86形成。另一方面，构成第二开闭阀机构71的第二开口88与第二密封部90彼此接触，处于密封关闭状态。循环供给路径75不与第二路径74连通，液体不流动。

在该初始状态下，如图6B所示，在第二三通阀93中，构成第四开闭阀机构26的第四开口78与第四密封部80彼此分离，循环回收流路76与第二流路74连通以允许液体流动。此时，限定用于使循环回收流路76与第二流路74连通的液体流路(连通路径)的壁的一部分由柔性膜81形成。另一方面，构成第三开闭阀机构72的第三开口77与第三密封部79彼此接触，处于密封关闭状态。循环回收流路76不与第一流路73连通，液体不流动。

在图6A和图6B所示的初始状态下，当来自空气泵22的加压空气引入加压室91时，柔性膜82和加压板42通过气动压力朝向图6A和图6B中的下方移动。如图6C所示，加压板42的加压部85将摇杆机构83向下推，使摇杆机构83抵抗弹簧84的施力转动。因而，第一密封部89将第一开口87密封，第一开闭阀机构25关闭。另一方面，第二密封部90通过摇杆机构83的转动与第二开口88分离，循环供给流路75和第二流路74彼此连通，以打开第二开闭阀机构71。如上所述，用于驱动第一三通阀92的移动机构主要包括摇杆机构83、加压部85、加压板42和柔性膜82，第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71由该移动机构同时驱动。限制部92a和92b限定摇杆机构83的绕着轴83a的转动运动的范围，其中限制部92a和92b是限定容纳摇杆机构83的空间的壁的一部分并且位于摇杆机构83的上方和下方。即，在图6A所示的状态下，摇杆机构83由限制部92a保持在第二密封部90使第二开口88关闭的位置处。在图6B所示的状态下，摇杆机构83由限制部92b保持在第二密封部89使第一开口87关闭的位置处，从而限制摇杆机构83过度转动。

当柔性膜82和加压板42朝向图6B中的下方移动时，如图6D所示，加压板42的加压部43将摇杆机构41向下推，使摇杆机构41抵抗弹簧40的施力转动。由此，第四密封部80将第四开口78密封，第四开闭阀机构26关闭。另一方面，第三密封部79通过摇杆机构41的转动与第三开口77分离，循环回收流路76与第一流路73彼此连通，以打开第三开闭阀机构72。用于驱动第二三通阀93的移动机构主要包括摇杆机构41、加压部43、加压板42和柔性膜82，第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26由该移动机构同时驱动。限制部93a和93b限定摇杆机构41的绕着轴83a的转动运动的范围，其中限制部93a和93b是限定容纳摇杆机构41的空间的壁的一部分并且位于摇杆机构41的上方和下方。即，在图6B所示的状态下，摇杆机构41在第三密封部79关闭第三开口77的位置处由限制部93a保持。在图6D所示的状态下，摇杆机构41由限制部80b保持在第四密封部80使第四开口78关闭的位置处，从而限制摇杆机构41过度转动。

图6E示出了构成第一三通阀92和第二三通阀93的移动机构的加压板42。加压板42安装于柔性膜82，并且设置有用于驱动第一三通阀92的加压部85和用于驱动第二三通阀93的加压部43。因此，通过使加压室91的内部加压，加压板42同时驱动第一三通阀92和第二三通阀93。换言之，通过使一个加压室91加压，能够同时驱动第一开闭阀机构25、第二开闭阀机构71、第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26这四个开闭阀机构。

选择三通阀92和93的尺寸，使得密封部89、90、79和80能够使开口87、88、77和78确实地封闭，并且当开闭阀机构25、71、72和26打开时，液体流路(连通路径)的流阻不会过度增大。例如，如果摇杆机构83和41具有20mm的长度、大约5mm的宽度和1mm的高度，则加压部85和43的行程可以是大约1mm。当液体路径中的压力最大为-5kPa时，弹簧84和40优选具有0.5N以上的弹力。此外，在加压板42的受压部是例如直径为10mm的圆形的情况下，当以20kPa以上的压力对受压部加压时，摇杆机构83和41会被1.57N以上的力压靠，以切换阀的开闭。

在本实施方式中，第一三通阀92具有作为第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71的功能，第二三通阀93具有作为第三开闭阀机构72和第四开闭阀机构26的功能，但是本公开不限于该构造。例如，第一三通阀92可以具有第一开闭阀机构25和第三开闭阀机构72的功能，第二三通阀93可以具有第二开闭阀机构71和第四开闭阀机构26的功能。

如上所述，在本公开适用的液体喷出设备中，能够通过主要包括压力室91、柔性膜82和加压板42的一个移动机构控制多个开闭阀机构25、71和72和26的开闭。因此，能够使搭载于滑架53的液体喷出头1的液体循环单元54小型化。通过使用摇杆机构83和41，能够构成用于确实地切换两个开闭阀机构的开闭的三通阀92和93。

[第二实施方式]

下面将描述本公开的第二实施方式。由于本实施方式中的三通阀92和93的构造与第一实施方式中的不同，所以将主要描述区别。由于其它方面与第一实施方式的相同，所以省略其描述。图7A和图7B示意性地示出了本实施方式的第一三通阀92和第二三通阀93。图7A所示的本实施方式的第一三通阀92具有从循环供给路径75开始的彼此连通的第一开口87和第二开口88。第一开口87经由加压室91与第一流路73连接。第二开口88经由阀室99与第二流路74连接。加压室91设置有外部开口63。循环供给路径75、第一路径73、第二路径74和外部开口63向第一三通阀92的外部开放。

与第一实施方式相同，在第一三通阀92中，第一开口87和第一密封部89构成第一开闭阀机构25，第二开口88和第二密封部90构成第二开闭阀机构71。第一开闭阀机构25和第二开闭阀机构71隔着循环供给流路75彼此相对。位于加压室91中的第一密封部89和位于阀室99中的第二密封部90通过连接部94连接并能够一体地移动。加压室91中设置有柔性膜101，第一密封部89安装于柔性膜101。类似地，阀室99中设置有柔性膜102，第二密封部90安装于柔性膜102。阀室99中的第二密封部90受到作为施力构件的弹簧84的施力。延伸穿过位于加压室91与阀室99之间的第一开口87和第二开口88的连接部94使第一密封部89和第二密封部90连接。柔性膜101形成如下的壁的一部分：其限定从循环供给流路75经过第一开口87和加压室91延伸到第一流路73的液体流路。类似地，柔性膜102形成如下的壁的一部分：其限定从循环供给流路75经过第二开口88和阀室99延伸到第二流路74的液体流路。外部开口63与加压室91中的第一密封部89相对。

图7B所示的第二三通阀93具有与第一三通阀92大致相同的构造，并且第四开闭阀机构26和第三开闭阀机构72隔着循环回收流路76彼此面对。第二三通阀93的第三开口77、阀室100和第三密封部79具有与第一三通阀92的第二开口88、阀室99和第二密封部90大致相同的构造。第二三通阀93的第四开口78、加压室91和第四密封部80具有与第一三通阀92的第一开口87、加压室91和第一密封部89大致相同的构造。位于阀室100中的第三密封部79和位于加压室91中的第四密封部80通过连接部95连接并能够一体地移动。阀室100中布置有柔性膜97，第三密封部79安装于柔性膜97。阀室100中的第三密封部79受到作为施力构件的弹簧98的施力。压力室91中布置有柔性膜96，第四密封部80安装于柔性膜96。柔性膜96形成如下的壁的一部分：其限定从循环回收流路76经过第四开口78和加压室91延伸到第二流路74的液体流路。类似地，柔性膜97形成如下的壁的一部分：其限定从循环回收流路76经过第三开口77和阀室100延伸到第一流路73的液体流路。外部开口64与加压室91中的第四密封部80相对。

在初始状态下，第一三通阀92的弹簧84的施力作用于通过连接部94连接和一体化的第一密封部89和第二密封部90，第一密封部89远离第一开口87，第一开闭阀机构25打开。第二密封部90将第二开口88封闭，并且第二开闭阀机构71关闭。类似地，第二三通阀93的弹簧98的施力作用于通过连接部95连接和一体化的第三密封部79和第四密封部80，第四密封部80远离第四开口78，第四开闭阀机构26打开。第三密封部79将第三开口77封闭，第三开闭阀机构72关闭。

当流体(例如，加压空气)流入第一三通阀92的外部开口63和第二三通阀93的外部开口64时，第一三通阀92的加压室91中的第一密封部89和第二三通阀93的加压室91中的第四密封部80被同时加压。当第一密封部89被流体加压时，第一密封部89、连接部94和第二密封部90一体地移动。结果，第一密封部89将第一开口87封闭，并且第一开闭阀机构25关闭。同时，第二密封部90与第二开口88分离，以使第二开闭阀机构71打开。当第四密封部80被流体加压时，第四密封部80、连接部95和第三密封部79一体地移动。结果，第四密封部80将第四开口78封闭，第四开闭阀机构26关闭。同时，第三密封部79与第三开口77分离，以使第三开闭阀机构72打开。以这种方式，能够驱动四个开闭阀机构，以切换液体的循环方向。

同样在本实施方式中，通过同时允许流体流入第一三通阀92的外部开口63和第二三通阀93的外部开口64，能够同时驱动四个开闭阀机构25、71、72和26。因此，能够使搭载于滑架53的液体喷出头1的液体循环单元54进一步小型化。特别地，当第一三通阀92的外部开口63和第二三通阀93的外部开口64相邻并排地配置时，能够有利于四个开闭阀机构25、71、72和26通过流体的流入而被同时驱动。本实施方式不需要可转动的摇杆机构，部件的数量少并且容易制造。

[第三实施方式]

下面将描述本公开的第三实施方式。由于本实施方式中的三通阀92和93的构造与第一实施方式和第二实施方式中的不同，所以将主要描述区别。

由于其它方面与第一实施方式和第二实施方式的相同，所以省略其描述。图8A示意性地示出了本实施方式的第一三通阀92，图8B示意性地示出了第二三通阀93。本实施方式的第一三通阀92构成第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26。第二三通阀93构成第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72。第一三通阀92包括第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26，同时打开和关闭第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26。第二三通阀93包括第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72，同时打开和关闭第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72。即，第一三通阀92打开第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26，同时第二三通阀93关闭第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72。第一三通阀92关闭第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26，同时第二三通阀93打开第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72。

第一三通阀92具有与循环供给路径75连通的加压室91，与加压室91连通的第一开口87经由液室67与第一路径73连通。第一三通阀92具有与循环回收流路76连通的加压室91，与加压室91连通的第四开口78经由液室68与第二流路74连通。向外部开放的外部开口65设置在跨过第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26的加压室91中。设置有遍及整个加压室91延伸的柔性膜116，加压部115安装于柔性膜116。加压部115面对外部开口65。循环供给流路75、循环回收流路76、第一流路73、第二流路74和外部开口65向第一三通阀92的外部开放。

第一密封部89位于加压室91中并由柔性膜113保持。第一密封部89面对第一开口87，并且受到作为施力构件的弹簧111施加的沿远离第一开口87的方向的力。类似地，第四密封部80位于压力室91中并由柔性膜114保持。第四密封部80面对第四开口78，并且受到作为施力构件的弹簧112施加的沿远离第四开口78的方向的力。第一密封部89和第四密封部80抵靠加压室91中的加压部115。因此，在初始状态下，第一密封部89、第四密封部80和加压部115通过弹簧111和112的施力而与第一开口87和第四开口78一体地分离。结果，第一开口87和第四开口78是开放的，而未被第一密封部89和第四密封部80封闭，并且循环供给流路75与第一流路73连通，循环回收流路76与第二流路74连通。即，在图8A所示的初始状态下，第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26是打开的。

如图8A所示，当流体在第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26打开的状态下从外部开口65流入时，柔性膜116在变形的同时与加压部115一起靠近第一开口87和第四开口78。由此，第一密封部89和第四密封部80分别将第一开口87和第四开口78封闭，循环供给流路75与第一流路73之间的连通以及循环回收流路76与第二流路74之间的连通分别解除和切断。即，图8A所示的初始状态转变成第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26处于关闭状态的状态。

图8B所示的第二三通阀93具有与第一三通阀92类似的结构，并且具有与循环供给流路75连通的加压室91，与加压室91连通的第二开口88经由阀室69与第二流路74连通。加压室91还与循环回收路径76连通。与加压室91连通的第三开口77经由阀室70与第一流路73连通。加压室91设置有向外部开放的外部开口66。

柔性膜110设置在加压室91中，加压部109安装于柔性膜110。加压部109面对外部开口66。循环供给流路75、循环回收流路76、第一流路73、第二流路74和外部开口66向第二三通阀93的外部开放。

移动构件108位于加压室91中并由柔性膜110保持。第二密封部90位于阀室69中并由柔性膜106保持。移动构件108和第二密封部90通过贯穿第二开口88的连接部118连接。第二密封部90面对第二开口88，并且受到作为施力构件的弹簧104施加的沿靠近第二开口88的方向的力。类似地，移动构件107位于压力室91中并由柔性膜123保持。第三密封部79位于阀室70中并由柔性膜105保持。移动构件107和第三密封部79通过贯穿第三开口77的连接部119连接。第三密封部79面对第三开口77，并且受到作为施力构件的弹簧103施加的沿靠近第三开口77的方向的力。

移动构件108和移动构件107抵靠加压室91中的加压部109。柔性膜106和105通过弹簧104和103的施力而变形，第二密封部90和第三密封部79抵靠第二开口88和第三开口77。结果，第二密封部90和第三密封部79分别将第二开口88和第三开口77封闭，循环供给流路75与第二流路74之间的连通以及循环回收流路76与第一流路73之间的连通解除和切断。即，在图8B所示的初始状态下，第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72关闭。

如图8B所示，当流体在第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72关闭的状态下从外部开口66流入时，柔性膜110在变形的同时与加压部109一起靠近第二开口88和第三开口77。结果，分别与移动构件108和移动构件107连接的第二密封部90和第三密封部79抵抗弹簧104和103的施力分别与第二开口88和第三开口77分离。结果，第二开口88和第三开口77开放，而未被第二密封部90和第三密封部79封闭，循环供给流路75与第二流路74连通，并且循环回收流路76与第一流路73连通。即，图8B所示的初始状态转变成第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72打开的状态。

由于本实施方式的三通阀92和93能够通过一个加压部115和109同时打开和关闭两个开闭阀机构，所以能够实现小型化和高效率。另外，由于能够通过从外部开口65和66流入的流体来移动加压部115和109，所以能够容易地打开/关闭开闭阀机构。例如，当使流体从与一个空气泵22连接的气动驱动路径30同时流入两个三通阀92和93的相应外部开口65和66时，进一步改善了工作效率。在图8A所示的构造中，两个开闭阀机构25和26在初始状态下是打开的，并且它们能够通过加压部115的移动而同时关闭。另一方面，在图8B所示的构造中，两个开闭阀机构71和72在初始状态下是关闭的，并且它们能够通过加压部109的移动而同时打开。因此，在图4A和图4B所示的液体循环单元54中，包括第一开闭阀机构25和第四开闭阀机构26的三通阀92如图8A所示那样构造，包括第二开闭阀机构71和第三开闭阀机构72的三通阀93如图8B所示那样构造。由此，能够容易地切换液体循环单元54中的正向液体循环和反向液体循环。

通过关闭第一三通阀92和第二三通阀93的所有开闭阀机构25、71、72和26，能够容易地进行所谓的扼流清洁(choke cleaning)。在扼流清洁中，通过关闭所有四个开闭阀机构25、71、72和26以及盖住和抽吸液体喷出头1的喷出口形成面，增大了液体流路中的负压。随后，通过打开所有四个开闭阀机构25、71、72和26，使液体流入喷出口200d并将空气从喷出口200d排出。结果，能够减少液体的初始填充时的残留气泡，并且能够进行用于排出液体路径中的气泡的恢复操作。如上所述，在本实施方式的三通阀92和93中，能够同时打开和关闭所有开闭阀机构25、71、72和26。能够使液体循环单元54小型化。

[第四实施方式]

下面将描述本公开的第四实施方式。由于本实施方式的液体循环单元54的构造与第一实施方式的不同，所以将主要描述区别。

由于其它方面与第一实施方式至第三实施方式的相同，所以省略其描述。图9示出了本实施方式的液体喷出设备的循环构造。

液体喷出设备50具有行式液体喷出头1。在行式液体喷出头1中，例如，十五个能量生成元件200e并排布置，并且能够通过针对A3尺寸用纸的整个记录宽度执行一次扫描来进行记录，从而能够进行高速打印。在行式液体喷出头1中，与能量生成元件200e的数量成比例地循环的液体的量是大的，并且从所有喷出口200d喷出的液体的量是大的。因此，为了应对当液体从所有喷出口200d喷出时的压降，在减压阀24与元件基板200的回收流路之间不布置差压阀，而是在回收侧设置减压阀60，以控制循环回收流路76的压力。通过泵21的作用从罐2经由阀122向液体喷出头1供给的液体循环经过元件基板200。开闭阀机构25、26、71和72的开闭由从空气泵22经由阀120和121向液体喷出头1供给的加压空气控制，由此决定液体的循环方向。

另外，由于液体被向十五个能量生成元件200d供给并从十五个能量生成元件200d回收，所以液体的液体流路是长的且具有大的容积，并且由于设置有减压阀24和60，所以需要长的时间来恢复抽吸等。因此，为了在直接大幅影响液体喷出的能量生成元件200d附近可靠地进行恢复处理，优选通过关闭所有开闭阀机构25、71、72和26之后打开它们来进行扼流清洁。为此，特别优选使用上述第三实施方式的三通阀92和93。

如上所述，在行式液体喷出头1中，通过使用由诸如空气压力等的流体压力驱动的开闭阀机构25、71、72和26来切换循环流路，使得搭载于液体喷出头1的液体循环单元54能够小型化。能够实现液体喷出设备主体的液体供给构造被简化的循环方向切换机构。

如在前述实施方式中，本公开的液体喷出设备包括第一流路73和第二流路74以及用于控制循环供给流路75和循环回收流路76的各自流路之间的连通和切断的多个(例如，四个)开闭阀机构25、71、72和26。开闭阀机构25、71、72和26均具有位于流路之间的开口87、88、77和78以及能够使开口87、88、77和78开闭的密封部89、90、79和80。此外，设置有用于对密封部89、90、79和80施加沿靠近或远离开口87、88、77和78的方向的力的施力构件(例如，弹簧103、104、111和112)。此外，设置有用于使密封部89、90、79和80抵抗施力构件103、104、111和112的施力而移动的移动机构。至少两个开闭阀机构的密封部通过移动机构一起移动，以控制至少两个开闭阀机构的开闭。具体地，移动机构包括加压室91、位于加压室91中的柔性构件(例如，柔性膜82、110和116)以及安装于柔性构件82、110和116的加压部43和85。在加压室91中的被加压的柔性构件82、110和116弯曲变形的同时，加压部43和85压靠密封部89、90、79和80。

然而，如在图7A和图7B所示的第二实施方式中，移动机构可以包括加压室91和位于加压室91中的柔性构件101和96，并且密封部89和80可以安装于柔性构件101和96，可以不设置加压部。在该构造中，密封部89和80在加压室91中的被加压的柔性构件101和96弯曲变形的同时移动。

如上所述，在本公开的液体喷出设备中，由于至少两个开闭阀机构的开闭由一个移动机构控制，所以不必为各开闭阀机构设置单独的移动机构。因此，能够简化液体循环单元54的构造，从而能够使整个液体喷出头1小型化。特别地，当液体循环单元54的循环供给路径75和循环回收路径76经由循环泵27连接时，液体能够容易地在搭载有元件基板200以及多个开闭阀机构25、71、72和26的滑架53中循环。

此外，当加压室91中的柔性构件82、110、116、101和96通过将流体(优选地，加压空气)引入加压室91而被加压时，能够容易地使密封部89、90、79和80移动。当柔性构件82、110、116、101和96形成限定加压室91的壁的一部分时，能够容易地实现用于通过将流体引入加压室91来使柔性构件82、110、116、101和96加压的构造。此外，通过利用柔性构件81、86、96、97、101、102、104、105、113和114形成将位于经由开闭阀机构25、71、72和26连接的流路之间的液体流路分隔的壁的一部分，能够容易地进行开闭控制。

在上述各实施方式中，允许喷出口200d附近的液体流动，但是可以仅允许共用路径中的液体流动。此外，泵、压力调节机构等不限于此，只要它们具有与上述构造等同的功能即可。例如，可以通过液罐的液头差或压力控制来进行循环或压力调节。在上述实施方式中，用于为了驱动开闭阀机构25、71、72和26而对空气加压的空气泵22搭载在设备侧，但是可以将紧凑型空气泵搭载于滑架53。在上述实施方式中，开闭阀机构25、71、72和26通过使用空气的加压来驱动，但是本公开不限于此。开闭阀机构25、71、72和26可以通过使用除了空气以外的流体的加压或减压来驱动。用于控制开闭阀机构25、71、72和26的开闭操作的施力构件不限于螺旋弹簧，而可以是板簧或其它施力构件。

根据本公开，可以提供配备有能够切换液体循环流路的小型液体喷出头的液体喷出设备。

虽然已经参照示例性实施方式描述了本公开，但是应当理解，本公开不限于所公开的示例性实施方式。权利要求书的范围应当符合最宽泛的解释，以包含所有的这些变型、等同结构和功能。

Claims (19)

1.一种液体喷出设备，其包括：

第一流路和第二流路，用于向元件基板供给或回收液体以喷出该液体；

循环供给流路，用于向所述第一流路或所述第二流路供给液体；

循环回收流路，用于从所述第一流路或所述第二流路回收液体；以及

多个开闭阀机构，用于控制各个流路之间的连通和切断，

所述开闭阀机构包括位于流路之间的开口、能够使所述开口开闭的密封部、用于对所述密封部施加朝向或远离所述开口的方向的力的施力构件以及用于使所述密封部抵抗所述施力构件的施力移动的移动机构，

其特征在于，所述移动机构使至少两个所述开闭阀机构的密封部一起移动，以控制该至少两个所述开闭阀机构的开闭。

2.根据权利要求1所述的液体喷出设备，其中，所述移动机构包括加压室、位于所述加压室中的柔性构件和安装于所述柔性构件的加压部，所述加压部在所述加压室中的被加压的所述柔性构件弯曲变形的同时压靠所述密封部。

3.根据权利要求1所述的液体喷出设备，其中，所述移动机构包括加压室和位于所述加压室中的柔性构件，所述密封部安装于所述柔性构件，所述密封部在所述加压室中的被加压的所述柔性构件弯曲变形的同时移动。

4.根据权利要求2所述的液体喷出设备，其中，所述加压室中的柔性构件通过将流体引入所述加压室而被加压。

5.根据权利要求4所述的液体喷出设备，其中，引入所述加压室的流体是加压空气。

6.根据权利要求2所述的液体喷出设备，其中，所述柔性构件形成限定所述加压室的壁的一部分。

7.根据权利要求1所述的液体喷出设备，其中，限定位于经由所述开闭阀机构连接的流路之间的液体流路的壁的一部分由柔性构件形成。

8.根据权利要求1所述的液体喷出设备，其中，至少两个所述开闭阀机构的移动机构是一体化的，以形成包括至少两个所述开闭阀机构的阀。

9.根据权利要求1所述的液体喷出设备，其中，所述液体喷出设备还包括位于所述循环供给流路与所述第一流路之间的第一开闭阀机构、位于所述循环供给流路与所述第二流路之间的第二开闭阀机构、位于所述循环回收流路与所述第一流路之间的第三开闭阀机构以及位于所述循环回收流路与所述第二流路之间的第四开闭阀机构。

10.根据权利要求9所述的液体喷出设备，其中，设置有两个包括两个所述开闭阀机构的三通阀。

11.根据权利要求10所述的液体喷出设备，其中，两个所述开闭阀机构中的每一者的开口和密封部隔着与所述开口连接的液体流路彼此面对。

12.根据权利要求10所述的液体喷出设备，其中，第一三通阀包括所述第一开闭阀机构和所述第二开闭阀机构，所述第一开闭阀机构和所述第二开闭阀机构中的一者打开的同时，另一者关闭；第二三通阀包括所述第三开闭阀机构和所述第四开闭阀机构，所述第三开闭阀机构和第四开闭阀机构中的一者打开的同时，另一者关闭。

13.根据权利要求12所述的液体喷出设备，其中，所述第一三通阀打开所述第一开闭阀机构、关闭所述第二开闭阀机构的同时，所述第二三通阀打开所述第四开闭阀机构、关闭所述第三开闭阀机构，所述第一三通阀打开所述第二开闭阀机构、关闭所述第一开闭阀机构的同时，所述第二三通阀打开所述第三开闭阀机构、关闭所述第四开闭阀机构。

14.根据权利要求12所述的液体喷出设备，其中，所述密封部是能够绕着轴转动的摇杆机构的一部分。

15.根据权利要求14所述的液体喷出设备，其中，设置有用于限制所述摇杆机构的转动运动的范围的限制部。

16.根据权利要求10所述的液体喷出设备，其中，第一三通阀包括所述第一开闭阀机构和所述第四开闭阀机构；所述第一开闭阀机构和所述第四开闭阀机构同时开闭；第二三通阀包括所述第二开闭阀机构和所述第三开闭阀机构；所述第二开闭阀机构和所述第三开闭阀机构同时开闭。

17.根据权利要求16所述的液体喷出设备，其中，所述第一三通阀打开所述第一开闭阀机构和所述第四开闭阀机构的同时，所述第二三通阀关闭所述第二开闭阀机构和所述第三开闭阀机构，所述第一三通阀关闭所述第一开闭阀机构和所述第四开闭阀机构的同时，所述第二三通阀打开所述第二开闭阀机构和所述第三开闭阀机构。

18.根据权利要求16所述的液体喷出设备，其中，所述第一开闭阀机构的施力构件和所述第四开闭阀机构的施力构件均对所述密封部施加朝向所述开口的方向的力，所述第二开闭阀机构的施力构件和所述第三开闭阀机构的施力构件均对所述密封部施加远离所述开口的方向的力。

19.根据权利要求1所述的液体喷出设备，其中，所述循环供给流路和所述循环回收流路经由循环泵连接，液体在搭载有所述元件基板和多个所述开闭阀机构的滑架中循环。

Images