CN114542580A - 偏心摆动型减速装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的之一在于提供一种即使在减速装置的尺寸非常小的情况下也能够容易兼顾偏心体轴所需的表面硬度与韧性的技术。一种偏心摆动型减速装置，其具备：摆动齿轮；偏心体轴(24)，具有使摆动齿轮摆动的偏心体(22A、22B)；及偏心轴承，配置于摆动齿轮与偏心体(22A、22B)之间，并且偏心轴承的滚动体在偏心体(22A、22B)的外周面上滚动，其中，偏心体轴(24)具备表面固化层(60)及设置于表面固化层(60)的内侧的母材区域(58)，表面固化层(60)的深度为100μm以下。

Description

偏心摆动型减速装置

本申请主张基于2020年11月24日申请的日本专利申请第2020-194048号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考而援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种偏心摆动型减速装置。

背景技术

专利文献1中公开了一种具备摆动齿轮、使摆动齿轮摆动的偏心体轴及配置于偏心体轴的偏心体与摆动齿轮之间的偏心轴承的偏心摆动型减速装置。该偏心轴承的滚动体直接在由偏心体的外周面构成的滚动面上滚动。

这种减速装置的偏心体轴容易承受大荷载，处于严峻的荷载条件下。因此，为了提高偏心体轴的疲劳强度，要求其表面硬度的高硬度化。作为用于实现高硬度化的表面处理，专利文献1公开的技术中采用了伴随被处理材料的淬火的渗碳处理。

专利文献1：日本特开2011-158073号公报

本发明人对偏心摆动型减速装置进行了研究，其结果获得了如下见解。近年来，要求减速装置小型化。若减速装置的尺寸非常小，则如后述，受到表面热处理的影响，偏心体轴的一部分难以确保韧性。即，随着减速装置的小型化，难以兼顾偏心体轴的表面硬度与韧性。尚未发现从该观点出发而解决该问题的技术。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种即使在减速装置的尺寸非常小的情况下也能够兼顾偏心体轴的表面硬度与韧性的技术。

本发明的减速装置为偏心摆动型减速装置，其具备：摆动齿轮；偏心体轴，具有使所述摆动齿轮摆动的偏心体；及偏心轴承，配置于所述摆动齿轮与所述偏心体之间，并且所述偏心轴承的滚动体在所述偏心体的外周面上滚动，其中，所述偏心体轴具备表面固化层及设置于所述表面固化层的内侧的母材区域，所述表面固化层的深度为100μm以下。

本发明的另一减速装置为偏心摆动型减速装置，其具备：摆动齿轮；偏心体轴，具有使所述摆动齿轮摆动的偏心体；及偏心轴承，配置于所述摆动齿轮与所述偏心体之间，并且所述偏心轴承的滚动体在所述偏心体的外周面上滚动，其中，所述偏心体轴具备设置于其表面的氮化处理层。

根据本发明，即使在减速装置的尺寸非常小的情况下也能够容易兼顾偏心体轴的表面硬度与韧性。

附图说明

图1是表示参考例的偏心体轴的一部分的剖视图。

图2是表示第1实施方式的偏心体轴的一部分的剖视图。

图3是第1实施方式的减速装置的侧视剖视图。

图4是图3的放大图。

图5是示意地表示第1实施方式的偏心体轴的内部结构的剖视图。

图6是表示第1实施方式的偏心体轴的硬度分布的一例的图表。

图7是表示第2实施方式的偏心体轴的一部分的剖视图。

图中：10-减速装置，12-摆动齿轮，22A、22B-偏心体，24-偏心体轴，26-偏心轴承，34A、34B-滚动体，40A-轴承，42-突起部，48-筒状部，52A-第1薄壁部位，52B-第2薄壁部位，58-母材区域，60-表面固化层，62-氮化处理层。

具体实施方式

以下，对实施方式进行说明。在实施方式及参考例的说明中，对相同的构成要件标注相同的符号，并省略重复说明。在各附图中，为了便于说明，适当省略、放大或缩小构成要件。附图按照符号的朝向来观察。

首先，对摸索出实施方式所涉及的减速装置的背景进行说明。参考图1。在此，讲述用于实现偏心体轴24的高硬度化的表面处理。在常规尺寸的减速装置中，作为该表面处理，像专利文献1的公开技术那样采用伴随淬火的渗碳处理是本领域技术人员的技术常识，因而其他表面处理并未得到充分的研究。若作为偏心体轴24的表面处理而采用了渗碳处理，则表面固化层60的深度D1会变深。该表面固化层60的深度D1例如成为1.0mm以上。因此，若减速装置10的尺寸变得非常小，则在偏心体轴24的厚度薄的薄壁部位52A、52B(后述)中，其厚度方向C上的大部分或整个区域容易成为表面固化层60。其结果，在偏心体轴24的薄壁部位52A、52B中，难以保留有助于确保韧性的母材区域58，薄壁部位52A、52B整体会变脆。

参考图2。作为其对策，在本实施方式的减速装置中，为了实现偏心体轴24的高硬度化，采用了能够使表面固化层60的深度变浅的氮化处理、涂覆处理等表面处理。即，将在常规尺寸的减速装置中作为偏心体轴24的表面处理不会被考虑的表面处理用于尺寸非常小的减速装置中使用的偏心体轴24上。若采用了这些表面处理，则可以将表面固化层60的深度D1设为100μm以下。即，若采用了这些表面处理，则与采用了伴随淬火的表面热处理的情况相比，能够使表面固化层60的深度D1大幅变浅。

其结果，即使在减速装置10的尺寸非常小的情况下，也能够容易保持在偏心体轴24的薄壁部位52A、52B中残留有母材区域58的状态。从另一观点来看，通过使用氮化处理层62作为设置于偏心体轴24的表面处理层56，能够容易保持在偏心体轴24的薄壁部位52A、52B中残留有母材区域58的状态。由此，即使在减速装置10的尺寸非常小的情况下，也容易确保偏心体轴24的薄壁部位52A、52B的韧性。并且，由于偏心体轴24具备表面固化层60，因此能够轻松地确保偏心体轴24所需的表面硬度。尤其，能够轻松地确保偏心体轴24的滚动面36确保所需的疲劳强度所需的表面硬度。综上所述，即使在减速装置10的尺寸非常小的情况下，也能够在偏心体轴24中容易兼顾表面硬度与韧性。

这可以看作是在具备母材区域58及表面固化层60的偏心体轴24中将表面固化层60的深度设为100μm以下而获得的效果。此外，还可以看作是在偏心体轴24中使用氮化处理层62作为表面处理层56而获得的效果。

以下，对第1实施方式进行详细说明。参考图3。本实施方式的减速装置10为通过使摆动齿轮12摆动从而使摆动齿轮12及啮合齿轮14中的一个进行自转并从输出部件16输出其自转成分的偏心摆动型减速装置。啮合齿轮14为与摆动齿轮12啮合的齿轮。摆动齿轮12及啮合齿轮14中的一个为外齿轮18，另一个为配置于外齿轮18的外周侧的内齿轮20。本实施方式的减速装置10为将外齿轮18设为摆动齿轮12的外齿摆动式的减速装置。

减速装置10除了具有上述摆动齿轮12及啮合齿轮14以外，主要还具备具有使摆动齿轮12摆动的偏心体22A、22B的偏心体轴24、配置于摆动齿轮12与偏心体22A、22B之间的偏心轴承26及配置于摆动齿轮12的外周侧的外壳28。此外，外齿摆动式的减速装置10还具备相对于摆动齿轮12配置于其轴向侧部的轮架30。

在本说明书中，将沿偏心体轴24的旋转中心线C2的方向称为轴向A。并且，将以该旋转中心线C2作为圆中心的圆的半径方向及圆周方向分别简称为“径向”及“周向”。本实施方式的减速装置10的特征在于偏心体轴24，但先从其周边结构开始进行说明。

偏心体轴24通过从驱动装置(未图示)传递过来的旋转动力而能够旋转。驱动装置例如为马达、齿轮马达及发动机等。本实施方式的减速装置10为偏心体轴24设置在内齿轮20的中心部的中心曲柄式减速装置。

偏心体轴24除了具备偏心体22A、22B以外，还具备从驱动装置传递有旋转动力的轴体32。偏心体22A、22B能够与轴体32一体地旋转。本实施方式的偏心体22A、22B作为与轴体32相同的部件的一部分而与轴体32设置成一体，但也可以与轴体32分体设置。

偏心体22A、22B的轴心C1相对于偏心体轴24的旋转中心线C2偏心。偏心体22A、22B以其旋转中心线C2为中心进行旋转从而能够使摆动齿轮12摆动。本实施方式的减速装置10具备多个(详细而言，两个)偏心体22A、22B。多个偏心体22A、22B包括配置于轴向一侧(图中左侧)的第1偏心体22A及配置于轴向另一个侧(图中右侧)的第2偏心体22B。以下，为了便于说明，将轴向一侧(图中左侧)称为输入相反侧，将轴向另一个侧(图中右侧)称为输入侧。相邻的偏心体22A、22B的偏心方向的相位彼此错开，在本实施方式中彼此错开180°。偏心体22A、22B的个数并不受特别限定。

摆动齿轮12分别对应于多个偏心体22A、22B而单独设置，并且经由偏心轴承26旋转自如地支承于对应的偏心体22A、22B。

偏心轴承26具备在摆动齿轮12与偏心体22A、22B之间沿周向隔着间隔配置的多个滚动体34A、34B。多个滚动体34A、34B包括在第1偏心体22A的外周面上滚动的第1滚动体34A及在第2偏心体22B的外周面上滚动的第2滚动体34B。本实施方式的滚动体34A、34B为滚子。由此，与滚动体34A、34B为球体的情况相比，能够提高偏心轴承26的承载能力。

本实施方式的偏心轴承26不具备用于保持多个滚动体34A、34B的相对位置的专用的保持器。由此，能够容易实现减速装置10的小型化。偏心轴承26不具备专用的内圈。取而代之，偏心体22A、22B的外周面兼作内圈，在其外周面上设置有供滚动体34A、34B滚动的滚动面36。本实施方式的偏心轴承26不具备专用的外圈。取而代之，沿轴向贯穿摆动齿轮12的贯穿孔38的内周面兼作外圈，滚动体34A、34B在其内周面上滚动。

构成啮合齿轮14的内齿轮20与外壳28一体化。外壳28容纳摆动齿轮12等减速装置10的其他构成组件。本实施方式的外壳28通过将多个外壳部件28a组合而构成。内齿轮20由其中一个外壳部件28a构成。

本实施方式的轮架30通过将多个轮架部件30a组合而构成。

输出部件16与摆动齿轮12及啮合齿轮14中的一个的自转成分同步旋转，由此将其自转成分输出至被驱动装置。在内齿摆动式的减速装置的情况下，输出部件16为外齿轮18，在外齿摆动式的减速装置的情况下，输出部件16为外壳28及轮架30中的一个。在本实施方式中，轮架30成为输出部件16。在轮架30为输出部件16时，摆动齿轮12(外齿轮18)进行自转。相对于此，在外壳28为输出部件16时，啮合齿轮14(内齿轮20)进行自转。

减速装置10具备配置在与偏心体22A、22B不同的部位且偏心体轴24的外周侧的轴承40A、40B。轴承40A、40B包括相对于偏心体22A、22B在其输入相反侧配置于轮架30与偏心体轴24之间的第1轴承40A及相对于偏心体22A、22B在其输入侧配置于外壳28与偏心体轴24之间的第2轴承40B。轴承40A、40B为球轴承等滚动轴承。轴承40A、40B除了具备滚动体以外，还具备专用的内圈及外圈。

接着，对上述减速装置10的动作进行说明。若旋转动力从驱动装置传递至偏心体轴24，则偏心体轴24以旋转中心线C2为中心进行旋转，该偏心体22A、22B使摆动齿轮12进行摆动。若摆动齿轮12摆动，则摆动齿轮12与啮合齿轮14的啮合位置依次沿周向偏移。其结果，偏心体轴24每旋转一次，摆动齿轮12及啮合齿轮14中的一个与输出部件16一同自转相当于摆动齿轮12与啮合齿轮14的齿数差的量。偏心体轴24的旋转以对应于摆动齿轮12与啮合齿轮14的齿数差的减速比减速后经由输出部件16输出至被驱动装置。

接着，对偏心体轴24进行说明。参考图4。偏心体轴24的材料例如使用以机械结构用合金钢等钢材为首的金属材料。机械结构用合金钢例如为铬钼钢(SCM材料)等。

偏心体轴24除了具备多个偏心体22A、22B以外，还具备一体地设置于偏心体22A、22B的轴向端部上的突起部42。突起部42作为与偏心体22A、22B相同的部件的一部分而与偏心体22A、22B设置为一体。本实施方式的突起部42共同设置于相邻的偏心体22A、22B。详细而言，本实施方式的突起部42在第1偏心体22A的输入侧(图中右侧)的端部22Aa与第1偏心体22A设置为一体。并且，本实施方式的突起部42在第2偏心体22B的输入相反侧(图中左侧)的端部22Ba(参考图3)与第2偏心体22B设置为一体。

突起部42设置成从偏心体轴24的外周面朝向径向外侧突出。详细而言，突起部42设置成从相邻的偏心体22A、22B各自的外周面朝向径向外侧突出。本实施方式的突起部42呈遍及整周而连续设置的凸缘状。此外，突起部42也可以沿周向隔着间隔间断地设置。

突起部42抵接于在与突起部42设置成一体的偏心体22A、22B上滚动的滚动体34A、34B的轴向侧面，从而限制该滚动体34A、34B沿轴向A移动。在本实施方式中，突起部42抵接于在与突起部42设置成一体的第1偏心体22A上滚动的第1滚动体34A，从而限制第1滚动体34A沿轴向A移动。与此同时，突起部42抵接于在与突起部42设置成一体的第2偏心体22B上滚动的第2滚动体34B，从而限制第2滚动体34B沿轴向A移动。

另外，在滚动体34A、34B的轴向上与突起部42相反的一侧配置有与偏心体22A、22B分体构成的限制部件44。限制部件44为垫圈、挡圈等。滚动体34A、34B的朝向轴向上与突起部42相反一侧的移动被限制部件44限制。

偏心体轴24具备开口于偏心体轴24的轴向侧面上的中空部46及由中空部46形成的筒状部48。中空部46由沿轴向A延伸的孔构成。本实施方式的中空部46由沿轴向A贯穿偏心体轴24的贯穿孔构成。此外，中空部46也可以由沿轴向A未贯穿偏心体轴24的有底孔构成。

偏心体轴24具备设置于偏心体轴24的外周部的多个肩部50A～50D。肩部50A～50D由给偏心体轴24的外周部的沿轴向相邻的部分之间赋予外径差的阶梯部构成。肩部50A～50D包括设置于第1偏心体22A的输入相反侧的侧面的第1肩部50A及设置于第2偏心体22B的输入侧的侧面的第2肩部50B。此外，肩部50A～50D还包括在轴向A上与第1滚动体34A对置的第3肩部50C及在轴向A上与第2滚动体34B对置的第4肩部50D。第3肩部50C的整体由突起部42的输入相反侧的侧面构成，第4肩部50D的一部分由突起部42的输入侧的侧面构成。

偏心体轴24具备轴向尺寸及径向尺寸中的任一尺寸小于其他部位的薄壁部位52A、52B。薄壁部位52A、52B包括轴向尺寸小于其他部位的第1薄壁部位52A及径向尺寸小于其他部位的第2薄壁部位52B。

第1薄壁部位52A设置于偏心体轴24的突起部42。在本实施方式中，第1薄壁部位52A设置于突起部42的径向上的整个区域。第1薄壁部位52A具备轴向尺寸(厚度)在径向上相同的第1等厚部分52Aa。

第2薄壁部位52B设置于偏心体轴24的筒状部48。第2薄壁部位52B分别设置于偏心体轴24的筒状部48中的轴向A上的两侧。在第2薄壁部位52B的外周面设置有用于配置轴承40A、40B的轴承配置面54。第2薄壁部位52B具备径向尺寸(厚度)在轴向A上相同的第2等厚部分52Ba。

参考图2、图5及图6。在这些图中省略了阴影线。图2是偏心体轴24的第1薄壁部位52A的放大图。偏心体轴24具备表面处理层56及设置于表面处理层56的内侧的母材区域58。这里的“内侧”是指：相对于表面固化层60位于与偏心体轴24(偏心体22A、22B)的表面相反的一侧。也可以理解为，表面处理层56设置于比母材区域58更靠表面侧的位置。

表面处理层56为成为表面处理对象的被处理材料通过表面处理而被固化的区域，其硬度高于母材区域58的硬度。表面处理层56也可以理解为是所谓的总硬化层深度量的层。在本实施方式中，作为用于设置表面处理层56的表面处理，使用氮化处理。也可以理解为，表面处理层56由被处理材料通过氮化处理而被固化的氮化处理层62(氮化层)构成。也可以理解为，偏心体轴24具备设置于偏心体轴24的表面的氮化处理层62。

氮化处理例如通过离子氮化法、气体渗氮法及盐浴渗氮法等来实现。氮化处理通过在氮系气体(例如，氮气、氨气等)的气氛下加热被处理材料从而使氮在被处理材料的内部扩散来进行。氮化处理通过将被处理材料加热至小于被处理材料的相变点温度的温度范围(即，不伴随淬火的温度范围)内来进行。通过氮化处理获得的氮化处理层62由不包含马氏体组织等淬火组织的显微组织构成。虽未图示，但氮化处理层62具备表面侧的化合物层及比化合物层更靠内侧的扩散层。化合物层为由母材区域58的主元素(铁)的氮化合物构成的层。扩散层为氮扩散到被处理材料的母相组织中的层，其具有与母材区域58共同的母相组织。

图6中示出了自偏心体轴24的表面的深度与维氏硬度之间的关系。在图6中，标绘了在从偏心体轴24的表面朝向深度方向B的多个部位测量到的维氏硬度。这里的深度方向B是指：与偏心体轴24的表面垂直的方向。在图2中图示了以偏心体轴24的表面上的某一位置为基准的深度方向B。维氏硬度通过遵照JIS Z2244的方法来测量。

表面处理层56具备设置于从偏心体轴24的表面朝向深度方向B连续的范围内的表面固化层60。表面固化层60设置于表面处理层56的至少一部分深度方向范围内。

用于设置表面处理层的表面处理大体有如下两种，通过显微组织的观察无法判别表面处理层56与母材区域58之间的界面的表面处理(以下，称为第1表面处理)，以及通过显微组织的观察能够判别表面处理层56与母材区域58之间的界面的表面处理(第2表面处理)。第1表面处理例如是本实施方式那样的氮化处理。第2表面处理例如是后述的涂覆处理。

在本说明书中，若无法判别表面处理层56与母材区域58之间的界面，则将表面固化层60定义为由从深度方向B上的硬度最高的位置至硬度降低了100HV的位置为止的深度方向范围的层构成(参考图6)。例如，其就是通过上述氮化处理等第1表面处理获得的表面固化层60。此时，表面固化层60由从表面处理层56的表面起的一部分深度方向范围构成。在图2及图5中，为了便于说明，用实线来表示了表面固化层60与表面处理层56的其他部位之间的边界，但实际上该边界中并不呈现有明确的界面。

相对于此，若能够判别表面处理层56与母材区域58之间的界面，则将表面固化层60定义为由整个表面处理层56构成。例如，其就是通过上述涂覆处理等第2表面处理获得的表面固化层60。

母材区域58为被处理材料未通过表面处理而被固化的区域，是具有被处理材料本身的硬度的区域。母材区域58为硬度在深度方向B上不会大幅增减的区域。将从相邻的测量点中的表面侧的测量点上的维氏硬度朝向在深度方向A上相邻的测量点上的维氏硬度的变化量称为硬度变化量。此时，母材区域58例如始于深度方向B上的硬度变化量从负的值转换为0以上的值的部位。在母材区域58中，例如维氏硬度的最大值与最小值的差分为50以下，硬度变化量为-50以上且+50以下。

表面固化层60至少设置于偏心体22A、22B的滚动面36。本实施方式的表面固化层60设置在包括偏心体22A、22B的滚动面36的范围在内的偏心体轴24的整个外周面上。基于该条件，表面固化层60可以不设置在偏心体轴24的除了外周面以外的部位。也就是说，表面固化层60可以仅设置于偏心体轴24的整个外周面。这里的“除了外周面以外的部位”包括偏心体轴24的轴向侧面64A、64B及中空部46的内周面。该偏心体轴24的轴向侧面64A、64B除了包括偏心体轴24的位于轴向A上的最外侧的最外侧面64A以外，还包括肩部50A～50D的表面64B。在本实施方式中，在此说明的“除了外周面以外的部位”上也设置有表面固化层60。即，偏心体轴24的轴向侧面64A、64B及中空部46的内周面上也设置有表面固化层60。

上一段落中进行说明的内容同样也适用于将表面固化层60这一词句替换为氮化处理层62的内容。例如，氮化处理层62也至少设置于偏心体22A、22B的滚动面36。

为了实现减速装置10的尺寸的小型化以及表面硬度与韧性的兼顾，将表面固化层60的深度方向B上的尺寸(即，深度D1)设为100μm以下。作为实现这一点的表面处理，在本实施方式中，如上所述，采用了氮化处理。此外，如后述，也可以采用涂覆处理，还可以采用能够满足该条件的其他表面处理。

表面固化层60及母材区域58设置于偏心体轴24的突起部42。详细而言，表面固化层60及母材区域58设置于突起部42的第1薄壁部位52A。更详细而言，若将轴向A设为厚度方向C，则在厚度方向C上的两侧设置有一对表面固化层60，在一对表面固化层60之间设置有母材区域58。此外，在第1薄壁部位52A(突起部42)的外周面52Ab也设置有表面固化层60。也可以理解为，对偏心体22A、22B的滚动面36的表面处理(氮化处理)也波及到突起部42。

表面固化层60及母材区域58设置于偏心体轴24的筒状部48。详细而言，表面固化层60及母材区域58设置于筒状部48的第2薄壁部位52B。更详细而言，若将径向设为厚度方向C，则在厚度方向C的两侧设置有一对表面固化层60，在一对表面固化层60之间设置有母材区域58。此外，在第2薄壁部位52B(筒状部48)的轴向侧面52Bb也设置有表面固化层60。也可以理解为，对偏心体22A、22B的滚动面36的表面处理(氮化处理)也波及到筒状部48。

从减速装置10的小型化的观点出发，本实施方式的第1薄壁部位52A的轴向尺寸L1设为2.0mm以下。从同样的观点出发，第1薄壁部位52A的轴向尺寸L1优选为1.5mm以下，更优选为1.0mm以下。该轴向尺寸L1也可以理解为第1薄壁部位52A的厚度尺寸。关于在此例示的尺寸，从大尺寸到小尺寸依次为外齿轮18的外接圆的直径为45.0mm以下时的尺寸、30.0mm以下时的尺寸及25.0mm以下时的尺寸。第1薄壁部位52A的轴向尺寸的下限值并不受特别限定，但例如为0.4mm。只要第1薄壁部位52A的第1等厚部分52Aa满足该条件即可。

从减速装置10的小型化的观点出发，本实施方式的第2薄壁部位52B的径向尺寸L2设为2.0mm以下。从同样的观点出发，第2薄壁部位52B的径向尺寸L2优选为1.5mm以下，更优选为1.0mm以下。该径向尺寸L2也可以理解为第2薄壁部位52B的厚度尺寸。关于在此例示的尺寸，从大尺寸到小尺寸依次为外齿轮18的外接圆的直径为45.0mm以下时的尺寸、30.0mm以下时的尺寸及25.0mm以下时的尺寸。第2薄壁部位52B的轴向尺寸L1的下限值并不受特别限定，但例如为0.4mm。只要第2薄壁部位52B的第2等厚部分52Ba满足该条件即可。以上说明的薄壁部位52A、52B与外齿轮18之间的与尺寸相关的条件为在外齿摆动式及内齿摆动式中的任意情况下均同样适用的条件。

接着，对以上减速装置10的效果进行说明。

(A)偏心体轴24的表面固化层60的深度为100μm以下。因此，如上所述，即使在减速装置10的尺寸非常小的情况下，也能够容易兼顾偏心体轴24的表面硬度与韧性。

(B)表面固化层60及母材区域58设置于突起部42。因此，即使在突起部42的轴向尺寸L1非常小的情况下，也能够确保偏心体轴24的表面硬度，并且通过母材区域58能够确保突起部42的韧性。

(C)表面固化层60及母材区域58设置于具有2.0mm以下的轴向尺寸L1的第1薄壁部位52A。因此，通过母材区域58能够确保轴向尺寸L1非常小的第1薄壁部位52A的韧性，并且能够确保偏心体轴24的表面硬度。

(D)表面固化层60及母材区域58设置于筒状部48。因此，即使在筒状部48的径向尺寸L2非常小的情况下，也能够确保偏心体轴24的表面硬度，并且通过母材区域58能够确保筒状部48的韧性。

(E)表面固化层60及母材区域58设置于具有2.0mm以下的径向尺寸L2的第2薄壁部位52B。因此，通过母材区域58能够确保径向尺寸L2非常小的第2薄壁部位52B的韧性，并且能够确保偏心体轴24的表面硬度。

(F)表面固化层60设置于偏心体轴24的整个外周面。因此，在偏心体轴24中，无需为了兼顾表面硬度与韧性而对偏心体轴24的外周面进行表面固化防止处理。进而，能够简化表面处理作业。关于这里的表面固化防止处理，在使用氮化处理、涂覆处理时，通过遮蔽(masking)来实现。在氮化处理的情况下，通过阻碍氮侵入的防氮化剂的涂布及夹具的利用等来实现遮蔽。从与在此说明的效果之间的关系来看，除了偏心体轴24的整个外周面以外，表面固化层60也可以设置在肩部50A～50D的整个表面64B。由此，无需对偏心体轴24的除了最外侧面64A以外的范围的外周部的整个区域进行表面固化防止处理。

(第2实施方式)

参考图7。在第1实施方式中，对表面处理层56由氮化处理层62构成的例子进行了说明。此外，表面处理层56也可以由通过涂覆处理而获得的涂层66构成。在利用涂覆处理获得表面处理层56时，如上所述，表面固化层60由整个表面处理层56(涂层66)构成。

涂层66例如由DLC(类金刚石碳)等构成。涂覆处理通过CVD(chemicalvapordeposition：化学气相沉积法)及PVD(physical vapor depositio n：物理气相沉积法)等来实现，通过在构成被处理材料的母材区域58上形成涂层来实现。在使用它们来实现时，涂层66的深度(即，表面固化层60的深度D1)例如可以设为10μm以下。

其他则与第1实施方式相同，因此省略说明。本实施方式的减速装置10也具备上述(A)～(F)中进行说明的构成要件(未图示)，并且能够获得与这些说明相对应的效果。

接着，对各构成要件的其他变形例进行说明。减速装置10除了可以是上述外齿摆动式减速装置以外，还可以是将内齿轮20设为摆动齿轮12的内齿摆动式减速装置。减速装置10除了可以是上述的中心曲柄式减速装置以外，还可以是在从内齿轮20的中心轴线沿径向偏移的位置上设置有多个偏心体轴24的分配式减速装置。

偏心轴承26也可以具备专用的保持器及外圈中的至少一个。偏心轴承26的滚动体34A、34B并不只限定于滚子，也可以是球体等。

在实施方式中，对偏心体轴24的突起部42共同设置于相邻的偏心体22A、22B的例子进行了说明。此外，突起部42也可以分别单独设置于各个偏心体22A、22B上。并且，偏心体轴24的突起部42并不是必须的。

在实施方式中，对在偏心体轴24的突起部42及筒状部48均设置有表面固化层60及母材区域58这两者的例子进行了说明。此外，可以仅在偏心体轴24的突起部42设置表面固化层60及母材区域58这两者，也可以仅在筒状部48设置表面固化层60及母材区域58这两者。

表面固化层60也可以设置于偏心体轴24的外周面的一部分上而不是设置于整个外周面。此时，表面固化层60也可以局部性地设置于包括偏心体22A、22B在内的一部分上。

在实施方式中，对突起部42的第1薄壁部位52A的轴向尺寸L1为2.0mm以下且筒状部48的第2薄壁部位52B的径向尺寸L2为2.0mm以下的例子进行了说明。它们的具体大小并不只限于此，例如也可以超过2.0mm。

以上的实施方式及变形方式为示例。对它们进行了抽象化的技术思想不应用作实施方式及变形例限定。关于实施方式及变形方式的内容，能够进行构成要件的变更、追加、删除等多种设计变更。在上述的实施方式中，关于能够进行这种设计变更的内容，标注了“实施方式”来进行了强调。然而，并不意味着没有这种标记的内容就不允许设计变更。在附图的截面上标注的阴影线并不限定标注有阴影线的对象的材质。以上构成要件的任意组合也有效。例如，可以对变形例组合实施方式及其他变形例的任意说明事项。

Claims (7)

1.一种偏心摆动型减速装置，其具备：

摆动齿轮；

偏心体轴，具有使所述摆动齿轮摆动的偏心体；及

偏心轴承，配置于所述摆动齿轮与所述偏心体之间，

所述偏心轴承的滚动体在所述偏心体的外周面上滚动，所述偏心摆动型减速装置的特征在于，

所述偏心体轴具备表面固化层及设置于所述表面固化层的内侧的母材区域，

所述表面固化层的深度为100μm以下。

2.根据权利要求1所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述偏心体轴具备一体地设置于所述偏心体的轴向端部且限制所述滚动体沿轴向移动的突起部，

所述表面固化层及所述母材区域设置于所述突起部。

3.根据权利要求2所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述突起部具备具有2.0mm以下的轴向尺寸的第1薄壁部位，

所述表面固化层及所述母材区域设置于所述第1薄壁部位。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述偏心体轴具备筒状部，

所述表面固化层及所述母材区域设置于所述筒状部。

5.根据权利要求4所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述筒状部具备具有2.0mm以下的径向尺寸的第2薄壁部位，

所述表面固化层及所述母材区域设置于所述第2薄壁部位。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的偏心摆动型减速装置，其特征在于，

所述表面固化层设置于所述偏心体轴的整个外周面。

7.一种偏心摆动型减速装置，其具备：

摆动齿轮；

偏心体轴，具有使所述摆动齿轮摆动的偏心体；及

偏心轴承，配置于所述摆动齿轮与所述偏心体之间，

所述偏心轴承的滚动体在所述偏心体的外周面上滚动，所述偏心摆动型减速装置的特征在于，

所述偏心体轴具备设置于其表面的氮化处理层。

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