CN114571356A - 研磨用带盒更换装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种研磨用带盒更换装置。根据本发明的一个方面，提供一种研磨用带盒更换装置，该研磨用带盒更换装置将为了进行研磨而安装并使用于研磨装置的带盒安装到研磨装置或从研磨装置分离而更换。

Description

研磨用带盒更换装置

技术领域

本发明涉及一种自动地更换用于对基板中产生的缺陷进行研磨的研磨用带的装置。

背景技术

此部分中描述的内容只是提供对于本实施例的背景信息而已，并不构成现有技术。

最近，厚度薄且重量轻的平板显示器(Flat Panel Display)领域随着对诸如移动电话、笔记本电脑、PDA(Personal Digital Assistants，个人数字助理)以及大型电视机等显示器的需求增加而在发展。

这种平板显示器中有液晶显示装置(Liquid Crystal Display,LCD)、有机电致发光显示装置(Organic Light Emitting Display,OLED)等，而平板显示器的核心在于平板显示面板，该平板显示面板以薄膜形态将以矩阵形态排列的多个像素沉积于透明的基板之间而具体实现多种颜色。

然而，在形成薄膜的工序中，由于薄膜的不均匀性和异物等的流入而会频繁地产生突起形态的缺陷，而这种突起缺陷会产生基板之间的高度偏差，从而降低光的透射率，且还会导致电气短路或断路。

因此，通常是利用研磨用带而去除基板中产生的突起缺陷。将研磨用带保管在盒中，并利用单独的研磨装置等而一边以一定的速度卷绕带一边蚀刻突起而去除缺陷。

然而，过去都是通过管理员的手工作业执行了将盒安装于研磨装置并将盒内部的研磨用带使用于研磨的过程以及至在研磨中带用尽之后从研磨装置分离盒为止的所有过程。因此，存在每当带用尽时管理员须逐个更换的不便。

发明内容

(发明所要解决的问题)

本发明的一个实施例的一个目的在于提供一种研磨用带盒(Polishing TapeCase)更换装置，该研磨用带盒更换装置将为了进行研磨而安装并使用于研磨装置的带盒安装到研磨装置或从研磨装置分离而更换。

(解决问题所采用的措施)

根据本发明的一个方面，提供一种盒更换装置，其更换用于研磨基板中缺陷的带盒，所述盒更换装置的特征在于，包括：托盘(Pallet)，保管使用于研磨之前的带的使用前的带盒或保管使用于研磨之后的带的使用后的带盒安放于上述托盘；安放部，为了从上述托盘传送至研磨装置而使用前的带盒安放于上述安放部，或者为了从上述研磨装置传送至上述托盘而使用后的带盒安放于上述安放部；第一传送部，其与带盒的一部分结合而将使用前的带盒从上述托盘传送至上述安放部，或者将使用后的带盒从上述安放部传送至上述托盘；第二传送部，其与安放于上述安放部的使用前的带盒结合而将使用前的带盒传送至上述研磨装置，或者与结合在上述研磨装置上的使用后的带盒结合而将使用后的带盒传送至上述安放部；以及控制部，其控制上述第一传送部和上述第二传送部的工作。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述托盘包括从底面铅直地向上方突出的突起部而安放并固定带盒。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述托盘以中央为中心在一侧仅包括一个突起部，在相反侧包括两个以上的突起部。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述第一传送部和上述第二传送部包括感测是否接近带盒的传感器。

根据本发明的一个方面，本发明的盒更换装置的特征在于，上述安放部包括感测带盒是否安放于上述安放部的传感器。

(发明的效果)

如上所说明，根据本发明的一个方面，本发明的研磨用带盒更换装置由于将为了进行研磨而安装并使用于研磨装置的带盒安装到研磨装置或从研磨装置分离而更换，因而具有无需管理员逐个烦琐地更换研磨用带盒的优点。

附图说明

图1是图示了根据本发明一个实施例的缺陷研磨系统的图。

图2是根据本发明一个实施例的带盒的立体图。

图3是根据本发明一个实施例的带盒的分解立体图。

图4是根据本发明一个实施例的轮的立体图。

图5是根据本发明一个实施例的盒更换装置的立体图。

图6是根据本发明一个实施例的托盘的立体图。

图7是图示了根据本发明一个实施例的盒固定部的图。

图8是图示了根据本发明一个实施例的安放单元的图。

图9是图示了根据本发明一个实施例的第二传送单元的图。

(附图标记的说明)

100：缺陷研磨系统；110：带盒；120：盒更换装置；130：研磨装置；

200：壳体；210：结合孔；220：第一固定孔；230：第一安放孔；

240：第二固定孔；250：研磨部进入孔；260：第二安放孔；

310、315：槽部；320、325：轮；330：研磨用带；340、350：固定部；

345、355：突出部；360：自由辊；370：张力条；380：带排出口；

410：第一进入孔；415、425：结合孔；420：第二进入孔；

510：托盘；520：第一传送单元；522：盒固定部；524：马达；

526、528、820、960：移动轨道；530：安放单元；540：第二传送单元；

610：突起部；710：结合单元；720、815：突出部；730、830、940：传感器；

810：结合单元；910：结合部；920：轴；930：加压部；950：传送部。

具体实施方式

本发明能够实施多种变更且能够具有各种实施例，因而要在附图中例示特定实施例并详细地进行说明。但这并不是要将本发明限定在特定的实施方式，而应当理解为包括落入本发明的思想以及技术范围的所有变更、等同物或替代物。在说明各附图时，对于相似的构成要素使用了相似的附图标记。

第一、第二、A、B等用语能够使用于说明多种构成要素，但上述各构成要素不得由上述用语所限定。上述用语仅使用于使一个构成要素区别于其它构成要素的目的，例如，在不逸出本发明的权利范围的情况下第一构成要素可以命名为动力单元要素，与此类似地、动力单元要素也能够命名为第一构成要素。所谓“和/或”的用语包括多个相关联而记载的项目的组合或多个相关联而记载的项目中的某一项目。

在提及到某一构成要素与另一构成要素“连接”或者“接触”时，虽然有可能与该另一构成要素直接连接或接触，但应当理解为在两者之间还可以存在其它构成要素。相反，在提及到某一构成要素与另一构成要素“直接连接”或者“直接接触”时，应当理解为在两者之间并不存在其它构成要素。

本申请中所使用的用语只是为了说明特定的实施例而使用的，并无限定本发明的用意。单数表达除非在文理上有明显不同的含义就包括复数表达。在本申请中，“包括”或“具有”等用语应当理解为并不是预先排除说明书中所记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、零部件或它们的组合的存在或附加可能性。

除非另有定义，否则包括技术性或科学性用语在内这里所使用的所有用语具有与由本领域普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。

如通常使用的词典中所定义的用语应当解释为具有与相关技术的文理所具有的含义一致的含义，除非在本申请中明确地定义，否则不得理想地或过度地解释成形式上的含义。

另外，包括在本发明的各实施例中的各构成、过程、工序或方法等可以在技术上互不矛盾的范围内共享。

图1是图示了根据本发明的一个实施例的缺陷研磨系统的图。

参照图1，根据本发明的一个实施例的缺陷研磨系统100包括带盒110、盒更换装置120以及研磨装置130。

带盒110保管用于去除基板上产生的突起缺陷的研磨用带。就带盒110而言，在内部能够安装并固定研磨用带，在外部具有能够被固定的构造，以安装于盒更换装置120或研磨装置130而能够被传送或研磨缺陷。即，仅仅到在带盒110内安装研磨用带为止经管理员的手，带盒110从安放于盒更换装置120之后开始能够稳定地安装于盒更换装置120而被传送或安装于研磨装置130而对研磨部位进行研磨。下面将参照图2至图4描述带盒110的具体构造。

盒更换装置120用已安装于其中的新的带盒110来更换由研磨装置130所耗尽的带盒110。盒更换装置120保管通过管理员而安装有研磨用带的使用前的盒(以下简称为“使用前的盒”)和被研磨装置130用尽了研磨用带的使用后的盒(以下简称为“使用后的盒”)。此时，盒更换装置120将保管中的使用前的盒传送至研磨装置130而安装。此后，在研磨装置130用尽了使用前的盒中的研磨用带的情况下，盒更换装置120根据研磨装置130的信号将使用后的盒从研磨装置130分离而保管，且将新的使用前的盒传送至研磨装置130并安装。下面将参照图5至图9描述盒更换装置120的具体构造。

研磨装置130利用带盒110内的研磨用带而研磨基板中的突起缺陷。研磨装置130感测基板中的突起缺陷的位置或从单独的缺陷检测装置接收缺陷的位置信息。研磨装置130接收并固定从盒更换装置120传送的(使用之前的)带盒，并使研磨用带突出到突起缺陷的位置而研磨缺陷。研磨装置130将旋转力施加到带盒110内，以使研磨用带在其被配置的位置以一定的速度退绕且使退绕的研磨用带在另一位置以一定的速度卷绕。这样，若退绕并卷绕的研磨用带与突起缺陷接触，则突起缺陷通过研磨用带的移动速度被研磨。利用这种特性，研磨装置130在固定被传送的带盒之后将旋转力施加到带盒110内以使研磨用带以一定的速度退绕并卷绕，并使研磨用带的一个位置与突起缺陷接触而研磨缺陷。为了研磨缺陷，研磨装置130感测带盒110内的研磨用带是否已用尽而判断是否要更换带盒110。在判断为需要更换带盒110的情况下，研磨装置130使盒更换装置120能够更换带盒110。

这样，由于盒更换装置120和研磨装置130工作且带盒110具有能够安装于各装置120、130而被传送或能够固定于各装置120、130的构造，因此，能够自动地执行带盒110安装和更换于各装置而无需管理员干预。

图2是根据本发明的一个实施例的带盒的立体图，图3是根据本发明的一个实施例的带盒的分解立体图。

参照图2和图3，根据本发明的一个实施例的带盒110包括结合孔210、第一固定孔220、第一安放孔230、第二固定孔240、研磨部进入孔250、第二安放孔260、槽部310、315、轮320、325、固定部340、350、自由辊360以及张力条370。

在带盒110的壳体200形成有结合孔210、第一固定孔220、第一安放孔230、第二固定孔240、研磨部进入孔250、第二安放孔260以及槽部310、315。

结合孔210是形成于壳体200中两个侧面的构造，是用于与盒更换装置120内的第一传送单元(下面参照图5进行描述)结合的构造。结合孔210不是形成于带盒110与盒更换装置120或研磨装置130结合的面，而是形成于与该面垂直的侧面。在第一传送单元中包括用于与结合孔210结合的、以与结合孔的直径相同或相似的直径突出的构成要素。结合孔210与第一传送单元中的上述的构成要素(未图示)结合而能够使带盒110整体通过第一传送单元(未图示)得到传送。此时，由于第一传送单元主要是在盒(高度方向上的)上部与带盒110结合而沿高度方向(z轴方向)传送带盒110，因此，结合孔210可以形成于两个侧面中的(高度方向上的)上部。

在壳体200的一个侧面可以形成有一个结合孔210c，且在另一个侧面可以形成有2个或其以上的结合孔210a、210b。若是在两个侧面均仅形成有一个结合孔的情况，则在第一传送单元与结合孔210结合而传送带盒110的过程中存在带盒110在与侧面垂直的轴线方向上晃动的忧虑。为了防止这种情况，在壳体200的一个侧面形成有2个或其以上的结合孔210a、210b。虽然可以在所有侧面形成2个或其以上的结合孔，但在这种情况下，结合孔与第一传送单元的突出的构成要素的结合需要相当长的时间，且需要非常高的结合精度。因此，为了防止在传送过程中带盒110旋转并防止在结合的过程中过度地消耗长时间而在壳体200的一个侧面形成有一个结合孔210c并在另一个侧面形成有2个或其以上的结合孔210a、210b。

第一固定孔220形成于壳体200中的与盒更换装置120相对的面，且与盒更换装置120结合而使盒更换装置120能够固定带盒110。第一固定孔220以长度在一定方向上长的形态形成于壳体200中的与盒更换装置120相对的面。与第一固定孔220结合的盒更换装置120中的构成要素也可以同样地以长度在一定方向上长的形态具体实现并能够旋转。因此，盒更换装置120中的构成要素进入第一固定孔220且在进入的状态下旋转。因此，盒更换装置120中的构成要素除非旋转至进入时的方向，否则不能从第一固定孔220脱出。由于盒更换装置120中的构成要素通过这种构造与第一固定孔220结合，因此，带盒110能够被固定而不会朝盒更换装置120中的构成要素所进入的方向(y轴方向)脱离。

第一安放孔230是形成于壳体中的两个侧面的构造，其可以与盒更换装置120中的安放单元(下面将参照图5进行描述)结合并实现安放于安放单元。第一安放孔230形成于壳体中的两个侧面的(高度方向上的)下部。盒更换装置120中的安放单元包括用于与第一安放孔230结合的、以与第一安放孔230的直径相同或相似的直径突出的构成要素。因此，若带盒110安放于安放单元，则第一安放孔230与上述的构成要素结合，从而带盒110能够安放于安放单元并被固定直至与第一传送单元或第二传送单元(下面将参照图5进行描述)结合而被传送之前为止。

第二固定孔240形成于壳体中的与研磨装置130相对的面，其与研磨装置130结合而能够使研磨装置130固定带盒110。在研磨装置130中包括用于与第二固定孔240结合的、以与第二固定孔240的直径相同或相似的直径突出的构成要素。因此，第二固定孔240使带盒110与研磨装置130结合而防止在研磨过程中脱离。

研磨部进入孔250是形成于壳体中上表面的构造，其能够使得用于使研磨用带向缺陷的位置突出的研磨装置130中的构成要素进入。研磨部进入孔250以与研磨装置130中的上述的构成要素相同或相似的大小具体实现。研磨部进入孔250在带盒110与研磨装置130结合并被固定之后能够使上述的构成要素使研磨用带向突起缺陷突出。

第二安放孔260是形成于壳体中的下表面的构造，其能够使带盒110安放于盒更换装置120中的托盘(下面将参照图5进行描述)。托盘包括用于与第二安放孔260结合的、以与第一安放孔230的直径相同或相似的直径突出的构成要素。带盒110通过盒更换装置120中的第一传送单元来传送至托盘或通过管理员而最初以托盘中的上述的构成要素与第二安放孔260结合的方式得到安放。由于两个构成要素结合，因此，带盒110能够保持安放于托盘中的状态而不会从托盘脱离。

可以在壳体中的下表面的一侧形成两个或其以上的第二安放孔260a、260b并在另一侧仅形成一个第二安放孔260c。管理员将使用前的带盒110安放到盒更换装置120中的托盘。此时，管理员须将许多带盒110安放到托盘，在该过程中，有可能在未准确地确认带盒110的方向的情况下安放到托盘。就带盒110而言，由于其与盒更换装置120和研磨装置130结合的方向互不相同，因此须沿着正确的方向配置。因此，在管理员最初将使用前的带盒110安放到托盘时，即使并不非要逐个准确地确认方向也能够配置到托盘。

槽部310、315是形成于壳体中的与研磨装置130相对的面上的通孔，其使研磨装置130中的构成要素能够进入到轮320、325。槽部310、315是分别形成于要配置轮320、325的场所的通孔，其使得向轮320、325提供旋转力或者与轮320、325结合而固定带盒110的研磨装置130中的构成要素能够进入到轮320、325。

轮320、325能够用于安放研磨用带330或研磨用带的末端并接受来自外部的旋转力而使带退绕(unwind)。

第一轮320具有研磨用带330能够安放的构造而用于安放研磨用带330。通常，研磨用带330由于具有接受旋转力而进行退绕的构造，因此在中央具备通孔以能够旋转。第一轮320具有能够与通孔结合的突出构成，从而能够用于安放研磨用带330。

第二轮325具有研磨用带的末端能够结合的构造，因而接受来自外部的旋转力而卷绕研磨用带的末端。在第二轮325结合安放于第一轮320的研磨用带330的末端。因此，在第二轮325接受旋转力而卷绕研磨用带的末端的情况下，研磨用带330在第一轮320退绕。研磨用带330通过第一轮320和第二轮325的工作而能够以一定的速度退绕。第一轮320和第二轮325的具体构成图示于图4中。

图4是根据本发明的一个实施例的轮的立体图。

参照图4(a)，第二轮325包括第二进入孔415。经由槽部315进入的研磨装置130中的传递旋转力的单元(以下称为“动力单元”,未图示)进入第二进入孔415。动力单元(未图示)进入第二进入孔415而施加旋转力，从而第二轮325能够旋转。此时，各第二进入孔415的末端形成为逐渐变窄(Tapering)以使动力单元(未图示)能够顺利地进入。另外，动力单元能够接受从研磨装置130提供的动力而主动地改变位置以与第二进入孔415完整地结合。动力单元(未图示)难以一次就进入形成有第二进入孔415的部位。动力单元(未图示)能够接受所提供的动力而主动地改变位置并进入第二进入孔415。由于动力单元(未图示)能够改变位置，因此，第二进入孔415以相对小(与第一进入孔相比)的面积具体实现，从而动力单元(未图示)在之后对第二轮325施加旋转力时能够更顺利地施加旋转力。

第二轮325在中央部包括研磨装置130中的用于固定带盒110的构成要素能够进入的结合孔425。结合孔425在与朝向研磨装置的方向相反的方向上仅以既已设定的长度(研磨用带的厚度以上)突出，且在朝向研磨装置130的方向上具有上述的构成要素所能够进入的孔，从而上述的构成要素能够仅以一定长度进入而实现研磨用带的安放。研磨装置130中的上述的构成要素进入到结合孔425中，从而第二轮325在旋转的过程中能够固定于既定位置而不会沿高度方向上升、下降或偏向侧面。

参照图4(b)，第一轮320包括第一进入孔410。研磨装置130中的用于固定带盒110的单元(以下简称为“固定单元”)进入第一进入孔410。无论怎样，研磨用带330安放成横跨两个轮320、325，因而即使仅有一个轮旋转，两个轮也均能够旋转，因此，研磨装置130无需在两个轮均具备用于施加旋转力的动力单元和动力源。因此，不是非要动力单元进入第一进入孔410，而是固定单元进入第一进入孔410。

与第二进入孔415相同地，第一进入孔410的末端也形成为逐渐变窄(Tapering)。然而，第一进入孔410具有相对大于第二进入孔415的面积。如上所述，进入第二进入孔415的动力单元能够主动地改变位置，因此，即使最初进入的位置不是形成有第二进入孔415的部位，也能够改变位置。但是，进入第一进入孔410的是固定单元而不是动力单元。固定单元由于不是接受所提供的动力的构成要素，因而不能如动力单元那样改变位置。因此，若第一进入孔410以与第二进入孔415相同的面积具体实现，则会发生固定单元难以进入的情况。为了防止这种情况，第一进入孔410具有相对大于第二进入孔415的面积。

与第二轮325相同地，第一轮320也在中央部包括结合孔420。研磨装置130中的用于固定带盒110的构成要素进入结合孔420中。

如图4所示，各进入孔410、415可以形成于各结合孔420、425的周边。

重新参照图2和图3，固定部340、350与轮320、325结合而防止安装于轮的研磨用带330或研磨用带的末端脱离。即使研磨用带330安放于轮或研磨用带的末端与轮结合，在旋转过程中，研磨用带330或研磨用带的末端由于离心力等而也会沿着远离进入的研磨装置130的方向(+y轴方向)脱离。为了防止这种情况，固定部340、350(在与朝向研磨装置的方向相反的方向上)与各轮的结合孔420、425结合。由于固定部340、350与各轮的结合孔420、425结合，因此，防止安放于各轮320、325的研磨用带330或研磨用带的末端脱离。

在各固定部340、350的一个位置(例如，中央)可以形成朝向研磨装置的各构成要素进入的方向(+y轴方向)突出的突出部345、355。突出部345、355朝向该方向突出，从而可以减小固定部340、350与张力条(tension bar)370接触的面积。若固定部340、350与张力条370直接接触，则接触面积变大。接触面积的增加会导致固定部340、350对研磨用带330进行加压的强度的增加，因此存在给研磨用带330的旋转带来影响的可能性。为了防止这种情况，各固定部340、350包括突出部345、355以减小接触面积。

自由辊360安放于带盒110内而调节退绕的研磨用带330的路径。自由辊360具有圆柱形态以防阻碍研磨用带330的行进，且配置于研磨用带330所要经由的路径上。若研磨用带330安放于第一轮320并接受旋转力而退绕，则自由辊360并不是使退绕的研磨用带330径直卷绕于第二轮325，而是使退绕的研磨用带330经由自由辊360之后卷绕于第二轮325。自由辊360使研磨用带330经由自由辊360自身，从而调节研磨用带330的路径。此时，自由辊360可以位于带排出口380所在的下端。因此，研磨用带330经由各自由辊360并经过带排出口380而暴露于外部，并能够卷绕于第二轮325。由于研磨用带330以在带排出口380暴露的方式行进，因此，通过进入到研磨部进入孔250的(用于使研磨用带突出的)研磨装置130中的构成要素而能够使研磨用带330突出于带排出口380的外部。

就张力条370而言，其一个面与带盒110的壳体200接触且另一个面分别与固定部340、350接触，从而防止固定部340、350脱离。张力条370以具有张力(tension)的部件具体实现并配置于壳体200与固定部340、350之间。会存在固定部340、350、主要是固定部340在研磨装置的各构成要素所进入的方向(+y轴方向)上承受来自研磨用带330的过大的力的情况。尽管固定部340与第一轮320已结合，也会存在结合力不足以防止研磨用带330脱离的状况。张力条370由于利用与固定部340、350结合的面相反的侧的面而与带盒110的壳体200接触，因此，能够防止固定部340、350脱离。

缓冲部件375可以附着于张力条370与固定部340、350接触的部分的相反侧的面上。如上所述，在从固定部340、350、主要是从固定部340作用过大的力的情况下，张力条370与固定部340、350接触的部分的相反侧的面会与壳体200激烈地碰撞。在这种情况下或这种情况持续地重复的情况下，会给张力条370或壳体200带来坏影响。为了防止这种情况，在张力条370与固定部340、350接触的部分的相反侧的面附着缓冲部件375而减轻冲击。缓冲部件375可以由如硅酮或凝胶那样的冲击吸收性能优良的材料具体实现。

如上所述，带盒110通过具备于壳体200中的多种构成要素而在与盒更换装置120或研磨装置130自动地结合时能够容易地结合而被传送。

图5是根据本发明的一个实施例的盒更换装置的立体图。

参照图5，根据本发明的一个实施例的盒更换装置120包括托盘510、第一传送单元520、安放单元530、第二传送单元540以及控制部(未图示)。

托盘(Pallet)510保管使用前的盒或使用后的盒。托盘510保管通过管理员而安装的使用前的盒，或者保管通过第一传送单元520传送而来的使用后的盒。托盘510具有用于在保管使用前的盒或使用后的盒时防止盒脱离的构造。托盘510的构造图示于图6中。

图6是根据本发明的一个实施例的托盘的立体图。

参照图6，根据本发明的一个实施例的托盘510包括突起部610。

突起部610是从托盘510的底表面铅直地向上方突出的构成要素，其与带盒中的安放孔260结合而固定带盒。突起部610也是以与安放孔260对应的方式以中央为中心在一侧形成有2个或其以上的突起部610a、610b且在另一侧形成有一个突起部610c。由于以中央为中心形成有数量互不相同的突起部610，因此，管理员在将使用前的盒110安放于托盘510时，能够顺利地把握前后方向。

重新参照图5，第一传送单元520将安放于托盘510的使用前的盒移动至安放单元530或将安放于安放单元530的使用后的盒传送至托盘510。在托盘510安放有多个带盒，其中适当的带盒选择性地被传送或传送而来。因此，将带盒从托盘510直接传送并安装到研磨装置130存在困难，即使可进行也要消耗相当长的时间。因此，第一传送单元520首先将安放于托盘510的使用前的盒中的适当的盒移动至安放单元530且最终将安放于安放单元530的使用后的盒传送至托盘510。

如上所述，将安放于托盘510的带盒直接传送至研磨装置130存在困难且效率低，因此，托盘510和安放单元530配置于互不相同的位置。就两者510、530而言，高度(z轴方向)可以互不相同，且在前后方向(带盒通过盒更换装置来接近研磨装置的方向，y轴方向)上也可以位于不同的位置。因此，第一传送单元520将带盒固定并沿高度方向和/或前后方向传送而传送至托盘510或安放单元530。

第一传送单元520包括盒固定部522、马达524、第一移动轨道526以及第二移动轨道528。

盒固定部522与带盒110中的结合孔结合而固定带盒。盒固定部522的具体构造图示于图7中。

图7是图示了根据本发明的一个实施例的盒固定部的图。

参照图7，盒固定部522包括结合单元710、突出部720、传感器730以及马达(未图示)。

结合单元710具有与带盒110的壳体上部相同的形状，从而能够将带盒110完整地固定而不会脱离。结合单元710由以传感器730为中心分离的两个构成要素710a、710b具体实现，各构成要素具有如带盒110的壳体上部那样的

字形或与其对称的形状。因此，防止在带盒110中的结合孔210与突出部720结合时带盒110的壳体上部受阻于结合单元710而不能完整地结合的问题。

突出部720是从结合单元710的末端朝向内侧方向(各结合单元彼此相对的方向)突出的构成，其与带盒110中的结合孔210结合而固定带盒110。突出部720具有与结合孔210的直径相同或相似的直径而能够进入结合孔210。突出部720也以与结合孔210相同的数量形成。尤其，结合孔210以互不相同的数量形成于(带盒的)壳体的两个侧面，与此相同地，突出部720也是以互不相同的数量形成。由此，能够保障结合力以及防止带盒110晃动，并且能够防止在结合过程中消耗过长的时间。

传感器730配置在高度方向的面向下表面的方向上而检测带盒110的接近。若盒固定部522在未另行感测的情况下向带盒110行进，则盒固定部522和带盒110碰撞而会导致双方或一方损坏。为了防止这种情况，传感器730配置在上述的方向而检测带盒110。

马达(未图示)提供用于调节结合单元710的两个构成要素710a、710b之间的间隔的动力。若结合单元710的两个构成要素710a、710b仅以与带盒110的壳体上部的宽度相同的宽度隔开而接近带盒110，则在固定带盒时会消耗相当长的时间。因此，马达(未图示)调节结合单元710的两个构成要素710a、710b之间的间隔而减小固定带盒的过程中的固定难度和消耗的时间。最初，在为了固定带盒而接近带盒110时，使两个构成要素之间的间隔比壳体上部的宽度宽，从而便于接近。在结合单元710接近到适当的位置的情况下，使两个构成要素的宽度变窄到壳体上部的宽度程度，从而突出部720与结合孔210能够结合。

重新参照图5，马达524提供使盒固定部522能够沿着第一移动轨道526或第二移动轨道528移动的动力。

第一移动轨道526提供使盒固定部522能够沿着高度方向(z轴方向)移动的路径。第一移动轨道526由于配置在高度方向上，因而能够使盒固定部522接受来自马达524的动力而在第一移动轨道526上移动。

第二移动轨道528与第一移动轨道526的高度方向上的下部连接而使第一移动轨道526沿着前后方向(y轴方向)移动。第二移动轨道528由于配置在高度方向上，因而能够使第一移动轨道526接受来自马达524的动力而在第二移动轨道528上沿着前后方向移动。

由于包括上述的构成，因此，第一传送单元520能够将带盒110固定而从托盘510和安放单元530中的一方传送至另一方。

安放单元530用于安放各带盒直至通过第一传送单元520来传送的使用前的盒被传送到研磨装置130之前为止或直至通过第二传送单元540来传送的使用后的盒被传送到托盘510之前为止。安放单元530的构造详细地图示于图8中。

图8是图示了根据本发明的一个实施例的安放单元的图。

参照图8，根据本发明的一个实施例的安放单元530包括结合单元810、移动轨道820、传感器830以及马达(未图示)。

结合单元810是从安放单元530的移动轨道820铅直地向上方突出的构成，其与安放到安放单元530的带盒结合并固定带盒。

结合单元810以2个构成要素810a、810b具体实现，且在两者彼此相对的方向的面上包括朝向该方向突出的突出部815。突出部815朝向两者彼此相对的方向突出而与安放于安放单元530的移动轨道820的带盒中的第一安放孔230结合。突出部815具有与第一安放孔230的直径相同或相似的直径而与第一安放孔230结合，安放于安放单元530的带盒110通过两者230、815的结合而安放并固定于安放单元530。

移动轨道820用于安放被传送到安放单元530的带盒，且能够使结合单元810沿着移动轨道820自身移动。

移动轨道820能够使带盒110完整地安放于移动轨道820自身的上端。移动轨道820具有大于等于带盒110壳体的宽度的宽度且具有平坦的构造。因此，移动轨道820能够使带盒110完整地安放于移动轨道820自身的上端以防已被安放的情况下脱离。

移动轨道820提供使结合单元810的各构成要素远离或靠近的路径。因此，结合单元810的各构成要素810a、810b能够接受由马达(未图示)提供的动力而在移动轨道820上移动。在带盒110接近安放单元530而要安放于移动轨道820上的情况下，各构成要素810a、810b能够拉开彼此之间的间隔而使带盒110容易地得到安放。另一方面，在带盒110完整地安放于移动轨道820上的情况下，各构成810a、810b缩短彼此之间的间隔，以使突出部815与第一安放孔230能够结合。

传感器830配置在面向安放单元530中的移动轨道820的方向上而感测接近移动轨道820的带盒。传感器830能够感测带盒向移动轨道820的接近并根据是否接近而使结合单元810适当地移动。

重新参照图5，第二传送单元540将安放于安放单元530的使用前的盒传送至研磨装置130，或者将使用后的盒从研磨装置130传送至安放单元530。第二传送单元540以高度方向(z轴方向)或前后方向(y轴方向)为基准配置于与研磨装置130相同或相似的位置。第二传送单元540位于比安放单元530更远离研磨装置130的位置而将安放于安放单元530的使用前的盒传送至研磨装置130或将使用后的盒从研磨装置130传送至安放单元530。第二传送单元540的详细的构造图示于图9中。

图9是图示了根据本发明的一个实施例的第二传送单元的图。

参照图9，根据本发明的一个实施例的第二传送单元540包括结合部910、轴920、加压部930、传感器940、传送部950、移动轨道960以及马达(未图示)。

结合部910具备与带盒中的第一固定孔220的形状对应的形状而进行与带盒的拆装。

如上所述，第一固定孔220以长度在一定方向上长的形态具体实现，与此相同地、结合部910也以长度在一定方向上长的形态具体实现以能够进入到第一固定孔220中。最初，结合部910的长的部分位于与第一固定孔相同的方向上。在传送部950将框架900传送到安放于安放单元530的带盒附近(+y轴方向)的情况下，结合部910进入第一固定孔220内部。此后，结合部910通过轴920来旋转既已设定的角度，例如，沿一个方向仅旋转90度的角度。若结合部910在进入到第一固定孔220中之后旋转，则长度长的部分的方向在第一固定孔220、结合部910彼此之间互不相同。因此，防止带盒110在盒更换装置120靠近其自身的方向(+y轴方向)上脱离。另外，结合部910由于位于第一固定孔220中，因而具有支撑第一固定孔220的构造。因此，结合部910在高度方向上也支撑带盒110以防脱离。

另一方面，如上所述，在须分离已与结合部910自身结合的带盒的情况下，结合部910通过轴920来重新旋转以使结合部910与第一固定孔220的长度长的部分的方向彼此相同。结合部910重新从第一固定孔220分离，通过结合部910的带盒的固定也被解除。

轴920与结合部910连接并接受来自马达(未图示)的动力而在靠近或远离带盒的方向(y轴方向)上伸缩或旋转。结合部910通过轴920的伸缩而能够靠近或远离安放于安放单元530的带盒。随着轴920旋转，结合部910也一起旋转，从而结合部910能够与第一固定孔220结合或从第一固定孔220分离。

加压部930与带盒的壳体接触并对带盒的壳体进行加压。加压部930是沿着从框架900朝向安放于安放单元530的带盒的方向(+y轴方向)突出的构成。加压部930与带盒的壳体接触并沿着朝向安放于安放单元530的带盒的方向(+y轴方向)对带盒的壳体进行加压。因此，通过加压部930的加压而防止带盒沿盒更换装置120远离自身的方向(-y轴方向)脱离。通过结合部910来防止带盒在高度方向上脱离或沿盒更换装置120靠近自身的方向(+y轴方向)脱离，通过加压部930还防止带盒沿盒更换装置120远离自身的方向(+y轴方向)脱离，因此，在第二传送单元540的传送过程中能够完整而无晃动地传送至研磨装置130。

另一方面，在框架900通过传送部950来远离安放于安放单元530的带盒的情况下，通过加压部930的加压中断，且带盒的固定也被解除。

加压部930能够以多个构成要素具体实现以防在对带盒进行加压时带盒以一定角度扭曲。例如，如图9中所图示，能够以3个构成要素930a、930b、930c形成三角形的方式配置加压部930。然而，未必限定于此，只要能够进行加压而不会使带盒以一定角度扭曲则能够以多种构造来配置数量各异的加压部。

传感器940沿着朝向安放单元530的方向配置在框架900上而感测框架900与配置于安放单元530的带盒110有多接近。传感器940感测与带盒110的接近程度，以使结合部910和加压部930能够适当地移动而与带盒中的各构成要素结合。

传送部950接受从马达(未图示)提供的动力而将框架900以靠近或远离安放于安放单元530的带盒的方式传送。如上所述，传送部950将框架900传送至安放于安放单元530的带盒附近，以使结合部910能够进入第一固定孔220或使加压部930能够对带盒的壳体进行加压。相反，为了从第二传送单元540分离带盒，传送部950将框架900以远离安放于安放单元530的带盒的方式传送，从而结合部910从第一固定孔220分离或加压部930中断对于带盒的壳体的加压。

移动轨道960接受从马达(未图示)提供的动力而使包括传送部950的框架900整体能够靠近或远离研磨装置130。若使用前的盒已安放于安放单元530，则使用前的盒须以依旧由结合部910和加压部930固定并结合的状态传递至研磨装置130。相反，若是研磨用带在研磨装置130已用尽的情况，则使用后的盒须以依旧由结合部910和加压部930固定并结合的状态从研磨装置130传送至安放单元530。移动轨道960接受从马达(未图示)提供的动力而使包括传送部950的框架900整体能够靠近或远离研磨装置130，以使带盒能够传送至研磨装置130或安放单元530。

重新参照图5，控制部(未图示)控制盒更换装置120中的各构成要素的工作。

控制部(未图示)将托盘510的位置、托盘510中的各突起部的位置、安放单元530的位置以及研磨装置130的位置均预先存储。因此，各传送单元520、540能够将带盒从特定位置传送至其它位置。

控制部(未图示)控制第一传送单元520以将安放于托盘(未图示)的使用前的盒传送至安放单元530。控制部(未图示)控制第一传送单元520移动到托盘(未图示)中的特定使用前的盒的位置。此时，控制部(未图示)从第一传送单元520中的传感器730接收感测值而使盒固定部522能够位于适当的位置。控制部(未图示)控制第一传送单元520以将使用前的盒传送至安放单元530。此时，控制部(未图示)从安放单元530中的传感器830接收感测值而进行控制使得结合单元810能够以适当的间隔拉开。控制部(未图示)控制第一传送单元520和安放单元530中的结合单元810以能够将使用前的盒在安放到移动轨道820上之后固定。

控制部(未图示)控制第二传送单元540以将安放于安放单元530的使用前的盒传送至研磨装置130。控制部(未图示)控制马达(未图示)即以使结合部910通过轴920来接近使用前的盒的方式进行控制。控制部(未图示)控制马达(未图示)以使轴920仅旋转既已设定的角度。此后，控制部(未图示)控制马达(未图示)即以使框架900接近使用前的盒的方式进行控制。此时，控制部(未图示)从传感器940接收感测值而控制马达(未图示)以使加压部930移动到能够与使用前的盒接触的程度。在对结合部910和加压部930的控制结束之后，控制部(未图示)控制马达(未图示)即以使包括传送部950的框架900沿着移动轨道960接近研磨装置130的方式进行控制。

相反，在研磨装置130使用完研磨用带的情况下，控制部(未图示)控制第二传送单元540以将使用后的盒从研磨装置130传送至安放单元530。控制部(未图示)在以使包括传送部950的框架900接近研磨装置130的方式进行控制之后，以使结合部910和加压部930通过上述的工作而与使用后的盒结合的方式进行控制。此后，控制部(未图示)以将使用后的盒传送至安放单元530方式进行控制。

控制部(未图示)控制第一传送单元520以将安放于安放单元530的使用后的盒传送至托盘510。如上所述，控制部(未图示)控制安放单元530和第一传送单元520而将使用后的盒传送至托盘510。

以上的说明只不过是例示性地说明了本实施例的技术思想而已，本领域普通技术人员在不逸出本实施例的本质特性的范围内能够进行多种修改和变形。因此，本发明的各实施例是旨在说明本实施例的技术思想，并非为了限定本实施例的技术思想，本实施例的技术思想的范围并不由这些实施例所限定。本发明的保护范围应由所付的权利要求书所解释，属于与其等同的范围内的所有技术思想应解释为均包括在本发明的权利范围。

Claims (5)

1.一种盒更换装置，其更换用于研磨基板中缺陷的带盒，其特征在于，包括：

托盘，保管使用于研磨之前的带的使用前的带盒或保管使用于研磨之后的带的使用后的带盒安放于上述托盘；

安放部，为了从上述托盘传送至研磨装置而使用前的带盒安放于上述安放部，或者为了从上述研磨装置传送至上述托盘而使用后的带盒安放于上述安放部；

第一传送部，其与带盒的一部分结合而将使用前的带盒从上述托盘传送至上述安放部，或者将使用后的带盒从上述安放部传送至上述托盘；

第二传送部，其与安放于上述安放部的使用前的带盒结合而将使用前的带盒传送至上述研磨装置，或者与结合在上述研磨装置的使用后的带盒结合而将使用后的带盒传送至上述安放部；以及

控制部，其控制上述第一传送部和上述第二传送部的工作。

2.根据权利要求1所述的盒更换装置，其特征在于，

上述托盘包括从底面铅直地向上方突出的突起部而将带盒安放而固定。

3.根据权利要求2所述的盒更换装置，其特征在于，

上述托盘以中央为中心在一侧仅包括一个突起部，在相反侧包括两个以上的突起部。

4.根据权利要求1所述的盒更换装置，其特征在于，

上述第一传送部和上述第二传送部包括感测是否接近带盒的传感器。

5.根据权利要求1所述的盒更换装置，其特征在于，

上述安放部包括感测带盒是否已安放于上述安放部的传感器。

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