CN114429923A - 一种点胶植片机及其组装系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种点胶植片机及其组装系统,包括点胶单元、上盖贴合单元、保压单元、卸料单元,所述点胶单元通过侧边的上料机将载有晶片的载具件输送至点胶单元上进行点胶操作,所述点胶单元包括移动座、点胶头、第一轨道,所述载具件被输送至第一轨道上,并通过移动座将点胶头移动至载具件所在的上方位置,进行位置矫正后点胶,随后转移至上盖贴合单元上;将点胶单元、上盖贴合单元、保压单元相互结合,具备交互功能,可以提高点胶效率,自动化程度较高,具备连续性工作及一站式组装的功能。
Description
技术领域
本发明属于点胶植片设备技术领域,具体涉及一种点胶植片机及其组装系统。
背景技术
目前贴半导体行业尚未针对半导体行业晶元点胶及晶元防护罩贴附行业做出整体解决方案。首先采用点胶机对晶片进行点胶后再转移至相邻车间进行贴附作业,贴附完成后再转移至热压车间,当没有热压车间时还有进行晶片整体的转运,至另外的加工生产厂家进行下一个工序单独操作,这种操作方式,在每个环节均需要独立的存储车间进行原料间的存储作业,在转运过程中由于是存在一个非独立空间,对晶片的点胶、清洗环节产生影响,造成后续的良品率不高,甚至影响影响组装成型的时间效率。
这种多数设备为单体点胶、贴附、热压设备,每种机型结构均为单独供料,没有形成整体完备的组装方案,设备前后工序分离,不具备交互功能,效率低,成本高,自动化程度低,不具备连续性工作及一站式组装的功能。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种点胶植片机及其组装系统,解决了现有技术中存在的上述技术问题。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
一种点胶植片机,包括点胶单元、上盖贴合单元、保压单元、卸料单元,所述点胶单元通过侧边的上料机将载有晶片的载具件输送至点胶单元上进行点胶操作,所述点胶单元包括移动座、点胶头、第一轨道,所述载具件被输送至第一轨道上,并通过移动座将点胶头移动至载具件所在的上方位置,进行位置矫正后点胶,随后转移至上盖贴合单元上;
所述上盖贴合单元包括上料组件、等离子清洗机构、第二滑轨、运动机械手,所述上料组件将点胶后的载具件输送至第二滑轨上,通过所述运动机械手将载具件上的晶片取出并转移至等离子清洗机构所在的下方进行清洗,随后再通过运动机械手将清洗后的晶片转移至载具件并输出至保压单元上;
所述保压单元包括上料座、定位架、保压机构、检测机构、下料机构,所述上料座将载有载具件的晶片转移至定位架上,随后再通过保压机构对晶片进行保压操作,保压完成后转移至下料机构上,再通过检测机构检测后通过卸料单元转出。
进一步的,所述上料座所在的中部形成用于通过载具件的流道,并在所述流道所在的内侧对称设置有传送带,同时在所述流道所在的后端部设置有气缸顶升件,所在的前端面两侧对称设置有压紧辊。
进一步的,所述保压机构包括基座、压头组件、砝码件、压力传感器,所述压头组件伸出基座下方开设的通孔,且所述压头组件阵列分布有多组,并使每组压头组件与载具件的晶片一一对应;
同时在所述压头组件所在的上方设置有压力传感器,所述压力传感器所在的上方设置沿竖直方向设置有支杆件,并在支杆件所在的顶部位置套设有若干组砝码件。
进一步的,所述保压机构包括定位板、快换压头、下压组件,所述快换压头为并排的阵列分布,快换压头设置于下压组件所在的下方位置,同时所述下压组件设置于定位板的一侧面,且下压组件顶部设置的伺服电机。
进一步的,所述定位板上横向设置有导轨,使所述下压组件沿着导轨的延伸方向横向滑动;
进一步的,所述快换压头包括磁铁压头、导向轴、压力传感器、重载弹簧,所述磁铁压头通过导向轴与重载弹簧连接,并在重载弹簧与磁铁压头之间的间隙设置压力传感器,用于检测磁铁压头的压力。
一种点胶植片机的组装系统,包括以下步骤:
S1、首先通过上料机对载有晶片的载具件输送至点胶单元上进行点胶操作;
S2、点胶单元通过载有晶片的载具件进行点胶操作,并将点胶后的载具件转移至上盖贴合单元;
S3、上盖贴合单元通过等离子清洗机构将晶片进行清洗作业后,再转移至保压单元;
S4、保压单元对载有晶片的载具件进行保压操作,保压完成后再进行检测机构,将检测合格的载具件通过卸料单元转运至合格的装配车间,将检测不合格的载具件通过卸料单元转运至人工处理。
进一步的,所述点胶单元、上盖贴合单元均采用外设的相机模组对载具件上的晶片进行定位点胶、贴合。
本发明的有益效果:
1、本装置将点胶单元、上盖贴合单元、保压单元相互结合,具备交互功能,可以提高点胶效率,自动化程度较高,具备连续性工作及一站式组装的功能。
2、本装置保压单元采用的两种替换方式均可以实现较小范围的保压调节操作,减少更换保压机构的工序,提高了晶片的保压操作效率。
3、本装置通过在上料座可实时控制上料的节奏,保证保压单元对载具件上的晶片进行保压操作。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例的整体结构示意图;
图2是本发明实施例的点胶单元结构示意图;
图3是本发明实施例的上盖贴合单元结构示意图;
图4是本发明实施例的保压单元结构示意图;
图5是本发明实施例的上料座结构示意图;
图6是本发明实施例的其中一种保压机构整体结构示意图;
图7是本发明实施例的其中一种保压机构截面结构示意图;
图8是本发明实施例的另一个保压机构整体结构示意图;
图9是本发明实施例的快换压头结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1所示,本发明实施例提供一种点胶植片机,包括点胶单元1、上盖贴合单元2、保压单元3、卸料单元4,如图2所示,点胶单元1通过侧边的上料机11将载有晶片的载具件101输送至点胶单元1上进行点胶操作,点胶单元1包括移动座12、点胶头13、第一轨道14,载具件101被输送至第一轨道14上,并通过移动座12将点胶头13移动至载具件101所在的上方位置,通过外设的相机模组对载具件101进行位置矫正后点胶操作,随后点胶完成后将载具件101整体转移至上盖贴合单元2上;
如图3所示,上盖贴合单元2包括上料组件21、等离子清洗机构22、第二滑轨23、运动机械手24,上料组件21将点胶后的载具件101输送至第二滑轨23上,通过运动机械手24将载具件101上的晶片取出并转移至等离子清洗机构22所在的下方进行清洗,上盖贴合单元2采用外设的相机模组对载具件101上的晶片进行定位贴合,随后再通过运动机械手24将清洗后的晶片转移至载具件101并输出至保压单元3上。
如图4所示,保压单元3包括上料座31、定位架32、保压机构33、检测机构34、下料机构35,如图5所示,上料座31所在的中部形成用于通过载具件101的流道301,并在流道301所在的内侧对称设置有传送带302,载具件101所在的两侧置于传送带302上,并通过与传送带302之间的摩擦实现传动,同时在流道301所在的后端部设置有气缸顶升件303,通过气缸顶升件303实现载具件101从上盖贴合单元2的出料口被抬送至流道301内,且流道301所在的前端面两侧对称设置有压紧辊304,压紧辊304与传送带302之间的间隙用于对载具件101所在侧边的挤压夹持,正常情况下压紧辊304不驱动,载具件101被阻挡在压紧辊304所在的后端部,当保压单元3的定位架32上将已经保压的载具件101移出时,压紧辊304驱动,由于传送带302存在一定柔性,即载具件101通过挤压方式逐步从端部输出。
如图6、图7所示,本申请的其中一种保压机构33,包括基座331、压头组件332、砝码件333、压力传感器334,压头组件332伸出基座331下方开设的通孔,且压头组件332阵列分布有多组,并使每组压头组件332与载具件101的晶片一一对应;同时在压头组件332所在的上方设置有压力传感器334,压力传感器334所在的上方设置沿竖直方向设置有支杆件335,并在支杆件335所在的顶部位置套设有若干组砝码件333,通过支杆件335上添加的砝码件333以便满足不同晶片保压时的压力值,无需额外进行拆卸整个保压机构33的繁琐操作,只需要对砝码件333进行增减即可,同时压力传感器334试试反馈压力值。
如图8、图9所示,本申请的另一种保压机构33,包括定位板336、快换压头337、下压组件338,快换压头337为并排的阵列分布,快换压头337包括磁铁压头3371、导向轴3372、压力传感器3373、重载弹簧3374,磁铁压头3371所在的下表面与载具件101上的晶片表面接触,同时磁铁压头3371通过导向轴3372与重载弹簧3374连接,并在重载弹簧3374与磁铁压头3371之间的间隙设置压力传感器3373,磁铁压头3371感应到接触压力时,并将压力值压力传感器3373反馈给控制中心。
快换压头337设置于下压组件338所在的下方位置,同时下压组件338设置于定位板336的一侧面,且下压组件338顶部设置的伺服电机3381。定位板336上横向设置有导轨3361,使下压组件338沿着导轨3361的延伸方向横向滑动,通过下压组件338的相对位置调整,实现每次快换压头337的下表面均与晶片表面相互贴合。
保压完成后,保压机构33脱离载有晶片的载具件101,将载具件101转移至下料机构35上,再通过检测机构34检测后通过卸料单元4转出。
一种点胶植片机的组装系统,包括以下步骤:
S1、首先通过上料机11对载有晶片的载具件101输送至点胶单元1上进行点胶操作。
S2、点胶单元1通过载有晶片的载具件101进行点胶操作,并将点胶后的载具件101转移至上盖贴合单元2,具体可参见上述点胶单元1的工作原理。
S3、上盖贴合单元2通过等离子清洗机构22将晶片进行清洗作业后,再转移至保压单元3,具体可参见上述上盖贴合单元2的工作原理。
S4、保压单元3对载有晶片的载具件101进行保压操作,保压完成后再进行检测机构34,具体可参见保压单元3的工作原理,将检测合格的载具件101通过卸料单元4转运至合格的装配车间,将检测不合格的载具件101通过卸料单元4转运至人工处理。
本发明中,将点胶单元、上盖贴合单元、保压单元相互结合,具备交互功能,可以提高点胶效率,自动化程度较高,具备连续性工作及一站式组装的功能。全自动晶元点胶、全自动晶元防护罩贴附、全自动贴加热保压功能,能够实现半导体晶元保护罩一站式组装的功能。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。
Claims (8)
1.一种点胶植片机,包括点胶单元(1)、上盖贴合单元(2)、保压单元(3)、卸料单元(4),其特征在于,所述点胶单元(1)通过侧边的上料机(11)将载有晶片的载具件(101)输送至点胶单元(1)上进行点胶操作,所述点胶单元(1)包括移动座(12)、点胶头(13)、第一轨道(14),所述载具件(101)被输送至第一轨道(14)上,并通过移动座(12)将点胶头(13)移动至载具件(101)所在的上方位置,进行位置矫正后点胶,随后转移至上盖贴合单元(2)上;
所述上盖贴合单元(2)包括上料组件(21)、等离子清洗机构(22)、第二滑轨(23)、运动机械手(24),所述上料组件(21)将点胶后的载具件(101)输送至第二滑轨(23)上,通过所述运动机械手(24)将载具件(101)上的晶片取出并转移至等离子清洗机构(22)所在的下方进行清洗,随后再通过运动机械手(24)将清洗后的晶片转移至载具件(101)并输出至保压单元(3)上;
所述保压单元(3)包括上料座(31)、定位架(32)、保压机构(33)、检测机构(34)、下料机构(35),所述上料座(31)将载有载具件(101)的晶片转移至定位架(32)上,随后再通过保压机构(33)对晶片进行保压操作,保压完成后转移至下料机构(35)上,再通过检测机构(34)检测后通过卸料单元(4)转出。
2.根据权利要求1所述的点胶植片机,其特征在于,所述上料座(31)所在的中部形成用于通过载具件(101)的流道(301),并在所述流道(301)所在的内侧对称设置有传送带(302),同时在所述流道(301)所在的后端部设置有气缸顶升件(303),所在的前端面两侧对称设置有压紧辊(304)。
3.根据权利要求1所述的点胶植片机,其特征在于,所述保压机构(33)包括基座(331)、压头组件(332)、砝码件(333)、压力传感器(334),所述压头组件(332)伸出基座(331)下方开设的通孔,且所述压头组件(332) 阵列分布有多组,并使每组压头组件(332)与载具件(101)的晶片一一对应;
同时在所述压头组件(332)所在的上方设置有压力传感器(334),所述压力传感器(334)所在的上方设置沿竖直方向设置有支杆件(335),并在支杆件(335)所在的顶部位置套设有若干组砝码件(333)。
4.根据权利要求1所述的点胶植片机,其特征在于,所述保压机构(33)包括定位板(336)、快换压头(337)、下压组件(338),所述快换压头(337)为并排的阵列分布,快换压头(337)设置于下压组件(338)所在的下方位置,同时所述下压组件(338)设置于定位板(336)的一侧面,且下压组件(338)顶部设置的伺服电机(3381)。
5.根据权利要求4所述的点胶植片机,其特征在于,所述定位板(336)上横向设置有导轨(3361),使所述下压组件(338)沿着导轨(3361)的延伸方向横向滑动。
6.根据权利要求4所述的点胶植片机,其特征在于,所述快换压头(337)包括磁铁压头(3371)、导向轴(3372)、压力传感器(3373)、重载弹簧(3374),所述磁铁压头(3371)通过导向轴(3372)与重载弹簧(3374)连接,并在重载弹簧(3374)与磁铁压头(3371)之间的间隙设置压力传感器(3373),用于检测磁铁压头(3371)的压力。
7.一种点胶植片机的组装系统,其特征在于,包括以下步骤:
S1、首先通过上料机(11)对载有晶片的载具件(101)输送至点胶单元(1)上进行点胶操作;
S2、点胶单元(1)通过载有晶片的载具件(101)进行点胶操作,并将点胶后的载具件(101)转移至上盖贴合单元(2);
S3、上盖贴合单元(2)通过等离子清洗机构(22)将晶片进行清洗作业后,再转移至保压单元(3);
S4、保压单元(3)对载有晶片的载具件(101)进行保压操作,保压完成后再进行检测机构(34),将检测合格的载具件(101)通过卸料单元(4)转运至合格的装配车间,将检测不合格的载具件(101)通过卸料单元(4)转运至人工处理。
8.根据权利要求7所述的点胶植片机的组装系统,其特征在于,所述点胶单元(1)、上盖贴合单元(2)均采用外设的相机模组对载具件(101)上的晶片进行定位点胶、贴合。
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CN116895575A (zh) * | 2023-09-07 | 2023-10-17 | 苏州汇创芯精密智能装备有限公司 | 一种基于石墨烯碳纤维/tim1材料的半导体封装设备 |
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2021
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