CN114534453A - 一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的hf的回收工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，包括以下步骤：配置KF溶液，然后依次排入至一级KHF2罐、二级KHF2罐和三级KHF2罐中；将电解气阴极气通入三级HF吸收塔，将一级KHF2罐中的KF溶液通入三级HF吸收塔，进行HF的吸收；后依次将吸收后的电解槽阴极气持续进入二级HF吸收塔、一级HF吸收塔中，待吸收一定量的HF以后，然后将三级吸收塔下端的一级KHF2罐中的溶液排出，降温将溶液中的KHF2结晶，对结晶的KHF2进行蒸发除水，然后再进行加热处理，后冷却得到纯度高达98.5％的HF，蒸发HF后的KF溶液可以重复使用。本发明工艺可以重复使用，消耗较少，整个系统物料实现了闭环管理，符合化工生产中的清洁生产原则。
Description
技术领域
本发明属于三氟化氮制备技术领域，具体涉及一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺。
背景技术
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，一般条件下在水与碱溶液中均不反应，三氟化氮主要用途是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，三氟化氮是低毒性物质，但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜，腐蚀组织，吸入高浓度NF3可引起头痛、呕吐和腹泻。
电解槽阴极尾气成分主要为氢气、氟化氢和氮气，在三氟化氮连续生产的情况下，利用KF溶液和碱液喷淋吸收塔将电解槽阴极尾气产生的HF全部收集，实现电解槽阴极尾气产生的HF排放达标，可以回收大部分以上的无水HF直接回用于生产或者作为副产品销售，针对上述情况，需要开发一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，本发明处理工艺既保证尾气达标排放，符合环保要求，又能降低一定成本。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将KF溶液排入一级KHF2罐中，然后将所述一级KHF2罐中的KF溶液排入二级KHF2罐中，再将所述二级KHF2罐中的KF溶液排入至三级KHF2罐中；
S2、将所述三级KHF2罐中的KF溶液排入到三级HF吸收塔中，同时将电解槽阴极气通入所述三级HF吸收塔中，进行HF的吸收，所述三级HF吸收塔的塔顶产出的未完全反应的电解槽阴极气，所述三级HF吸收塔的塔底产出混合溶液一，将所述混合溶液一排入三级KHF2罐中，然后将三级KHF2罐中的混合溶液通过第三循环泵排入三级HF吸收塔中循环吸收；
将所述未完全反应的电解槽阴极气通入二级HF吸收塔中，同时将二级KHF2罐中的KF溶液排入到二级HF吸收塔中，继续进行HF的吸收，所述二级HF吸收塔的塔顶产出少量的未完全反应的电解槽阴极气并通入一级HF吸收塔中，同时将一级KHF2罐中的KF溶液排入到一级HF吸收塔中，所述二级HF吸收塔的塔底产出混合溶液二，所述混合溶液二排入二级KHF2罐中，然后将二级KHF2罐中的混合溶液排入到二级HF吸收塔中循环吸收；所述一级HF吸收塔的塔顶产出顶部产物，所述一级HF吸收塔的塔底产出混合溶液三，将所述混合溶液三排入一级KHF2罐，将一级KHF2罐中的混合溶液排入到一级HF吸收塔中循环吸收；
S3、持续的将所述电解槽阴极气依次通过三级HF吸收塔、二级HF吸收塔和一级HF吸收塔，控制所述三级KHF2罐的温度为10℃～50℃；
S4、检测所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度，当所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度为4mol/L～5mol/L时，将所述三级KHF2罐中的混合溶液排出并降温，然后进行过滤，得到KHF2结晶和KF溶液；
S5、将S4中得到的KHF2结晶干燥后，进行蒸发除水，得到除水后的KHF2结晶，当所述除水后的KHF2结晶的水分含量小于0.5％时，然后将所述除水后的KHF2结晶加热至320℃以上，得到HF气体和KF与KHF2的混合液；
S6、待S4中所述三级KHF2罐中的混合溶液全部排出后，依次将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，再将S4中得到的KF溶液和S5中得到的KF与KHF2的混合液重新输入至一级KHF2罐内，若所述一级KHF2罐内的液位低于所述一级KHF2罐高度的20％，则补充水和KF溶液。
优选地，S1中所述KF溶液的温度为10℃～50℃，浓度为10mol/L～16mol/L。
优选地，S1中所述一级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述一级KHF2罐体积的20％～80％；所述二级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述二级KHF2罐体积的20％～80％；S2中所述三级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述三级KHF2罐体积的20％～80％。
优选地，S2中所述第三循环泵的排放流量为3L/min。
优选地，S2中所述混合溶液一、混合溶液二和混合溶液三均包括KF和KHF2；所述电解槽阴极气包括H2、N2和HF。
优选地，S3中所述一级HF吸收塔、二级HF吸收塔和三级HF吸收塔内的压力均为0～0.3Mpa。
优选地，S4中所述降温的温度为0～10℃；S5中所述蒸发除水的温度为170℃～200℃。
优选地，S6中所述一级KHF2罐中的混合溶液排入至二级KHF2罐的速率≤3.5L/min。
本发明与现有技术相比具有以下优点：
1、本发明工艺利用KF溶液喷淋吸收塔将电解槽阴极尾气产生的HF全部收集，实现了对产生的HF的高效收集，实现电解槽阴极尾气产生的HF排放达标，并且在保证成本较低的同时，完成了对HF极大程度的吸收，保证正常的工艺需求。
2、本发明工艺利用冷媒将产生的HF冷凝，产生高纯HF，可以回收85％以上的无水HF，直接回用于生产或者作为副产品销售，既保证尾气达标排放，符合环保要求，又能降低一定成本，提高三氟化氮电解槽排放的阴极尾气的利用效益。
3、本发明工艺使用的KF，可以重复使用，消耗较少，整个系统物料实现了闭环管理，符合化工生产中的清洁生产原则
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
附图说明
图1是本发明工艺的工艺流程图。
附图标记说明：
1—一级HF吸收塔；2—二级HF吸收塔；3—三级HF吸收塔；4—三级KHF2罐；5—二级KHF2罐；6—一级KHF2罐；7—第三循环泵；8—第二循环泵；9—第一循环泵；10—电解槽阴极气主管；11—成品KHF2溶液排出口；12—KF溶液加入口。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明进一步说明。本发明包括但不限于以下实施例，凡是在本发明精神的原则之下进行的任何等同替换或局部改进，都将视为在本发明的保护范围之内。
实施例1
如图1所示，本实施例的三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，包括以下步骤：
S1、将10mol/L的KF溶液排入至一级KHF2罐6中，然后将所述一级KHF2罐6中的KF溶液排入二级KHF2罐5中，再将所述二级KHF2罐5中的KF溶液排入至三级KHF2罐4中；所述KF溶液的温度为10℃；
S2、将所述三级KHF2罐中4的KF溶液排入到三级HF吸收塔3中，同时将电解槽阴极气经电解槽阴极气主管10通入所述三级HF吸收塔3中，进行HF的吸收，所述三级HF吸收塔3的塔顶产出的未完全反应的电解槽阴极气，所述三级HF吸收塔3的塔底产出混合溶液一，将所述混合溶液一排入三级KHF2罐4中，然后将三级KHF2罐4中的混合溶液通过第三循环泵7排入三级HF吸收塔3中循环吸收；
将所述未完全反应的电解槽阴极气通入二级HF吸收塔2中，同时将二级KHF2罐5中的KF溶液排入到二级HF吸收塔2中，继续进行HF的吸收，所述二级HF吸收塔2的塔顶产出少量的未完全反应的电解槽阴极气并通入一级HF吸收塔1中，同时将一级KHF2罐6中的KF溶液排入到一级HF吸收塔1中，所述二级HF吸收塔2的塔底产出混合溶液二，所述混合溶液二排入二级KHF2罐5中，然后将二级KHF2罐5中的混合溶液经第二循环泵8排入到二级HF吸收塔2中循环吸收；所述一级HF吸收塔1的塔顶产出顶部产物，所述一级HF吸收塔1的塔底产出混合溶液三，将所述混合溶液三排入一级KHF2罐6，将一级KHF2罐6中的混合溶液经第一循环泵9排入到一级HF吸收塔1中循环吸收；
所述电解槽阴极气中H2的含量55％，N2的含量35％，HF的含量为10％；所述第三循环泵的排放流量为3L/min；所述混合溶液一、混合溶液二和混合溶液三均包括KF和KHF2；所述顶部产物包括H2、N2和极少量的HF；
S1中所述一级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述一级KHF2罐体积的20％～80％；所述二级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述二级KHF2罐体积的20％～80％；S2中所述三级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述三级KHF2罐体积的20％～80％；
S3、持续的将电解槽阴极气依次通过三级HF吸收塔、二级HF吸收塔和一级HF吸收塔，保证三级KHF2罐温度为10℃，所述一级HF吸收塔、二级HF吸收塔和三级HF吸收塔内的压力均为0.3Mpa；
S4、检测所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度，当所述混合溶液中KHF2的浓度为4mol/L时，将所述混合溶液经成品KHF2溶液排出口11排出并在换热器中降温至0℃，然后进行过滤，得到KHF2结晶和KF溶液；
S5、将S4中得到的KHF2结晶干燥后除水，得到除水后的KHF2结晶，当所述除水后的KHF2结晶的水分含量小于0.5％时，然后将所述除水后的KHF2结晶加热至320℃，得到HF气体和KF与KHF2的混合液，对得到的HF气体进行收集储藏；
S6、待S4中所述三级KHF2罐中的混合溶液全部排出后，依次将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，同时将S4中得到的KF溶液和S5中得到的KF与KHF2的混合液重新输入至一级KHF2罐内，若所述一级KHF2罐内的液位低于所述一级KHF2罐高度的20％(即250mm)，则通过KF溶液加入口12补充新的水和KF溶液；所述一级KHF2罐中的混合溶液排入二级KHF2罐的速率为3.5L/min；
将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，使所述三级KHF2罐内的液位不低于三级KHF2罐高度的20％；将一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，使所述二级KHF2罐内的液位不低于二级KHF2罐高度的20％。
经检测：S5中得到的HF气体的纯度为98.5％。
实施例2
如图1所示，本实施例的三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，包括以下步骤：
S1、将16mol/L的KF溶液排入至一级KHF2罐6中，然后将所述一级KHF2罐6中的KF溶液排入二级KHF2罐5中，再将所述二级KHF2罐5中的KF溶液排入至三级KHF2罐4中；所述KF溶液的温度为50℃；
S2、将所述三级KHF2罐中4的KF溶液排入到三级HF吸收塔3中，同时将电解槽阴极气经电解槽阴极气主管10通入所述三级HF吸收塔3中，进行HF的吸收，所述三级HF吸收塔3的塔顶产出的未完全反应的电解槽阴极气，所述三级HF吸收塔3的塔底产出混合溶液一，将所述混合溶液一排入三级KHF2罐4中，然后将三级KHF2罐4中的混合溶液通过第三循环泵7排入三级HF吸收塔3中循环吸收；
将所述未完全反应的电解槽阴极气通入二级HF吸收塔2中，同时将二级KHF2罐5中的KF溶液排入到二级HF吸收塔2中，继续进行HF的吸收，所述二级HF吸收塔2的塔顶产出少量的未完全反应的电解槽阴极气并通入一级HF吸收塔1中，同时将一级KHF2罐6中的KF溶液排入到一级HF吸收塔1中，所述二级HF吸收塔2的塔底产出混合溶液二，所述混合溶液二排入二级KHF2罐5中，然后将二级KHF2罐5中的混合溶液经第二循环泵8排入到二级HF吸收塔2中循环吸收；所述一级HF吸收塔1的塔顶产出顶部产物，所述一级HF吸收塔1的塔底产出混合溶液三，将所述混合溶液三排入一级KHF2罐6，将一级KHF2罐6中的混合溶液经第一循环泵9排入到一级HF吸收塔1中循环吸收；
所述电解槽阴极气中H2的含量55％，N2的含量35％，HF的含量为10％；所述第三循环泵的排放流量为3L/min；所述混合溶液一、混合溶液二和混合溶液三均包括KF和KHF2；所述顶部产物包括H2、N2和极少量的HF；
S1中所述一级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述一级KHF2罐体积的20％～80％；所述二级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述二级KHF2罐体积的20％～80％；S2中所述三级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述三级KHF2罐体积的20％～80％；
S3、持续的将电解槽阴极气依次通过三级HF吸收塔、二级HF吸收塔和一级HF吸收塔，保证三级KHF2罐温度为50℃，所述一级HF吸收塔、二级HF吸收塔和三级HF吸收塔内的压力均为0Mpa；
S4、检测所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度，当所述混合溶液中KHF2的浓度为5mol/L时，将所述混合溶液经成品KHF2溶液排出口11排出并降温至10℃，然后进行过滤，得到KHF2结晶和KF溶液；
S5、将S4中得到的KHF2结晶干燥后除水，得到除水后的KHF2结晶，当所述除水后的KHF2结晶的水分含量小于0.5％时，然后将所述除水KHF2结晶加热至340℃，得到HF气体和KF与KHF2的混合液，对得到的HF气体进行收集储藏；
S6、待S4中所述三级KHF2罐中的混合溶液全部排出后，依次将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，同时将S4中得到的KF溶液和S5中得到的KF与KHF2的混合液重新输入至一级KHF2罐内，若所述一级KHF2罐内的液位低于一级KHF2罐高度的20％，则通过KF溶液加入口12补充新的水和KF溶液；所述一级KHF2罐中的混合溶液排入二级KHF2罐的速率为3.0L/min；
将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，使所述三级KHF2罐内的液位不低于三级KHF2罐高度的20％；将一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，使所述二级KHF2罐内的液位不低于二级KHF2罐高度的20％。
经检测：S5中得到的HF气体的纯度为98.8％。
实施例3
如图1所示，本实施例的三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，包括以下步骤：
S1、将13mol/L的KF溶液排入至一级KHF2罐6中，然后将所述一级KHF2罐6中的KF溶液排入二级KHF2罐5中，再将所述二级KHF2罐5中的KF溶液排入至三级KHF2罐4中；所述KF溶液的温度为30℃；
S2、将所述三级KHF2罐中4的KF溶液排入到三级HF吸收塔3中，同时将电解槽阴极气经电解槽阴极气主管10通入所述三级HF吸收塔3中，进行HF的吸收，所述三级HF吸收塔3的塔顶产出的未完全反应的电解槽阴极气，所述三级HF吸收塔3的塔底产出混合溶液一，将所述混合溶液一排入三级KHF2罐4中，然后将三级KHF2罐4中的混合溶液通过第三循环泵7排入三级HF吸收塔3中循环吸收；
将所述未完全反应的电解槽阴极气通入二级HF吸收塔2中，同时将二级KHF2罐5中的KF溶液排入到二级HF吸收塔2中，继续进行HF的吸收，所述二级HF吸收塔2的塔顶产出少量的未完全反应的电解槽阴极气并通入一级HF吸收塔1中，同时将一级KHF2罐6中的KF溶液排入到一级HF吸收塔1中，所述二级HF吸收塔2的塔底产出混合溶液二，所述混合溶液二排入二级KHF2罐5中，然后将二级KHF2罐5中的混合溶液经第二循环泵8排入到二级HF吸收塔2中循环吸收；所述一级HF吸收塔1的塔顶产出顶部产物，所述一级HF吸收塔1的塔底产出混合溶液三，将所述混合溶液三排入一级KHF2罐6，将一级KHF2罐6中的混合溶液经第一循环泵9排入到一级HF吸收塔1中循环吸收；
所述电解槽阴极气中H2的含量55％，N2的含量35％，HF的含量为10％；所述第三循环泵的排放流量为3L/min；所述混合溶液一、混合溶液二和混合溶液三均包括KF和KHF2；所述顶部产物包括H2、N2和极少量的HF；
S1中所述一级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述一级KHF2罐体积的20％～80％；所述二级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述二级KHF2罐体积的20％～80％；S2中所述三级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述三级KHF2罐体积的20％～80％；
S3、持续的将电解槽阴极气依次通过三级HF吸收塔、二级HF吸收塔和一级HF吸收塔，保证三级KHF2罐温度为30℃，所述一级HF吸收塔、二级HF吸收塔和三级HF吸收塔内的压力均为0.15Mpa；
S4、检测所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度，当所述混合溶液中KHF2的浓度为4.5mol/L时，将所述混合溶液经成品KHF2溶液排出口11排出并降温至5℃，然后进行过滤，得到KHF2结晶和KF溶液；
S5、将S4中得到的KHF2结晶干燥后除水，得到除水后的KHF2结晶，当所述除水后的KHF2结晶的水分含量小于0.5％时，然后将所述除水KHF2结晶加热至380℃，得到HF气体和KF与KHF2的混合液，对得到的HF气体进行收集储藏；
S6、待S4中所述三级KHF2罐中的混合溶液全部排出后，依次将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，同时将S4中得到的KF溶液和S5中得到的KF与KHF2的混合液重新输入至一级KHF2罐内，若所述一级KHF2罐内的液位低于一级KHF2罐高度的20％，则通过KF溶液加入口12补充新的水和KF溶液；所述一级KHF2罐中的混合溶液排入二级KHF2罐的速率为2.5L/min；
将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，使所述三级KHF2罐内的液位不低于三级KHF2罐高度的20％；将一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，使所述二级KHF2罐内的液位不低于二级KHF2罐高度的20％。
经检测：S5中得到的HF气体的纯度为98.6％。
实施例1-3中的一级KHF2罐、二级KHF2罐和三级KHF2罐的体积均为7m3，直径为1500mm。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何限制。凡是根据发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。
Claims (8)
1.一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将KF溶液排入一级KHF2罐中，然后将所述一级KHF2罐中的KF溶液排入二级KHF2罐中，再将所述二级KHF2罐中的KF溶液排入至三级KHF2罐中；
S2、将所述三级KHF2罐中的KF溶液排入到三级HF吸收塔中，同时将电解槽阴极气通入所述三级HF吸收塔中，进行HF的吸收，所述三级HF吸收塔的塔顶产出的未完全反应的电解槽阴极气，所述三级HF吸收塔的塔底产出混合溶液一，将所述混合溶液一排入三级KHF2罐中，然后将三级KHF2罐中的混合溶液通过第三循环泵排入三级HF吸收塔中循环吸收；
将所述未完全反应的电解槽阴极气通入二级HF吸收塔中，同时将二级KHF2罐中的KF溶液排入到二级HF吸收塔中，继续进行HF的吸收，所述二级HF吸收塔的塔顶产出少量的未完全反应的电解槽阴极气并通入一级HF吸收塔中，同时将一级KHF2罐中的KF溶液排入到一级HF吸收塔中，所述二级HF吸收塔的塔底产出混合溶液二，所述混合溶液二排入二级KHF2罐中，然后将二级KHF2罐中的混合溶液排入到二级HF吸收塔中循环吸收；所述一级HF吸收塔的塔顶产出顶部产物，所述一级HF吸收塔的塔底产出混合溶液三，将所述混合溶液三排入一级KHF2罐，将一级KHF2罐中的混合溶液排入到一级HF吸收塔中循环吸收；
S3、持续的将所述电解槽阴极气依次通过三级HF吸收塔、二级HF吸收塔和一级HF吸收塔，控制所述三级KHF2罐的温度为10℃～50℃；
S4、检测所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度，当所述三级KHF2罐中的混合溶液中KHF2的浓度为4mol/L～5mol/L时，将所述三级KHF2罐中的混合溶液排出并降温，然后进行过滤，得到KHF2结晶和KF溶液；
S5、将S4中得到的KHF2结晶干燥后，进行蒸发除水，得到除水后的KHF2结晶，当所述除水后的KHF2结晶的水分含量小于0.5％时，然后将所述除水后的KHF2结晶加热至320℃以上，得到HF气体和KF与KHF2的混合液；
S6、待S4中所述三级KHF2罐中的混合溶液全部排出后，依次将所述二级KHF2罐中的混合溶液排入至所述三级KHF2罐内，一级KHF2罐中的混合溶液排入至所述二级KHF2罐内，再将S4中得到的KF溶液和S5中得到的KF与KHF2的混合液重新输入至一级KHF2罐内，若所述一级KHF2罐内的液位低于所述一级KHF2罐高度的20％，则补充水和KF溶液。
2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S1中所述KF溶液的温度为10℃～50℃，浓度为10mol/L～16mol/L。
3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S1中所述一级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述一级KHF2罐体积的20％～80％；所述二级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述二级KHF2罐体积的20％～80％；S2中所述三级KHF2罐中的KF溶液的体积是所述三级KHF2罐体积的20％～80％。
4.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S2中所述第三循环泵的排放流量为3L/min。
5.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S2中所述混合溶液一、混合溶液二和混合溶液三均包括KF和KHF2；S2中所述电解槽阴极气包括H2、N2和HF。
6.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S3中所述一级HF吸收塔、二级HF吸收塔和三级HF吸收塔内的压力均为0～0.3Mpa。
7.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S4中所述降温的温度为0～10℃；S5中所述蒸发除水的温度为170℃～200℃。
8.根据权利要求1所述的一种三氟化氮电解槽排放的阴极尾气中的HF的回收工艺，其特征在于，S6中所述一级KHF2罐中的混合溶液排入至二级KHF2罐的速率≤3.5L/min。
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