CN114485405A - 三维测量装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供三维测量装置，其具备：光源部，射出测距光；投光光学部，向测距光轴上照射测距光；扫描镜，在相对于旋转轴的轴心倾斜的状态下设置成以旋转轴为中心能够旋转，在与旋转轴交叉的面内旋转照射测距光；受光光学部，接收反射测距光；参照光光学部，设置在照射范围中测量范围以外的范围中，将在扫描镜反射的测距光作为内部参照光接收并反射，能改变反射的内部参照光的光量；受光元件，接收反射测距光和从参照光光学部引导的内部参照光，所述参照光光学部具有：透过率可变滤波器，能够对应于接收到的电信号来改变所述内部参照光的透射率；以及循环反射的反射片，反射透过所述透过率可变滤波器的所述内部参照光。

Description

三维测量装置
本申请是申请日为2018年8月23日、申请号为201810970279.4、发明名称为“三维测量装置”的专利申请的分案申请，其全部内容援引于此作为参考。
技术领域
本发明涉及通过向测量对象物照射测距光测量到测量对象物的距离并且检测测距光的照射方向从而获取测量对象物的三维数据的三维测量装置。
背景技术
通常，已知获取测量对象物的多点的三维数据(三维点组数据)的三维测量装置。三维测量装置向测量对象物照射脉冲激光光线作为测距光，接收在测量对象物反射的每个脉冲激光的反射光。而且，三维测量装置根据接收到的反射光和内部参照光，测量到测量对象物的距离，并且通过检测测距光的照射方向(水平角以及铅直角)，从而获取测量对象物的三维数据。
例如，内部参照光通过将从发光元件射出的测距光的一部分例如用分束器等分割来获取。在这种情况下，需要挡板的切换动作，切换用于向测量对象物照射测距光通过受光元件接收在测量对象物反射的反射光的光路、和用于例如将由分束器等分割的测距光的一部分作为内部参照光通过受光元件接收的光路。但是，在具有现有的电子设备(致动器或DC电刷电机等)的挡板部的切换动作中，在电特性上，存在难以进行高速切换的问题，或者光轴调整中耗费工夫的问题。
相对于此，在专利文件1中，公开了具备配置在监控角度扫描范围的外侧(测量区域的外侧)的标准物体的激光距离测量装置。在专利文件1中公开的激光距离测量装置中，标准物体通过发送脉冲光束被扫描。而且，发送脉冲光束通过标准物体反射。这时，发送脉冲光束的能量通过设置在标准物体上的衰减滤波器减弱。在专利文件1公开的激光距离测量装置中，由于通过发送脉冲光束被扫描反射发送脉冲光束的标准物体配置在监控角度扫描范围的外侧，因此不需要挡板的切换动作。
但是，在专利文件1公开的激光距离测量装置中，发送脉冲光束的能量的衰减程度在扫描方向上连续变化。因此，为了使发送脉冲光束的能量的衰减程度连续变化，需要确保相对广的扫描范围。但是，通过这样的方式，存在监控角度扫描范围(测量区域)变窄的问题。
【先行技术文献】
【专利文件】
专利文献1：专利第4024912号公报。
发明内容
本发明是为了解决所述课题而提出的，其目的在于提供能够不需要挡板的切换动作并且能够确保比较广的测量范围的三维测量装置。
根据本发明，所述课题通过三维测量装置解决，所述三维测量装置的其特征在于，向测量对象物照射测距光，根据所述测距光在所述测量对象物反射的反射测距光和内部参照光测量到所述测量对象物的距离，并检测所述测距光的照射方向，从而获取所述测量对象物的三维数据，所述三维测量装置具备：光源部，射出所述测距光；投光光学部，将从所述光源部射出的所述测距光照射在测距光轴上；扫描镜，在相对于旋转轴的轴心倾斜的状态下设置成能够以所述旋转轴为中心旋转，将从所述投光光学部引导出的所述测距光旋转照射在与所述旋转轴交叉的面内；受光光学部，接收在所述测量对象物反射经由所述扫描镜引导的所述反射测距光；参照光光学部，设置在通过所述扫描镜旋转照射所述测距光的照射范围中所述测距光照射所述测量对象物的测量范围之外的范围中，将在所述扫描镜反射的所述测距光作为所述内部参照光接收并反射，能够改变反射的所述内部参照光的光量；以及受光元件，接收所述反射测距光和从所述参照光光学部引导的所述内部参照光，所述参照光光学部具有：透过率可变滤波器，能够对应于接收到的电信号来改变所述内部参照光的透射率；以及循环反射的反射片，反射透过所述透过率可变滤波器的所述内部参照光。
根据所述构成，将通过扫描镜反射的测距光作为内部参照光接收并反射的参照光光学部设置在测距光的照射范围中测量范围之外的范围中。照射范围是通过所述扫描镜旋转照射测距光的范围。测量范围是向测量对象物照射测距光的范围。这样，参照光光学部设置在照射范围中测量范围之外的范围，因此，不需要挡板切换用于向测量对象物照射测距光通过受光元件接收反射的反射光的光路和用于将作为光学部件分割的测距光的一部分被受光元件接收的光路。由此，能够避免挡板的切换动作。
另外，参照光光学部能够改变反射的内部参照光的光量。即，内部参照光的光量并不是对应于测距光的照射方向(扫描方向)变化，而能够通过参照光光学部改变。因此，能够抑制用于获取内部参照光的测距光的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部获取光量彼此不同的内部参照光。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
另外，参照光光学部具有具有透过率可变滤波器。透过率可变滤波器能够对应于接收到的电信号来改变内部参照光的透射率。即，内部参照光对于透过率可变滤波器的透射率对应于透过率可变滤波器接收到的电信号是可变的。因此，能够抑制用于获取内部参照光的测距光的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部获取光量彼此不同的内部参照光。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。另外，参照光光学部具有反射片。反射片进行透过透过率可变滤波器的内部参照光的循环反射。由此，与棱镜或镜子反射内部参照光的情况不同，不需要光轴调整。因此，能够省去光轴调整耗费的工夫。
优选地，其特征在于，所述透过率可变滤波器为液晶面板。
根据所述构成，透过率可变滤波器为液晶面板，因此能够对应于接收到的电信号来改变内部参照光对于透过率可变滤波器的透射率。
优选地，所述参照光光学部还具有产生旋转力的电机，所述浓度可变滤波器设置成能够通过从所述电机传递来的旋转力旋转，所述光学浓度在圆周方向上变化的带浓度梯度滤波器。
根据所述构成，浓度可变滤波器是光学浓度在圆周方向上变化的带浓度梯度滤波器。而且，浓度可变滤波器设置成能够通过从电机传递来的旋转力旋转。因此，若浓度可变滤波器旋转，则内部参照光透过的区域的光学浓度变化。通过设置有光学浓度的梯度的浓度可变滤波器旋转，能够抑制用于获取内部参照光的测距光的照射范围(扫描范围)，并且能够获取光量彼此不同的内部参照光。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
优选地，所述参照光光学部的特征在于，具有：透过率可变滤波器，能改变所述内部参照光的透过率；以及循环反射的反射片，反射透过所述透过率可变滤波器的所述内部参照光。
根据所述构成，参照光光学部具有透过率可变滤波器。透过率可变滤波器能够改变内部参照光的透过率。也就是说，内部参照光对于透过率可变滤波器的的透过率是可变的。因此，能够抑制用于获取内部参照光的测距光的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部获取光量彼此不同的内部参照光。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。另外，参照光光学部具有反射片。反射片进行透过浓度可变滤波器的内部参照光的循环反射。由此，与棱镜或镜子反射内部参照光的情况不同，不需要光轴调整。因此，能够省去光轴调整耗费的工夫。
发明效果
根据本发明，能够提供能够不需要挡板的切换动作并且能够确保比较广的测量范围的三维测量装置。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的三维测量装置的框图。
图2是说明本实施方式的三维测量装置的控制系统的框图。
图3是说明本实施方式的参照光光学部的图。
图4是说明本实施方式的比较例的三维测量装置的图。
图5是例示本实施方式的三维测量装置的距离计算处理的流程图。
图6是例示本比较例的三维测量装置的距离计算处理的流程图。
图7是说明本实施方式的参照光光学部的第一变形例的图。
图8是说明本实施方式的参照光光学部的第二变形例的图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的优选的实施方式。
此外，以下说明的实施方式是本发明的优选的具体例，因而添加了技术上优选的各种限定，但是在以下的说明中只要没有特别限定本发明的内容的记载，则本发明的范围不受这些方式的限定。另外，在各附图中，对于相同的构成要素标注相同的符号而适当省略详细的说明。
图1是示出本发明的实施方式的三维测量装置的框图。
在本实施方式的说明中，举出三维测量装置是三维激光扫描仪的情况为例。
如图1所示，三维测量装置1具备：调整对准部2，安装在三脚(未图示)上；基座部3，设置于调整对准部2；托架部5，设置成在基座部3经由水平旋转部4能够在水平方向上旋转；以及扫描镜7，设置成在托架部5上以铅直旋转轴6为中心能够在铅直方向(高低方向)上旋转。
调整对准部2例如具有三个调整螺丝8。通过以设置在托架部5的倾斜传感器(未图示)检测为水平的方式调整调整螺丝8来进行调整对准部2的调整对准。
水平旋转部4具有经由轴承9旋转自在地设置在基座部3，被铅直支持的水平旋转轴11。托架部5被水平旋转轴11支持，与水平旋转轴11一体地旋转。
在水平旋转部4中容纳有包括水平驱动电机12的水平驱动部13和检测水平旋转轴11的旋转角的水平角检测器(例如编码器)14。托架部5通过从水平驱动电机12传递来的驱动力以水平旋转轴11为中心旋转。相水平旋转轴11对于基座部3的旋转角(即托架部5的旋转角)通过水平角检测器14检测。
水平角检测器14的检测结果(水平角)被输入到控制运算部15中。水平驱动电机12的驱动根据水平角检测器14的检测结果，通过控制运算部15控制。
在托架部5的中央部形成有凹部16。在凹部16的两侧形成有第一室5a和第二室5b。在第一室5a(图1中左侧的室)中容纳有铅直驱动部17、铅直角检测器18。在第二室5b(在图1中右侧的室)中容纳有测距发光部19、公共光路部21、测距部22、摄像部23、参照光光学部24。在托架部5的内部的必要位置容纳有控制运算部15。另外，在托架部5的必要部分设置有显示部25、操作部26。
铅直旋转轴6具有水平延伸的轴心，经由轴承27旋转自如地被托架部5支持。铅直旋转轴6的一端部向凹部16突出。扫描镜7设置在向凹部16突出的铅直旋转轴6的一端部，相对于铅直旋转轴6的轴心倾斜45°。扫描镜7通过铅直旋转轴6被支持在凹部16内，能够以铅直旋转轴6为中心沿铅直方向旋转。
铅直驱动部17具有使铅直旋转轴6旋转的铅直驱动电机28。扫描镜7经由铅直旋转轴6通过从铅直驱动电机28传递的驱动力旋转。本实施方式的扫描部29具有铅直旋转轴6、扫描镜7、铅直驱动电机28。
在铅直旋转轴6的另一方的一端部设置有铅直角检测器18(例如增量式编码器)。通过铅直角检测器18检测出铅直旋转轴6相对于托架部5的旋转角。铅直角检测器18的检测结果(铅直角)被输入到控制运算部15中。铅直驱动电机28的驱动根据铅直角检测器18的检测结果，通过控制运算部15控制。
测距发光部19具有测距光源部31和包含物镜等的投光光学部33。测距光源部31例如是半导体激光等，将测距光35向测距光轴32上射出。本实施方式的测距光35是作为不可见光的红外光的脉冲激光光线。测距光源部31被控制运算部15控制，在包含必要的光强度或必要的脉冲间隔等的必要的状态下，发射脉冲光。
公共光路部21具有第一分束器38和第二分束器39。测距部22具有包括集光透镜等的受光光学部41、受光元件42。受光元件42接收测距光35在测量对象物(未图示)反射的反射测距光37中的、透过受光光学部41的反射测距光37，转换为电信号。另外，受光元件42接收从参照光光学部24导出的内部参照光36，转换为电信号。
即，由测距光源部31输出的测距光35经由投光光学部33，引导到公共光路部21。被引导到公共光路部21的测距光35依次在第一分束器38和第二分束器39反射，被引导到扫描镜7。此外，透过第一分束器38和第二分束器39的测距光35由未图示的反射防止部件吸收。
扫描镜7是偏转光学部件，直角地反射从水平方向入射的测距光35。另外，扫描镜7使入射到扫描镜7的反射测距光37以及内部参照光36向第二分束器39在水平方向上反射。
从公共光路部21被引导到扫描镜7的测距光35在扫描镜7反射，照射到测量对象物。另外，从公共光路部21被引导到扫描镜7的测距光35在扫描镜7反射，作为内部参照光36照射到参照光光学部24。即，在测距光35的照射范围中的测量范围中，测距光35在扫描镜7反射，照射到测量对象物。另一方面，在测距光35的照射范围中的测量范围之外的范围中，测距光35在扫描镜7反射，作为内部参照光36由参照光光学部24接收反射。也就是说，参照光光学部24设置在测距光35的照射范围中测量范围之外的范围中。内部参照光36是测距光35的一部分光中由参照光光学部24接收反射的光。在本申请说明书中，“照射范围”是指通过扫描镜7旋转照射测距光35的范围。另外，“测量范围”是向测量对象物照射测距光35的范围。
扫描镜7以铅直旋转轴6为中心旋转时，测距光35在交叉在铅直旋转轴6的面内(在本实施方式中铅直面内)旋转照射。另外，托架部5通过水平旋转部4在水平方向上旋转时，以水平旋转轴11为中心在水平方向上旋转照射测距光35。因此，通过扫描镜7的铅直方向的旋转和托架部5的水平方向的旋转的协作，三维测量装置1能够通过测距光35扫描测量范围全域。
在存在于测量范围内的测量对象物反射的反射测距光37入射到扫描镜7中。入射到扫描镜7的反射测距光37在扫描镜7反射，入射到公共光路部21。反射测距光37透过第二分束器39，被引导到测距部22。另外，在设置在测量范围之外的范围的参照光光学部24反射的内部参照光36入射到扫描镜7中。入射到扫描镜7的内部参照光36在扫描镜7反射，入射到公共光路部21。内部参照光36透过第二分束器39，被引导到测距部22。
测距部22的受光元件42经由受光光学部41接收在测量对象物反射的反射测距光37和在参照光光学部24反射的内部参照光36。在受光元件42中，反射测距光37和内部参照光36转换为反射测距光电信号以及内部参照光电信号的各个，发送给控制运算部15。到测量对象物的距离根据反射测距光电信号和内部参照光电信号之间的时间间隔的差测量。
控制运算部15根据到测量的测量对象物的距离、由铅直角检测器18检测的铅直角、由水平角检测器14检测的水平角，计算测量对象物的坐标值。另外，控制运算部15通过记录每个脉冲光的测量对象物的坐标值，能够得到与测量范围全域相关的点组数据，或者与测量对象物相关的点组数据。检测测距光轴32的方向的角度检测部具有水平角检测器14和铅直角检测器18。即，测距光35的照射方向通过具有水平角检测器14和铅直角检测器18的角度检测部检测。
在摄像部23的摄像光轴上设置有摄像元件45。摄像元件45具有像素(pixel)的集合体，输出数码图像信号。作为摄像元件45，例如举出CCD或CMOS传感器等。能够确定摄像元件45的各像素在摄像元件45内的位置。
图2是说明本实施方式的三维测量装置的控制系统的框图。
在控制运算部15电连接有操作部26、铅直角检测器18、水平角检测器14。向控制运算部15输入从铅直角检测器18和水平角检测器14的各个输出的角度检测信号，并且根据作业者的操作，输入从操作部26输出的操作信号。
作业者为了开始三维测量装置1的测量通过操作部26进行必要条件的设定。作为必要条件的设定，例如举出测量范围的设定、点组数据密度(间隔)的设定，或者摄像时的摄像条件的设定等。在显示部25显示由操作部26输入的设定条件等。由此，作业者能够在显示部25确认由操作部26输入的设定条件等。此外，操作部26或显示部25可以设置在托架部5，或者也可以与托架部5独立设置，通过无线或红外线等的信号传递介质能够远程操作。
控制运算部15驱动测距光源部31、水平驱动电机12、铅直驱动电机28，控制显示作业状况或测量结果等的显示部25。另外，在控制运算部15设置有存储卡或HDD等的外部存储装置46。外部存储装置46可以固定地设置在控制运算部15，或者也可以成能够装卸。
控制运算部15具有：CPU所代表的运算部47、存储部48、控制测距光源部31的发光的测距发光驱动部49、驱动控制水平驱动电机12的水平驱动部13、驱动控制铅直驱动电机28的铅直驱动部17。另外，控制运算部15具有处理由测距部22得到的距离数据的距离数据处理部51和处理由摄像部23得到的图像数据的图像数据处理部52。
存储部48存储执行测距、铅直角的测量以及水平角的测量的次序程序、进行测距的运算等的运算程序、执行测量数据的处理的测量数据处理程序、控制摄像部23的摄像状态的摄像程序、执行图像处理的图像处理程序、在显示部25显示数据的图像显示程序等的程序，或者综合管理这些程序的程序等。另外，存储部48存储测量数据或者图像数据等的数据。
此外，运算部47也可以具有距离数据处理部51的功能以及图像数据处理部52的功能。在这种情况下，距离数据处理部51以及图像数据处理部52也不是必须设置。
另外，距离数据处理部51以及图像数据处理部52也可以与控制运算部15分开设置。例如，可以是与控制运算部15不同的计算机执行距离数据处理部51和图像数据处理部52的功能。在这种情况下，例如距离数据和图像数据经由三维测量装置1和设置在计算机上的通信单元，从三维测量装置1向计算机发送。而且，计算机执行距离数据处理以及图像数据处理。作为通信单元，例如举出光通信、无线通信、LAN等的通信单元。
图3是说明本实施方式的参照光光学部的图。
图4是说明本实施方式的比较例的三维测量装置的图。
此外，为了说明方便，在图3中省略摄像部23。这在图7和图8中也同样。
首先，参考图4说明本实施方式的比较例的三维测量装置1A。在图4示出的本比较例的三维测量装置1A中，第三分束器55以及第一挡板53设置在投光光学部33和第一分束器38之间。第三分束器55和第一挡板53从投光光学部33向第一分束器38以该顺序配置。
另外，第四分束器56设置在受光光学部41、受光元件42之间。并且，第二挡板54、带浓度梯度滤波器243和透镜57设置在第三分束器55和第四分束器56之间。第二挡板54、带浓度梯度滤波器243和透镜57从第三分束器55向第四分束器56以该顺序配置。
第一挡板53和第二挡板54的各个能够调整光的透过率。即，第一挡板53和第二挡板54分别能够通过打开挡板透过光、或者通过关闭挡板截断光。在第一挡板53打开的情况下，由测距光源部31输出的测距光35透过第三分束器55和第一挡板53，在第一分束器38、第二分束器39依次反射，引导到扫描镜7中。
另一方面，在第二挡板54打开的情况下，由测距光源部31输出的测距光35的一部分在第三分束器55反射，作为内部参照光36透过第二挡板54。在第三分束器55反射、透过第二挡板54的内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243和透镜57，引导到第四分束器56中。被引导到第四分束器56的内部参照光36在第四分束器56反射，由受光元件42接收。
带浓度梯度滤波器243被电机241的轴242支持，设置成通过从电机241传递来的旋转力能够以电机241的轴242为中心旋转。带浓度梯度滤波器243的光学浓度在圆周方向上变化。因此，若带浓度梯度滤波器243旋转，则内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243的区域的光学浓度变化。由此，光量彼此不同的内部参照光36被引导到第四分束器56中。其他的构成要素，在图1中与上述的三维测量装置1的构成要素相同。
这样，本比较例的三维测量装置1A通过第三分束器55分割从测距光源部31射出的测距光35的一部分，并且进行第一挡板53以及第二挡板54的挡板控制。由此，获取内部参照光36。关于第一挡板53以及第二挡板54的挡板控制的详细将于后述。在本比较例的三维测量装置1A中，由于不能同时处理测距光35和内部参照光36，因此第一挡板53和第二挡板54的切换动作是必要的。另外，在三维测量装置1A和测量对象物之间的距离短的情况下，若不进行第一挡板53和第二挡板54的切换动作，则不能分离测距光35和内部参照光36。但是，在本比较例的三维测量装置1A中，存在难以高速地进行挡板的切换动作的问题，或者光轴调整花费时间的问题。
对此，如图1和图3所示，在本实施方式的三维测量装置1中，参照光光学部24设置在测距光35的照射范围中测量范围之外的范围，将在扫描镜7反射的测距光35作为内部参照光36接收并反射。另外，参照光光学部24能够改变反射的内部参照光36的光量。
具体而言，参照光光学部24具有电机241、带浓度梯度滤波器243、反射片244、滤波器245。电机241具有轴242，产生旋转力。带浓度梯度滤波器243被电机241的轴242支持，设置成通过从电机241传递来的旋转力能够以电机241的轴242为中心旋转。带浓度梯度滤波器243的光学浓度在圆周方向上变化。换言之，在带浓度梯度滤波器243上设置有光学浓度在圆周方向上变化的浓度梯度。带浓度梯度滤波器243的光学浓度不是必须沿着圆周方向依次升高或者降低，也可以在圆周方向上变化。若带浓度梯度滤波器243通过从电机241传递的旋转力旋转，则内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243的区域的光学浓度变化。因此，内部参照光36对于带浓度梯度滤波器243的透过率是可变的。本实施方式的带浓度梯度滤波器243是能够改变内部参照光36透过的区域的光学浓度的浓度可变滤波器246(参考图7)中的一个。
反射片244设置在从带浓度梯度滤波器243观察扫描镜7的相反侧，反射透过带浓度梯度滤波器243的测距光35。这时，反射片244进行内部参照光36的循环反射。由此，与棱镜或镜子反射内部参照光36的情况不同，不需要光轴调整。因此，能够省去光轴调整耗费的工夫。
滤波器245设置在扫描镜7和带浓度梯度滤波器243之间，例如由玻璃等形成。滤波器245能够调整因三维测量装置1的不均匀导致的内部参照光36的光量的不均匀。另外，滤波器245能够抑制在带浓度梯度滤波器243的表面反射内部参照光36。此外，滤波器245不是必须设置。
在扫描镜7反射、透过滤波器245以及带浓度梯度滤波器243的测距光35在反射片244反射。在反射片244反射的内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243以及滤波器245，在扫描镜7反射。当内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243时，内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243的区域的光学浓度变化。即，当内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243时，内部参照光36对于带浓度梯度滤波器243的透过率变化。由此，光量彼此不同的内部参照光36被扫描镜7引导而获取。在扫描镜7反射的内部参照光36透过第二分束器39，被引导到受光元件42。
根据本实施方式的三维测量装置1，参照光光学部24设置在照射范围中测量范围之外的范围，因此不需要切换用于通过受光元件42接收向测量对象物照射测距光35在测量对象物反射的反射测距光37的光路和用于将用光学部件(例如第三分束器55)分割的测距光35的一部分作为内部参照光36在受光元件42接收的光路的挡板(例如第一挡板53和第二挡板54)。由此，能够避免挡板的切换动作。
另外，参照光光学部24能够改变反射的内部参照光36的光量。即，内部参照光36的光量并不是对应于测距光35的照射方向(扫描方向)变化，而能够通过参照光光学部24改变。因此，能够抑制用于获取内部参照光36的测距光35的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部24获取光量彼此不同的内部参照光36。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
具体而言，如前所述，带浓度梯度滤波器243的光学浓度在圆周方向上变化。若带浓度梯度滤波器243通过从电机241传递的旋转力旋转，则内部参照光36透过带浓度梯度滤波器243的区域的光学浓度变化。因此，内部参照光36对于带浓度梯度滤波器243的透过率是可变的。通过设置有光学浓度的梯度的带浓度梯度滤波器243旋转，能够抑制用于获取内部参照光36的测距光35的照射范围(扫描范围)，并且能够获取光量彼此不同的内部参照光36。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
接着，参照附图说明到测量对象物的距离的计算处理(测量处理)。
图5是例示本实施方式的三维测量装置的距离计算处理的流程图。
图6是例示本比较例的三维测量装置的距离计算处理的流程图。
首先，参考图6说明本比较例的三维测量装置1A的距离计算处理。此外，本比较例的三维测量装置1A的主要部分构成如在图4所述。
首先，在步骤S21中，控制运算部15执行控制，关闭第一挡板53，打开第二挡板54。由此，透过第三分束器55的测距光35通过第一挡板53截断。另一方面，在第三分束器55反射的测距光35作为内部参照光36透过第二挡板54、带浓度梯度滤波器243和透镜57，在第四分束器56反射，引导到受光元件42。
接着，在步骤S22中，距离数据处理部51根据受光元件42接收到的内部参照光(内光)36，计算内光距离。即，距离数据处理部51根据由受光元件42接收的内部参照光36中转换成内部参照光电信号的内部参照光36，处理内光距离数据。接着，在步骤S23中，存储部48存储内光距离数据。
接着，在步骤S24中，控制运算部15执行控制，打开第一挡板53，关闭第二挡板54。由此，透过第三分束器55的测距光35透过第一挡板53，在第一分束器38和第二分束器39依次反射，被引导到扫描镜7。而且，测距光35在扫描镜7反射，向测量对象物照射。另一方面，在第三分束器55反射的测距光35作为内部参照光36由第二挡板54截断。
此外，步骤S24的处理顺序也不是必须在步骤S23的处理之后。例如，步骤S24的处理可以在步骤S21和步骤S22之间，或者在步骤S22和步骤S23之间执行。第一挡板53和第二挡板54的各个挡板的应答时间(包括稳定时间)例如约为100ms(毫秒)以上，200ms以下左右。因此，步骤S21的处理时间和步骤S24的处理时间的合计例如约为200ms以上，400ms以下左右。
在步骤S24后续的步骤S25中，距离数据处理部51根据受光元件42接收的反射测距光(外光)37，计算外光距离。即，距离数据处理部51根据由受光元件42接收的反射测距光37中转换成反射测距光电信号的反射测距光37，处理外光距离数据。接着，在步骤S26中，距离数据处理部51根据存储部48所存储的内光距离数据、外光距离数据，计算到测量对象物的距离。
接着，在步骤S27中，控制运算部15判断1扫描是否结束。在1扫描没有结束的情况下(步骤S27：否)，控制运算部15关于步骤S25执行上述的处理。也就是说，控制运算部15在1扫描的测量中，获取测量范围全域相关的点组数据，或者与测量对象物相关的点组数据。例如，控制运算部15在从测量开始经过规定时间时，判断1扫描结束。或者，例如，控制运算部15在温度的变化量为规定值以上时，判断1扫描结束。即，若存在内部参照光36变化的要素，则控制运算部15判断1扫描结束。这样，1扫描的结束并不限定于扫描镜7以铅直旋转轴6为中心旋转1周。此外，扫描镜7以铅直旋转轴6为中心旋转1周的时间为约30ms左右。
另一方面，在1扫描结束的情况下(步骤S27：是)，控制运算部15在步骤S28判断测量是否结束。在测量没有结束的情况下(步骤S28：否)，控制运算部15关于步骤S21执行上述处理。也就是说，若存在内部参照光36变化的要素，控制运算部15执行控制，关闭第一挡板53，打开第二挡板54(步骤S21)。而且，距离数据处理部51根据受光元件42接收的内部参照光(内光)36，计算内光距离(步骤S22)。即，在每1扫描结束，距离数据处理部51处理(获取)内光距离数据。
另一方面，在测量结束的情况下(步骤S28：是)，控制运算部15结束距离计算处理。
这样，本比较例的三维测量装置1A进行第一挡板53以及第二挡板54的挡板控制。但是，在本比较例的三维测量装置1A中，存在难以高速地进行第一挡板53以及第二挡板54的切换动作的问题，或者光轴调整花费时间的问题。
对此，在本实施方式的三维测量装置1中，如图3所示，参照光光学部24设置在测距光35的照射范围中测量范围之外的范围，将在扫描镜7反射的测距光35作为内部参照光36接收并反射。在此，在本实施方式的三维测量装置1中，首先，在步骤S11中，控制运算部15控制扫描镜7，向照射范围中测量范围以外的范围照射测距光35。即，控制运算部15控制扫描镜7，将测距光35作为内部参照光36照射在参照光光学部24上。
在参照光光学部24接收并反射的内部参照光36在扫描镜7反射，透过第二分束器39，被引导到受光元件42中。而且，距离数据处理部51根据受光元件42接收的内部参照光(内光)36，计算内光距离。即，距离数据处理部51根据由受光元件42接收的内部参照光36中的转换成内部参照光电信号的内部参照光36，处理内光距离数据。接着，在步骤S12中，存储部48存储内光距离数据。
接着，在步骤S13中，控制运算部15控制扫描镜7，向照射范围中测量范围照射测距光35。即，控制运算部15控制扫描镜7，将测距光35向测量对象物照射。在存在于测量范围内的测量对象物反射的反射测距光37在扫描镜7反射，透过第二分束器39，被引导到测距部22。而且，距离数据处理部51根据受光元件42接收的反射测距光(外光)37，计算外光距离。即，距离数据处理部51根据由受光元件42接收的反射测距光37中的转换成反射测距光电信号的反射测距光37，处理外光距离数据。
接着，在步骤S14中，距离数据处理部51根据存储部48所存储的内光距离数据、外光距离数据，计算到测量对象物的距离。接着，控制运算部15在步骤S15判断测量是否结束。在测量没有结束的情况下(步骤S15：否)，控制运算部15关于步骤S11执行上述处理。也就是说，在测量没有结束的情况下(步骤S15：否)，控制运算部15无论是否结束1扫描(是否存在内部参照光36变化的要素)，控制扫描镜7，将测距光35作为内部参照光36，照射到参照光光学部24。也就是说，距离数据处理部51计算到测量对象物的距离(步骤S14)，在测量没有结束的情况下(步骤S15：否)，每当距离计算结束时，距离数据处理部51处理(获取)内光距离数据。
在接着步骤S14的步骤S15中，在测量结束的情况下(步骤S15：是)，控制运算部15结束距离计算处理。
这样，在本实施方式的三维测量装置1中，每当结束1扫描，控制运算部15并没有进行第一挡板53以及第二挡板54的挡板控制。在本实施方式的三维测量装置1中，每当距离计算结束时，距离数据处理部51处理(获取)内光距离数据。由此，能够不需要挡板的切换动作。另外，内部参照光36的光量并不是对应于测距光35的照射方向(扫描方向)变化，而能够通过参照光光学部24改变。这一点如在图3中所述。因此，能够抑制用于获取内部参照光36的测距光35的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部24获取光量彼此不同的内部参照光36。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
接着，参考附图说明本实施方式的参照光光学部的变形例。
此外，在变形例的三维测量装置的构成要素与如在图1～图3中上述的本实施方式的三维测量装置的构成要素同样的情况下，适当省略重复的说明，下面，以不同点为中心进行说明。
图7是说明本实施方式的参照光光学部的第一变形例的图。
本变形例的参照光光学部24A具有浓度可变滤波器246、反射片244、滤波器245。反射片244和滤波器245如在图3中所述。浓度可变滤波器246设置在滤波器245和反射片244之间。在没有设置电机241和带浓度梯度滤波器243而设置浓度可变滤波器246的点上，本变形例的参照光光学部24A与图1以及图3的上述的参照光光学部24不同。
浓度可变滤波器246设为能够改变内部参照光36透过的区域的光学浓度。因此，内部参照光36对于浓度可变滤波器246的透过率是可变的。也就是说，关于图3所述的带浓度梯度滤波器243是本变形例的浓度可变滤波器246中的一个。其他主要部分的构成与在图1以及图3中所述的参照光光学部24相同。
在扫描镜7反射、透过滤波器245以及浓度可变滤波器246的内部参照光36在反射片244反射。在反射片244反射的内部参照光36透过浓度可变滤波器246以及滤波器245，在扫描镜7反射。当内部参照光36透过浓度可变滤波器246时，内部参照光36透过浓度可变滤波器246的区域的光学浓度变化。即，当内部参照光36透过浓度可变滤波器246时，内部参照光36对于浓度可变滤波器246的透过率变化。由此，光量彼此不同的内部参照光36被扫描镜7引导而获取。在扫描镜7反射的内部参照光36透过第二分束器39，被引导到受光元件42。
根据这一点，由于内部参照光36对于浓度可变滤波器246的透过率是可变的，能够抑制用于获取内部参照光36的测距光35的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部24A获取光量彼此不同的内部参照光36。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
另外，本变形例的参照光光学部24A代替浓度可变滤波器246可以具有透过率可变滤波器247。透过率可变滤波器247设置在滤波器245和反射片244之间，能够改变内部参照光36的透过率。也就是说，内部参照光36对于透过率可变滤波器247的透过率是可变的。作为透过率可变滤波器247，例如举出对应于接收的电信号能够改变透过率的液晶面板等。
在扫描镜7反射、透过滤波器245以及透过率可变滤波器247的内部参照光36在反射片244反射。在反射片244反射的内部参照光36透过透过率可变滤波器247以及滤波器245，在扫描镜7反射。当内部参照光36透过透过率可变滤波器247时，内部参照光36对于透过率可变滤波器247的透过率变化。由此，光量彼此不同的内部参照光36被扫描镜7引导而获取。在扫描镜7反射的内部参照光36透过第二分束器39，被引导到受光元件42。
根据这一点，由于内部参照光36对于透过率可变滤波器247的透过率可变，能够抑制用于获取内部参照光36的测距光35的照射范围(扫描范围)，并且能够通过参照光光学部24A获取光量彼此不同的内部参照光36。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
图8是说明本实施方式的参照光光学部的第二变形例的图。
本变形例的参照光光学部24B具有电机241、带反射率梯度片248、滤波器245。电机241和滤波器245如在图3中所述。在没有设置带浓度梯度滤波器243和反射片244而设置带反射率梯度片248的点上，本变形例的参照光光学部24B与图1以及图3的上述的参照光光学部24不同。
带反射率梯度片248被电机241的轴242支持，设置成通过从电机241传递来的旋转力能够以电机241的轴242为中心旋转。带反射率梯度片248的内部参照光36的反射率在圆周方向上变化。换言之，带反射率梯度片248上设置有内部参照光36的反射率在圆周方向上变化的反射率梯度。带反射率梯度片248的内部参照光36的反射率不是必须沿着圆周方向依次升高或者降低，在圆周方向上变化即可。
若带反射率梯度片248通过从电机241传递的旋转力旋转，则在带反射率梯度片248反射的内部参照光36的反射率变化。即，在扫描镜7反射、透过滤波器245的内部参照光36在带反射率梯度片248反射。这时，由于带反射率梯度片248旋转，则在带反射率梯度片248反射的内部参照光36的反射率变化。由此，光量彼此不同的内部参照光36被扫描镜7引导而获取。在扫描镜7反射的内部参照光36透过第二分束器39，被引导到受光元件42。
根据本变形例，通过带反射率梯度片248旋转，则在带反射率梯度片248反射的内部参照光36的反射率变化。由此，能够抑制用于获取内部参照光36的测距光35的照射范围(扫描范围)，并且能够获取光量彼此不同的内部参照光36。由此，能够抑制测量范围变窄，能够确保相对广的测量范围。
以上就本发明的实施方式进行了说明。但是，本发明并不局限于上述实施方式，在不脱离权利要求书的范围内能够进行各种变更。上述实施方式的构成能够省略其一部分，或者以与上述不同的方式任意组合。
附图标记说明
1、1A…三维测量装置；2…调整对准部；3…基座部；4…水平旋转部；5…托架部；5a…第一室；5b…第二室；6…铅直旋转轴；7…扫描镜；8…调整螺丝；9…轴承；11…水平旋转轴；12…水平驱动电机；13…水平驱动部；14…水平角检测器；15…控制运算部；16…凹部；17…铅直驱动部；18…铅直角检测器；19…测距发光部；21…公共光路部；22…测距部；23…摄像部；24、24A、24B…参照光光学部；25…显示部；26…操作部；27…轴承；28…铅直驱动电机；29…扫描部；31…测距光源部；32…测距光轴；33…投光光学部；35…测距光；36…内部测距光；37…反射测距光；38…第一分束器；39…第二分束器；41…受光光学部；42…受光元件；45…摄像元件；46…外部存储装置；47…运算部；48…存储部；49…测距发光驱动部；51…距离数据处理部；52…图像数据处理部；53…第一挡板；54…第二挡板；55…第三分束器；56…第四分束器；57…透镜；241…电机；242…轴；243…带浓度梯度滤波器；244…反射片；245…滤波器；246…浓度可变滤波器；247…透过率可变滤波器；248…带反射率梯度片。

Claims (2)

1.一种三维测量装置，向测量对象物照射测距光，根据所述测距光在所述测量对象物反射的反射测距光和内部参照光测量到所述测量对象物的距离，并检测所述测距光的照射方向，从而获取所述测量对象物的三维数据，其特征在于，具备：
光源部，射出所述测距光；
投光光学部，将从所述光源部射出的所述测距光照射在测距光轴上；
扫描镜，在相对于旋转轴的轴心倾斜的状态下设置成能够以所述旋转轴为中心旋转，将从所述投光光学部引导的所述测距光旋转照射在与所述旋转轴交叉的面内；
受光光学部，接收在所述测量对象物反射并经由所述扫描镜引导的所述反射测距光；
参照光光学部，能设置在通过所述扫描镜旋转照射所述测距光的照射范围中所述测距光照射所述测量对象物的测量范围之外的范围中，将在所述扫描镜反射的所述测距光作为所述内部参照光接收并反射，改变反射的所述内部参照光的光量；以及
受光元件，接收所述反射测距光和从所述参照光光学部引导的所述内部参照光，
所述参照光光学部具有：
透过率可变滤波器，能够对应于接收到的电信号来改变所述内部参照光的透射率；以及
循环反射的反射片，反射透过所述透过率可变滤波器的所述内部参照光。
2.根据权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，
所述透过率可变滤波器为液晶面板。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7084177B2 (ja) * 2018-03-28 2022-06-14 株式会社トプコン 光波距離計
JP7391650B2 (ja) 2019-08-06 2023-12-05 株式会社トプコン 測量装置
JP7452044B2 (ja) * 2020-01-31 2024-03-19 株式会社デンソー 光検出装置
CN113960566A (zh) 2021-10-15 2022-01-21 杭州宇树科技有限公司 一种3d激光雷达及足式机器人

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5991011A (en) * 1996-11-14 1999-11-23 Sick Ag Laser distance finding apparatus
US20110235018A1 (en) * 2010-03-25 2011-09-29 Hokuyo Automatic Co., Ltd. Scanning-type distance measuring apparatus
EP3096110A2 (en) * 2015-04-30 2016-11-23 Topcon Corporation Three-dimensional surveying instrument and three-dimensional surveying method

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0829537A (ja) 1994-07-13 1996-02-02 Mitsubishi Electric Corp 距離測定装置
DE19607345A1 (de) 1996-02-27 1997-08-28 Sick Ag Laserabstandsermittlungsvorrichtung
JPH1123709A (ja) * 1997-07-07 1999-01-29 Nikon Corp 距離測定装置
JP4531950B2 (ja) * 2000-08-25 2010-08-25 株式会社トプコン 眼科用測定装置
JP4228132B2 (ja) * 2002-10-18 2009-02-25 株式会社トプコン 位置測定装置
JP4442539B2 (ja) 2005-09-27 2010-03-31 パナソニック電工株式会社 空間情報の検出装置
JP4260180B2 (ja) * 2006-11-02 2009-04-30 パナソニック株式会社 三次元形状測定装置及び三次元形状測定装置用プローブ
JP5912234B2 (ja) * 2010-07-16 2016-04-27 株式会社トプコン 測定装置
EP2469295A1 (en) * 2010-12-23 2012-06-27 André Borowski 3D landscape real-time imager and corresponding imaging methods
US9404792B2 (en) * 2013-07-01 2016-08-02 Raytheon Company Auto-alignment system for high precision masted head mirror
EP2937665B1 (de) 2014-04-23 2021-06-16 Hexagon Technology Center GmbH Distanzmessmodul mit einer variablen optischen Abschwächeinheit aus einer LC-Zelle
JP6324270B2 (ja) * 2014-08-28 2018-05-16 株式会社トプコン 測定装置および傾斜センサ装置
JP6315722B2 (ja) * 2016-09-20 2018-04-25 株式会社トプコン 光波距離計
CN114777681A (zh) * 2017-10-06 2022-07-22 先进扫描仪公司 生成一个或多个亮度边缘以形成物体的三维模型

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5991011A (en) * 1996-11-14 1999-11-23 Sick Ag Laser distance finding apparatus
US20110235018A1 (en) * 2010-03-25 2011-09-29 Hokuyo Automatic Co., Ltd. Scanning-type distance measuring apparatus
EP3096110A2 (en) * 2015-04-30 2016-11-23 Topcon Corporation Three-dimensional surveying instrument and three-dimensional surveying method

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